KR100716056B1

KR100716056B1 - 프로브스테이션용 광학계 조명 조정 장치 및 이를 이용하는조명 조정 방법

Info

Publication number: KR100716056B1
Application number: KR1020060049308A
Authority: KR
Inventors: 권덕성
Original assignee: 세크론 주식회사
Priority date: 2006-06-01
Filing date: 2006-06-01
Publication date: 2007-05-08

Abstract

본 발명의 프로브스테이션용 광학계 조명 조정 장치는 광학계의 촬상 장치와 전기적으로 연결되는 촬상 장치 인터페이스부, 및 상기 촬상 장치에 구비되어진 조명 모듈에 대응하는 전류값을 인가하는 전류 제어부를 포함한다. 상기 전류값은 상기 조명 모듈에 대응하도록 기 저장된 최소 전류값 및 최대 전류값, 그리고 입력되는 영상 레벨 데이터로부터 산출된다.

프로브스테이션, 조명 조정

Description

프로브스테이션용 광학계 조명 조정 장치 및 이를 이용하는 조명 조정 방법{Lighting adjusting device for optical system of probestation and method for adjusting lighting using the same}

도 1은 프로브스테이션의 구성을 개략적으로 보여주는 사시도이다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 조명 조정 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 블럭도이다.

도 3은 도 1의 제1 촬상 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 블럭도이다.

도 4는 도 1의 제2 촬상 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 블럭도이다.

도 5는 다수의 조명 모듈에서 그 빛의 특성 곡선이 각각 서로 상이함을 보여준다.

도 6a 내지 6b는 본 발명의 실시예에 따른 조명 조정 장치에 의해 조명 모듈의 빛 특성 곡선이 조정되는 과정을 보여준다.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 조명 조정 장치를 이용하여 광학계의 조명을 조정하는 방법을 보여주는 순서도이다.

본 발명은 광학계 조명 조정 장치, 특히 프로브스테이션용 광학계 조명 조정 장치 및 이를 이용하는 광학계의 조명 조정 방법에 관한 것이다.

프로브스테이션은 광학계를 이용하여 웨이퍼상에 형성된 반도체 부재에 프로브 침을 접촉시켜 그 양부를 테스트하게 된다. 따라서 정확한 테스트를 위해, 프로브스테이션에서 광학계가 중요하며, 특히 광학계의 조명 모듈의 빛의 밝기가 일정해야 한다.

그런데, 현재 동일한 제품의 조명 모듈이라 하더라도 인가되는 전류에 대한 빛의 밝기 특성(이하 '빛의 특성‘이라고도 한다)이 각각 상이하게 나타나고 있다. 따라서 광학계의 조명 모듈의 빛의 밝기를 균일화하는 것이 요청되고 있다.

종래에는 복수의 조명 모듈에 일정한 전류를 각각 인가하고, 목적하는 빛의 밝기와 동일한 정도의 빛의 밝기를 나타내는 조명 모듈들을 선별함으로써 조명 모듈의 빛의 밝기의 균일화를 달성하고 있다.

구체적으로, 종래의 광학계 조명 조정 장치는 고정된 최소 전류값과 최대 전류값을 가지며, 이러한 최소 전류값과 최대 전류값 사이로 인가하는 전류값을 조절한다. 그리고 조명 모듈에 인가하는 전류값을 조절하여 목적하는 빛의 밝기를 달성할 수 있으면 해당 조명 모듈을 선별한다. 이때 목적하는 빛의 밝기를 달성하지 못하면 해당 조명 모듈은 사용하지 못하는 것으로 한다.

따라서 종래의 방법에 의하면 목적하는 빛의 밝기를 달성할 수 있는 조명 모듈이라도 기 정해진 최소 전류값과 최대 전류값의 범위 내에서 그 빛의 밝기를 수득할 수 없다면 사용하지 못하는 것으로 판별되어, 조명 모듈의 호환성이 문제가 있게 된다.

한편, 이와 같은 조명 모듈의 선별 외에도, 광학계의 촬상 장치의 카메라의 입력 게인을 높여 빛의 양을 조절하는 방법을 이용할 수 있다.

그러나 이와 같이 카메라의 입력 게인을 높이는 경우, 영상 콘트라스트가 떨어지고 영상 노이즈가 증가하여 광학계의 영상 비교 능력이 떨어지는 문제가 발생할 수 있다.

본 발명은 위와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하여, 조명 모듈의 특성과 상관없이 조명 모듈로부터 발광 되는 빛의 밝기를 적절한 수준으로 조절할 수 있는 광학계 조명 조정 장치를 제공하고자 한다.

또한 본 발명은 상기 광학계 조명 조정 장치를 이용하여 광학계의 조명을 조정하는 광학계 조명 조정 방법을 제공하고자 한다.

상기와 같은 기술적 과제의 해결을 위한, 본 발명의 한 특징에 따른 프로브스테이션용 광학계 조명 조정 장치는 상기 광학계의 촬상 장치와 전기적으로 연결되는 촬상 장치 인터페이스부, 및 상기 촬상 장치에 구비되어진 조명 모듈에 대응하는 전류값을 인가하는 전류 제어부를 포함한다. 상기 전류값은 상기 조명 모듈에 대응하도록 기 저장된 최소 전류값 및 최대 전류값, 그리고 입력되는 영상 레벨 데이터로부터 산출된다.

본 발명의 또 다른 특징에 따른 프로브스테이션용 광학계는 제1 조명 모듈, 제1 렌즈 모듈, 및 제1 카메라 모듈을 포함하며 척으로부터 테스터부 방향으로 영상을 촬상하는 제1 촬상 장치; 제2 조명 모듈, 제2 렌즈 모듈, 및 제2 카메라 모듈을 포함하며 테스터부로부터 척 방향으로 영상을 촬상하는 제2 촬상 장치; 및 상기 제1 조명 모듈 및 상기 제2 조명 모듈에 각각 대응하는 제1 인가 전류값 및 제2 인가 전류값을 인가하도록 제어하는 상기 프로브스테이션용 광학계 조명 조정 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 특징에 따른 프로브스테이션용 광학계의 조명 모듈을 조정하는 방법은 상기 조명 모듈에 인가되는 전류값을 조정하여 상기 조명 모듈의 빛의 특성 곡선을 구하고, 상기 빛의 특성 곡선 내에 기준 빛의 밝기 구간이 포함되는지 여부를 판단하는 단계; 상기 기준 빛의 밝기 구간에 대응하는 빛의 밝기 구간의 최소 빛의 밝기에 해당하는 전류값을 최소 전류값으로, 상기 빛의 밝기 구간의 최대 빛의 밝기에 해당하는 전류값을 최대 전류값으로 하여 상기 조명 모듈에 대하여 등록하는 단계; 프로브스테이션의 웨이퍼 테스트를 위한 빛의 밝기에 대응하는 영상 레벨 데이터가 입력되면, 상기 조명 모듈에 대응하는 상기 최소 전류값과 최대 전류값을 이용하여 상기 영상 레벨 데이터에 대응하는 인가 전류값을 산출하는 단계; 및 상기 조명 모듈에 대응하는 상기 인가 전류값을 인가하는 단계를 포함한다.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에 서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

이하, 도 1 내지 4를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 광학계 조명 조정 장치를 설명한다. 먼저, 본 발명에서 광학계는 조명 모듈, 렌즈 모듈, 및 카메라 모듈을 포함하는 촬상 장치, 그리고 조명 조정 장치를 포함하는 것으로 한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 광학계 조명 조정 장치가 장착되어 있는 프로브스테이션을 보여준다.

도 1에서 볼 수 있는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 광학계 조명 조정 장치가 사용될 수 있는 프로브스테이션은 척실린더부(100) 및 테스터부(200)를 포함하도록 구성된다.

프로브스테이션은 상기 척실린더부(100)에 웨이퍼가 로딩된 경우, 척 실린더부(100)의 제1 촬상 장치(110)와 테스터부(200)의 제2촬상장치를 이용하여 테스터부(200)에 장착된 프로브 카드(도시하지 않음)의 프로브 침(도시하지 않음)이 웨이퍼 상의 목적 위치에 접촉할 수 있도록 조절한다.

여기서, 제1 촬상 장치(110) 및 제2 촬상 장치(210)는 내부에 조명 모듈을 구비하며, 이 조명 모듈은 본 발명의 실시예에 따른 광학계 조명 조정 장치(300)에 영상 정보를 전달하고, 조명 조정 장치(300)로부터 제어된 전류값을 수신한다.

조명 조정 장치(300)는 제1 촬상 장치(110) 및/또는 제2 촬상 장치(210)에 전기적으로 연결되며, 제1 촬상 장치(110) 및/또는 제2 촬상 장치(210)의 조명 모듈이 목적하는 빛의 밝기로 발광하기에 적합하도록 제어된 전류값을 인가한다.

제1 촬상 장치(100)는 프로브스테이션의 척 실린더부(100)의 척의 일측에 장 착되며, 척으로부터 테스터부(200) 방향으로 영상을 촬상한다. 도 3에서 볼 수 있는 바와 같이, 제1 촬상 장치(110)는 하나 이상의 조명 모듈(111), 렌즈 모듈(113), 및 카메라 모듈(115)을 포함한다.

본 발명의 제2 촬상 장치(200)는 테스터부(200)의 브릿지부의 하단에 장착되며, 브릿지로부터 척 방향으로 영상을 촬상한다. 도 4에서 볼 수 있는 바와 같이, 제2 촬상 장치(210)는 하나 이상의 조명 모듈(211), 렌즈 모듈(213), 및 카메라 모듈(215)을 포함한다.

본 발명에서 제1 촬상 장치(110) 및 제2 촬상 장치(210)는 소정의 영역에 대하여 영상을 촬상할 수 있는 것이면 그 구성에 제한이 없고, 당업계에서 일반적으로 사용되는 구성이 이용될 수 있는 바, 도 3 및 도 4와 같이 그 구성을 블록도로 나타내었다.

제1 촬상 장치(110) 및 제2 촬상 장치(210)에서, 조명 모듈(111, 211)은 렌즈 모듈(113, 213)이 작동할 수 있도록 조명을 제공한다. 도 3 및 도 4 에서는 조명 모듈(111, 211)이 각각 하나인 것으로 도시되었으나, 목적하는 빛의 밝기를 수득하기 위해 복수의 조명 모듈이 각각 이용될 수 있다.

렌즈 모듈(113, 213)은 조명 모듈(111, 211)로부터 발광된 빛을 모아 카메라(115, 215)에 제공한다.

카메라 모듈(115, 215)은 렌즈 모듈(113, 213)로부터 제공된 빛을 이용하여 타겟 영역에서 목적하는 영상을 획득한다.

조명 모듈(111, 211)은 빛을 발광하는 장치로서 특별히 제한되지 않으나, 바 람직하게는 발광 다이오드(light emitting diode, LED)를 사용한다. 그런데, 이러한 발광 다이오드 등은 생산되어 판매되는 제품의 특성이 균일하지 않아 입력되는 전류값이 동일한 경우 발광되는 빛의 밝기가 크게 상이할 수 있다.

도 5는 동일한 제품의 발광 다이오드들 중에서 무작위로 1번, 2번, 3번 및 4번 발광 다이오드를 선택한 후, 일정 전류값(150mA)을 인가한 경우 각 발광 다이오드로부터 발광되는 빛의 밝기가 상이함을 보여준다. 도 5로부터, 동일한 제품의 발광 다이오드를 사용한 경우라도 발광되는 빛의 특성이 상이하며, 이와 같이 빛의 특성이 상이한 발광 다이오드의 경우 같은 전류값에서도 밝기 정도가 상이하고, 전류값 변화에 따른 밝기의 변화 정도 역시 상이함을 알 수 있다.

이렇게 발광 다이오드등 조명 모듈의 빛의 특성이 서로 상이한 경우 동일한 양의 전류에서 발광되는 빛의 밝기가 서로 상이하게 되고, 그에 따라 발광 되는 빛이 광학계의 렌즈 모듈(113, 213)을 통과하여 카메라 모듈(115, 215)에 도달하게 될 때의 빛의 변화 또한 서로 상이하게 되고, 결국 카메라 모듈(115, 215)에 의해 획득되는 영상 역시 상이하게 된다. 따라서 복수의 프로브스테이션에 각각 동일한 제품의 조명 모듈을 사용하는 경우라도 각 조명 모듈로부터 발광되는 빛의 밝기를 균일화하는 것이 필요하게 된다.

일반적으로 조명 모듈로부터 발광되는 빛의 밝기는 일정 구간(도 5에서 경사 구간) 내에서는 인가되는 전류의 양에 비례한다. 따라서 빛의 밝기를 정하고, 복수의 조명 모듈에서 정하여진 기준 빛의 밝기를 내도록, 인가되는 전류값을 조절하여 기준 빛의 밝기를 내는 전류값을 각 조명 모듈에 대하여 파악할 수 있다. 그 후, 파악된 전류값을 그 대응하는 조명 모듈에 각각 인가하는 경우 모든 조명 모듈(111, 211)에 대하여 발광되는 빛의 밝기를 균일화하는 것이 가능하게 된다.

한편, 도 5에서 볼 수 있는 바와 같이 각 조명 모듈은 그 빛의 특성에 따라 전류의 변화량에 대한 빛의 밝기 변화량이 각각 상이하다. 따라서 프로브스테이션에서 자재 테스트 중 전류값을 변화시키는 경우 각 조명 모듈마다 변화되는 빛의 밝기가 상이해지는 문제가 있다.

이에 대하여 빛의 밝기를 소정의 단계(예를 들어 256 단계)로 구별하고, 해당 단계를 각각 영상 레벨 데이터로 정하고, 빛의 밝기의 조절을 상기 영상 레벨 데이터 조절로 수행하도록 할 수 있다.

구체적으로, 각 조명 모듈들에서, 인가되는 전류의 변화량에 따라 빛의 밝기가 급격하게 변하는 조명 모듈의 경우(즉 최소 전류값과 최대 전류값의 구간이 짧은 경우), 각 영상 레벨 데이터에 대응하는 전류값의 간격을 좁게 설정할 수 있다. 이렇게 되면 영상 레벨 데이터에 의한 전류 값 조정이 미세하게 수행되게 된다.

그리고 인가되는 전류의 변화량에 따라 빛의 밝기가 완만히 변하는 조명 모듈의 경우(즉 최소 전류값과 최대 전류값의 구간이 긴 경우), 각 영상 레벨 데이터에 대응하는 전류값의 간격을 넓게 설정할 수 있다. 이렇게 되면 영상 레벨 데이터에 의한 전류 값 조정이 폭 넓게 수행되게 된다.

이렇게 되면, 각 조명 모듈(111, 211)의 최소 전류값과 최대 전류값의 구간의 길이에 적합하도록 각 조명 모듈(111, 211)에 대하여 영상 레벨 데이터가 각각 설정되므로, 복수의 조명 모듈(111, 211)에 대해서도 영상 레벨 데이터의 조정으로 빛의 밝기를 균일하게 조절할 수 있게 된다.

본 발명의 실시예에서는, 조명 조정 장치(300)는 빛의 밝기를 소정의 구간으로 정하고, 사용하고자 하는 각 조명 모듈(111, 211)에 대하여 전류값을 변화하며 인가하여 상기 정하여진 빛의 밝기 구간을 검색하고 검색된 빛의 밝기 구간을 나타내는 최소 전류값과 최대 전류값을 각 조명 모듈(111, 211)에 대하여 각각 저장한다. 그 후 조명 조정 장치(300)는 해당 조명 모듈(111, 211)에 대하여 저장된 최소 전류값과 최대 전류값 사이로 인가되는 전류값을 조절한다.

한편, 웨이퍼 테스트를 위해 적합한 빛의 밝기가 영상 레벨 데이터 값으로 정하여 지면, 조명 조정 장치(300)는 각 조명 모듈(111, 211)에 대하여 각각 저장된 최소 전류값과 최대 전류값을 이용하여 해당 영상 레벨 데이터에 대응하는 전류값을 산출하고, 산출된 전류값을 해당 조명 모듈(111, 211)에 인가함으로써, 모든 조명 모듈(111, 211)에 대하여 균일한 빛의 밝기를 달성할 수 있게 한다.

본 발명의 실시예에서 조명 장치(111, 211)에 대하여 기 저장된 최소 전류값과 최대 전류값을 이용하여 해당 영상 레벨을 달성할 수 있는 전류값을 산출하는 방법은 하기 수학식 1을 이용하여 달성될 수 있으나, 이로서 한정되는 것은 아니다.

위와 같은 수학식에서 빛의 밝기에 대한 영상 레벨을 256 단계로 하게 되면, 이에 대한 영상 레벨 데이터 값은 0 내지 255가 된다. 본 발명에서 영상 레벨 단계에는 제한이 없으나, 본 발명의 실시예에서는 256 단계로 하여 수행한다.

이하, 도 2를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 광학계 조명 조정 장치(300)에 대하여 구체적으로 살펴본다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 광학계 조명 조정 장치(300)의 구성을 개략적으로 보여준다.

도 2에서 볼 수 있는 바와 같이, 광학계 조명 조정 장치(300)는 촬상 장치 인터페이스부(310), 및 전류 제어부(320)를 포함한다.

촬상 장치 인터페이스부(310)는 제1 촬상 장치(110) 및/또는 제2 촬상 장치(210)의 조명 모듈(111, 211)과 전기적으로 연결되며, 전류 제어부(320)에 의해 제1 촬상 장치(110) 및/또는 제2 촬상 장치(210)의 조명 모듈에 각각 적합하도록 제어된 전류가 각각 인가되도록 한다.

전류 제어부(320)는 제1 촬상 장치(110) 및/또는 제2 촬상 장치(210)의 각 조명 모듈(111, 211)에 적합하도록 조절된 전류값을 제1 촬상 장치(110) 및/또는 제2 촬상 장치(210)의 각 조명 모듈에 인가하도록 제어한다.

여기서 각 조명 모듈(111, 211)에 적합하도록 조절된 전류값은 중앙 제어 모듈(도시 하지 않음)에 의해 연산되어 전류 제어부(320)에 전달된다. 이러한 중앙 제어 모듈은 본 발명의 실시예에서는 프로브스테이션과 네트워크로 연결되어 있는 중앙 서버(도시 하지 않음)에 구비되는 것으로 가정하나, 목적에 따라 본 발명의 실시예에 따른 조명 조정 장치(300)에 구비될 수 있다.

이하, 도 6 및 7을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 조명 조정 장치(300) 의 동작을 구체적으로 살펴본다.

먼저, 본 발명의 실시예에 따른 조명 조정 장치(300)와 중앙 제어 모듈에 의한 조명 모듈(111, 211)의 등록에 대하여 살펴본다.

먼저, 중앙 제어 모듈은 조명 조정 장치(300)를 통해 각 조명 모듈(111, 211)에 인가되는 전류값을 달리하여 각 조명 모듈(111, 211)에 대하여 빛의 특성 곡선을 구한다. 이와 같은 빛의 특성 곡선은 전류량의 변화에 따른 빛의 밝기 변화를 나타내는 것으로 도 6a 에 도시된 바와 같다.

그 후 중앙 제어 모듈은 각 조명 모듈(111, 211)에 대하여 구하여진 빛의 특성 곡선을 기준 빛의 밝기 구간과 비교하여 빛의 특성 곡선 내에 기준 빛의 밝기 구간이 포함되어 있는지 판단한다(S 100)(도 6b 참조). 이때, 각 조명 모듈(111, 211)에 대하여 구하여진 빛의 특성 곡선 내에 기준 빛의 밝기 구간이 포함되지 않는 경우 해당 조명 모듈(111, 211)은 적합하지 않은 것으로 판단하여 폐기한다.

그 후 중앙 제어 모듈은 상기 기준 빛의 밝기 구간에 대응하는 빛의 밝기 구간의 최소 빛의 밝기에 해당하는 전류값을 최소 전류값으로, 빛의 밝기 구간의 최대 빛의 밝기에 해당하는 전류값을 최대 전류값으로 하여 각 조명 모듈(111, 211)에 대하여 각각 등록한다(S 200)(도 6c 참조). 이러한 최소 전류값과 최대 전류값은 각 조명 모듈(111, 211)에 대하여 저장 모듈(도시 하지 않음)에 각각 등록한다. 이러한 저장 모듈은 본 발명의 실시예에서는 중앙 서버(도시 하지 않음)에 구비되는 것으로 가정하나, 목적에 따라 본 발명의 실시예에 따른 조명 조정 장치(300)에 구비될 수 있다.

다음, 본 발명의 실시예에 따른 조명 조정 장치(300)와 중앙 제어 모듈에 의한 조명 모듈(111, 211)의 제어에 대하여 살펴본다.

프로브스테이션에서 웨이퍼의 테스트를 위해 적절한 빛의 밝기를 선택하면, 중앙 제어 모듈은 선택된 빛의 밝기에 대응하는 영상 레벨 데이터 값을 산출한다(S 300).

구체적으로, 중앙 제어 모듈은 빛의 밝기 구간을 소정의 단계(예를 들어, 256 단계)로 구분하고, 최소 빛의 밝기를 영상 레벨 데이터 0, 그리고 최대 빛의 밝기를 영상 레벨 데이터 255 등으로 빛의 밝기 단계 별로 영상 레벨 데이터를 설정한다(도 6d 참조). 그 후, 중앙 제어 모듈은 선택된 빛의 밝기에 대응하는 영상 레벨 데이터를 찾고, 상기 수학식 1 등을 이용하여 해당 조명 장치에 인가될 적합한 전류값을 산출한다(S 400).

그 후, 중앙 제어 모듈은 산출된 전류값을 전류 제어부(320)에 전달하고, 전류 제어부(320)는 해당 전류값을 촬상 장치의 조명 모듈에 인가하여 원하는 빛의 밝기로 발광하게 한다(S 500).

이와 같이 본 발명의 실시예에 따른 조명 조정 장치(300)는 기준 빛의 밝기 구간을 이용하여 각 조명 모듈(111, 211)에 대하여 적합한 최소 전류값과 최대 전류값을 선택하여 등록하고, 이렇게 등록된 최소 전류값과 최대 전류값을 이용하여 해당 조명 모듈(111, 211)이 원하는 빛의 밝기로 발광할 수 있도록 제어한다.

이와 같이 본 발명의 실시예에 따른 조명 조정 장치(300)는 조명 모듈(111, 211)에 따라 적절하게 최소 전류값과 최대 전류값을 조정가능하게 하여 조명 모듈 의 호환성을 향상시키고, 빛의 밝기를 영상 레벨 데이터로 변환하여 조절하게 함으로써, 복수의 조명 모듈에서 발생할 수 있는 빛의 밝기의 변이를 최소화하여 복수의 조명 모듈의 빛의 밝기를 균일하게 조절할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 광학계 조명 조정 장치는 광학계에서 사용될 수 있는 복수의 조명 모듈의 빛의 밝기를 균일화하고, 영상 레벨 데이터로 복수의 조명 모듈의 빛의 밝기를 균일하게 조절할 수 있어, 프로브스테이션에서의 웨이퍼 테스트의 생산성을 향상시킬 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

Claims

프로브스테이션용 광학계 조명 조정 장치에 있어서,

상기 광학계의 촬상 장치와 전기적으로 연결되는 촬상 장치 인터페이스부; 및

상기 촬상 장치에 구비되어진 조명 모듈에 대응하는 전류값을 인가하는 전류 제어부를 포함하고,

상기 전류값은 상기 조명 모듈에 대응하도록 기 저장된 최소 전류값 및 최대 전류값, 그리고 입력되는 영상 레벨 데이터로부터 산출되는 것을 특징으로 하는 프로브스테이션용 광학계 조명 조정 장치.
제1항에 있어서,

상기 기 저장된 최소 전류값과 최대 전류값과, 입력되는 영상 레벨 데이터로부터 상기 전류값을 산출하는 중앙 제어 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브스테이션용 광학계 조명 조정 장치.
제1항에 있어서,

상기 프로브스테이션과 네트워크로 연결되어 있는 중앙 서버에 구비된 중앙 제어 모듈로부터 상기 조명 모듈에 대응하는 상기 전류값을 입력받는 것을 특징으로 하는 상기 프로브스테이션용 광학계 조명 조정 장치.
제2항 또는 제3항에 있어서,

상기 중앙 제어 모듈은 상기 조명 모듈에 대하여 인가하는 전류값을 조절하여, 상기 조명 모듈에 대응하는 최소 전류값과 최대 전류값을 검색하여 등록하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브스테이션용 광학계 조명 조정 장치.
제4항에 있어서,

상기 중앙 제어 모듈은 소정의 빛의 밝기에 대응하는 영상 레벨 데이터가 입력된 경우, 상기 조명 모듈에 대응하여 등록된 상기 최소 전류값과 최대 전류값을 이용하여 하기 수학식 1로 상기 조명 모듈에 인가할 인가 전류값을 산출하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브스테이션용 광학계 조명 조정 장치.

[수학식 1]
프로브스테이션용 광학계에 있어서,

제1 조명 모듈, 제1 렌즈 모듈, 및 제1 카메라 모듈을 포함하며 척으로부터 테스터부 방향으로 영상을 촬상하는 제1 촬상 장치;

제2 조명 모듈, 제2 렌즈 모듈, 및 제2 카메라 모듈을 포함하며 테스터부로부터 척 방향으로 영상을 촬상하는 제2 촬상 장치; 및

상기 제1 조명 모듈 및 상기 제2 조명 모듈에 각각 대응하는 제1 인가 전류값 및 제2 인가 전류값을 인가하도록 제어하는 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 따른 광학계 조명 조정 장치;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브스테이션용 광학계.
제6항에 있어서,

상기 제1 인가 전류 값과 상기 제2 인가 전류 값이 서로 상이한 것을 특징으로 하는 상기 프로브스테이션용 광학계.
프로브스테이션용 광학계의 조명 모듈을 조정하는 방법에 있어서,

상기 조명 모듈에 인가되는 전류값을 조정하여 상기 조명 모듈의 빛의 특성 곡선을 구하고, 상기 빛의 특성 곡선 내에 기준 빛의 밝기 구간이 포함되는지 여부를 판단하는 단계;

상기 기준 빛의 밝기 구간에 대응하는 빛의 밝기 구간의 최소 빛의 밝기에 해당하는 전류값을 최소 전류값으로, 상기 빛의 밝기 구간의 최대 빛의 밝기에 해당하는 전류값을 최대 전류값으로 하여 상기 조명 모듈에 대하여 등록하는 단계;

영상 레벨 데이터가 입력되면, 상기 조명 모듈에 대응하는 상기 최소 전류값과 최대 전류값을 이용하여 상기 영상 레벨 데이터에 대응하는 인가 전류값을 산출하는 단계; 및

상기 조명 모듈에 대응하는 상기 인가 전류값을 인가하는 단계;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브스테이션용 광학계의 조명 모듈 조정 방법.
제8항에 있어서,

상기 영상 레벨 데이터, 상기 최소 전류값, 및 최대 전류값을 이용하여 하기 수학식 1로 상기 조명 모듈에 인가할 인가 전류값을 산출하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브스테이션용 광학계의 조명 모듈 조정 방법.

[수학식 1]