KR100714968B1 - Tcp/cof appearance checker - Google Patents

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KR100714968B1
KR100714968B1 KR1020050111122A KR20050111122A KR100714968B1 KR 100714968 B1 KR100714968 B1 KR 100714968B1 KR 1020050111122 A KR1020050111122 A KR 1020050111122A KR 20050111122 A KR20050111122 A KR 20050111122A KR 100714968 B1 KR100714968 B1 KR 100714968B1
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김호영
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합명회사 서우테크
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Abstract

본 발명은 TCP(Tape Carrier Package) 또는 COF(Chip On Flexible Board 혹은 Chip On Film)를 검사하는데 사용되는 외관검사기에 관한 것으로, 특히 검사를 위하여 릴에 권취된 필름을 검사대를 통과시키면서 다른 릴에 옮겨 권취하는 과정에서 이송의 안정성을 확보하고 균일한 장력을 유지할 수 있도록 개선한 것이다.The present invention relates to an appearance inspector used to inspect a tape carrier package (TCP) or a chip on flexible board or chip on film (COF), and in particular, a film wound on a reel for inspection is transferred to another reel while passing through an inspection table. It was improved to secure the stability of the conveyance and to maintain a uniform tension during the winding process.

특히 본 발명은 검사대(2)를 통과하는 이송가이드(20)의 양측에 스프로킷(30)을 설치하되 이송가이드(20)를 통과한 필름(100)의 진행 선상에 스프로킷(30)의 상단부가 위치하도록 설치하고, 스프로킷(30)의 옆 하부에는 커버(41)에 의해 보호되는 공간부(40)를 구성하여 필름(100)이 자유상태로 늘어질 수 있는 공간을 확보함으로써, 필름(100)이 스프로킷(30)을 권회한 후, 또는 스프로킷(30)에 진입하기 전 공간부(40)로 늘어진 상태가 되도록 함을 특징으로 한다. In particular, in the present invention, the sprocket 30 is installed on both sides of the transfer guide 20 passing through the inspection table 2, but the upper end of the sprocket 30 is positioned on the traveling line of the film 100 passing through the transfer guide 20. And a space portion 40 protected by the cover 41 at the lower side of the sprocket 30 to secure a space where the film 100 can be freely stretched, whereby the film 100 After the sprocket 30 is wound, or before entering the sprocket 30 is characterized in that the sagging to the space portion 40.

티씨피(TCP), 씨오에프(COF), 반도체 필름, 외관검사, 장력유지 TCP, COF, semiconductor film, visual inspection, tension maintenance

Description

티씨피/씨오에프 외관검사기{TCP/COF appearance checker}TPC / COF appearance checker {TCP / COF appearance checker}

도 1은 본 발명의 전체 구성을 나타낸 정면도1 is a front view showing the overall configuration of the present invention

도 2는 도 1의 A에서 본 부분 평면도2 is a partial plan view seen from A of FIG.

도 3은 본 발명의 다른 실시예를 도시한 정면도Figure 3 is a front view showing another embodiment of the present invention

도 4는 도 3의 B-B선 확대 단면도4 is an enlarged cross-sectional view taken along the line B-B of FIG.

***도면 중 주요 부분에 대한 부호의 설명****** Description of the symbols for the main parts of the drawings ***

1: 검사기 2: 검사대1: checker 2: test stand

10: 릴 11: 거치대10: Reel 11: Cradle

20: 이송가이드 30: 스프로킷20: Feed guide 30: Sprocket

40: 공간부 41: 커버40: space part 41: cover

50: 가이드롤러50: guide roller

60: 하부텐션롤러 61: 공간부60: lower tension roller 61: space part

62: 승강홈 63: 축62: lifting groove 63: shaft

100: 필름(TCP/COF 제품) 100: film (TCP / COF products)

본 발명은 티씨피(TCP; Tape Carrier Package) 또는 씨오에프(COF; Chip On Flexible Board 혹은 Chip On Film)를 검사하는데 사용되는 외관검사기에 관한 것으로, 특히 검사를 위하여 릴에 권취된 필름을 검사대를 통과시키면서 다른 릴에 옮겨 권취하는 과정에서 이송의 안정성을 확보하고 균일한 장력을 유지할 수 있도록 개선된 외관검사기에 관한 것이다. The present invention relates to an appearance inspector used to inspect a Tape Carrier Package (TCP) or a Chip On Flexible Board (COF) or a Chip On Film (COF), and in particular, a film wound on a reel for inspection. The present invention relates to an improved appearance inspector to secure the stability of the conveyance and to maintain a uniform tension in the process of winding to another reel while passing through.

주지된 바와 같이 TCP는 “테이프 캐리어 방식”이라고 불리었던 방식으로 LSI등 고집적 반도체칩의 조립, 실장기술 중 와이어리스(Wireless) Bonding 방식의 한가지로써, IC Chip을 Tape Film에 접속하고 수지(Resin)로 밀봉하는 TAB(Tape Automated Bonding) 기술을 활용한 Package를 말하며, 기존의 반도체 조립기술보다 더욱 정교한 기술을 요하는 첨단형 제품으로, 벽걸이형 TV, Note Book PC 및 Car Navigation Monitor 등 각종 OA 및 민생용 기기의 액정화면을 구동시켜 주는 초박형 반도체 소자로 사용된다. As is well known, TCP is one of the wireless bonding methods of assembling and mounting high-density semiconductor chips, such as LSI, which is called "tape carrier method". It is a package using TAB (Tape Automated Bonding) technology that seals. It is a high-tech product that requires more sophisticated technology than the existing semiconductor assembly technology. It is used for various OA and public welfare such as wall-mounted TV, Note Book PC, and Car Navigation Monitor. It is used as an ultra-thin semiconductor device that drives the LCD screen of a device.

그리고 COF는 칩온플렉시블보드(Chip On Flexible Board) 혹은 칩온필름(Chip On Film)으로 불리우는 필름 형태의 회로기판으로서, 상하부에 일렬로 형성되어 있는 다수개의 구멍(스프로킷 홀)을 구비하고 있으며, TCP보다 얇은 기판을 사용할 수 있고 피치(리드 간의 거리)를 더욱 세밀하게 할 수 있어서, 핸드폰 등 통신기기 분야에서의 경박단소화를 위한 급격한 추세와 함께 LCD 드라이버 IC에서도 이용하기 위해 등장한 것이다. COF is a film type circuit board called Chip On Flexible Board or Chip On Film, and has a plurality of holes (sprocket holes) formed in a row at the top and bottom. Thin substrates can be used and the pitch (lead-to-lead distance) can be further refined, which has emerged for use in LCD driver ICs along with the rapid trend for light and small size reduction in communication devices such as mobile phones.

상기와 같은 TCP나 COF 제품은 필름 형태의 길이가 긴 소재로 완성된 후, 전자제품(완제품)으로 조립되기 전에 패턴의 단락이나 단선, 긁힘, 크렉, 이물질, 반 도체 칩의 파손 등을 정밀하게 검사하지 않으면 생산되는 전자제품 전체가 불량이 되므로, 외관검사는 매우 중요한 과정이라 할 것이다. As described above, TCP or COF products are completed with a long film-like material, and then precisely check for short circuits, disconnections, scratches, cracks, foreign objects, and breakage of semiconductor chips before assembly into electronic products (finished products). If not inspected, the entire electronic product produced will be defective, so the appearance inspection will be a very important process.

통상적인 외관검사기의 구성을 간단히 살펴보면, 검사기의 양측 상부에 검사할 필름을 권취한 릴과 검사대를 통과한 필름을 권취할 릴을 각각 설치하고, 상기 검사할 필름이 권취된 릴로부터 풀리는 필름은 검사기 중앙의 검사대를 통과하도록 하는 것이며, 필름은 검사기에 설정된 간격만큼씩 간헐이송을 하면서 검사대에서 검사가 이루어지는 것이다. A simple configuration of a conventional visual inspection machine is to install a reel to wind the film to be inspected and a reel to wind the film passed through the inspection table on both sides of the inspector, and the film to be released from the reel to which the film to be inspected is inspected. It is to pass through the center of the inspection table, the film is inspected at the inspection table while intermittent transfer by the interval set in the inspection machine.

필름의 이송을 위한 구성으로는 필름의 가장자리에 연속으로 구멍(또는 요홈)이 형성되고 이송을 위한 스프로킷의 외면에는 돌기가 구성되며, 스프로킷의 돌기에 필름의 구멍이 걸리는 상태로 설치되어 스프로킷이 한번에 회전하는 각도만큼 필름이 간헐이송을 반복하는 것이다. In order to transfer the film, holes (or grooves) are continuously formed at the edges of the film, and projections are formed on the outer surface of the sprocket for conveying, and the sprockets are installed at a state where the holes of the film are caught in the sprocket protrusions. The film repeats the intermittent movement by the angle of rotation.

이러한 종래의 검사기에 대한 문제점으로는 중앙의 검사대를 통과한 필름이 스프로킷에 의해 이송을 하는 과정에서 스프로킷에 접촉하는 각도(필름이 길이)가 너무 작다는 것으로, 필름이 이송하는 속도가 빠르면 빠를수록 필름의 요홈이 스프로킷의 돌기로부터 이탈되어 헛돌게 되거나 필름이 스프로킷으로부터 완전히 벗겨져 필름에 부착된 반도체나 패턴이 손상되므로 검사 작업에 차질이 발생하는 문제가 있었던 것이다. The problem with the conventional inspection machine is that the angle of contacting the sprocket (the length of the film) is too small in the process of the film passing through the center inspection table by the sprocket, the faster the film transfers the faster The grooves of the film are separated from the sprocket protrusions and are turned away, or the film is completely peeled from the sprockets, thereby damaging the semiconductor or the pattern attached to the film.

또 한 가지의 문제점으로는 한쪽의 릴에서 풀린 필름이 검사대를 통과한 후 반대쪽의 다른 릴이 필름을 감을 때 적절한 장력을 유지하여야 TCP 또는 COF가 손상되지 않고 다음의 공정으로 이송되어 사용될 수 있는데, 종래의 검사기에서는 장 력의 변화에 대응할 수 있는 여유가 없기 때문에 균일한 장력으로 감기지 못하는 문제가 발생하였던 것이다.Another problem is that after the film unwound from one reel passes through the inspection table, the other reel needs to be properly tensioned as it winds up the film so that TCP or COF can be transported to the next process without damage. In the conventional tester, there is a problem that it cannot be wound with uniform tension because there is no room to cope with the change in tension.

상기한 문제점을 감안하여 안출한 본 발명은 검사기의 전반적인 배열과 구성을 개선하여, 필름이 안정성있고 정확한 이송이 가능토록 함으로서, TCP나 COF의 검사과정에서 발생할 수 있는 이송의 불안정과 권취시 장력의 불균일로 인한 필름의 손상 등의 많은 문제점을 일거에 해결하고자 하는 것이다. The present invention devised in view of the above problems improves the overall arrangement and configuration of the inspector, so that the film can be stably and precisely conveyed, thereby reducing the instability of the conveyance that may occur during the inspection process of TCP or COF and tension during winding. Many problems, such as damage to the film due to non-uniformity is to be solved at once.

본 발명은 검사기를 구성함에 있어서, 중앙의 검사대를 통과하는 이송 가이드의 연장선상에 구동스프로킷의 상면이 위치하도록 양측 스프로킷을 설치하고 필름이 스프로킷을 통과한 다음 아래 방향으로 자유상태 또는 텐션롤러에 의해 아래로 처지면서 이송하도록 구성함을 특징으로 하는 것인바, 이하 첨부된 도면에 본 발명의 바람직한 구성 실시 예를 상세히 살펴보면 다음과 같다. In the present invention, in the construction of the inspection machine, both sprockets are installed so that the upper surface of the driving sprocket is positioned on the extension line of the conveying guide passing through the center inspection table, and the film passes through the sprockets and then freely or by the tension roller in the downward direction. It is characterized in that the configuration to be transported while sagging down, looking at the preferred embodiment of the present invention in detail in the accompanying drawings as follows.

도 1은 본 발명의 전체 구성을 나타낸 정면도,1 is a front view showing the overall configuration of the present invention,

도 2는 도 1의 A에서 본 부분 평면도,2 is a partial plan view seen from A of FIG. 1,

도 3은 본 발명의 다른 실시예를 도시한 정면도,3 is a front view showing another embodiment of the present invention,

도 4는 도 3의 B-B선 확대 단면도이다.4 is an enlarged cross-sectional view taken along the line B-B in FIG.

우선 도 1 및 도 2에서 보듯이 검사기(1)는 좌우가 거의 동일하다시피 대칭인 구성이고 작용은 정방향 및 역방향으로도 이루어질 수도 있으므로, 본 명세서에서는 어느 한쪽을 특정하지 아니하고 설명한다. First, as shown in FIG. 1 and FIG. 2, the inspector 1 has a symmetrical configuration and the action may be performed in a forward direction and a reverse direction, as described above.

본 발명의 검사기(1)는 기본적으로 상부 양측에 로딩 및 언로딩을 위한 두 개의 릴(10)을 거치하는 거치대(11)를 구성하고 중앙하단에는 필름(100)이 이송하면서 검사가 이루어지는 검사대(2)가 구성된다. The inspection machine 1 of the present invention basically constitutes a cradle 11 for mounting two reels 10 for loading and unloading on both sides of the upper side, and an inspection table in which the inspection is performed while the film 100 is transferred to the lower center. 2) is configured.

본 발명에 의하면 검사대(2)를 통과하는 이송가이드(20)의 양측에 스프로킷(30)을 설치하되 이송가이드(20) 양측 필름(100)의 진행 선상에 스프로킷(30)의 상단부가 위치하도록 설치하여 필름(100)이 이송가이드(20)를 통과한 후 거의 수평으로 진행하다가 스프로킷(30)을 감고 아래로 하강하거나, 또는 반대측에서는 필름이 스프로킷(30)을 통과한 후 수평으로 이송가이드(20)에 진입하도록 구성한 것이다. According to the present invention, the sprocket 30 is installed on both sides of the transfer guide 20 passing through the inspection table 2, but the upper end of the sprocket 30 is positioned on the traveling line of the film 100 on both sides of the transfer guide 20. The film 100 passes through the transfer guide 20 and then proceeds almost horizontally, and then winds down the sprocket 30 and descends, or on the other side, the film passes through the sprocket 30 and then the transfer guide 20 horizontally. ) To enter.

또한, 스프로킷(30)의 옆 하부에는 커버(41)에 의해 보호되는 공간부(40)를 구성하여 필름(100)이 자유상태로 늘어질 수 있는 공간을 확보토록 하며, 스프로킷(30)의 일측에는 필름(100)이 감긴 상태에서 필름(100)의 이탈을 방지하도록 가이드롤러(50)를 구성하면 더욱 안정적으로 이송이 이루어질 것이다. In addition, by forming a space portion 40 protected by the cover 41 in the lower side of the sprocket 30 to ensure a space in which the film 100 can be freely stretched, one side of the sprocket 30 If the guide roller 50 is configured to prevent the detachment of the film 100 in the state in which the film 100 is wound, the transfer will be made more stable.

그리고 본 발명의 다른 실시예인 도 3 및 도 4에 의하면 스프로킷(30) 하단의 공간부(40) 내에는 하부텐션롤러(60)를 설치할 수도 있는데, 하부텐션롤러(60)는 내부가 비어있는 공간부(61)를 형성하면서 가벼운 재질을 선택하여 형성하고, 스프로킷(30)의 하단에 승강홈(62)이 있는 가이드(62')를 수직으로 형성한 후 축(63)이 승강홈(62)에 삽입된 상태로 설치되어, 스프로킷(30)을 통과한 다음(반대쪽에서는 통과하기 전) 필름(100)이 릴(10)에 감기기 전에 하부텐션롤러(60)를 권회한 후 연결되도록 함으로써 릴(10)이 필름(100)을 감는 상태에서 약간의 균일한 장력을 가하는 것이다. 3 and 4 according to another embodiment of the present invention, the lower tension roller 60 may be installed in the space portion 40 of the lower end of the sprocket 30, and the lower tension roller 60 may have an empty space therein. Selecting and forming a light material while forming the portion 61, and after forming the guide 62 'with the lifting groove 62 at the lower end of the sprocket 30 vertically, the shaft 63 is the lifting groove 62 It is installed in the state inserted into the reel, and after passing through the sprocket 30 (before passing through the opposite side) and the film 100 is wound before winding the reel 10, the reel ( 10) Apply a little uniform tension in the state of winding the film 100.

도면 중 미 설명된 부호 3은 검사를 위한 확대경, 4는 모니터, 5는 불량 제거용 펀치이다.Reference numeral 3 in the figure is a magnifying glass for inspection, 4 is a monitor, 5 is a punch for removing defects.

이러한 구성으로 된 본 발명의 검사기의 작용을 살펴본다.It looks at the operation of the tester of the present invention having such a configuration.

검사할 필름(100)이 권취된 릴(10)을 거치대(11)의 일측에 거치하고 거치대(11)의 다른 쪽에는 검사 완료된 필름(100)을 권취할 릴(10)을 거치하며, 검사할 필름(100)의 끝을 공간부(40)를 느슨하게 통과한 후 일측의 스프로킷(30)을 일정각도 권회하도록 한 다음 검사대(2)의 이송가이드(20)를 통과시키며, 다시 반대쪽의 스프로킷(30)을 일정각도 권회하도록 한 후 늘어지도록 상부의 릴(10)에 연결하여 권취되도록 한다. Mount the reel 10 wound on the film 100 to be inspected on one side of the cradle 11 and the other side of the cradle 11 is mounted on the reel 10 to wind the completed film 100 to be inspected. After loosely passing the end of the film 100 through the space 40, the sprocket 30 on one side is wound at an angle, and then passed through the transfer guide 20 of the inspection table 2, again the sprocket 30 on the opposite side ) To be wound at an angle, and then connected to the upper reel 10 to be stretched so as to be wound up.

참고로 필름(100)의 검사는 스프로킷(30)이 설정된 길이만큼씩 반복하여 회전하므로 간헐이동을 하며, 필름이 검사대(2) 위를 통과하는 순간에 작업자가 확대경(3)을 통하여 보거나 모니터(4)로 표시된 확대화면을 보고 이상 여부를 판단하는 것이다. For reference, the inspection of the film 100 is intermittently moved because the sprocket 30 rotates by a set length repeatedly, and at the moment when the film passes over the inspection table 2, the operator sees through the magnifying glass 3 or monitors ( It is to judge the abnormality by looking at the enlarged screen indicated by 4).

작업자가 이상이 있음을 판단하여 버튼을 누르는 등의 조치를 하면 필름(100)의 해당 부분이 펀치(5)를 지날 때 펀치가 작동하여 필름(100)의 해당부분을 펀칭하여 탈락(폐기)시키게 되는 것이다. When the operator determines that there is an abnormality and presses a button or the like, the punch is operated when the corresponding part of the film 100 passes the punch 5 to punch out the corresponding part of the film 100 so that it is dropped (discarded). Will be.

특히 본 발명에 의하면 검사할 필름(100)이 검사대(2)로 진입하기 위해 스프로킷(30)에 권회되기 전에 공간부(40)를 경유한 후 하부에서 상부로 스프로킷(30)에 권회되면서 검사대(2)로 진입하게 되며, 반대쪽에는 필름(100)이 검사대(2)를 통과한 후에는, 다시 스프로킷(30)을 90도 정도 권회하면서 아래로 늘어진 다음 상 부의 릴(10)로 권회되도록 설치된 상태에서 이송이 이루어진다.Particularly, according to the present invention, the film 100 to be inspected is wound around the sprocket 30 from the lower part to the upper part after passing through the space part 40 before being wound on the sprocket 30 to enter the inspection table 2. 2) to enter, and on the other side, after the film 100 passes through the inspection table 2, the sprocket 30 is rolled down by 90 degrees again and then installed to be rolled up by the upper reel 10. The transfer takes place at

따라서 본 발명에 의하면 필름(100)이 이송을 위하여 스프로킷(30)의 외면에 형성되는 돌기에 필름(100)의 구멍이 걸리는 상태에서 필름(100)이 스프로킷(30)의 90도 정도를 권회하면서 이송하게 되므로 필름(100)의 구멍이 돌기를 이탈하는 경우가 없이 안정적으로 필름(100)을 이송시킬 수 있게 되는 것이다. Therefore, according to the present invention while the film 100 is wound around the 90 degree of the sprocket 30 in the state in which the hole of the film 100 in the projection formed on the outer surface of the sprocket 30 for transporting Since the transfer of the film 100 will be able to transport the film 100 stably without leaving the projections.

또한 본 발명의 검사기(1)에 의하면 스프로킷(30)을 지난 필름(100)이 아래로 늘어진 다음 다시 상승하여 릴(10)로 권취되는 형태(반대방향에서는 릴에서 늘어진 필름이 스프로킷(30)의 아래까지 늘어졌다가 스프로킷에 권회됨)이므로, 스프로킷(30)과 릴(10)의 회전 차이에 의해 장력의 변화가 생기더라도 이러한 늘어진 부분에 의해 균일한 장력으로 릴(10)에 권취될 수가 있는 것이다.In addition, according to the tester 1 of the present invention, the film 100 passing past the sprocket 30 is stretched down and then rises again to be wound into the reel 10 (in the opposite direction, the film is stretched from the reel to the sprocket 30). Since it is stretched to the bottom and wound on the sprocket), even if a change in tension occurs due to a difference in rotation between the sprocket 30 and the reel 10, the stretched portion may be wound around the reel 10 with a uniform tension. will be.

상기에서 필름이 빠른 속도로 이송하는 경우 스프로킷(30)에서 이탈될 우려가 있는데, 이때는 가이드롤러(50)를 스프로킷(30)에 밀착시켜 줌으로써 이를 방지할 수 있다. When the film is transported at a high speed in the above, there is a risk that the sprocket 30 may be separated, in which case it may be prevented by bringing the guide roller 50 in close contact with the sprocket 30.

그리고 본 발명의 다른 실시예인 하부텐션롤러(60) 관련 구성에 의하면, 하부텐션롤러(60)가 승강홈(62)을 타고 승강하면서 필름(100)에 약간의 무게를 가하여 줌으로써 필름의 권취에 적당하고도 균일한 장력을 가하여 줄 수도 있고, 이때는 필름(100)이 스프로킷(30)을 이탈할 우려가 없으므로 가이드롤러(50)를 스프로킷(30)에 밀착시킬 필요도 없어진다. And according to the configuration related to the lower tension roller 60, which is another embodiment of the present invention, the lower tension roller 60 is added to the film 100 by applying a slight weight while lifting up and down the lifting groove 62 is suitable for winding the film In addition, it is possible to apply a uniform tension, and in this case, there is no fear that the film 100 may leave the sprocket 30, so that the guide roller 50 does not need to be in close contact with the sprocket 30.

이상 설명한 바와 같은 본 발명에 의하면, 간단한 구성의 개선으로 인하여 필름이 이탈되거나 손상될 우려 없이 안전한 주행이 가능하게 되므로 검사공정에 의한 불량발생을 억제할 수가 있는 것이고 검사의 능률을 크게 향상시키게 되는 효과가 있는 것이다. According to the present invention as described above, it is possible to suppress the occurrence of defects due to the inspection process because it is possible to safely run without fear of the film detached or damaged due to the improvement of a simple configuration and the effect of greatly improving the efficiency of inspection There is.

또한 필름이 검사 후 권취되는 과정에서 늘어진 상태를 유지하다가 권취되므로 장력의 변화에 자동으로 유연하게 대처하게 되는 것으로, 권취시의 장력 변화에 따른 불량발생 문제를 해결할 수 있게 되는 등 TCP 및 COF 산업의 발전에 큰 도움이 되는 유용한 발명이라 할 수 있다.In addition, the film is wound while maintaining the stretched state in the process of winding after inspection, thereby automatically and flexibly coping with the change of tension, and it is possible to solve the problem of defects caused by the change of tension during winding. It is a useful invention that greatly helps development.

Claims (2)

상부 양측에 로딩 및 언로딩을 위한 두 개의 릴(10)을 거치하는 거치대(11)를 구성하고 중앙하단에는 필름(100)이 이송하면서 검사가 이루어지고, 스프로킷(30)의 옆 하부에는 커버(41)에 의해 보호되는 공간부(40)를 구성하여 필름(100)이 자유상태로 늘어질 수 있는 공간을 확보하여서 구성되는 검사기에 있어서,Comprising a cradle (11) for mounting the two reels (10) for loading and unloading on both sides of the top and the inspection is made while the film 100 is transferred to the lower center, the cover (below the side of the sprocket 30) In the inspector configured to configure the space portion 40 protected by 41 to secure a space in which the film 100 can be freely stretched, 공간부(40) 내의 스프로킷(30)의 하단에 승강홈(62)이 있는 가이드(62')를 수직으로 형성하여 승강홈(62)에 하부텐션롤러(60)를 설치하되, 하부텐션롤러(60)의 축(63)이 승강홈(62)에 삽입되게 설치하고 내부가 비어있는 공간부(61)를 형성하면서 가벼운 재질을 선택하여 형성하여, 스프로킷(30)을 통과한 다음이나 반대쪽에서는 통과하기 전 및 필름(100)이 릴(10)에 감기기 전이나 반대쪽에서는 릴에서 풀려난 후에 하부텐션롤러(60)를 권회한 후 연결되도록 함을 특징으로 하는 티씨피/씨오에프 외관검사기.The lower tension roller 60 is installed in the elevating groove 62 by vertically forming the guide 62 'having the elevating groove 62 at the lower end of the sprocket 30 in the space portion 40, and the lower tension roller ( The shaft 63 of the 60 is installed to be inserted into the elevating groove 62, and formed by selecting a light material while forming a hollow space 61, and then passing through the sprocket 30 or the opposite side. Before and after the film 100 is wound on the reel (10) or after being released from the reel, after winding the lower tension roller (60) is characterized in that the TPC / COF appearance inspector. 삭제delete
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20000021679A (en) * 1998-09-30 2000-04-25 전주범 Transmission roller device of tape carrier package with variable width
JP2003004658A (en) * 2001-06-20 2003-01-08 Hitachi Ltd Method of manufacturing semiconductor device
KR20050055322A (en) * 2003-12-08 2005-06-13 세크론 주식회사 System for inspecting appearance of tape carrier package and method thereby

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000021679A (en) * 1998-09-30 2000-04-25 전주범 Transmission roller device of tape carrier package with variable width
JP2003004658A (en) * 2001-06-20 2003-01-08 Hitachi Ltd Method of manufacturing semiconductor device
KR20050055322A (en) * 2003-12-08 2005-06-13 세크론 주식회사 System for inspecting appearance of tape carrier package and method thereby

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