KR102421127B1 - 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치 및 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법 - Google Patents

에어리어 카메라가 구비된 검사 장치 및 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치 및 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법에 관한 것으로, 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치는, 프레임; 상기 프레임에 결합되며, 검사체가 안착되는 조사면에 빛을 조사하는 복수 개의 광원 유닛; 복수 개의 상기 광원 유닛 각각에 구비되며, 상기 조사면에 대한 상기 광원 유닛의 높이를 조절하는 높이 조절부;상기 검사체가 안착되는 상기 조사면을 촬영하는 카메라;를 포함하며, 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법은 조사면에 빛을 조사하는 빛 조사 단계; 카메라를 통해 조사면을 촬영하여 영상을 획득하는 영상 회득 단계; 상기 영상을 분석하는 분석 단계;를 포함하며, 상기 분석 단계에서 분석된 영상에 따라서 상기 높이 조절부를 통해 상기 광원 유닛의 높이를 조절하는 높이 조절 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

Description

에어리어 카메라가 구비된 검사 장치 및 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법 {Inspection apparatus having area camera and Inspection method using thereof}
본 발명은 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치 및 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 개별적으로 광원 유닛의 높이를 조절함에 따라 조사면에 고효율이면서 균일도가 높은 광원을 조사할 수 있는 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치 및 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법에 관한 것이다.
카메라 검사 장치는 경면을 보유한 물체를 검사하기 위한 것으로, 카메라 검사 장치는 조사면에 경면을 보유한 물체를 안착시키고, 물체에 빛을 조사하여 카메라를 통해 영상을 촬영하여 경면을 보유한 물체를 검사한다.
일반적으로 컨베이어 물류체계에서는 라인 스캔(Line scan) 카메라 검사 장치를 사용하고 있다. 또한, 최근에는 컨베이어 등의 시스템에서 사용할 수 없는 조건인 경우, 에어리어 스캔(Area scan) 카메라 검사 장치를 사용하고 있다.
에어리어 카메라 검사 장치는 조사면에 균일한 조도를 형성해야 하며, 이를 위해 종래의 에어리어 카메라 검사 장치는 반사된 빛을 조사면에 조사하는 반사 확산광 방식을 사용하거나, 조사면에 빛을 직접 조사하는 직접 조사 방식을 사용하였다.
그러나 반사 확산광 방식은 균일도를 어느 정도 확보할 수 있으나, 일정 거리 이상 멀어지게 되면 검사에 필요한 조도가 부족하게 되는 문제점이 있다. 또한, 직접 조사 방식은 대체로 광원 어레이 방식을 사용하게 되는데, 이와 같은 방식은 조사면에서 검사하는데 필요한 광량은 얻을 수 있으나, 전체적으로 조도의 균일도를 확보하기 어려운 문제점이 있다.
구체적으로, 직접 조사 방식에서 조사되는 광원은 중앙에서의 조도가 주변지역의 조도보다 밝게 되면서 조사면에서 조도의 균일도를 확보하기 어렵게 되는 문제점이 있다. 직접 조사 방식에서 광원으로부터 조사면 간의 거리를 늘리면 균일한 조도를 확보할 수도 있으나, 이 경우 반사 확산광과 동일하게 검사에 필요한 조도가 부족하게 되는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 더욱 상세하게는 개별적으로 광원 유닛의 높이를 조절함에 따라 조사면에 고효율이면서 균일도가 높은 광원을 조사할 수 있는 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치 및 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법에 관한 것이다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치는, 검사체에 빛을 조사하고 카메라를 이용하여 검사체를 검사하는 검사 장치로, 프레임; 상기 프레임에 결합되며, 검사체가 안착되는 조사면에 빛을 조사하는 복수 개의 광원 유닛; 복수 개의 상기 광원 유닛 각각에 구비되며, 상기 조사면에 대한 상기 광원 유닛의 높이를 조절하는 높이 조절부; 상기 검사체가 안착되는 상기 조사면을 촬영하는 카메라;를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치는 복수 개의 상기 광원 유닛이 결합되는 광원 집합부를 더 포함하며, 상기 프레임에는 복수 개의 상기 광원 집합부가 결합될 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치의 상기 프레임에는, 상기 프레임에 대한 상기 광원 집합부의 각도를 조절하는 각도 조절부가 구비될 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법은, 프레임과, 상기 프레임에 결합되며, 검사체가 안착되는 조사면에 빛을 조사하는 복수 개의 광원 유닛과, 복수 개의 상기 광원 유닛에 구비되며, 상기 조사면에 대한 상기 광원 유닛의 높이를 조절하는 높이 조절부, 검사체가 안착되는 조사면을 촬영하는 카메라를 포함하는 에어리어 카메라를 이용한 검사 장치를 이용한 광학 검사 방법으로, 조사면에 빛을 조사하는 빛 조사 단계; 카메라를 통해 조사면을 촬영하여 영상을 획득하는 영상 회득 단계; 상기 영상을 분석하는 분석 단계;를 포함하며, 상기 분석 단계에서 분석된 영상에 따라서 상기 높이 조절부를 통해 상기 광원 유닛의 높이를 조절하는 높이 조절 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법의 상기 분석 단계에서는, 영상에서 조도 분포를 분석하여 주변보다 밝은 부분의 개수와, 주변보다 밝은 부분의 조도를 측정하며, 상기 높이 조절 단계에서는, 주변보다 밝은 부분의 개수와, 주변보다 밝은 부분의 조도에 따라 상기 광원 유닛의 간격을 조절하거나, 상기 조사면에 대한 상기 광원 유닛의 높이를 조절할 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법의 상기 분석 단계에서는, 영상에서 조도 분포와 목표로 하는 조사 면적을 비교하며, 상기 높이 조절 단계에서는, 상기 광원 유닛의 높이를 조절하여 조도 분포와 목표로 하는 조사 면적이 동일하도록 조정할 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법은 상기 높이 조절 단계 이후, 상기 카메라에 촬영된 영상을 조절하는 영상 조절 단계를 더 포함하며, 상기 영상 조절 단계는, 영상에서 가장 밝은 부분과 가장 어두운 부분을 선정하는 선정 단계와, 가장 밝은 부분과 가장 어두운 부분 사이의 제1거리를 측정하고, 가장 밝은 부분과 가장 어두운 부분 사이의 조도 차이를 측정하여, 제1거리에 따른 조도 차이를 측정하는 측정 단계와, 가장 밝은 부분과 픽셀 사이의 제2거리를 측정하여 픽셀을 보정하는 보정 단계를 포함하며, 상기 보정 단계에서는, 상기 제1거리에 따른 조도 차이를 고려하여, 상기 제1거리에 대한 상기 제2거리의 비율에 따라 상기 픽셀의 조도를 보정할 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법은 상기 높이 조절 단계 이후, 상기 카메라에 촬영된 영상을 조절하는 영상 조절 단계를 더 포함하며, 상기 영상 조절 단계는, 서로 다른 방향에서 빛을 조사하여, 3장 이상의 영상을 획득하는 획득 단계; 획득한 영상의 픽셀에 대해서 밝은 부분과 어두운 부분을 분석하여, 표면의 반사도와 표면의 방향을 추출하면서, 영상에서 측정된 각도와 목표 각도 사이의 각도 차이를 측정하는 측정 단계; 지정된 각도로 빛을 조사했을 때, 표면의 반사도와 표면의 방향에 따라 영상을 보정하는 보정 단계;를 포함할 수 있다.
본 발명은 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치 및 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법에 관한 것으로, 개별적으로 광원 유닛의 높이를 조절함에 따라 조사면에 고효율이면서 균일도가 높은 광원을 조사할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 복수 개의 광원 유닛이 결합되는 광원 집합부를 통해, 다른 각도에서 조사면에 균일한 광원을 조사할 수 있는 장점이 있으며, 각도 조절부를 통해 광원 집합부의 각도를 조절할 수 있는 장점이 있다.
이와 함께, 본 발명은 영상 조절 단계를 통해 밝기 부분과 각도 부분을 최적화 시킴에 따라, 램버시안 효과로 인해 영상에서 균일도가 떨어지는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따라 복수 개의 광원 유닛이 구비된 광원 집합부를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따라 조절 나사를 포함하는 높이 조절부가 구비된 광원 유닛을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따라 모터, 연결부, LM 가이드를 포함하는 높이 조절부가 구비된 광원 유닛을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법의 순서도를 나타내는 도면이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 카메라로 촬영된 영상을 통해 광원 유닛의 높이를 조절하여 조도의 균일도를 확보하는 방법을 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 광원 유닛의 높이 조절을 통해 조도의 균일도를 확보한 것을 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시 예에 따라 밝기 부분을 조정하기 위한 영상 조절 단계의 순서도를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 실시 예에 따라 각도 부분을 조정하기 위한 영상 조절 단계의 순서도를 나타내는 도면이다.
도 12는 본 발명의 실시 예에 따라 영상 조절 단계에서 목표로 하는 각도와 실제 각도를 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 다양한 실시 예가 첨부된 도면과 연관되어 기재된다. 본 발명의 다양한 실시 예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들이 도면에 예시되고 관련된 상세한 설명이 기재되어 있다. 그러나 이는 본 발명의 다양한 실시 예를 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 다양한 실시 예의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경 및/또는 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 도면의 설명과 관련하여, 유사한 구성요소에 대해서는 유사한 참조 부호가 사용되었다.
본 발명의 다양한 실시 예에서 사용될 수 있는 "포함한다" 또는 "포함할 수 있다" 등의 표현은 발명(disclosure)된 해당 기능, 동작 또는 구성요소 등의 존재를 가리키며, 추가적인 하나 이상의 기능, 동작 또는 구성요소 등을 제한하지 않는다. 또한, 본 발명의 다양한 실시예에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있을 수도 있지만, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 새로운 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 새로운 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해될 수 있어야 할 것이다.
본 발명의 다양한 실시 예에서 사용한 용어는 단지 특정일 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명의 다양한 실시 예를 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명의 다양한 실시 예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명의 다양한 실시 예에서 명백하게 정의되지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
본 발명은 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치 및 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법에 관한 것으로, 개별적으로 광원 유닛의 높이를 조절함에 따라 조사면에 고효율이면서 균일도가 높은 광원을 조사할 수 있는 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치 및 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법에 관한 것이다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치는, 프레임(110), 광원 유닛(120), 높이 조절부(130), 카메라(140)를 포함한다.
상기 프레임(110)은 검사 장치의 기본 구조물일 수 있으며, 상기 프레임(110)에 상기 광원 유닛(120)이 결합될 수 있다. 상기 프레임(110)은 상기 광원 유닛(120)이 결합될 수 있다면, 다양한 형상으로 이루어질 수 있다.
상기 광원 유닛(120)은 상기 프레임(110)에 결합되며, 검사체가 안착되는 조사면(10)에 빛을 조사하는 것이다. 상기 검사체는 경면을 보유한 물체라면 다양한 물체일 수 있으며, 상기 광원 유닛(120)을 통해 상기 조사면(10)에 빛을 조사하고, 상기 카메라(140)를 통해 상기 검사체를 촬영하여 검사가 진행될 수 있다.
상기 광원 유닛(120)은 상기 조사면(10)에 빛을 조사할 수 있다면 다양한 조명을 포함할 수 있으며, 상기 광원 유닛(120)은 LED 광원을 포함할 수 있다. 본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 광원 유닛(120)의 끝단에는 집광 렌즈(121)가 구비될 수 있다.
도 3을 참조하면, 상기 집광 렌즈(121)는 상기 광원 유닛(120)에 구비된 조명에서 방출되는 빛이 분산되는 것을 방지하면서 빛을 모을 수 있는 것으로, 상기 광원 유닛(120)에 복수 개의 조명이 포함된 경우, 상기 집광 렌즈(121)를 통해 빛을 모을 수 있게 된다.
상기 집광 렌즈(121)는 상기 광원 유닛(120)에 구비된 조명에서 방출되는 빛이 분산되는 것을 방지하면서 빛을 모을 수 있다면 다양한 종류의 렌즈일 수 있다.
상기 프레임(110)에는 복수 개의 상기 광원 유닛(120)이 결합될 수 있다. 상기 광원 유닛(120)은 상기 프레임(110)에 직접적으로 결합될 수 있으며, 다른 구성을 통해 상기 프레임(110)에 결합될 수도 있다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치는, 복수 개의 상기 광원 유닛(120)이 결합되는 광원 집합부(150)를 더 포함할 수 있으며, 상기 광원 집합부(150)가 상기 프레임(110)에 결합될 수 있다.
상기 광원 집합부(150)는 복수 개의 상기 광원 유닛(120)이 결합되는 구조물일 수 있다. 상기 광원 집합부(150)에는 복수 개의 상기 광원 유닛(120)이 결합될 수 있으며, 상기 광원 집합부(150)에는 4개의 상기 광원 유닛(120)이 결합될 수 있다.
다만, 상기 광원 집합부(150)에 결합되는 상기 광원 유닛(120)의 개수는 4개로 한정되지는 않으며, 검사체 필요한 조도에 따라 상기 광원 집합부(150)에 결합되는 상기 광원 유닛(120)의 개수는 변경될 수 있다.
상기 프레임(110)에는 복수 개의 상기 광원 집합부(150)가 결합될 수 있다. 도 1을 참조하면, 서로 다른 네 방향에서 상기 조사면(10)으로 빛을 조사하기 위해, 상기 프레임(110)에는 4개의 상기 광원 집합부(150)가 결합될 수 있다.
다만, 상기 프레임(110)에 결합되는 상기 광원 집합부(150)의 개수는 4개로 한정되지는 않으며, 검사체 필요한 조도에 따라 상기 프레임(110)에 결합되는 상기 광원 집합부(150)의 개수는 변경될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 광원 집합부(150)를 통해 상기 조사면(10)의 일방향에서 상기 조사면(10)으로 빛을 조사할 수 있게 된다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 프레임(110)에는 상기 프레임(110)에 대한 상기 광원 집합부(150)의 각도를 조절할 수 있는 각도 조절부(160)가 구비될 수 있다.
상기 각도 조절부(160)는 상기 프레임(110)에 대한 상기 광원 집합부(150)의 각도를 변경할 수 있는 것으로, 상기 각도 조절부(160)를 통해 상기 프레임(110)에 대한 상기 광원 집합부(150)의 각도를 조절함에 따라 상기 조사면(10)으로 조사되는 빛의 방향을 변경할 수 있게 된다.
상기 각도 조절부(160)는 힌지를 포함할 수 있다. 상기 힌지는 상기 광원 집합부(150)와 상기 프레임(110)이 결합되는 지점에 구비될 수 있는 것이다. 상기 힌지를 통해 상기 광원 집합부(150)와 상기 프레임(110)을 결합시킴에 따라 상기 프레임(110)에 대한 상기 광원 집합부(150)의 각도를 조절할 수 있게 된다.
다만, 상기 각도 조절부(160)는 힌지를 포함하는 것으로 한정되지는 않으며, 상기 각도 조절부(160)는 상기 광원 집합부(150)의 각도를 변경할 수 있다면 다양한 구성을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 광원 집합부(150)를 통해 상기 조사면(10)의 일방향에서 상기 조사면(10)으로 빛을 조사할 때, 상기 광원 집합부(150)에서 조사되는 빛 조도의 균일도를 확보해야 상기 검사체를 정확하게 검사할 수 있게 된다.
이를 위해, 본 발명의 실시 예에 따른 상기 광원 집합부(150)에는 복수 개의 상기 광원 유닛(120)이 결합되며, 복수 개의 상기 광원 유닛(120) 각각에 상기 높이 조절부(130)가 구비될 수 있다.
상기 높이 조절부(130)는 복수 개의 상기 광원 유닛(120) 각각에 구비되는 것으로, 상기 조사면(10)에 대한 상기 광원 유닛(120)의 높이를 조절할 수 있는 것이다. 상기 높이 조절부(130)는 복수 개의 상기 광원 유닛(120)을 독립적으로 조절하도록, 복수 개의 상기 광원 유닛(120) 각각에 구비될 수 있다.
도 3을 참조하면, 상기 높이 조절부(130)는 조절 나사(131)를 포함할 수 있으며, 상기 광원 유닛(120)은 고정부(122)와 가변부(123)를 포함할 수 있다. 상기 고정부(122)는 상기 광원 집합부(150)에 결합되는 부분이며, 상기 가변부(123)는 상기 조절 나사(131)를 통해 상기 고정부(122)에 결합되는 부분이다.
상기 조절 나사(131)를 조이거나 풀면, 상기 고정부(122)에 대하여 상기 가변부(123)가 이동될 수 있게 되면서, 상기 조사면(10)에 대한 상기 광원 유닛(120)의 높이를 조절할 수 있게 된다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 상기 높이 조절부(130)는 모터(132)에 의해 작동될 수도 있다. 상기 높이 조절부(130)는 모터(132), 연결부(133), LM 가이드(134)를 포함할 수 있다.
상기 모터(132)는 상기 광원 유닛(120)을 이동시킬 수 있는 동력을 제공하는 것으로, 상기 모터(132)는 상기 LM 가이드(134)를 따라 상기 연결부(133)를 이동시킬 수 있는 것이다. 상기 LM 가이드(134)는 레일을 포함하는 것으로, 상기 연결부(133)는 상기 모터(132)의 동력에 의해 상기 LM 가이드(134)의 레일 따라 이동될 수 있다.
상기 연결부(133)는 상기 광원 유닛(120)에 연결되는 것으로, 상기 모터(132)를 통해 상기 연결부(133)를 상기 LM 가이드(134)를 따라 이동시키면, 상기 연결부(133)와 연결된 상기 광원 유닛(120)을 이동시킬 수 있게 된다. 이를 통해 상기 조사면(10)에 대한 상기 광원 유닛(120)의 높이를 조절할 수 있게 된다.
상기 연결부(133)는 상기 광원 유닛(120)과 상기 LM 가이드(134) 사이에 구비될 수 있으며, 상기 모터(132), 상기 연결부(133), 상기 LM 가이드(134)를 통해 상기 조사면(10)에 대한 상기 광원 유닛(120)의 높이를 자동으로 조절할 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 상기 높이 조절부(130)는 상기 조절 나사(131)를 통해 상기 광원 유닛(120)의 높이를 수동으로 조절하거나, 상기 모터(132)를 통해 상기 광원 유닛(120)의 높이를 자동으로 조절할 수 있는 것이다.
다만, 상기 높이 조절부(130)의 구성은 이에 한정되지는 않으며, 상기 높이 조절부(130)는 상기 조사면(10)에 대한 상기 광원 유닛(120)의 높이를 조절할 수 있다면 다양한 구성을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치는 상기 높이 조절부(130)를 통해 복수 개의 상기 광원 유닛(120)의 높이를 개별적으로 조절함에 따라 상기 광원 집합부(150)에서 조사되는 빛 조도의 균일도를 확보할 수 있다.
종래의 검사 장치와 같이 직접 조사 방식으로 광원을 조사하면, 중앙에서의 조도가 주변지역의 조도보다 밝게 되면서 조사면에서 조도의 균일도를 확보하기 어렵게 되는 문제가 있다.
상기 광원 유닛(120)은 직접 조사 방식으로 빛을 조사하는 것이기 때문에, 상기 광원 유닛(120)을 통해서만 빛을 조사하면, 조사면에서 조도의 균일도를 확보하기 어렵게 된다.
그러나 본 발명의 실시 예와 같이 상기 광원 집합부(150)에 복수 개의 상기 광원 유닛(120)을 결합시켜 빛을 조사하면, 복수 개의 상기 광원 유닛(120)에서 조사되는 빛이 서로 간섭되면서 조도의 균일도를 확보할 수 있게 된다.
즉, 상기 광원 집합부(150)에 복수 개의 상기 광원 유닛(120)을 구비하고, 상기 광원 집합부(150)를 통해 상기 조사면(10)의 일방향에서 상기 조사면(10)으로 빛을 조사함에 따라 조도의 균일도를 확보할 수 있게 된다.
다만, 상기 광원 집합부(150)에 복수 개의 상기 광원 유닛(120)이 구비되더라도, 복수 개의 상기 광원 유닛(120)에서 조사되는 빛의 간섭이 어떤 방향으로 발생할지 알 수 없기 때문에, 조도의 균일도를 확보하기 위해서는 상기 광원 유닛(120)의 높이를 조절해야 한다.
상기 높이 조절부(130)를 이를 위해 구비되는 것으로, 상기 높이 조절부(130)를 통해 복수 개의 상기 광원 유닛(120)의 높이를 개별적으로 각각 조절함에 따라 상기 조사면(10)의 일방향에서 상기 광원 집합부(150)를 통해 조사되는 빛 조도의 균일도를 확보할 수 있게 된다.
복수 개의 상기 광원 유닛(120)의 높이를 개별적으로 조절하여, 상기 광원 집합부(150)에서 조사되는 조도의 균일도를 확보하는 방법은 본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법에서 설명하기로 한다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치는 상기 검사체가 안착되는 상기 조사면(10)을 촬영하는 상기 카메라(140)를 포함할 수 있다.
상기 카메라(140)는 상기 조사면(10)의 상부에 구비될 수 있는 것으로, 상기 카메라(140)는 상기 조사면(10)을 촬영할 수 있다면 다양한 지점에 구비될 수 있다. 상기 조사면(10)에 검사체가 안착되면, 상기 카메라(140)를 통해 상기 조사면(10)을 촬영하여, 영상을 통해 상기 검사체를 검사할 수 있게 된다.
후술할 본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법은 상술한 본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 사용하는 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법은 상기 광원 유닛(120)의 높이를 조절하여 상기 광원 집합부(150)에서 조사되는 조도의 균일도를 확보하는 방법을 포함하는 것이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법은 빛 조사 단계(S110), 영상 획득 단계(S120), 분석 단계(S130), 높이 조절 단계(S140)를 포함한다.
상기 빛 조사 단계(S110)는 상기 조사면(10)에 빛을 조사하는 단계이다. 상기 빛 조사 단계(S110)에서는 상기 광원 유닛(120)과 상기 조사면(10) 사이의 높이, 복수 개의 상기 광원 유닛(120) 사이의 거리, 상기 광원 유닛(120)의 개수를 임의로 산정하여 상기 조사면(10)에 빛을 조사할 수 있다.
상기 영상 획득 단계(S120)는 상기 카메라(140)를 통해 상기 조사면(10)을 촬영하여 영상을 획득하는 단계이다.
상기 분석 단계(S130)는 상기 영상을 분석하는 단계이며, 상기 높이 조절 단계(S140)는 상기 분석 단계(S130)에서 분석된 영상에 따라 상기 높이 조절부(130)를 통해 상기 광원 유닛(120)의 높이를 조절하는 단계이다.
본 발명의 실시 예에 따른 상기 분석 단계(S130)에서는, 영상에서 조도 분포를 분석하여 주변보다 밝은 부분의 개수와, 주변보다 밝은 부분의 조도를 측정할 수 있다.
상기 높이 조절 단계(S140)에서는, 주변보다 밝은 부분의 개수와, 주변보다 밝은 부분의 조도에 따라 상기 광원 유닛(120)의 간격을 조절하거나, 상기 높이 조절부(130)를 통해 상기 조사면(10)에 대한 상기 광원 유닛(120)의 높이를 조절하게 된다.
구체적으로, 도 6을 참조하면, 주변보다 밝은 부분의 개수가 상기 광원 집합부(150)에 구비된 상기 광원 유닛(120)의 개수와 동일하게 측정되면, 상기 광원 유닛(120) 사이의 간격을 좁히거나, 상기 조사면(10)에 대한 상기 광원 유닛(120)의 높이를 높게할 수 있다.
여기서, 도 6, 도 7, 도 8은 상기 광원 집합부(150)에 4개의 상기 광원 유닛(120)이 결합된 경우에, 상기 광원 유닛(120)의 높이를 조절하여 조도의 균일성을 확보하는 과정을 나타내는 도면이다.
이와 같이 상기 광원 유닛(120) 사이의 간격을 좁히거나, 상기 조사면(10)에 대한 상기 광원 유닛(120)의 높이를 높게하면, 주변보다 밝은 부분이 합쳐지면서 내부의 조도가 균일하게 될 수 있다.
상기 광원 유닛(120) 사이의 간격을 좁히거나, 상기 조사면(10)에 대한 상기 광원 유닛(120)의 높이를 높게하면서 내부의 조도를 균일하게 확보하는 과정 중에, 조도 분포와 목표로 하는 조사 면적이 서로 다를 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 상기 분석 단계(S130)에서는 영상에서 조도 분포와 목표로 하는 조사 면적을 비교할 수 있으며, 상기 높이 조절 단계(S140)에서는 상기 광원 유닛(120)의 높이를 조절하여 조도 분포와 목표로 하는 조사 면적이 동일하도록 조정할 수 있다.
도 7을 참조하면, 주변보다 밝은 부분이 하나로 형성되는데, 조도 분포와 목표로 하는 조사 면적이 다른 경우, 상기 광원 유닛(120)의 높이를 조절하여 조도 분포와 목표로 하는 조사 면적이 동일하도록 조절할 수 있다.
구체적으로, 주변보다 밝은 부분이 하나로 형성되는데, 조도 분포와 목표로 하는 조사 면적보다 작은 경우, 상기 광원 유닛(120) 사이의 간격을 넓히거나, 상기 조사면(10)에 대한 상기 광원 유닛(120)의 높이를 낮게 하여 조도 분포와 목표로 하는 조사 면적이 동일하도록 조절할 수 있다.
또한, 도 8과 같이 주변보다 밝은 부분의 개수를 측정할 때 조도 분포가 한쪽으로 치우지는 경우가 발생할 수 있다. 이 경우 조도 분포가 높거나 낮은 부분에서 상기 광원 유닛(120)의 높이를 개별적으로 조절하여 조도 분포가 한쪽으로 치우지는 것을 조절할 수 있게 된다.
이와 같이 상기 광원 유닛(120) 사이의 간격을 조절하면서, 상기 높이 조절부(130)를 통해 상기 조사면(10)에 대한 상기 광원 유닛(120)의 높이를 조절하면, 도 9와 같이 균일한 조도를 확보할 수 있게 된다.
도 10 및 도 11을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법은 상기 높이 조절 단계(S140) 이후, 상기 카메라(140)에 촬영된 영상을 조절하는 영상 조절 단계(S150)를 더 포함할 수 있다.
상기 광원 유닛(120)의 높이를 조절하여 상기 광원 집합부(150)를 통해 상기 조사면(10)에 균일한 조도가 분포되어도, 상기 카메라(140) 렌즈에 입사되는 빛은 램버시안 효과에 의해 영상에서 균일도가 떨어질 수 있다.
구체적으로, 상기 광원 집합부(150)를 통해 조사되는 빛은 상기 조사면(10)의 일방향에서 조사될 수 있는데, 상기 조사면(10)의 일방향에서 빛이 조사되면, 상기 카메라(140)를 통해 촬영된 영상에서는 상기 광원 집합부(150)와 가까운 쪽이 밝고, 상기 광원 집합부(150)와 멀어질수록 어두워지게 된다.
또한, 상기 조사면(10)의 일방향에서 빛이 조사되면, 상기 카메라(140)를 통해 촬영된 영상에서 각도가 틀어질 수 있게 된다. 즉, 실제로 상기 조사면(10)에 조사되는 빛의 조도가 균일할 수 있으나, 상기 카메라(140)에서 실제로 촬영되는 영상에서는 균일도가 떨어질 수 있게 된다.
상기 영상 조절 단계(S150)는 이와 같이 상기 영상에서 균일도가 떨어지는 것을 해결하기 위한 것이다. 도 10은 밝기 부분을 조정하는 단계를 나타내는 도면이고, 도 11은 각도 부분을 조정하는 단계를 나타내는 도면이다.
도 10을 참조하면, 밝기 부분을 조정하기 위한 상기 영상 조절 단계(S150)는 선정 단계(S151a), 측정 단계(S152a), 보정 단계(S153a)를 포함한다.
상기 선정 단계(S151a)는 영상에서 가장 밝은 부분과 가장 어두운 부분을 선정하는 단계이다. 상술한 바와 같이 상기 카메라(140)를 통해 촬영된 영상에서는 상기 광원 집합부(150)와 가까운 쪽이 밝고, 상기 광원 집합부(150)와 멀어질수록 어두워지게 된다. 상기 선정 단계(S151a)에서는 상기 영상에서 가장 밝은 부분과 가장 어두운 부분을 선정하는 단계이다.
상기 측정 단계(S152a)는 영상에서 가장 밝은 부분과 가장 어두운 부분 사이의 제1거리를 측정하고, 가장 밝은 부분과 가장 어두운 부분 사이의 조도 차이를 측정하여, 제1거리에 따른 조도 차이를 측정하는 단계이다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 가장 밝은 부분과 가장 어두운 부분 사이의 조도 차이를 측정하면, 거리(제1거리)에 따른 조도 차이를 측정할 수 있게 된다. 거리에 따른 조도 차이를 측정하면, 거리의 비율에 따라 조도 차이를 보정할 수 있게 된다.
상기 보정 단계(S153a)는 가장 밝은 부분과 픽셀 사이의 제2거리를 측정하여 픽셀을 보정하는 단계이다. 여기서, 상기 픽셀은 영상에 존재하는 복수 개의 픽셀로, 밝기가 보정되는 지점일 수 있다. 상기 보정 단계(S153a)에서는 상기 영상에 존재하는 복수 개의 픽셀 각각을 보정할 수 있다.
상기 보정 단계(S153a)에서는, 상기 제1거리에 따른 조도 차이를 고려하여, 상기 제1거리에 대한 상기 제2거리의 비율에 따라 상기 픽셀의 조도를 보정할 수 있게 된다.
구체적으로, 상기 측정 단계(S152a)에서 거리에 따른 조도 차이를 측정하였기 때문에, 제1거리와 제2거리의 비율에 따라 보정해야 하는 조도 값을 알 수 있게 되며, 이를 통해 상기 픽셀의 조도를 보정할 수 있게 된다.
여기서, 거리에 따른 조도 차이를 통해 픽셀을 보정할 때, 비례식을 통해 보정할 수 있으며, 다른 상관관계식을 통해 픽셀을 보정할 수도 있다. 구체적으로, 가장 밝은 부분에서 가장 어두운 부분으로 갈수록, 거리에 따라 일정하게 조도가 감소한다면, 제1거리와 제2거리의 비례식을 통해 상기 픽셀을 보정할 수 있다.
또한, 가장 밝은 부분에서 가장 어두운 부분으로 갈수록, 거리에 따라 조도가 상관 관계식을 만족하면서 조도가 감소한다면, 거리를 인자로 고려하여 제2거리에 따라 상기 픽셀을 보정할 수도 있다.
여기서, 거리에 따라 조도가 감소하는 상관 관계식은, 서로 다른 방향에서 상기 조사면(10)으로 빛을 조사하여 복수 개의 영상을 획득하고, 복수 개의 영상을 분석함으로써 도출될 수 있다.
서로 다른 방향에서 상기 조사면(10)으로 빛을 조사하여 복수 개의 영상이 획득되면, 복수 개의 거리에 따른 조도 차이값이 나올 수 있게 된다. 이때, 복수 개의 영상에서 가장 밝은 부분과 가장 어두운 부분 사이의 거리는 일정하지 않도록 촬영될 수 있다. 복수 개의 영상에서 복수 개의 거리에 따른 조도 차이값이 도출되면, 이를 통해 거리에 따라 조도가 감소하는 상관 관계식을 도출할 수 있게 된다.
도 11 및 도 12를 참조하면, 각도 부분을 조정하기 위한 상기 영상 조절 단계(S150)는 획득 단계(S151b), 측정 단계(S152b), 보정 단계(S153b)를 포함한다.
상기 획득 단계(S151b)는 서로 다른 방향에서 빛을 조사하여, 3장 이상의 영상을 획득하는 단계이다. 상기 획득 단계(S151b)에서는 3장 이상의 영상이 촬영될 수 있으며, 3장 이상의 영상을 분석하여 각도를 조절할 수 있게 된다.
상기 측정 단계(S152b)는 획득한 영상의 픽셀에 대해서 밝은 부분과 어두운 부분을 분석하여, 표면의 반사도와 표면의 방향을 추출하면서, 영상에서 측정된 각도와 목표 각도 사이의 차이를 측정하는 단계이다.
도 12를 참조하면, 상기 측정 단계(S152b)에서는 3장 이상의 영상 각각에서 밝은 부분과 어두운 부분을 도출하여, 밝은 부분과 어두운 부분을 통해서 표면의 반사도와 표면의 방향을 추출할 수 있다.
구체적으로, 서로 다른 각도에서 빛을 조사한 3장 이상의 영상에서 동일하게 어두운 부분이 추출되면, 그 표면은 빛을 대부분 흡수하는 재질로 되어 있음을 알 수 있다. 이와 같은 방법을 통해 표면에서 빛이 흡수되는 영역과 반사되는 영역이 어느 지점인지 판별하여 표면의 반사도를 추출할 수 있게 된다.
또한, 동일한 광량으로 서로 다른 각도에서 조사된 빛들에 의해 촬영된 3장 이상의 영상에서, 표면의 기울기가 특정 빛의 방향과 나란하면 반사에 의해 영상에서 밝게 나타날 수 있으며, 표면의 기울기가 특정 빛의 방향과 등져 있다면 표면이 어둡게 나타날 수 있다.
표면이 밝게 나타나는 부분과 표면이 어둡게 나오는 부분의 방향을 분석하면, 표면의 기울기(표면의 방향)를 알 수 있게 된다. 이와 같은 방법으로 표면의 기울기가 도출되면, 영상에서 측정된 각도(실제 각도)를 도출할 수 있게 된다.
도 12를 참조하면, 영상에서 측정된 각도(실제 각도)가 도출되면, 영상에서 측정된 각도(실제 각도)와 목표 각도의 차이를 측정할 수 있게 된다. (여기서, 목표 각도는 빛이 상기 조사면(10)에 조사된 각도이다.)
상기 측정 단계(S152b)에서는 3장 이상의 영상을 분석할 수 있으며, 3장 이상의 영상을 분석하면, 빛이 조사되는 방향에 따라 확정되는 목표 각도와, 영상에서 측정된 각도(실제 각도) 사이에서 발생하는 각도 차이에 대한 관계가 도출할 수 있게 된다.
상기 보정 단계(S153b)는 지정된 각도로 빛을 조사했을 때, 표면의 반사도와 표면의 방향에 따라 영상을 보정하는 단계이다. 구체적으로, 상기 보정 단계(S153b)에서는 지정된 각도(사용자가 원하는 방향)로 빛을 조사했을 때, 표면의 반사도에 따라 영상을 보정할 수 있으며, 상기 보정 단계(S153b)에서는 지정된 각도(사용자가 원하는 방향)로 빛을 조사했을 때, 표면의 방향에 따라 도출되는 영상에서 측정된 각도(실제 각도)와 목표 각도 차이의 관계를 고려하여 각도를 보정할 수 있다.
조금 더 구체적으로, 상기 보정 단계(S153b)에서는, 지정된 각도(사용자가 원하는 방향)로 빛을 조사했을 때, 표면의 반사도와 표면의 방향이 고려된 보정된 영상을 얻어낼 수 있게 된다.
즉, 서로 다른 방향에서 빛이 조사되는 3장 이상의 영상을 분석하면, 표면의 반사도를 분석할 수 있고, 각도가 어떤한 형태로 꺾이는지를 분석할 수 있게 되며, 이를 통해 각도 부분을 보정할 수 있게 된다.
상술한 본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법은 제어부를 통해 진행될 수 있다. 상기 제어부는 상기 높이 조절부(130)를 작동시켜 상기 광원 유닛(120)의 높이를 조절할 수 있는 것이면서, 상기 광원 유닛(120) 사이의 간격을 조절할 수 있는 것이다.
또한, 상기 제어부는 상기 광원 집합부(150)의 각도를 조절할 수 있으며, 상기 카메라(140)에 의해 촬영된 영상을 분석하거나, 상기 카메라(140)에 의해 촬영된 영상을 보정할 수 있는 것이다. 본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 영상 조절 단계(S150)는 상기 제어부를 통해 진행될 수 있다.
상술한 본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치 및 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법은 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치 및 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법은 개별적으로 광원 유닛의 높이를 조절함에 따라 조사면에 고효율이면서 균일도가 높은 광원을 조사할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치 및 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법은 복수 개의 광원 유닛이 결합되는 광원 집합부를 통해, 다른 각도에서 조사면에 균일한 광원을 조사할 수 있는 장점이 있으며, 각도 조절부를 통해 광원 집합부의 각도를 조절할 수 있는 장점이 있다.
이와 함께, 본 발명의 실시 예에 따른 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치 및 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법은 영상 조절 단계를 통해 밝기 부분과 각도 부분을 최적화 시킴에 따라, 램버시안 효과로 인해 영상에서 균일도가 떨어지는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되지 않으며, 본 발명의 범주를 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 많은 변형이 제공될 수 있다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위를 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
110...프레임 120...광원 유닛
121...집광 렌즈 122...고정부
123...가변부 130...높이 조절부
131...조절 나사 132...모터
133...연결부 134...LM 가이드
140...카메라 150...광원 집합부
160...각도 조절부
S110...빛 조사 단계 S120...영상 획득 단계
S130...분석 단계 S140...높이 조절 단계
S150...영상 조절 단계 S151a...선정 단계
S152a...측정 단계 S153a...보정 단계
S151b...획득 단계 S152b...측정 단계
S153b...보정 단계

Claims (9)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 프레임과, 상기 프레임에 결합되며, 검사체가 안착되는 조사면에 빛을 조사하는 복수 개의 광원 유닛과, 복수 개의 상기 광원 유닛에 구비되며, 상기 조사면에 대한 상기 광원 유닛의 높이를 조절하는 높이 조절부, 검사체가 안착되는 조사면을 촬영하는 카메라를 포함하는 에어리어 카메라를 이용한 검사 장치를 이용한 광학 검사 방법에 있어서,
    조사면에 빛을 조사하는 빛 조사 단계;
    카메라를 통해 조사면을 촬영하여 영상을 획득하는 영상 회득 단계;
    상기 영상을 분석하는 분석 단계;를 포함하며,
    상기 분석 단계에서 분석된 영상에 따라서 상기 높이 조절부를 통해 상기 광원 유닛의 높이를 조절하는 높이 조절 단계;를 포함하며,
    상기 분석 단계에서는, 영상에서 조도 분포를 분석하여 주변보다 밝은 부분의 개수와, 주변보다 밝은 부분의 조도를 측정하며,
    상기 높이 조절 단계에서는, 주변보다 밝은 부분의 개수와, 주변보다 밝은 부분의 조도에 따라 상기 광원 유닛의 간격을 조절하거나, 상기 조사면에 대한 상기 광원 유닛의 높이를 조절하는 것을 특징으로 하는 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제4항에 있어서,
    상기 높이 조절 단계 이후, 상기 카메라에 촬영된 영상을 조절하는 영상 조절 단계를 더 포함하며,
    상기 영상 조절 단계는,
    영상에서 가장 밝은 부분과 가장 어두운 부분을 선정하는 선정 단계와,
    가장 밝은 부분과 가장 어두운 부분 사이의 제1거리를 측정하고, 가장 밝은 부분과 가장 어두운 부분 사이의 조도 차이를 측정하여, 제1거리에 따른 조도 차이를 측정하는 측정 단계와,
    가장 밝은 부분과 픽셀 사이의 제2거리를 측정하여 픽셀을 보정하는 보정 단계를 포함하며,
    상기 보정 단계에서는, 상기 제1거리에 따른 조도 차이를 고려하여, 상기 제1거리에 대한 상기 제2거리의 비율에 따라 상기 픽셀의 조도를 보정하는 것을 특징으로 하는 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 높이 조절 단계 이후, 상기 카메라에 촬영된 영상을 조절하는 영상 조절 단계를 더 포함하며,
    상기 영상 조절 단계는,
    서로 다른 방향에서 빛을 조사하여, 3장 이상의 영상을 획득하는 획득 단계;
    획득한 영상의 픽셀에 대해서 밝은 부분과 어두운 부분을 분석하여, 표면의 반사도와 표면의 방향을 추출하면서, 영상에서 측정된 각도와 목표 각도 사이의 각도 차이를 측정하는 측정 단계;
    지정된 각도로 빛을 조사했을 때, 표면의 반사도와 표면의 방향에 따라 영상을 보정하는 보정 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법.
  9. 프레임과, 상기 프레임에 결합되며, 검사체가 안착되는 조사면에 빛을 조사하는 복수 개의 광원 유닛과, 복수 개의 상기 광원 유닛에 구비되며, 상기 조사면에 대한 상기 광원 유닛의 높이를 조절하는 높이 조절부, 검사체가 안착되는 조사면을 촬영하는 카메라를 포함하는 에어리어 카메라를 이용한 검사 장치를 이용한 광학 검사 방법에 있어서,
    조사면에 빛을 조사하는 빛 조사 단계;
    카메라를 통해 조사면을 촬영하여 영상을 획득하는 영상 회득 단계;
    상기 영상을 분석하는 분석 단계;를 포함하며,
    상기 분석 단계에서 분석된 영상에 따라서 상기 높이 조절부를 통해 상기 광원 유닛의 높이를 조절하는 높이 조절 단계;를 포함하며,
    상기 분석 단계에서는, 영상에서 조도 분포와 목표로 하는 조사 면적을 비교하며,
    상기 높이 조절 단계에서는, 상기 광원 유닛의 높이를 조절하여 조도 분포와 목표로 하는 조사 면적이 동일하도록 조정하는 것을 특징으로 하는 에어리어 카메라가 구비된 검사 장치를 이용한 검사 방법.
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