KR100723377B1 - 상부 전극 어셈블리 및 이를 이용한 플라즈마 처리 장치 - Google Patents
상부 전극 어셈블리 및 이를 이용한 플라즈마 처리 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
상기 냉각 관로는 적어도 하나의 중간 관로를 더 포함하고, 상기 중간 관로에 연결되고 상기 내측 및 외측 유로 사이에 형성된 적어도 하나의 중간 유로를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 볼록 유로는 동심을 이루고 방사상으로 이격된 환형의 울타리 형상인 것을 특징으로 한다.
상기 돌기는 원기둥, 다각 기둥 또는 타원 기둥인 것을 특징으로 한다.
상기 돌기는 원주 방향으로 길게 연장 형성된 울타리 형상인 것을 특징으로 한다.
상기 돌기는 원주 방향으로 길게 혀성된 울타리 형상이고, 각각의 돌기는 원주 방향으로 연속적인 것을 특징으로 한다.
상기 울타리는 주름 형상을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Claims (8)
- 플라즈마 처리장치의 상부 전극 어셈블리에 있어서,냉각 유로를 구비한 냉각 블록을 포함하고,상기 냉각 유로는 냉각수 유입 및 유출구와, 상기 유입 및 유출구에 연결되어 냉각수를 이동시키는 내측 관로와 외측 관로로 이루어진 냉각 관로와, 상기 내측 관로와 연결된 내측 유로와, 상기 내측 유로의 외측에 그를 둘러싸는 형태로 형성되고 상기 외측 관로에 연결된 외측 유로를 포함하고, 상기 내측 또는 외측 유로에는 복수의 볼록 유로 또는 돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 상부 전극 어셈블리.
- 청구항 1에 있어서, 상기 냉각 관로는 적어도 하나의 중간 관로를 더 포함하고, 상기 중간 관로에 연결되고 상기 내측 및 외측 유로 사이에 형성된 적어도 하나의 중간 유로를 구비하는 것을 특징으로 하는 상부 전극 어셈블리.
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 볼록 유로는 동심을 이루고 방사상으로 이격된 환형의 울타리 형상인 것을 특징으로 하는 상부 전극 어셈블리.
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 돌기는 원기둥, 다각 기둥 또는 타원 기둥인 것을 특징으로 하는 상부 전극 어셈블리.
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 돌기는 원주 방향으로 길게 연장 형성된 울타리 형상인 것을 특징으로 하는 상부 전극 어셈블리.
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 돌기는 원주 방향으로 길게 혀성된 울타리 형상이고, 각각의 돌기는 원주 방향으로 연속적인 것을 특징으로 하는 상부 전극 어셈블리.
- 청구항 5 또는 청구항 6에 있어서, 상기 울타리는 주름 형상을 포함하는 것을 특징으로 하는 상부 전극 어셈블리.
- 기판을 플라즈마 처리하는 플라즈마 처리 장치로서,챔버와, 상기 챔버 내에 상부에 위치하여 냉각 유로를 구비한 상부 전극 어셈블리와, 상기 상부 전극부와 대향 위치하고, 기판을 재치하는 하부 전극부를 포함하고,상기 냉각 유로는 냉각수 유입 및 유출구와, 상기 유입 및 유출구에 연결되어 냉각수를 이동시키는 내측 관로와 외측 관로로 이루어진 냉각 관로와, 상기 내측 관로와 연결된 내측 유로와 상기 내측 유로의 외측에 그를 둘러싸는 형태로 형성되고 상기 외측 관로에 연결된 외측 유로를 포함하고, 상기 내측 또는 외측 유로에는 복수의 볼록 유로 또는 돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 장치.
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Citations (5)
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2005
- 2005-09-29 KR KR1020050091114A patent/KR100723377B1/ko active IP Right Grant
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