KR100730013B1 - Sampler and method for acquring and transporting removable particles for scanning - Google Patents
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Abstract
본 발명은 테스트 표면 또는 검사될 표면 상에서 제거 가능한 입자를 검출하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 이러한 제거 가능한 입자는 테스트 표면으로부터 점착성 표면(130)의 일부를 접착 및 분리함으로써 캐리어(406) 상에 점착 표면의 일부에 전달된다. 캐리어(406)는 위치설정 수단(131)에 의하여 수납되며, 제어기(170)에 의하여 안내되는 표면 검사 수단의 시계를 통과한다. 표면 검사 수단으로부터 발생된 신호는 제어기(170)로부터의 좌표와 병합되어, 입자 좌표를 생성하며, 이것은 테스트 표면 상의 입자를 나타낸다. 점착성 표면(130)이 테스트 표면에 부착 및 제거되기 전에 측정된 점착성 표면(130)의 입자 좌표는 점착성 표면(130)이 테스트 표면에 부착 및 그로부터 분리된 이후에 측정된 입자 좌표(511)와 비교될 수 있다. 다수의 표면(512, 513, 514)이 각각의 측정 이후에 입자 좌표(511)를 저장하고 이전의 누적 측정치와 가장 최근의 측정치를 비교함으로써 동일한 캐리어를 사용하여 순차적으로 검사될 수 있다. 점착성 표면(130) 및 관련 입자 좌표(511)는 후속 분석을 위해 다른 분석 기구로 이송될 수 있다.The present invention relates to a method and apparatus for detecting removable particles on a test surface or a surface to be inspected. These removable particles are transferred to a portion of the adhesive surface on the carrier 406 by adhering and detaching a portion of the adhesive surface 130 from the test surface. The carrier 406 is received by the positioning means 131 and passes through the field of view of the surface inspection means guided by the controller 170. The signal generated from the surface inspection means is merged with the coordinates from the controller 170 to produce particle coordinates, which represent particles on the test surface. The particle coordinates of the tacky surface 130 measured before the tacky surface 130 is attached and removed from the test surface are compared to the particle coordinates 511 measured after the tacky surface 130 is attached to and detached from the test surface. Can be. Multiple surfaces 512, 513, 514 can be inspected sequentially using the same carrier by storing the particle coordinates 511 after each measurement and comparing the most recent and previous cumulative measurements. The tacky surface 130 and associated particle coordinates 511 may be transferred to another analysis instrument for subsequent analysis.
Description
본 발명은 제품의 표면, 기계 공구 및 작업 영역에서의 입자 오염을 제어하는 것에 관한 것이다. 보다 구체적으로 설명하면, 본 발명은 반도체 제조, 데이터 저장 장치 제조, 유체 필터 검사 디스플레이 장치 제조, 클린룸, 약품 제조 및 취급, 정밀 기계 제조, 광학기기 제조, 항공기 제조 및 보건 산업에서 표면 상에서의 제거 가능한 입자 오염을 측정하는 것에 관한 것이다.The present invention relates to controlling particle contamination on the surface of a product, machine tool and work area. More specifically, the present invention is directed to surface removal in semiconductor manufacturing, data storage device manufacturing, fluid filter inspection display device manufacturing, cleanrooms, drug manufacturing and handling, precision instrument manufacturing, optics manufacturing, aircraft manufacturing and the health industry. It relates to measuring possible particle contamination.
입자 오염물의 정량화된 측정치는 검사된 표면 상에서 검출된 입자의 총수, 검사된 표면의 단위 면적당 입자의 총수, 검사된 표면의 단위 면적당 입자의 총수의 사이즈 막대 그래프, 누적 입자 체적 또는 면적, 또는 이러한 측정치의 조합을 포함할 수 있다. 이러한 입자 오염 측정치는 광산란 또는 이미지 분석에 의하여 수행되는 것이 일반적이다.Quantified measurements of particle contaminants include size bar graphs, cumulative particle volume or area, of the total number of particles detected on the inspected surface, the total number of particles per unit area of the inspected surface, the total number of particles per unit area of the inspected surface, or such measurements. It can include a combination of. Such particle contamination measurements are typically performed by light scattering or image analysis.
미국 특허 제4,898,471호 및 제5,343,290호는 반도체 웨이퍼를 검사하도록 최적화된 표면 입자 오염 측정치를 개시하고 있다. US Pat. Nos. 4,898,471 and 5,343,290 disclose surface particle contamination measurements optimized for inspecting semiconductor wafers.
미국 특허 제4,766,324호는 동일한 모니터 웨이퍼의 두 스캔을 비교하여 두 개의 스캔 사이에서 웨이퍼에 부가되거나 제거된 입자를 측정하는 것을 개시하고 있다. U. S. Patent 4,766, 324 discloses comparing two scans of the same monitor wafer to measure particles added or removed from the wafer between the two scans.
본 발명은 또한 표면으로부터 입자를 제거하는 것에 관한 것이다. 보다 구체적으로는, 본 발명은 제조 시스템에 사용되는 입자 오염물을 제거하여 국부적인 결함을 방지하고, 광학 또는 빔 산란을 방지하며, 처리 재료의 상호 오염을 방지하고, 표면의 밀접한 결합을 가능케 하며, 자성 오염물을 제거하고, 표면을 살균하기 위한 세정 공정에 관한 것이다. 표면 입자 제거는 용제, 유체 전단, 초음파, 점착성 표면으로의 이송, 또는 기계적 교반을 이용하여 수행되는 것이 일반적이다.The invention also relates to the removal of particles from the surface. More specifically, the present invention removes particle contaminants used in manufacturing systems to prevent local defects, to prevent optical or beam scattering, to prevent cross-contamination of processing materials, and to allow for tight coupling of surfaces, A cleaning process for removing magnetic contaminants and sterilizing surfaces. Surface particle removal is typically performed using solvents, fluid shear, ultrasonic waves, transfer to an adhesive surface, or mechanical agitation.
미국 특허 제4,009,047호는 점착성 롤러로 세정되는 시트와 접촉하는 것에 대하여 개시하고 있다. U.S. Patent No. 4,009,047 discloses contact with sheets cleaned with an adhesive roller.
미국 특허 제4,705,388호는 웹 세정 접착 롤러의 광학적 반사율을 측정하여 상기 롤러 재생의 필요한 시점을 측정하는 것에 대하여 개시하고 있다.US Pat. No. 4,705,388 discloses measuring the optical reflectance of a web cleaning adhesive roller to determine the required time point for the roller regeneration.
미국 특허 제5,373,365호는 웹 세정 롤러의 반사율을 측정하고, 그로부터 상기 롤러의 오염 정도를 추론하는 것에 대하여 개시하고 있다.U. S. Patent No. 5,373, 365 discloses measuring the reflectance of a web cleaning roller and inferring therefrom the degree of contamination of the roller.
미국 특허 제5,671,119호는 더미 점착성 웨이퍼를 정전척에 부착하고, 그것으로부터 제거함으로써 반도체 공정 공구에서 정전척을 세정하는 것에 대하여 개시하고 있다.U. S. Patent No. 5,671, 119 discloses cleaning an electrostatic chuck in a semiconductor processing tool by attaching a dummy adhesive wafer to and removing it from the electrostatic chuck.
미국 특허 제5,902,678호는 정전기 방지 감압성 필름을 표면에 부착하고, 그 필름에 자외선을 조사하며, 그 필름을 제거하여 표면을 세정하는 것을 개시하고 있다.US Patent No. 5,902,678 discloses attaching an antistatic pressure sensitive film to a surface, irradiating the film with ultraviolet light, and removing the film to clean the surface.
미국 특허 제6,023,597호는 정합적 정전기 방지 롤러를 형성하는 방법을 개 시하고 있다.U. S. Patent No. 6,023, 597 discloses a method of forming a coherent antistatic roller.
스코트랜드 인치넌 소재의 Teknek Electronics Limited는 인쇄회로기판 세정 제품을 제조하는바, 이는 우선 회로 기판을 정합적 고무 롤러와 접촉시키고 다시 상기 고무 롤러를 접착제 피복 롤러와 접촉시킨다.Teknek Electronics Limited, Inchinnon, Scotland, manufactures printed circuit board cleaning products, which first contact a circuit board with a mating rubber roller and then contact the rubber roller with an adhesive coating roller.
본 발명은 또한 표면을 세정하는 것과 그 표면상의 최초 제거 가능한 입자를 측정하는 것을 결합하는 것에 관한 것이다. 이러한 과정의 결합은 표면이 너무 거칠거나, 광학적으로 산란성이 있거나 또는 대형이기 때문에 현재 이용할 수 있는 기술로 검사하는 것이 곤란한 표면 검사에 유용하다. 이러한 과정은 제품에 가치를 부가하는 세정 공정에 그 공정의 제어를 향상시키는 측정치를 결합하기 때문에 유용하다.The invention also relates to combining cleaning the surface with measuring the first removable particles on the surface. The combination of these processes is useful for surface inspection where it is difficult to inspect with currently available techniques because the surface is too rough, optically scattering or large. This process is useful because it combines measurements that add control to the product and improve the control of the process.
미국 특허 제5,253,538호는 캘리포니아 프리몬트에 소재하는 Pentagon Technologies로부터 구매할 수 있는 제품 QIII(등록상표)에 구현되고 있다. 상기 특허는 노즐 조립체를 이용하여 평탄한 표면을 가로질러 가스를 전단하고, 부유입자 카운터를 사용하여 그 가스를 검사하고, 그 후에 입자에 대한 평탄한 표면을 검사하는 것을 기술하고 있다.U. S. Patent No. 5,253, 538 is embodied in product QIII®, which is available from Pentagon Technologies, Fremont, California. The patent describes using a nozzle assembly to shear a gas across a flat surface, inspect the gas using a suspended particle counter, and then inspect the flat surface for particles.
미국 특허 제5,939,647호는 샘플링 헤드가 짐벌(gimbal)에 의하여 핸들에 부착된 평탄면 검사용 QIII과 유사한 시스템을 개시하고 있다.U.S. Patent 5,939,647 discloses a system similar to QIII for flat surface inspection where a sampling head is attached to a handle by a gimbal.
미국 특허 제6,269,703호는 표면을 가로질러 전단하기 위해 인가되는 유체를 사용하여 표면으로부터 입자를 분리하는 것에 대하여 개시하고 있다.US Pat. No. 6,269,703 discloses separating particles from a surface using a fluid applied to shear across the surface.
콜로라도 보울더에 소재하는 Particle Measuring Systems의 Surfex 제품은 수용성 배쓰에서 초음파 세정하고 유체 입자 카운터로 물을 검사하여 표면을 검사한다.The Surfex product from Particle Measuring Systems, Boulder, Colorado, inspects surfaces by ultrasonic cleaning in aqueous baths and by inspecting water with a fluid particle counter.
또한, 본 발명은 캐리어 상의 표면으로부터 제거된 입자를 보유하고, 캐리어 상에서의 입자 위치를 측정하며, 상기 캐리어와 그 캐리어 상의 입자의 위치를 전자현미경, 광학 리뷰 스테이션 및 X-선 흡수기와 같은 분석 기구로 통과시키는 것에 관한 것이다. 발견된 입자를 보유하면 측정 기술에 추적가능성이 부여된다. 이는 제품 손상 메카니즘과 공정 변화를 분석하기 위해 추적 분석이 저장 캐리어에 관하여 수행되도록 해 준다.In addition, the present invention retains particles removed from the surface on a carrier, measures particle positions on the carrier, and analyzes the location of the carrier and the particles on the carrier, such as electron microscopy, optical review stations, and X-ray absorbers. It is about passing through. Retention of particles found gives traceability to the measurement technique. This allows traceability analysis to be performed on the storage carrier to analyze product damage mechanisms and process changes.
미국 특허 제5,655,029호는 하나의 현미경으로 시료의 관심 영역을 탐지하고 그 시료와 좌표를 자동 검사용 제2 현미경으로 전달하는 것을 개시하고 있다.US Pat. No. 5,655,029 discloses detecting a region of interest of a sample with one microscope and transferring the sample and coordinates to a second microscope for automated inspection.
표면과의 문지름, 비비기 또는 상호 작용을 하여 더 큰 오염이 발생하지 않도록 표면 입자 제거 및 표면 입자 측정을 결합하는 것이 바람직하다. 표면을 용제에 침지시킬 필요가 없어서, 대형이거나, 수직으로 배향되거나 또는 용제 민감성 표면 검사할 수 있도록 하는 기술이 바람직하다. 복잡하거나, 거칠거나 또는 평탄하지 않은 표면을 세정하고 검사할 수 있는 기술이 바람직하다. 접근이 제한되거나 한정된 제조 공구의 내부 면을 검사 및 세정하도록 하는 기술이 바람직하다. It is desirable to combine surface particle removal and surface particle measurement to rub, rub or interact with the surface so that no further contamination occurs. It is desirable to have a technique that does not require the surface to be immersed in a solvent so that it can be large, vertically oriented, or solvent sensitive surface inspection. Techniques capable of cleaning and inspecting complex, rough or uneven surfaces are desirable. It is desirable to have a technique that allows for inspection and cleaning of the inner surfaces of a manufacturing tool with limited or limited access.
본 발명은 테스트 표면 또는 검사될 표면 상에서 제거 가능한 입자를 탐지하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 이러한 제거 가능한 입자는 테스트 표면으로부터 점착성 표면의 일부를 접착 및 분리함으로써 캐리어 상에 점착 표면의 일부에 전달된다. 캐리어는 위치설정 수단에 의하여 수납되며, 제어기에 의하여 안내되는 표면 검사 수단의 시계를 통과한다. 표면 검사 수단으로부터 발생된 신호는 제어기로부터의 좌표와 병합되어 입자 좌표를 생성하는데, 이것은 테스트 표면 상의 입자를 나타낸다. 점착성 표면이 테스트 표면에 부착 및 제거되기 전에 측정된 점착성 표면의 입자 좌표는 점착성 표면이 테스트 표면에 부착 및 그로부터 분리된 이후에 측정된 입자 좌표와 비교될 수 있다. 각각의 측정 이후에 입자 좌표를 저장하고 이전의 누적 측정치와 가장 최근의 측정치를 비교함으로써 동일한 캐리어를 사용하여 수 개의 테스트 표면이 순차적으로 검사될 수 있다. 캐리어 및 관련 입자 좌표는 후속 분석에 대하여 다른 분석 기구로 이송될 수 있다.The present invention relates to a method and apparatus for detecting removable particles on a test surface or a surface to be inspected. These removable particles are transferred to a portion of the adhesive surface on the carrier by adhering and separating a portion of the adhesive surface from the test surface. The carrier is received by the positioning means and passes through the field of view of the surface inspection means guided by the controller. The signal generated from the surface inspection means is merged with the coordinates from the controller to produce particle coordinates, which represent particles on the test surface. The particle coordinates of the tacky surface measured before the tacky surface is attached and removed from the test surface can be compared with the particle coordinates measured after the tacky surface is attached to and separated from the test surface. After each measurement, several test surfaces can be inspected sequentially using the same carrier by storing the particle coordinates and comparing the previous cumulative measurements with the most recent measurements. The carrier and related particle coordinates can be transferred to another analysis instrument for subsequent analysis.
도 1은 장치의 가장 바람직한 실시예의 사시도이다.1 is a perspective view of a most preferred embodiment of the device.
도 2a는 비평면 테스트 표면에 점착성 표면 캐리어를 적용하는 핸들 수단의 사시도이다.2A is a perspective view of a handle means for applying an adhesive surface carrier to a non-planar test surface.
도 2b는 점착성 표면 캐리어에 부착된 핸들 수단의 사시도이다.2B is a perspective view of the handle means attached to the tacky surface carrier.
도 3은 점착성 롤러를 사용하여 모니터 실리콘 웨이퍼로부터 폴리스티렌 라텍스 구체를 제거하는 것을 도시하는 막대 그래프이다.3 is a bar graph illustrating the removal of polystyrene latex spheres from a monitor silicon wafer using an adhesive roller.
도 4a는 점착성 표면 캐리어의 평면도 및 단면도이다.4A is a plan view and a cross-sectional view of an adhesive surface carrier.
도 4b는 핸들 수단의 평면도 및 단면도이다.4b is a plan view and a sectional view of the handle means;
도 5는 순환 수단 사이의 데이터 이송 경로를 도시하는 데이터 흐름도이다.5 is a data flowchart showing a data transfer path between circulation means.
도 6은 수 개의 캐리어 및 착탈식 테이터 저장 요소용 박스의 사시도이다.6 is a perspective view of a box for several carriers and a removable data storage element.
도 7은 점착성 표면에 인접한 각종의 정렬마크를 도시한다.7 shows various alignment marks adjacent to the tacky surface.
도 8은 정렬마크의 패턴과 저점착성 스트립을 구비하는 점착성 표면 캐리어의 사시도이다.8 is a perspective view of an adhesive surface carrier having a pattern of alignment marks and a low tack strip.
도 9는 보호 커버를 구비하는 점착성 표면 캐리어의 사시도이다.9 is a perspective view of an adhesive surface carrier with a protective cover.
도 10은 바람직한 실시예의 조명 및 포커스 광학기기의 사시도이다.10 is a perspective view of the illumination and focus optics of the preferred embodiment.
도 11a 및 도 11b는 도 10의 조명 및 포커스 광학기기의 단면도이다.11A and 11B are cross-sectional views of the illumination and focus optics of FIG. 10.
도 12는 회전 운동 검출부 및 RF 통신부를 갖는 핸들 수단의 절결 사시도이다.12 is a cutaway perspective view of a handle means having a rotational motion detection unit and an RF communication unit.
도 13은 플라잉 스폿 스캐너를 사용하는 실시예의 사시도이다.13 is a perspective view of an embodiment using a flying spot scanner.
도 14a는 홈 검사용 중간 점착성 표면을 사용하는 실시예의 평면도이다.14A is a plan view of an embodiment using an intermediate tacky surface for groove inspection.
도 14b는 도 14a의 단면도이다.14B is a cross-sectional view of FIG. 14A.
도 14c는 도 14a의 단면도이다.14C is a cross-sectional view of FIG. 14A.
도 14d는 홈 검사용 중간 점착성 표면을 사용하는 실시예의 사시도이다.14D is a perspective view of an embodiment using an intermediate tacky surface for groove inspection.
도 15는 현장(in-situ) 세정 및 검사용 가요성 점착성 시트를 사용하는 실시예의 사시도이다.FIG. 15 is a perspective view of an embodiment using a flexible adhesive sheet for in-situ cleaning and inspection. FIG.
도 16은 현장 세정 및 검사용 가요성 점착성 시트를 사용하는 실시예의 사시도이다.16 is a perspective view of an embodiment using a flexible adhesive sheet for field cleaning and inspection.
도 17은 점성 표면을 갖는 좌표 시스템의 화소(pixel)를 도시하는 도면이다.FIG. 17 is a diagram illustrating a pixel of a coordinate system having a viscous surface.
도 18은 점성 표면에 인접하여 이미지 처리될 때 두 개의 검출 어레이와 관련된 복셀(voxel)을 도시한다.18 shows a voxel associated with two detection arrays when imaged adjacent to a viscous surface.
발명을 실시하기 위한 양태Aspect for carrying out the invention
입자 오염은 입자와 원래 표면 사이에 경계면이 존재한다는 점에서 표면의 다른 특징과 구별될 수 있다. 그 경계면에서의 부착(cohesion)을 표면 재료의 점착(adhesion)과 비교하면, 입자는 몇몇 공정 또는 장치에서 입자 오염화되어 이후에 용이하게 제거될 수 없도록 단단히 접착된다. 부착이 입자를 제거할 수 있을 정도로 충분히 약하면, 입자는 오염 통제를 위해 보다 중요하다.Particle contamination can be distinguished from other features of the surface in that there is an interface between the particle and the original surface. Comparing the cohesion at its interface with the adhesion of the surface material, the particles adhere firmly so that in some processes or devices the particles become contaminated and cannot subsequently be easily removed. If the adhesion is weak enough to remove the particles, the particles are more important for contamination control.
명확함 및 간결함을 위하여, 이하 검사된 표면에 착탈 가능하게 부탁하도록 가공된 표면을 점착성이라 기술하기로 한다. 점착성 재료란 점착성 표면 및 바로 인접하는 용적부를 형성하는 벌크 조성물이다. 접착 강도는 점착성 표면과 검사될 표면의 표면 에너지, 그 표면 상에 흡착된 액체층, 그 표면 상에 흡착된 분자 오염물, 그 표면 간의 접촉 시간 및 압력, 주위 온도, 양 표면의 컴플라이언스, 양 표면의 거칠기에 기인한 기계적 맞물림, 상호 확산, 그리고 화학적 반응을 포함하는 여러 가지 인자에 의존한다. 일반적으로, 점착성 표면과 입자간에 부착력이 높을수록 표면 상 입자 오염물의 더 많은 부분을 제거할 수 있다. 테스트 표면에 대하여 너무 강한 부착 결합을 갖는 점착성 표면은 손상 메카니즘을 야기할 수 있다. 이러한 손상 메카니즘 중 하나는 점착성 재료의 응집력 손상이다. 이것은 테스트 표면 상에서 점착성 재료의 증착부에까지 이를 수 있다. 또 다른 손상 메카니즘은 테스트 표면에 대한 점착성 표면의 영구 부착을 형성하는 것이다. 점착성 표면은 테스트 하의 표면으로부터 제거 가능한 입자의 시료 채취기로서 작용한다.For the sake of clarity and brevity, the surface processed to be detachably attached to the inspected surface will be described as stickiness. An adhesive material is a bulk composition that forms an adhesive surface and a volume immediately adjacent to it. Adhesion strength includes the surface energy of the tacky surface and the surface to be inspected, the liquid layer adsorbed on the surface, the molecular contaminants adsorbed on the surface, the contact time and pressure between the surface, the ambient temperature, the compliance of both surfaces, the It depends on several factors, including mechanical engagement, interdiffusion, and chemical reactions due to roughness. In general, the higher the adhesion between the tacky surface and the particles, the greater the removal of more of the particle contaminants on the surface. Adhesive surfaces with too strong attachment bonds to the test surface can lead to damage mechanisms. One such damage mechanism is cohesive damage of the tacky material. This can lead to the deposition of tacky material on the test surface. Another damage mechanism is to form a permanent attachment of the tacky surface to the test surface. The tacky surface acts as a sampler of particles that can be removed from the surface under test.
실리콘 모니터 웨이퍼 상에서 발견되는 천연 산화물과 같은 높은 표면 에너지를 갖는 표면을 테스트하기 위한 점착성 표면은 테스트 표면과 점착성 표면간의 접착은 점착성 재료의 응집력을 초과하지 않도록 하기 위해서 비교적 낮은 부착력을 가질 필요가 있다. 미국 오레곤에 소재하는 UltraTape Industries 제품인 클린룸 리무버블 테이프 모델 1310 상에서 볼 수 있는 점착성 표면은 모니터 실리콘 웨이퍼 상에서 사용될 때 잔류물 없이 양호한 입자 제거력을 보여 준다. 미국 미네소타에 소재하는 3M 컴파니 제품인 모델 4658F 테이프 상에서 볼 수 있는 것과 같은 보다 높은 점착성은 폴리카보네이트와 같은 보다 낮은 표면 에너지의 테스트 표면에 적합하다. 미국 특허 제5,902,678호는 양호한 입자 제거성을 보여주는 가요성 백킹(backing) 상의 감압 접착제를 개시하고 있다. 미국 특허 제5,187,007호는 웨이퍼 다이싱(dicing)에 사용되는 감압 접착제를 개시하고 있다. 상기 필름의 특성은 하기의 실시예에서 점착성 표면으로 유용하게 사용할 수 있게 한다. Gel-Pak Corporation에 의하여 시판되는 점착성 필름은 테스트 표면에 예상대로 접착하며 그로부터 깨끗하게 떨어진다. 점착성 재료에 대하여 가장 바람직한 실시예는 미국 특허 제3,821,136호에 기술된 유형의 친수성 폴리우레탄이다. 점착성 재료에 대한 바람직한 접착제는 정전기를 분산시킬 수 있도록 점착성 재료의 전도성과 이온 전도를 향상시키기 위한 접착제를 포함한다. 점착성 표면에 대한 유용한 최대 저항은 평방 센티미터당 1012 오옴이다. 점착성 표면에 대한 양호한 접착제는 카본블랙과 같은 염료 또는 안료이다. 광 흡수제는 점착성 표면을 통해 투과된 입사 조명으로부터의 바탕 및 서브표면 광 산란을 감소시킨다. 점착성 재료에 대한 가능한 조성물의 스펙트럼이 존재하며, 특정 테스트 표면이 특수한 점착성 표면을 필요로 할 수도 있음이 당업자들은 이해할 것이다.Adhesive surfaces for testing surfaces with high surface energy, such as natural oxides found on silicon monitor wafers, need to have a relatively low adhesion in order that the adhesion between the test surface and the adhesive surface does not exceed the cohesion of the adhesive material. The tacky surface seen on the Cleanroom
작은 입자를 통상 모니터 실리콘 웨이퍼와 같이 입자 검사용으로 사용되는 표면 상에서 보다 점착성 표면 상에서 검출하는 것이 보다 곤란한 이유는 여러 가지가 있다. 점착성 재료는 광학적으로 다소 반투명한 것이 일반적이다. 이것은 광을 강력하게 흡수 또는 반사하지 못하여, 빛이 서브 표면 특징부, 오염물, 또는 굴절률에서의 변종으로부터 산란한 이후에 점착성 표면으로부터 출현할 수 있다. 상기 표면은 국부적으로 매끄럽지 않은 것이 일반적이므로, 표면 산란을 감소시키기 위하여 그레이징(grazing) 조명 또는 로이드 미러 콜렉션(Lloyd's mirror collection)이 필요하다. 심지어 암시야 조명에 의해서도, 입자의 빛 산란 특성을 모방하는 표면 결함이 발생할 수 있다. 큰 분자량의 벌크 성분은 여과하기 곤란하므로, 표면에 대한 초점 위치에서의 작은 변화 및 조명 강도에 의존하여 검출 가능성의 유무를 점멸할 수 있는 점착성 표면 하방의 입자와 오염물이 존재할 수 있다. 벌크재에서의 굴절률 변화는 비교적 높은 수준의 바탕 광 산란을 발생시킨다.There are many reasons why it is more difficult to detect small particles on a tacky surface than on a surface normally used for particle inspection, such as a monitor silicon wafer. Adhesive materials are generally optically somewhat translucent. It does not strongly absorb or reflect light so that light may emerge from the tacky surface after scattering from the variation in sub-surface features, contaminants, or refractive index. Since the surface is generally not locally smooth, grazing illumination or Lloyd's mirror collection is required to reduce surface scattering. Even with dark field illumination, surface defects can occur that mimic the light scattering properties of particles. Since large molecular weight bulk components are difficult to filter, there may be particles and contaminants below the tacky surface that may flicker the presence or absence of detectability, depending on the small change in the focal position to the surface and the illumination intensity. The change in refractive index in the bulk material results in a relatively high level of background light scattering.
점착성 표면은 테스트 표면에 부착되는 시점에 입자가 없는 것으로 나타나지 않는 것이 일반적이다. 이러한 입자 신호의 대다수는 전술한 바와 같이 실제 입자, 굴절률 변화 또는 표면 결함에 기인한다. 몇몇은 처리 및 저장 중의 환경 오염으로부터 점착성 표면을 격리시키기 위하여 점착성 표면에 적용되는 보호층으로부터 전달될 수 있다. 또한, 몇몇은 테스트 표면에 적용하기 위한 준비중의 점착성 표면의 취급 시에 발생하기도 한다.The tacky surface generally does not appear to be free of particles at the time of attachment to the test surface. The majority of these particle signals are due to actual particles, refractive index changes or surface defects as described above. Some may be transferred from a protective layer applied to the tacky surface to isolate the tacky surface from environmental contamination during processing and storage. Some also occur in the handling of tacky surfaces in preparation for application to test surfaces.
실시예 1Example 1
도 1은 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 도시하는 도면으로서, 점착성 표면(130) 캐리어가 표면 검사 수단(100)의 시계 내에서 위치설정 수단(131)에 장착되어 있다. 캐리어는 테스트 표면에 부착되고 그로부터 제거되기 전에, 제1 테스트 표면에 부착되고 그로부터 제거된 이후에, 또는 다수의 테스트 표면에 순차적으로 부착되고 그로부터 제거된 이후에 검사될 수 있다.1 shows the most preferred embodiment of the present invention, in which a
본 실시예의 표면 검사 수단(100)은 자동 암시야 광학 현미경이다. 할로겐 램프(102)로부터 발생한 빛이 배플(baffle; 104)에 의하여 공간적으로 여과되고, 적외선 함량을 감소시키기 위하여 콜드 미러(105)에 의하여 여과되며, 무한 공액 대물렌즈(108)의 암시야 조명 미러를 향하여 링 미러(106)에 의해 반사된다. 대물렌즈(108)는 프레임(140) 위에 장착된다. 조명은 거의 접지각으로 점착성 시트(130) 캐리어 상에 입사된다. 점착성 표면으로부터 산란된 빛은 암시야 대물렌즈(108)에 의하여 이미지화되어, 링 미러(106)의 투명한 중심 개구를 통과하여, 분광기(112)에 의하여 두 개의 이미지 경로(116, 122)로 분할된다. 경로(116) 상의 빛은 포커싱 레이저(126)로부터 빛을 제거하는 필터(115)를 통과하고, 튜브 렌즈(114)에 의하여 선형 CCD 검출기 어레이(118) 상에 이미지화된다. 경로(122) 상의 빛은 튜브 렌즈(120)를 통과하여 핫 미러(121)에 의하여 제2 선형 CCD 검출기 어레이(124) 상에 반사된다. 검출기(118, 124)는 신호(181, 182)에 대한 분석 전자장비(180)로부터의 X 좌표 타이밍 정보에 의하여 구동되며, 검출기는 분석 전자장비(180)에 그레이징 조명 산란 강도 정보를 전송한다. 제1 튜브 렌즈(114) 및 검출기 어레이(118)는 점착성 표면의 초점 심도(depth of focus)의 3배 깊이에 속하는 점착성 시트에서의 평면에 이미지화된다. 제2 튜브 렌즈(120) 및 검출기 어레이(124)를 사용하면, 점착성 표면으로부터 적어도 1배 초점 심도만큼 멀고, 점착성 표면을 지지하는 벌크재 안으로 제1 렌즈 및 검출기 어레이보다 깊은 지점에서 이미지화되어야 한다. 제2 튜브 렌즈와 검출기 어레이를 사용하지 않으면, 분광기(112)를 제거하여야 한다. 이러한 단일 CCD 구성은 벌크 오염과 산란이 매우 낮은 점착성 표면에 대한 바람직한 실시예이다. 점착성 시트(130) 캐리어가 핸들 수단, 또는 조작기 수단(132)에 부착된다. 이러한 조합은 아래에서 보다 구체적으로 설명될 것이다.The surface inspection means 100 of this embodiment is an automatic dark field optical microscope. The light from the
작은 입자는 단파장을 보다 강하게 산란시키므로, 보다 짧은 파장 에너지를 갖는 광원이 바람직하다. 조명에 대한 또 다른 바람직한 실시예는 아크 램프, 발광 다이오드(LED) 및 레이저를 포함한다. 응집되지 않은 조명은 응집된 조명보다 검출된 이미지에서 적은 노이즈를 발생시키는 것이 일반적이다. 입자가 검출될 수 있는 깊이를 제한하기 위하여 0.5 내지 0.95의 개구수를 갖는 대물렌즈가 바람직하다. 입자가 액침 유체의 굴절율과 거의 상응하는 굴절율을 가질 수 있기 때문에, 액침 광학계는 바람직하지 않다. 점착성 표면을 지지하는 벌크재가 국부적인 광산란이 거의 없고 또 벌크재의 두께가 적어도 초점 심도의 8배 깊이이면, 제2 검출기 어레이를 생략할 수도 있다. 검출기에 대한 또 다른 바람직한 실시예는 CMOS 선형 어레이, CCD 및 CMOS 2차원 어레이, TDI 어레이 및 위치 감지 광전자 증배관을 포함한다. Since small particles scatter shorter wavelengths more strongly, light sources with shorter wavelength energies are preferred. Another preferred embodiment for illumination includes arc lamps, light emitting diodes (LEDs) and lasers. Unaggregated illumination generally generates less noise in the detected image than coagulated illumination. Objective lenses having a numerical aperture of 0.5 to 0.95 are preferred to limit the depth at which particles can be detected. Immersion optics are undesirable because the particles can have a refractive index that substantially matches the refractive index of the immersion fluid. The second detector array may be omitted if the bulk material supporting the tacky surface has little local light scattering and the thickness of the bulk material is at least eight times the depth of focus. Another preferred embodiment for the detector includes a CMOS linear array, a CCD and CMOS two-dimensional array, a TDI array, and a position sensing photomultiplier tube.
핸들 수단(132)은 위치설정 수단(131)에 의하여 수납되는데, 이것은 표면 검사 수단(100)의 시계를 통해 점착성 시트(130) 캐리어를 통과시킨다. 이제 위치설정 수단(131)을 총괄적으로 설명하기로 한다. 점착성 시트(130) 캐리어는 핸들 수단(132) 상에 장착되며, 이것은 기어 감속기(134)에 부착된 스핀들(133), 서보 모터(136) 및 인코더(138)와 결합한다. 상기 구성은 제어기(170)의 통제 하에서 점착성 표면(130) 캐리어를 회전시킨다. 이것은 대물렌즈에 대한 캐리어의 θ 운동이다. 기어 감속기(134)는 선회 판(135)에 부착된 앵글 브라켓(136)에 장착된다. 핸들 수단(132)의 그립부는 앵글 브라켓에 부착된 스프링 클립(137)에 의하여 유지된다. 승강기 판(142)에 고정된 라이저 블록(riser block; 143)에는 선회판(135)이 굴곡 힌지(144)에 의하여 연결된다. 승강기 판(142)은 리니어 베어링(145)에 의하여 프레임(140)에 일차원적으로 평행하게 이동하도록 구속된다. 대물렌즈(108)와 점착성 표면 간의 간격을 변경시키는 Z 운동은 승강기 판(142) 상에 장착된 보이스 코일 자석(156), 선회 판(135) 상에 장착된 보이스 코일(157) 및 제어기(170) 내부의 구동 회로에 의하여 구동된다. 선회판(135)의 기계적 위치는 선회판(135)에 부착된 대응하는 코어와 짝으로 연결된 승강기 판(142)에 부착된 LVDT 센서(158)에 의하여 모니터된다. 승강기 판(142)에 부착된 브라켓(152) 상의 모터가 선회판(135)에 부착된 리드스크류(154)를 회전시킨다. 제어기(170)는 승강기 판(142)의 X 위치를 제어하기 위해 모터(150)를 구동시킨다.The handle means 132 is received by the positioning means 131, which passes the
또한, θ 운동을 발생시키기 위한 부가적인 바람직한 실시예는 에어 베어링, 마이크로스텝퍼, 브러쉬리스 모터 및 DC 모터를 구비한다. ord 및 Z 운동을 위한 부가적인 바람직한 실시예는 만곡부(flexure), 에어 베어링, 리니어 베어링, 스퀴즈 베어링, 인치워엄, 압전 변환기, 리니어 보이스 코일 및 리드스크류를 구비한다. θ, X, Y 및 Zlab 운동을 모니터링하기 위한 부가적인 바람직한 실시예는 용량성 센서, 증분식 광학 센서, 에어 게이지, 맴돌이 전류 센서, 인덕턴스 센서 및 광학 변위 센서를 구비한다.Further preferred embodiments for generating θ motion include air bearings, microsteppers, brushless motors and DC motors. Additional preferred embodiments for ord and Z motion include flexures, air bearings, linear bearings, squeeze bearings, inch worms, piezoelectric transducers, linear voice coils and lead screws. Additional preferred embodiments for monitoring θ, X, Y, and Z lab motion include capacitive sensors, incremental optical sensors, air gauges, eddy current sensors, inductance sensors, and optical displacement sensors.
제어기(170)는 전자 하드웨어, 펌웨어 및 소프트웨어의 결합체로서, 위치설정 수단의 각종 자유도의 운동을 조화시키며, 센서 위치 정보를 수신 및 처리하고, 점착성 표면의 스캐닝을 제어하는 외부 명령어에 응답한다. 제어기(170)는 범용 마이크로프로세서와 통신하는 하나 이상의 실시간 마이크로프로세서가 바람직하다. 변형예로서, 제어기(170)는 범용 마이크로프로세서의 처리능의 시간 구획 부분일 수 있다. 제어기(170)에 대한 외부 통신은 다음 중 적어도 하나를 통해 이루어진다: 키이보드, 디스플레이, 터치 패널, 적외선 링크, RF 링크, 전용 직렬 인터페이스, 전용 병렬 인터페이스, 근거리 통신망 및 광역 통신망.The
분석 전자기기는 아날로그 전처리, ASIC, FPGA, CPLD, FIFO, RAM, 하나 이상의 범용 프로세서, 하나 이상의 디지털 신호 프로세서, 자기 디스크, 착탈식 스토 리지 및 통신 기능의 조합체가 바람직하다.Analytical electronics are preferably a combination of analog preprocessing, ASIC, FPGA, CPLD, FIFO, RAM, one or more general purpose processors, one or more digital signal processors, magnetic disks, removable storage, and communication functions.
제어기(170)는 전자 하드웨어, 펌웨어 및 소프트웨어의 조합체로서, 위치설정 수단의 각종 자유도의 운동을 조화시키며, 센서 위치 정보를 수신 및 처리하고, 점착성 표면의 스캐닝을 제어하는 외부 명령어에 응답한다. The
정밀하지 않은 광학 초점 탐지기는 입사 및 반사 조명의 일부를 포획하기 위하여 배치된 광다이오드(190)를 구비한다. 정밀한 광학 초점 탐지기는 레이저(126), 분광기(127), 조정 가능한 마운트(128), 단축 위치 감지 탐지기(129) 및 케이블(176)을 통한 제어기(170) 내부의 관련 신호 컨디셔닝 전자기기에의 접속부를 포함한다. 초점 시스템은 아래에서 보다 상세히 설명하기로 한다.The less precise optical focus detector has a
표면 검사 수단(100)의 보다 덜 바람직한 실시예는 주사전자현미경(SEM), 원자력 현미경 및 음향 현미경과 같은 비광학 측정 기술을 포함한다. 몇몇 용례에서, 포화 대기로부터 점착성 표면까지 전달된 입자 상에 증기를 우선적으로 응축함으로써 감도가 향상될 수 있다.Less preferred embodiments of the surface inspection means 100 include non-optical measurement techniques such as scanning electron microscopy (SEM), atomic force microscopy and acoustic microscopy. In some applications, sensitivity may be improved by preferentially condensing vapor on the particles transferred from the saturated atmosphere to the tacky surface.
도 2 및 도 3은 점착성 시트(130) 캐리어 및 핸들 수단(132)을 보다 구체적으로 설명한다. 가장 바람직한 실시예에서, 점착성 시트의 표면은 원통형이 일반적이다. 이것은 도 2a에 도시된 바와 같이 비평탄 테스트 표면(202)을 검사할 수 있게 한다. 도 2b는 슬래브(206) 상에 놓여 아이들 상태에 있는 점착성 시트(130) 캐리어가 부착된 핸들 수단(132)을 도시한다. 핸들 수단(132)에 있는 핀(208)이 안정성을 제공한다. 칼라(210)는 점착성 시트(130) 캐리어가 핸들 수단(132)에 대하여 자유 회전하도록 그립부를 베어링에 결합한다. 이에 대해서는 아래에서 보다 상세히 설명한다. 변형예로서, 로봇 또는 자동화 장치가 핸들 수단을 조작하여 점착성 표면을 테스트 표면에 적용시킬 수 있다.2 and 3 illustrate the
도 3은 테스트 표면을 의도적으로 오염시키고 그 오염물을 제거하기 위해 핸들 수단(132)과 점착성 시트(130)를 사용하여 획득한 데이터를 도시한다. 우선, 제어 데이터를 발생시키기 위해 표준 구조의 암시야 산란 입자 검사 공구를 이용하여 천연 산화물을 갖는 모니터 실리콘 웨이퍼를 검사하는데, 이는 도 3에는 막대그래프의 3 열의 중간열에 해당한다. 입경은 화소로부터의 광 산란 강도로부터 추론되며, 그 각각은 웨이퍼 표면 상의 약 0.01 입방 센티미터에 대응한다. 0.3 마이크론 미만의 제어 입자 밀도의 점진적 증가는 단일 입자 이외의 광원으로부터의 빛 산란에 기인하기 쉽다. 0.3/2μm PSL 막대그래프 데이터를 발생시키기 위해서 0.3 마이크론 직경 및 2.0 마이크론 직경을 갖는 폴리스티렌 라텍스 구체로 이루어진 현탁액을 웨이퍼 상에 분무된다. 친수성 폴리우레탄 점착성 표면을 갖는 롤러를 웨이퍼의 표면 위로 한번 굴려 '롤링 후' 데이터를 발생시킨다. 테스트 표면의 높은 표면 에너지가 롤러를 입자에 들러붙게 하지만, 롤러는 제어 표면 상에 존재하는 오염물 일부를 제거할 뿐만 아니라 두 가지 크기를 갖는 도포된 입자의 90% 이상을 제거할 수 있다.3 shows data obtained using the handle means 132 and the
점착성 시트(130) 캐리어의 세부 사항이 도 4a에서 좌측도 및 관련 단면도 A로 도시되어 있다. 캐리어(406)의 강체 코어는 단부가 폐쇄된 중공 플라스틱 실린더이다. 아크릴 폼 테이프(404)를 매우 강하게 접착시키는 Dupont 4949 블랙과 같은 정합층(conformal layer)을 강체 코어(406)에 원주방향으로 적용시켜, 광학적으로 흡수하는 배킹, 점착성 재료용 접착력 증진제, 그리고 표면 정합성을 제공한다. 점착성 표면 하방의 정합 지지층은 테스트 표면을 갖는 점착성 표면의 습윤성을 향상시킨다. 또한 정합층은 복잡한 표면 곡율의 롤링을 가능케 한다. 일반적인 점착성 표면이 두 개의 곡률 반경을 갖는 테스트 표면과 긴밀히 접촉시킨다. 또한, 이것은 파이프의 내부가 핸들 수단(132)의 축 방향 운동에 의하여 검사될 수 있도록 한다. 친수성 폴리우레탄 점착성 재료를 함유하는 솔벤트 용액은 강체 코어(406) 및 정합층(404)의 결합체를 적시거나 그 상부에 롤식으로 피복한다. 이러한 용액을 건조하여 점착성 표면(401)을 갖는 점착재 필름(402)을 형성한다.Details of the
핸들 수단(132)의 세부 사항이 도 4b에서 좌측도 및 관련 단면도 B로 도시되어 있다. 보빈(416)은 밀봉 베어링(418)과 C형 링(420)에 의하여 칼라(210)에 연결되어 있다. 그립부(408)는 핀(208)을 관통하는 나사를 사용하여 칼라(210)에 부착된다. 위치설정 수단(131)의 스핀들(133)은 보빈(416) 내부의 폐쇄 공차 구멍(422)과 결합한다. 보빈(416)이 스핀들(133)에 용이하게 수동으로 삽입 및 제거될 수 있도록 그러나 위치설정 수단(131)이 스핀들에 토오크를 인가할 때 보빈이 스핀들 상에서 미끄러지지 않도록 탄성중합체 O형 링(414)이 견인력을 제공한다.Details of the handle means 132 are shown in FIG. 4B in the left side view and in the relevant cross section B. The
보빈(416) 상방에는 플라스틱 코어(406)가 미끄럼 이동한다. 플라스틱 코어의 개구는 보빈(424) 상방의 립부와 결합하며, 안착된 O형 링(410)은 플라스틱 코어(406)의 내부면상에 센터링력을 외측으로 인가하도록 보빈(416) 내부의 8개의 안착 금속 볼(410)을 가압한다. 상기 핸들 수단은 가능한 거의 제로에 가까운 오염을 발생시켜야 한다. 플라스틱 코어(306)의 폐쇄 단부는 수용 및 롤링 공정에 의하여 발생될 수 있는 입자를 함유하는데 도움을 준다. 점착성 시트 캐리어가 비교적 저렴한 소비재이므로, 핸들 수단은 내경과 타원율에서 상당한 공차를 갖는 강체 캐리어 코어(406)와 정확하게 결합하여야 한다. 다음으로 점착성 시트(130) 캐리어의 또 다른 바람직한 실시예를 설명하기로 한다. 플라스틱 코어(406)의 대략 원통형인 내부면은 핸들 수단에 결합하기 위한 캐리어의 가장 바람직한 축 방향 특징부이다. 또 다른 바람직한 실시예는 테이퍼형 구멍, 육각형 구멍, 정방형 구멍, 나사형 구멍, 엑슬, 테이퍼 핀, 육각형 로드, 정방향 로드 및 나사형 로드를 포함한다. 원통형의 보빈(416) 내부면은 핸들 수단이 위치설정 수단(131)에 결합하기 위한 가장 바람직한 방법이다. 위치설정 수단과 핸들 수단을 기계적으로 결합하기 위한 또 다른 바람직한 실시예는 테이퍼형 핀과 구멍, 베이어닛 마운트, 나사 및 너트, 키홈(keyway)를 갖는 샤프트, 그리고 멈춤쇠(detent)를 갖는 샤프트를 포함한다.The
도 5는 가장 바람직한 실시예의 데이터 플로우를 도시한다. 점착성 시트(130) 캐리어는 제어기(170)에 의하여 지시되는 대로 위치설정 수단(131)에 의하여 표면 검사 수단(100)의 시계를 통해 스캐닝된다. 두 개의 CCD 어레이(118, 124)는 광 산란도(I) 및 위치 (X) 정보를 포함하는 신호(181, 182)를 발생시킨다. 상기 신호는 분석 전자장비(180)에 도달한다. 이와 동시에, 점착성 시트 캐리어의 현재 위치에 관한 부가적인 정보(θ, ord, Zopt, Zlab)가 제어기(170)로부터 통신 수단(171)을 통해 분석 전자장비(180)까지 전달된다. 점착성 표면(130) 캐리어의 좌표에서 입자 좌표(I, abs, ord, Z)을 생성하기 위해 광 산란도 및 좌표 정보는 제1 계산 수단(508)에서 결합된다. 이하 제1 계산 수단의 세부 사항을 설명하기로 한다. 제1 계산 수단의 출력은 점착성 시트(130) 캐리어가 검사되는 상이한 경우에 대하여 도 5에서 상이한 방식으로 표식되어 있다. 테스트 표면에 점착성 시트를 부착하거나 그로부터 제거하기 전에 스캐닝에 의하여 발생된 입자 데이터는 입자 좌표를 노출시키지 않는다(510). 테스트 표면에 점착성 시트를 부착하고 그로부터 제거한 이후의 스캐닝에 의하여 발생된 입자 데이터는 우선 입자 좌표(511)를 노출시킨다. 후속 테스트 표면에 점착성 시트를 부착하고 그로부터 제거한 이후의 입자 데이터는 각각 (510, 513, 514)이다. 이러한 후속 테스트 표면은 최초 테스트 표면의 측정을 반복할 수 있지만, 다른 테스트 표면의 측정이 보다 적당하다. 원칙적으로, 임의 개수의 깨끗한 테스트 표면이 점착성 표면에 부착된 단일 캐리어로 검사될 수 있다. 하지만 실제로는, 반복 사용 횟수는 점착성 표면에 대한 오염물의 축적에 의하여 주로 제한된다. 가장 단순한 실시예에서, 사전 스캔(510)이 존재하지 않는다. 테스트 표면에 적용되고 그로부터 제거된 점착성 표면을 스캐닝하는 동안 발생된 입자 좌표(511)는 테스트 표면으로부터 전달된 입자를 나타내는 것으로 가정된다. 이것은 테스트 표면으로부터 전달된 입자의 개수에 대한 상한치를 나타낸다. 가장 바람직한 실시예에서, 사전 스캔(510)은 제1 메모리 수단(520)에 저장된다. 제2 계산 수단(530)은 테스트 표면(570)으로부터 전달된 입자를, 저장된 이전 스캔(550)으로부터의 대응하는 입자 좌표를 갖고 있지 않는 입자 좌표(511)로 식별한다. 점착성 표면을 재사용하기 위하여, 제2 메모리 수단(521)은 스캐닝 데이터(511)를 저장하고, 제3 계산 수단(541)은 (561)을 형성하기 위하여 제1 및 제2 메모리 수단으로 부터의 입자 데이터(550, 551)를 결합하며, 제2 계산 수단(531)의 사례는 제2 테스트 표면(571)으로부터 전달된 입자를, (561) 내부에 대응하는 입자 좌표를 갖고 있지 않는 입자 좌표(512)로 식별한다. 두 개의 부가적인 테스트 표면은 제3 메모리 수단(522) 및 제4 메모리 수단(523), 제3 계산 수단(542, 543)의 사례, 그리고 제2 계산 수단(532, 533)의 사례를 사용하여 측정될 수 있으며, 출력(572, 573)을 발생시킨다. 이와 유사한 방식으로 부가적인 반복이 계산된다. 입자 데이터는 기록가능 CD ROM 또는 DVD와 같은 착탈형 저장 매체(506)에 저장되어, 이후에 개별 분석 기구에 전달될 수 있다.5 shows the data flow of the most preferred embodiment. The
가장 바람직한 실시예에서, 핸들에서 캐리어 이동 측정 수단은 테스트 표면(단수 또는 복수) 위에 롤링될 때 캐리어의 회전 트랙을 유지한다. 이하, 캐리어 이동 측정 수단을 설명하기로 한다. 캐리어 이동 측정 수단으로부터 발생된 데이터는 제4 계산 수단(580)으로 전달되어, 테스트 표면(570)으로부터 전달된 입자를 테스트 표면(590)으로부터 제거 가능한 입자의 밀도로 해석한다. 제4 계산 수단은 점착성 표면의 영역과 캐리어 이동 측정 수단에 의해 검출된 회전 수에 의하여 테스트 표면으로부터 검출된 입자 수를 분할한다. 이와 유사한 방식으로, 제거 가능한 입자(591, 592, 593)의 밀도는 후속 테스트 표면(571, 572, 573)의 스캐닝 및 제4 계산 수단(581, 582, 583)의 대응하는 사례로부터 계산된다.In the most preferred embodiment, the carrier movement measuring means in the handle maintains the rotating track of the carrier when rolling over the test surface (single or plural). Hereinafter, the carrier movement measuring means will be described. The data generated from the carrier movement measuring means is transferred to the fourth calculating means 580 to interpret the particles delivered from the test surface 570 as the density of particles removable from the
가장 바람직한 실시예에서, 제1 계산 수단은 바로 인접한 주변과 비교하여 화소의 콘트라스트를 향상시키기 위하여 컨벌루션 필터를 사용한다. 검출기 어레이에서 고정 패턴 노이즈 및 게인 편차에 대하여 보정이 적용된다. 작은 화소 크기는 표면 거칠기 및 벌크 서브표면 산란과 비교하여 입자의 콘트라스트를 향상시키므로, 고속 검출기 어레이 및 파이프라인 분석 하드웨어가 바람직하다. 계산 수단의 출력은 디스플레이, 프린트 출력 또는 이넌시에이터(enunciator)에 의하여 조작자에 전달될 수 있다. 계산 수단의 출력물은 당업자에 공지된 각종 인터페이스를 통해 WAN 또는 LAN에 전달될 수 있다.In the most preferred embodiment, the first calculation means uses a convolution filter to improve the contrast of the pixel compared to its immediate surroundings. Correction is applied for fixed pattern noise and gain deviation in the detector array. Small pixel sizes improve the contrast of particles compared to surface roughness and bulk subsurface scattering, so high speed detector arrays and pipeline analysis hardware are desirable. The output of the computing means can be delivered to the operator by a display, a print output or an enunciator. The output of the computing means can be delivered to the WAN or LAN via various interfaces known to those skilled in the art.
도 6은 점착성 표면(130) 캐리어가 표면 검사 수단(100) 및 핸들 수단(132)과 함께 사용하기 위하여 팩키지 처리되는 방법을 도시한다. 바닥(608)과 힌지 결합된 상부(604)에 의해 형성된 박스의 내부에 저장된 성형 시트(606)에 형성된 개별 격실에는 수 개의 캐리어(130)가 저장된다. 캐리어는 개별 격실 내부에 배치되어 있는 동안 핸들 수단(132)이 캐리어를 결합 및 제거할 수 있도록 비스듬히 배치되어 있다. 캐리어가 사용된 이후에, 격실 내부에 배치될 수 있으므로, 그 격실은 캐리어용 기록 저장 위치가 된다. 기록 가능 CD(610)는 성형 시트 내부에 형성된 포스트 상에 배치된다. CD는 박스 내부에서 캐리어용 착탈식 저장 매체로 기능한다.6 shows how the
도 7은 점착성 표면에 인접한 정렬마크에 대한 6개의 구성을 도시한다. 가장 바람직한 실시예에서, 정렬마크는 입자의 빛 산란 특성 중 일부를 모의실험한다. 본 구성에서, 정렬마크 좌표 검출 수단은 배향, 위치, 신호 강도, 그리고 인접한 특징부와 같은 정렬마크의 특성에 기초하여 정렬마크를 구별 및 디코드화하기 위해 하드웨어 또는 소프트웨어가 부가된 표면 검사 수단이다. 금속 또는 라텍스 구체(704)와 같은 입자는 점착성 표면의 상부에 증착되거나, 점착성 벌크재(402)에 어느 정도 가압될 수 있다. 정렬마크(706)를 형성하기 위해 카본 블랙을 전자 사진식으로 증착되거나, 잉크가 분출 또는 실크스크린 처리될 수 있다. 흔히 점착성 벌크재(402)는 변경되거나, 디핑되거나 또는 지지 기재(714) 상에 스프레이 코팅된다. 이 경우에, 정렬마크는 점착성 재료의 도포 이전에 기재(714)의 매립면 상에 예비 증착될 수 있다. 정렬마크는 점착성 벌크재(710) 내에서 또는 점착성 재료의 이면 상에서 산란 특징을 자연스럽게 발생시키는 것을 포함할 수 있다. 점착성 재료의 표면은 스크라이브 라인 또는 스타일러스 표식(720)으로 왜곡될 수 있다. 가장 바람직한 실시예는 엑시머 또는 이산화탄소 레이저와 같은 국부 에너지원을 이용하여 점착성 표면에서 작은 포켓(722)을 깨끗하게 제거하는 것이다. UV 광원은 표면(724) 내부에 매립된 국부 용적부의 가교(cross linking)를 변경시켜, 빛을 산란시킬 수 있는 굴절율 편차를 야기할 수 있다. 보다 덜 바람직한 실시예에서, 자화 패턴, 스프로켓 구멍 및 배향 격자와 같은 부가적인 검출 수단을 필요로 하는 정렬마크가 이용될 수 있다.7 shows six configurations for alignment marks adjacent to the tacky surface. In the most preferred embodiment, the alignment mark simulates some of the light scattering properties of the particles. In this configuration, the alignment mark coordinate detecting means is surface inspection means added with hardware or software to distinguish and decode the alignment mark based on the characteristics of the alignment mark such as orientation, position, signal strength, and adjacent features. Particles such as metal or
점착성 표면의 반복 검사를 필요로 하는 실시예의 경우에, 정렬마크를 사용하여 핸들 수단이 무작위 방향으로 재설치될 수 있도록 좌표를 해석할 수 있다. 정렬마크의 형상 및 패턴이 공지되어 있기 때문에, 정렬마크의 위치를 각각의 데이터 스캐닝을 적절히 해석하기 위한 제1 계산 수단(508)에 대한 입력부로서 사용될 수 있다. 도 8은 정렬마크(800)를 갖는 점착성 표면 캐리어에 대한 양호한 구성을 도시한다. 가장 바람직한 실시예는 바코드와 유사한 패턴을 가진 일련의 정렬마크(804)를 사용한다. 코드에서 몇몇 표식의 위치는 표면의 배향을 나타낸다. 또한, 일련번호, 만기일 및 점착성 재료의 성분과 같은 다른 유형의 정보가 코드에 포함될 수 있다. 표식은 일차원 또는 이차원 어레이일 수 있다. 표식은 폭, 높이, 깊이 및 간격에서 변종을 가질 수 있다.In the case of an embodiment requiring repeated inspection of the tacky surface, alignment marks can be used to interpret the coordinates so that the handle means can be reinstalled in a random direction. Since the shape and pattern of the alignment mark are known, the position of the alignment mark can be used as an input to the first calculation means 508 for properly interpreting each data scanning. 8 shows a preferred configuration for a tacky surface carrier with alignment marks 800. The most preferred embodiment uses a series of alignment marks 804 with a pattern similar to a barcode. The position of some markers in the code indicates the orientation of the surface. In addition, other types of information may be included in the code, such as serial numbers, expiration dates and components of the tacky material. The marker can be a one-dimensional or two-dimensional array. Markers can have variations in width, height, depth and spacing.
도 8의 점착성 표면 캐리어는 부가적인 특징을 갖고 있다. 비점착성 재료(802)의 스트립이 점착성 표면의 길이로 가로질러 있어서, 비점착성 표면(802)만이 테스트 표면과 접촉하는 로터리 조인트의 회전각 범위가 작다. 이러한 로터리 조인트의 배향의 경우에, 점착성 표면 캐리어는 테스트 표면으로부터 용이하게 들어 올려질 수 있다. 이것은 테스트 표면으로부터 점착성 표면을 제거하는 동안 점착성 재료의 응집 파괴를 제거하기 위하여 점착성 시트 상에 전단력을 제한하는데 유용하다. 또한 테스트 표면으로부터 점착성 표면 캐리어를 제거할 때 핸들 수단 및 테스트 표면에 인가되는 힘을 감소시키는데 유용하다.The tacky surface carrier of FIG. 8 has additional features. The strip of
도 9는 점착성 표면(130) 캐리어 둘레에 감겨진 보호 필름(902)을 도시한다. 가장 바람직한 실시예에서, 보호 필름의 외부면 또한 점착성을 갖고 있다. 이것은 캐리어를 사용한 이후에 필름을 저장 및 교체하는데 도움을 준다. 컬러 코드 태그(904)는 보호 필름의 제거를 개시하는 데에 도움을 준다. 또 다른 바람직한 실시예에서, 필름은 제거 가능한 정합 코팅으로 건조하기 위하여 점착성 표면 캐리어 상으로 디핑 또는 롤러 코팅된다.9 shows a
도 10 및 도 11은 바람직한 실시예의 포커싱 시스템을 보다 상세히 도시한다. 도 10은 점착성 표면(130) 캐리어, 조명, 대물렌즈 및 포커스 센서를 도시한다. 조명 및 이미지 광학계의 기능은 이미 설명되었다. 도 10에서는 단면 A-A 및 B-B가 표시되어 있다. 이들의 단면도는 도 11a 및 도 11b로 주어졌다. 650 nm 고체 레이저와 같은 레이저 소스(126)로부터의 입자 포커스 빔(1102)이 분광기(127)에 의하여 튜브 렌즈(120), 링 미러(106)의 중앙 유효 개구 및 대물렌즈(108)의 출사동으로 반사된다. 입사 포커스 빔(1102)은 축선을 벗어나서 대물렌즈(108)로 진입하여, 입사 포커스 빔은 점착성 표면(401)을 영이 아닌 입사각으로 조명하도록 한다. 반사 포커스 빔(1104)이 대물렌즈(108)로부터 출사하여, 링 미러(106)의 유효 개구를 통과하고, 튜브 렌즈(120)에 의하여 분광기(127)를 통해 위치 검출 다이오드(129) 상에 이미지화된다. 시계 상의 점착성 표면과 대물렌즈간의 거리 Zopt를 변경시키면 반사 포커스 빔(1104)이 위치 검출 다이오드(129)를 조명하는 위치가 이동된다. 이것은 위치 검출 다이오드로부터 발생된 두 개의 출력 신호의 비를 변경시키는데, 이것은 제어기(170)에 의해 대물렌즈의 초점면에 대한 점착성 표면(401)의 현재 위치로 해석된다. 반사 포커스 빔(1104)이 위치 검출 다이오드를 비추지 않는 몇몇 상황이 존재한다. 이러한 상황은 누락되거나 부정확하게 장착된 점착성 시트(130) 캐리어, Zopt로의 명백한 시프트를 야기하는 시계 내에서의 큰 입자, 봉합선이나 정렬마크가 있다. 이러한 상황에서, 부가적인 광학 센서(190)는 포커스 서보 루프의 신뢰할만한 성능을 위하여 도움을 준다. 점착성 시트의 표면이 원통형이기 때문에, 할로겐 램프(102)로부터의 입사광 대부분이 대물렌즈(108)와 점착성 시트(130) 캐리어 사이로 들어간다. 분리가 더 크게 일어날수록 보다 많은 빛이 검출기(190)를 비춘다. 검출기(190)로부터의 신호는 정밀하지 않은 포커스 피드백 신호로서 작용한다.10 and 11 show in more detail the focusing system of the preferred embodiment. 10 illustrates a
또 다른 바람직한 실시예에서, 포커스 신호는 광축을 통과하는 초점면에서 광학빔의 세기를 검출하는 것에 의하여 제공된다. 그 빔은 점착성 표면이 대물렌즈를 향하여 포커스를 통과하여 이동할 때 편향 및 감쇠된다.In another preferred embodiment, the focus signal is provided by detecting the intensity of the optical beam at the focal plane passing through the optical axis. The beam is deflected and attenuated as the tacky surface moves through the focus towards the objective lens.
도 12는 테스트 표면을 가로질러 롤링될 때 점착성 표면(130) 캐리어 회전을 검출하는 핸들 수단의 바람직한 실시예를 도시한다. 두 개의 중공의 동심 링(1204)은 보빈(416)의 외측을 향하는 표면까지 에칭하여, 네모꼴의 규칙적인 패드(1206) 어레이를 형성한다. 용량성 검출 회로 소자를 갖는 인쇄 회로 기판(1208)은 속이 빈 핸들(1202) 내부에서 패드(1206)에 인접하여 배치되어, 보빈의 증분 위치 및 회전 방향이 검출되도록 한다. 속이 빈 핸들(1202)의 절반부는 간명성을 위하여 생략되었다. RF 안테나(1212)는 핸들이 언제 위치설정 수단 내부에 삽입되는지를 검출하여 보빈의 최근 회전 이력을 제공한다. 이러한 정보는 측정된 입자 개수를 테스트 표면 상의 입자 대기 밀도로서 해석하기 위하여 제4 계산 수단에 의하여 사용된다. 배터리(1210)는 검출 회로, RF 발전기 및 메모리에 전력을 공급한다. 핸들 수단의 전체 기하학적 형상은 양손잡이용이 될 수 있도록 거의 경상 대칭을 이루는 것이 바람직하다. 보다 덜 바람직한 실시예에서, 회전 검출은 홀 효과 센서, 증분 광학 인코더, 모터 발전기 및 기어 트레인 중 하나로 수행된다. 보다 덜 바람직한 실시예에서, 회전 데이터는 결합 전기 접점, 용량성 접점 및 광학 커플링 중 하나를 이용하여 핸들 수단으로부터 전달된다. 회전 데이터는 제어기(170)에 의하여 또는 상기 제어기와 통신하는 외부 프로세서에 의하여 수신될 수 있다.12 shows a preferred embodiment of the handle means for detecting the
테스트 표면을 향하여 점착성 표면을 가압하기 위하여 핸들 수단에 의하여 인가됨 힘은 입자 제거율에 어느 정도 영향을 미친다. 보다 균일한 결과를 얻기 위하여, 또 다른 바람직한 실시예는 인가된 힘을 조절하기 위하여 핸들 수단에 컴플라이언스를 도입한다. 또 다른 바람직한 실시예에서, 포스 게이지는 점착성 표면이 테스트 표면에 부착 및 그로부터 제거될 때 인가됨 힘을 측정한다. 이러한 측정치는 전술한 롤러 회전과 동일한 방식으로 제어기에 보고된다. 또 다른 바람직한 실시예에서, 핸들 수단은 바코드 판독기 또는 보이스 디지타이저와 같은 테스트 표면에 적절한 보조 정보를 기록하기 위한 수단을 구비한다.The force applied by the handle means to press the tacky surface towards the test surface has some influence on the particle removal rate. To obtain a more uniform result, another preferred embodiment introduces compliance into the handle means to adjust the applied force. In another preferred embodiment, the force gauge measures the applied force when the tacky surface is attached to and removed from the test surface. These measurements are reported to the controller in the same manner as the roller rotation described above. In another preferred embodiment, the handle means comprises means for recording appropriate auxiliary information on a test surface, such as a barcode reader or voice digitizer.
실시예 2Example 2
도 13은 플라잉 레이저 스폿을 이용하는 스캐너 수단(100)의 실시예를 도시한다. 고체 레이저(1302)가 빔(1304)을 발생시키면, 이 빔은 미러(1306)를 진동시키는 갈보(galvo) 코일(1308)에 의하여 포커싱 미러(1310)를 가로질러 퍼진다. 미러로부터 귀환하는 빔은 점착성 표면을 가로질러 스치고 지나갈 때 초점이 맞추어진다. 이동하는 미러의 위치는 점착성 표면 상의 레이저 위치를 측정한다. 광전자 증배관(1312)은 점착성 표면의 표면 특징부로부터 산란된 빛을 수집한다.13 shows an embodiment of the scanner means 100 using a flying laser spot. When the
실시예 3Example 3
도 14a 내지 도 14d는 풉 또는 FOUP(front opening unified pod; 1402)에서 홈지지 웨이퍼와 같은 높은 만곡면을 검사하도록 구성된 또 다른 바람직한 실시예를 도시한다. 도 14d는 사시도이다. 도 14d 및 도 14c는 도 14의 평면도에 대한 단면도이다. 점착성 표면(1410)을 갖는 재료로 이루어진 가요성 관형 시트는 홈이 형성된 패드(1206)에 인접하여 재료(1402)의 표면과 점착성 시트(130) 캐리어 사이에 이송면 또는 이송 롤러로서 작용한다. 가요성 관형 시트(1410)는 칼라(210)에 부착된 안내판(1414)에 의하여 분리된 두 개의 베어링 롤러(1412, 1413) 둘레에서 연신된다. 핸들 수단을 조작하여 테스트 표면 위에 하부 롤러(1413)를 롤링할 때, 가요성 튜브의 점착성 표면은 테스트 표면에 점진적으로 부착 및 그로부터 분리되어, 입자를 테스트 표면으로부터 안내판을 따라 점착성 표면(130) 캐리어까지 이송시킨다. 점착성 표면(130) 캐리어는 관형 시트(1410)가 입자에 들러붙는 것보다 더욱 강하게 입자에 들러붙도록 선택되므로, 테스트 표면으로부터 관형 시트로 이송된 입자는 점착성 시트(130) 캐리어에 이송된다. 도 14의 도면은 200 밀리미터 웨이퍼의 경우 및 직경과 길이가 13 밀리미터인 점착성 시트 캐리어의 경우에 FOUP에서 발견된 홈을 도시한 것이다. 14A-14D illustrate another preferred embodiment configured to inspect high curved surfaces, such as grooved wafers, at either unwind or front opening unified pod (FOUP) 1402. 14D is a perspective view. 14D and 14C are cross-sectional views of the top view of FIG. 14. A flexible tubular sheet of material having an
실시예 4Example 4
도 15는 현장 검사 및 공정 공구에서의 세정용으로 적합한 또 다른 바람직한 실시예를 도시한다. 점착성 표면(401)을 갖는 가요성 시트가 하나의 원통형 코어(1520)로부터 분배되고, 또 다른 원통형 코어(1521)에 의하여 권취된다. 두 개의 서보 모터(1522)는 가요성 시트의 장력 및 진행을 제어한다. 정합 롤러(404)가 전동 피벗(1512) 상에서 프레임 즉, 조작기 수단(1510)에 의하여 지지된다. 지지체(1504) 상에서 검사된 테스트 표면(1502)은 제조 공정 플로우의 일부로서 롤러 하방을 통과한다. 일련의 테스트 표면이 두 개의 원통형 코어가 제거되어 표면 검사 수단에 장착되고 점착성 시트가 검사되기 전에 정합 롤러(404)에 의하여 롤링되도록 하기 위해 점착성 시트를 따라서 일련의 정렬마크(804) 및 저점착성부(802)가 제공될 수 있다.15 shows another preferred embodiment suitable for field inspection and cleaning in process tools. A flexible sheet having a
도 16은 실리콘 웨이퍼의 이면 연마용인 Nitto Denko에 의하여 제조된 것이나 미국 특허 제5,902,678호에 기술된 것과 같은 UV 릴리스 접착 필름을 사용하기에 적합한 도 15의 구성을 도시한다. 이 경우에, 도포 롤러(1610) 및 제거 롤러(1612)가 제공된다. 두 롤러(1610, 1612) 사이의 영역은 반사기(1602)를 갖는 UV 램프(1606)에 의하여 조명될 수 있다. 초기에 필름이 테스트 표면(1502)에 적용될 때, 필름은 테스트 표면 및 테스트 표면 상의 입자 모두에 강하게 접착되고 결합된다. 롤러(1604) 사이의 영역에서의 UV 노출 이후에, 필름은 테스트 표면으로부터 용이하게 제거된다. UV 조사 이외의 접착 릴리스 수단의 보다 덜 바람직한 실시예는 액체 솔벤트, 수증기 및 온도 변화에의 노출을 포함한다.FIG. 16 shows the configuration of FIG. 15 suitable for use with a UV release adhesive film made by Nitto Denko for backside polishing of a silicon wafer or as described in US Pat. No. 5,902,678. In this case, an
접착 개질제가 모든 실시예에 유용하게 적용될 수 있다. Softal 3DT LLC로부터의 접착력 향상 제품에 의하여 제조되는 것과 같은 코로나 방전으로 테스트 표면 또는 점착성 표면을 전처리하면 입자와 점착성 표면 간의 접착력을 증가시킨다. 테스트 표면에 접착될 때 점착성 표면에 증기를 도포하면 점착성 표면과 테스트 표면 간의 릴리스를 향상시킬 수 있다.Adhesion modifiers can be usefully applied in all examples. Adhesion Enhancement from Softal 3DT LLC Pretreatment of the test surface or tacky surface with a corona discharge, such as that produced by the product, increases the adhesion between the particles and the tacky surface. Applying steam to the tacky surface when adhering to the test surface can improve release between the tacky surface and the test surface.
도 17은 모든 실시예의 바람직한 순환 수단을 도시한다. 각각의 직사각형 또는 화소(1702)는 점착성 시트 상의 입자 좌표의 가능한 위치를 나타낸다. 어두운 직사각형 또는 화소(1704)는 단일 입자와 관련된 입자 좌표를 나타낸다. 입자가 큰 경우, 입자가 화소 간의 경계에 근접한 경우, 입자가 초점에서 벗어난 경우, 강하게 조명된 화소가 검출기를 포화시키는 경우 또는 입자가 연속 스캐닝 사이에 중첩 영역에 있는 경우, 몇몇 화소는 단일 입자에 의하여 영향을 받을 수 있다. 각 화소(1704)를 상이한 입자의 발생으로 보고하기 보다는, 인접한 화소 또는 거의 인접한 화소를 병합하는 것이 바람직하다. 이것은 제1 계산 수단에 의하여 수행될 수 있거나, 가장 바람직한 실시예에서 제2 계산 수단의 출력의 일부로서 수행될 수 있다.17 shows preferred circulation means in all embodiments. Each rectangle or
도 18은 점착성 표면(401)에서 제1 검출기 어레이(118)의 이미지(1802) 및 점착성 벌크재(402) 내부의 점착성 표면(401) 하방의 제2 검출기 어레이(124)의 이미지(1804)를 도시한다. 이것은 적어도 두개의 검출기 어레이를 갖는 광학 검출을 이용하는 모든 바람직한 실시예에 적용할 수 있다. 제2 검출기 어레이의 주 목적은 점착성 표면으로부터 깊이가 증가할수록 보다 강해지는 광 산란 경우를 확인하는 것이다. 이러한 광 산란 경우는 테스트 표면으로부터 전달된 입자로부터 기인하지 않은 것으로 가정되며, 무시된다. 점착성 표면(401)에 대하여 법선 방향인 두 개의 어레이 이미지 분리는 적어도 검출 파장, 대물렌즈의 개구수 및 점착성 벌크 물질(402)의 반사율에 따른 초점 심도 깊이에서있어야 한다. 점착성 벌크재(402)와 지지층(1804) 사이에 매립된 경계면이 존재하면, 제2 검출기 어레이(1804)의 이미지는 그 경계면 상방에 존재하여야 한다. 유사한 깊이 정보를 취득하기 위한 보다 덜 바람직한 실시예는 공초점 현미경, Nipkow 휠 및 Linnick 간섭계를 포함한다.FIG. 18 shows an
본 발명을 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 당업자는 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않고 변경이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들면, 가장 바람직한 실시예의 각종 특징은 또 다른 바람직한 실시예와 상호 교환될 수 있으며, 그 역도 가능하다. 상기 및 기타 변경은 당업자에게 자명할 것이다.Although the present invention has been described with reference to preferred embodiments, those skilled in the art will recognize that changes may be made without departing from the spirit and scope of the invention. For example, various features of the most preferred embodiment can be interchanged with another preferred embodiment, and vice versa. Such and other modifications will be apparent to those skilled in the art.
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