KR100749006B1 - Apparatus for a dust inspection - Google Patents

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KR100749006B1
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sensor
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김주환
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주식회사 힘스
김주환
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Abstract

A dust inspecting apparatus is provided to inspect fine dust or scratch existing on a wafer by using a camera module, a lens module and an illumination module. A camera module(20) is movably installed on a vertical frame(10), and is equipped with a sensor automatically focusing an object(1) to be inspected. A lens module(30) is mounted on a lower end of the camera module to magnify or reduce a portion of the object. Plural illumination modules(50) are positioned adjacent to the lens module. A zoom sensor(50) is positioned on one side of the lens module to allow the lens module to automatically change magnification thereof. A rotating motor and an angle restricting sensor are provided on one side of the illumination module.

Description

더스트 검사장치{Apparatus for a dust inspection}Dust inspection device {Apparatus for a dust inspection}

도 1은 본 발명에 의한 일실시예를 도시한 측면도1 is a side view showing an embodiment according to the present invention

도 2는 본 발명에 의한 일실시예를 도시한 정면도Figure 2 is a front view showing an embodiment according to the present invention

도 3은 본 발명에 의한 일실시예를 도시한 평면도Figure 3 is a plan view showing an embodiment according to the present invention

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

15 : 광원 20 : 카메라모듈15: light source 20: camera module

21 : 이동모터 30 : 렌즈모듈21: moving motor 30: lens module

31 : 줌모터 32 : 줌센서31: zoom motor 32: zoom sensor

50 : 조명모듈 51 : 풀리50: lighting module 51: pulley

53 : 광조사부 54 : 반사부53: light irradiation unit 54: reflection unit

55 : 회전모터 57 : 각도제한센서55: rotation motor 57: angle limit sensor

본 발명은 더스트 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 피검사물의 표면에 존재하는 미세한 더스트 또는 스크래치 등을 자동화된 장치를 통하여 편리하게 검사할 수 있는 더스트 검사장치에 관한 것이다. The present invention relates to a dust inspection apparatus, and more particularly, to a dust inspection apparatus that can conveniently inspect the fine dust or scratches, etc. present on the surface of the inspection object through an automated device.

종래에는 레티클(reticle)이나 포토마스크 등의 회로 패턴과 같은 웨이퍼 (wafer) 상에 존재하는 더스트나 스크래치를 검사하기 위해서 특별한 장치가 없이 육안으로 검사하거나 혹은 광학현미경과 같은 것을 이용하여 더스트나 스크래치와 같은 것들을 확대하여 육안으로 확인해 가면서 검사하는 방법을 쓰고 있다. 대개 광학현미경은 광원으로부터 나오는 빛을 집속렌즈가 모아서 피검사물에 조사하면 대물렌즈에서 일차 확대된 상을 만들며, 이것을 대안렌즈에서 최종배율을 결정하여 육안으로 관찰할 수 있는 것이다.Conventionally, to inspect dust or scratches on a wafer such as a circuit pattern such as a reticle or a photomask, the human eye is inspected without a special device or by using a microscope such as an optical microscope. I am using a method of expanding the same things and visually checking them. In general, the optical microscope collects the light from the light source and irradiates the inspected object to produce a first magnified image of the objective lens, which can be visually observed by determining the final magnification of the alternative lens.

하지만, 상기 방법에 있어서 육안으로 직접 웨이퍼 상에 존재하는 더스트를 검사하는 것은 미세한 더스트에 대한 판별력이 현저히 떨어질 뿐만 아니라 검사대상에 따라서는 검사하는 속도와 시간이 너무 오래 걸릴 수 있으며, 또한 더스트를 완벽하게 선별해 낼 수 있는 능력이 떨어진다. 또한 광학현미경을 이용한 방법에 있어서도, 육안에 의한 방법에 비해서는 상당히 미세한 더스트까지 검사할 수는 있지만, 광학현미경을 사용하기 위해 조정해야 하는 집광기, 대물렌즈의 배율, 광원, 접안렌즈의 위치 등과 같은 모든 렌즈와 광원의 조절을 작업자가 스스로 조절해야 하는 불편함이 따르며, 육안에 의한 검사방법에 비해 검사속도나 시간은 크게 향상되지 않는 단점이 있다.However, in the above method, the inspection of the dust directly on the wafer with the naked eye not only significantly reduces the discriminating power of the fine dust, but also the inspection speed and time may be too long depending on the inspection object, and the dust is perfect. The ability to sort out poorly. In addition, even in the method using an optical microscope, it is possible to inspect even finer dust than the method using the naked eye, but it is necessary to adjust the condenser, the objective magnification, the light source, the position of the eyepiece, etc. It is inconvenient that the operator has to adjust all the lenses and the light source by themselves, and there is a disadvantage that the inspection speed or time is not greatly improved compared to the inspection method by the naked eye.

본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 미세한 더스트나 스크래치를 확인하기 위해 피검사물에 대한 초점거리와 배율확대 및 축소 그리고 피검사물에 조사되는 광원의 밝기 조정이 자동화되어 편리하고 정확하면서도 빠르게 미세한 더스트를 검사할 수 있을 뿐만 아니라 장치의 크기를 컴팩트하게 할 수 있는 더스트 검사장치를 제공하는 것이다.The present invention is to solve the problems described above, the object of the present invention is to automate the adjustment of the focal length and magnification and reduction of the light source irradiated to the test object to the focal length and magnification of the inspected object to check the fine dust or scratch The present invention provides a dust inspection device that can conveniently and precisely inspect fine dust, as well as compact in size.

본 발명의 특징에 따르면, 수직의 프레임(10)을 따라 상하로 이동 가능하게 설치되며 피검사물(1)에 대한 자동초점이 가능하도록 센서가 내장되고 데이터의 저장 및 입출력이 가능하도록 메모리 및 접속단자가 구비되며 피검사물(1)에 대한 모니터링이 가능한 카메라모듈(20)과, 상기 카메라모듈(20)의 하단부에 장착되어 피검사물(1)의 일부분을 확대 또는 축소하는 배율이 조정되는 렌즈모듈(30)과, 상기 렌즈모듈(30)의 근접된 사방에 위치되며 피검사물(1)로 광원(15)을 비스듬히 조사하는 다수의 조명모듈(50)을 포함하며, 상기 렌즈모듈(30)의 일측에는 줌센서(32)가 구비되며 이 줌센서(32)의 센싱에 의해 상기 렌즈모듈(30)은 자동적으로 확대배 율을 바꾸게 되며, 상기 조명모듈(50)의 일측에는 소정의 각도로 회전시키는 회전모터(55) 및 회전각도를 제한하는 각도제한센서(57)가 구비되어 일정 각도 내에서 상기 조명모듈(50)이 회전되는 것을 특징으로 하는 더스트 검사장치가 제공된다.According to a feature of the present invention, a memory and a connection terminal are installed to be movable up and down along a vertical frame 10 and have a sensor embedded therein to enable autofocus on the inspected object 1 and to store and input / output data. And a camera module 20 capable of monitoring the inspected object 1 and a lens module mounted on a lower end of the camera module 20 to adjust a magnification of enlarging or reducing a portion of the inspected object 1. 30) and a plurality of illumination modules 50 which are located in close proximity to the lens module 30 and irradiate the light source 15 at an angle to the inspected object 1, one side of the lens module 30. The zoom sensor 32 is provided and by the sensing of the zoom sensor 32, the lens module 30 automatically changes the magnification and rotates at a predetermined angle on one side of the illumination module 50. Rotating motor 55 and limiting the rotation angle Is provided with a apprentice sensor 57 within a predetermined angle dust testing device, it characterized in that the lighting module (50) rotates is provided.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 조명모듈(50)은 수평 위치된 중공의 풀리(51)에 간격을 두고 설치되며, 상기 풀리(51)에 연결되는 회전모터(55)에 의해 상기 풀리(51)가 소정의 각도만큼 회전되는 것을 특징으로 하는 더스트 검사장치가 제공된다. According to another feature of the present invention, the lighting module 50 is installed at a distance to the horizontally positioned hollow pulley 51, the pulley 51 by the rotary motor 55 connected to the pulley 51. ) Is provided with a dust inspection device which is rotated by a predetermined angle.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 조명모듈(50)은 광원(15)을 조사하는 광조사부(53) 및 반사부(54)를 포함하며, 상기 반사부(54)는 광조사부(53)의 수직 하방에 피검사물(1)과 근접되게 위치되어 상기 광조사부(53)로부터 조사되는 광원(15)을 피검사물(1)로 비스듬히 반사시키는 것을 특징으로 하는 더스트 검사장치가 제공된다.According to another feature of the invention, the illumination module 50 includes a light irradiation unit 53 and a reflecting unit 54 for irradiating the light source 15, the reflecting unit 54 is a light irradiation unit 53 A dust inspection apparatus is provided, which is positioned close to the inspection object 1 in a vertical downward direction of the light source 15 irradiated from the light irradiation unit 53 at an angle to the inspection object 1 at an angle.

상술한 본 발명의 목적, 특징들 및 장점은 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이다. 이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.The objects, features and advantages of the present invention described above will become more apparent from the following detailed description. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 의한 바람직한 일실시예를 도시한 측면도이고, 도 2와 도 3은 정면도와 평면도이다. 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명은 수직의 프레임(10)을 따라 상하로 이동 가능하게 설치된 카메라모듈(20)과, 상기 카메라모듈(20)의 하단부에 장착된 렌즈모듈(30)과, 상기 렌즈모듈(30)의 근접된 사방으로 설치된 다수의 조명모듈(50)로 구성되어 있다. 상기 구성에 의해 웨이퍼 또는 회로 패턴의 완제품과 같은 피검사물(1) 상에 존재하는 더스트나 스크래치를 검사하는 것으로, 다음과 같은 구체적인 구성과 작동에 의한 것이다.1 is a side view showing a preferred embodiment according to the present invention, Figures 2 and 3 are a front view and a plan view. As shown in Figures 1 to 3, the present invention is a camera module 20 installed to be moved up and down along the vertical frame 10, and the lens module 30 mounted on the lower end of the camera module 20 ) And a plurality of illumination modules 50 installed in all directions adjacent to the lens module 30. According to the above configuration, dust or scratches present on the inspected object 1 such as a finished product of a wafer or a circuit pattern are inspected, and the following specific configurations and operations are performed.

상기 프레임(10)의 하단에는 피검사물(1)이 안착되는 수평의 검사다이(11)가 구비되어 있으며, 상기 검사다이(11)의 상하 및 좌우이동에 의해 피검사물(1)이 이동되면서 더스트 검사를 실행하게 된다. 또한 상기 프레임(10)의 상측에는 카메라모듈(20)을 상하로 이동시킬 수 있는 이동모터(21)가 설치되어 있으며, 상기 카메라모듈(20)은 프레임(10)의 일측에 수직방향으로 설치된 가이드(12)의 일면을 따라 상하로 슬라이드 되며, 검사다이(11)에 피검사물(1)이 안착되면 적절한 거리로 이동되어 피검사물(1)에 대한 초점이 조절된다. The lower end of the frame 10 is provided with a horizontal test die 11 on which the test object 1 is seated, and the test object 1 is moved by the vertical and horizontal movement of the test die 11 and the dust. Run the test. In addition, the upper side of the frame 10 is provided with a moving motor 21 for moving the camera module 20 up and down, the camera module 20 is a guide installed in a vertical direction on one side of the frame 10 (12) slides up and down along one surface, when the inspection object 11 is seated on the inspection die 11 is moved to an appropriate distance to adjust the focus on the inspection object (1).

또한 상기 카메라모듈(20)에 의해 다양한 형태로 피검사물(1)에 대한 검사 데이터를 얻을 수 있는데, 육안으로 직접 카메라모듈(20)을 들여다보며 더스트를 확인할 수도 있으며, 때에 따라서는 원하는 위치에서 촬상하거나 외부 CRT(도시되지 않음)와 연결되어 더스트에 대한 검사을 화면상에서 확인할 수도 있다. 가장 바람직하게는 미리 셋팅된 프로그램(검사해야 하는 더스트의 크기나 완제품 상에 존재하는 더스트의 개수에 의한 불량의 여부 등이 입력된 프로그램)과 연결되어 이를 실시간으로 데이터화함으로써 불량 판별을 해낼 수도 있다.In addition, the camera module 20 can obtain inspection data on the inspected object 1 in various forms. The dust can be checked directly by looking at the camera module 20 with the naked eye. Alternatively, it can be connected to an external CRT (not shown) to check the dust on the screen. Most preferably, the failure determination may be performed by connecting to a preset program (a program in which a defect based on the size of dust to be inspected or the number of dusts present on the finished product, etc. is input) and dataizing the data in real time.

또한 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 렌즈모듈(30)은 카메라모듈(20)의 하단부에 장착되어 있으며, 그 일측에는 피검사물(1)의 확대배율을 조절할 수 있도록 상기 렌즈모듈을 이동시키는 줌모터(31)가 구비되어 있으며, 또한 타 일측에는 줌센서(32)가 부착되어 있다. 상기 줌센서(32)의 센싱에 의해 확대배율이 조절되게 되는데, 이는 후술되는 광원(15)이 피검사물(1)에 조사되면 상기 광원(15)이 반사 또는 산란되며, 이를 받아들이는 상기 카메라모듈(20)에 내장된 CCD 또는 CMOS의 수광소자와의 간섭에 의해 간섭무늬(모아레 현상)가 나타나게 되는데, 상기 간섭무늬가 센싱되면 이를 없애기 위해 줌센서(32)가 작동되어 상기 렌즈모듈(30)은 확대배율을 바꾸도록 되어 있다.In addition, as shown in Figure 2, the lens module 30 is mounted on the lower end of the camera module 20, one side of the zoom to move the lens module to adjust the magnification of the inspection object (1) The motor 31 is provided, and the zoom sensor 32 is attached to the other side. The magnification is controlled by sensing of the zoom sensor 32. When the light source 15 to be described below is irradiated onto the object 1, the light source 15 is reflected or scattered, and the camera module receives the light. An interference fringe (moir phenomenon) appears by interference with a light receiving element of a CCD or CMOS embedded in the 20, and when the interference fringe is sensed, a zoom sensor 32 is operated to remove the lens. Is to change the magnification.

또한 상기 조명모듈(50)은 렌즈모듈(30)을 중심으로 하여 사방에 다수가 위치되어 있으며, 일측에는 상기 조명모듈(50)이 일정 각도(대략 좌우로 각각 45도씩)만큼 회전 가능하도록 회전모터(55)가 구비되어 있다. 보다 상세하게는 상기 회전모터(55)에 의해 회전되도록 타이밍벨트(56)에 의해 연결되는 수평 위치된 풀리(51)가 구비되며, 이 풀리(51)의 중심부는 중공되어 있으며, 이를 통하여 피검사물(1)을 검사할 수 있는 공간이 확보된다. In addition, the illumination module 50 has a plurality of locations are located in all directions with respect to the lens module 30, one side of the rotation motor to rotate the illumination module 50 by a predetermined angle (about 45 degrees each side). 55 is provided. More specifically, there is provided a horizontally positioned pulley 51 connected by the timing belt 56 to be rotated by the rotary motor 55, the center of the pulley 51 is hollow, through which the test object A space for inspecting (1) is secured.

또한 상기 풀리(51)에는 중심부의 둘레를 따라 일정 간격을 두고 다수의 조명모듈(50)이 수직 설치되어 있는데, 바람직하게는 도 3에 도시된 바와 같이, 대략4등분되는 위치에 각각 조명모듈(50)이 회전 가능하게 위치되며, 이 네 개의 조명모듈(50)에 의해 피검사물(1)은 어느 방향에서도 광원(15)을 받게 되고, 일방향에서 비추는 광원(15)에 의한 반대측의 음영이 생기지 않으므로 보다 명확한 더스트 의 하이라이트가 가능해 진다. 또한 상기 조명모듈(50)의 근접된 위치에는 각도제한센서(57)가 상기 가이드(12)의 일측 하부에 부착되어 있다.In addition, the pulley 51 has a plurality of lighting modules 50 are vertically installed at regular intervals along the circumference of the center, preferably, as shown in FIG. 50 is rotatably positioned, and the four illumination modules 50 allow the inspected object 1 to receive the light source 15 in any direction, so that shadows on the opposite side by the light source 15 shining in one direction are not generated. This allows for a clearer highlight of the dust. In addition, the angle limit sensor 57 is attached to the lower side of one side of the guide 12 in the proximity of the illumination module 50.

또한 상기 조명모듈(50)은 상기 풀리(51)의 상면에 위치되는 집광렌즈와 같은 렌즈가 구비된 광소자부(53)와 상기 풀리(51)의 하면에 위치되는 반사부(54)로 나뉘어지는데, 상기 광소자부(53)를 통하여 집광된 광원(15)이 반사부(54)로 전달될 수 있도록 풀리(51)는 관통되어 있으며, 상기 반사부(54)는 피검사물(1)로 광원(15)이 집중되도록 비스듬히 경사지게 설치되어 있다. 또한 상기 반사부(54)가 풀리(51)의 하면에 위치되는 것은 피검사물(1)에 조사되는 광원(15)의 각도(θ)가 작을수록 보다 선명하게 더스트를 하이라이트 시킬 수 있기 때문이며, 이는 이미 공지된 바 있다.In addition, the illumination module 50 is divided into an optical element portion 53 having a lens such as a condenser lens positioned on the upper surface of the pulley 51 and a reflecting portion 54 positioned on the lower surface of the pulley 51. The pulley 51 is penetrated so that the light source 15 collected through the optical element unit 53 can be transferred to the reflecting unit 54. It is installed obliquely so that 15) is concentrated. In addition, the reflector 54 is located on the lower surface of the pulley 51 because the smaller the angle θ of the light source 15 irradiated to the inspection object 1 can highlight the dust more clearly. It is already known.

또한 본 발명의 조명모듈(50)에 의해 집광 또는 조사되는 광원(15)은 파이버라이트(Fiber-light)가 바람직하며, 이는 할로겐램프에 의해 발광된 광원(15)이 광케이블을 통하여 이동되어 집광렌즈가 구비된 광소자부(53)를 통과하면서 집광된다. 상기 광소자부(53)를 통과한 광원(15)은 수직 하방에 피검사물(1)을 향하여 비스듬히 위치된 반사부(54)에 의해 반사되어 피검사물(1)에 조사되도록 되어 있다. 상기 광원(15)은 파이버라이트 이외에도 레이저 빔과 같은 다양한 광원(15)이 가능하지만, 컴팩트한 모듈을 구현하기 위해 가장 바람직한 것으로 파이버라이트를 채택할 수 있다. 또한 상기 조명모듈(50)은 각도제한센서(57)에 의해 그 회전각도가 제어되는데, 이는 상기 조명모듈(50)의 회전이 지나치게 되면 광케이블의 꼬임에 의해 광원(15)의 왜곡이 발생될 수 있으며, 이로 인해 광원(15)의 지향성이 저하될 수 있기 때문이다. In addition, the light source 15 condensed or irradiated by the illumination module 50 of the present invention is preferably fiber-light, which is the light source 15 emitted by the halogen lamp is moved through the optical cable condensing lens Condensed while passing through the optical element unit 53 is provided. The light source 15 passing through the optical element portion 53 is reflected by the reflecting portion 54 which is positioned obliquely toward the inspection object 1 in the vertical direction so as to be irradiated to the inspection object 1. The light source 15 may be a variety of light sources 15 such as a laser beam in addition to the fiber light, but may be adopted as the most preferable to implement a compact module. In addition, the rotation angle of the lighting module 50 is controlled by the angle limit sensor 57, which may cause distortion of the light source 15 by twisting the optical cable when the rotation of the lighting module 50 is excessive. This is because the directivity of the light source 15 can be lowered by this.

또한 상기 광소자부(53)의 도입부에는 할로겐램프로부터 발광된 광원(15)을 차단할 수 있는 셔터(58) 혹은 조리개(도시되지 않음)가 구비되어 피검사물(1)에 조사되는 광원(15)의 양을 조절함으로써 광원(15)의 밝기가 조절되거나 경우에 따라서는 개별적으로 광원(15)을 차단할 수도 있다. In addition, the introduction portion of the optical element unit 53 is provided with a shutter 58 or an aperture (not shown) that can block the light source 15 emitted from the halogen lamp of the light source 15 irradiated to the test object 1 By adjusting the amount, the brightness of the light source 15 may be adjusted, or in some cases, the light source 15 may be individually blocked.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes are possible within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.

이상에서와 같이 본 발명에 의하면, 레티클(reticle)이나 포토마스크 등의 회로 패턴과 같은 웨이퍼(wafer)나 완제품 상에 존재하는 미세한 더스트나 스크래치를 검사하기 위한 컴팩한 검사장치가 제공되어 종래에 비해 검사를 위해 소요되는 시간과 정확도 및 검사수량에 있어서 획기적으로 개선할 수 있으며, 이로 인해 피검사물(1)의 불량률을 현저히 줄여 우수한 제품을 제공할 수 있다. As described above, according to the present invention, a compact inspection apparatus for inspecting fine dust or scratches present on a wafer or a finished product such as a circuit pattern such as a reticle or a photomask is provided. It can significantly improve the time and accuracy required for the inspection and the quantity of inspection, thereby significantly reducing the defective rate of the inspection object (1) can provide an excellent product.

또한 다양한 형태로 피검사물(1)에 대한 검사 데이터를 얻을 수 있는 카메라모듈(20)과, 간섭무늬를 제거하고 피검사물(1)의 확대배율을 조절할 수 있는 렌즈모듈(30)과, 또한 광원(15)이 비스듬히 조사되며 각각의 모듈이 회전 가능하여 다 양한 각도에서 피검사물(1)에 광원(15)을 조사함으로써 더스트가 보다 확실하게 하이라이트 될 뿐만 아니라 광원(15)의 밝기 조정하기 편리하도록 셔터(58)가 구비된 조명모듈(50)이 자동화되어 편리하고 정확하면서도 빠르게 미세한 더스트를 검사할 수 있다.In addition, the camera module 20 to obtain the inspection data for the inspection object 1 in various forms, the lens module 30 to remove the interference fringe and adjust the magnification of the inspection object 1, and also the light source (15) is irradiated at an angle and each module is rotatable so that the dust is more reliably highlighted and the brightness of the light source 15 is conveniently adjusted by irradiating the light source 15 to the inspected object 1 at various angles. The lighting module 50 equipped with the shutter 58 is automated to inspect fine dust conveniently and quickly.

또한 피검사물(1)과 근접된 위치에서 광원(15)을 비스듬히 반사시키는 반사부(54)와 이 반사부(54)의 수직 상방에 위치된 광조사부(53)에 의해 조명모듈(50)의 폭을 컴팩트하게 만들 수 있어 장치 전체의 크기를 소형화시킬 수 있을 뿐만 아니라 광원(15)이 비스듬히 조사되어 더스트가 보다 더 확실하게 하이라이트 시킬 수 있는 효과가 있다. In addition, the reflection module 54 which reflects the light source 15 at an angle to the inspection object 1 at an angle, and the light irradiation unit 53 located above the reflection unit 54 of the illumination module 50 Since the width can be made compact, the size of the entire apparatus can be made smaller, and the light source 15 is obliquely radiated, so that dust can be more clearly highlighted.

Claims (3)

수직의 프레임(10)을 따라 상하로 이동 가능하게 설치되며 피검사물(1)에 대한 자동초점이 가능하도록 센서가 내장되고 데이터의 저장 및 입출력이 가능하도록 메모리 및 접속단자가 구비되며 피검사물(1)에 대한 모니터링이 가능한 카메라모듈(20)과, 상기 카메라모듈(20)의 하단부에 장착되어 피검사물(1)의 일부분을 확대 또는 축소하는 배율이 조정되는 렌즈모듈(30)과, 상기 렌즈모듈(30)의 근접된 사방에 위치되며 피검사물(1)로 광원(15)을 비스듬히 조사하는 다수의 조명모듈(50)을 포함하며, 상기 렌즈모듈(30)의 일측에는 줌센서(32)가 구비되며 이 줌센서(32)의 센싱에 의해 상기 렌즈모듈(30)은 자동적으로 확대배율을 바꾸게 되며, 상기 조명모듈(50)의 일측에는 조명모듈(50)을 회전시키기 위한 회전모터(55) 및 회전각도를 제한하는 각도제한센서(57)가 구비되어 일정 각도 내에서 상기 조명모듈(50)이 회전되는 것을 특징으로 하는 더스트 검사장치.It is installed to be moved up and down along the vertical frame 10. The sensor is embedded to enable automatic focusing on the inspected object 1, and a memory and a connection terminal are provided to enable storage and input / output of data. A camera module 20 capable of monitoring and a lens module 30 mounted at a lower end of the camera module 20 to adjust a magnification for enlarging or reducing a part of the object 1 to be inspected, and the lens module. Positioned in close proximity to the 30 and includes a plurality of illumination module 50 for irradiating the light source 15 at an angle to the inspection object (1), the zoom sensor 32 on one side of the lens module 30 The lens module 30 is automatically changed in magnification by sensing of the zoom sensor 32, and a rotation motor 55 for rotating the illumination module 50 on one side of the illumination module 50. And an angle limit sensor 57 for limiting the rotation angle The dust test apparatus, characterized in that the lighting module (50) is rotated within a predetermined angle. 제1항에 있어서, 상기 조명모듈(50)은 수평 위치된 중공의 풀리(51)에 일정 간격을 두고 설치되며, 상기 풀리(51)는 회전모터(55)에 결합되어 회전 가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 더스트 검사장치.According to claim 1, wherein the lighting module 50 is installed at a predetermined interval on the horizontally positioned hollow pulley 51, the pulley 51 is coupled to the rotary motor 55 to be rotatably provided Dust inspection device characterized in that. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 조명모듈(50)은 광원(15)을 조사하는 광조사부(53) 및 반사부(54)를 포함하며, 상기 반사부(54)는 광조사부(53)의 수직 하방에 피검사물(1)과 근접되게 위치되어 상기 광조사부(53)로부터 조사되는 광원(15)을 피검사물(1)로 비스듬히 반사시키는 것을 특징으로 하는 더스트 검사장치.According to claim 1 or 2, wherein the illumination module 50 includes a light irradiation unit 53 and a reflecting unit 54 for irradiating the light source 15, the reflecting unit 54 is a light irradiation unit 53 The dust inspection device, characterized in that located below the perpendicular to the inspection object (1) to reflect the light source (15) irradiated from the light irradiation unit (53) obliquely to the inspection object (1).
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KR950034474A (en) * 1994-03-30 1995-12-28 오가 노리오 Foreign body inspection device and foreign body inspection method

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