KR100756510B1

KR100756510B1 - 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치 및 방법

Info

Publication number: KR100756510B1
Application number: KR1020060010280A
Authority: KR
Inventors: 권순복; 황현석; 박규우
Original assignee: 엘지전자 주식회사
Priority date: 2006-02-02
Filing date: 2006-02-02
Publication date: 2007-09-10

Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 내부에 작업공간(62)이 형성되고 외부와 작업공간(62)을 연통하는 입구부와 출구부가 형성되는 쳄버(60)와, 상기 쳄버(60)의 내부에서 페이스트가 도포된 기판(G)을 지지하는 지지기구(68)와, 상기 쳄버(60)의 내측에 설치되고 상기 지지기구(68)에 의해 지지된 기판(G)의 하부에서 복사열을 제공하여 기판의 페이스트를 건조시키는 열원(70)과, 상기 쳄버(60)의 작업공간(62) 내부로 공기를 공급하는 것으로 상기 쳄버(60)의 측면을 통해 기판(G)의 상부로 공기를 공급하는 급기라인(80)과, 상기 쳄버(60)의 상부를 형성하는 것으로 가장자리에서 중앙으로 갈수록 높이가 높아지도록 하면이 경사진 후드(88)와, 상기 급기라인(80)에 의해 공급된 공기와 페이스트의 건조과정에서 발생하는 용제가스를 상기 후드(88)의 중앙 상부에서 전달받아 쳄버(60)의 외부로 배기시키는 배기라인(92)을 포함하여 구성된다.

플라즈마 디스플레이 패널, 페이스트, 건조, 배기

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치 및 방법{A paste drying apparatus and method of plasma display panel}

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구성을 보인 분해사시도.

도 2는 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 요부 구성을 보인 단면도.

도 3은 종래 기술에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치를 보인 개략단면도.

도 4는 본 발명에 의한 페이스트 건조장치의 바람직한 실시예의 구성을 보인 개략 단면도.

도 5는 본 발명 실시예의 구성을 보인 개략 평면도.

도 6은 본 발명 실시예를 구성하는 후드부의 상면 구성을 보인 개략 사시도.

도 7a는 본 발명 실시예에서 용제가스의 밀도를 표시한 그래프.

도 7b는 본 발명 실시예에서 공기와 용제가스가 유동되는 특성을 보인 속도벡터.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

60: 쳄버 62: 작업공간

68: 지지기구 69: 지지핀

70: 열원 80: 급기라인

82: 예열기 88: 후드

89: 경사몸체 90: 상단지붕부

92: 배기라인 94: 배기펌프

96: 온도조절기 98: 후드커버

99: 열기배관

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조과정에서 페이스트를 건조시키는 장치 및 방법에 관한 것이다.

최근 디스플레이장치가 대면적이면서 박형화되는 추세이다. 이와 같이 대면적이면서 박형화된 디스플레이장치에는 액정디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 그리고 유기EL(Electro Luminescent)등이 사용된다.

이중, 상기 플라즈마 디스플레이 패널은 서로 대향되는 2장의 패널 사이에 네온(Ne), 헬륨(He), 제논(Xe)등의 불활성 가스를 방전시키고, 상기 방전시 발생하는 자외선이 형광체를 여기시키도록 하여 화면표시를 수행하는 것이다.

도 1에는 플라즈마 디스플레이 패널의 구성이 분해사시도로 도시되어 있고, 도 2에는 플라즈마 디스플레이 패널의 기본 셀구조가 단면도로 도시되어 있다.

이들 도면에 도시된 바에 따르면, 플라즈마 디스플레이 패널은 크게 상면패 널(10)과 하면패널(20)로 구성된다. 상기 상면패널(10)과 하면패널(20)은 서로 접착되어 각각 플라즈마 디스플레이 패널의 상면과 하면을 형성한다.

상기 상면패널(10)의 구성을 살펴보면, 그 상부기판(11)의 하면에는 보조전극(12)과 투명전극(13)이 형성되어 있다. 상기 보조전극(12)과 투명전극(13)을 포함하는 상부기판(11)의 하면에는 유전체층(14)이 형성된다. 상기 유전체층(14)은 보호막(15)으로 보호된다. 즉, 상기 유전체층(14) 전체 표면에 보호막(15)이 도포된다. 상기 보호막(15)은 산화인듄(ITO)으로 형성된다.

상기 하면패널(20)은 그 하부기판(21)의 상면에 어드레스전극(22)이 형성되어 있다. 상기 어드레스전극(22)을 포함하는 하부기판(21)의 상면에는 유전체층(23)이 형성된다. 상기 유전체층(23)상에는 다수개의 격벽(24)이 소정의 간격을 두고 일직선으로 형성된다. 상기 격벽(24)사이와 유전체(23)의 상면에는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)이 교대로 구분된 형광체(25)가 도포되어 있다.

상기와 같이 각각 구성된 상면패널(10)과 하면패널(20)을 소정의 틈새를 둔 상태로 서로 부착하면, 플라즈마 디스플레이 패널이 완성된다. 물론, 상기 상면패널(10)과 하면패널(20)의 사이에는 불활성가스인 방전가스가 봉입된다.

이와 같이 구성된 플라즈마 디스플레이 패널은 상기 격벽(24)에 의해 형성된 방전공간의 내부에 도포된 형광체(25)가 각 셀의 방전시에 자외선에 의해 여기되어 가시광을 상기 상면패널(10) 외부로 방출한다. 따라서, 상기 플라즈마 디스플레이 패널에 화상정보가 표시된다.

상기와 같이 구성되는 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 상기 전극, 유전 체층, 격벽 및 형광체 등의 형성을 위해 사용되는 물질은 각각 도포 용이성을 위해 유기용제가 함유된 페이스트 상태의 것을 사용한다. 여기서 일반적으로 기판(11,21)상에 형성되는 페이스트막은 고체파우더이외의 용제성분이 전체의 30 ~ 50%이상을 차지하고, 막의 두께가 최소 10㎛이상으로 매우 두껍기 때문에 상대적으로 많은 양의 용제가 함유되어 있다.

이를 건조하기 위해서는 건조공정에서, 용제를 IR히터의 열에너지에 의해 페이스트막 표면부로 가스상태로 여기시킨다. 이와 같은 공정은 용제의 휘발이 활발하게 이루어지는 온도구간인 100℃에서 200℃사이에서 약 10-30분이상 열을 가함에 의해 이루어진다. 이와 같이 가스상태로 나온 용제는 외부로 신속하게 강제배기 되어야 한다. 이는 용제성분의 불충분한 배기는 건조장치 내부를 오염시키고, 용제응축 및 누설, 용제가스의 재흡착 등의 불량을 발생시켜 생산수율을 낮추기 때문이다. 그리고, 이와 같은 건조공정에 의해 페이스트에 함유된 유기용제는 증발되어 페이스트의 체적을 감소시키면서 페이스트의 충진밀도가 증가되도록 한다.

한편, 도 3에는 이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조과정에서 도포된 페이스트를 건조시키는 장치가 도시되어 있다. 이에 따르면, 쳄버(30)의 내부에는 소정의 작업공간(31)이 형성된다. 상기 쳄버(30)의 일측에는 입구부(32)가 형성되고, 타측에는 출구부(34)가 형성된다. 상기 쳄버(30)의 내부에는 상기 입구부(32)와 출구부(34)의 사이에서 기판(11,21)을 이송시키는 이송기구(36)가 구비된다.

상기 이송기구(36)의 상부에 해당되는 쳄버(30) 내상부에는 히터(38)가 구비된다. 상기 히터(38)는 기판(11,21)에 도포되어 있는 페이스트를 건조시키는 역할 을 한다.

상기 쳄버(30)를 관통하여 상기 작업공간(31)의 상부로는 송풍덕트(42)가 연장된다. 상기 송풍덕트(42)의 끝부분은 상기 작업공간(31)의 내상부에 위치되고, 급기판(44)을 구비한다. 상기 급기판(44)은 상기 기판(11,21)의 전체 면적에 공기가 골고루 전달될 수 있도록 한다. 상기 쳄버(30)로 전달되는 공기를 예열하는 예열기(46)가 상기 쳄버(30)의 외부에 해당되는 송풍덕트(42)에 구비된다. 상기 예열기(46)는 쳄버(30)내부의 온도가 항상 일정한 값으로 유지될 수 있도록 한다.

상기 쳄버(30)의 입구부(32) 근처에는 보조배기덕트(48)가 구비된다. 이는 상기 입구부(32)가 항상 개방되어 있어, 상기 작업공간(31) 내부의 오염된 공기가 건조장치가 설치된 실내를 오염시키는 것을 방지하기 위함이다.

상기 쳄버(30)의 하부에는 상기 작업공간(31)내의 오염된 공기, 즉 페이스트의 건조시 발생된 용제가스를 포함한 공기를 외부로 배출하기 위한 배기덕트(52)가 구비된다. 상기 배기덕트(52)에는 배기팬(54)이 구비되어 배기덕트(52)를 통한 공기의 배출이 원활하게 되도록 한다.

그러나 상기한 바와 같은 종래 기술에 의한 페이스트 건조장치에서는 다음과 같은 문제점이 있다.

종래 기술에서는 상기 급기판(44)이 상기 기판(11,21)의 이송경로 상부에 수직하게 배치되고, 배기덕트(52)는 상기 기판(11,21)과 이송기구(36)를 사이에 둔 반대쪽인 쳄버(30)의 하부에 구비된다. 따라서, 급기판(44)에서 배기덕트(52)까지의 공기유로가 상대적으로 길어지고, 상기 급기판(44)을 나온 공기가 상기 배기덕 트(52)로 전달되는 과정에서, 상기 기판(11,21)과 이송기구(36)가 공기의 이동을 방해한다. 특히, 최근에 40인치 이상의 대면적 플라즈마 디스플레이 패널의 생산을 위한 기판(11,21)은 면적이 그만큼 커서 쳄버(30) 내부의 공기흐름을 방해한다.

이와 같은 건조장치의 구성상, 페이스트의 건조시 발생하는 용제가스의 배기효율이 저하되어 쳄버(30)의 내부에서 용제가스가 재응축되거나, 탈락 또는 재흡착되어 상기 페이스트 막위에 국부적으로 물방울 모양의 얼룩이 발생되어 건조불량이 발생하고, 쳄버(30) 내부에 잔류되는 용제가스의 계속적인 증가는 쳄버(30) 내부를 오염시키는 원인이 되며, 건조되고 있는 페이스트 막에 용제가스가 재흡착되는 건조불량을 유발시켜 제품의 수율이 떨어지는 문제점이 있다.

그리고, 쳄버(30) 내부에서 용제가스가 제대로 배기되지 않음에 의해, 쳄버(30) 내부의 용제가스 압력이 증가하면서, 건조장치가 설치되는 클린룸(Clean room)으로 용제가스가 누설되는 문제점도 발생시킨다.

또한, 쳄버(30)에서 용제가스가 제대로 배기되지 않음에 의해 쳄버(30) 내부가 상대적으로 빨리 오염된다. 따라서, 제품수율이 제대로 나오도록 하려면 쳄버(30) 내부를 보다 자주 청소하여야 한다. 이와 같이 쳄버(30)의 청소를 진행하려면 페이스트막을 건조하는 작업을 중단하여야 하므로 제품의 생산성이 떨어지는 문제점이 발생한다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 페이스트를 건조시키는 쳄버에서 오염된 공기를 보다 효율적으로 배 기시키도록 하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 페이스트를 건조시키는 쳄버가 설치되는 클린룸의 오염을 방지하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 페이스트를 건조시키는 쳄버의 청소주기를 상대적으로 길게 하는 것이다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은 내부에 작업공간이 형성되고 외부와 작업공간을 연통하는 입구부와 출구부가 형성되는 쳄버와, 상기 쳄버의 내부에서 페이스트가 도포된 기판을 지지하는 지지기구와, 상기 쳄버의 내측에 설치되고 상기 지지기구에 의해 지지된 기판의 하부에서 복사열을 제공하여 기판의 페이스트를 건조시키는 열원과, 상기 쳄버의 작업공간 내부로 공기를 공급하는 것으로 상기 쳄버의 측면을 통해 기판의 상부로 공기를 공급하는 급기라인과, 상기 쳄버의 상부를 형성하는 것으로 가장자리에서 중앙으로 갈수록 높이가 높아지도록 하면이 경사진 후드와, 상기 급기라인에 의해 공급된 공기와 페이스트의 건조과정에서 발생하는 용제가스를 전달받아 쳄버의 외부로 배기시키는 배기라인을 포함하여 구성된다.

상기 쳄버의 작업공간은 평면도로 볼 때 사각형으로 되고 그 사면에 상기 급기라인이 연결되어 작업공간의 사면을 통해 기판의 상부로 공기가 공급된다.

상기 후드는 그 가장자리에서 중앙을 향해 하면이 경사지게 형성되는 경사몸체와, 상기 경사몸체의 상단 중앙에 설치되고 상기 배기라인이 연통되는 상단지붕 부를 포함하여 구성된다.

상기 경사몸체의 하면의 경사는 10°보다 큰 값으로 된다.

상기 경사몸체의 하면의 표면 거칠기 기준으로 Ra 63a, Rmax 25s, Rz 25z이상이다.

상기 경사몸체의 하면의 적외선 및 자외선 반사도는 50%와 같거나 작은 값을 가진다.

상기 배기라인은 상기 상단지붕부의 4면과 상면을 통해 작업공간의 내부와 연통된다.

상기 후드와 작업공간의 온도를 설정하기 위한 온도조절기가 더 구비되는데, 상기 온도조절기에는 배관이 연결되어 물이나 공기를 사용하여 후드와 작업공간의 온도를 조절한다.

적어도 상기 배기라인 및 배기펌프를 포함하는 후드의 상부를 덮도록 후드커버가 더 구비되고, 상기 후드커버와 후드의 사이 공간과 연통되게 열기배관이 더 구비되어 후드커버와 후드 사이 공간의 온도를 조절한다.
상기 배기라인은 상기 용제가스를 상기 후드의 중앙 상부에서 전달받아 쳄버의 외부로 배기시킨다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 본 발명은 작업공간이 형성된 쳄버의 내부에서 기판에 도포된 페이스트를 열원의 복사열을 사용하여 건조하는 것에 있어서, 작업분위기가 형성된 상기 작업공간에 기판을 공급하는 단계와, 상기 기판에 도포된 페이스트에 상기 열원에서 공급되는 복사열을 전달하는 단계와, 상기 페이스트로 복사열을 전달함과 동시에 상기 기판의 사방에서 상면으로 외부에서 흡입된 공기를 공급하는 단계와, 상기 쳄버의 내부로 공기를 공급함과 동시에 상기 복사열에 의해 페이스트가 건조되면서 발생하는 용제가스를 상기 기판의 중앙 상부에서 흡입하여 외부로 배출하는 단계를 포함하여 구성된다.

상기 작업공간의 내부로 흡입된 공기와 페이스트의 건조시에 발생한 용제가스는 10°이상의 경사면을 따라 안내되어 작업공간의 가장자리에서 중앙상부로 이동된다.

이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 페이스트 건조장치 및 방법에 의하면, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조수율이 높아지고, 클린룸의 오염이 방지되며, 플라즈마 디스플레이 패널의 생산성이 높아짐과 동시에 열원유니트의 내구성이 좋아지는 이점이 있다.

이하 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치 및 방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.

도 4에는 본 발명에 의한 페이스트 건조장치의 바람직한 실시예의 구성이 개략 단면도로 도시되어 있고, 도 5에는 본 발명 실시예의 구성이 개략 평면도로 도시되어 있으며, 도 6에는 본 발명 실시예를 구성하는 후드부의 상면 구성이 개략 사시도로 도시되어 있다.

이들 도면에 도시된 바에 따르면, 쳄버(60)의 내부에는 소정의 작업공간(62)이 형성된다. 상기 작업공간(62)은 페이스트의 건조가 이루어지는 부분이다. 상기 쳄버(60)는 도 5에서 알 수 있는 바와 같이 평면도로 볼 때, 대략 사각형상으로 형성된다. 물론, 상기 쳄버(60)의 평면형상이 반드시 사각이어야 하는 것은 아니나, 기판(G)의 형상과의 관계에서 공간활용성을 고려할 때 사각형으로 되는 것이 바람 직하다.

상기 쳄버(60)의 양단에는 상기 작업공간(62)을 쳄버(60)의 외부와 연통시키는 입구부와 출구부(도시되지 않음)가 각각 구비된다. 상기 입구부를 통해서는 페이스트막이 형성된 기판(G)이 상기 작업공간(62)의 내부로 진입되고, 상기 출구부를 통해서는 작업공간(62)에서 페이스트막이 건조된 기판(G)이 쳄버(60)의 외부로 배출된다. 참고로 도 5에서 쳄버(60)의 좌측부에 입구부가 구비되고, 우측부에 출구부가 구비된다.

상기 쳄버(60) 내부의 작업공간(62)에 기판(G)을 지지하는 지지기구(68)가 구비된다. 상기 지지기구(68)는 다수개의 지지핀(69)을 구비한다. 상기 지지핀(69)이 상기 기판(G)의 하면을 지지한다. 이들 지지핀(69)은 별도의 승강가능한 프레임(도면부호 부여않음)에 구비된다.

상기 쳄버(60)의 작업공간(62) 하부에는 열원(70)이 구비된다. 상기 열원(70)은 페이스트의 건조를 위한 열을 제공하는 역할을 한다. 본 실시예에서 사용되는 상기 열원(70)으로는 할로겐램프를 들 수 있다. 상기 열원(70)은 상기 기판(G)의 하부에서 페이스트의 건조를 위한 복사열을 제공한다.

상기 쳄버(60)의 외부에서 작업공간(62)으로 공기를 공급하기 위해 급기라인(80)이 구비된다. 상기 급기라인(80)을 통해서 상기 작업공간(62)의 내부로는 블로워(도시되지 않음)와 같은 공기공급원에 의해 공기가 공급된다. 상기 급기라인(80)은 상기 쳄버(60)의 4측방을 통해서 상기 작업공간(62)으로 공급된다. 상기 급기라인(80)에는 예열기(82)가 설치되어 상기 작업공간(62)으로 공급되는 공기의 온도가 일정 이상이 되도록 한다. 이는 상기 작업공간(62)의 온도가 급격하게 변하는 것을 방지하기 위함이다.

한편, 상기 작업공간(62) 내부의 용제가스를 쳄버(60) 외부로 배출하기 위해 배기부(86)가 구비된다. 상기 배기부(86)에는 후드(88)가 구비된다. 상기 후드(88)는 실질적으로 상기 쳄버(60)의 상부를 형성하는 것이다. 상기 후드(88)는 그 가장자리에서 중심부를 향해 상향 경사지게 형성된다. 즉, 상기 후드(88)의 가장자리에서 중심을 향해 상향 경사지게 경사몸체(89)가 구비되고, 후드(88)의 중심에는 상단지붕부(90)가 구비된다. 상기 경사몸체(89)는 상기 쳄버(60)의 사면 각각 대응되는 부분이 삼각형상으로 되고 가장자리에서 중심을 향해 상향 경사진다.

상기 경사각도는 대략 10°보다는 크게 되는 것이 바람직하다. 이는 경사몸체(89)의 경사각도가 지나치게 작은 경우 페이스트의 건조과정에서 발생되는 용제가 경사몸체(89)를 따라 안내되지 못하고 다시 기판(G)상으로 낙하할 수 있기 때문이다.

상기 경사몸체(89)의 표면은 표면 거칠기 기준으로 Ra 63a, Rmax 25s, Rz 25z이상이 되는 보통 다듬질 이상의 상태를 유지하도록 하는 것이 바람직하다. 이는 응축수나 용제가 경사몸체(89)의 표면에서 액상으로 맺히는 것을 방지하기 위함이다.

그리고, 상기 경사몸체(89)의 표면에서의 반사도는 적외선, 자외선의 반사가 최대한 억제되어야 한다. 이들의 반사도는 50%이거나 그 보다 작은 값이 되도록 하는 것이 바람직하다.

한편, 상기 상단지붕부(90)에서 다수개의 배기라인(92)이 분지된다. 즉, 상기 상단지붕부(90)의 사면으로 하나씩 배기라인(92)이 분지되고, 상기 상단지붕부(90)의 상단 중앙부에서 또 하나의 배기라인(92)이 연결된다. 따라서, 총 5개의 배기라인(92)이 구비된다. 상기 배기라인(92)들에는 각각 배기펌프(94)가 설치되어 상기 쳄버(60) 내부의 작업공간(62)에서부터 공기와 용제가스 등을 뽑아낸다.

다음으로, 상기 작업공간(62) 내부의 온도, 특히 상기 후드(88)의 온도를 안정화시키기 위해, 도 6에 도시된 바와 같이, 온도조절기(96)가 구비된다. 상기 온도조절기(96)는 공기나 물을 배관(97)을 통해 전달하는데, 상기 배관(97)은 상기 후드(88)의 상면을 따라 배치되어 있다. 상기 배관을 통해 전달된 공기나 물은 상기 후드(88)의 상면에 뿌려져 후드(88)의 온도를 조절한다.

그리고, 상기 후드(88)와 배기라인(92) 및 배기펌프(94) 등을 차폐하기 위해 후드커버(98)가 사용된다. 상기 후드커버(98)는 장치의 외관을 구성하는 것이다. 한편, 상기 후드(88)와 후드커버(98)사이의 열기를 외부로 배출하기 위해, 도 6에 도시된 바와 같이, 열기배관(99)이 구비된다.

이하 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치 및 방법의 작용을 상세하게 설명한다.

본 발명의 건조장치에서 페이스트의 건조가 수행되기 위해서는 일단 상기 쳄버(60)내부의 작업공간(62)이 작업조건에 맞도록 설정되어야 한다. 예를 들면 작업공간(62)의 온도를 작업에 적절한 상태로 만드는 등 작업공간(62)의 분위기를 작업상태로 설정해야 한다.

작업준비가 되면, 상기 작업공간(62)의 내부로 입구부를 통해 기판(G)을 전달한다. 상기 작업공간(62)의 내부로 전달된 기판(G)은 상기 지지기구(68)에 의해 정위치로 지지된다.

이와 같이 기판(G)이 정위치에 있는 상태에서, 상기 열원(70)인 할로겐램프는 광을 발생하여 그 복사열로 상기 기판(G)에 형성된 페이스트막을 건조시킨다. 상기 열원(70)은 복사열을 사용하고 상대적으로 고출력으로서 보다 신속하게 페이스트막을 건조시킬 수 있다.

한편, 상기 기판(G)의 페이스트막이 건조되는 과정에서 발생하는 용제가스를 쳄버(60)의 외부로 배출하기 위해 상기 급기라인(80)을 통해서는 공기가 작업공간(62)의 내부로 전달된다. 그리고, 상기 배기라인(86)을 통해서는 용제가스와 공기가 배출된다.

즉, 블로워에 의해 급기라인(80)으로 전달된 공기는 상기 예열기(82)를 거쳐 소정의 온도로 되고, 상기 급기라인(80)을 통해 상기 작업공간(62)의 사면에서 기판(G)의 상면으로 공급된다.

상기 기판(G)의 상면으로 공급된 공기는 페이스트막이 건조되는 과정에서 발생하는 용제가스와 함께 이동하는데, 상기 작업공간(62)의 중앙 상부를 향해 상기 후드(88)의 내면을 통해 안내된다. 상기 후드(88)의 중앙에 형성된 상단지붕부(90)를 향해 상기 공기와 용제가스가 이동된다. 이는 상기 배기펌프(94)가 상기 배기라인(92)에 흡입력을 제공하기 때문이다.

이와 같이 급기라인(80)을 통해 작업공간(62)으로 전달된 공기가 용제가스와 함께 배기라인(92)으로 유동되는 것과 관련해서, 도 7a와 도 7b에 그래프가 도시되어 있다. 도 7a는 용제가스의 밀도를 표시한 것으로, 후드(88)의 하면에 인접할 수록 밀도가 높음을 알 수 있다. 그리고, 7b에는 공기와 용제가스가 유동되는 특성을 보인 속도벡터가 표시되어 있다.

참고로, 상기 후드(88)의 하면의 경사를 10°이상으로 유지하고, 그 표면 거칠기와 반사도를 적절하게 유지함에 의해 페이스트막의 건조과정에서 상기 기판(G)에 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

즉, 후드(88)의 경사를 일정 값이상으로 유지함에 의해 용제가스가 후드(88)의 하면에 맺혀 자유낙하하지 않게 할 수 있고, 공기와 용제가스가 상기 후드(88)의 중앙상부를 향해 원활하게 유동될 수 있도록 된다.

그리고, 후드(88) 하면의 다듬질 상태를 보통 다듬질 상태 이상의 적정한 상태로 함에 의해 응축수나 용제가스가 액상으로 맺히는 것을 방지할 수 있다.

한편, 상기 온도조절기(96)는 상기 후드(88)와 작업공간(62)의 온도를 적절하게 유지할 수 있도록 한다. 즉, 상기 온도조절기(96)는 후드(88)와 작업공간(62)의 온도가 기준값보다 높은 경우 낮춰주고, 기준값보다 높은 경우 낮춰주게 된다. 상기 열기배관(99)은 상기 후드(88)와 후드커버(98) 사이의 공간에서 열기를 외부로 배출할 수 있도록 하여 상기 후드(88)의 온도를 적정한 값으로 유지한다.

건조가 완료된 기판(G)은 별도의 이송기구에 의해 상기 작업공간(62)의 외부로 배출되고, 새로운 기판(G)이 작업공간(62)의 내부로 전달된다. 물론, 상기 쳄버(60)의 출구부와 연속되게 연결되어 다음의 작업을 위한 장비가 구비될 수 있다.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.

예를 들면, 본 발명 실시예에서는 본 발명의 건조장치가 플라즈마 디스플레이 패널에 도포된 페이스트를 건조시키는 것으로 설명되었으나, 반드시 플라즈마 디스플레이 패널의 경우에 한정되는 것은 아니며, 다양한 물질의 건조에 본 발명이 사용될 수 있다.

그리고, 본 발명에서는 기판(G)을 쳄버(60)의 작업공간(62)에 고정시켜 두고 건조과정을 수행하였으나, 반드시 그러한 것은 아니고 기판(G)을 연속적으로 이송시키면서 페이스트막의 건조작업을 수행할 수 있도록 할 수도 있다.

위에서 상세히 설명한 바와 같은 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치 및 방법에서는 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

본 발명은 열원의 복사열을 사용하여 기판의 페이스트막을 건조함에 있어서, 발생하는 용제가스를 신속하게 배출하기 위해 급기라인을 통해 공기를 공급하고 배기라인을 통해 공기와 용제가스를 배출한다. 이때, 상기 급기라인은 작업공간의 사면을 통해 공기를 공급하고, 상기 배기라인은 작업공간의 중앙 상부에서 공기와 용제가스를 외부로 배출한다. 이때, 공기와 용제가스의 흐름은 중앙 상부를 향해 내면이 경사진 후드를 사용한다. 따라서, 본 발명에서는 페이스트를 건조시키는 쳄버에서 오염된 공기를 효율적으로 배기시킬 수 있다. 이는, 용제가스가 응축되어 용 제가 낙하되면서 기판을 손상시키는 것 등을 해소할 수 있어 플라즈마 디스플레이 패털의 제조수율이 높아지는 이점이 있다.

본 발명에서는 쳄버 내부에서 발생한 용제가스가 보다 신속하게 외부로 배출되므로, 쳄버 내부에 용제가스가 많이 채워져 있지 않게 된다. 이는 상기 쳄버 내부에서 용제가스의 압력을 상대적으로 낮게 유지하여 쳄버외부로의 누설 발생이 방지되어 클림룸의 청정상태를 유지할 수 있게 된다.

한편, 본 발명에서는 쳄버 내부에서 발생한 용제가스가 외부로 신속하게 배출되므로 용제가스에 의해 쳄버 내부에 발생하는 오염물의 양이 상대적으로 줄어들게 된다. 따라서, 쳄버의 청소를 상대적으로 자주하지 않아도 되므로 플라즈마 디스플레이 패널의 생산성이 높아지는 효과도 있다.

그리고, 본 발명에서는 후드 하면의 경사와 다듬질 상태 및 반사도 등을 조정함에 의해 용제가스를 포함하는 오염물의 유동이 보다 원활하게 이루어지면서 기판이 오염되는 것이 방지된다. 따라서, 기판의 제조수율이 상대적으로 높아지는 효과도 있다.

Claims

내부에 작업공간이 형성되고 외부와 작업공간을 연통하는 입구부와 출구부가 형성되는 쳄버와,

상기 쳄버의 내부에서 페이스트가 도포된 기판을 지지하는 지지기구와,

상기 쳄버의 내측에 설치되고 상기 지지기구에 의해 지지된 기판의 하부에서 복사열을 제공하여 기판의 페이스트를 건조시키는 열원과,

상기 쳄버의 작업공간 내부로 공기를 공급하는 것으로 상기 쳄버의 측면을 통해 기판의 상부로 공기를 공급하는 급기라인과,

상기 쳄버의 상부를 형성하는 것으로 가장자리에서 중앙으로 갈수록 높이가 높아지도록 하면이 경사진 후드와,

상기 급기라인에 의해 공급된 공기와 페이스트의 건조과정에서 발생하는 용제가스를 전달받아 쳄버의 외부로 배기시키는 배기라인을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.
제 1 항에 있어서, 상기 쳄버의 작업공간은 평면도로 볼 때 사각형으로 되고 그 사면에 상기 급기라인이 연결되어 작업공간의 사면을 통해 기판의 상부로 공기가 공급됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.
제 2 항에 있어서, 상기 후드는,

그 가장자리에서 중앙을 향해 하면이 경사지게 형성되는 경사몸체와,

상기 경사몸체의 상단 중앙에 설치되고 상기 배기라인이 연통되는 상단지붕부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.
제 3 항에 있어서, 상기 경사몸체의 하면의 경사는 10°보다 큰 값으로 됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.
제 3 항에 있어서, 상기 경사몸체의 하면의 표면 거칠기 기준으로 Ra 63a, Rmax 25s, Rz 25z이상임을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.
제 3 항에 있어서, 상기 경사몸체의 하면의 적외선 및 자외선 반사도는 50%와 같거나 작은 값을 가짐을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.
제 3 항 내지 제 6 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 배기라인은 상기 상단지붕부의 4면과 상면을 통해 작업공간의 내부와 연통됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.
제 7 항에 있어서, 상기 후드와 작업공간의 온도를 설정하기 위한 온도조절기가 더 구비되는데, 상기 온도조절기에는 배관이 연결되어 물이나 공기를 사용하여 후드와 작업공간의 온도를 조절함을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.
제 8 항에 있어서, 적어도 상기 배기라인 및 배기펌프를 포함하는 후드의 상부를 덮도록 후드커버가 더 구비되고, 상기 후드커버와 후드의 사이 공간과 연통되게 열기배관이 더 구비되어 후드커버와 후드 사이 공간의 온도를 조절함을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이패널의 페이스트 건조장치.
작업공간이 형성된 쳄버의 내부에서 기판에 도포된 페이스트를 열원의 복사열을 사용하여 건조하는 것에 있어서,

작업분위기가 형성된 상기 작업공간에 기판을 공급하는 단계와,

상기 기판에 도포된 페이스트에 상기 열원에서 공급되는 복사열을 전달하는 단계와,

상기 페이스트로 복사열을 전달함과 동시에 상기 기판의 사방에서 상면으로 외부에서 흡입된 공기를 공급하는 단계와,

상기 쳄버의 내부로 공기를 공급함과 동시에 상기 복사열에 의해 페이스트가 건조되면서 발생하는 용제가스를 상기 기판의 중앙 상부에서 흡입하여 외부로 배출하는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조방법.
제 10 항에 있어서, 상기 작업공간의 내부로 흡입된 공기와 페이스트의 건조시에 발생한 용제가스는 10°이상의 경사면을 따라 안내되어 작업공간의 가장자리에서 중앙상부로 이동됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조방법.
제 9 항에 있어서, 상기 배기라인은 상기 용제가스를 상기 후드의 중앙 상부에서 전달받아 쳄버의 외부로 배기시킴을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.