KR100715689B1 - 반도체 저압화학기상증착 설비의 플랜지 - Google Patents
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Abstract
Description
도 8은 본 발명의 일부확대평단면도
50:단열재 51:가스유입구
52:가스배출구
상기 보트(6)는 도면에서는 미도시되어 있지만 별도의 승강장치에 의해 승강작동되도록 구성되고, 도8에서 더욱 상세히 나타낸 바아 같이 보트(6)의 상부에는 다수 개의 슬롯(6a)이 수직방향으로 설치되어 원판형으로 이루어지는 웨이퍼(5)들을 적층 설치하게 된다.
따라서, 이같이 구성되는 종래의 저압 화학기상증착장치는 웨이퍼(5)들이 보트(6)의 슬롯(6a)에 장착된 상태에서 이의 보트(6)가 별도의 승강장치에 의해 상승작동되어 내측튜브(3)의 내부로 진입하게 됨과 동시에 플랜지(4)의 하단부에 밀착됨으로써 내부를 밀폐된 공간으로 형성하게 된다.
이때 증착가스는 내부튜브(20)의 상단을 거쳐 내,외부튜브(10)(20) 사이의 공간을 통하여 가스배출구(52)로 배출되는 것이고, 이같이 증착이 모두 완료되면, 전술한 역순의 작동에 의해 챔버내를 대기압으로 만든 후 보트(40)를 하강시켜 웨이퍼(41)를 회수함으로써 일련의 증착공정이 완료되는 것이다.
Claims (1)
- 상부에는 내,외튜브를 비롯한 가열부가 설치되고 하부에는 웨이퍼가 장착되는 포트가 설치되는 플랜지를 갖춘 반도체 저압화학기상증착 설비에 있어서,상기 저압화학기상증착의 플랜지는 소정직경을 가지면서 상부에는 냉각수조가 형성됨과 동시에 하부에는 가스유입구 및 가스배출구를 가지는 이중 관체형의 내,외벽면과;상기 내,외벽면 사이에서 상향 개구되게 형성되고 일측에는 내부의 압력해소를 위해 외부로 연통되는 배기구를 가지는 설치홈과;상기 설치홈내에 삽입체결되고 내,외부의 열을 차단토록 하는 단열재와;상기 설치홈의 상단 개구부에 일체로 형성되어 밀폐토록 하는 차단판;으로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 저압화학기상증착 설비의 플랜지.
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KR20190000980A (ko) * | 2017-06-26 | 2019-01-04 | 이동원 | 퍼스널 헬스케어 시스템 |
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- 2005-11-04 KR KR1020050105385A patent/KR100715689B1/ko active IP Right Grant
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