KR100703624B1 - 클린룸의 에어샤워시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 클린룸의 에어샤워시스템에 관한 것으로, 에어샤워링챔버의 좌우 양측벽과 천장에 공기챔버가 각각 마련되고 그 각면에 장착된 다수의 에어노즐을 통해 상기 에어샤워링챔버 내로 공기를 분사하여 내부에 투입된 대상물을 세정하는 구성에 있어서, 상기 에어샤워링챔버의 바닥판에는 그로부터 분리되어 승강 가능토록 된 승강대가 설치되고, 상기 승강대의 양측에는 이를 승강작동시켜주기 위한 승강구동원이 결합되며, 상기 바닥판의 적소에는 개공이 형성되고, 이를 개폐할 수 있도록 개폐판으로 밀폐됨과 아울러 상기 개폐판의 일측에는 상기 개폐판을 이동시켜 상기 개공이 개폐되도록 작동시켜주기 위한 개폐구동원이 결합되며, 상기 개폐판의 하부에는 소정의 구동원에 의해 구동 가능한 브러쉬가 배치되어 이루어진 것을 특징으로 하는 것으로서, 본 장치에 의하면, 대상물의 접지면을 포함한 에어샤워링챔버의 육면으로부터의 모든 세정을 가능케 함으로써 클린룸으로 반출입되는 대상물에 대하여 그 반출입 전 상기 에어샤워링챔버 내에 수용되는 작업자 또는 대차 등과 같은 각종 투입장비의 전체 부위에 대한 오염물질의 원활한 세정이 이루어져 그 세정효율을 현저히 향상시킬 수 있게 되는 효과가 있다.

클린룸, 에어샤워, 대차 휠, 접지면, 승강대, 브러쉬 조립체

Description

클린룸의 에어샤워시스템{Air shower system for clean room}

도 1은 본 발명에 따른 에어샤워시스템의 외형을 도시한 정면도이다.

도 2는 본 발명에 따른 에어샤워시스템의 바닥판 구조를 도시한 평면도이다.

도 3은 본 발명에 따른 에어샤워시스템에 적용된 대차 휠 세정을 위한 승강대와 그 구동 메커니즘 및 브러쉬 조립체의 결합구조를 도시한 사시도이다.

도 4는 본 발명에 따른 에어샤워시스템의 승강 구조에 의한 대차의 승강 과정을 도시한 개략도이다.

도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 에어샤워시스템에 적용된 브러쉬를 개폐하기 위한 바닥판 개폐유닛의 작동상태를 순차적으로 도시한 것으로,

도 5a는 대차가 하강하기 전에 개폐판이 폐쇄된 상태를 도시한 개략적 단면도이고,

도 5b는 대차의 휠이 하강하여 브러쉬와 접촉할 수 있도록 개폐판이 개방된 상태를 도시한 개략적 단면도이다.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

1 ; 대차 2 ; 휠

10 ; (에어샤워챔버의) 출입문 11 ; 에어노즐

12 ; 바닥판 13, 14 ; 공기챔버

15 ; 도어스위치 16 ; 송풍팬

17 ; 필터 18 ; 대차안내선

100 ; 승강대 101 ; 작동바아

102 ; 연결바아 103 ; 거치바아

104 ; 로울러 110 ; 승강구동원(승강구동실린더)

111 ; 가이드 120 ; 개폐유닛

121 ; 개폐판 122 ; 개폐공

123 ; 개폐구동원(개폐구동실린더) 124 ; 개공

130 ; 브러쉬 조립체 131 ; 구동축

132 ; 브러쉬 133 ; 회전구동원(모우터)

134 ; 동력전달매체

본 발명은 클린룸의 에어샤워시스템에 관한 것으로, 특히 대상물의 접지면을 포함한 에어샤워링챔버의 육면으로부터의 모든 세정을 가능케 함으로써 클린룸으로 반출입되는 각종 오염물질을 수반한 모든 대상물에 대하여 그 반출입 전 상기 에어샤워링챔버 내에 수용되는 작업자 또는 대차 등과 같은 각종 투입장비의 전체 부위에 대한 원활한 세정이 이루어져 그 세정효율을 현저히 향상시킬 수 있게 한 클린룸의 에어샤워시스템에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 칩 등과 같은 초정밀 제품을 생산하는 공장 등에는 반출입되는 대상물에 대한 고정도의 청정상태를 유지하기 위한 클린룸이 설치되어 있고, 상기 클린룸의 출입구에는 작업자 또는 투입설비 등의 대상물에 수반되어 있는 먼지 등이 오염물질을 사전 세정하기 위한 에어샤워시스템(에어샤워링챔버)이 마련되어 있다. 상기 에어샤워시스템은 클린룸에 대상물이 수용되기 전에 공기분사장치에 의한 1차적 세정을 거치도록 함으로써 클린룸의 직접적인 오염을 방지하여 상기 클린룸의 유지관리에 소요되는 비용을 절감할 수 있게 해줄 뿐만 아니라, 생산제품의 수율 및 생산성을 향상시켜 제조원가를 최소화할 수 있는 이점을 발휘케 한다.

상기의 에어샤워시스템이 적용되는 분야로는, 상기한 반도체 칩 등과 같은 초정밀 전자부품 제조공장은 물론, 국내외 정보산업회사, 병원, 제약회사, 농수산 식품 등의 생명공학연구소 등의 다양한 업종이 있으며, 향후 그 응용분야가 계속적으로 늘어나고 있는 추세이다.

이러한 기존의 에어샤워시스템의 구성 예로는, 투입 대상물 표면에 부착된 각종 오염물질을 강제적으로 제거하기 위한 다수의 공기분사장치(에어노즐)가 에어샤워링챔버 내의 양측벽과 천장 등 3면에 설치되고 이들이 각각 개별적으로 방향 조절될 수 있도록 한 것과, 상기 각 에어노즐을 소정각도 내에서 동일방향으로 동시에 왕복 회전시킬 수 있도록 상기 각 에어노즐에 구동장치를 장착한 것 등이 있으며, 이는 에어샤워링챔버 내에서 이동하는 대상물을 감지할 수 있는 센서에 의해 연동될 수 있도록 구성되어 있다. 상기한 종래의 에어샤워시스템들은 대상물의 접지면을 제외한 상기 대상물의 나머지 표면에 대한 세정이 가능케 한다.

한편, 대상물의 접지면에 대한 오염물질을 제거하기 위한 수단으로는, 상기 에어샤워링챔버의 바닥면상에 점착매트를 설치하여 상기 점착매트의 점착성에 의해 작업자의 신발 바닥이나 대차 휠 등의 접지면에 붙은 이물질을 제거할 수 있게 한 것이 통상적이다.

따라서, 종래의 에어샤워시스템에 의하면, 에어샤워링챔버 내 투입 대상물의 접지면에 대한 이물질 제거 과정이 단순히 매트의 점착성에 의존하는 정도에 불과하므로, 그 오염물질의 충분한 제거가 이루어지지 못하여 후속의 클린룸을 쉽게 오염시킬 우려가 있고, 이로 인한 클린룸의 유지관리 비용을 상승시키는 문제점을 초래할 수 있으며, 수회 사용만으로 점착매트가 쉽게 오염되어 이를 자주 교환하여야 하는 번거로움이 있음은 물론, 오염물질의 침착으로 인하여 미관상 청결치 못하고, 특히 점착매트상의 점착제가 대상물의 접지면에 달라붙는 경우가 빈번하여 오히려 대상물의 오염 정도를 더욱 가중시키는 경우도 있었다.

즉, 이와 같이 완전한 세정이 이루어지지 못한 경우, 클린룸 내로 오염물질이 반입되어 분진을 확산시키게 됨으로 인하여 클린룸 내 청정도가 저하되고, 이를 회복하기 위한 설비의 유지비용이 가중됨은 물론, 불필요한 에너지 낭비와 장비 수명의 단축을 초래하게 되는 것이다.

본 발명은 상기한 바와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은, 대상물의 접지면을 포함한 에어샤워링챔버의 육면으로부터의 모든 세정을 가능케 함으로써 클린룸으로 반출입되는 각종 오염물질을 수반한 모든 대상물에 대하여 그 반출입 전 상기 에어샤워링챔버 내에 수용되는 작업자 또는 대차 등과 같은 각종 투입장비의 전체 부위에 대한 원활한 세정이 이루어져 그 세정효율을 현저히 향상시킬 수 있도록 된 클린룸의 에어샤워시스템을 제공함에 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 클린룸의 에어샤워시스템은, 에어샤워링챔버의 전후방에 외부와 클린룸쪽으로 통하는 출입문이 각각 형성됨과 아울러 상기 에어샤워링챔버의 좌우 양측벽과 천장에 공기챔버가 각각 마련되고 상기 공기챔버 내에 송풍팬 및 필터가 설치되어 상기 각면에 장착된 다수의 에어노즐을 통해 상기 에어샤워링챔버 내로 공기를 분사하여 그 내부에 투입된 대상물을 세정하는 클린룸의 에어샤워시스템에 있어서, 상기 에어샤워링챔버의 바닥판에는 상기 바닥판으로부터 분리되어 승강 가능토록 된 승강대가 설치되고, 상기 승강대의 양측에는 상기 승강대를 승강작동시켜주기 위한 승강구동원이 결합되며, 상기 바닥판의 적소에는 개공이 형성되고, 상기 개공에는 이를 개폐할 수 있는 개폐판으로 밀폐됨과 아울러 상기 개폐판의 일측에는 상기 개폐판을 이동시켜 상기 개공이 개폐되도록 작동시켜주기 위한 개폐구동원이 결합되며, 상기 개폐판의 하부에는 소정의 구동원에 의해 구동 가능한 브러쉬가 배치되어 이루어진 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 승강대는, 상기 바닥판과 동일면상에서 소정간격을 유지하며 그 양단이 상기 에어샤워링챔버의 양측벽쪽을 향해 각각 지향되어 수평 배열된 한 쌍의 거치바아와, 상기 각 거치바아의 양단부로부터 일체로 연결되어 상기 출입문의 양측벽을 따라 각각 상향으로 수직 배열된 다수의 연결바아와, 상기 인접측 연결바아의 상단부간을 일체로 연결하며 그 양단이 상기 에어샤워링챔버의 전후 출입 문쪽을 향해 지향되어 수평 배열된 한 쌍의 작동바아를 포함하여 이루어진 것이 바람직하다.

또한, 상기 승강대의 승강구동원은, 유체의 압력에 의해 신축 작동되는 실린더로 이루어지거나, 또는 모우터와, 상하로 배치된 한 쌍의 스프라킷과, 상기 스프라킷 간에 체결되고 상기 승강대의 양측단부와 연결되어 상기 승강대를 승강시키며 정역 회전하는 체인을 포함하여 이루어진 것이 바람직하다.

또한, 상기 개폐판의 개폐구동원은, 유체의 압력에 의해 신축 작동되는 실린더로 이루어진 것이 바람직하다.

또한, 상기 브러쉬의 구동원은, 모우터와, 상기 브러쉬의 구동축과 모우터의 축간에 체결된 동력전달매체로 이루어지거나, 또는 상기 브러쉬가 일정하게 요동칠 수 있는 바이브레이터로 이루어진 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 클린룸의 에어샤워시스템을 첨부 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1 내지 도 5b는 본 발명에 따른 에어샤워시스템의 구조 및 그 작동을 설명하기 위한 것으로서, 도 1은 본 발명에 따른 에어샤워시스템의 외형을 도시한 정면도, 도 2는 본 발명에 따른 에어샤워시스템의 바닥판(12) 구조를 도시한 평면도, 도 3은 본 발명에 따른 에어샤워시스템에 적용된 대차 휠(2) 세정을 위한 승강대(100)와 그 구동 메커니즘 및 브러쉬 조립체(130)의 결합구조를 도시한 사시도, 도 4는 본 발명에 따른 에어샤워시스템의 승강 구조에 의한 대차(1)의 승강 과정을 도 시한 개략도, 도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 에어샤워시스템에 적용된 브러쉬(132)를 개폐하기 위한 바닥판 개폐유닛(120)의 작동상태를 순차적으로 도시한 것으로, 도 5a는 대차(1)가 하강하기 전에 개폐판(121)이 폐쇄된 상태를 도시한 개략적 단면도, 도 5b는 대차(1)의 휠(2)이 하강하여 브러쉬(132)와 접촉할 수 있도록 개폐판(121)이 개방된 상태를 도시한 개략적 단면도를 각각 나타낸 것이다.

본 발명에 따른 클린룸의 에어샤워시스템은, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 전후방에 외부와 클린룸쪽으로 통하는 출입문(10)이 각각 형성되고 그 바닥판(12)상에 이로부터 분리되어 승강 작동되는 승강대(100)와 바닥판 일부 개폐용의 개폐유닛(120)이 설치된 에어샤워링챔버(도면부호 미도시)와, 상기 에어샤워링챔버의 좌우 양측벽과 천장에 각각 마련된 다수의 공기챔버(13)(14)와, 상기 에어샤워링챔버의 좌우 양측벽과 천장에 각각 장착된 다수의 에어노즐(11)과, 상기 에어샤워링챔버의 바닥판(12)상에 형성된 개공(124)을 통해 개폐되어 구동되는 브러쉬 조립체(130)을 포함하는 구성을 이룬다.

상기 공기챔버(13) 내에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 각면에 장착된 다수의 에어노즐(11)을 통해 소정압의 공기가 상기 에어샤워링챔버 내로 분사될 수 있도록 하기 위한 송풍팬(16)과, 대상물에 부착된 이물질 등의 각종 오염물질을 여과시켜주기 위한 필터(17)가 각각 설치되어 있다.

상기 에어노즐(11)은 상기 에어샤워링챔버의 좌우 양측벽과 천장에 각각 등간격으로 장착되어 있다.

상기 에어샤워링챔버의 바닥판(12)에는, 상기 바닥판(12)으로부터 분리되어 승강 가능토록 된 승강대(100)와, 상기 승강대(100)의 양측에서 상기 승강대(100)를 승강작동시켜주기 위한 다수의 승강구동원(110)이 결합되어 있다.

상기 승강대(100)는, 상기 바닥판(12)과 동일면상에서 소정간격을 유지하며 그 양단이 상기 에어샤워링챔버의 양측벽쪽을 향해 각각 지향되어 수평 배열된 한 쌍의 거치바아(103)와, 상기 각 거치바아(103)의 양단부로부터 일체로 연결되어 상기 출입문(10)의 양측벽을 따라 각각 상향으로 수직 배열된 다수의 연결바아(102)와, 상기 인접측 연결바아(102)의 상단부간을 일체로 연결하며 그 양단이 상기 에어샤워링챔버의 전후 출입문(10)쪽을 향해 지향되어 수평 배열된 한 쌍의 작동바아(101)로 이루어져 있다.

또한, 상기 승강대(100)의 한 쌍의 작동바아(101)의 양단부 일측면상에는, 도 3에 도시된 바와 같이, 다수의 로울러(104)가 각각 장착되고, 그와 인접한 양측벽의 수직방향으로는 가이드(111)가 각각 설치되어, 상기 승강대(100)의 승강 작동시 상기 작동바아(101)의 각 로울러(104)가 상기 각 가이드(111)의 표면을 따라 안정적으로 안내될 수 있도록 되어 있다.

또한, 상기 승강대(100)의 승강구동원(110)으로는, 도 3에 도시된 바와 같이, 유체의 압력에 의해 신축 작동되는, 즉, 유압 또는 공압식의 실린더를 모두 사용할 수 있다. 또는, 전동감속모우터(미도시)와, 상하로 배치된 한 쌍의 스프라킷(미도시)과, 상기 스프라킷 간에 체결되고 상기 승강대(100)의 양측단부와 연결되어 상기 승강대(100)를 승강시키며 정역 회전하는 체인(미도시)을 적용한 승강구동방식을 적용할 수도 있다.

한편, 브러쉬(132)를 노출 또는 밀폐하기 위한 개폐유닛(120)은, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 바닥판(12)의 적소에 개공(124)이 형성되고, 상기 개공(124)에는 이를 개폐할 수 있는 개폐판(121)으로 밀폐됨과 아울러 상기 개폐판(121)의 일측에는 상기 개폐판(121)을 이동시켜 상기 개공(124)이 개폐되도록 작동시켜주기 위한 개폐구동원(123)이 결합되어 이루어진 것이다.

상기 개폐판(121) 및 개폐공(122)은 슬라이딩 방식으로 개폐되면서 상기 브러쉬(132)의 점검창의 기능을 수행할 수 있으며, 상기 개폐판(121)의 개폐구동원(123)으로는, 유체의 압력에 의해 신축 작동되는, 즉, 유압 또는 공압식의 실린더를 모두 사용할 수 있다.

또한, 상기 바닥판(12)상에는, 에어샤워링챔버 내 투입 대상물이 휠(2)을 장착한 대차(1) 등인 경우에 상기 대차(1)가 원활히 반입될 수 있도록 그 휠(2)을 안내해주는 대차안내선(18)이 형성되어 있고, 상기 개폐판(121)의 일부에는 상기 개폐판(121)의 이동시 한쪽 브러쉬(132)가 노출될 수 있는 개폐공(122)이 형성되어 있다.

또한, 상기 브러쉬 조립체(130)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 개폐판(121)의 하부에서 소정의 구동원(133)에 의해 구동 가능한 브러쉬(132)를 구비한 구조를 이룬다. 그리고, 상기 한 쌍의 브러쉬(132)는 하나의 구동축(131)상에 소정 간격을 두고 배열되어 있다.

또한, 상기 브러쉬(132)의 구동원으로는, 도 3 및 도 5b에 도시된 바와 같이 회전구동원(133)으로서의 모우터와, 상기 브러쉬(132)의 구동축(131)과 상기 모우 터(133)의 축간에 체결된 벨트 또는 체인 등의 동력전달매체(134)로 구성하는 것이 일반적이며, 또는 상기 브러쉬(132)가 일정하게 요동칠 수 있는 바이브레이터나 캠기구 등을 이용한 요동방식을 적용할 수도 있다.

참고적으로, 이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 장치는 도면상에 도시하지는 않았으나, 적소에 센서가 구비되어 투입 대상물에 대한 에어샤워링챔버 내에서의 상황을 감지하여 그 상태에 맞도록 각 장치부가 자동 제어됨으로써, 그 대상물이 사람이거나 휠(2)이 없는 대차 등인 경우에는 승강대(100)와 브러쉬 조립체(130) 등이 작동을 멈추게 되고, 휠(2)이 장착된 대차(1)인 경우에는 상기 승강대(100)와 브러쉬 조립체(130) 등이 순차적으로 작동하여 상기 휠(2)의 전체면에 대한 오염물질을 말끔히 제거할 수 있게 된다.

그 일례로서, 휠(2)이 장착된 대차(1)를 대상물로 투입하는 경우를 들어 상기 대차(1)의 에어샤워링의 흐름을 간략히 설명해보면 아래와 같다.

먼저, 출입문(10) 일측의 도어스위치(15)를 조작하여 상기 출입문(10)을 개방한 후 그 에어샤워링챔버의 내부로 대차(1)를 투입한다. 상기 대차(1)가 에어샤워링챔버 내부로 투입되면 출입문(10)이 닫히고, 공기챔버(13) 내의 송풍팬(16)이 일정시간동안 가동된다.(도 1 참조)

그 다음에는, 승강대(100) 양측의 승강구동실린더(110)가 동시에 상향 신장 작동되어 상기 승강대(100)의 거치바아(103)가 상기 대차(1)의 저면과 맞닿은 후 상기 대차(1)의 휠(2)이 바닥판(12)으로부터 소정간격만큼 이격될 때까지 상기 대차(1)를 상승시킨 후 정지한다.(도 4 참조)

그 다음에는, 개폐구동실린더(123)가 작동하여 개폐판(121)을 일측으로 밀게 됨으로써 바닥판(12)의 개공(124) 일부와 상기 개폐판(121)의 개폐공(122)을 통해 한 쌍의 브러쉬(132)가 각각 노출된 상태에서, 동력전달매체(134)에 의해 상기 브러쉬(132)의 구동축(131)과 연결된 회전구동원(133)이 일정시간동안 가동되어 상기 브러쉬(132)를 회전시켜준다. 이때, 상기 각 승강구동실린더(110)가 동시에 하향 수축 작동되어 상기 승강대(100)를 하강시킴으로써 상기 대차(1)의 휠(2)이 상기 브러쉬(132)와 접촉하여 마찰되면서 세정된다.(도 5a 및 도 5b 참조)

단, 상기 대차(1)를 거치한 승강대(100)의 승강 작동에 있어서, 상기 브러쉬(132)는 그 구동축(131)이 정지상태에 있을 경우에도 직모 형태로 정형화된 구조를 이루는 것을 적용한 경우에 한하는 것이며, 상기 브러쉬(132)에 대한 다른 실시예로서 연질의 모가 적용되어 상기 브러쉬에 회전에 의한 원심력이 작용할 때에만 그 브러쉬 모가 방사상으로 전개되는 경우에는, 상기 승강대(100)가 브러쉬의 근접 위치로 하강하지 않더라도 상기 대차(1)의 휠(2) 표면에 상기 브러쉬의 모가 접촉할 수 있으므로 세정 가능하다.

그 다음에는, 상기 각 승강구동실린더(110)가 동시에 상향 신장 작동되어 상기 승강대(100)와 대차(1)가 상승된 상태에서, 상기 개폐구동실린더(123)가 작동하여 개폐판(121)을 원위치로 당기게 됨으로써 상기 바닥판(12)의 개공(124)이 닫히게 되고, 상기 각 승강구동실린덩(110)가 동시에 하향 수축 작동되어 상기 승강대(100)를 원위치까지 완전 하강시킴으로써 상기 대차(1)의 휠(2)이 상기 바닥판(12)의 개폐판(121)상에 접지된다.

마지막으로, 클린룸과 통하는 출입문이 개방되어 상기 대차(1)를 출고한 후 닫히게 되고, 최초의 준비상태로 복귀된다.

이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 클린룸의 에어샤워시스템에 의하면, 대상물의 접지면을 바닥판으로부터 이격 승강시킬 수 있는 승강대가 구비되어 에어샤워링챔버의 육면으로부터의 모든 세정이 가능하게 됨으로써 클린룸으로 반출입되는 각종 먼지 등의 오염물질을 수반한 모든 대상물에 대하여 그 반출입 전 상기 에어샤워링챔버 내에 수용되는 작업자 또는 대차 등과 같은 각종 투입장비의 접지면에 대해서도 원활히 세정할 수 있어 종전의 에어샤워시스템에 비해 세정효율을 현저히 향상시킬 수 있게 되는 효과가 있다.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시예들을 기준하여 설명되어 있으나 이는 예시적인 것이라 할 수 있고, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예들을 생각해 낼 수 있으므로 이러한 균등한 실시예들 또한 본 발명의 특허청구범위 내에 포함되는 것으로 보아야 함은 극히 당연한 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 결정되어야 할 것이다.

Claims (7)

1. 에어샤워링챔버의 전후방에 외부와 클린룸쪽으로 통하는 출입문이 각각 형성됨과 아울러 상기 에어샤워링챔버의 좌우 양측벽과 천장에 공기챔버가 각각 마련되고 상기 공기챔버 내에 송풍팬 및 필터가 설치되어 상기 에어샤워링챔버의 좌우 양측벽과 천장에 장착된 다수의 에어노즐을 통해 상기 에어샤워링챔버 내로 공기를 분사하여 그 내부에 투입된 대상물을 세정하는 클린룸의 에어샤워시스템에 있어서,

   상기 에어샤워링챔버의 바닥판에는 상기 바닥판으로부터 분리되어 승강 가능토록 된 승강대가 설치되고, 상기 승강대의 양측에는 상기 승강대를 승강작동시켜주기 위한 승강구동원이 결합되며,

   상기 바닥판에는 개공이 형성되고, 상기 개공에는 이를 개폐할 수 있는 개폐판으로 밀폐됨과 아울러 상기 개폐판의 일측에는 상기 개폐판을 이동시켜 상기 개공이 개폐되도록 작동시켜주기 위한 개폐구동원이 결합되며,

   상기 개폐판의 하부에는 구동원에 의해 구동 가능한 브러쉬가 배치되어 이루어진 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어샤워시스템.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 승강대는, 상기 바닥판과 동일면상에서 이격된 간격을 유지하며 그 양단이 상기 에어샤워링챔버의 양측벽쪽을 향해 각각 지향되어 수평 배열된 한 쌍의 거치바아와, 상기 각 거치바아의 양단부로부터 일체로 연결되어 상기 출입문의 양측벽을 따라 각각 상향으로 수직 배열된 다수의 연결바아와, 상기 인접측 연결바아의 상단부간을 일체로 연결하며 그 양단이 상기 에어샤워링챔버의 전후 출입문쪽을 향해 지향되어 수평 배열된 한 쌍의 작동바아를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어샤워시스템.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 승강대의 승강구동원은, 유체의 압력에 의해 신축 작동되는 실린더로 이루어진 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어샤워시스템.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 승강대의 구동원은, 모우터와, 상하로 배치된 한 쌍의 스프라킷과, 상기 스프라킷 간에 체결되고 상기 승강대의 양측단부와 연결되어 상기 승강대를 승강시키며 정역 회전하는 체인을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어샤워시스템.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 개폐판의 개폐구동원은, 유체의 압력에 의해 신축 작동되는 실린더로 이루어진 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어샤워시스템.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 브러쉬의 구동원은, 모우터와, 상기 브러쉬의 구동축과 모우터의 축간에 체결된 동력전달매체로 이루어진 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어샤워시스템.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 브러쉬의 구동원은, 상기 브러쉬가 일정하게 요동칠 수 있는 바이브레이터로 이루어진 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어샤워시스템.

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