KR100708184B1 - Optical recording medium having multi recording layer and method for fabricating the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 별도의 초기화 장치 및 초기화 공정 없이 중간층의 경화 과정에서 기록층에 대한 초기화를 동시에 수행할 수 있는 다층 광기록 매체 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 양호한 실시예에 따른 다층 광기록 매체는, 기판 위에 반사층, 결정화 촉진층 및 기록층이 적어도 2회 반복적으로 적층된 구조를 가지며, 인접하는 기록층과 반사층 사이에는 중간층이 개재되어 있고, 최상부의 기록층 위에는 투명 커버층이 형성되어 있으며, 상기 결정화 촉진층은 상기 중간층을 경화시키기 위한 UV-광에 대해 흡수성을 갖는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a multilayer optical recording medium and a method of manufacturing the same, which can simultaneously initialize the recording layer during the curing of the intermediate layer without a separate initialization device and an initialization process. A multilayer optical recording medium according to a preferred embodiment of the present invention has a structure in which a reflective layer, a crystallization promoting layer and a recording layer are repeatedly stacked at least twice on a substrate, and an intermediate layer is interposed between adjacent recording layers and the reflective layer. A transparent cover layer is formed on the uppermost recording layer, and the crystallization promoting layer is characterized by absorbing UV-light for curing the intermediate layer.

Description

다층 광기록 매체 및 그 제조 방법{Optical recording medium having multi recording layer and method for fabricating the same}Optical recording medium having multi recording layer and method for fabricating the same

도 1은 종래의 다층 광기록 매체의 구조를 개략적으도 도시하는 단면도이다.1 is a sectional view schematically showing the structure of a conventional multilayer optical recording medium.

도 2는 다층 광기록 매체를 초기화하는 종래의 공정을 도시하는 개략도이다.2 is a schematic diagram showing a conventional process of initializing a multilayer optical recording medium.

도 3은 본 발명의 양호한 실시예에 따른 다층 광기록 매체의 구조를 개략적으로 도시하는 단면도이다.3 is a sectional view schematically showing the structure of a multilayer optical recording medium according to a preferred embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4e는 본 발명에 따른 다층 광기록 매체를 제조하는 공정을 도시하는 개략도이다.4A to 4E are schematic diagrams showing a process for producing a multilayer optical recording medium according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 다층 광기록 매체에서 반경 방향에 따른 각 층의 두께를 나타내는 그래프이다.5 is a graph showing the thickness of each layer along the radial direction in the multilayer optical recording medium according to the present invention.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ※※ Explanation of code about main part of drawing ※

100.....광기록 매체 110.....기판100 ..... optical recording media 110 ..... substrate

120,130,140.....반사층 121,131,141.....결정화 촉진층120,130,140 ..... reflective layer 121,131,141 ..... crystallization facilitating layer

122,132,142.....기록층122,132,142 ..... Recording layer

본 발명은 다층 광기록 매체 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 별도의 초기화 장치 및 초기화 공정 없이 중간층의 경화 과정에서 기록층에 대한 초기화를 동시에 수행할 수 있는 다층 광기록 매체 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a multilayer optical recording medium and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a multilayer optical recording medium capable of simultaneously performing initialization on a recording layer during the curing of an intermediate layer without a separate initialization device and an initialization process, and a It relates to a manufacturing method.

오늘날 광디스크와 같은 광기록 매체는 일반적으로 기록층을 다층 구조로 구성함으로써 고용량의 정보 저장 기능을 실현하고 있다. 예컨대, 블루-레이 디스크(Blu-ray disc; BD)와 같은 광기록 매체는 단일한 기록층을 이용하여 약 25GB 까지의 정보를 저장할 수 있으나, 장차 기록층을 4~8층으로 적층하여 100~200GB의 용량을 갖는 광기록 매체가 도입될 것으로 예상되고 있다.Background Art Optical recording media such as optical discs generally realize a high capacity information storage function by forming a recording layer in a multilayer structure. For example, an optical recording medium such as a Blu-ray disc (BD) can store up to about 25GB of information using a single recording layer, but in the future, 100 ~ It is expected that an optical recording medium having a capacity of 200 GB will be introduced.

도 1은 이러한 다층 광기록 매체의 일반적인 구조를 예시적으로 도시하고 있다. 도 1에 도시된 2층 구조의 광기록 매체는, 기판(1), 제 1 반사층(2), 제 1 기록층(3), 중간층(4), 제 1 반사층(5), 제 2 기록층(6) 및 투명 커버층(7)을 포함한다. 또한, 제 1 및 제 2 기록층(3,6)은 통상 하부 유전체층, 정보 기록층 및 상부 유전체층의 3층 구조로 이루어진다. 하부 및 상부 유전체층은 정보 기록층의 산화 등과 같은 변형을 방지하기 위한 것이다. 또한, 중간층(4)은 제 1 기록층(3)과 제 2 기록층(6) 사이의 간격을 유지하기 위한 것이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 각 층에는 그루브 형상으로 트랙이 형성되어 있어서, 상기 트랙을 따라 기록층에 정보가 기록될 수 있도록 하고 있다.1 exemplarily shows a general structure of such a multilayer optical recording medium. The optical recording medium of the two-layer structure shown in FIG. 1 includes a substrate 1, a first reflective layer 2, a first recording layer 3, an intermediate layer 4, a first reflective layer 5, and a second recording layer. (6) and a transparent cover layer (7). Further, the first and second recording layers 3 and 6 usually have a three-layer structure of a lower dielectric layer, an information recording layer and an upper dielectric layer. The lower and upper dielectric layers are for preventing deformation such as oxidation of the information recording layer. In addition, the intermediate layer 4 is for maintaining a gap between the first recording layer 3 and the second recording layer 6. As shown in Fig. 1, a track is formed in each layer in a groove shape, so that information can be recorded in the recording layer along the track.

상술한 구조의 광기록 매체에서 정보 기록층을 형성하는 물질은 여러 가지를 사용할 수 있으나, 특히, 정보의 반복적인 기록/재생이 가능한 RW(rewritable)형 광기록 매체의 경우, 결정질 상태에 있을 때와 비정질 상태에 있을 때 반사율이 달라지는 성질을 갖는 상변화 물질을 주로 사용한다. 그런데, 이러한 상변화 물질을 사용하는 RW형 광기록 매체의 경우, 성막 직후의 기록층은 비정질 상태에 있기 때문에 반사율이 5% 이하로 매우 낮아서 포커싱 및 트래킹이 어렵다. 따라서, 기록층을 결정질로 변화시키는 초기화 공정이 필요하게 된다. 그러나, 2층 이상의 기록층을 갖는 광기록 매체의 경우, 각각의 층을 초기화시키기 위해서는 많은 작업시간이 소요되고, 각 층마다 균일하게 초기화하기가 어렵다는 문제가 있다.In the optical recording medium having the above-described structure, various materials for forming the information recording layer may be used. In particular, in the case of a rewritable optical recording medium capable of repeating recording / reproducing of information, when in the crystalline state, The phase change material is mainly used to change the reflectance when in the amorphous state. However, in the case of the RW type optical recording medium using such a phase change material, since the recording layer immediately after film formation is in an amorphous state, the reflectance is very low to 5% or less, making focusing and tracking difficult. Therefore, an initialization process for changing the recording layer to crystalline is required. However, in the case of an optical recording medium having two or more recording layers, it takes a long time to initialize each layer, and there is a problem that it is difficult to uniformly initialize each layer.

예컨대, 일본특허공개 평9-91700호의 경우, 도 2에 도시된 바와 같이, 소정의 초기화 파장을 갖는 복수의 레이저 광원(10a,10b)을 이용하여 복수의 기록층(3,6)을 동시에 초기화하고 있다. 이때, 복수의 검출기(11a,11b)를 이용하여, 각 광원(10a,10b)에 방출된 레이저빔이 대응하는 기록층(3,6)에 정확히 조사되는지를 확인할 수 있다. 그러나, 이 경우, 상대적으로 앞쪽에 있는 기록층(6)이 상기 초기화 파장에서 어느 정도 광투과성을 갖지 않으면 상대적으로 뒤쪽에 있는 기록층(3)을 적절히 초기화시킬 수 없다는 문제가 있다. 더욱이, 각 층의 반사율이 매우 낮기 때문에 각 층마다 정확하게 레이저빔이 선택적으로 포커싱되어 초기화하기가 어렵고, 앞쪽에 있는 기록층(6)을 초기화하기 위한 레이저빔에 의해 뒤쪽에 있는 기록층(3)의 결정화 상태가 영향을 받을 가능성이 있다.For example, in Japanese Patent Laid-Open No. 9-91700, as shown in Fig. 2, the plurality of recording layers 3, 6 are simultaneously initialized using a plurality of laser light sources 10a, 10b having a predetermined initialization wavelength. Doing. At this time, the plurality of detectors 11a and 11b can be used to confirm whether the laser beams emitted to the respective light sources 10a and 10b are correctly irradiated onto the corresponding recording layers 3 and 6. However, in this case, there is a problem in that the recording layer 6, which is relatively forward, cannot adequately initialize the recording layer 3, which is relatively backward, unless it has some degree of light transmission at the initialization wavelength. Furthermore, since the reflectance of each layer is very low, the laser beam is selectively focused accurately for each layer, making it difficult to initialize, and the recording layer 3 at the rear by the laser beam for initializing the front recording layer 6 is difficult. The crystallization state of is likely to be affected.

한편, 일본특허공개 평2004-95092호의 경우, 열전도성이 큰 열확산층을 기록층의 상면에 형성하여 레이저빔에 의해 조사되는 기록층을 급냉시킬 수 있도록 한 광기록 매체를 개시하고 있다. 이때, 초기화는 광기록 매체를 완전히 제조한 후에 레이저 광을 상기 광기록 매체의 전체 표면에 조사하여 수행될 수도 있으며, 하나의 기록층을 형성한 직후에 상기 하나의 기록층에 대한 초기화를 수행하고 다음의 기록층을 형성할 수도 있다. 그러나, 이러한 방식에 따르면, 실제 양산시에 있어서, 광기록 매체의 초기화가 양산 라인에서 벗어나서 수행되어야 하기 때문에 매우 불편할 뿐만 아니라, 기록층의 개수만큼 반복적인 초기화 작업이 수행되어야 하므로 작업 시간이 많이 소요되어 생산성이 악화되는 문제가 있다.On the other hand, Japanese Patent Laid-Open No. 2004-95092 discloses an optical recording medium in which a thermal diffusion layer having high thermal conductivity is formed on an upper surface of a recording layer so that the recording layer irradiated with a laser beam can be quenched. In this case, the initialization may be performed by completely irradiating a laser light to the entire surface of the optical recording medium after the optical recording medium is completely manufactured, and performing the initialization of one recording layer immediately after forming one recording layer. The following recording layer may be formed. According to this method, however, in actual mass production, not only is it inconvenient because the initialization of the optical recording medium has to be performed off the mass production line, but also the repetitive initialization operation needs to be performed as many times as the number of recording layers. There is a problem that productivity deteriorates.

본 발명의 목적은 상술한 종래의 다층 광기록 매체의 문제점을 개선하기 위한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명의 목적은 별도의 초기화 장치 및 초기화 공정 없이 광기록 매체의 제조 과정에서 기록층에 대한 초기화를 동시에 수행할 수 있는 다층 광기록 매체 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to improve the problems of the conventional multilayer optical recording medium described above. More specifically, it is an object of the present invention to provide a multilayer optical recording medium and a method for manufacturing the same, which can simultaneously initialize the recording layer in the manufacturing process of the optical recording medium without a separate initialization device and an initialization process.

본 발명의 양호한 실시예에 따른 다층 광기록 매체는, 기판 위에 반사층, 결정화 촉진층 및 기록층이 적어도 2회 반복적으로 적층된 구조를 가지며, 인접하는 기록층과 반사층 사이에는 중간층이 개재되어 있고, 최상부의 기록층 위에는 투명 커버층이 형성되어 있으며, 상기 결정화 촉진층은 상기 중간층을 경화시키기 위한 UV-광에 대해 흡수성을 갖는 것을 특징으로 한다.A multilayer optical recording medium according to a preferred embodiment of the present invention has a structure in which a reflective layer, a crystallization promoting layer and a recording layer are repeatedly stacked at least twice on a substrate, and an intermediate layer is interposed between adjacent recording layers and the reflective layer. A transparent cover layer is formed on the uppermost recording layer, and the crystallization promoting layer is characterized by absorbing UV-light for curing the intermediate layer.

본 발명에 따르면, 상기 결정화 촉진층은 Sb2Te3, Al, Au, Cr 및 Sb로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 물질로 형성되는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, the crystallization promoting layer is characterized in that formed of at least one material selected from the group consisting of Sb 2 Te 3 , Al, Au, Cr and Sb.

또한, 상기 기록층은 하부 유전체층, 정보 기록층 및 상부 유전체층을 포함하며, 상기 정보 기록층을 보호하기 위한 상기 하부 및 상부 유전체층은 ZnS-SiO2, SiN 및 SiO2 중 적어도 하나의 물질로 형성되고, 정보 기록층은 GeSbTe 및 AgInSbTe 중 적어도 하나의 물질로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the recording layer includes a lower dielectric layer, an information recording layer, and an upper dielectric layer, wherein the lower and upper dielectric layers for protecting the information recording layer are formed of at least one material of ZnS-SiO 2 , SiN, and SiO 2 . The information recording layer is formed of at least one of GeSbTe and AgInSbTe.

본 발명에 따르면, 상기 정보 기록층은, 상기 중간층을 경화시키는 과정에서, 상기 결정화 촉진층에 의해 흡수된 UV-광의 열에 의해 비정질에서 결정질로 상변화되는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, the information recording layer is characterized in that in the process of curing the intermediate layer, the phase change from amorphous to crystalline by the heat of UV-light absorbed by the crystallization promoting layer.

한편, 본 발명의 양호한 실시예에 따른 다층 광기록 매체의 제조 방법은, 기판 위에 반사층, 결정화 촉진층 및 기록층을 순차적으로 적층하는 제 1 단계; 상기 기록층 위에 광폴리머 수지를 토출하는 제 2 단계; 소정의 그루브 패턴이 형성된 광투과성 스탬퍼로 상기 광폴리머 수지를 압착하는 동시에 기판을 회전시킴으로써 소정의 두께를 갖는 중간층을 형성하는 제 3 단계; 및 상기 광투과성 스탬퍼 위로 UV-광을 조사시켜 상기 중간층을 경화시킨 후, 상기 광투과성 스탬퍼를 분리하는 제 4 단계;를 적어도 2회 반복하며, 상기 결정화 촉진층은 상기 중간층을 경화시키기 위한 UV-광에 대해 흡수성을 갖고, 상기 중간층을 경화시키는 제 4 단계에서 상기 결정화 촉진층에 의해 흡수된 UV-광의 열에 의해 상기 기록층이 비정질에서 결정질로 상변화되는 것을 특징으로 한다.On the other hand, a method of manufacturing a multilayer optical recording medium according to a preferred embodiment of the present invention includes a first step of sequentially laminating a reflective layer, a crystallization promoting layer and a recording layer on a substrate; A second step of discharging an optical polymer resin on the recording layer; A third step of forming an intermediate layer having a predetermined thickness by pressing the optical polymer resin with a transparent stamper having a predetermined groove pattern and rotating the substrate; And a fourth step of curing the intermediate layer by irradiating UV-light onto the light-transmitting stamper, and then separating the light-transmitting stamper, the crystallization facilitating layer repeats at least two times. In the fourth step of absorbing light and curing the intermediate layer, the recording layer is phase-changed from amorphous to crystalline by the heat of UV-light absorbed by the crystallization promoting layer.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 양호한 실시예에 따른 다층 광기록 매체의 구조 및 상기 다층 광기록 매체의 제조 방법에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a structure of a multilayer optical recording medium and a method of manufacturing the multilayer optical recording medium according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail.

도 3은 본 발명의 양호한 실시예에 따른 다층 광기록 매체의 구조를 개략적으로 도시하는 단면도이다.3 is a sectional view schematically showing the structure of a multilayer optical recording medium according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, n 개의 기록층을 갖는 본 발명의 양호한 실시예에 따른 다층 광기록 매체(100)는 기판 위에 반사층, 결정화 촉진층 및 기록층이 n회 반복적으로 적층된 구조를 가지며, 인접하는 기록층과 반사층 사이에는 중간층이 개재되어 있고, 최상부의 기록층 위에는 투명 커버층이 형성된 구조를 하고 있다. 즉, 기판(100) 위에 제 1 반사층(120), 제 1 결정화 촉진층(121) 및 제 1 기록층(122)이 순차적으로 적층되어 있으며, 상기 제 1 기록층(122) 위에 다시 제 1 중간층(125), 제 2 반사층(130), 제 2 결정화 촉진층(131) 및 제 2 기록층(132)이 순차적으로 적층되어 있다. 이러한 방식으로 제 n-1 중간층(135), 제 n 반사층(140), 제 n 결정화 촉진층(141) 및 제 n 기록층(142)까지 적층되고, 마지막 제 n 기록층(142) 위에는 투명한 커버층(cover layer)(150)이 형성되어 있다. 여기서, 도 3에 도시된 바와 같이, 기판(100), 제 1 반사층(120), 제 1 결정화 촉진층(121) 및 제 1 기록층(122)을 L0 층으로 표시하며, 제 1 중간층(125), 제 2 반사층(130), 제 2 결정화 촉진층(131) 및 제 2 기록층(132)을 L1 층으로 표시하고, 제 n-1 중간층(135), 제 n 반사층(140), 제 n 결정화 촉진층(141) 및 제 n 기록층(142)을 Ln 층으로 표시한다.Referring to FIG. 3, a multilayer optical recording medium 100 according to a preferred embodiment of the present invention having n recording layers has a structure in which a reflective layer, a crystallization promotion layer and a recording layer are repeatedly stacked n times on a substrate, and adjacent to each other. An intermediate layer is interposed between the recording layer and the reflective layer, and a transparent cover layer is formed on the uppermost recording layer. That is, the first reflective layer 120, the first crystallization promotion layer 121, and the first recording layer 122 are sequentially stacked on the substrate 100, and the first intermediate layer is again on the first recording layer 122. The 125, the second reflective layer 130, the second crystallization promoting layer 131, and the second recording layer 132 are sequentially stacked. In this manner, the n-th intermediate layer 135, the n-th reflective layer 140, the n-th crystallization promotion layer 141, and the n-th recording layer 142 are stacked, and a transparent cover is placed on the last n-th recording layer 142. A cover layer 150 is formed. Here, as shown in FIG. 3, the substrate 100, the first reflective layer 120, the first crystallization promotion layer 121, and the first recording layer 122 are represented by an L0 layer, and the first intermediate layer 125 is represented. ), The second reflective layer 130, the second crystallization promoting layer 131, and the second recording layer 132 are represented by the L1 layer, and the n-1 intermediate layer 135, the nth reflective layer 140, and the nth layer The crystallization promotion layer 141 and the nth recording layer 142 are represented by an Ln layer.

앞서 설명한 바와 같이, 중간층은 각 기록층들 사이의 간격을 유지하기 위한 것이다. 후술하겠지만, 상기 중간층들은 광폴리머 수지(photo polymer resin)를 얇게 도포한 후 UV-광으로 경화시켜 형성할 수 있다. 또한, 반사층(120,130,140)은, 예컨대, 은(Ag) 또는 Al-계 합금을 사용할 수 있다. 한편, 본 발명의 양호한 실시예에 따르면, 상기 결정화 촉진층(121,131,141)의 역할은 중간층을 경화시키기 위해 UV-광을 조사하는 과정에서 상기 UV-광을 흡수하여 기록층이 비정질에서 결정질로 상변화하도록 하는 것이다. 따라서, 상기 결정화 촉진층(121,131,141)은 상기 중간층을 경화시키기 위한 UV-광에 대해 높은 흡수성을 갖는 것이 바람직하다. 그러면, 중간층을 경화시키기 위해 UV-광을 조사하는 과정에서, 상기 결정화 촉진층(121,131,141)에 의해 흡수된 UV-광의 열에 의해 상기 기록층(122,132,142)이 비정질에서 결정질로 상변화될 수 있다. 즉, 본 발명에 따르면, 기록층(122,132,142)의 하부에 결정화 촉진층(121,131,141)을 배치함으로써, 중간층을 경화시키는 과정에서 상기 기록층(122,132,142)에 대한 초기화가 동시에 이루어질 수 있다. 이러한 결정화 촉진층(121,131,141)의 재료로는, 예컨대, Sb2Te3, Al, Au, Cr 및 Sb 등을 사용할 수 있으며, 그 중에서 특히, Sb 또는 Sb2Te3 가 바람직하다. 또한, 상기 결정화 촉진층(121,131,141)의 두께는 약 50nm 이하로 형성하는 것이 바람직하다.As described above, the intermediate layer is for maintaining a gap between the respective recording layers. As will be described later, the intermediate layers may be formed by applying a thin photo polymer resin and curing with UV-light. In addition, for example, the reflective layers 120, 130, and 140 may use silver (Ag) or an Al-based alloy. On the other hand, according to a preferred embodiment of the present invention, the role of the crystallization promoting layer (121, 131, 141) is to absorb the UV-light in the process of irradiating the UV-light to cure the intermediate layer to change the recording layer from amorphous to crystalline To do that. Therefore, the crystallization promoting layer (121, 131, 141) preferably has a high absorbency to UV-light for curing the intermediate layer. Then, in the process of irradiating UV-light to cure the intermediate layer, the recording layer 122, 132, 142 may be changed from amorphous to crystalline by the heat of UV-light absorbed by the crystallization promoting layer (121, 131, 141). That is, according to the present invention, by arranging the crystallization promotion layers 121, 131, and 141 under the recording layers 122, 132, and 142, initialization of the recording layers 122, 132, and 142 may be simultaneously performed while curing the intermediate layer. As the material of the crystallization promotion layers 121, 131, 141, for example, Sb 2 Te 3 , Al, Au, Cr, Sb, and the like can be used, and among them, Sb or Sb 2 Te 3 is particularly preferable. In addition, the thickness of the crystallization promoting layer (121, 131, 141) is preferably formed to about 50nm or less.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 기록층(122)은, 종래와 마찬가지로, 하부 유전체층(122a), 정보 기록층(122b) 및 상부 유전체층(122c)으로 구성된다. 도 3에 도시되어 있지는 않지만, 제 2 내지 제 n 기록층(132,142) 역시 동일한 구성으로 이루어져 있다. 상기와 같은 구성에서, 실제로 상변화가 일어나고 정보가 기록되는 정보 기록층(122b)은, 예컨대, GeSbTe, AgInSbTe 등과 같은 칼코나이트계 화합물을 사용할 수 있다. 또한, 상기 정보 기록층(122b)을 보호하기 위한 하부 및 상부 유전체층(122a,122c)은, 예컨대, ZnS-SiO2, SiN 또는 SiO2 등을 사용할 수 있다.3, the first recording layer 122 is composed of a lower dielectric layer 122a, an information recording layer 122b, and an upper dielectric layer 122c as in the prior art. Although not shown in FIG. 3, the second to nth recording layers 132 and 142 also have the same configuration. In the above configuration, as the information recording layer 122b in which the phase change actually occurs and the information is recorded, for example, a chalconite compound such as GeSbTe, AgInSbTe, or the like can be used. In addition, the lower and upper dielectric layers 122a and 122c for protecting the information recording layer 122b may use, for example, ZnS—SiO 2 , SiN, or SiO 2 .

이제, 도 4a 내지 도 4e를 참조하여, 본 발명에 따른 다층 광기록 매체를 제조하는 공정을 구체적으로 설명한다.4A to 4E, a process of manufacturing a multilayer optical recording medium according to the present invention will be specifically described.

먼저, 기판(110) 위에 제 1 반사층(120), 제 1 결정화 촉진층(121) 및 제 1 기록층(122)을 순차적으로 적층하여 L0 층을 형성한 다음, 이렇게 형성된 L0 층을, 도 4a에 도시된 바와 같이, 원판형의 스핀들 지그(spindle jig)(20) 위에 탑재한다. 이때, 상기 스핀들 지그(20)에 탑재된 L0 층의 광기록 매체는 기판(110)이 아래쪽을 향하고 제 1 기록층(122)이 위쪽 방향이 되도록 배치된다. 그런 다음, 상기 L0 층 위에 중간층(125)의 재료가 되는 광폴리머 수지(25)를 토출한다.First, a first reflective layer 120, a first crystallization promotion layer 121, and a first recording layer 122 are sequentially stacked on the substrate 110 to form an L0 layer, and then the L0 layer thus formed is illustrated in FIG. 4A. As shown in Fig. 1, the spindle jig 20 is mounted on a disk-shaped spindle jig. At this time, the optical recording medium of the L0 layer mounted on the spindle jig 20 is disposed such that the substrate 110 faces downward and the first recording layer 122 faces upward. Then, the photopolymer resin 25, which is a material of the intermediate layer 125, is discharged onto the L0 layer.

그런 후, 도 4b에 도시된 바와 같이, 광투과성 스탬퍼(30)를 상기 L0 층 위에 탑재시킨다. 이때, 이후에 형성될 L1 층에 도 1에 도시된 것과 같은 그루브 패턴의 트랙이 복제될 수 있도록, 상기 광폴리머 수지(25)와 마주하는 상기 광투과성 스탬퍼(30)의 접촉면에는 소정의 그루브 패턴이 형성되어 있다. 이러한 L1 층의 그루브 패턴 정보를 갖는 광투과성 스탬퍼를 만들기 위해서는, 먼저 L1 파더 스탬퍼(father stamper)를 금형에 장착하여 사출 성형을 함으로써, L1 층의 그루브 패턴 정보를 갖는 광투과성 플라스틱 기판을 제조한다. 그런 후, 상기 그루브 패턴 정보가 형성된 광투과성 플라스틱 기판의 정보면에 Ni, APC(Ag-Pd-Cu alloy) 또는 불소계 수지 등을 성막하여 박리층을 형성한다. 예컨대, 상기 광투과성 플라스틱 기판 의 정보면에 Ni, APC(Ag-Pd-Cu alloy) 또는 불소계 수지 등을 광투과 가능한 두께로 얇게 테프론 코팅할 수 있다. 상기와 같은 재질로 코팅하면, 스탬퍼(30) 표면의 거칠기(roughness)가 우수해지기 때문에, 상기 광폴리머 수지(25)와의 접촉 표면적이 작아 이후에 형성될 중간층(125)과 부드럽게 분리가 가능하게 된다. 이러한 박막 코팅의 두께는 UV-광이 통과할 수 있도록 100nm 이하, 바람직하게는, 50nm 이하로 형성하는 것이 좋다. 특히, 테프론 코팅을 하는 경우에는, 수 nm 이하의 두께로 형성하는 것이 좋다.Then, as shown in FIG. 4B, a light-transmitting stamper 30 is mounted on the LO layer. At this time, a groove pattern is formed on a contact surface of the light-transmitting stamper 30 facing the optical polymer resin 25 so that tracks of the groove pattern as shown in FIG. 1 can be duplicated in the L1 layer to be formed later. Is formed. In order to make a light-transmissive stamper having such groove pattern information of the L1 layer, first, an L1 father stamper is mounted on a mold to perform injection molding, thereby manufacturing a light-transmissive plastic substrate having groove pattern information of the L1 layer. Thereafter, Ni, APC (Ag-Pd-Cu alloy), a fluorine resin, or the like is formed on the information surface of the optically transparent plastic substrate on which the groove pattern information is formed to form a release layer. For example, Ni, APC (Ag-Pd-Cu alloy) or a fluorine-based resin may be thinly coated on the information surface of the light-transmissive plastic substrate to a thickness that allows light transmission. When coated with the material as described above, since the roughness of the surface of the stamper 30 is excellent, the contact surface area with the photopolymer resin 25 is small so that it can be separated from the intermediate layer 125 to be formed later. do. The thickness of the thin film coating is preferably formed to 100nm or less, preferably 50nm or less so that UV-light can pass through. In particular, in the case of Teflon coating, it is preferable to form a thickness of several nm or less.

이렇게 소정의 그루브 패턴이 형성된 광투과성 스탬퍼(30)로 상기 광폴리머 수지(25)를 압착한 후에는, 기판(110)을 포함하는 L0 층과 광폴리머 수지(25)를 스핀들 지그(20)를 이용하여 고속으로 회전시켜 소정의 두께를 갖는 중간층을 형성한다.After compressing the photopolymer resin 25 with the light-transmitting stamper 30 having a predetermined groove pattern, the L0 layer including the substrate 110 and the photopolymer resin 25 are attached to the spindle jig 20. It is rotated at a high speed using the intermediate layer having a predetermined thickness.

다음으로, 도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 광투과성 스탬퍼(30) 위로 UV-광을 조사시켜 상기 중간층(125)을 경화시킨다. 이 과정에서, UV-광의 일부는 상기 중간층(125)을 투과하여 L0 층의 제 1 결정화 촉진층(121)에 의해 흡수된다. 그러면, 상기 제 1 결정화 촉진층(121)에 의해 흡수된 UV-광의 열에 의해 상기 제 1 기록층(122)의 정보 기록층(122b)이 비정질에서 결정질로 상변화된다. 즉, 상기 제 1 기록층(122)이 초기화된다. 본 발명에 따르면, 상기 정보 기록층(122b)을 구성하는 GeSbTe, AgInSbTe 등과 같은 칼코나이트계 화합물에서 Sb의 양이 증가함에 따라 결정화가 보다 쉽게 일어나는 경향을 보였다.Next, as shown in FIG. 4C, UV-light is irradiated onto the light-transmitting stamper 30 to cure the intermediate layer 125. In this process, some of the UV-light is transmitted through the intermediate layer 125 and absorbed by the first crystallization promoting layer 121 of the L0 layer. Then, the information recording layer 122b of the first recording layer 122 is phase-changed from amorphous to crystalline by the heat of UV-light absorbed by the first crystallization promoting layer 121. That is, the first recording layer 122 is initialized. According to the present invention, crystallization tended to occur more easily as the amount of Sb was increased in the chalconitrile compounds such as GeSbTe, AgInSbTe, etc. constituting the information recording layer 122b.

이렇게 중간층(125)의 경화 및 제 1 기록층(122)의 초기화가 완료되면, 도 4d에 도시된 바와 같이, 광투과성 스탬퍼(30)를 분리한다. 이어서, 도 4e에 도시된 바와 같이, 스핀들 지그(20)로부터 L0 층과 중간층(125)을 포함하는 광기록 매체를 탈착한다. 그런 후, 상기 중간층(125) 위에 제 2 반사층(130), 제 2 결정화 촉진층(131) 및 제 2 기록층(132)을 적층하여 L1 층을 완성하고, 도 4a 내지 도 4e에 도시된 중간층의 형성 및 기록층의 초기화 과정을 반복한다. 이러한 방식으로 제 n 기록층(142)까지 형성한 후, 마지막으로 상기 제 n 기록층(142) 위에 투명 커버층(150)을 형성함으로써 본 발명에 따른 광기록 매체를 제조할 수 있다. 이때, 상기 투명 커버층(150)도 역시 도 4a 내지 도 4e에 도시된 과정과 동일한 과정을 통해 형성될 수 있다. 다만, 투명 커버층(150)을 형성하는 경우에는, 상기 광투과성 스탬퍼(30)는 그루브 패턴을 가질 필요가 없다.When the curing of the intermediate layer 125 and the initialization of the first recording layer 122 are completed as described above, the light-transmitting stamper 30 is separated as shown in FIG. 4D. Then, as shown in FIG. 4E, the optical recording medium including the L0 layer and the intermediate layer 125 is detached from the spindle jig 20. Thereafter, a second reflective layer 130, a second crystallization promotion layer 131, and a second recording layer 132 are stacked on the intermediate layer 125 to complete the L1 layer, and the intermediate layer shown in FIGS. 4A to 4E. The process of forming and initializing the recording layer is repeated. After forming the nth recording layer 142 in this manner, and finally forming a transparent cover layer 150 on the nth recording layer 142, the optical recording medium according to the present invention can be manufactured. In this case, the transparent cover layer 150 may also be formed through the same process as that shown in FIGS. 4A to 4E. However, when the transparent cover layer 150 is formed, the light-transmitting stamper 30 does not have to have a groove pattern.

도 5는 이렇게 해서 완성된 본 발명에 따른 원판 디스크 형태의 다층 광기록 매체에서 반경 방향에 따른 L0 층, L1 층 및 커버층(CL)의 두께를 예시적으로 나타내는 그래프이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 25mm, 30mm, 40mm, 50mm 및 55mm 의 반경 방향 위치에서 각 층의 두께를 측정하였다. L0 층의 경우, 최소 8.8㎛에서 최대 10.3㎛ 까지 두께의 편차가 있었으며, L1 층의 경우 최소 12.5㎛에서 최대 15㎛까지의 두께의 편차가 있었다. 또한, 광기록 매체의 총두께는 최소 94.5㎛에서 최대 97.5㎛까지의 두께의 편차가 있었다. 따라서, 상술한 방법으로 제조된 본 발명에 따른 광기록 매체의 총두께는 96±1.5㎛ 로서, 블루-레이 디스크(BD)의 두께 규격인 ±3㎛ 편차 범위를 만족하였다.Fig. 5 is a graph showing the thicknesses of the L0 layer, the L1 layer and the cover layer CL along the radial direction in the multilayer optical recording medium in the form of a disc according to the present invention thus completed. As shown in FIG. 5, the thickness of each layer was measured at radial positions of 25 mm, 30 mm, 40 mm, 50 mm and 55 mm. In the case of the L0 layer, there was a variation in thickness from a minimum of 8.8 μm to a maximum of 10.3 μm, and in the case of an L1 layer, there was a variation in the thickness from a minimum of 12.5 μm to a maximum of 15 μm. In addition, the total thickness of the optical recording medium varied in thickness from at least 94.5 µm to at most 97.5 µm. Therefore, the total thickness of the optical recording medium according to the present invention manufactured by the above-described method was 96 ± 1.5 μm, which satisfies the deviation range of ± 3 μm, which is the thickness standard of the Blu-ray disc BD.

지금까지 설명한 바와 같이, 본 발명에서는, 중간층을 경화하는 과정에서 UV-광의 조사시, 결정화 촉진층이 UV-광의 열을 흡수하여 이 열이 칼코나이트계 화합물로 구성된 기록층을 비정질에서 결정질로 상변화시키게 된다. 따라서, 본 발명에 따르면, 별도의 초기화 장치 및 초기화 공정 없이 중간층의 경화 과정에서 기록층에 대한 초기화를 동시에 수행할 수 있기 때문에, 다층 광기록 매체의 제조 시간 및 제조 비용을 저감할 수 있다.As described so far, in the present invention, upon irradiation of UV-light in the process of curing the intermediate layer, the crystallization promoting layer absorbs the heat of UV-light, so that the heat forms the recording layer composed of chalconite-based compound from amorphous to crystalline. Will change. Therefore, according to the present invention, since the initialization of the recording layer can be simultaneously performed during the curing of the intermediate layer without a separate initialization device and an initialization process, the manufacturing time and manufacturing cost of the multilayer optical recording medium can be reduced.

Claims (5)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 기판 위에 반사층, 결정화 촉진층 및 기록층을 순차적으로 적층하는 제 1 단계;A first step of sequentially laminating a reflective layer, a crystallization promotion layer and a recording layer on the substrate; 상기 기록층 위에 광폴리머 수지를 토출하는 제 2 단계;A second step of discharging an optical polymer resin on the recording layer; 소정의 그루브 패턴이 형성된 광투과성 스탬퍼로 상기 광폴리머 수지를 압착하는 동시에 기판을 회전시킴으로써 소정의 두께를 갖는 중간층을 형성하는 제 3 단계; 및A third step of forming an intermediate layer having a predetermined thickness by pressing the optical polymer resin with a transparent stamper having a predetermined groove pattern and rotating the substrate; And 상기 광투과성 스탬퍼 위로 UV-광을 조사시켜 상기 중간층을 경화시킨 후, 상기 광투과성 스탬퍼를 분리하는 제 4 단계;를 적어도 2회 반복하여 다층 광기록 매체를 제조하는 방법으로서,A method of manufacturing a multilayer optical recording medium by repeating at least twice a fourth step of curing the intermediate layer by irradiating UV-light over the light transmissive stamper, and then separating the light transmissive stamper. 상기 결정화 촉진층은 상기 중간층을 경화시키기 위한 UV-광에 대해 흡수성을 가지며, 상기 중간층을 경화시키는 제 4 단계에서 상기 결정화 촉진층에 의해 흡수된 UV-광의 열에 의해 상기 기록층이 비정질에서 결정질로 상변화되는 것을 특징으로 하는 다층 광기록 매체의 제조 방법.The crystallization promoting layer is absorbable to UV-light for curing the intermediate layer, and the recording layer becomes amorphous to crystalline by the heat of UV-light absorbed by the crystallization promoting layer in the fourth step of curing the intermediate layer. A method of manufacturing a multilayer optical recording medium, characterized in that the phase change.
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