KR100752216B1 - 쉐도우 마스크 및 이의 제조 방법, 이를 이용한 유기 전계발광 소자의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 상부에 제 1 열팽창율을 갖는 제 1 금속층과, 상기 제 1 금속층 하부에 상기 제 1 열팽창율보다 작은 제 2 열팽창율을 갖는 제 2 금속층으로 적층되어 이루어지고,상기 제 1, 제 2 금속층의 동일 부위에 규칙적인 간격으로 이격된 복수개의 개구부를 구비하며,피증착 기판에 대하여, 상기 제 1 금속층이 대응되는 것을 특징으로 하는 쉐도우 마스크.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1, 제 2 금속층은 전기 주조(electro-forming) 방식으로 형성된 것을 특징으로 하는 쉐도우 마스크.
- 삭제
- 원판 상에, 소정의 개구부를 갖도록 제 1 열팽창율의 금속 물질을 전기 주조하여, 제 1 제 1 금속층을 형성하는 단계;상기 제 1 금속층 상에 동일한 개구부를 갖도록 상기 제 1 열팽창율보다 작은 제 2 열팽창율의 금속 물질을 전기 주조하여 제 2 금속층을 형성하는 단계; 및상기 원판으로부터 상기 제 1, 제 2 금속층을 분리하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 쉐도우 마스크의 제조 방법.
- 서로 다른 열 팽창율을 갖는 이중 금속층이 적층되며, 규칙적인 간격으로 이격된 복수개의 개구부를 구비한 쉐도우 마스크를 준비하는 단계;상기 이중 금속층의 쉐도우 마스크를, 상대적으로 열 팽창율이 큰 금속층이 상부에 놓이도록 하여, 기판 하측에 배치시키는 단계; 및상기 쉐도우 마스크 하측에서 유기 발광 물질 공급원으로부터 상기 개구부를 통해 유기 발광 물질층을 공급하여 유기 발광층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 형성 방법.
- 제 5항에 있어서,상기 이중 금속층은 각각 전기 주조(electro-forming) 방식으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 형성 방법.
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