KR100755608B1 - 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법 - Google Patents

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오용수
장재혁
이홍렬
길재형
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Abstract

마이크로 유로 내에 촉매를 충전하는 방법 및 개질기가 제공된다.
본 발명은 물을 이용하여 유로 내에 촉매를 충전하는 단계; 상기 유로 내의 촉매에 일 방향의 압력을 가하여 고밀도로 충전하는 단계;및 상기 유로 내의 촉매를 건조하는 단계;를 포함하여 유로 내에 촉매를 충전하는 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법 및 이를 이용한 개질 기를 제공한다.
본 발명에 의하면, 개질 부의 마이크로 유로 내에 입자형의 촉매를 균일하게 고 밀도로 충전할 수 있음으로써 연료와 촉매 입자의 반응 표 면적을 크게 하여 고 효율의 개질 효과를 얻을 수 있다.
개질 기, 마이크로 유로, 촉매, 촉매 충전방법, 고 밀도 충전

Description

마이크로 유로 내의 촉매 충전방법{Method For Filling Catalysts In Micro-channels}
제 1도는 종래의 기술에 따른 박형 개질 기를 도시한 단면도.
제 2도의 a) 내지 h)는 종래의 기술에 따른 박형 개질 기에 촉매 층을 코팅하는 단계들을 순서에 따라 도시한 공정 흐름도.
삭제
제 4도는 본 발명에 따른 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법에 의해 제작된 개질 기를 도시한 분해 사시도.
제 5도의 a) 내지 h)는 본 발명에 따른 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법의 단계들을 순서에 따라 도시한 공정 흐름도.
제 6도는 본 발명에 따른 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법에 의해서 촉매가 충전된 개질 기를 도시한 구성도로서,
a) 촉매 충전 전의 개질 기를 도시한 평면도,
b) 평행형 유로를 갖는 개질 기에 촉매가 충전된 상태를 도시한 평면도,
c) 사형 유로를 갖는 개질 기에 촉매가 충전된 상태를 도시한 평면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1.... 본 발명이 적용되는 개질 기
10.... 기판 20.... 연료 도입부
30.... 증발 부 36.... 가열 수단
40.... 개질 부 42.... 유로
46.... 입자형 촉매 50.... 촉매필터
100.... 커버 110... 연료 도입 구
120.... 수소 배출구 130... 촉매 주입구
350.... 종래의 소형 개질 장치 352.... 증발 실
354.... 공동 356.... 히터
358.... 연료 분사 수단 360.... 연료와 물의 혼합액
362.... 마이크로 유로 364.... 개질 촉매
400.... 실리콘 웨이퍼 402.... 박막 히터
404.... 전극 층 406.... 절연막
410.... 유로 412.... 촉매 층
414.... 포토 레지스트(dry-film photoresist)
420.... 파이렉스(pyrex) 유리 기판 440.... 개질 기
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본 발명은 개질 기의 마이크로 유로 내에 촉매를 충전하는 방법과 이를 이용하여 제작된 개질 기에 관한 것으로, 보다 상세히는 연료 개질 용 촉매를 물과 중력을 이용하여 마이크로 유로의 내부에 효과적으로 균일하고 조밀하게 충전시킴으로써 개질 효과를 높이고, 고 효율의 개질 효과를 얻으며, 소형으로 구성할 수 있음으로써 연료 전지의 소형화를 이룰 수 있도록 개선된 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법과 이를 이용하여 제작된 개질 기에 관한 것이다.
최근 휴대폰, PDA, 디지털 카메라, 노트 북 PC 등 휴대용 소형 전자기기의 사용이 증가하고 있으며, 특히 휴대폰용 DMB 방송이 시작되면서 휴대용 소형 단말기에서 전원 성능의 향상이 요구되고 있다. 현재 일반적으로 사용되고 있는 리튬 이온 2차 전지는 그 용량이 DMB 방송을 2시간 시청할 수 있는 수준이며, 성능 향상이 진행되고 있기는 하지만, 보다 근본적인 해결방안으로서 소형 연료전지에 대한 기대가 커지고 있다.
이러한 소형 연료전지를 구현할 수 있는 방식으로서는 연료 극에 메탄올을 직접 공급하는 직접메탄올(Direct Methanol) 방식과, 메탄올로부터 수소를 추출하여 연료 극에 주입하는 RHFC(Reformed Hydrogen Fuel Cell) 방식이 있으며, RHFC 방식은 PEM(Polymer Electrode Membrane) 방식과 같이 수소를 연료로 사용하고 있 다. 따라서 고 출력 화, 단위 체적당 구현 가능한 전력용량, 그리고 물 이외의 반응물이 없는 점에서 장점이 있으나 시스템에 개질 기(Reformer)가 추가되어야 하므로 소형화에 불리한 단점 또한 지니고 있다.
이와 같이 연료 전지가 높은 전원 출력밀도를 얻기 위해서는 연료 기체를 수소가스 등의 기체 연료로 만들어주기 위한 개질 기(Reformer)가 필수적으로 사용된다. 이러한 개질 기는 메탄올 수용액을 기화시키는 증발 부와, 250℃ 내지 290℃ 의 온도에서 촉매반응을 통해 연료인 메탄올을 수소로 전환시키는 개질 부들을 포함하고 있다.
이와 같은 개질 기는 개질 부에서는 흡열 반응이 진행되며, 그 부분의 온도를 250℃ 내지 290℃ 사이로 유지시켜주어야 반응효율이 양호하게 이루어진다.
종래의 개질 기로는 도 1에 도시된 바와 같은 일본 특개평 2003-048701호의 개질 장치(350)가 있다. 이러한 종래의 소형 개질 장치(350)는 도 1에 도시된 바와 같이, 증발 실(352)에 공동(354)이 마련되어 있고，이 공동(354)에 증발용 히터(356)가 마련되어 있다．그리고 상기 공동(354)에는 연료 분사 수단(358)이 구비되어 있고，이 연료 분사 수단(358)은 연료인 메틸 알코올과 물의 혼합액(360)을 상기 공동(354)으로 분사한다. 이와 같이 분사된 연료 혼합액(360)은 증발용 히터(356)에 의해서 가열되고 증발하는 것이다．
상기와 같이 혼합액(360)이 기화하여 이루어진 가스는 마이크로 유로(362) 내로 흐르고，마이크로 유로(362) 내에 코팅된 개질 촉매(364)에 의해서 수소와 이산화탄소로 개질 된다． 이와 같은 개질 기(350)는 이와 같은 마이크로 유로(362) 내에 개질 촉매(364)를 코팅으로 형성하는 것이다.
도 2에는 상기와 같은 개질 기의 마이크로 유로 내에 개질 촉매를 코팅하기 위한 공정이 도시되어 있다.
삭제
이와 같은 공정은 그 대표적인 방식으로 딥-코팅법(Dip-coating)이 있는 데, 이 방법은 먼저, 도 2a)에 도시된 바와 같이, 박막 히터(402)와 전극 층(404)을 형성하기 위하여 히터용으로 Ta-Si-O-N를 형성하고, 전극용으로 Au를 스퍼터링 함으로써 이들 층을 실리콘 웨이퍼(400) 상에 형성한다.
그리고, 도 2b)에 도시된 바와 같이, 포토리소그래피법(photolithography)에 의해 상기 박막 히터(402)와 전극 층(404)에 패턴을 각각 형성시킨다. 그 다음 절연막(406)을 도 2c)에 도시된 바와 같이 형성시키고, 포토 레지스터를 실리콘 웨이퍼(400)의 반대편에 포토리소그래피법에 의해 형성시킨다.
또한 도 2d)에 도시된 바와 같이, 샌드 블라스팅(sand-blasting)을 통해 상기 실리콘 웨이퍼(400)의 배면에 유로(410)를 형성하고, 이들 실리콘 웨이퍼(400)를 도 2e)에 도시된 바와 같이, 몇 조각으로 절단한다.
그 다음, 도 2f)에 도시된 바와 같이 상기 유로(410)에 Cu/ZnO/Al2O3 촉매 층(412)을 코팅시킨다. 이 과정에서 상기 유로(410) 내의 선택적인 촉매 코팅을 위해 유로(410)를 제외한 부분에 포토 레지스트(dry-film photoresist)(414)를 올린다. 그리고 딥-코팅법을 이용하여 상기 유로에 Al2O3 보마이트(Boehmite) 층을 형성시킨다. 이는 상기 촉매와 유로 벽의 접착력을 증가시키기 위한 작업이다.
그리고 Al2O3 보마이트(Boehmite) 층을 100℃에서 건조시킨 후에 2차적으로 Cu/ZnO/Al2O3 촉매(412) 층을 역시 딥-코팅법으로 도 2g)와 같이 형성한다. 상기와 같이 코팅이 완료된 다음에는, 파이렉스(pyrex) 유리 기판(420)과 접합(anodic bonding) 시킴으로써 도 2h)와 같이 개질 기(440)를 완성한다.
그렇지만 상기와 같은 종래의 개질 기(350)(440)들은 연료 기체를 개질시키는 과정에서 비효율적인 문제점을 갖는다. 그 이유는 연료 기체가 개질 부의 유로(362),(410)를 통과하는 과정에서 개질 작용이 이루어지지만, 상기와 같은 종래의 개질 기(350)(440)에서는 연료 기체가 제한된 면적의 촉매 층(364),(412)과 반응하게 되고, 그에 따라서 연료 기체의 수소로의 전환율이 낮아지기 때문이다.
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본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 그 목적은 개질 부의 마이크로 유로 내에 입자형의 촉매를 균일하게 고 밀도로 충전할 수 있음으로써 연료와 촉매 입자의 반응 표 면적을 크게 하여 고 효율의 개질 효과를 얻을 수 있는 개질 기 마이크로 유로 내의 촉매 충전 방법 및 이를 이용하여 제작된 개질 기를 제공함에 있다.
그리고 본 발명은 고밀도로 충전되어 향상된 개질 효과를 얻을 수 있음으로써 연료 전지의 소형화를 이루고 전원 출력 밀도를 높일 수 있는 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법 및 이를 이용하여 제작된 개질 기를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 연료 전지용 개질 기의 내부에 촉매를 충전하는 방법에 있어서,
상기 개질 기의 유로 내에 물을 충전하고, 그 상태에서 상기 유로 내로 촉매를 포함하는 물을 주입하여 유로 내에 촉매를 충전하는 단계;
상기 유로 내에 촉매를 포함하는 물을 주입한 상태에서 개질 기를 기울여서 중력을 이용하여 상기 유로 내에 촉매를 고밀도로 충전하는 단계;및
상기 유로 내의 촉매를 건조하는 단계;를 포함하여 유로 내에 촉매를 충전하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법을 제공한다.
삭제
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그리고 본 발명은 바람직하게 상기 고밀도로 충전하는 단계는 상기 개질 기 유로 내에 촉매를 포함하는 물을 주입한 상태에서 개질 기를 기울여서 중력을 이용하여 충전하고, 상기 개질 기 유로 내에 촉매를 포함하는 물을 보충한 다음, 개질 기를 기울이는 과정을 반복하여 충전하는 것임을 특징으로 하는 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법을 제공한다.
또한 본 발명은 바람직하게 상기 유로 내의 촉매를 건조한 다음, 상기 촉매 주입구를 기판 재료와 동일한 재료로 폐쇄시키는 단계를 추가 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법을 제공한다.
삭제
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이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하 기로 한다.
본 발명에 따른 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법은 개질 기(1)의 마이크로 유로(42) 내에 입자형의 촉매(46)를 균일하게 고 밀도로 충전할 수 있는 것이다.
본 발명에 따른 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법이 적용되는 개질 기(1)의 일 예가 도 4에 도시되어 있다.
이와 같은 개질 기(1)는 단지 본 발명이 적용되는 것의 일 예일 뿐이며, 본 발명이 이와 같은 개질 기(1)만으로 한정되는 것이 아니다.
본 발명이 적용되는 개질 기(1)는 내부에 유로(42)를 형성한 기판(10)을 구비한다. 상기 기판(10)은 실리콘, 금속, 글라스, 세라믹 및 내열 플라스틱 등을 사용할 수 있으며, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 공정을 이용하여 내부에는 기판(10)의 일면에 오목한 유로(42)들과 격벽들이 다양한 형태로 형성되어 있다.
따라서 상기 기판(10)의 일 측면에 형성된 오목한 유로(42)에는 연료 도입부(20)와 증발 부(30) 및 개질 부(40)가 배치되는 것이다.
상기 기판(10)의 일측으로는 유로(42) 내에 연료를 유입시키는 연료 도입부(20)가 형성되어 액체 연료를 공급하는 것이다. 그리고 상기 연료 도입부(20)에 연이어서 액체 연료를 가열시켜 기체상태로 기화시키는 증발 부(30)가 형성된다. 상기 증발 부(30)는 액체 상태의 연료를 기화시켜 개질 반응이 양호하게 이루어지도록 하는 것으로서, 상기 연료 도입부(20)에 연이어 위치한다.
상기 증발 부(30)는 열원으로서 가열 수단(36)을 구비하는바, 상기 가열 수단(36)은 기판(10)의 하부 면에 전기적 저항 회로가 패턴으로 형성되어 상기 기판(10)을 통하여 그 상부 측의 증발 부(30)를 가열시킨다.
또한 본 발명은 상기 증발 부(30)의 후류 측에 상기 기판(10) 내에서 연료가 통과하는 유로(42)를 형성하고 흡열 반응을 통하여 연료를 수소 가스로 개질시키는 개질 부(40)가 형성된다. 상기 개질 부(40)는 그 유로(42) 내에 연료 기체를 수소 기체로 개질시키는 입자형 촉매(46)가 충전된 구조이다.
상기 개질 부(40)에서는 연료를 촉매반응에 의해 수소가 풍부한 개질 가스로 전환하게 되며, 상기 개질 부(40)의 입자형 촉매(46)로서는 Cu/ZnO 또는 Cu/ZnO/Al2O3가 사용되며, 상기 촉매(46)는 유로(42) 내에 형성된 촉매필터(50) 들에 의해서 개질 부(40) 내의 공간에 유지된다. 상기 촉매필터(50)는 바람직하게는 유로(42)의 입구 측과 출구 측에 형성될 수 있다.
그리고 본 발명은 상기 기판(10)의 유로(42)를 덮는 커버(100)를 구비한다. 상기 커버(100)는 기판(10)과 동일한 재료 또는 파이렉스(pyrex) 유리로 이루어지는 것으로서, 기판(10)에 접합(anodic bonding) 되어 상기 증발 부(30)와 개질 부(40)들을 내부에 형성한다.
본 발명에 따른 연료 전지용 개질 기는 도 4에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 촉매 주입구(130)를 포함하는 것이다.
그리고 상기 촉매 주입구(130)는 개질 부(40)에 형성된 것이다.
본 발명에 따른 연료 전지용 개질 기는 커버(100)에 연료 도입부(20) 측으로 액체 연료를 제공하기 위한 연료 도입 구(110)가 형성되고, 연료 기체가 개질 처리되어 발생한 수소를 외부로 배출하기 위한 수소 배출구(120)를 구비하며, 상기 개질 부(40)의 내부에 입자형의 개질 촉매(46)들을 충전하기 위한 촉매 주입구(130)를 형성한다.
이와 같은 개질 기(1)에 대하여 본 발명에 따른 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법은 먼저 물을 이용하여 유로(42) 내에 촉매(46)를 충전하는 단계가 이루어진다.
이는 도 5a)에 도시된 바와 같이, 개질 기(1)를 수조(미 도시)에 넣어서 내부 유로(42)에 물을 채운다. 이와 같은 경우 물은 물 주입구를 통하여 개질 기(1)의 내부 유로(42)로 유입될 수 있으며, 상기 물 주입구는 촉매 주입구(130), 연료 도입 구(110) 또는 수소 배출구(120) 중의 어느 하나로 이루어질 수 있다.
본 발명에 따른 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법은 촉매(46)를 충전하는 단계에서 촉매 주입구(130)를 통하여 상기 개질 기(1)의 내부로 촉매(46)를 충전하게 되는 데, 이때에는 도 5b)에 도시된 바와 같이 상기 개질 기(1)의 유로(42) 내로 촉매(46)와 물의 혼합액을 주사기(140) 등을 이용하여 주입하는 것이다.
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상기 유로(42) 내에 물을 충전하는 이유는 상기 유로(42)로부터 공기를 제거하기 위함이며, 만일 유로(42) 내에 공기가 존재하면 촉매(46)의 조밀한 충전은 불가능하게 된다.
상기와 같이 물을 충전한 다음에는 상기 촉매(46)와 물의 혼합액이 촉매 주입구(130)를 통하여 개질 기(1)의 유로(42) 내부로 주입되고, 일정한 량이 주입된 다음에는 상기 유로(42) 내의 촉매(46)에 일 방향의 압력을 가하여 고밀도로 충전하는 단계가 이루어진다.
이와 같은 경우, 상기 개질 기(1)의 내부에 고밀도로 촉매(46)를 충전하기 위하여 상기 개질 기 유로(42) 내에 촉매(46)와 물의 혼합액을 일정량 주입한 상태에서 개질 기(1)를 일정 각도(θ)로 기울여서 중력을 이용하여 충전하게 된다.
이와 같이 수조 내에서 개질 기(1)를 기울이게 되면, 촉매(46)의 비중이 물의 비중보다 큰 것이기 때문에, 촉매(46)는 기울어진 개질 기의 유로(42) 내에서 침전하여, 도 5c)에 도시된 바와 같이, 개질 기(1)의 한쪽 부분을 고밀도로 채운다. 이와 같은 경우, 촉매(46)들은 물과의 상호작용에 의해서 그 각진 외면이 서로 크게 마찰하지 않고, 차례로 침전하여 차례차례 고밀도로 충전되며, 그 사이에 에어 포켓과 같이 촉매(46)가 빈 상태의 공간을 형성하지 않는다. 이와 같은 과정에서 상기 촉매(46)의 보다 균일한 충전을 위하여 상기 개질 기(1)에는 외부로부터 상기 개질 기를 살짝 두드려 주는 충격을 가하거나 또는 진동을 가하는 등의 외력이 가해질 수 있다.
이와 같은 충격력 또는 진동 등의 외력은 개질 기의 유로(42) 내에서 촉매(46) 입자들에 대해 더욱더 일 방향으로 충전되도록 하는 작용력을 제공하여 더욱 고밀도로 충전 가능한 것이다.
그리고 이와 같이 1차적으로 개질 기(1)의 유로(42) 내에 촉매(46)를 충전한 다음에는 상기 개질 기 유로(42) 내에 촉매(46)와 물의 혼합액을 추가적으로 주입하고, 도 5d) 및 도 5e)에 도시된 바와 같이, 개질 기(1)를 기울이는 과정을 반복하여 내부 유로(42)를 다수 회에 걸쳐 충전하는 것이다. 상기와 같이 촉매(46)를 충전한 다음에는 상기 촉매(46)를 유로(42) 내에서 건조시키는 단계가 이루어진다.
상기 유로(42) 내에서 촉매(46)를 건조하는 단계는 상기 개질 기를 수조로부터 꺼낸 상태에서 상기 개질 기(1)를 기울여서 그 상태로 건조시키거나, 고온의 건조 판(Hot Plate) 상에서 열을 가하여 수분을 제거시킬 수 있는 것이다.
또한 본 발명은 상기와 같이 유로(42) 내의 촉매(46)를 건조한 다음, 최종적으로 상기 촉매 주입구(130)를 커버 재료와 동일한 재료로 폐쇄시키는 단계를 포함하는 것이다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법은 물을 이용하여 유로(42) 내에 촉매(46)를 충전하기 때문에 유로(42) 내에서 촉매(46) 입자들 상호간의 마찰이 최소화된다. 따라서 개질 기(1)의 유로(42) 내에는 촉매(46)가 위치하지 않고 빈 상태의 에어 포켓 등이 형성되지 않으며 차례차례 유로(42) 내에서 침전되어 고밀도로 충전되는 것이다.
또한 이와 같은 과정에서 개질 기(1)에 충격력 또는 진동 등의 외력을 가하게 되면, 개질 기의 유로(42) 내에서 촉매(46) 입자들에 대해 더욱더 일 방향으로 힘이 가해지게 되어 더욱더 고밀도로 충전 가능한 것이다.
그리고, 상기와 같이 개질 기 유로(42) 내에 촉매(46)와 물의 혼합액을 주입한 상태에서 중력을 이용하여 충전하고, 상기 개질 기 유로(42) 내에 촉매(46)와 물의 혼합액을 추가로 주입한 다음, 개질 기(1)를 기울이는 과정을 반복하여 충전하게 되면 자연스럽게 상기 개질 기의 유로(42) 내에는 에어 포켓과 같은 빈 공간 없이 고밀도로 촉매(46) 충전이 이루어지는 것이다.
또한 본 발명은 상기 유로(42) 내의 촉매(46)를 건조한 다음, 상기 촉매 주 입구(130)를 기판 또는 커버 재료와 동일한 재료로 폐쇄시켜 개질 기를 완성하는 것이다.
도 6에는 본 발명에 의해서 제작된 개질 기(1)가 도시되어 있다.
도 6a)는 촉매(46) 입자가 충전되지 않은 상태의 개질 기(1)가 도시되어 있다.
이와 같은 개질 기(1)는 도 6b)에 도시된 바와 같이, 양측이 트인 다수의 평행 구조의 유로(42) 내에 촉매(46)가 충전될 수 있으며, 도 6c)에 도시된 바와 같이 사형(serpentine) 구조의 유로(42) 내에 촉매(46)가 충전가능한 것이다.
이와 같은 구조에서 개질 부(40)에 형성되었던 촉매 주입구(130)는 촉매 충전 후 폐쇄된 것이었다.
이와 같이 본 발명은 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법을 통하여 개질 기(1) 내의 유로(42) 폭이 500㎛일 경우에도 조밀하게 충전할 수 있었다.
이와 같이 본 발명은 촉매(46)를 유로(42) 내에 조밀하게 충전할 수 있음으로써 그로 인해 연료와 촉매(46)와의 반응 표면적을 크게 증가시킬 수 있는 것이다. 또한 이와 같이 조밀하게 충전할 수 있음으로써 종래의 개질 기(1)보다 비교적 낮은 작동 온도인 150℃~200℃에서 고효율의 개질 효과를 얻을 수 있으며, 핸드폰과 같은 소형 전자 기기에 적합하게 사용가능한 것이다.
상기와 같이 본 발명에 의하면, 개질 부의 마이크로 유로 내에 입자형의 촉매를 균일하게 고 밀도로 충전할 수 있음으로써 연료와 촉매 입자의 반응 표 면적 을 크게 하여 고 효율의 개질 효과를 얻을 수 있다.
그리고 본 발명은 개질 기의 유로 내에 촉매가 에어 포켓 없이 고밀도로 충전되어 향상된 개질 효과를 얻을 수 있음으로써 연료 전지의 소형화를 더욱 이룰 수 있고 전원 출력 밀도를 더욱 높일 수 있는 효과가 얻어지는 것이다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시 예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 이는 단지 예시적으로 본 발명을 설명하기 위하여 기재된 것이며, 본 발명을 이와 같은 특정 구조로 제한하려는 것은 아니다. 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.

Claims (6)

  1. 연료 전지용 개질 기의 내부에 촉매를 충전하는 방법에 있어서,
    상기 개질 기의 유로 내에 물을 충전하고, 그 상태에서 상기 유로 내로 촉매를 포함하는 물을 주입하여 유로 내에 촉매를 충전하는 단계;
    상기 유로 내에 촉매를 포함하는 물을 주입한 상태에서 개질 기를 기울여서 중력을 이용하여 상기 유로 내에 촉매를 고밀도로 충전하는 단계;및
    상기 유로 내의 촉매를 건조하는 단계;를 포함하여 유로 내에 촉매를 충전하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 고밀도로 충전하는 단계는 상기 개질 기 유로 내에 촉매를 포함하는 물을 주입한 상태에서 개질 기를 기울여서 중력을 이용하여 충전하고, 상기 개질 기 유로 내에 촉매를 포함하는 물을 보충한 다음, 개질 기를 기울이는 과정을 반복하여 충전하는 것임을 특징으로 하는 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 유로 내의 촉매를 건조한 다음, 상기 촉매 주입구를 기판 또는 커버 재료와 동일한 재료로 폐쇄시키는 단계를 추가 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유로 내의 촉매 충전방법.
  6. 삭제
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