KR100731821B1 - 자이로스코우프 센서 - Google Patents
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Abstract
자이로스코우프 센서는, 검출 및 여자 전극(8)과 결합된 공진기(1)와, 특별히 상기 검출 및 여자 전극(8)에 연결된 전도성 봉(6)과, 공진기(1)와 검출 및 여자 전극(8)을 둘러싸고 전도성 봉(6)용 기밀 및 절연 공급 통로(leaktight and insulating feed-through)(7)들을 구비한 보호 하우징(3, 4)과, 검출 및 여자 전극(8)을 가진 공진기(1)와 상기 하우징(3, 4)사이에 삽입된 지지 수단을 포함하고, 센서는 상기 지지 수단이 전도성 봉(6)으로 구성되며, 탄성적으로 변형가능한 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은,
- 검출 및 여자 전극(detection and excitation electrodes)들과 결합된 검출 요소와,
- 특히 상기 검출 및 여자 전극에 연결된 전도성 봉과,
- 상기 검출 요소와 검출 및 여자 전극을 둘러싸고 상기 전도성 봉을 위한 절연 공급 통로(insulating feed-through)들을 구비한 보호 하우징과,
- 상기 검출 및 여자 전극을 가진 검출 요소와 상기 보호 하우징 사이에 삽입된 지지 수단을 포함하는 자이로스코우프 센서에 관한 것이다.
양호한 성능을 얻기 위해서, 자이로스코우프 센서는 정확한 형상의 구성 부품과 극히 정밀한 조립체에 의존하며, 이 때문에 치수의 허용오차는 매우 적어야 하고 유극이 매우 작아야 한다.
유감스럽게도, 이러한 구성 부품의 적어도 일부는 서로 다른 재료들로 만들어질 수 있고, 그로 의해 열팽창 계수가 크게 달라질 수 있다. 이 때문에 변화하는 주변 온도 조건에서 자이로스코프 센서가 요구되는 성능을 유지하는 것을 보장하기가 매우 어렵고, 따라서 유극, 공간 또는 공기 갭의 정밀한 값의 조건을 만족시키고 구성 부품에 의해 허용될 수 있는 응력의 한계값 조건도 만족시키면서 필요하다면 구성 부품의 팽창을 허용하는 조립체가 요구된다.
게다가, 자이로스코우프 센서의 검출 요소는 기계적 충격에 매우 약하고 매우 예민한 부재이기 때문에, 기계적 충격으로부터 가능한 많이 분리되면서 지지되는 것이 바람직하다.
일례로, 이러한 난제들은, 하나 이상의 진동 분기관을 구비하고 상기 분기관 위에 직접 얹혀진 금속 피복부 형태의 검출 및 여자 전극을 구비한 석영 공진기를 검출 요소로 가지는 자이로스코우프 센서에서 발생한다. 상기 형태의 실시예에서, 이는 여자 및 검파 기능을 수행하기 위해 사용된 석영의 압전 성질이 있기 때문이다.
특히 이러한 난제들은 벨 형상 또는 구형 모자 형상인 공진기를 가진 자이로스코우프 센서에서 야기되었고, 따라서 현재 그러한 센서들에 대해서 많은 연구 개발이 진행되고 있다. 상기 형태의 공진기에서, 벨 형상 또는 모자 형상 공진기의 가장자리는 반경 방향과 접선방향을 따라 작용하는 성분을 가지고 변형되는 것을 야기하는 진동 형태로 여자되고, 또한 공진기의 축에 평행한 변위의 성분을 제공한다. 따라서, 그러한 공진기 가장자리의 반경 방향 진동이 검파되는 자이로스코우프 센서(이 경우에는 벨 형상 또는 모자 형상의 공진기는 적어도 일부분에 있어서 전극-캐리어 플레이트를 덮도록 설치됨; 일례로 미국 특허 제4,951,508호 참조)와, 축 진동이 공진기의 가장자리에서 검출되는 자이로스코우프 센서(이 경우에는 전극-캐리어 플레이트가 벨 형상 또는 모자 형상의 공진기의 가장자리와 마주보도록 배치됨; 일례로 프랑스 공개 특허 제99/05204호 참조)가 공지되었다.
원래 약 60밀리미터(mm)의 직경을 가진 상기 형태의 공지된 공진기가, 그 후에 고성능 공간 적용을 위해 약 30mm로 감소된 직경을 가지도록 개발되었다.
나아가서, 훨씬 작은 제조 비용을 요하면서 저성능을 요구하는 용도, 예를 들면 제어형 전술 미사일에서는 벨 형상인 공진기를 가진 자이로스코우프 센서를 사용하는 것이 고려되고 있다. 그와 같은 용도에서는 센서 장치(자이로스코우프 및 가속도계)를 작은 공간 내에 설치해야 하고 격심한 열적 및 기계적 환경에 설치해야 하는 것을 종종 특징으로 한다. 진동 자이로스코우프는 부품 수가 적고 본질적으로 튼튼해서 위와 같은 용도를 위한 양호한 품질을 가진다.
벨 형상 공진기를 가진 자이로스코우프의 성능을 위한 중요한 요소는 진동 벨을 제조하기 위해 실리카를 사용함으로써 얻어진 공진기의 Q-펙터이다. 현재, 실리카는 수백만보다 큰 차수(order)의 Q-펙터를 가진 공진기를 제조하기 위해 필요한 품질을 가지고 있는 유일한 재료이다.
유감스럽게도, 실리카는 자이로스코우프 성능에 있어서 안정성의 측면에서 바람직한 특성을 가졌음에도 불구하고 제조에 있어서 상당한 어려움을 불러일으킨다. 즉, 열팽창 계수가 섭씨 온도당 0.5 ppm(ppm/℃) 정도로 아주 작다. 자이로스코우프는 23ppm/℃의 팽창 계수를 가진 종종 알루미늄으로 제조된 금속 재료의 코어에 고정된다. 따라서 온도 변화가 자이로스코우프의 작동을 방해하지 않도록 실리카와 코어의 금속 재료 사이의 변이를 수용하기 위해서 특수한 구조(architecture)를 사용할 필요가 있다.
공진기는 정전기적으로 전기 용량성 검파에 사용되는데, 효율적이기 위해서는 매우 작은 공기 갭(수십 마이크로미터(㎛))이 달성될 수 있어야 한다. 재료들 사이의 팽창차에 의해 그리고 부품의 변형에 의해 발생되는 공기 갭 크기의 변화를 제한하는 것이 중요하다. 이로 인해 종래에는 1 자유도를 갖는 조립체를 사용하거나(예를 들면, 미국 특허 제4,951,508호 문헌의 장치에서와 같이 평면에서의 미끄러짐), 아니면 탄성 부품을 사용하게 되었었다.
벨 형상 공진기를 이용하는 새롭게 직면하는 용도들에 관한 환경은 -40 ℃ 내지 +90℃의 온도 범위와 중력(g)으로 인한 가속도의 수 백배의 가속을 일으키는 충돌 또는 충격을 견딜 수 있는 능력을 요구하는 등 더욱 가혹해지고 있다. 게다가, 이용 가능한 부피는 점점 더 작게 되어, 벨이 점점 더 감소하는 직경, 예를 들면, 현재 적용되고 있는 약 20mm인 공진기가 제공되었다.
이러한 조건하에서, 종래의 해결책은 더 이상 적절하지 않다.
따라서 본 발명의 목적은 자이로스코우프 센서, 특히 벨 형상인 공진기를 가진 자이로스코우프 센서로서, 격심한 열적 및/또는 기계적 환경에서 자이로스코우프의 검출 요소의 치수의 안정성을 확보하고, 특히 실제 사용에서 바람직한 작은 직경의 벨 형상 공진기 사용을 가능하게 하는 자이로스코우프 센서를 위한 새로운 구조를 제안하는 것이다.
이러한 목적을 위해, 본 발명은, 특허청구범위의 전제부에 특정된 바와 같은 자이로스코프 센서로서, 지지 수단이 탄성적으로 변형 가능한 전도성 봉으로 구성된 것을 특징으로 하는 자이로스코우프 센서를 제공한다.
벨 형상 또는 모자 형상인 공진기를 가진 자이로스코우프 센서에 있어서, 본 발명의 센서는,
- 원형 대칭 벨 또는 모자의 형태이고 축방향의 고정 스템(stem)을 구비한 공진기와,
- 검출 및 여자 전극을 지지하고 공진기와 공동 작용하는 전극 캐리어와,
- 공진기와 전극 캐리어를 포함하는 보호 하우징을 포함하고,
상기 전극 캐리어는 그 고정 스템을 통해서 공진기를 지지하고,
지지 수단을 형성하는 전도성 봉들은 전극 캐리어와 하우징 사이에 삽입된다.
이러한 장치에 의하여, 외부 조건(온도, 진동, ...)의 영향하에 서로 대항하여 마찰되어서 그에 따라서 에너지를 산포시켜서 공진기의 Q-펙터를 떨어뜨리고 따라서 자이로스코우프의 정밀도를 떨어뜨리는 하중-지지 표면을 갖는 기계적 조립체는 완전하고 간단하게 제거된다. 지지 기능은, 이미 존재하고 있었으며 어떤 경우에도 전기적 연결을 공진기에 제공하기 위해 필요한 부재(전도성 봉)에 의해 실행된다.
전도성 봉에 의해 실행된 이중 기능은 자이로스코우프의 적당한 작동을 방해하는 원인을 제거하는 것을 가능케 하고, 더 이상 필요하지 않은 부재를 생략함으로써 공간을 절약할 수 있고, 따라서 작은 직경의 장치를 제공할 수 있으며, 또한 그러한 장치의 단위 원가를 감소시킬 수 있다.
바람직하게는, 벨 형상 공진기에 있어서, 검출 및 여자 전극에 연결된 전도성 봉은 공진기 스템의 축 둘레에 대칭적이고 원형으로 분포된다.
또한 바람직하게는, 동일한 상황하에서, 센서는 공진기의 축 둘레에 대칭적으로 분포된 세 개의 전도성 봉을 추가로 포함할 수 있고, 이러한 전도성 봉들 중 하나는 전극 캐리어상에 제공된 가드 링(guard ring)에 연결되고, 이러한 전도성 봉들 중 다른 하나는 공진기의 금속 부분(metallization)에 연결되고, 세 번째 전도성 봉은 단지 존재하고 있음으로써 효용이 있는 것으로서 전극 캐리어를 지지하는 데에 기여하며, 그의 존재는 전극 캐리어 플레이트가 자이로스코우프 하우징과 비교하여 경사지는 것을 피할 수 있게 한다.
특별한 일 실시예에서, 하우징은 금속 베이스와 그에 고정된 덮개를 포함하고, 상기 베이스에는 전도성 봉용 절연 공급 통로가 제공된다.
마지막으로, 발명에서 채택된 배치는 다음과 같은 장점을 가진다.
- 자이로스코우프의 검출 요소가 쉽게 조절가능한 차단 주파수(cutoff frequency)를 가진 지지 마운팅(suspended mounting) 위에 있고, 자이로스코우프의 검출 축이 경사지면 자이로스코우프 정확성에 악영향을 미칠 수 있는데, 이러한 축이 경사지지 않고 자이로스코우프의 검출 요소가 자이로스코우프의 검출 축에 평행하게 병진 이동할 수 있다.
- 마운트는 반경방향 검파 공진기에 사용하는 데에도 적당하고 축방향 검파 공진기에 사용하는 데에도 적당하다.
- 기계적 그리고 전기적 연결부는 동일한 요소들로 만들어지고, 따라서 조립을 단순화하고 비용을 감소시킨다.
- 충격 또는 전도성 봉의 국부적인 온도와 관계된 변형은 공진기 작동에 사용되는 공기 갭에 영향을 미치지 않는다.
- 자이로스코우프의 베이스가 자이로스코우프 지지부와 같은 동일 재료로 만들어지기 때문에, 자이로스코우프가 고정되는 방법에 있어서 온도 제한이 없다.
이러한 구조는 자유 자이로들, 특히 격심한 기계적 및 열적 환경에서 사용하기에 적당한 작은 크기의 벨 형상 공진기를 구비하는 자이로를 제조하는 데 있어 매우 적합하다. 또한 팽창 차이가 치수 증가에 따라 어려움을 가중시키는 문제가 된다는 점을 감안할 때, 보다 덜 엄격한 환경에서는 보다 큰 사이즈의 자이로스코우프용으로도 사용될 수 있다.
본 발명은 순전히 예시적으로 제공되는 실시예들에 관한 이하의 상세한 설명을 통해 더욱 잘 이해될 것이다. 상세한 설명은 첨부한 도면들을 참조한다.
도 1은 본 발명에 따라 배열된 벨 형상 공진기를 구비한 자이로스코우프 센서의 실시예의 개략적인 측부 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따라 배열된 벨 형상 공진기를 구비한 자이로스코우프 센서의 다른 실시예의 개략적인 측부 단면도이다.
도 3은 도 2의 공진기의 전극-캐리어 플레이트에 대한 평면도이다.
도 4 및 도 5는 변형력을 수용하기 위해 본 발명에 따라서 배열된 자이로스코우프의 전도성 봉의 성능을 보이고 있는 분절도이다.
도 6은 도 1 및 2의 자이로스코우프의 일부분에 대한 변형된 실시예를 보이고 있는 분절도이다.
아래에 설명된 내용은 특히 벨 형상 또는 모자 형상의 공진기를 구비한 자이로스코우프 센서에 관한 것으로, 이는 본 발명의 성질이 상기 형태의 자이로스코우프 센서, 특히 작은 직경의 공진기를 장착한 상기 형태의 자이로스코우프 센서에 특히 유리하게 적용될 수 있기 때문이지만, 이러한 성질들은 어떠한 형태의 자이로스코우프 센서의 검출 요소를 위한 지지자에도 적용되는 것으로 이해해야 한다.
먼저 도 1 및 도 2를 참고하면, 벨 형상 또는 모자 형상인 공진기를 구비한 자이로스코우프 센서는,
- 도시된 바와 같이, 특히 형상에 있어서 반구상이고, 고정 스템(5)을 구비한 벨 형상 또는 모자 형상인 공진기(1)와,
- 아래에서 전극 캐리어(2)로서 언급되는, 공진기를 작동하기 위해 필요한 검출 및 여자 전극을 지지하고 그 안에 고정된 공진기(1)의 스템을 구비한 부품과(검출 및 여자 전극들은 도 1 및 2에서는 관찰할 수 없음),
- 자이로스코우프가 지지부 상에 고정될 수 있게 하는 베이스(3)와,
- 덮개(4)의, 네 개의 주요 요소를 포함한다.
실리카가 공진기를 위한 필수적인 재료임을 고려할 때, 공진기(1)와 전극 캐리어(2)는 공기 갭(air gap)의 안정성을 확보하기 위해서 실리카로 만들어진다.
전극 캐리어(2)는 다양한 형상을 가질 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 그 형상은 반구상이고 검출 및 여자 전극이 공진기의 내면과 마주보도록 할 수 있다. 또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 그 형상은 평면이고 검출 및 여자 전극은 공진기의 단부 가장자리 표면과 마주보도록 할 수 있다.
공진기(1)와 전극 캐리어(2)는 자이로스코우프의 검출 요소를 형성하기 위해 서로 함께 조립된다. 이러한 두 부품 사이의 공기 갭은 수십 ㎛이다. 이 조립체는 지지 수단에 의해 베이스(3)에 기계적으로 고정된다. 그 후에, 공진기가 제 2 진공 상태로 작동할 수 있도록 하기 위해서 덮개(4)가 설치된다. 전도성 봉(6) 형태의 전기 연결부는 검출 및 여자 전극들과 자이로스코우프 외측에 놓인 제어 전자 장치들 사이에 설치될 수 있다. 이러한 연결부는, 전기적으로 절연되어 있고 베이스(3)에 제공된 기밀 및 절연 공급 통로(leaktight and insulating feed-through)(7)를 통해서 관통한다.
일반적으로, 베이스(3)는 금속으로 만들어지고, 실리카에 근접하거나 아니면 자이로스코우프를 고정하는 지지부를 만드는 재료에 거의 근접한 팽창계수를 가진다. 어느 경우에나, 팽창 차이가 베이스(3)와 조립될 부품들 중 하나 사이에서 발생할 것이다. 이러한 팽창 차이에 의해 유발된 응력은, 온도의 함수로서 공기 갭을 변화시키든지 또는 실리카에 너무 큰 응력을 발생시키든지 간에, 본질적으로 공진기와 전극 캐리어를 포함하는 조립체를 방해하지 않는다. 실리카의 견인력은 금속과 비교하여 매우 약하다.
본 발명에 따라서, 다양한 구성 부품들을 서로 함께 조립하기 위해서, 상기 언급된 지지 수단은 상기 언급된 전도성 봉(6) 형태의 전기 연결부에 의해 구성된다. 다른 말로 하면, 상기 언급된 구성 부품들이 기계적으로 서로 조립되면, 고정된 덮개(4)를 가진 베이스(3)에 의해 구성된 조립체 상에 공진기(1)와 전극 캐리어(2)를 포함하는 조립체를 지지하는 역할을 하는 것이 바로 전도성 봉(6) 형태의 전기 연결부이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 전극 캐리어 부품은, 공진기에 마주하고 공진기가 작동될 수 있도록 놓인 얇은 금속 적층물로 구성된 다수의 검출 및 여자 전극(예를 들면, 도시된 일례에서는 여덟개의 검출 및 여자 전극)을 가진다. 도 1의 공진기에 있어서는, 검출 및 여자 전극들은 공진기의 반경방향 변형을 이용한다. 도 2의 공진기에 있어서는, 검출 및 여자 전극들은 축방향 변형을 이용한다. 이러한 두 개의 형상은 동일한 진동 모드가 사용되도록 할 수 있다. 실리카가 사용되기 때문에, 이러한 방법으로 만들어진 검출 요소의 중량은 수 그램이다.
도 3과 관련된 도 1 및 2를 참고로 하면, 자이로스코우프 베이스(3)는 전술한 전기 연결부를 제공하기에 적합하며 내부에 결합된 각각의 전도성 봉(6)을 가진 열한 개의 기밀 및 절연 공급 통로(7)를 가진 원형 부품이다.
- 여덟 개의 전도성 봉(6a)(도 1 및 도 2에 도시)은 전극 캐리어(2)의 검출 및 여자 전극(8)으로부터 신호를 전도하기 위해 사용된다.
- 하나의 전도성 봉(6b)(도 1 및 도 2에서는 미도시)은 검출 및 여자 전극을 분리하는 가드 링(9)에 연결된다.
- 하나의 전도성 봉(6c)은 공진기의 금속 부분과의 연결(미도시)을 제공한다.
- 마지막 전도성 봉(6d)은 어떠한 전기적 기능을 가지지 않고, 단지 전극 캐리어가 안정한 방위로 유지되도록 확보하기 위하여 사용된다.
검출 및 여자 전극(8)에 연결된 여덟 개의 전도성 봉(6a)은 원(10) 위에 놓인다. 세 개의 추가적인 전도성 봉(6b, 6c, 6d)은 등변 삼각형의 꼭지점에서, 첫 번째 여덟 개의 전도성 봉 내측에 동심원으로(원 11) 놓인다.
각 기밀 및 절연 공급 통로(7)는 유리를 사용하여 베이스(3)에 금속으로 된 전도성 봉(6)을 밀봉함으로써 종래의 방식으로 제조된다. 베이스(3)는 자이로스코우프가 고정되는 지지부와 같은 동일한 재료로 만들어진다.
열한 개의 전도성 봉(6)의 단부는 실리카 상에 만들어진 금속 적층물에 접합(도면 부호 12에서 접합시킴)시킴으로써 전극 캐리어(2)에 고정된다. 이는 전극 캐리어(2)가 "파일(piles)"에 장착되는 것에 대응하며, 이 부분이 베이스(3)에 평행하게 병진 이동할 수 있음을 의미한다. 그러한 병진 이동은 전도성 봉(6)의 자유 부분을 변형시킴으로써 얻어진다. 베이스(3)의 평면에 평행하게 가속화하거나 또는 충격을 받을 경우에는, 도 4에 도시된 바와 같은 변형이 발생한다. 열 팽창을 받을 경우에는 도 5에 도시된 바와 같은 변형이 발생한다.
전도성 봉(6)의 자유 부분의 길이 및 직경을 변경시킴으로써, 기계적 충격의 영향을 받든지 또는 열 팽창의 영향을 받든지 간에, 전도성 봉의 변형을 국부적으로 발생하게 하고 전극 캐리어(2)에 전달되는 응력의 양을 제한하도록 지지부의 유연성을 정확하게 조절하는 것이 가능하다. 개개의 전도성 봉의 직경 및 길이를 조절하는 것이, 예를 들면 동일한 강성을 가진 연속적인 부품의 두께를 조절하는 것보다 더 쉽다.
따라서, 공진기(1)와 전극 캐리어(2)는 전도성 봉(6)을 사용하여 만들어진 버팀대(suspension)에 의해 외측으로부터 고립된 단단한 조립체를 구성한다. 이러한 버팀대의 공진 주파수는 외부 진동의 최대 주파수와 공진기(1)의 공칭 작동 주파수 사이에 있고, 그에 의해 공진기에 전달된 교란을 제거한다. 유사하게, 공진기가 동력학적으로 균형을 벗어날 경우에, 버팀대는 에너지의 전달을 밖으로 제거할 것이다.
본 발명은 도시된 도면들에 의해 제한되지는 않는다. 전도성 봉(6)과 전극 캐리어(2) 사이의 연결은, 예를 들면 땜납에 의해 또는 전도성 접착제에 의해 다양한 방법으로 이루어진다. 또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 예를 들면 인바(Invar)로 만들어지고, 실리카 부분에 고정된 중간 삽입물(12)를 사용하는 것도 가능하다. 전도성 봉의 개수는 검출 및 여자 전극 개수에 따라서 또는 검출 및 여자 전극들 사이에 만들어진 내부 연결부에 따라서 변경될 수 있다. 단지 베이스에 대하여 검출 요소가 경사지는 것을 피하기 위해서, 평행한 병진의 형태로 이동이 일어남을 확보하기 위해서, 가능한한 완전한 대칭이 필요하고, 그에 의해 자이로스코우프의 표류를 야기하는 원추형 이동을 발생시키지 않고 자이로스코우프의 입구 축(측정 축)의 방향을 유지한다.
본 발명과 관련하여, 전도성 봉(6)은 전기 전도기능을 수행하기 위해서 전기적으로 양호한 전도체일 뿐만 아니라, 상기에 설명된 바와 같이 요구된 조건하에 기계적 지지 기능을 수행할 수 있도록 하기 위해서 양호한 탄성 계수를 갖는 재료 또는 재료들의 세트로 제조되어야 한다. 일례로, 철-니켈 합금 또는 철-코발트 합금(예를 들면, Vacuumschelze GmbH사가 VACON CF25라는 명칭으로 판매한 합금들)으로 만들어진 전도성 봉들은 상기 두 가지 요구 사항을 만족시킨다.
Claims (5)
- - 검출 및 여자 전극(detection and excitation electrodes)(8)들과 결합된 공진기(1)와,- 상기 검출 및 여자 전극(8)들에 연결된 전도성 봉(6)들과,- 상기 공진기(1)와 상기 검출 및 여자 전극(8)을 둘러싸고 전도성 봉(6)들을 위한 기밀 및 절연 공급 통로(leaktight and insulating feed-through)(7)들을 구비한 보호 하우징(3, 4)과,- 상기 검출 및 여자 전극(8)들을 가진 공진기(1)와 상기 보호 하우징(3, 4) 사이에 삽입된 지지 수단을 포함하는 자이로스코우프 센서에 있어서,상기 지지 수단은 전도성 봉(6)들로 구성되며, 상기 전도성 봉(6)들은 탄성적으로 변형가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 자이로스코우프 센서.
- 제1항에 있어서,- 원형 대칭 벨(bell) 형상 또는 모자 형상이며, 축방향으로 되어 있는 고정 스템(5)을 구비한 공진기(1)와,- 검출 및 여자 전극(8)들을 지지하고 공진기(1)와 공동 작용하며, 상기 고정 스템(5)을 통해서 공진기(1)를 지지하는 전극 캐리어(2)와,- 공진기(1)와 전극 캐리어(2)를 포함하는 상기 보호 하우징(3,4)을 포함하고,지지 수단을 형성하는 상기 전도성 봉(6)들이 전극 캐리어(2)와 보호 하우징(3, 4) 사이에 삽입되는 것을 특징으로 하는 자이로스코우프 센서.
- 제2항에 있어서,검출 및 여자 전극(8)들에 연결된 전도성 봉(6a)들은 공진기(1)의 고정 스템(5)의 축 둘레에서 대칭적으로 원(10)의 형태로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 자이로스코우프 센서.
- 제2항 또는 제3항에 있어서,공진기(1)의 축 둘레에 대칭적으로 배치된 세 개의 전도성 봉(6b, 6c, 6d)들을 추가로 포함하고, 상기 전도성 봉들 중 하나의 전도성 봉(6b)은 전극 캐리어(2) 상에 제공된 가드 링(guard ring)(9)에 연결되고, 상기 전도성 봉들 중 다른 하나의 전도성 봉(6c)은 공진기(1)의 금속 부분(metallization)에 연결되는 것을 특징으로 하는 자이로스코우프 센서.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,보호 하우징(3,4)은 금속 베이스(3)와 금속 베이스(3)에 고정된 덮개(4)를 포함하고, 상기 베이스(3)에는 전도성 봉들을 위한 상기 기밀 및 절연 공급 통로(7)가 제공되는 것을 특징으로 하는 자이로스코우프 센서.
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