KR100709858B1 - 마이크로 디스차아지형 플라즈마 표시 장치 - Google Patents

Abstract

복수 개의 유전층 통공이 매트릭스 형태로 분포하는 유전층, 유전층 상하 양면에 형성되는 상부 및 하부 전극층, 상부 및 하부 전극층 외측에 설치되는 상부 기판 및 하부 기판, 상부 기판과 상기 상부 전극층 혹은 상기 하부 기판과 상기 하부 전극층 사이에 상기 상부 및 하부 전극층과 절연된 상태로 형성되는 복수의 제3 전극을 구비하는 제3 전극층, 상부 및 하부 전극층과 제3 전극층에 각각에 전기 신호를 인가할 수 있는 회로부를 구비하며, 상부 및 하부 전극층 가운데 적어도 하나는 상기 매트릭스의 제1 방향으로 길게 형성되며, 유전층 통공과 연결되는 제1 방향으로 배열된 일군의 전극층 통공을 포괄하는 복수 개의 서로 나란한 전극을 구비하여 이루어지며, 제3 전극층은, 상기 상부 전극층 상방 혹은 하부전극층 하방에서 전극층과는 절연층에 의해 절연된 상태로 제1 방향과 일정 각을 이루는 제2 방향으로 길게 형성되어 전극층의 복수 개의 전극을 지나며 복수 개의 전극층 통공과 면하도록 나란히 형성되는 복수 개의 제3 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치가 개시된다.

본 발명에 따르면, 마이크로 디스차아지의 안정적 특성과 효율을 가진 플라즈마 표시 장치를 구현할 수 있으며, 유지 전극을 이루는 상하 전극에 교번되는 전압을 가해 각 화소가 동시에 유지방전을 할 수 있다.

Description

마이크로 디스차아지형 플라즈마 표시 장치{Plasma display panel of Micro Discharge type}

도1은 종래의 마이크로 디스차아지의 개략적 구성을 나타내는 측단면도이다.

도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 표시 장치의 기판과 수직한 단면을 나타내는 측단면도이다.

도3 내지 도6은 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 표시 장치의 상부 전극층과 하부 전극층, 유전층 및 제3 전극층을 각각 나타내는 평면도들이다.

도7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 표시 장치의 기판과 수직한 단면을 나타내는 측단면도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10, 110,210: 상부 전극 20,120: 유전층

30,130,230: 하부 전극 40,140: 통공

112,132: 개별 전극 114,134: 연결부

180,190:기판 250: 제3전극

270: 형광체층

본 발명은 플라즈마 표시 장치에 대한 것으로, 보다 상세하게는 다수의 통공이 매트릭스 형태로 배열된 절연층 상하에 대응되는 통공 패턴을 가진 전극을 설치하여 이루어지는 마이크로 디스차아지형 플라즈마 표시 장치에 관한 것이다.

대개, 플라즈마 표시 패널은 대향하는 두 개의 기판 사이에 격벽과 구동 전극을 형성하고, 일정 간격을 가지도록 겹쳐 내부에 방전 가스를 주입한 후 밀봉하여 형성한다. 플라즈마 표시 장치는 플라즈마 디스플레이 패널을 형성한 뒤, 패널의 각 전극과 연결되는 구동 회로 등 화면 구현에 필요한 요소들을 설치하여 이루어지는 평판형 표시 장치의 일종이다.

플라즈마 표시 패널에서는 화면을 표시하기 위한 수많은 화소가 종횡으로 주기적, 규칙적으로 배열되어 매트릭스 형태를 이룬다. 플라즈마 표시 패널에서 각 화소는 그 구동을 위한 능동 소자 없이 단순히 전극에 전압을 인가하는 방식, 즉, 수동 매트릭스 방식으로 구동된다. 각 전극을 구동하기 위한 전압 신호의 형태에 따라 플라즈마 표시 패널은 직류형과 교류형으로 구분될 수 있으며, 방전 전압이 인가되는 두 전극의 배치에 따라 대향형, 면방전형 등으로 나눌 수 있다.

한편, 플라즈마 방전을 이용하는 면발광원으로 마이크로 디스차아지(MD: Micro Discharge) 혹은 마이크로 할로우 캐소드 디스차아지(MHCD:micro hollow cathod discharge)가 있다.

도1은 종래의 마이크로 디스차아지의 개략적 구성을 나타내는 측단면도이다.

마이크로 디스차아지에도 여러 가지가 있으나 도1은 개방형 마이크로 디스차 아지를 나타내고 있다. 여기서 마이크로 디스차아지는 3개의 층으로 이루어지며, 상층 및 하층은 전압이 인가되는 전극층이고, 중간층은 두 전극층 사이에서 공간을 형성하는 유전층이 된다. 다수의 개소에서 상하 전극층과 유전층을 통하여 형성되는 통공이 있다. 상하전극은 통공을 제외한 부분에서 평판을 이루고 있으며, 전체가 일체로 이루어져 일정 이상의 전압을 걸어주면 통공 내에서 두 전극 사이에 일종의 면방전이 이루어진다. 통공 크기를 적절하게 형성할 경우 통공에는 안정적이고 효율적인 플라즈마 방전이 이루어질 수 있다.

방전이 이루어지는 통공 공간에서는 빛이 방출된다. 대개 통공의 내면에는 광효율을 높이기 위한 형광체층이 형성되며, 마이크로 디스차아지는 특정한 가스 분위기에서 운용될 수 있다. 이런 마이크로 디스차아지는 일종의 면광원으로 LCD 같은 타발광 표시장치의 백라이트 광원으로 사용될 수 있다.

그런데, 도1과 같은 구조의 마이크로 디스차아지는 두 전극(10,30) 사이에 유전층(20)이 삽입된 전형적인 캐퍼시터의 형태와도 유사하다. 따라서 두 전극(10,30) 사이에 교류가 인가될 경우 기생 용량의 영향으로 많은 전력이 무용하게 소비될 수 있다.

통공 크기를 적절하게 형성할 경우 통공에는 안정적이고 효율적인 플라즈마 방전이 이루어짐을 감안하고, 도1과 같은 마이크로 디스차아지의 구조는 초기의 매트릭스형 플라즈마 표시 장치와 흡사한 형태를 보이고 있음을 감안할 때 마이크로 디스차아지 구성을 이용한 플라즈마 표시 장치를 제작하려는 시도가 이루어질 수 있다.

본 발명은 상술한 종래의 마이크로 디스차아지 구조를 이용한 3전극 구조의 전체 화소 일괄 표시가 가능한 플라즈마 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 마이크로 디스차아지 형태를 가지면서 방전의 효율성 및 안정성을 높이고, 부가적으로 시야각을 넓힐 수 있는 구조를 가지는 플라즈마 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 부가적으로 마이크로 디스차아지 형태를 가지고, 대향방전을 이루면서 형광체의 열화도 방지할 수 있는 구성을 가지는 플라즈마 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 플라즈마 표시 장치는 복수개의 유전층 통공이 매트릭스 형태로 분포하는 유전층, 상기 유전층 상하 양면에 형성되는 상하 전극층, 상하 전극층 외측에 설치되는 상하 기판, 상부 기판과 상부 전극층 혹은 하부 기판과 하부 전극층 사이에 전극층과 절연된 상태로 형성되는 복수의 제3 전극을 구비하는 제3 전극층을 가진다. 본 발명에서 상하부 전극층과 제3 전극에는 각각에 전기 신호를 인가할 수 있는 회로부가 구비된다.

이때, 본 발명의 플라즈마 표시 장치는 상하 전극층 가운데 적어도 하나는 매트릭스의 제1 방향으로 길게 형성되며, 상기 유전층 통공과 연결되는 그 방향으로 배열된 일군의 전극층 통공을 포괄하는 복수 개의 서로 나란한 전극을 구비하여 이루어지며, 상부 전극층 상방에 설치되는 상부 기판 및 하부 전극층 하방에 설치되는 하부 기판을 구비한다. 이때, 상하 전극층 가운데 다른 하나는 전극층 통공만 형성된 하나의 플레이트 형태로 이루어질 수도 있다.

또한, 제3 전극층은 상기 상부 전극층 상방에 상기 상부 전극층과 절연층에 의해 절연된 상태로 제1 방향과 일정 각을 이루는 제2 방향으로 길게 형성되어 복수의 상부 전극층 전극 즉, 상부 전극을 지나며 제2 방향으로 배열된 일군의 상부 전극층 통공과 면하거나, 상기 하부 전극층 하방에 상기 하부 전극층과 절연층에 의해 절연된 상태로 제2 방향으로 길게 형성되어 복수의 하부 전극층 전극 즉, 하부 전극을 지나며 제2 방향으로 배열된 일군의 하부 전극층 통공과 면하도록 서로 나란하게 형성되는 복수 개의 제3 전극을 구비한다.

이때, 상하 전극층이 각각 매트릭스의 제1 방향 및 제2 방향으로 길게 형성되는 서로 나란한 복수의 전극을 구비하여 이루어지는 경우, 제3 전극층의 전극들은 제2 방향으로 형성되는 외에 제 1 방향으로 형성될 수도 있다. 가령, 상부 전극들이 제1 방향으로, 하부 전극들이 제2 방향으로 형성될 경우, 제3 전극은 상부 전극에 위쪽에 제2 방향으로 형성되거나 하부 전극 아래쪽에 제 1 방향으로 형성될 수 있다.

상부 또는 하부 전극이 제1 방향으로 길게 형성될 때에는 각 전극은 그 전극층에서 제1 방향으로 배열된 일군의 통공을 포괄한다. 각 전극은 제1 방향으로 배열된 일군의 통공 주변에 형성된 개별 전극들과 개별 전극들을 연결하는 연결부로 구분하여 볼 수도 있다. 이때, 동일한 전극층을 이루는 복수 개의 전극은 서로 나 란히 형성된다. 제1 방향으로 배열되는 일군의 통공은 모든 통공을 연결하는 선분을 그을 때 그 연장선이 정확히 제 1 방향으로 배열되는 직선을 형성하는 경우의 통공의 집합을 포함하지만 그런 형태에 한정되는 것은 아니다. 즉, 하나의 직선을 중심에 두고 양 측에 지그재그로 배열되는 통공들의 집합도 전체적으로 볼 때 본 발명의 일군의 통공 개념에 포함될 수 있다.

유전층 통공의 배열은 모든 통공이 바둑판과 같이 단순 매트릭스형으로 배열되어 격자 배열을 이루거나, 통공들이 이루는 상위 행과 하위 행의 통공들이 사선 방향으로 배치되어 인접한 통공들이 삼각형 조합을 이룰 수 있도록 하는 델타 배열 등이 모두 가능하다.

이하 도면을 참조하면서 실시예를 통해 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다.

도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 표시 장치의 기판과 수직한 단면을 나타내는 측단면도이다.

이런 층구성을 위해 하부 기판(190)에 제3 전극(250) 패턴을 형성하고, 그 위에 절연층(170)을 적층할 수 있다. 그리고, 절연층(170)이 적층된 하부 기판(190)에 하부 전극(130)과 유전층(120), 상부 전극(110), 상부 기판(180)을 차례로 정렬, 적층하고, 기판 주변부를 실링하여 도2의 층구조를 형성할 수 있다. 이런 형성 방법은 각 층구조가 별도로 형성된 경우를 전제하는 것이나, 하부 기판과 하부 전극, 상부 기판과 상부 전극은 일체로 형성될 수 있고, 유전층도 상부 기판이나 하부 기판에 인쇄나 포토리소그래피 등을 이용하여 일체로 형성될 수 있다.

도3 내지 도6은 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 표시 장치의 상부 전극층과 하부 전극층, 유전층 및 제3 전극층을 각각 나타내는 평면도들이다.

먼저, 본 발명의 구성을 이루기 위해서는 도1과 같은 마이크로 디스차아지 구조에서 기생 용량을 줄이기 위해 통공 주변을 제외한 전극 부분을 제거하면서 통공 주변의 개별 전극(212,232) 부분들에 전압을 인가하기 위한 연결부(214,234)를 형성할 때 매트릭스형 플라즈마 표시 장치와 같은 구성을 가지게 해야 한다.

이를 위해 도2의 상부 전극(110)의 연결부(114)를 도3과 같이 종 방향으로 혹은 횡 방향으로 형성하여 일군의 상부 전극(118)을, 도2의 하부 전극(130)의 연결부(134)를 도4와 같이 상부 전극(118)과 대략 수직으로 형성하여 일군의 하부 전극(138)을 형성할 수 있다. 유전층(120)의 통공(126)들이 델타 배열을 하기 위해 도4에서 하부 전극(138)은 횡으로 형성된 직선형 연결부(134)와 그 상하에 지그재그 형태로 배열된 통공(136)을 둘러싸는 개별 전극(132)으로 이루어진다. 그러나, 이런 경우에도 전체적으로는 하부 전극이 횡방향으로 형성되고 하부 전극에 포괄되는 전극층 통공(136)들도 횡방향으로 배열되는 일군의 통공에 포함된다고 생각하기로 한다.

도6의 제3 전극(250)을 어드레스 전극이라 생각하고 어드레스 구동 드라이버의 각 단자에 연결하며, 하부 전극(138)을 스캔 전극이라 생각하고 스캔 구동 드라이버의 각 단자에 연결할 수 있다. 이 경우, 도4의 제일 위쪽에 있는 제1 스캔 전극에 부전압이 인가되고, 도6의 제일 왼쪽에 있는 제1 어드레스 전극과, 세번째 제3 어드레스 전극에 정전압이 인가되어 방전 가능한 전위차가 생기면 배열된 통공의 제1행의 제1 및 제2 번째에서 어드레스 방전이 일어나게 된다.

이후 제2, 제3 스캔 전극에 순차적으로 전압이 인가되면서 각 어드레스 전극에도 표시할 부분에 따라 전압을 인가하면 해당 통공에서 어드레스 방전이 이루어진다. 이런 방식으로 전체 통공을 스캔하면 각 통공의 방전 여부에 따라 통공과 면하는 전극 부근의 유전체에는 전하들이 축적된다.

어드레싱이 끝나면 도4의 스캔 전극 모두에 공통으로 일정 기간 정전압을 인가하고, 다음으로 도3의 전극들에 공통으로 일정 기간 정전압을 주고, 이런 정전압 인가를 필요한 만큼 반복하면서 통공 내에서 한 프레임의 한 서브 필드를 표현하는 표시 방전이 이루어지도록 한다. 이러한 프레임과 서브 필드를 이용한 계조 표시는 플라즈마 표시 장치 분야의 통상의 지식을 가진 자들에게 잘 알려져 있는 것이므로 구체적인 기술은 생략한다.

한편, 본 실시예와 같이 도3의 상부 전극(118)들에 모두 동시에 동일한 전기 신호만 주어져, 상부 전극(118)들이 공통전극으로만 사용될 경우, 도3의 상부 전극은 도4의 하부 전극(138)들과 같은 형태로 형성되거나, 도5의 유전층(120)과 같은 형태로 형성될 수도 있다.

상부 기판(180)을 통해 방전에 의한 가시광 대부분이 방출된다고 할 때 개구율을 높이기 위해 제3 전극(250)은 하부 기판(190)쪽에 형성되는 것이 바람직하다. 이때 제3 전극(250)이 속하는 제3 전극층은 개구율을 떨어뜨리지 않으므로 불투명하고 광반사도가 높은 도전성이 좋은 금속으로 형성할 수 있다.

도2의 상하부 전극(110,130) 외측에 설치되는 기판(180,190)은 기판 내부를 밀폐하기 위한 것이다. 기판 주변부에서 실링을 실시한다. 이때, 방전 공간을 형성하는 내부를 배기구(미도시)만 제외하고 실링한 뒤 내부에 있던 공기를 배출하고 대신 방전 가스를 적당한 압력으로 투입한다. 이어서 배기구를 밀봉한다. 따라서, 전압 인가될 때 전극이 공기중의 산소 등과 닿아 산화되고, 열화되는 것을 방지할 수 있으며, 방전 가스는 전극의 증발과 방전 효율의 증가를 위해 이용될 수 있다.

도7은 도2와 다른 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 표시 장치의 기판과 수직한 단면을 나타내는 측단면도이다.

도7에서는 도2와 달리, 위에서 아래로 볼 때 상하 전극(110,130)층의 개별 전극 부분은 통공(140)의 중심축을 향하여 유전층(120)의 통공면보다 돌출된 형태를 가진다.

또한, 도2에 도시되지 않은 형광체층(270)이 형성되어 있다. 형광체층(270)을 형성함으로써 방전 가스의 특성만으로 빛을 내는 것에 비해 컬러 표시가 가능하게 되거나 컬러 표시 특성이 향상되고, 방전효율이 증대될 수 있다.

한편, 상방으로 가시광이 주로 방출된다고 할 때, 도3의 상부 전극(118)의 전극층 통공(116)을 둘러싼 개별 전극(112) 부분을 투명전극으로 형성하면 시야각을 넓히는 효과를 가질 수 있다.

도3 내지 도7을 참조하여 설명하면, 중간층인 유전층(120)에서의 통공(126) 크기(도5의 C)를 크게 하고, 상하부 전극 가운데 적어도 하나에서 개별 전극(112,132)들에서의 통공 크기(도3의 A, 도4의 B)를 작게 하면 상하부 전극과 유전층을 통과하는 통공의 상하부에 개별 전극(112,132)이 통공 중심을 향하여 일부 돌 출되어 돌출된 상하부 개별 전극(112,132) 사이에 대향면을 가질 수 있다. 이런 상태에서 상하부 전극(112,132)에 전압이 인가되면 대향방전이 가능해진다. 대향방전이 가능한 경우, 같은 거리 이격된 면방전의 두 전극보다 낮은 전위차에서도 상하층 두 전극 사이에서 방전을 일으킬 수 있어 방전 효율이 좋아질 수 있다.

본 실시예에서도 플라즈마 표시 패널에서는 표시 장치로서 내구성을 갖고, 형광체나 제3 전극층을 형성하기 위해 마이크로 디스차아지의 기본적 3층 구조에 더하여 상부 기판과 하부 기판이 설치된다. 기판 사이의 공간은 기판 주변부 실링을 통해 밀폐하여 통공 공간에 있는 산소 등 공기층을 제거하고, 방전 가스를 주입한다.

유전층(120) 및 상하부 전극(110,130)에 걸쳐 형성된 각 통공은 양단이 기판으로 차단되어 방전셀 공간을 이루며, 방전셀에서 형광체는 통공에 면하는 개별 전극(112,132)의 측면에 덮이도록 형성되어 있다. 형광체는 또한, 도시된 바와 같이 상하부 전극의 측면 외에 상하부 기판(180,190) 내측면을 덮도록 형성된다. 상부 기판(180)을 통해 대부분의 빛이 방출되는 경우, 상부 기판이 화면을 구성한다고 할 때 상부 기판의 내측면에 덮이는 형광체층은 투광성 형광체로 이루어지는 것이 바람직하다.

이런 형광체 적층 구조에서는 상하부 개별 전극이 대향하는 면에는 형광체가 적층되지 않아 대향 방전이 이루어질 때 형광체가 열화되는 것을 경감할 수 있다. 또한, 방전 전압이 형광체의 특성에 따라 가령, 각 색채별로 다른 형광체의 유전율에 따라 영향을 받는 것을 방지할 수 있다.

본 실시예와 같은 적층구조를 갖는 형광체를 형성하기 위해 기판에 통공이 있는 전극 패턴을 형성한 상태에서 각 통공 부분에 인쇄 방법으로 형광체를 적층하는 방법을 생각할 수 있다. 형광체층이 형성되는 기판의 단차 구조를 고려할 때 포토리소그래피보다는 잉크젯 분사와 같은 방법이 쉽게 본 실시예에 적용될 수 있을 것이다.

도2나 도7의 실시예와 같은 적층구조를 형성하기 위해서는 여러 가지 방법을 사용할 수 있다. 가령, 상하부 전극층은 상하부 기판에 각각 상하부 전극층 및 제3 전극층, 절연층을 먼저 형성하고, 별도로 형성된 유전층을 개재시켜 정렬, 적층한 후, 주변부 실링을 실시하는 방법으로 이루어질 수 있다. 혹은, 실시예와 같은 적층 구조를 형성하기 위해 제3 전극층 및 절연층만 형성된 기판과 상하부 전극층, 유전층을 모두 별도로 형성한 뒤 적당한 순서에 따라 이들을 정렬, 적층한 후 주변부 실링을 실시할 수도 있다. 이때 사용하는 공정 방법이나 적층 재료, 각 전극과 구동회로부 결선, 회로 구성들은 이미 마이크로 디스차아지 분야나 플라즈마 표시 장치 분야에서 통상의 기술을 가진 자들에게 널리 알려져 있는 것이므로 구체적인 기술은 생략하도록 한다.

본 발명에 따르면, 마이크로 디스차아지의 안정적 특성과 효율을 가진 플라즈마 표시 장치를 구현할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면 단순한 구조와 신뢰성 있는 플라즈마 표시 장치를 구현할 수 있다.

Claims (9)

1. 복수 개의 유전층 통공이 매트릭스 형태로 분포하는 유전층, 상기 유전층 상하 양면에 형성되는 상부 및 하부 전극층, 상기 상부 및 하부 전극층 외측에 설치되는 상부 기판 및 하부 기판, 상기 상부 기판과 상기 상부 전극층 혹은 상기 하부 기판과 상기 하부 전극층 사이에 상기 상부 및 하부 전극층과 절연된 상태로 형성되는 복수의 제3 전극을 구비하는 제3 전극층, 상기 상부 및 하부 전극층과 상기 제3 전극층에 각각에 전기 신호를 인가할 수 있는 회로부를 구비하며,

   상기 상부 및 하부 전극층 가운데 적어도 하나는 상기 매트릭스의 제1 방향으로 길게 형성되며, 상기 유전층 통공과 연결되는 상기 제1 방향으로 배열된 일군의 전극층 통공을 포괄하는 복수 개의 서로 나란한 전극을 구비하여 이루어지며,

   상기 제3 전극층은, 상기 상부 전극층 상방에 상기 상부 전극층과는 절연층에 의해 절연된 상태로 상기 제1 방향과 일정 각을 이루는 제2 방향으로 길게 형성되어 복수 개의 상기 상부 전극층의 전극을 지나며 상기 제2 방향으로 배열된 일군의 상기 상부 전극층 통공과 면하거나, 상기 하부 전극층 하방에 상기 하부 전극층과 절연층에 의해 절연된 상태로 상기 제2 방향으로 길게 형성되어 복수 개의 상기 하부 전극층의 전극을 지나며 제2 방향으로 배열된 일군의 하부 전극층 통공과 면하도록 서로 나란하게 형성되는 복수 개의 제3 전극을 구비하며,

   상기 유전층 통공의 크기가 상기 상부 및 하부 전극층의 적어도 하나에서 상기 전극층 통공의 크기보다 크게 형성되어 상기 상부 및 하부 전극층의 적어도 일부가 상기 유전층 통공의 내면을 기준으로 상기 유전층 통공 중앙을 향해 돌출되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 상부 및 하부 전극층 가운데 다른 하나는 전극층 통공만 형성된 하나의 플레이트 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 상부 전극층이 상기 제1 방향으로 형성되는 서로 나란한 복수 개의 상부 전극으로 형성되고,

   상기 하부 전극층은 상기 제2 방향으로 형성되는 서로 나란한 복수 개의 하부 전극으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
4. 삭제
5. 제 3 항에 있어서,

   상기 상부 전극 및 상기 하부 전극 가운데 적어도 하나는 상기 전극층 통공을 둘러싸는 개별 전극들과 개별 전극들을 연결하는 연결부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 유전층 통공은 격자 배열을 이루거나, 델타 배열을 이루는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 유전층 통공이나 상기 전극층 통공에 접한 면의 적어도 일부에는 형광체층이 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
8. 삭제
9. 제 1 항에 있어서,

   상기 상부 및 하부 전극층의 적어도 하나에서 상기 전극층 통공의 내면과 상기 전극층 통공에 면하는 상기 기판 부분 내면에 한정하여 형광체층이 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.

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