JP2009277266A - Method of manufacturing optical disk recording medium - Google Patents

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敏夫 大星
Reynard Tanuprayogi
レイナード タヌプラヨギ
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing an optical disk recording medium, which can manufacture an inexpensive optical disk recording medium. <P>SOLUTION: A flexible film sheet 10 for transfer, which is supported by one roll 100 and the other roll 105, is prepared, and an ultraviolet curing resin layer is continuously formed on the surface of the film sheet 10 for transfer in a process for winding the film sheet 10 for transfer from one roll 100 to the other 105. Then, a nickel stamper having an irregular shape is pressed to the ultraviolet curing resin layer formed on the surface of the film sheet for transfer, and at the same time ultraviolet rays are applied from the backside of the film sheet for transfer, thus curing the ultraviolet curing resin layer, and continuously forming the irregular shape on the ultraviolet curing resin layer. Then, a recording layer is formed in the order of higher light transmittance. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、光ディスク記録媒体として、特にピットにより情報が記録される記録層を複数備える光ディスク記録媒体を安価に製造するための、光ディスク記録媒体の製造方法に関する。   The present invention relates to an optical disc recording medium manufacturing method for manufacturing an optical disc recording medium having a plurality of recording layers on which information is recorded by pits at low cost.

近年、光学的な情報記録方式の一つである光ディスク記録媒体は、パーソナルコンピュータの普及や、地上波デジタル放送の開始と普及、ハイビジョンテレビの一般家庭への普及の加速に伴い、より多くの情報が記録可能であることが求められている。そのため、光ディスク記録媒体の、記録密度の大容量化が求められている。
光ディスク記録媒体は、基板上に、例えば記録膜や誘電体層等が積層された記録層が形成されてなる。そして、光ディスク記録媒体に対する情報の信号の読み出し、又は書き込みは、記録膜を有する記録層にレーザ光を照射することによって行われる。
In recent years, optical disc recording media, which is one of the optical information recording methods, has become more and more information with the spread of personal computers, the start and spread of terrestrial digital broadcasting, and the acceleration of the spread of high-definition televisions to ordinary homes. Is required to be recordable. Therefore, there is a demand for an increase in recording density of optical disc recording media.
An optical disk recording medium is formed by forming a recording layer, for example, a recording film or a dielectric layer laminated on a substrate. Then, reading or writing of an information signal with respect to the optical disc recording medium is performed by irradiating a recording layer having a recording film with laser light.

光ディスク記録媒体の記録密度の高密度化は、記録膜上に集光される光スポット径を、小さくすることによって行うことができる。光スポット径は、光源の波長(λ)と対物レンズの開口数(NA:Numerical Aperture)によって制限されており、λ/2NAに比例する。   The recording density of the optical disk recording medium can be increased by reducing the diameter of the light spot collected on the recording film. The light spot diameter is limited by the wavelength (λ) of the light source and the numerical aperture (NA) of the objective lens, and is proportional to λ / 2NA.

光ディスク記録媒体の、記録密度の高密度化を達成するためには、照射するレーザ光の短波長化、及び対物レンズの高NA化が必要とされる。波長に関しては、第1世代の光ディスク記録媒体であるCDの830nmから、DVD(Digital Versatile Disc)では650nmまで短波長化されている。また、NAに関しても、第1世代光ディスク記録媒体であるCDでは、およそ0.45、DVDでは0.60と高NA化が進んでいる。   In order to achieve a high recording density of an optical disk recording medium, it is necessary to shorten the wavelength of the laser beam to be irradiated and to increase the NA of the objective lens. Regarding the wavelength, the wavelength is shortened from 830 nm of a CD as a first generation optical disc recording medium to 650 nm in a DVD (Digital Versatile Disc). Further, with respect to the NA, the NA, which is a first generation optical disc recording medium, is increasing to about 0.45 and about 0.60 for DVD.

さらに、最近では、波長405nmの青色レーザを光源として用い、NAを0.85まで高めた光ディスクシステム(Blu-ray Disk:登録商標,以下BD)が実用化されている。   Furthermore, recently, an optical disk system (Blu-ray Disk: registered trademark, hereinafter referred to as BD) in which a blue laser having a wavelength of 405 nm is used as a light source and NA is increased to 0.85 has been put into practical use.

このBDは、光スポット径を小さくすることによる記録密度の高密度化と合わせて、さらなる高密度化の手法である、記録層を多層化する手法を用いた光ディスク記録媒体である。
大容量の光ディスク記録媒体としてのBDは、厚み1.1mmの基板上の凹凸に金属薄膜や誘電体膜などを積層し、厚み約0.1mmの保護層を設けるなどして構成されている。
This BD is an optical disk recording medium that uses a technique for further increasing the recording density, which is a technique for further increasing the recording density in combination with increasing the recording density by reducing the light spot diameter.
A BD as a large-capacity optical disk recording medium is configured by laminating a metal thin film, a dielectric film or the like on an uneven surface on a 1.1 mm thick substrate and providing a protective layer with a thickness of about 0.1 mm.

多層の記録層を有し、BDとして知られている光ディスク記録媒体の製造方法は、例えば下記特許文献1に記載されているが、一般的には次のようにしてなされる。   A method of manufacturing an optical disk recording medium having multiple recording layers and known as BD is described in, for example, Patent Document 1 below, and is generally performed as follows.

一例として記録層が2つ構成された、光ディスク記録媒体の製造方法について、図17を用いて説明する。
まず、図17Aに示すように、片面に凹凸形状からなるピットや案内溝を有する厚み約1.1mmの成形樹脂基板200上に、金属薄膜や熱記録が可能な薄膜材料などを形成し、第1の記録層L0を形成する。
次に、図17Bに示すように、隣接する記録層を隔てる数μmから、数十μmの厚みを有するスペーサー層201を、成形樹脂基板200上の第1の記録層L0上に形成する。
そして、スペーサー層201の上に片面にピットや案内溝などの凹凸形状を有するスタンパ203を押圧することによって、図17Cに示すように、ピットや、案内溝の凹凸パターン201aを、スペーサー層201上に転写する。
続いて、図17Dに示すように、スペーサー層201の上に転写されたピットや案内溝の凹凸パターン201a上に、記録再生するレーザ光の波長に対して所定の透過率を有する金属薄膜、あるいは熱記録が可能な薄膜材料を形成し、第2の記録層L1を形成する。
そして、最後に、図17Eに示すように、第2の記録層L1を保護する保護層202を、第2の記録層L1上に形成する。
As an example, a manufacturing method of an optical disc recording medium having two recording layers will be described with reference to FIG.
First, as shown in FIG. 17A, a metal thin film, a thin film material capable of thermal recording, or the like is formed on a molded resin substrate 200 having a thickness of about 1.1 mm having pits and guide grooves each having an uneven shape on one side. One recording layer L0 is formed.
Next, as shown in FIG. 17B, a spacer layer 201 having a thickness of several μm to several tens of μm separating adjacent recording layers is formed on the first recording layer L0 on the molded resin substrate 200.
Then, by pressing a stamper 203 having an uneven shape such as a pit or a guide groove on one side on the spacer layer 201, the uneven pattern 201a of the pit or guide groove is formed on the spacer layer 201 as shown in FIG. 17C. Transcript to.
Subsequently, as shown in FIG. 17D, a metal thin film having a predetermined transmittance with respect to the wavelength of the laser beam to be recorded / reproduced on the concave / convex pattern 201a of the pit or guide groove transferred onto the spacer layer 201, or A thin film material capable of thermal recording is formed to form the second recording layer L1.
Finally, as shown in FIG. 17E, a protective layer 202 that protects the second recording layer L1 is formed on the second recording layer L1.

以上の工程によって、2層の記録層が構成された光ディスク記録媒体は形成される。
2層以上の記録層によって、多層化を図る場合は、例えば下記特許文献2に記載されているように、信号の記録再生時の層間クロストークを考慮しつつ、上述した第2の記録層L1の形成工程を数回繰り返し、複数の記録層を順に積層することで可能となる。
Through the above steps, an optical disc recording medium having two recording layers is formed.
In the case of increasing the number of layers by using two or more recording layers, for example, as described in Patent Document 2 below, the above-described second recording layer L1 is taken into consideration while taking into account interlayer crosstalk during signal recording and reproduction. This process can be repeated several times to stack a plurality of recording layers in order.

上記のようにして構成される多層の光ディスク記録媒体は、ディスクの傾きによる信号劣化の影響を低減するために、積層された記録層を0.1mmの範囲内に形成することが求められる。そして、上記2層の記録層を有する光ディスク記録媒体では、第1の記録層L0と、数ミクロンから数十ミクロンのスペーサー層201を介して第2の記録層L1が形成され、その上に光透過性の保護層202が構成される。   The multilayer optical disc recording medium configured as described above is required to form a laminated recording layer within a range of 0.1 mm in order to reduce the influence of signal deterioration due to the tilt of the disc. In the optical disc recording medium having the two recording layers, the second recording layer L1 is formed via the first recording layer L0 and the spacer layer 201 of several microns to several tens of microns. A transparent protective layer 202 is formed.

また、上記多層の記録層を有する光ディスク記録媒体は、成形樹脂基板200の最内周から最外周にかけて均質な記録や、読み出しを行う。このために、第1の記録層L0と第2の記録層L1の間に設定されるスペーサー層201の光学的特性、および物理的形状の、均質性と均一性が求められる。同時に安価な光ディスク記録媒体の製造方法が期待されている。   In addition, the optical disk recording medium having the multiple recording layers performs uniform recording and reading from the innermost periphery to the outermost periphery of the molded resin substrate 200. For this purpose, homogeneity and uniformity of the optical properties and physical shape of the spacer layer 201 set between the first recording layer L0 and the second recording layer L1 are required. At the same time, an inexpensive method for producing an optical disk recording medium is expected.

さらに、これら光ディスク記録媒体は、長期保存の用途がその使用目的の重要なひとつであるから、長期にわたって、記録情報が保持されることが期待される。このため高温多湿環境や、低温環境下でも良好な記録特性を保持可能な多層構造が求められる。   Further, these optical disc recording media are expected to retain recorded information over a long period of time, since the purpose of long-term storage is an important purpose of use. For this reason, a multilayer structure capable of maintaining good recording characteristics even in a high temperature and high humidity environment or a low temperature environment is required.

特開2003−22586公報JP 2003-22586 A 特開2007−257759公報JP 2007-257759 A

ところで、上述した、従来の2層の記録層を有する光ディスク記録媒体の製造方法で用いられる、片面にピットや案内溝などの凹凸形状を有するスタンパ203(図17B)は、多くの場合、透明樹脂で構成されている。2層の記録層を有する光ディスク記録媒体では、この透明樹脂スタンパを一枚使用するが、n層の記録層が形成される光ディスク記録媒体では、n−1枚の透明樹脂スタンパを使用することになる。かつ、この透明樹脂スタンパは、再利用できない。このため、従来のスタンパプロセスにおいては、コストが高くなってしまう。そこで、安価な光ディスク記録媒体の製造においては、そのスタンパプロセスの改善が求められていた。   By the way, the stamper 203 (FIG. 17B) having a concavo-convex shape such as a pit or a guide groove on one side used in the above-described conventional method for manufacturing an optical disc recording medium having two recording layers is often a transparent resin. It consists of An optical disk recording medium having two recording layers uses one transparent resin stamper. However, an optical disk recording medium on which n recording layers are formed uses n−1 transparent resin stampers. Become. And this transparent resin stamper cannot be reused. For this reason, the cost is increased in the conventional stamper process. Therefore, in the manufacture of an inexpensive optical disk recording medium, improvement of the stamper process has been demanded.

上述の点に鑑み、本発明は、安価な光ディスク記録媒体の製造が可能な光ディスク記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。   In view of the above points, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing an optical disk recording medium capable of manufacturing an inexpensive optical disk recording medium.

上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明の光ディスク記録媒体の製造方法は、まず、一方のロール及び他方のロールに支持された可撓性の転写用フィルムシートを準備する。
そして、一方のロールから、他方のロールに転写用フィルムシートを巻きつける過程で、転写用フィルムシート表面に、紫外線硬化樹脂を塗布することで、連続的に紫外線硬化樹脂層を形成する。
次に、転写用フィルムシート表面に形成された紫外線硬化樹脂層に、凹凸形状を有するニッケルスタンパを押圧すると同時に、転写用フィルムシート裏面側から紫外線照射する。これにより、紫外線硬化樹脂層が硬化され、紫外線硬化樹脂層上に凹凸形状を、連続的に形成される。
そして、凹凸形状が形成された紫外線硬化樹脂層上に、記録層を成膜する。
さらに、前段で記録層を成膜した後、一方のロールから他方のロールに転写用フィルムシートを巻きつける過程で、転写用フィルムシート表面に、連続的に紫外線硬化樹脂を塗布することにより、転写用フィルムシート表面に形成された紫外線硬化樹脂層に、凹凸形状を有するニッケルスタンパを押圧すると同時に、転写用フィルムシート裏面側から紫外線照射する。これにより、紫外線硬化樹脂層を硬化させて、紫外線硬化樹脂層上に凹凸形状を、連続的に形成することができる。そして、凹凸形状が形成された紫外線硬化樹脂層上には、前段で形成された記録層よりも光透過率の低い、他の記録層を成膜する。
そして、他の記録層を成膜する工程を、必要に応じて複数回繰り返し、複数の記録層を有する積層膜を形成する。
In order to solve the above-described problems and achieve the object of the present invention, the optical disk recording medium manufacturing method of the present invention first prepares one roll and a flexible transfer film sheet supported by the other roll. .
Then, in the process of winding the transfer film sheet from one roll to the other roll, an ultraviolet curable resin layer is continuously formed by applying an ultraviolet curable resin to the surface of the transfer film sheet.
Next, a nickel stamper having a concavo-convex shape is pressed against the ultraviolet curable resin layer formed on the surface of the transfer film sheet, and at the same time, ultraviolet rays are irradiated from the back side of the transfer film sheet. Thereby, the ultraviolet curable resin layer is cured, and an uneven shape is continuously formed on the ultraviolet curable resin layer.
Then, a recording layer is formed on the ultraviolet curable resin layer on which the uneven shape is formed.
Furthermore, after the recording layer is formed in the previous stage, in the process of winding the transfer film sheet from one roll to the other roll, the transfer film sheet is continuously coated by applying an ultraviolet curable resin on the surface of the transfer film sheet. A nickel stamper having a concavo-convex shape is pressed against the ultraviolet curable resin layer formed on the surface of the transfer film sheet, and at the same time, the transfer film sheet is irradiated with ultraviolet light from the back side. Thereby, an ultraviolet curable resin layer can be hardened and an uneven | corrugated shape can be continuously formed on an ultraviolet curable resin layer. Then, another recording layer having a light transmittance lower than that of the recording layer formed in the previous stage is formed on the ultraviolet curable resin layer on which the uneven shape is formed.
Then, the process of forming another recording layer is repeated a plurality of times as necessary to form a laminated film having a plurality of recording layers.

本発明の光ディスク記録媒体の製造方法では、転写用フィルムシート上に、光透過率の高い順に、記録層が複数層形成される。したがって、転写用フィルムシート裏面側から紫外線照射しても、効率よく、紫外線硬化樹脂層を硬化させることができる。また、ニッケルスタンパが用いられるため、スタンパ工程において、スタンパを繰り返し使用することが可能となる。また、本発明では、転写用フィルムシートを、一方のロールから他方のロールに巻き出しながら、製造していく。このため、一度に複数の光ディスク記録媒体が形成される。   In the method for producing an optical disk recording medium of the present invention, a plurality of recording layers are formed on a transfer film sheet in descending order of light transmittance. Therefore, even if it irradiates with ultraviolet rays from the back side of the transfer film sheet, the ultraviolet curable resin layer can be efficiently cured. Further, since the nickel stamper is used, the stamper can be repeatedly used in the stamper process. In the present invention, the transfer film sheet is manufactured while being unwound from one roll to the other roll. For this reason, a plurality of optical disk recording media are formed at a time.

本発明によれば、多層の記録層を有する光ディスク記録媒体を、その構成の高透過率側から紫外線硬化させることが可能となるため、記録層の設計の自由が大きく、かつプロセス整合性良く、安価に製造することが出来る。   According to the present invention, an optical disc recording medium having a multi-layer recording layer can be UV-cured from the high transmittance side of the configuration, so that the recording layer can be freely designed and has good process consistency. It can be manufactured at low cost.

以下に、本発明の各実施の形態を、図1〜図15を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.

[第1の実施形態]
図1に、本発明の第1の実施形態で形成される光ディスク記録媒体の、要部概略断面構成を示す。本実施形態で形成される、光ディスク記録媒体は、4層の記録層を有する光ディスク記録媒体である。図1は、厚みが1.1mm、外径が約120mmの円盤状の成形樹脂基板1上に、4層の記録層が形成された光ディスク記録媒体の断面の一部を示したものである。
[First Embodiment]
FIG. 1 shows a schematic cross-sectional configuration of a main part of an optical disk recording medium formed in the first embodiment of the present invention. The optical disc recording medium formed in the present embodiment is an optical disc recording medium having four recording layers. FIG. 1 shows a part of a cross section of an optical disk recording medium in which four recording layers are formed on a disk-shaped molded resin substrate 1 having a thickness of 1.1 mm and an outer diameter of about 120 mm.

図1に沿って、その構成を説明する。
本実施形態例の光ディスク記録媒体は、1.1mm厚の成形樹脂基板1上に、第1の記録層L0、スペーサー層51、第2の記録層L1、スペーサー層52、第3の記録層L2、スペーサー層53、第4の記録層L3、カバー層61、ハードコート層71が順に積層されて形成される。
The configuration will be described with reference to FIG.
The optical disk recording medium according to the present embodiment includes a first recording layer L0, a spacer layer 51, a second recording layer L1, a spacer layer 52, and a third recording layer L2 on a molded resin substrate 1 having a thickness of 1.1 mm. The spacer layer 53, the fourth recording layer L3, the cover layer 61, and the hard coat layer 71 are laminated in this order.

また、図2は、図1に示す光ディスク記録媒体の断面構成をより詳細に図示したものである。
第1の記録層L0は、成形樹脂基板1側から、反射膜12、第1の誘電膜13、記録膜14、第2の誘電膜15が積層されて構成される。
第2の記録層L1は、成形樹脂基板1側から、反射膜22、第1の誘電膜23、記録膜24、第2の誘電膜25が積層されて構成される。
第3の記録層L2は、成形樹脂基板1側から、反射膜32、第1の誘電膜33、記録膜34、第2の誘電膜35が積層されて構成される。
第4の記録層L3は、成形樹脂基板1側から、反射膜42、第1の誘電体膜43、記録膜44、第2の誘電体膜45が積層されて構成される。
FIG. 2 shows the cross-sectional configuration of the optical disk recording medium shown in FIG. 1 in more detail.
The first recording layer L0 is formed by laminating a reflective film 12, a first dielectric film 13, a recording film 14, and a second dielectric film 15 from the molded resin substrate 1 side.
The second recording layer L1 is configured by laminating a reflective film 22, a first dielectric film 23, a recording film 24, and a second dielectric film 25 from the molded resin substrate 1 side.
The third recording layer L2 is formed by laminating a reflective film 32, a first dielectric film 33, a recording film 34, and a second dielectric film 35 from the molded resin substrate 1 side.
The fourth recording layer L3 is formed by laminating a reflective film 42, a first dielectric film 43, a recording film 44, and a second dielectric film 45 from the molded resin substrate 1 side.

ここで記録膜14,24,34,44は、追記型層変化材料からなる記録膜で、読み取り時の各層からの信号量が同等となるように膜設計される。
すなわち、本実施形態例の光ディスク記録媒体における第1〜第4の記録層L0〜L3の光透過率の大小関係は、L0<L1<L2<L3となる。
Here, the recording films 14, 24, 34, and 44 are recording films made of a write-once layer change material, and are designed so that the signal amounts from the respective layers at the time of reading are equal.
That is, the magnitude relationship between the light transmittances of the first to fourth recording layers L0 to L3 in the optical disc recording medium of the present embodiment is L0 <L1 <L2 <L3.

第1〜第4の記録層L0〜L3に用いられる、第1及び第2の誘電膜13,15,23,25,33,35,43,45の厚さは、好ましくは3nm〜100nmの範囲であり、光学特性および熱特性を考慮して決定される。   The thickness of the first and second dielectric films 13, 15, 23, 25, 33, 35, 43, and 45 used for the first to fourth recording layers L0 to L3 is preferably in the range of 3 nm to 100 nm. It is determined in consideration of optical characteristics and thermal characteristics.

第1及び第2の誘電膜13,15,23,25,33,35,43,45の材料としては、記録再生用レーザの波長に対して吸収能の低い材料が好ましく、具体的には、消衰係数Kの値が0.2以下である材料が好ましい。かかる材料としては、例えばZnS−SiO混合体(好ましくは、モル比4:1)を挙げることができる。ZnS−SiO混合体以外にも、従来から光ディスク記録媒体の誘電膜の材料として用いられている公知のものを用いることも可能である。 The material of the first and second dielectric films 13, 15, 23, 25, 33, 35, 43, and 45 is preferably a material having a low absorption capacity with respect to the wavelength of the recording / reproducing laser. A material having an extinction coefficient K value of 0.2 or less is preferable. Examples of such a material include a ZnS—SiO 2 mixture (preferably, a molar ratio of 4: 1). In addition to the ZnS—SiO 2 mixture, a known material conventionally used as a material for the dielectric film of the optical disk recording medium can also be used.

第1及び第2の誘電膜13,15,23,25,33,35,43,45の材料としては、例えば、Al、Si、Ta、Ti、Zr、Nb、Mg、B、Zn、Pb、Ca、La、Ge等の金属および半金属等の元素の窒化物、酸化物、炭化物、フッ化物、硫化物、窒酸化物、窒炭化物、酸炭化物等およびこれらを主成分と材料を用いることができる。好ましくは、AlN(0.5≦X≦1)、AlN、Al2−X(0≦X≦1)、Al、Si4−X(0≦X≦1)、Si4−X、SiO(1≦X≦2)、SiO、SiO、MgO、Y、MgAl、TiO(1≦X≦2)、TiO、BaTiO、StTiO、Ta5−X(0≦X≦1)、Ta、GeO(1≦X≦2)、SiC、ZnS、PbS、Ge−N、Ge−N−O、Si−N−O、CaF、LaF、MgF、NaF、ThF等を用いることができる。 Examples of the material of the first and second dielectric films 13, 15, 23, 25, 33, 35, 43, 45 include Al, Si, Ta, Ti, Zr, Nb, Mg, B, Zn, Pb, Use of nitrides, oxides, carbides, fluorides, sulfides, nitride oxides, nitrided carbides, acid carbides, etc. of elements such as metals such as Ca, La and Ge, and metalloids, and the use of these as main components and materials it can. Preferably, AlN X (0.5 ≦ X ≦ 1), AlN, Al 2 O 2-X (0 ≦ X ≦ 1), Al 2 O 3 , Si 3 N 4-X (0 ≦ X ≦ 1), Si 3 N 4 -X , SiO X (1 ≦ X ≦ 2), SiO 2 , SiO, MgO, Y 2 O 3 , MgAl 2 O 4 , TiO X (1 ≦ X ≦ 2), TiO 2 , BaTiO 3 , StTiO 4 , Ta 2 O 5-X (0 ≦ X ≦ 1), Ta 2 O 5 , GeO X (1 ≦ X ≦ 2), SiC, ZnS, PbS, Ge—N, Ge—N—O, Si— N—O, CaF 2 , LaF, MgF 2 , NaF, ThF 4 or the like can be used.

第1〜第4の記録層L0〜L3に用いられる記録膜14,24,34,44の膜厚は、好ましくは5nm〜30nmの範囲であり、例えば15nm程度である。この記録膜14,24,34,44の材料としては、レーザ光の照射を受けて不可逆的な状態変化を生じる相変化材料を使用できる。このような材料としては、例えば、カルコゲン化合物または単体のカルコゲン等を使用できる。カルコゲン化合物としては、例えば、Sb、Teの共晶系材料を使用でき、好ましくは、Geなどの添加元素が添加されたSb、Teの共晶系材料を使用できる。   The film thicknesses of the recording films 14, 24, 34, and 44 used for the first to fourth recording layers L0 to L3 are preferably in the range of 5 nm to 30 nm, for example, about 15 nm. As a material for the recording films 14, 24, 34, and 44, a phase change material that undergoes an irreversible state change upon irradiation with laser light can be used. As such a material, for example, a chalcogen compound or a single chalcogen can be used. As the chalcogen compound, for example, an eutectic material of Sb and Te can be used, and preferably, an eutectic material of Sb and Te to which an additive element such as Ge is added can be used.

例示するならば、Ge−Sb−Te、Sb−Te、In−Sb−Te、Ag−In−Sb−Te、Au−In−Sb−Te、Ge−Sb−Te−Pd、Ge−Sb−Te−Se、Ge−Sb−Te−Bi、Ge−Sb−Te−Co、Ge−Sb−Te−Auを含む系、またはこれらの系に窒素、酸素などのガス添加物を導入した系等を挙げることができる。   For example, Ge—Sb—Te, Sb—Te, In—Sb—Te, Ag—In—Sb—Te, Au—In—Sb—Te, Ge—Sb—Te—Pd, Ge—Sb—Te. -A system containing Se, Ge-Sb-Te-Bi, Ge-Sb-Te-Co, Ge-Sb-Te-Au, or a system in which a gas additive such as nitrogen or oxygen is introduced into these systems. be able to.

添加元素を記録膜14,24,34,44に添加すると、信頼性などの特性を向上できる一方、信号特性の低下を招いてしまう。この点を考慮すると、記録膜14,24,34,44における添加元素の量は10atm%以下にすることが好ましい。   When the additive element is added to the recording films 14, 24, 34, 44, characteristics such as reliability can be improved, but signal characteristics are deteriorated. Considering this point, the amount of the additive element in the recording films 14, 24, 34, and 44 is preferably 10 atm% or less.

第1〜第4の記録層L0〜L3に用いられる反射膜12,22,32,42の厚さは、好ましくは3nm以上であり、より好ましくは5nm〜60nmの範囲である。   The thickness of the reflective films 12, 22, 32, and 42 used for the first to fourth recording layers L0 to L3 is preferably 3 nm or more, and more preferably in the range of 5 nm to 60 nm.

反射膜12,22,32,42の材料としては、例えば金属または半金属を使用できる。反射膜12,22,32,42の材料は、反射能および熱伝導率を考慮して選ぶことが好ましく、例えば、記録再生用レーザ光の波長に対して反射能を有し、熱伝導率が0.0004[J/(cm・K・s)]〜4.5[J/(cm・K・s)]の範囲にある金属元素、半金属元素およびそれらの化合物あるいは混合物である。   As a material of the reflective films 12, 22, 32, 42, for example, a metal or a semimetal can be used. The material of the reflective films 12, 22, 32, and 42 is preferably selected in consideration of reflectivity and thermal conductivity. For example, the reflective films 12, 22, 32, and 42 have reflectivity with respect to the wavelength of the recording / reproducing laser beam and have a thermal conductivity. Metal elements, metalloid elements, and compounds or mixtures thereof in the range of 0.0004 [J / (cm · K · s)] to 4.5 [J / (cm · K · s)].

反射膜12,22,32,42の材料を、具体的に例示するならば、Al、Ag、Au、Ni、Cr、Ti、Pd、Co、Si、Ta、W、Mo、Ge等の単体、またはこれらを主成分とする合金を挙げることができる。これらのうち、特にAl系、Ag系、Au系、Si系、Ge系の材料が実用性の面から好ましい。合金としては、例えばAl−Ti、Al−Cr、Al−Cu、Al−Mg−Si、Ag−Pd−Cu、Ag−PdTi、Si−B等が好適に用いられる。   If the material of the reflective films 12, 22, 32, 42 is specifically illustrated, simple substance such as Al, Ag, Au, Ni, Cr, Ti, Pd, Co, Si, Ta, W, Mo, Ge, Or the alloy which has these as a main component can be mentioned. Of these, Al-based, Ag-based, Au-based, Si-based, and Ge-based materials are particularly preferable from the viewpoint of practicality. As the alloy, for example, Al—Ti, Al—Cr, Al—Cu, Al—Mg—Si, Ag—Pd—Cu, Ag—PdTi, Si—B and the like are preferably used.

これらの材料のうちから、光学特性および熱特性を考慮して設定することが好ましい。例えば、単波長領域においても高反射率を有する点を考慮すると、Al系またはAg系材料を用いることが好ましい。一般には反射膜12,22,32,42の膜厚を光が透過しない程度の厚さ、例えば50nm以上に設定すると、反射率を高くすることができ、且つ、熱を逃げやすくできる。反射膜12,22,32,42の膜厚を適度な厚さ、例えば10nm程度に設定すると、透過率を上げつつ、熱の逃げを確保することができる。   Among these materials, it is preferable to set in consideration of optical characteristics and thermal characteristics. For example, in view of having a high reflectance even in a single wavelength region, it is preferable to use an Al-based material or an Ag-based material. In general, when the thickness of the reflective films 12, 22, 32, and 42 is set to a thickness that does not allow light to pass through, for example, 50 nm or more, the reflectance can be increased and heat can be easily released. When the thickness of the reflective films 12, 22, 32, and 42 is set to an appropriate thickness, for example, about 10 nm, heat escape can be secured while increasing the transmittance.

また、反射膜12,22,32,42は単層の構造に限られず、例えば金属または半金属よりなる層(反射層)を2層積層した積層構造とすることも可能であり、さらに、2層以上の多層構造とすることも可能である。これにより光学設計がし易くなり、且つ、熱特性とのバランスも取り易くなる。なお、誘電層と反射層の間に、SiN膜などからなるバリア層を設けてもよい。   Further, the reflective films 12, 22, 32, and 42 are not limited to a single layer structure, and may have a laminated structure in which, for example, two layers (reflective layers) made of metal or metalloid are laminated. It is also possible to have a multilayer structure having more than one layer. This facilitates optical design and facilitates balance with thermal characteristics. A barrier layer made of a SiN film or the like may be provided between the dielectric layer and the reflective layer.

スペーサー層51,52,53は、光ディスク記録媒体の多層構造を形成する紫外線感光性を有する光透過性の材料をスピンコート法で回転塗布され紫外線の照射で硬化して配置される。多層の光ディスク記録媒体から情報信号の記録再生をする場合、このスペーサーの配置と膜厚は、層間クロストークを抑制する目的で設定される。   The spacer layers 51, 52, and 53 are arranged by spin-coating a light-transmitting material having ultraviolet sensitivity that forms a multilayer structure of an optical disk recording medium, and curing by ultraviolet irradiation. When recording and reproducing information signals from a multilayer optical disk recording medium, the arrangement and film thickness of this spacer are set for the purpose of suppressing interlayer crosstalk.

カバー層61は、光ディスク記録媒体の保護を目的として形成される。情報信号の記録再生は、例えば、レーザ光がカバー層61を通じて、情報信号を記録するための記録層に集光されることによって行われる。カバー層61としては、例えば、紫外腺硬化樹脂、紫外線硬化樹脂とポリカーボネートシート、または接着層とポリカーボネートシート用いることができる。カバー層61は、多層の光ディスク記録媒体では、1.1mmの成形樹脂基板1上に、多層の記録層を含めて100μmとなるように設定される。   The cover layer 61 is formed for the purpose of protecting the optical disk recording medium. The recording / reproducing of the information signal is performed, for example, by condensing the laser beam through the cover layer 61 onto the recording layer for recording the information signal. As the cover layer 61, for example, an ultraviolet gland curable resin, an ultraviolet curable resin and a polycarbonate sheet, or an adhesive layer and a polycarbonate sheet can be used. In the case of a multilayer optical disk recording medium, the cover layer 61 is set to be 100 μm on the 1.1 mm molded resin substrate 1 including the multilayer recording layer.

ハードコート層71は、カバー層61と同様に光ディスク記録媒体の機械的な衝撃、傷に対する保護、さらには利用者の取り扱い時の指紋の付着などから、情報信号の記録再生品質を保護するために用いられる。ハードコート層71としては、機械的強度を向上させるためにシリカの微粉末を混入したものや、溶剤タイプ、無溶剤タイプなどの紫外線硬化樹脂を用いることが出来る。機械的強度を有し、指紋などの油脂分をはじくためには、1μmから数μmの厚さを有する。   The hard coat layer 71, like the cover layer 61, protects the recording / reproduction quality of information signals from mechanical shocks and scratches on the optical disk recording medium, and also from the adhesion of fingerprints when handled by the user. Used. As the hard coat layer 71, an ultraviolet curable resin such as a mixture of silica fine powder to improve mechanical strength, a solvent type, or a solventless type can be used. It has a mechanical strength and has a thickness of 1 μm to several μm in order to repel oil and fat such as fingerprints.

図3〜図13を用いて、本実施形態例の光ディスク記録媒体の製造方法を説明する。   A method for manufacturing an optical disk recording medium according to this embodiment will be described with reference to FIGS.

図3A,Bに、本実施形態例における紫外線硬化樹脂の塗布に用いられる装置の一例を示す概略平面構成及び、その断面構成を示す。本実施形態例においては、一方のロールを例えば巻き出しロール100とし、他方のロールを巻き取りロール105とし、その2つのロールに、引張支持された透明な転写用フィルムシート10を準備する。巻き出しロール100と巻き取りロール105をそれぞれ回転させることにより、転写用フィルムシート10は、巻き取りロール105に巻き取られながら、移動する。   3A and 3B show a schematic plan configuration showing an example of an apparatus used for application of the ultraviolet curable resin in the present embodiment and a cross-sectional configuration thereof. In this embodiment, for example, one roll is used as the unwinding roll 100 and the other roll is used as the take-up roll 105, and the transparent transfer film sheet 10 that is tension-supported is prepared on the two rolls. The transfer film sheet 10 moves while being wound around the winding roll 105 by rotating the winding roll 100 and the winding roll 105, respectively.

この転写用フィルムシート10としては、可撓性であり、巻き取りが可能なあらゆるフィルムを用いることができる。なかでも、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエステルフィルム等の光透過性の優れているフィルムが好ましい。さらには、剥離性に優れた、ゼオノア、ゼオノールも好適に用いることができる。ポリイミドフィルムなどの伸縮性の小さい材料もあるが、この材料では、光透過性という点で使用しにくい。転写用フィルムシート10のフィルム厚は、例えば巻き取りが可能な0.3mmから0.1mm以下であることが好ましく、フィルム幅は、光ディスク記録媒体の直径約φ120mmエリアがカバーできる130mm以上が好ましい。   As the transfer film sheet 10, any film that is flexible and can be wound can be used. Of these, films having excellent light transmittance such as polyethylene terephthalate film and polyester film are preferable. Furthermore, ZEONOR and ZEONOL, which are excellent in peelability, can also be suitably used. There are materials with low stretchability such as polyimide film, but this material is difficult to use in terms of light transmittance. The film thickness of the transfer film sheet 10 is preferably 0.3 mm to 0.1 mm or less, for example, which can be wound, and the film width is preferably 130 mm or more that can cover an area of about 120 mm in diameter of the optical disk recording medium.

巻き出しロール100、及び巻き取りロール105に巻かれた状態で、引張支持された転写用フィルムシート10は、図示しない搬送テーブル上に設置されている。また、転写フィルムシート10の長手方向とは直交する方向の両端部には、送り制御用のガイド部102が付与されている。   The transfer film sheet 10 that is tension-supported in a state of being wound around the unwinding roll 100 and the winding roll 105 is placed on a conveyance table (not shown). Further, feed control guide portions 102 are provided at both ends in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the transfer film sheet 10.

そして、このような構成において、ロールコーター法を用いて、転写用フィルムシート10上に、塗布材料を塗布、成膜する。
このため、巻き出しロール100から、巻き取りロール105に渡って引張支持された転写用フィルムシート10の中間部の、転写用フィルムシート10表面側には、カップ付きロール101が設置されている。このカップ付きローラ101には、転写用フィルムシート101表面に面する表面に、くぼみが形成されている。ここにおいて、転写用フィルムシート10表面に図示しない塗料供給器から紫外線硬化樹脂を供給して、カップ付きロール101を転写用フィルムシート10表面で回転させる。これにより、カップ付きロール101のくぼみ深さで、紫外線硬化樹脂が転写用フィルムシート10表面に塗布される。また、本実施形態例においては、カップ付きロール101に接するように設けられた第1の調整ロール101bと、第1の調整ロール101bに接するように、第2の調整ロール101aが設けられている。これらの第1の調整ロール101b、及び第2の調整ロール101aが、カップ付きロール101と連動して回転することにより、カップ付きロール101に付着した紫外線硬化樹脂をカップ付きロール101一面に均等にのばすことができる。本実施形態例では、調整ロールを2個の構成としたが、これに限られるものではなく、必要に応じて、複数個設けることができるものである。
And in such a structure, a coating material is apply | coated and formed into a film on the film sheet 10 for transfer using a roll coater method.
For this reason, the roll 101 with a cup is installed in the intermediate part of the transfer film sheet 10 tension-supported over the winding roll 105 from the unwind roll 100 on the surface side of the transfer film sheet 10. The cup-equipped roller 101 has a recess formed on the surface facing the surface of the transfer film sheet 101. Here, an ultraviolet curable resin is supplied to the surface of the transfer film sheet 10 from a paint supplier (not shown), and the cup-attached roll 101 is rotated on the surface of the transfer film sheet 10. As a result, the ultraviolet curable resin is applied to the surface of the transfer film sheet 10 at the depth of the depression of the roll with cup 101. In the present embodiment, the first adjustment roll 101b provided so as to be in contact with the cup-attached roll 101 and the second adjustment roll 101a are provided so as to be in contact with the first adjustment roll 101b. . The first adjusting roll 101b and the second adjusting roll 101a rotate in conjunction with the cup-equipped roll 101 so that the UV curable resin attached to the cup-equipped roll 101 is evenly distributed over the roll 101 with the cup. Can be extended. In this embodiment, the number of adjustment rolls is two, but the present invention is not limited to this, and a plurality of adjustment rolls can be provided as necessary.

そして、巻き出しロール100から、巻き取りロール105に、転写用フィルムシート10を移送しながら、移送途上で塗布材料を供給し、カップ付きロール101を回転させる。こうすることにより、転写用フィルムシート10表面に、所望の厚さの紫外線硬化樹脂層を、連続的に形成することができる。   Then, while transferring the transfer film sheet 10 from the unwinding roll 100 to the winding roll 105, the coating material is supplied during the transfer, and the roll 101 with the cup is rotated. By doing so, an ultraviolet curable resin layer having a desired thickness can be continuously formed on the surface of the transfer film sheet 10.

その後、カップ付きロール101よりも、巻き取りロール105側に設置された、例えばフラッシュランプからなる光源103を用い、転写用フィルムシート10裏面側から紫外線を照射する。そうすることにより、転写用フィルムシート10表面の紫外線硬化樹脂層106が硬化する。
以上の工程で、紫外線硬化樹脂を塗布することにより、紫外線硬化樹脂層106を形成し、紫外線照射して硬化することにより、所望の厚さのカバー層61、または、スペーサー層51,52,53が形成される。そして、それらの膜が形成された転写用フィルムシート10は、巻き取りロール105に連続して巻き取られる。
Then, the ultraviolet light is irradiated from the back surface side of the transfer film sheet 10 using a light source 103 made of, for example, a flash lamp installed on the winding roll 105 side of the roll with cup 101. By doing so, the ultraviolet curable resin layer 106 on the surface of the transfer film sheet 10 is cured.
In the above process, the ultraviolet curable resin layer 106 is formed by applying the ultraviolet curable resin, and cured by irradiating with ultraviolet rays, whereby the cover layer 61 or the spacer layers 51, 52, 53 having a desired thickness is formed. Is formed. And the film sheet 10 for transfer in which those films | membranes were formed is wound up by the winding roll 105 continuously.

次に、図4A,Bに、本実施形態例における、スタンパ工程に用いられる装置の一例を示す概略平面構成及び、その断面構成を示す。図4A,Bにおいて、図3A,Bと対応する部分には同一符号を付し、重複説明を省略する。   Next, FIGS. 4A and 4B show a schematic plan configuration showing an example of an apparatus used in the stamper process and a cross-sectional configuration thereof in this embodiment. 4A and 4B, parts corresponding to those in FIGS. 3A and 3B are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

本実施形態例においては、転写用フィルムシート10上に設置されたカップ付きロール101よりも、巻き取りロール105側の、転写用フィルムシート10上に、ロール状にニッケルスタンパが構成された、ニッケルスタンパロール107を設置する。このニッケルスタンパロール107には、光ディスク記録媒体のピットや案内溝となる凹凸形状が形成されており、その凹凸形状が転写用フィルムシート10上に押圧される位置に設置されている。   In this embodiment, a nickel stamper is formed in a roll shape on the transfer film sheet 10 on the take-up roll 105 side of the roll 101 with a cup installed on the transfer film sheet 10. A stamper roll 107 is installed. The nickel stamper roll 107 is formed with a concavo-convex shape to be a pit or a guide groove of the optical disk recording medium, and is provided at a position where the concavo-convex shape is pressed onto the transfer film sheet 10.

そして、ニッケルスタンパロール107から、巻き出しロール105側であって、転写用フィルムシート10裏面側には、紫外線を照射するための、例えばフラッシュランプからなる光源103が設置されている。この光源103は、転写用フィルムシート10に対して、ニッケルスタンパロール107と対向した位置により近接した位置に設けられる。   A light source 103 made of, for example, a flash lamp for irradiating ultraviolet rays is installed on the unwinding roll 105 side from the nickel stamper roll 107 and on the back surface side of the transfer film sheet 10. The light source 103 is provided at a position closer to the transfer film sheet 10 than the position facing the nickel stamper roll 107.

このような構成においては、まず、巻き出し用ロール105から移送される転写用フィルムシート10表面には、カップ付きロール101により、紫外線硬化樹脂層106が所望の厚さに塗布される。その後、その紫外線硬化樹脂層106上に、ニッケルスタンパロール107が押圧されることにより、紫外線硬化樹脂層106上に凹凸形状106aが形成されると同時に、転写用フィルムシート10裏面から紫外線が照射されることにより、紫外線硬化樹脂層106が硬化される。そして、この一連の流れにより、転写用フィルムシート10上には、凹凸形状106aを有する紫外線硬化樹脂層106が形成される。この凹凸形状106aは、例えば、製造される光ディスク記録媒体のリードインゾーンからリードアウトゾーンの範囲内に形成される。   In such a configuration, first, the ultraviolet curable resin layer 106 is applied to the surface of the transfer film sheet 10 transferred from the unwinding roll 105 by the roll 101 with a cup to a desired thickness. Thereafter, when the nickel stamper roll 107 is pressed on the ultraviolet curable resin layer 106, an uneven shape 106a is formed on the ultraviolet curable resin layer 106, and at the same time, ultraviolet rays are irradiated from the back surface of the transfer film sheet 10. As a result, the ultraviolet curable resin layer 106 is cured. As a result of this series of flows, an ultraviolet curable resin layer 106 having a concavo-convex shape 106 a is formed on the transfer film sheet 10. The uneven shape 106a is formed, for example, within a range from a lead-in zone to a lead-out zone of an optical disk recording medium to be manufactured.

ところで、本実施形態例で用いられるニッケルスタンパロール107は、ニッケルで構成されている。ニッケルから構成されるスタンパは、繰り返し使用可能であるので、一方のロールである巻き出しロール100から、他方のロールである巻き取りロール105に、転写用フィルムシート10を巻き取りながら連続的に、複数の光ディスク記録媒体に対応する凹凸形状106aを形成することができる。そして、紫外線硬化樹脂層106上面に凹凸形状106aが形成された転写用フィルムシート10は、随時、巻き取りロール105に巻き取られる。   Incidentally, the nickel stamper roll 107 used in this embodiment is made of nickel. Since the stamper made of nickel can be used repeatedly, continuously from the unwinding roll 100 as one roll to the winding roll 105 as the other roll while continuously winding the transfer film sheet 10, Irregularities 106a corresponding to a plurality of optical disk recording media can be formed. Then, the transfer film sheet 10 having the concavo-convex shape 106 a formed on the upper surface of the ultraviolet curable resin layer 106 is taken up by the take-up roll 105 as needed.

次に、図5A,Bに、本実施形態例における、記録層の成膜工程に用いられ装置の一例を示す概略平面構成、及びその断面構成を示す。図5A,Bにおいて、図3A,Bと対応する部分には同一符号を付し、重複説明を省略する。   Next, FIGS. 5A and 5B show a schematic plan configuration showing an example of an apparatus used in the recording layer forming step in this embodiment, and a cross-sectional configuration thereof. 5A and 5B, parts corresponding to those in FIGS. 3A and 3B are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

ここでは、巻き出しロール100に、例えば、凹凸形状106aを有する紫外線硬化樹脂層106が形成された転写用フィルムシート10を準備し、巻き取りロール105に巻き取られる間に、凹凸形状106a上に、スパッタ法により、記録層108を成膜する。例えば、巻き出しロール100、及び巻き取りのロール105に引張支持される転写用フィルムシート10を、スタッパ装置に搬送し、真空内において、記録層108を構成する、所望の誘電膜、反射膜、記録膜を成膜する。ここにおいても、巻き出しロール100から、巻き取りロール105に、転写用フィルムシート10を巻き取りながら、連続的に記録層108を成膜することができる。また、ここでは、マスクを用いて、前段で形成された複数の光ディスク記録媒体に対応する、それぞれの凹凸形状106a上面の所望の位置に、記録層108が形成される。   Here, for example, the transfer film sheet 10 in which the ultraviolet curable resin layer 106 having the uneven shape 106 a is formed on the unwinding roll 100, and the roll film 105 is wound on the uneven roll shape 106 a while being wound on the take-up roll 105. Then, the recording layer 108 is formed by sputtering. For example, the transfer film sheet 10 that is tension-supported by the unwinding roll 100 and the winding roll 105 is conveyed to a stapper device, and a desired dielectric film, reflection film, A recording film is formed. Also in this case, the recording layer 108 can be continuously formed while winding the transfer film sheet 10 from the unwinding roll 100 to the winding roll 105. Here, using the mask, the recording layer 108 is formed at a desired position on the upper surface of each of the concavo-convex shapes 106a corresponding to the plurality of optical disk recording media formed in the previous stage.

次に、図3〜図5の方法を用いて形成する光ディスク記録媒体の成膜工程を、図6〜図11を用いて説明する。図6〜図11の工程図は、製造物の要部の断面構成を示したものである。   Next, a process for forming an optical disk recording medium formed using the method of FIGS. 3 to 5 will be described with reference to FIGS. The process diagrams of FIGS. 6 to 11 show the cross-sectional configuration of the main part of the product.

まず、図6Aに示すように、図3A,Bに示す巻き出しロール100と巻き取りロール105間に引張支持された転写用フィルムシート10を準備する。   First, as shown in FIG. 6A, a transfer film sheet 10 that is tension-supported between an unwinding roll 100 and a winding roll 105 shown in FIGS. 3A and 3B is prepared.

続いて、図3A,Bに示した方法により、巻き出しロール100から、巻き取りロール105に、転写用フィルムシート10を巻き取りながら、転写用フィルムシート10表面に、所望の厚さに紫外線硬化樹脂を塗布する。そして、紫外線照射により、紫外線硬化樹脂を硬化させることより、図6Bに示すように、転写用フィルムシート10表面にカバー層61を成膜する。   Subsequently, by the method shown in FIGS. 3A and 3B, the transfer film sheet 10 is wound around the transfer film sheet 10 from the unwind roll 100 to the take-up roll 105, and UV-cured to a desired thickness on the surface of the transfer film sheet 10. Apply resin. Then, by curing the ultraviolet curable resin by ultraviolet irradiation, a cover layer 61 is formed on the surface of the transfer film sheet 10 as shown in FIG. 6B.

次に、カバー層61が形成された転写用フィルムシート10を、図4A,Bに示した巻き出しロール100として設置する。そして、図4A,Bにおいて示したように、巻き出しロール100から、巻き取りロール105に、カバー層61が成膜された転写用フィルムシート10を巻き取りながら、カップ付きロール101により、紫外線硬化樹脂を塗布する。そうすることにより、図6Cに示すように、紫外線硬化樹脂層からなるスペーサー層61aが形成される。
そして、その後、紫外線硬化樹脂層からなるスペーサー層61aが形成された転写用フィルムシート10は、ピットや案内溝を有するニッケルスタンパロール107の位置に送られる。ここでは、図7Dに示すように、光ディスク記録媒体の、第4の記録層L3成膜のための凹凸形状3aが形成されると共に、図4A,Bにおける光源103から紫外線が照射され、紫外線硬化樹脂層が硬化する。
このように、図4A,Bに示した方法において、スペーサー層61a及び、スペーサー層61a上に第4の記録層L3成膜のための凹凸形状3aが形成される。
Next, the transfer film sheet 10 on which the cover layer 61 is formed is installed as the unwinding roll 100 shown in FIGS. 4A and 4B. Then, as shown in FIGS. 4A and 4B, an ultraviolet curing is performed by the roll 101 with the cup while winding the transfer film sheet 10 on which the cover layer 61 is formed on the take-up roll 105 from the unwind roll 100. Apply resin. By doing so, as shown in FIG. 6C, a spacer layer 61a made of an ultraviolet curable resin layer is formed.
Thereafter, the transfer film sheet 10 on which the spacer layer 61a made of an ultraviolet curable resin layer is formed is sent to the position of the nickel stamper roll 107 having pits and guide grooves. Here, as shown in FIG. 7D, the concave-convex shape 3a for forming the fourth recording layer L3 of the optical disk recording medium is formed, and ultraviolet light is irradiated from the light source 103 in FIGS. The resin layer is cured.
As described above, in the method shown in FIGS. 4A and 4B, the uneven shape 3a for forming the fourth recording layer L3 is formed on the spacer layer 61a and the spacer layer 61a.

ところで、本実施形態例においては、カバー層61を形成した後に、スペーサー層61aを形成し、そのスペーサー層61a上に凹凸形状3aを形成する構成とした。これに限定されず、カバー層61を形成する工程において、カバー層61上に凹凸形状3aを形成する構成としてもよい。図1,及び図2に示す例においては、カバー層61上に凹凸形状を設ける構成が図示されている。その場合においては、カバー層61を、はじめから、図4A,Bに示す方法で成膜すればよい。なお、図4に示す概略断面構成では、スペーサー層61aを、カバー層61よりも厚く図示しているが、実際には、カバー層61の厚みが、およそ55μmなのに対して、スペーサー層61aは、1〜3μmに成膜されるものである。   By the way, in this embodiment, after the cover layer 61 is formed, the spacer layer 61a is formed, and the uneven shape 3a is formed on the spacer layer 61a. However, the present invention is not limited to this, and in the step of forming the cover layer 61, the uneven shape 3 a may be formed on the cover layer 61. In the example shown in FIGS. 1 and 2, a configuration in which an uneven shape is provided on the cover layer 61 is illustrated. In that case, the cover layer 61 may be formed from the beginning by the method shown in FIGS. 4A and 4B. In the schematic cross-sectional configuration shown in FIG. 4, the spacer layer 61 a is shown to be thicker than the cover layer 61, but actually the thickness of the cover layer 61 is approximately 55 μm, whereas the spacer layer 61 a The film is formed to 1 to 3 μm.

次に、スペーサー層61a上に凹凸形状3aが付与された転写用フィルムシート10を、図示しないスパッタ装置に搬入し、図7Eに示すように、第4の記録層L3を成膜する。本実施形態例において、第4の記録層L3は、本実施形態例で成膜される記録層のうち、もっとも、光透過率の高い記録層である。第4の記録層L3の成膜は、図2で示したように、第2の誘電膜45、記録膜44、第1の誘電膜43、反射膜42の順に連続的に真空中でなされる。そして、それらの積層膜により、第4の記録層L3が形成される。また、このスパッタ法においては、第2の誘電膜45、記録膜44、第1の誘電膜43、反射膜42の成膜は、マスクを用いることにより、例えば、一つの光ディスク記録媒体に対しては、中心部から直径40mm〜118mmの範囲に形成される。   Next, the transfer film sheet 10 provided with the uneven shape 3a on the spacer layer 61a is carried into a sputtering apparatus (not shown), and a fourth recording layer L3 is formed as shown in FIG. 7E. In the present embodiment example, the fourth recording layer L3 is the recording layer having the highest light transmittance among the recording layers formed in the present embodiment example. As shown in FIG. 2, the fourth recording layer L3 is formed in the order of the second dielectric film 45, the recording film 44, the first dielectric film 43, and the reflective film 42 in a vacuum. . Then, the fourth recording layer L3 is formed by these laminated films. In this sputtering method, the second dielectric film 45, the recording film 44, the first dielectric film 43, and the reflective film 42 are formed on a single optical disk recording medium by using a mask, for example. Is formed in the range of 40 mm to 118 mm in diameter from the center.

次に、再び、第4の記録層L4が形成された転写用フィルムシート10を、図4A、Bに示す巻き出しロール100として、巻き取りロール105に巻き取りながら、カップ付きロール101により、スペーサー層53となる紫外線硬化樹脂を塗布する。これにより、図7Fに示すように、第4の記録層L3上に、スペーサー層53が成膜される。   Next, the transfer film sheet 10 on which the fourth recording layer L4 is formed is again wound around the take-up roll 105 as the unwind roll 100 shown in FIGS. An ultraviolet curable resin to be the layer 53 is applied. As a result, as shown in FIG. 7F, the spacer layer 53 is formed on the fourth recording layer L3.

そして、その後、紫外線硬化樹脂からなるスペーサー層53が形成された転写用フィルムシート10は、図4A,Bに示す、ピットや案内溝を有するニッケルスタンパロール107の位置に送られる。ここにおいて、図8Gに示すように、光ディスク記録媒体の、第3の記録層L2の成膜のための凹凸形状53aが、スペーサー層53上に形成されると共に、図4A,Bにおける光源103から、紫外線が照射され、紫外線硬化樹脂層からなるスペーサー層53が硬化する。ここで、本実施形態例では、前段において、スペーサー層53よりも紫外線照射側に、第4の記録層L3が形成されているが、第4の記録層L3は、光源103の光をスペーサー層53に透過させるものである。このため、転写用フィルムシート10裏面側からの紫外線照射によっても、スペーサー層53に、所望の凹凸形状53aが形成される。
これにより、図8Gに示すように、スペーサー層61a及び、スペーサー層53上に第3の記録層L2の成膜のための凹凸形状53aが形成される。
Then, the transfer film sheet 10 on which the spacer layer 53 made of an ultraviolet curable resin is formed is sent to the position of the nickel stamper roll 107 having pits and guide grooves shown in FIGS. 4A and 4B. Here, as shown in FIG. 8G, an uneven shape 53a for forming the third recording layer L2 of the optical disk recording medium is formed on the spacer layer 53, and from the light source 103 in FIGS. 4A and 4B. The spacer layer 53 made of an ultraviolet curable resin layer is cured by being irradiated with ultraviolet rays. Here, in the present embodiment example, the fourth recording layer L3 is formed on the ultraviolet irradiation side with respect to the spacer layer 53 in the previous stage, but the fourth recording layer L3 transmits the light from the light source 103 to the spacer layer. 53 is transmitted through. For this reason, the desired uneven | corrugated shape 53a is formed in the spacer layer 53 also by the ultraviolet irradiation from the back side of the transfer film sheet 10.
As a result, as shown in FIG. 8G, an uneven shape 53 a for forming the third recording layer L 2 is formed on the spacer layer 61 a and the spacer layer 53.

次に、スペーサー層53上に凹凸形状53aが付与された転写用フィルムシート10を、スパッタ装置に搬入し、図8Hに示すように、第3の記録層L2を成膜する。本実施形態例において、第3の記録層L2は、本実施形態例で成膜される記録層のうち、2番目に光透過率の高い記録層である。第3の記録層L2の成膜は、図2で示したように、第2の誘電膜35、記録膜34、第1の誘電膜33、反射膜32の順に連続的に真空中でなされる。そして、それらの積層膜により、第3の記録層L2が形成される。また、このスパッタ法においては、第2の誘電膜35、記録膜34、第1の誘電膜33、反射膜32の成膜は、マスクを用いることにより、例えば、一つの光ディスク記録媒体に対しては、中心部から直径40mm〜118mmの範囲に形成される。   Next, the transfer film sheet 10 provided with the uneven shape 53a on the spacer layer 53 is carried into a sputtering apparatus, and a third recording layer L2 is formed as shown in FIG. 8H. In the present embodiment example, the third recording layer L2 is the recording layer having the second highest light transmittance among the recording layers formed in the present embodiment example. As shown in FIG. 2, the third recording layer L2 is formed in vacuum in the order of the second dielectric film 35, the recording film 34, the first dielectric film 33, and the reflective film 32. . Then, the third recording layer L2 is formed by these laminated films. In this sputtering method, the second dielectric film 35, the recording film 34, the first dielectric film 33, and the reflective film 32 are formed on a single optical disk recording medium by using a mask, for example. Is formed in the range of 40 mm to 118 mm in diameter from the center.

次に、再び、第3の記録層L2が形成された転写用フィルムシート10を、図4A,Bに示す巻き出しロール100として、巻き取りロール105に巻き取りながら、カップ付きロール101により、スペーサー層52となる紫外線硬化樹脂を塗布する。こうすることにより、図8Iに示すように、第3の記録層L2上に、スペーサー層52が形成される。
そして、その後、紫外線硬化樹脂からなるスペーサー層52が形成された転写用フィルムシート10は、図4に示す、ピットや案内溝を有するニッケルスタンパロール107の位置に送られる。ここにおいて、光ディスク記録媒体の、スペーサー層52上に、第2の記録層L1成膜のための凹凸形状52aが形成されると共に、図4A,Bにおける光源103から紫外線が照射され、紫外線硬化樹脂からなるスペーサー層52が硬化する。ここで、本実施形態例では、前段において、スペーサー層52よりも光照射側に、第4の記録層L3及び第3の記録層L2が形成されているが、第4の記録層L3及び第3の記録層L2は、光源103から照射される紫外線光をスペーサー層52に透過するものである。このため、転写用フィルムシート10裏面側からの紫外線照射によっても、スペーサー層52に、所望の凹凸形状52aが形成される。
これにより、図9Jに示すように、スペーサー層52に、第2の記録層L1の成膜のための凹凸形状52aが形成される。
Next, the transfer film sheet 10 on which the third recording layer L2 is formed is again wound around the take-up roll 105 as the unwind roll 100 shown in FIGS. An ultraviolet curable resin to be the layer 52 is applied. As a result, as shown in FIG. 8I, the spacer layer 52 is formed on the third recording layer L2.
Then, the transfer film sheet 10 on which the spacer layer 52 made of an ultraviolet curable resin is formed is sent to the position of the nickel stamper roll 107 having pits and guide grooves shown in FIG. Here, an uneven shape 52a for forming the second recording layer L1 is formed on the spacer layer 52 of the optical disk recording medium, and ultraviolet rays are irradiated from the light source 103 in FIGS. The spacer layer 52 made of is cured. Here, in the present embodiment example, the fourth recording layer L3 and the third recording layer L2 are formed on the light irradiation side with respect to the spacer layer 52 in the previous stage, but the fourth recording layer L3 and the third recording layer L2 are formed. The third recording layer L 2 transmits ultraviolet light emitted from the light source 103 to the spacer layer 52. For this reason, the desired uneven | corrugated shape 52a is formed in the spacer layer 52 also by ultraviolet irradiation from the back side of the transfer film sheet 10.
As a result, as shown in FIG. 9J, a concavo-convex shape 52a for forming the second recording layer L1 is formed in the spacer layer 52.

次に、スペーサー層52上に凹凸形状52aが付与された転写用フィルムシート10を、スパッタ装置に搬入し、図9Kに示すように、第2の記録層L1を成膜する。本実施形態例において、第2の記録層L1は、本実施形態例で成膜される記録層のうち、3番目に光透過率の高い記録層である。第2の記録層L1の成膜は、図2で示したように、第2の誘電膜25、記録膜24、第1の誘電膜23、反射膜22の順に連続的に真空中でなされる。そして、それらの積層膜により、第2の記録層L1が形成される。また、このスパッタ法においては、第2の誘電膜25、記録膜24、第1の誘電膜23、反射膜22の成膜は、マスクを用いることにより、例えば、一つの光ディスク記録媒体に対しては、中心部から直径40mm〜118mmの範囲に形成される。   Next, the transfer film sheet 10 provided with the uneven shape 52a on the spacer layer 52 is carried into a sputtering apparatus, and a second recording layer L1 is formed as shown in FIG. 9K. In the present embodiment example, the second recording layer L1 is the recording layer having the third highest light transmittance among the recording layers formed in the present embodiment example. As shown in FIG. 2, the second recording layer L1 is formed in the order of the second dielectric film 25, the recording film 24, the first dielectric film 23, and the reflective film 22 in a vacuum. . Then, the second recording layer L1 is formed by these laminated films. In this sputtering method, the second dielectric film 25, the recording film 24, the first dielectric film 23, and the reflective film 22 are formed on a single optical disk recording medium by using a mask, for example. Is formed in the range of 40 mm to 118 mm in diameter from the center.

続いて、第2の記録層L1が形成された転写用フィルムシート10を、図4A,Bに示す巻き出しロール100として、巻き取りロール105に巻き取りながら、カップ付きロール101により、スペーサー層51の半分の厚さとなる紫外線硬化樹脂層51aを形成する。このとき、光源からの紫外線照射はしない。そうすることにより、第2の記録層L1上に、未硬化の紫外線硬化樹脂層が形成される。   Subsequently, the transfer film sheet 10 on which the second recording layer L1 is formed is wound around the take-up roll 105 as the unwind roll 100 shown in FIGS. An ultraviolet curable resin layer 51a having a half thickness is formed. At this time, ultraviolet irradiation from the light source is not performed. By doing so, an uncured ultraviolet curable resin layer is formed on the second recording layer L1.

以上の工程により、転写用フィルムシート10上には、第2〜第4の記録層L1〜L3を有する積層膜が形成される。本実施形態例においては、記録層のうち、光透過率の高い順に、転写用フィルムシート10上に形成することにより、転写用フィルムシート10裏面側から照射される紫外線を、所望のスペーサー層となる紫外線硬化樹脂層に、効率良く到達させることができる。これにより、効率良く紫外線硬化樹脂層を硬化させることができる。   Through the above steps, a laminated film having the second to fourth recording layers L1 to L3 is formed on the transfer film sheet 10. In this embodiment, by forming the recording layer on the transfer film sheet 10 in descending order of light transmittance, ultraviolet rays irradiated from the back side of the transfer film sheet 10 are changed to a desired spacer layer. The resulting UV curable resin layer can be efficiently reached. Thereby, an ultraviolet curable resin layer can be hardened efficiently.

ところで、以上の工程により形成された記録層L1〜L3は、転写用フィルムシート10が巻き出しロール100から巻き取りロール105に巻き取られる過程において、連続して形成されたものである。したがって、1つ1つの光ディスク記録媒体とするためには、転写用フィルムシート10から個々に分離して剥離する必要がある。   By the way, the recording layers L1 to L3 formed by the above steps are continuously formed in the process in which the transfer film sheet 10 is wound from the winding roll 100 to the winding roll 105. Therefore, in order to make each optical disk recording medium, it is necessary to separate and peel from the transfer film sheet 10 individually.

図12A,Bに、本実施形態例において、転写用フィルムシート10から、記録層やスペーサー層を有する積層膜を剥離するときに用いられる切り欠き部を形成する工程における概略平面構成、及びその断面構成を示す。   12A and 12B, in this embodiment, a schematic plan configuration in a step of forming a cutout portion used when peeling a laminated film having a recording layer and a spacer layer from the transfer film sheet 10, and a cross section thereof. The configuration is shown.

積層膜が形成された転写用フィルムシート10が、図示しない、巻き出しロールと巻き取りロールに引張支持され、転写用フィルムシート10上面には、切り欠き部を形成するためのロールカッター109が設置されている。このロールカッター109は、ロール状の台座109bに、図示されない内周刃と、外周刃109aが埋め込まれて形成されている。このロールカッター109が回転することにより、内周刃と外周刃109aが、積層膜に押圧される。これにより、図10Pに示すように、切り欠き部91,92が形成される。内周刃により、直径φ15mm以上の位置に切り欠き部91が形成され、外周刃109aにより、直径φ120mm未満の位置に切り欠き部92が形成される構成とされている。
図12A,Bにおいては、巻き出しロール及び巻き取りロールの図示は省略されているが、ここにおいても、巻き出しロールと巻き取りロール間で、積層膜が形成された転写用フィルムシート10を移動させながら、連続的に、切り欠き部91,92を形成することができる。
The transfer film sheet 10 on which the laminated film is formed is pulled and supported by an unwinding roll and a take-up roll (not shown), and a roll cutter 109 for forming a notch is installed on the upper surface of the transfer film sheet 10. Has been. The roll cutter 109 is formed by embedding an inner peripheral blade (not shown) and an outer peripheral blade 109a in a roll-shaped base 109b. By rotating the roll cutter 109, the inner peripheral blade and the outer peripheral blade 109a are pressed against the laminated film. Thereby, as shown to FIG. 10P, the notch parts 91 and 92 are formed. The notch 91 is formed at a position having a diameter of 15 mm or more by the inner peripheral blade, and the notch 92 is formed at a position having a diameter of less than 120 mm by the outer blade 109a.
In FIGS. 12A and 12B, illustration of the unwinding roll and the winding roll is omitted, but also here, the transfer film sheet 10 on which the laminated film is formed is moved between the unwinding roll and the winding roll. Thus, the notches 91 and 92 can be formed continuously.

ところで、この直径約15mmの範囲は、光ディスク記録媒体における最内周部に対応し、また、直径約120mm未満は、光ディスク記録媒体における最外周部に対応するものである。   By the way, the range of about 15 mm in diameter corresponds to the innermost periphery of the optical disk recording medium, and the diameter less than about 120 mm corresponds to the outermost periphery of the optical disk recording medium.

図15に、例えば、BDの追記型・書換え型・再生専用型の記録層のレイアウトを示す。光ディスク記録媒体の構造は、大きく分けて、BCA(Burst Cutting Area)111、リードインゾーン(Lead-in Zone)112、データ領域113、リードアウトゾーン(Lead-out Zone)114、アウターゾーン(Outer-Zone)115に分かれている。BDのように、多層の記録層を有する光ディスク記録媒体の場合、第1の記録層L0以降の構造は、BCA111を除いて同様のレイアウトとなる。このため、本実施形態例では、第2〜第4の記録層L1〜L3の構造は同様のレイアウトである。   FIG. 15 shows a layout of a recording layer of, for example, a BD write-once type, rewritable type and read-only type. The structure of the optical disk recording medium is roughly divided into a BCA (Burst Cutting Area) 111, a lead-in zone 112, a data area 113, a lead-out zone 114, an outer zone (Outer- Zone) 115. In the case of an optical disc recording medium having multiple recording layers like BD, the structure after the first recording layer L0 has the same layout except for BCA111. For this reason, in the present embodiment example, the structures of the second to fourth recording layers L1 to L3 have the same layout.

本実施形態例では、内周刃は、光ディスク記録媒体において、BCA111よりも内側に来るように構成され、外周刃109aは、光ディスク記録媒体において、リードアウトゾーン114よりも外側に来るように構成されるものである。すなわち、最内周部の切り欠き部91は、直径約20mm〜40mm、好ましくは、24mm〜35mmの範囲で形成されることがより好ましく、また、最外周部の切り欠き部92は直径119mm〜119.5mmの範囲で形成されることがより好ましい。   In the present embodiment, the inner peripheral blade is configured to be inside the BCA 111 in the optical disc recording medium, and the outer peripheral blade 109a is configured to be outside the lead-out zone 114 in the optical disc recording medium. Is. That is, the innermost notch 91 has a diameter of about 20 mm to 40 mm, preferably 24 mm to 35 mm, and the outermost notch 92 has a diameter of 119 mm to 119 mm. More preferably, it is formed in a range of 119.5 mm.

また、この切り欠き部91,92は、転写用フィルムシート10を貫通しない深さであり、剥離転写可能な深さに形成される。本実施形態例では、例えば、図10Pに示すように、転写用フィルムシート10直上まで、切り欠き部91,92を形成する構成とした。   Further, the notches 91 and 92 have a depth that does not penetrate the transfer film sheet 10 and are formed to a depth at which peeling and transfer are possible. In this embodiment, for example, as shown in FIG. 10P, the notches 91 and 92 are formed up to just above the transfer film sheet 10.

切り欠き部91,92は、その断面に、光ディスク記録媒体の第2〜第4の記録層L1〜L3等の各膜を有していないことが重要である。
すなわち、光ディスク記録媒体の記録膜を構成する相変化記録材料が、切り欠き部91,92の断面に露出せずに、構造体としての紫外線硬化樹脂で被覆され続けている。これにより、高温高湿環境にさらされても、低温環境に保持されても、長期にわたって良好な記録特性を補償することになる。本実施形態例においては、第2〜第4の記録層L1〜L3が直径40mm〜118mmの範囲に形成されている。そして、切り欠き部91を直径118mmよりも外側に、切り欠き部92を直径40mmよりも内側に形成することにより、切り欠き部91,92の断面に、第2〜第4の記録層L1〜L3が露出されない。
It is important that the notches 91 and 92 do not have each film such as the second to fourth recording layers L1 to L3 of the optical disk recording medium in the cross section.
That is, the phase change recording material constituting the recording film of the optical disk recording medium is not covered with the cross section of the notches 91 and 92 and is continuously covered with the ultraviolet curable resin as the structure. This compensates for good recording characteristics over a long period of time whether exposed to a high temperature and high humidity environment or maintained in a low temperature environment. In the present embodiment, the second to fourth recording layers L1 to L3 are formed in a diameter range of 40 mm to 118 mm. Then, by forming the notch portion 91 outside the diameter 118 mm and the notch portion 92 inside the diameter 40 mm, the second to fourth recording layers L1 to L2 are formed in the cross section of the notches 91 and 92. L3 is not exposed.

本実施形態例においては、ロールカッター109で連続的に切り欠き部91,92を形成する構成としたが、例えば、図14に示すような、平面状のカッターを用いることもできる。図14Aは、平面状のカッター300の概略平面構成を示し、図14Bに、図14AのA−A線上に沿う断面構成を示す。図14A,Bに示すように、このカッター300は、円盤状の台座301に、内周刃303と、外周刃304が埋設されて形成されている。また、円盤状の台座301の中心部には、開口部302が形成されており、例えば切り欠き部形成時の位置合わせに用いられる。内周刃303、外周刃304は、焼き入れされた鋼鉄製であり、端面がナイフエッジ化されている。また、台座301は、例えば、金属製、若しくはプラスチック製で形成されている。
そして、このような、平面状のカッター300を用いる場合には、巻き出しロールから巻き取りロールに巻き取られる積層膜を有する転写用フィルムシート10移動を非連続的にし、静止した状態において、位置合わせし、カッター300を押圧することで、切り欠き部91,92を形成することができる。これにより、切り欠き部91,92が精度良く形成され、断面の形状が改善される。
また、切り欠き部91,92を形成することにより、エッジ部が平坦に為される。
In the present embodiment, the cut-out portions 91 and 92 are continuously formed by the roll cutter 109. However, for example, a flat cutter as shown in FIG. 14 may be used. FIG. 14A shows a schematic plan configuration of a planar cutter 300, and FIG. 14B shows a cross-sectional configuration along the line AA in FIG. 14A. As shown in FIGS. 14A and 14B, this cutter 300 is formed by embedding an inner peripheral blade 303 and an outer peripheral blade 304 in a disc-shaped base 301. In addition, an opening 302 is formed at the center of the disc-shaped pedestal 301, and is used, for example, for alignment when forming a notch. The inner peripheral blade 303 and the outer peripheral blade 304 are made of hardened steel, and the end surfaces are formed into knife edges. The pedestal 301 is made of, for example, metal or plastic.
When such a flat cutter 300 is used, the transfer film sheet 10 having the laminated film wound up from the unwinding roll to the winding roll is discontinuously moved, and in a stationary state, By aligning and pressing the cutter 300, the notches 91 and 92 can be formed. Thereby, the notches 91 and 92 are accurately formed, and the cross-sectional shape is improved.
Further, by forming the cutout portions 91 and 92, the edge portion is made flat.

次に、転写工程にうつる。
まず、図10Qに示すように、射出形成により、凹凸形状5が付与され、中心部に直径約15mmの中心孔4が形成された成形樹脂基板1を用意する。この凹凸形状5は、後に貼り合わせる第2〜第4の記録層L1,L2,L3の凹凸形状53a,52a,3aと同一方向であることが求められる。この成形樹脂基板1は、厚さ1.1mm、直径φ120mmのポリカーボネート、ゼオノア、ゼオネックスなど、成形可能で光透過性が高く、吸水性の小さい材料が好ましい。
Next, the transfer process is performed.
First, as shown in FIG. 10Q, a molded resin substrate 1 is prepared in which a concavo-convex shape 5 is imparted by injection molding and a center hole 4 having a diameter of about 15 mm is formed in the center. The uneven shape 5 is required to be in the same direction as the uneven shapes 53a, 52a, 3a of the second to fourth recording layers L1, L2, L3 to be bonded later. The molded resin substrate 1 is preferably made of a material that can be molded, has high light transmittance, and has low water absorption, such as polycarbonate, ZEONOR, and ZEONEX having a thickness of 1.1 mm and a diameter of 120 mm.

次に、図10Rに示すように、凹凸形状5が付与された成形樹脂基板1を、スパッタ装置に搬入し、第1の記録層L0を成膜する。第1の記録層L0の成膜は、第2の誘電膜15、記録膜14、第1の誘電膜13、反射膜12の順に連続的に真空中でなされる。これにより、積層膜からなる、第1の記録層L0が形成される。本実施形態例では、成形樹脂基板1側に、第1の記録層L0を形成することにより、転写用フィルムシート10側に、第1の記録層L0用の凹凸形状5を形成する工程を削減することができる。   Next, as shown in FIG. 10R, the molded resin substrate 1 provided with the uneven shape 5 is carried into a sputtering apparatus, and a first recording layer L0 is formed. The first recording layer L0 is formed in vacuum in the order of the second dielectric film 15, the recording film 14, the first dielectric film 13, and the reflective film 12. Thereby, the first recording layer L0 made of a laminated film is formed. In the present embodiment example, by forming the first recording layer L0 on the molded resin substrate 1 side, the process of forming the uneven shape 5 for the first recording layer L0 on the transfer film sheet 10 side is reduced. can do.

次に、図10Sに示すように、転写用フィルムシート10上に形成された積層膜との貼り合わせを目的として、第1の記録層L0上に、紫外線硬化樹脂からなるスペーサー層51bが、所定の厚さ、すなわち、完成品におけるスペーサー層51の、およそ半分の厚さで塗布、形成される。スペーサー層51bは、紫外線硬化樹脂をスピンコート法により、第1の記録層L0上に塗布して成膜される。本実施形態例では、スピンコート法において、成形樹脂基板1の中央部を原点としたときに、スペーサー層51bとなる紫外線硬化樹脂は、ディスペンサーを介して半径15mm位置に適量供給される。このとき、図示しない、スピンコート装置の回転部は、該紫外線硬化樹脂が供給されている間は、例えば60rpmの低速で回転される。そして、紫外線硬化樹脂の供給は、5〜10秒後に完了され、回転部が8000rpmと加速されて5秒後に停止される。これにより、第1の記録層L0上に、所望の厚さ、例えば9μmの厚さに塗布された未硬化のスペーサー層51bが成膜される。   Next, as shown in FIG. 10S, for the purpose of bonding with the laminated film formed on the transfer film sheet 10, a spacer layer 51b made of an ultraviolet curable resin is formed on the first recording layer L0. Of the spacer layer 51 in the finished product, ie, approximately half the thickness. The spacer layer 51b is formed by applying an ultraviolet curable resin on the first recording layer L0 by spin coating. In the present embodiment, in the spin coating method, when the central portion of the molded resin substrate 1 is the origin, an appropriate amount of the ultraviolet curable resin that becomes the spacer layer 51b is supplied to the position of the radius of 15 mm via the dispenser. At this time, the rotating part of the spin coater (not shown) is rotated at a low speed of 60 rpm, for example, while the ultraviolet curable resin is supplied. Then, the supply of the ultraviolet curable resin is completed after 5 to 10 seconds, and the rotating portion is accelerated to 8000 rpm and stopped after 5 seconds. As a result, an uncured spacer layer 51b applied to a desired thickness, for example, 9 μm, is formed on the first recording layer L0.

次に、転写用フィルムシート10上に形成された積層膜を、成形樹脂基板1上に転写させる。図13A,Bに、転写工程を示す概略平面構成、及びその断面構成を示す。転写用フィルムシート10上の未硬化のスペーサー層51aに、成形樹脂基板1上の未硬化のスペーサー層51bを接合させる。このとき、切り欠き部91,92の位置が、それぞれ、成型用樹脂基板1の最内周部と、最外周部と一致するように、位置合わせがなされる。そして、接合された状態において、転写用フィルムシート10の裏面側から円錐状の加圧パッド110で加圧すると同時に、成形樹脂基板1側に設置された光源103から紫外線を照射することにより、未硬化のスペーサー層51a,51bが硬化される。そして、成形樹脂基板1を転写用フィルムシート10側から剥離することにより、図11Tに示すように、第2〜第4記録層L1〜L3を有する積層膜が、個々に分離され、成形樹脂基板1上に転写される。   Next, the laminated film formed on the transfer film sheet 10 is transferred onto the molded resin substrate 1. 13A and 13B show a schematic plan configuration showing the transfer process and a cross-sectional configuration thereof. The uncured spacer layer 51b on the molded resin substrate 1 is joined to the uncured spacer layer 51a on the transfer film sheet 10. At this time, alignment is performed so that the positions of the notches 91 and 92 coincide with the innermost peripheral portion and the outermost peripheral portion of the molding resin substrate 1, respectively. In the joined state, the pressure is applied from the back surface side of the transfer film sheet 10 with the conical pressure pad 110, and at the same time, the ultraviolet light is irradiated from the light source 103 installed on the molded resin substrate 1 side, The cured spacer layers 51a and 51b are cured. Then, by peeling the molded resin substrate 1 from the transfer film sheet 10 side, as shown in FIG. 11T, the laminated films having the second to fourth recording layers L1 to L3 are individually separated, and the molded resin substrate 1 is transferred.

本実施形態例においては、記録層等の積層膜が形成された転写用フィルムシート10を、図示しない、巻き出しロールから巻き取りロールに巻き取りながら、連続的に、転写、剥離工程を経ることができる。そして、この転写、剥離工程により、連続して、第1〜第4の記録層L0〜L3が形成された成形樹脂基板1を形成することができる。   In this embodiment, the transfer film sheet 10 on which a laminated film such as a recording layer is formed is continuously transferred and peeled while being wound from a winding roll (not shown) to a winding roll. Can do. Then, the molded resin substrate 1 on which the first to fourth recording layers L0 to L3 are continuously formed can be formed by this transfer and peeling process.

最後に、図11Uに示すように、紫外線硬化樹脂を主成分とするハードコート材を、成形樹脂基板1上の多層の積層膜に、スピンコート法で塗布し、その後、紫外線を照射して硬化させる。これによって、第2の記録層L1から第4の記録層L3までの多層膜およびカバー層61の剥離用の端面が、硬化したハードコート層71からなる保護層で保護される。そして、ここにおいて、多層の光ディスク記録媒体が完成する。   Finally, as shown in FIG. 11U, a hard coat material mainly composed of an ultraviolet curable resin is applied to the multilayer laminated film on the molded resin substrate 1 by a spin coating method, and then cured by irradiation with ultraviolet rays. Let As a result, the multilayer film from the second recording layer L1 to the fourth recording layer L3 and the end face for peeling off the cover layer 61 are protected by the protective layer made of the hard coat layer 71 that has been cured. Here, a multilayer optical disk recording medium is completed.

多層の光ディスク記録媒体を製造する際に、読み取り側の最表面からの再生信号の光強度は入射光の数パーセントが求められるが、多層になればなるほど読み出し側から見て最奥にある記録層からの信号量を増やすために、反射率は大きくすることが求められる。また、各層は読み取り側での最表面に達する光量は、ほぼ同一となるように設計される。このため、従来の方法のように、光透過率の低い、例えば、第1の記録層から積層させる方法では、ニッケルスタンパで凹凸形状を転写し、裏面側からの紫外線で硬化させる場合、光透過率の低い側からの紫外線照射がなされる。したがって、従来の方法にニッケルスタンパを用いる場合には、その光透過率の低さゆえの効率の悪さがあった。   When manufacturing a multilayer optical disk recording medium, the light intensity of the reproduction signal from the outermost surface on the reading side is required to be several percent of incident light, but the recording layer that is farthest from the reading side as the number of layers increases In order to increase the amount of signal from, it is required to increase the reflectance. Each layer is designed so that the amount of light reaching the outermost surface on the reading side is substantially the same. For this reason, in the method of laminating from the first recording layer as in the conventional method, for example, when the concave and convex shape is transferred with a nickel stamper and cured with ultraviolet rays from the back side, the light transmission Ultraviolet rays are irradiated from the low rate side. Therefore, when a nickel stamper is used in the conventional method, the efficiency is low due to the low light transmittance.

本実施形態例では、光透過率の高い記録層、すなわち、本実施形態例では、第4の記録層L3側、すなわち、構成の高透過率側から、転写用フィルムシート10表面に形成するので、転写用フィルムシート10裏面側から効率よく紫外線硬化させることが可能となる。このため、転写用フィルムシート10裏面側から光照射が可能となるので、ニッケルスタンパを用いることができる。そして、従来用いられていた1度しか用いることができない透明な樹脂スタンパでは無く、繰り返し使用可能なニッケルスタンパを用いることができるので、スタンパ工程において、コストを低減化することができる。また、本実施形態例では、ニッケルスタンパを用いても、効率良く凹凸形状を転写することができる等、記録層の設計の自由度が大きく、かつプロセス整合性良く、経時変化にも強く、高品質に製造することができる。   In the present embodiment example, the recording layer is formed on the surface of the transfer film sheet 10 from the recording layer having a high light transmittance, that is, in the present embodiment example, from the fourth recording layer L3 side, that is, the high transmittance side of the configuration. It is possible to efficiently cure the ultraviolet rays from the back side of the transfer film sheet 10. For this reason, since light irradiation is possible from the back side of the transfer film sheet 10, a nickel stamper can be used. Since a nickel stamper that can be used repeatedly can be used instead of the transparent resin stamper that can be used only once, the cost can be reduced in the stamper process. Further, in this embodiment, the recording layer can be efficiently transferred even if a nickel stamper is used. Can be manufactured to quality.

また、ニッケルスタンパは、繰り返し使用可能であるため、本実施形態例のように、巻き出しロール100から巻き取りロール105に、転写用フィルムシート10を巻き取りながら移動させる過程において、連続的に凹凸形状を形成することができる。このため、生産性も向上され、さらにコストを低減することができる。   Further, since the nickel stamper can be used repeatedly, in the process of moving the transfer film sheet 10 from the unwinding roll 100 to the winding roll 105 as in the present embodiment, it is continuously uneven. A shape can be formed. For this reason, productivity is also improved and cost can be further reduced.

本実施形態例においては、第1の記録層L0を、成形樹脂基板1に形成し、その後、第2の記録層L1〜第4の記録層L3が形成された転写用フィルムシート10と接合させる構成とした。本実施形態例はこれに限定されるものではなく、第1の記録層L0を、第2の記録層L1の形成に引き続き、転写用フィルムシート10側に形成する例としてもよい。この場合においては、成形樹脂基板1上に、転写時の接合に用いる為の未硬化のスペーサー層のみを形成し、第1〜第4の記録層L0〜L4が形成された転写用フィルムシート10上の積層膜を、成形樹脂基板1に転写すればよい。   In this embodiment, the first recording layer L0 is formed on the molded resin substrate 1, and then joined to the transfer film sheet 10 on which the second recording layer L1 to the fourth recording layer L3 are formed. The configuration. The present embodiment is not limited to this, and the first recording layer L0 may be formed on the transfer film sheet 10 side following the formation of the second recording layer L1. In this case, only the uncured spacer layer for use in bonding during transfer is formed on the molded resin substrate 1, and the transfer film sheet 10 in which the first to fourth recording layers L0 to L4 are formed. The upper laminated film may be transferred to the molded resin substrate 1.

さらに、本実施形態例では、巻き出しロール100と巻き取りロール105を各積層膜に分離したが、全工程をインライン型にしてひとつの流れで作成することも可能である。   Furthermore, in this embodiment, the unwinding roll 100 and the winding roll 105 are separated into the respective laminated films, but it is also possible to make all the processes in-line and produce them in one flow.

[第2の実施形態]
図16A,Bに、本発明の第2の実施形態における、スタンパ工程に用いられる装置の一例を示す概略平面構成及び、その断面構成を示す。図16A,Bは、図4A,Bと、ニッケルスタンパの構成が異なるものである。図16A,Bにおいて、図4A,Bと対応する部分には同一符号を付し、重複説明を省略する。
[Second Embodiment]
16A and 16B show a schematic plan configuration showing an example of an apparatus used in the stamper process and a cross-sectional configuration thereof in the second embodiment of the present invention. 16A and 16B are different from FIGS. 4A and 4B in the configuration of the nickel stamper. 16A and 16B, parts corresponding to those in FIGS. 4A and 4B are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

本実施形態例においては、転写用フィルムシート10上に設置されたカップ付きロール101よりも、巻き取りロール100側の、転写用フィルムシート10上に、ニッケルスタンパ112が構成されている。そして、本実施形態例では、巻き出しロール100から、巻き取りロール105に、非連続的に転写用フィルムシート10を巻き出し、転写用フィルムシート10が静止した状態において、ニッケルスタンパ112を、転写用フィルムシート10上に形成された紫外線硬化樹脂層106に押圧する。そうすることにより、紫外線硬化樹脂層106上面には、所望の凹凸形状106aが転写される。   In this embodiment, a nickel stamper 112 is formed on the transfer film sheet 10 on the side of the take-up roll 100 with respect to the roll 101 with a cup installed on the transfer film sheet 10. In this embodiment, the transfer film sheet 10 is unwound from the unwind roll 100 to the take-up roll 105, and the nickel stamper 112 is transferred while the transfer film sheet 10 is stationary. The ultraviolet curable resin layer 106 formed on the film sheet 10 is pressed. By doing so, a desired concavo-convex shape 106 a is transferred onto the upper surface of the ultraviolet curable resin layer 106.

本実施形態例においては、静止した状態において、ニッケルスタンパ112を紫外線樹脂層106に押圧するので、凹凸形状106aの転写精度が向上される。   In this embodiment, since the nickel stamper 112 is pressed against the ultraviolet resin layer 106 in a stationary state, the transfer accuracy of the uneven shape 106a is improved.

本実施形態例においても、図16A,Bに示すスタンパ工程を用いて、第1の実施形態例と同様の工程により、光ディスク記録媒体を形成することができる。また、本実施形態例においても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。   Also in the present embodiment example, an optical disk recording medium can be formed by the same process as in the first embodiment using the stamper process shown in FIGS. 16A and 16B. Also in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

本発明は、4層の光ディスク記録媒体の製造方法として説明したが、記録層は3層でも、5層以上でも本発明が有効であることは自明である。   Although the present invention has been described as a method for producing a four-layer optical disc recording medium, it is obvious that the present invention is effective when there are three or more recording layers.

また、本発明は、追記型記録媒体に限定されるものではなく、書き換え型、読み取り専用型の光ディスク記録媒体の製造方法にも適用可能である。   The present invention is not limited to the write-once recording medium, and can also be applied to a method for manufacturing a rewritable or read-only optical disk recording medium.

本発明の、多層の光ディスク記録媒体の製造プロセスは、透明スタンパの使用を廃して、数万回以上の繰り返し利用可能なニッケルスタンパを採用するに当たって、基板裏面からの紫外線照射を可能とする製造方法として、各記録層の透過率の高い層からの紫外線照射と硬化の工程を提案し、かつ、長時間使用可能な工程として大幅なコストダウンプロセスとして利用することが出来る。   The manufacturing process of the multilayer optical disk recording medium of the present invention eliminates the use of a transparent stamper, and employs a nickel stamper that can be repeatedly used tens of thousands of times or more. As a process that can be used for a long period of time, it can be used as a process that can be used for a long time.

本発明の第1及び第2の実施形態で形成される光ディスク記録媒体の要部の概略断面構成図(その1)である。It is a schematic sectional block diagram (the 1) of the principal part of the optical disk recording medium formed in the 1st and 2nd embodiment of this invention. 本発明の第1及び第2の実施形態で形成される光ディスク記録媒体の要部の概略断面構成図(その2)である。It is a schematic sectional block diagram (the 2) of the principal part of the optical disk recording medium formed in the 1st and 2nd embodiment of this invention. A,B 本発明の第1の実施形態の成膜工程を示す概略平面構成図、及びその断面構成図である。FIGS. 2A and 2B are a schematic plan configuration diagram showing a film forming process of the first embodiment of the present invention and a cross-sectional configuration diagram thereof. FIGS. A,B 本発明の第1の実施形態のスタンパ工程を示す概略平面構成図、及びその断面構成図である。FIGS. 2A and 2B are a schematic plan configuration diagram and a cross-sectional configuration diagram illustrating a stamper process according to the first embodiment of the present invention. FIGS. A,B 本発明の第1の実施形態の記録層成膜工程を示す概略平面構成図、及びその断面構成図である。FIGS. 2A and 2B are a schematic plan configuration diagram and a cross-sectional configuration diagram showing a recording layer film forming process of the first embodiment of the present invention. FIGS. A,B,C 本発明の第1の実施形態における光ディスク記録媒体の製造工程図(その1)である。A, B, and C are manufacturing process diagrams (part 1) of an optical disc recording medium according to the first embodiment of the present invention. D,E,F 本発明の第1の実施形態における光ディスク記録媒体の製造工程図(その2)である。D, E, and F are manufacturing process diagrams (part 2) of the optical disc recording medium according to the first embodiment of the present invention. G,H,I 本発明の第1の実施形態における光ディスク記録媒体の製造工程図(その3)である。G, H, I are manufacturing process diagrams (part 3) of the optical disc recording medium according to the first embodiment of the present invention. FIG. J,K,L 本発明の第1の実施形態における光ディスク記録媒体の製造工程図(その4)である。J, K, and L are manufacturing process diagrams (part 4) of the optical disc recording medium according to the first embodiment of the present invention. P,Q,R,S 本発明の第1の実施形態における光ディスク記録媒体の製造工程図(その5)である。P, Q, R, and S are manufacturing process diagrams (part 5) for the optical disc recording medium according to the first embodiment of the present invention. T,U 本発明の第1の実施形態における光ディスク記録媒体の製造工程図(その6)である。T, U are manufacturing process diagrams (No. 6) of the optical disc recording medium according to the first embodiment of the invention. A,Bにおいて本発明の第1の実施形態の切り欠き部形工程を示す概略平面構成図、及びその断面構成図である。It is a schematic plane block diagram which shows the notch part shape process of the 1st Embodiment of this invention in A and B, and its cross-sectional block diagram. A,B 本発明の第1の実施形態の、剥離工程を示す概略平面構成図、及びその断面構成図である。FIGS. 2A and 2B are a schematic plan configuration diagram showing a peeling process and a cross-sectional configuration diagram thereof according to the first embodiment of the present invention. FIGS. A,B 本発明の第1の実施形態の切り欠き部形成工程で用いられるカッターの、他の概略構成図、及びその断面構成図であるA, B It is another schematic block diagram of the cutter used at the notch part formation process of the 1st Embodiment of this invention, and its cross-sectional block diagram. A,B BDの一般的な規格を示す概略平面構成図、及びそのA−A線上に沿う断面構成図である。It is a schematic plane block diagram which shows the general specification of A and B BD, and the cross-sectional block diagram along the AA line. A,B 本発明の第2の実施形態のスタンパ工程を示す概略平面構成図、及びその断面構成図である。A, B It is a schematic plane block diagram which shows the stamper process of the 2nd Embodiment of this invention, and its cross-sectional block diagram. A〜E 従来例における光ディスク記録媒体の概略製造工程図である。A to E are schematic manufacturing process diagrams of an optical disc recording medium in a conventional example.

符号の説明Explanation of symbols

1・・成形樹脂基板、4・・中心孔、10・・転写用フィルムシート、12,22,32,42・・反射膜、13,23,33,43・・第1の誘電膜、14,24,34,44・・記録膜、15,25,35,45・・第2の誘電膜、61・・カバー層、71・・ハードコート層、91,92・・切り欠き部、51,52,53,61a・・スペーサー層   1 .... Molded resin substrate, 4 .... Center hole, 10 .... Transfer film sheet, 12, 22, 32, 42 ... Reflective film, 13, 23, 33, 43 ... First dielectric film, 14, 24, 34, 44... Recording film, 15, 25, 35, 45... Second dielectric film, 61.. Cover layer, 71... Hard coat layer, 91, 92. , 53, 61a ... Spacer layer

Claims (4)

一方のロール及び他方のロールに支持された可撓性の転写用フィルムシートを準備する工程、
前記一方のロールから前記他方のロールに転写用フィルムシートを移送する過程で、前記転写用フィルムシート表面に、連続的に紫外線硬化樹脂層を形成する工程、
前記転写用フィルムシート表面に形成された紫外線硬化樹脂層に、凹凸形状を有するニッケルスタンパを押圧すると同時に、前記転写用フィルムシート裏面側から紫外線照射することにより、前記紫外線硬化樹脂層を硬化させて、前記紫外線硬化樹脂層上に凹凸形状を、連続的に形成する工程、
前記凹凸形状が形成された前記紫外線硬化樹脂層上に、記録層を成膜する工程、
前記記録層を成膜した後、前記一方のロールから前記他方のロールに転写用フィルムシートを移送する過程で、前記転写用フィルムシート表面に、連続的に紫外線硬化樹脂層を形成し、前記転写用フィルムシート表面に形成された紫外線硬化樹脂層に、凹凸形状を有するニッケルスタンパを押圧すると同時に、前記転写用フィルムシート裏面から紫外線照射することにより、前記紫外線硬化樹脂層を硬化させて、前記紫外線硬化樹脂層上に凹凸形状を、連続的に形成し、前記凹凸形状が形成された前記紫外線硬化樹脂層上に、前段で形成された記録層よりも光透過率の低い、他の記録層を成膜する工程、
前記他の記録層を成膜する工程を必要に応じて複数回繰り返し、複数の記録層を有する積層膜を形成する工程、
とを含む光ディスク記録媒体の製造方法。
Preparing a flexible transfer film sheet supported by one roll and the other roll;
In the process of transferring the transfer film sheet from the one roll to the other roll, a step of continuously forming an ultraviolet curable resin layer on the transfer film sheet surface;
The ultraviolet curable resin layer formed on the surface of the transfer film sheet is pressed with a concavo-convex nickel stamper and simultaneously irradiated with ultraviolet rays from the back side of the transfer film sheet to cure the UV curable resin layer. , A step of continuously forming an uneven shape on the ultraviolet curable resin layer,
Forming a recording layer on the ultraviolet curable resin layer on which the uneven shape is formed;
After forming the recording layer, in the process of transferring the transfer film sheet from the one roll to the other roll, an ultraviolet curable resin layer is continuously formed on the transfer film sheet surface, and the transfer The ultraviolet curable resin layer formed on the surface of the film sheet is pressed against the nickel stamper having a concavo-convex shape, and at the same time, the ultraviolet curable resin layer is cured by irradiating the ultraviolet ray from the back surface of the transfer film sheet, thereby An uneven shape is continuously formed on the cured resin layer, and another recording layer having a light transmittance lower than that of the recording layer formed in the previous stage is formed on the ultraviolet curable resin layer on which the uneven shape is formed. Forming a film;
The step of forming the other recording layer is repeated a plurality of times as necessary to form a laminated film having a plurality of recording layers,
An optical disc recording medium manufacturing method including:
前記複数の積層膜を形成した後、
前記積層膜に、剥離用の切り欠き部を形成する工程、
表面に、紫外線硬化樹脂層が形成された成形樹脂基板を準備する工程、
前記転写用フィルムシート上に形成された前記積層膜上に、前記成形樹脂基板の前記紫外線硬化樹脂層が形成された面を張り合わせると同時に、紫外線照射により、前記紫外線硬化樹脂層を硬化させ、前記転写用フィルムシート上の前記積層膜を、前記成形樹脂基板上に転写させる工程、
前記成形樹脂基板上に転写された積層膜上に、保護層となる紫外線硬化樹脂層を形成する工程
とを含む請求項1記載の光ディスク記録媒体の製造方法。
After forming the plurality of laminated films,
Forming a notch for peeling in the laminated film;
Preparing a molded resin substrate having an ultraviolet curable resin layer formed on the surface;
On the laminated film formed on the transfer film sheet, the surface of the molded resin substrate on which the ultraviolet curable resin layer is formed is laminated, and at the same time, the ultraviolet curable resin layer is cured by ultraviolet irradiation, Transferring the laminated film on the transfer film sheet onto the molded resin substrate;
A method for producing an optical disk recording medium according to claim 1, further comprising: forming an ultraviolet curable resin layer serving as a protective layer on the laminated film transferred onto the molded resin substrate.
前記記録層及び前記他の記録層は、前記切り欠き部断面に露出されないように、所望の位置に形成される
請求項2記載の光ディスク記録媒体の製造方法。
The method of manufacturing an optical disk recording medium according to claim 2, wherein the recording layer and the other recording layer are formed at desired positions so as not to be exposed in the cutout section.
前記ニッケルスタンパは、表面に紫外線硬化樹脂層が形成された前記転写用フィルムシートを静止させた状態で押圧する
請求項1記載の光ディスク記録媒体の製造方法。
The method for manufacturing an optical disk recording medium according to claim 1, wherein the nickel stamper presses the transfer film sheet having an ultraviolet curable resin layer formed on a surface thereof in a stationary state.
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