KR20060057668A - 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 내부에 최소환 한장의 기판(G)이 안착될 수 있는 작업공간(71)이 형성되고 외부와 작업공간을 선택적으로 연통하는 입구도어(72)와 출구도어(74)가 구비되며 열원(78)을 구비하여 페이스트가 도포된 기판(G)을 가열하여 건조하는 히팅쳄버(70)와, 내부에 작업공간(91)이 형성되고 외부와 작업공간(91)을 선택적으로 연통하는 입구도어(92)와 출구도어(94)가 구비되며 냉각수단을 구비하여 상기 히팅쳄버(70)에서 가열된 기판(G)을 전달받아 냉각시키는 쿨링쳄버(90)와, 상기 히팅쳄버(70)와 쿨링쳄버(90)에서 기판(G)에 도포된 페이스트를 건조시키는 것을 제어하는 제어부(110)를 포함하여 구성된다. 본 발명에 의하면 페이스트 건조장치가 소형화되고, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조생산성이 높아짐과 동시에 제조수율이 높아지고, 클린룸의 오염이 방지되는 이점이 있다.

플라즈마 디스플레이 패널, 페이스트, 건조

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치 및 방법{A paste drying apparatus and method of plasma display panel}

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구성을 보인 분해사시도.

도 2는 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 요부 구성을 보인 단면도.

도 3은 종래 기술에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치를 보인 개략단면도.

도 4는 본 발명에 의한 페이스트 건조장치의 바람직한 실시예의 구성을 개략적으로 보인 개략 단면도.

도 5는 본 발명 실시예의 히팅쳄버에서 기류가 형성되는 것을 보인 개략 평면도.

도 6은 본 발명 실시예에서 페이스트의 건조가 수행되는 것을 보인 동작상태도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

70: 쳄버 71: 작업공간

72: 입구도어 74: 출구도어

76: 히팅이송기구 78: 열원

80: 급기펌프 82: 급기덕트

83: 급기출구부 86: 배기펌프

88: 배기덕트 89: 배기입구부

90: 쿨링쳄버 90': 연결통로

91: 작업공간 92: 입구도어

94: 출구도어 96: 쿨링이송기구

100: 급기펌프 102: 급기덕트

103: 급기출구부 106: 배기펌프

108: 배기덕트 109: 배기입구부

110: 제어부

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조과정에서 페이스트를 건조시키는 장치 및 방법에 관한 것이다.

최근 디스플레이장치가 대면적이면서 박형화되는 추세이다. 이와 같이 대면적이면서 박형화된 디스플레이장치에는 액정디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 그리고 유기EL(Electro Luminescent)등이 사용된다.

이중, 상기 플라즈마 디스플레이 패널은 서로 대향되는 2장의 패널 사이에 네온(Ne), 헬륨(He), 제논(Xe)등의 불활성 가스를 방전시키고, 상기 방전시 발생하 는 자외선이 형광체를 여기시키도록 하여 화면표시를 수행하는 것이다.

도 1에는 플라즈마 디스플레이 패널의 구성이 분해사시도로 도시되어 있고, 도 2에는 플라즈마 디스플레이 패널의 기본 셀구조가 단면도로 도시되어 있다.

이들 도면에 도시된 바에 따르면, 플라즈마 디스플레이 패널은 크게 상면패널(10)과 하면패널(20)로 구성된다. 상기 상면패널(10)과 하면패널(20)은 서로 접착되어 각각 플라즈마 디스플레이 패널의 상면과 하면을 형성한다.

상기 상면패널(10)의 구성을 살펴보면, 그 상부기판(11)의 하면에는 보조전극(12)과 투명전극(13)이 형성되어 있다. 상기 보조전극(12)과 투명전극(13)을 포함하는 상부기판(11)의 하면에는 유전체층(14)이 형성된다. 상기 유전체층(14)은 보호막(15)으로 보호된다. 즉, 상기 유전체층(14) 전체 표면에 보호막(15)이 도포된다. 상기 보호막(15)은 산화인듄(ITO)으로 형성된다.

상기 하면패널(20)은 그 하부기판(21)의 상면에 어드레스전극(22)이 형성되어 있다. 상기 어드레스전극(22)을 포함하는 하부기판(21)의 상면에는 유전체층(23)이 형성된다. 상기 유전체층(23)상에는 다수개의 격벽(24)이 소정의 간격을 두고 일직선으로 형성된다. 상기 격벽(24)사이와 유전체(23)의 상면에는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)이 교대로 구분된 형광체(25)가 도포되어 있다.

상기와 같이 각각 구성된 상면패널(10)과 하면패널(20)을 소정의 틈새를 둔 상태로 서로 부착하면, 플라즈마 디스플레이 패널이 완성된다. 물론, 상기 상면패널(10)과 하면패널(20)의 사이에는 불활성가스인 방전가스가 봉입된다.

이와 같이 구성된 플라즈마 디스플레이 패널은 상기 격벽(24)에 의해 형성된 방전공간의 내부에 도포된 형광체(25)가 각 셀의 방전시에 자외선에 의해 여기되어 가시광을 상기 상면패널(10) 외부로 방출한다. 따라서, 상기 플라즈마 디스플레이 패널에 화상정보가 표시된다.

상기와 같이 구성되는 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 상기 전극, 유전체층, 격벽 및 형광체 등의 형성을 위해 사용되는 물질은 각각 도포 용이성을 위해 유기용제가 함유된 페이스트 상태의 것을 사용한다. 여기서 일반적으로 기판(11,21)상에 형성되는 페이스트막은 고체파우더이외의 용제성분이 전체의 30 ~ 50%이상을 차지하고, 막의 두께가 최소 10㎛이상으로 매우 두껍기 때문에 상대적으로 많은 양의 용제가 함유되어 있다.

이를 건조하기 위해서는 건조공정에서, 용제를 IR히터의 열에너지에 의해 페이스트막 표면부로 가스상태로 여기시킨다. 이와 같은 공정은 용제의 휘발이 활발하게 이루어지는 온도구간인 100℃에서 200℃사이에서 약 10-30분이상 열을 가함에 의해 이루어진다. 이와 같이 가스상태로 나온 용제는 외부로 신속하게 강제배기 되어야 한다. 이는 용제성분의 불충분한 배기는 건조장치 내부를 오염시키고, 용제응축 및 누설, 용제가스의 재흡착 등의 불량을 발생시켜 생산수율을 낮추기 때문이다. 그리고, 이와 같은 건조공정에 의해 페이스트에 함유된 유기용제는 증발되어 페이스트의 체적을 감소시키면서 페이스트의 충진밀도가 증가되도록 한다.

한편, 도 3에는 이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조과정에서 도포된 페이스트를 건조시키는 장치가 도시되어 있다. 이에 따르면, 쳄버(30)의 내부에는 소정의 작업공간(31)이 형성된다. 상기 쳄버(30)의 일측에는 입구부(32)가 형성되 고, 타측에는 출구부(34)가 형성된다. 상기 쳄버(30)의 내부에는 상기 입구부(32)와 출구부(34)의 사이에서 기판(11,21)을 이송시키는 이송기구(36)가 구비된다.

상기 이송기구(36)의 상부에 해당되는 쳄버(30) 내상부에는 히터(38)가 구비된다. 상기 히터(38)는 기판(11,21)에 도포되어 있는 페이스트를 건조시키는 역할을 한다.

상기 쳄버(30)를 관통하여 상기 작업공간(31)의 상부로는 송풍덕트(42)가 연장된다. 상기 송풍덕트(42)의 끝부분은 상기 작업공간(31)의 내상부에 위치되고, 급기판(44)을 구비한다. 상기 급기판(44)은 상기 기판(11,21)의 전체 면적에 공기가 골고루 전달될 수 있도록 한다. 상기 쳄버(30)로 전달되는 공기를 예열하는 예열기(46)가 상기 쳄버(30)의 외부에 해당되는 송풍덕트(42)에 구비된다. 상기 예열기(46)는 쳄버(30)내부의 온도가 항상 일정한 값으로 유지될 수 있도록 한다.

상기 쳄버(30)의 입구부(32) 근처에는 보조배기덕트(48)가 구비된다. 이는 상기 입구부(32)가 항상 개방되어 있어, 상기 작업공간(31) 내부의 오염된 공기가 건조장치가 설치된 실내를 오염시키는 것을 방지하기 위함이다.

상기 쳄버(30)의 하부에는 상기 작업공간(31)내의 오염된 공기, 즉 페이스트의 건조시 발생된 용제가스를 포함한 공기를 외부로 배출하기 위한 배기덕트(52)가 구비된다. 상기 배기덕트(52)에는 배기팬(54)이 구비되어 배기덕트(52)를 통한 공기의 배출이 원활하게 되도록 한다.

그러나 상기한 바와 같은 종래 기술에 의한 페이스트 건조장치에서는 다음과 같은 문제점이 있다.

먼저, 대화면 디스플레이장치가 개발되면서 상기 기판(11,21)의 면적이 상대적으로 커졌고, 특히 하나의 기판(11,21)을 제작하여 잘라서 여러개의 패널을 제작하는 다면취기법이 일반화되면서 기판(11,21)의 면적은 더욱 넓어졌다. 따라서 상기 기판(11,21)을 이송기구(36)에 의해 천천히 이송시키면서 건조작업을 수행하기 위해서는 상기 쳄버(30)의 크기 역시 커지게 된다. 상기 쳄버(30)의 크기가 커지게 되면 건조장치의 전체 크기가 커지게 되는 문제점이 있다.

그리고, 기판(11,21)을 천천히 이송시키면서 건조작업을 수행하는 경우 상대적으로 히터(38)로부터의 전열효율이 떨어지고, 쳄버(30) 내부의 작업공간(31) 크기가 상대적으로 큰 경우에는, 그 내부 온도를 최적으로 유지하기가 어려운 문제점도 있다.

종래 기술에서는 상기 급기판(44)이 상기 기판(11,21)의 이송경로 상부에 수직하게 배치되고, 배기덕트(52)는 상기 기판(11,21)과 이송기구(36)를 사이에 둔 반대쪽인 쳄버(30)의 하부에 구비된다. 따라서, 급기판(44)에서 배기덕트(52)까지의 공기유로가 상대적으로 길어지고, 상기 급기판(44)을 나온 공기가 상기 배기덕트(52)로 전달되는 과정에서, 상기 기판(11,21)과 이송기구(36)가 공기의 이동을 방해한다. 특히, 대면적 플라즈마 디스플레이 패널의 생산을 위한 기판(11,21)은 그 면적이 그만큼 커서 쳄버(30) 내부의 공기흐름을 방해한다.

이와 같은 건조장치의 구성상, 페이스트의 건조시 발생하는 용제가스의 배기효율이 저하되어 쳄버(30)의 내부에서 용제가스가 재응축되거나, 탈락 또는 재흡착되어 상기 페이스트 막위에 국부적으로 물방울 모양의 얼룩이 발생되어 건조불량이 발생하고, 쳄버(30) 내부에 잔류되는 용제가스의 계속적인 증가는 쳄버(30) 내부를 오염시키는 원인이 되며, 건조되고 있는 페이스트 막에 용제가스가 재흡착되는 건조불량을 유발시켜 제품의 수율이 떨어지는 문제점이 있다.

그리고, 쳄버(30) 내부에서 용제가스가 제대로 배기되지 않음에 의해, 쳄버(30) 내부의 용제가스 압력이 증가하면서, 건조장치가 설치되는 클린룸(Clean room)으로 용제가스가 누설되는 문제점도 발생시킨다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 대면적의 기판을 제조하면서도 상대적으로 소형화된 페이스트 건조장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 보다 신속하게 페이스트 건조를 수행할 수 있는 페이스트 건조장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 페이스트를 건조시키는 쳄버에서 오염된 공기를 보다 효율적으로 배기시키도록 하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 페이스트를 건조시키는 쳄버가 설치되는 클린룸의 오염을 방지하는 것이다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은 내부에 최소환 한장의 기판이 안착될 수 있는 작업공간이 형성되고 외부와 작업공간을 선택적으로 연통하는 입구도어와 출구도어가 구비되며 열원을 구비하여 페 이스트가 도포된 기판을 가열하여 건조하는 히팅쳄버와, 내부에 작업공간이 형성되고 외부와 작업공간을 선택적으로 연통하는 입구도어와 출구도어가 구비되면 냉각수단을 구비하여 상기 히팅쳄버에서 가열된 기판을 전달받아 냉각시키는 쿨링쳄버와, 상기 히팅쳄버와 쿨링쳄버에서 기판에 도포된 페이스트를 건조시키는 것을 제어하는 제어부를 포함하여 구성된다.

상기 히팅쳄버와 쿨링쳄버에는 각각 기판을 이송시키는 이송기구가 구비되고, 상기 히팅쳄버와 쿨링쳄버에는 그 작업공간의 내부에서 공기가 유동되게 하는 급기수단과 배기수단을 각각 구비된다.

상기 히팅쳄버로 공기를 공급하는 급기수단은 기판의 3변과 대응되는 방향에서 공기를 히팅쳄버의 내부로 공급하는데, 상기 공기는 기판의 표면 직상부를 따라 히팅쳄버의 입구도어방향으로 유동된다.

상기 쿨링쳄버의 내부에는 냉각수가 유동되어 작업공간 내부의 온도를 상대적으로 낮추는 냉각수라인이 구비되는데, 상기 냉각수라인은 쿨링쳄버의 천정과 양측면에 대응되는 영역에 구비된다.

상기 히팅쳄버와 쿨링쳄버에서 이루어지는 작업은 기판이 히팅쳄버와 쿨링쳄버의 내부에 정지된 상태에서 수행된다.

상기 열원은 상기 기판의 상면과 하면에 대응되는 위치에 각각 설치되는 것으로, 할로겐램프가 사용된다.

상기 히팅쳄버와 쿨링쳄버 사이에는 연결통로가 구비되어 히팅쳄버에서 쿨링쳄버로 기판을 전달한다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 본 발명은 한장의 기판이 안착될 수 있는 작업공간이 형성된 히팅쳄버의 내부에서 페이스트가 도포된 기판을 가열하고 작업공간이 형성된 쿨링쳄버의 내부에서 가열된 기판을 냉각하는 것에 있어서, 작업분위기가 형성된 상기 작업공간에 기판을 공급하는 단계와, 상기 히팅쳄버의 작업공간내로 전달된 기판을 정지시킨 상태에서 기판의 표면 직상부를 따라 공기가 유동되게 하면서 가열하는 단계와, 상기 히팅쳄버에서 가열되어 상기 쿨링쳄버의 작업공간내로 전달된 기판을 정지시킨 상태에서 기판의 표면 직상부를 따라 공기가 유동되게 하면서 냉각하는 단계를 포함하여 구성된다.

히팅쳄버 내에서 기판을 가열하는 단계에서는 히팅쳄버의 입구도어와 출구도어를 폐쇄하고 기판의 상면과 하면에 대응되는 위치에 구비된 열원에서 열을 공급한다.

상기 히팅쳄버 내를 유동하는 공기는 페이스트에서 발생하는 용제가스를 함유하여 히팅쳄버 외부로 배출되는데, 상기 공기는 기판의 3변에 대응되는 방향으로 공급되고, 나머지 한변 방향으로 배출된다.

이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의하면 페이스트 건조장치가 소형화되고, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조생산성이 높아짐과 동시에 제조수율이 높아지고, 클린룸의 오염이 방지되는 이점이 있다.

이하 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치 및 방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.

도 4에는 본 발명에 의한 페이스트 건조장치의 바람직한 실시예의 구성이 개 략 단면도로 도시되어 있다.

이에 도시된 바에 따르면, 공급이송기구(60)는 이전의 공정을 거친 기판(G)을 이송시키는 것이다. 공급이송기구(60)는 이전의 공정을 위한 장비에서부터 연장된 것일 수 있다. 상기 공급이송기구(60)로는 롤러나 컨베이어 등을 사용할 수 있다.

히팅쳄버(70)는 내부에 소정의 작업공간(71)이 형성된다. 상기 작업공간(71)은 페이스트의 건조가 이루어지는 부분이다. 상기 히팅쳄버(70)의 작업공간(71)은 한장의 기판(G)이 안착될 수 있는 정도의 공간을 가지면 된다. 이는 상기 히팅쳄버(70)의 내부에서 기판(G)이 정지된 상태에서 건조작업이 이루어지기 때문이다.

상기 히팅쳄버(70)의 일측, 즉 상기 공급이송기구(60)와 대응되는 부분에는 입구도어(72)가 구비된다. 상기 입구도어(72)는 상기 작업공간(71)와 외부를 선택적으로 연통시킨다. 즉, 기판(G)을 작업공간(71)의 내부로 이동시킬 경우에 작업공간(71)을 개방하는 것이다. 상기 입구도어(72)의 반대쪽에 해당되는 히팅쳄버(70)의 일측에는 출구도어(74)가 구비된다. 상기 출구도어(74)는 기판(G)을 작업공간(71)의 외부로 이동시킬 경우에 작업공간(71)을 개방하는 것이다.

상기 히팅쳄버(70) 내부의 작업공간(71)에는 상기 입구도어(72)에서 출구도어(74)를 향해 기판(G)을 이송시키는 히팅이송기구(76)가 구비된다. 상기 히팅이송기구(76)는 예를 들면 모터에 의해 구동되는 다수개의 롤러이거나 컨베이어일 수 있다. 물론 이외에도 기판(G)을 이송시킬 수 있는 구성이라면 히팅이송기구(76)는 어떠한 것이라도 채용될 수 있다.

상기 히팅쳄버(70)의 작업공간(71) 하부 및 하부에는 열원(78)이 구비된다. 상기 열원(78)은 페이스트의 건조를 위한 열을 제공한다. 본 발명에서 상기 열원(78)은 기판(G)의 상면과 하면에 대응되는 위치에 각각 구비된다. 이는 히팅쳄버(70)의 작업공간(71)을 보다 신속하게 페이스트 건조를 위한 분위기로 만들기 위함이다. 상기 열원(78)으로는 복사에너지를 발생시키는 할로겐램프를 사용하는 것이 바람직하다.

다음으로, 상기 히팅쳄버(70)의 내부로 공기를 공급하는 구성을 살펴본다. 급기펌프(80)는 공기를 가압하여 주는 것이고, 상기 급기펌프(80)에서 가압된 공기를 이송시키기 위해 급기덕트(82)가 구비된다. 상기 급기덕트(82)는 상기 히팅쳄버(70)의 3면으로 분지되어 연장된다. 즉, 상기 출구도어(74)가 구비되는 쪽과 기판(G)의 이송방향 양측에 대응되는 쪽으로 상기 급기덕트(82)가 분지되어 연장된다. 상기 급기덕트(82)에는 예열기가 구비될 수 있다. 예열기는 상기 히팅쳄버(70)로 공급되는 공기를 일정 이상의 온도로 올려주는 역할을 한다.

상기 급기덕트(82)의 선단은 상기 히팅쳄버(70)의 작업공간(71)내부까지 연장되는데, 이에는 흡기출구부(83)가 구비된다. 상기 흡기출구부(83)는 상기 급기덕트(82)를 통해 전달된 공기를 작업공간(71)의 내부로 배출하는 역할을 한다. 상기 흡기출구부(83)는 상기 기판(G)의 표면 직상부에 해당되는 위치로 공기를 배출한다.

한편, 상기 히팅쳄버(70) 내부에서 공기와 페이스트에서 나온 용제가스를 외부로 배출하기 위한 구성을 설명한다. 배기펌프(86)는 히팅쳄버(70) 내부의 공기를 외부로 배출하기 위한 원동력을 제공한다. 상기 배기펌프(86)에는 배기덕트(88)가 연결된다. 상기 배기덕트(88)는 일단부가 상기 배기펌프(86)에 연결되고 타단부는 상기 히팅쳄버(70) 내부의 작업공간(71)과 연통된다. 상기 배기덕트(88)중 상기 작업공간(71)의 내부에 구비된 부분에는 배기입구부(89)가 구비된다. 상기 배기입구부(89)는 대략 상기 히팅쳄버(70)의 폭에 대응되는 폭을 가져 히팅쳄버(70) 내부의 공기를 보다 원활하게 외부로 배출할 수 있도록 한다.

상기 쿨링쳄버(90)는 상기 히팅쳄버(70)에서 가열되어 고온으로 된 상태의 기판(G)을 신속하게 식혀주는 역할을 한다. 상기 쿨링쳄버(90)의 내부에도 기판(G) 한장이 안착될 수 있는 작업공간(91)이 형성된다. 상기 쿨링쳄버(90)와 히팅쳄버(70)는 연결통로(90')에 의해 연결된다. 즉, 상기 쿨링쳄버(90)의 작업공간(91)과 히팅쳄버(70)의 작업공간(71)은 연결통로(90')에 의해 연결된다.

물론, 상기 히팅쳄버(70)의 작업공간(71)과 연결통로(90')는 히팅쳄버(70)의 출구도어(74)를 통해 선택적으로 연통되고, 상기 쿨링쳄버(90)의 작업공간(91)과 연결통로(90')는 쿨링쳄버(90)의 입구도어(92)에 의해 선택적으로 연통된다. 하지만 상기 히팅쳄버(70)와 쿨링쳄버(90)는 직접 연통될 수도 있다.

상기 입구도어(92)의 반대쪽에 해당되는 상기 쿨링쳄버(90)의 일측에는 출구도어(94)가 구비된다. 상기 출구도어(94)는 쿨링쳄버(90)의 작업공간(91)과 외부를 선택적으로 연통시키는 역할을 한다.

상기 쿨링쳄버(90)의 내부에도 기판(G)의 이송을 위한 쿨링이송기구(96)가 구비된다. 상기 쿨링이송기구(96)는 상기 공급이송기구(60)와 히팅이송기구(76)와 같은 구성을 채용한다. 상기 쿨링이송기구(96)는 기판(G)을 쿨링쳄버(90)내외로 이송시키는 역할을 한다.

상기 쿨링쳄버(90)의 내부에는 냉각수라인(98)이 구비된다. 상기 냉각수라인(98)은 그 내부를 따라 냉각수가 유동된다. 상기 냉각수라인(98)은 상기 쿨링쳄버(90)의 작업공간(91) 내부를 상대적으로 낮은 온도로 유지하여 히팅쳄버(70)에서 가열되어 고온이 된 기판(G)을 신속하게 냉각시키는 역할을 한다. 상기 냉각수라인(98)은 상기 쿨링쳄버(90)의 천정과 양측면에 걸쳐 형성된다.

상기 쿨링쳄버(90)의 내부에도 공기가 유동되면서 페이스트가 보다 신속하게 냉각되도록 한다. 이를 위해 상기 쿨링쳄버(90)의 내부로 공기를 공급하는 구성을 설명한다. 즉, 공기를 가압하는 급기펌프(100)에 급기덕트(102)가 연결된다. 상기 급기덕트(102)의 일단부는 상기 작업공간(91)의 내부와 연통된다. 상기 작업공간(91)에 구비된 급기덕트(102)에는 급기출구부(103)가 연결된다. 상기 급기출구부(103)는 상기 기판(G)의 표면 직상부에 해당되는 위치로 공기를 전달한다.

그리고, 상기 쿨링쳄버(90)의 작업공간(91) 내부에서 외부로 공기를 배출시키기 위한 구성을 살펴본다. 배기펌프(106)가 배기덕트(108)의 일측에 구비되고, 상기 배기덕트(108)는 상기 쿨링쳄버(90)의 작업공간(91)과 연통된다. 상기 배기덕트(108)중 쿨링쳄버(90)의 작업공간(91)에 구비된 부분에는 배기입구부(109)가 구비되어 작업공간(91) 내부의 공기를 배기덕트(108)로 전달하는 역할을 한다.

다음으로, 제어부(110)는 상기 공급이송기구(60), 히팅이송기구(76), 쿨링이송기구(96), 열원(78), 급기펌프(80,100), 배기펌프(88,106) 및 냉각수라인(98)등 의 동작을 제어하는 역할을 한다. 상기 제어부(110)는 페이스트의 건조를 위한 가열과 냉각이 최적으로 조건으로 진행될 수 있도록 하는 역할을 한다. 특히, 상기 제어부(110)는 이송기구(60,76,96)의 동작을 제어하여 기판(G)이 히팅쳄버(70)내에 정지된 상태에서 건조될 수 있도록 한다.

이하 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치 및 방법의 작용을 상세하게 설명한다.

본 발명의 건조장치에서 페이스트의 건조가 수행되기 위해서는 일단 상기 히팅쳄버(70) 및 쿨링쳄버(90)내부의 작업공간(71,91)의 분위기가 작업조건에 맞도록 설정되어야 한다.

작업준비가 되면, 상기 제어부(110)의 제어에 의해 상기 공급이송기구(60)가 동작되면서 기판(G)이 이송된다. 상기 입구도어(72)가 열리고 상기 히팅이송기구(76)도 함께 구동되면서 상기 기판(G)은 상기 작업공간(71)의 내부로 들어간다. 상기 작업공간(71)의 내부로 기판(G)이 완전히 들어가서 정위치에 놓여지면, 상기 히팅이송기구(76)의 동작이 멈춰지고 상기 입구도어(72)도 닫혀진다. 상기 출구도어(74) 역시 닫혀진 상태이다.

다음으로, 상기 열원(78)에서 열이 공급되면서 상기 기판(G)에 도포된 페이스트를 건조하게 된다. 상기 열원(78)에서 열이 공급됨과 동시에 상기 급기펌프(90)를 통해서는 공기가 작업공간(71)의 내부로 공급된다. 즉, 상기 급기덕트(82)에서 상기 급기출구부(83)로 공기가 공급되어 기판(G)의 표면 직상부에서 기판(G)의 표면을 따라 이동하도록 된다. 상기 급기출구부(83)는 히팅쳄버(70)의 입구도어 (72)가 구비되어 있는 쪽을 제외한 기판(G)의 3변 방향에 구비되므로, 히팅쳄버(70)의 내부로 급기출구부(83)를 통해서는, 도 5에 화살표로 도시된 바와 같이, 공기가 공급된다. 참고로 도 5 및 도 6에는 본 발명의 히팅쳄버와 쿨링쳄버에서 기류가 형성되는 것이 화살표로 도시되어 있다.

상기 급기출구부(83)를 통해 공급된 공기는 페이스트의 건조과정에서 나온 용제가스와 함께 상기 배기입구부(89)로 전달된다. 즉, 상기 배기펌프(86)의 흡입력에 의해 공기와 용제가스가 배기입구부(89)로 흡입되어, 상기 배기덕트(88)를 통해 배기펌프(86)로 전달된다.

상기 히팅쳄버(70)에서의 공정이 끝나면, 상기 히팅이송기구(76)가 동작되어, 기판(G)이 상기 쿨링쳄버(90)로 전달된다. 즉, 상기 히팅쳄버(70)의 출구도어(74)가 개방되고 상기 기판(G)은 상기 히팅이송기구(76)에 의해 이송되어 상기 연결통로(90')를 통해 상기 쿨링쳄버(90)로 전달된다.

상기 쿨링쳄버(90)로는 상기 입구도어(92)가 개방된 상태에서 기판(G)이 전달되고, 상기 쿨링이송기구(96)에 의해 기판(G)이 정위치로 정지되면, 상기 작업공간(91)의 내부에서 기판(G)의 냉각이 이루어진다. 즉, 상기 냉각수라인(98)을 통해 냉각수가 유동되면서 작업공간(91) 내부의 온도를 일정 이하로 유지하고, 상기 급기펌프(100)에 의해 급기출구부(103)를 통해 작업공간(91)의 내부로 공기가 공급되어 기판(G) 표면 직상부를 따라 이동하면서 냉각을 수행한다.

상기 쿨링쳄버(90)로 전달된 공기는 작업공간(91)을 따라 유동되어 상기 배기입구부(109)를 통해 배기펌프(106)의 흡입력에 의해 흡입되어 쿨링쳄버(90)의 외 부로 배출된다. 상기 쿨링쳄버(90)내에서의 냉각작업이 완료되면, 상기 쿨링이송기구(96)가 구동되어 상기 쿨링쳄버(90)의 출구도어(94)를 통해 기판(G)이 쿨링쳄버(90)의 외부로 배출된다. 상기 쿨링쳄버(90)의 외부로 배출된 기판(G)은 이후의 공정으로 전달된다.

한편, 쿨링쳄버(90)에서 기판(G)의 냉각작업이 수행되는 동안에 상기 히팅쳄버(70)에도 기판(G)이 공급되어 건조공정이 이루어지게 된다. 즉, 히팅쳄버(70)와 쿨링쳄버(90)에 기판(G)이 각각 한장씩 놓여진 상태에서 동시에 작업이 진행된다.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.

예를 들면, 본 발명 실시예에서는 본 발명의 건조장치가 플라즈마 디스플레이 패널에 도포된 페이스트를 건조시키는 것으로 설명되었으나, 반드시 플라즈마 디스플레이 패널의 경우에 한정되는 것은 아니며, 다양한 물질의 건조에 본 발명이 사용될 수 있다.

위에서 상세히 설명한 바와 같은 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치 및 방법에서는 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

먼저, 본 발명에서는 히팅쳄버와 쿨링쳄버에 각각 한장의 기판을 넣어 정지시킨 상태에서 작업을 진행하므로 히팅쳄버와 쿨링쳄버의 크기가 기판 한장을 수납할 수 있는 정도의 크기로 구성될 수 있다. 따라서, 전체적으로 장비의 구성이 소 형화될 수 있는 효과가 있다.

그리고, 본 발명에서는 히팅쳄버와 쿨링쳄버에 각각 입구도어와 출구도어를 두어 내부의 작업공간이 외부로 차단된 상태에서 건조가 이루어지므로 상대적으로 신속하게 작업이 수행되어 생산성을 높일 수 있는 효과가 있다.

본 발명은 기판의 3변 방향에서 기판의 표면 직상부로 공기가 전달되어 기판에서 생성된 용제가스와 함께 배기입구부로 전달되어 외부로 배출될 수 있도록 구성되었다. 따라서, 히팅쳄버 내부에서 발생되는 오염된 공기를 효율적으로 배기시킬 수 있어, 용제가스가 응축되어 용제가 낙하되면서 기판을 손상시키는 것 등을 해소할 수 있다.

본 발명에서는 또한 히팅쳄버와 아울러 쿨링쳄버를 두고 있어 히팅쳄버에서 가열되었던 기판이 쿨링쳄버에서 신속하게 냉각되어 이후의 공정으로 전달될 수 있어 보다 신속하게 기판제조를 수행할 수 있게 되는 효과도 있다.

Claims (10)

1. 내부에 최소환 한장의 기판이 안착될 수 있는 작업공간이 형성되고 외부와 작업공간을 선택적으로 연통하는 입구도어와 출구도어가 구비되며 열원을 구비하여 페이스트가 도포된 기판을 가열하여 건조하는 히팅쳄버와,

   내부에 작업공간이 형성되고 외부와 작업공간을 선택적으로 연통하는 입구도어와 출구도어가 구비되면 냉각수단을 구비하여 상기 히팅쳄버에서 가열된 기판을 전달받아 냉각시키는 쿨링쳄버와,

   상기 히팅쳄버와 쿨링쳄버에서 기판에 도포된 페이스트를 건조시키는 것을 제어하는 제어부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 히팅쳄버와 쿨링쳄버에는 각각 기판을 이송시키는 이송기구가 구비되고, 상기 히팅쳄버와 쿨링쳄버에는 그 작업공간의 내부에서 공기가 유동되게 하는 급기수단과 배기수단을 각각 구비함을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 히팅쳄버로 공기를 공급하는 급기수단은 기판의 3변과 대응되는 방향에서 공기를 히팅쳄버의 내부로 공급하는데, 상기 공기는 기판의 표면 직상부를 따라 히팅쳄버의 입구도어방향으로 유동됨을 특징으로 하는 플라즈 마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.
4. 제 2 항에 있어서, 상기 쿨링쳄버의 내부에는 냉각수가 유동되어 작업공간 내부의 온도를 상대적으로 낮추는 냉각수라인이 구비되는데, 상기 냉각수라인은 쿨링쳄버의 천정과 양측면에 대응되는 영역에 구비됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.
5. 제 1 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 히팅쳄버와 쿨링쳄버에서 이루어지는 작업은 기판이 히팅쳄버와 쿨링쳄버의 내부에 정지된 상태에서 수행됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 열원은 상기 기판의 상면과 하면에 대응되는 위치에 각각 설치되는 것으로, 할로겐램프가 사용됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 히팅쳄버와 쿨링쳄버 사이에는 연결통로가 구비되어 히팅쳄버에서 쿨링쳄버로 기판을 전달함을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조장치.
8. 한장의 기판이 안착될 수 있는 작업공간이 형성된 히팅쳄버의 내부에서 페이 스트가 도포된 기판을 가열하고 작업공간이 형성된 쿨링쳄버의 내부에서 가열된 기판을 냉각하는 것에 있어서,

   작업분위기가 형성된 상기 작업공간에 기판을 공급하는 단계와,

   상기 히팅쳄버의 작업공간내로 전달된 기판을 정지시킨 상태에서 기판의 표면 직상부를 따라 공기가 유동되게 하면서 가열하는 단계와,

   상기 히팅쳄버에서 가열되어 상기 쿨링쳄버의 작업공간내로 전달된 기판을 정지시킨 상태에서 기판의 표면 직상부를 따라 공기가 유동되게 하면서 냉각하는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조방법.
9. 제 8 항에 있어서, 히팅쳄버 내에서 기판을 가열하는 단계에서는 히팅쳄버의 입구도어와 출구도어를 폐쇄하고 기판의 상면과 하면에 대응되는 위치에 구비된 열원에서 열을 공급함을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조방법.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 히팅쳄버 내를 유동하는 공기는 페이스트에서 발생하는 용제가스를 함유하여 히팅쳄버 외부로 배출되는데, 상기 공기는 기판의 3변에 대응되는 방향으로 공급되고, 나머지 한변 방향으로 배출됨을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트 건조방법.

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