KR100702481B1 - Organic electroluminescent device without the walls and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기 전계 발광 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 유기물층 및 금속 전극층을 다수의 구역들로 분리하는 격벽을 형성하지 않고, 그에 따라 소자에 대한 패시베이션 공정이 가능하도록 하는 유기 전계 발광 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조 방법은 기판 상에 ITO층을 형성하는 단계; 상기 ITO층 상에 절연층을 형성하는 단계; 마스크를 전체 구조면 상에 위치시키는 단계; 상기 전체 구조면의 반대면에서 마스크 고정 수단으로 상기 마스크를 고정시키는 단계; 상기 절연층 사이에 형성된 공간에 유기물층을 형성하는 단계; 상기 유기물층 상에 금속 전극층을 형성하는 단계; 상기 마스크를 상기 전체 구조면에서 분리시키는 단계 및 상기 금속 전극층 및 절연층 상에 패시베이션 막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자는 기판 상에 형성된 ITO층; 상기 ITO층 상에 형성된 절연층; 상기 절연층 사이에 형성된 공간의 상기 ITO층 상에 형성된 유기물층; 상기 유기물층 상에 형성된 금속 전극층; 및 상기 금속 전극층 및 절연층 상에 형성된 패시베이션 막이 순차적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same, and in particular, an organic electroluminescent device which does not form a partition wall separating the organic material layer and the metal electrode layer into a plurality of zones, thereby enabling a passivation process for the device; The manufacturing method is related. A method of manufacturing an organic electroluminescent device according to the present invention comprises the steps of forming an ITO layer on a substrate; Forming an insulating layer on the ITO layer; Positioning the mask on the entire structural surface; Fixing the mask with mask fixing means on an opposite side of the entire structural surface; Forming an organic material layer in a space formed between the insulating layers; Forming a metal electrode layer on the organic material layer; Separating the mask from the entire structural surface and forming a passivation film on the metal electrode layer and the insulating layer. An organic electroluminescent device according to the present invention comprises an ITO layer formed on a substrate; An insulating layer formed on the ITO layer; An organic material layer formed on the ITO layer in a space formed between the insulating layers; A metal electrode layer formed on the organic material layer; And a passivation film formed on the metal electrode layer and the insulating layer in sequence.

유기 전계 발광 소자, 격벽, 패시베이션Organic electroluminescent devices, bulkheads, passivation

Description

무격벽 유기 전계 발광 소자 및 그 제조방법{Organic electroluminescent device without the walls and method of manufacturing the same}Organic electroluminescent device without the walls and method of manufacturing the same

도 1은 격벽이 존재하는 종래의 유기 전계 발광 소자의 기본적인 구조를 개략적으로 도시한 단면도.1 is a cross-sectional view schematically showing the basic structure of a conventional organic electroluminescent device having a partition.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 소자를 형성하기 위하여 사용되는 금속 마스크의 사시도.2 is a perspective view of a metal mask used to form a device according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자를 형성하는 각 단계를 도시하는 도면.3 shows each step of forming an organic electroluminescent device according to an embodiment of the invention.

본 발명은 유기 전계 발광 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 유기물층 및 금속 전극층을 다수의 구역들로 분리하는 격벽을 형성하지 않고, 그에 따라 소자에 대한 패시베이션 공정이 가능하도록 하는 유기 전계 발광 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same, and in particular, an organic electroluminescent device which does not form a partition wall separating the organic material layer and the metal electrode layer into a plurality of zones, thereby enabling a passivation process for the device; The manufacturing method is related.

유기 전계 발광은 유기물(저분자 또는 고분자) 박막에 음극과 양극을 통하여 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 재결합하여 여기자(exition)를 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생되는 현상이다.In organic electroluminescence, electrons and holes injected through a cathode and an anode are recombined to form an exciton in an organic (low molecular or polymer) thin film, and light having a specific wavelength is generated by energy from the excitons formed. This is a phenomenon that occurs.

이러한 현상을 이용한 유기 전계 발광 소자는 도 1에 도시된 바와 같은 기본적인 구조를 갖고 있다. 유기 전계 발광 소자는 기본적으로 유리 기판(1), 유리 기판 상부에 소정 간격으로 분리된 상태로 다수개가 형성되어 애노드(anode) 전극으로 사용되는 인듐 주석 산화물층(2; Indium Tin Oxide film ; 이하, "ITO층"이라 칭함), 셀 영역에 해당하는 간격을 갖는 상태로 분리되어 형성된 절연층(3), 절연층 상에 형성된 격벽(4), 유기물층(5) 및 캐소드(cathode) 전극인 금속 전극층(6)이 증착된 구조로 이루어진다. The organic EL device using this phenomenon has a basic structure as shown in FIG. 1. Indium Tin Oxide film (2; Indium Tin Oxide film 2) is formed as a plurality of organic electroluminescent elements are basically formed on the glass substrate 1, a predetermined interval separated on the glass substrate as an anode electrode; "ITO layer"), an insulating layer 3 formed in a separated state at intervals corresponding to a cell region, a partition wall 4 formed on the insulating layer, an organic material layer 5, and a metal electrode layer which is a cathode electrode. (6) consists of a deposited structure.

여기서, 격벽(4)은 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 오버행(Overhang) 구조를 가지며 ITO층(2)을 가로지르는 방향으로 형성되어 금속 전극층(6) 및 유기물층(5)을 다수의 구역들로 분리한다.Here, the partition wall 4 has an overhang structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion, and is formed in a direction crossing the ITO layer 2 to form the metal electrode layer 6 and the organic layer 5 in a plurality of zones. To separate.

상기 유기물층(5)은 소자 내에 정공의 주입이 원활하게 하기 위한 정공 주입층(hole injection layer); ITO층(2)으로부터 주입된 정공을 발광층으로 수송하는 정공 수송층(hole transport layer); 금속 전극층(6)과 ITO층(2)으로부터 공급된 전자와 정공의 재결합이 이루어지면서 발광이 일어나는 영역인 발광층(emitting layer); 및 금속 전극층(6)으로부터 공급되는 전자의 원활한 수송을 위한 전자 수송층(electron transport layer)이 순차적으로 적층된 구조를 갖는다. The organic layer 5 may include a hole injection layer for smoothly injecting holes into the device; A hole transport layer for transporting holes injected from the ITO layer 2 to the light emitting layer; An emission layer, which is an area where light emission occurs while recombination of electrons and holes supplied from the metal electrode layer 6 and the ITO layer 2 is performed; And an electron transport layer for smoothly transporting electrons supplied from the metal electrode layer 6.

이와 같은 구조의 소자를 구성하는 요소 중의 하나인 유기물층(5)이 수분과 열에 취약하다는 특성 때문에, 밀봉제(7; sealant)를 이용하여 밀봉 캡(10)을 ITO층(2)의 외곽부에 고정한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 밀봉 캡(10)과 ITO층(2) 사 이에는 소정의 밀폐 공간이 형성되며, 이 밀폐 공간 내에 위치한 소자는 습기 등과 같은 외부의 환경에 영향을 받지 않는다. Because of the property that the organic material layer 5, which is one of the elements constituting such a structure, is susceptible to moisture and heat, the sealing cap 10 is attached to the outer portion of the ITO layer 2 using a sealant 7. Fix it. As shown in FIG. 1, a predetermined sealed space is formed between the sealing cap 10 and the ITO layer 2, and the device located in the sealed space is not affected by an external environment such as moisture.

이러한 구조를 갖는 유기 전계 발광 소자는 다음의 단계들을 거쳐 제조된다. 먼저, 유리 기판 상에 진공 증착법을 이용하여 ITO층(2)을 증착하고, 이 ITO층을 사진식각법(photolithography)으로 패터닝(patterning)하여 소정 간격으로 분리되도록 한다.An organic electroluminescent device having such a structure is manufactured through the following steps. First, an ITO layer 2 is deposited on a glass substrate by vacuum deposition, and the ITO layer is patterned by photolithography to be separated at predetermined intervals.

이후, 패터닝된 ITO층 상에 절연층(3)과 격벽(4)을 사진식각법으로 적층 형성하고, 유기물층(5) 및 금속 전극층(6)을 순차적으로 전면 증착함으로서 소자의 형성이 완료된다. Subsequently, the insulating layer 3 and the partition wall 4 are laminated on the patterned ITO layer by photolithography, and the organic material layer 5 and the metal electrode layer 6 are sequentially deposited on the entire surface, thereby forming the device.

종래의 격벽이 존재하는 유기 전계 발광 소자는 격벽의 높이 때문에 외부의 습기 등으로부터 소자를 보호하기 위한 패시베이션 막을 형성하는 것이 불가능하다. 따라서, 소자를 보호하기 위해 패시베이션 막을 형성하는 대신에 밀봉 캡을 사용하여야 하며, 이에 따라 소자의 두께가 두꺼워지고, 밀봉 캡 내부의 수분이 격벽 주위로 침투하여 셀의 발광 면적이 축소되고 소자의 수명이 단축되는 문제점이 존재한다.Conventional organic electroluminescent devices in which barrier ribs exist cannot form a passivation film for protecting the element from external moisture or the like due to the height of the barrier ribs. Therefore, instead of forming a passivation film to protect the device, a sealing cap must be used, which increases the thickness of the device, and the moisture inside the sealing cap penetrates around the partition wall, thereby reducing the light emitting area of the cell and the lifetime of the device. This shortened problem exists.

또한, 소자의 형상을 변경할 경우, 변경된 형상에 대한 밀봉 캡 및 밀봉 캡을 위한 툴(Tool)을 그에 맞추어 개발하여야 하므로, 이에 따라 개발비가 증가되고 개발 일정이 지연되며 생산 공정이 복잡해지는 문제점이 있다. In addition, when changing the shape of the device, since the sealing cap and the tool for the sealing cap (Tool) for the changed shape should be developed accordingly, there is a problem that the development cost is increased, the development schedule is delayed, and the production process is complicated. .

본 발명은 격벽이 존재하는 유기 전계 발광 소자를 밀봉 캡으로 밀봉하는 과 정에서 발생하는 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 격벽이 없는 유기 전계 발광 소자를 제공함으로서 밀봉 캡 대신에 패시베이션 막을 형성하는 것이 가능하도록 하여, 소자의 두께를 감소시키고, 밀봉 캡 내부의 수분에 의한 소자 수명의 단축을 방지하며, 생산 공정을 단순화 할 수 있도록 구성된 유기 전계 발광 소자 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems arising in the process of sealing the organic electroluminescent device in which the partition is present with a sealing cap, an object of the present invention is to provide a sealing cap by providing an organic electroluminescent device without a partition. Instead, it is possible to form a passivation film so as to reduce the thickness of the device, to prevent the shortening of the device life due to moisture inside the sealing cap, and to simplify the production process. To provide.

상기 목적을 실현하기 위한 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조 방법은, (a) 기판 상에 소정 간격으로 분리된 ITO층을 형성하는 단계; (b) 상기 ITO층 상에서 소정 간격으로 분리된 절연층을 형성하는 단계; (c) 마스크를 전체 구조면 상에 위치시키는 단계; (d) 상기 전체 구조면의 반대면에 위치한 마스크 고정 수단으로 상기 마스크를 상기 전체 구조면 상에 고정시키는 단계; (e) 상기 절연층 사이에 형성된 공간의 상기 ITO층 상에 유기물층을 형성하는 단계; (f) 상기 유기물층 상에 금속 전극층을 형성하는 단계; 및 (g) 상기 마스크를 상기 전체 구조면에서 분리시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic EL device, the method including: (a) forming an ITO layer separated at predetermined intervals on a substrate; (b) forming insulating layers separated on the ITO layer at predetermined intervals; (c) positioning the mask on the entire structural surface; (d) fixing the mask on the entire structural surface with mask fixing means located opposite the entire structural surface; (e) forming an organic material layer on the ITO layer in the space formed between the insulating layers; (f) forming a metal electrode layer on the organic material layer; And (g) separating the mask from the entire structural surface.

상기 유기 전계 발광 소자의 제조 방법은 (h) 상기 금속 전극층 및 절연층 상에 패시베이션 막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.The method of manufacturing the organic EL device preferably further includes (h) forming a passivation film on the metal electrode layer and the insulating layer.

상기 패시베이션 막은 PECVD 또는 PVD의 방법에 의해 형성된 것이 바람직하며, SiNx 또는 SiO2로 이루어진 것이 바람직하다.The passivation film is preferably formed by the method of PECVD or PVD, preferably made of SiNx or SiO 2 .

상기 마스크는 셀 영역에 개구가 형성된 슬릿 형태인 것이 바람직하다.The mask is preferably in the form of a slit having an opening formed in the cell region.

또한, 상기 마스크는 금속으로 이루어지고, 상기 마스크 고정 수단은 마그네틱 척인 것이 바람직하다.In addition, the mask is preferably made of metal, the mask fixing means is preferably a magnetic chuck.

한편, 상기 다른 목적을 실현하기 위한 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자는, 기판 상에 소정 간격으로 분리되어 형성된 ITO층; 상기 ITO층 상에서 소정 간격으로 분리되어 형성된 절연층; 상기 절연층 사이에 형성된 공간의 상기 ITO층 상에 형성된 유기물층; 및 상기 유기물층 상에 형성된 금속 전극층이 순차적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the organic electroluminescent device according to the present invention for realizing the above another object, ITO layer formed separated on the substrate at a predetermined interval; An insulating layer formed on the ITO layer and separated at predetermined intervals; An organic material layer formed on the ITO layer in a space formed between the insulating layers; And a metal electrode layer formed on the organic material layer in sequence.

상기 유기 전계 발광 소자는 상기 금속 전극층 및 절연층 상에 패시베이션 막이 형성되어 있는 것이 바람직하며, 상기 패시베이션 막은 SiNx 또는 SiO2로 이루어진 것이 바람직하다.In the organic electroluminescent device, a passivation film is preferably formed on the metal electrode layer and the insulating layer, and the passivation film is preferably made of SiNx or SiO 2 .

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일한 부재를 가리킨다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Here, the same reference numerals as in the above-described drawings indicate the same members having the same function.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자를 형성하기 위해 사용되는 슬릿(Slit)형 금속 마스크(104)를 도시하며, 상기 금속 마스크(104)는 개구(104a) 및 마스크 면(104b)으로 구성되어 있다. 도 3은 본 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자를 형성하는 각 단계를 도시하는 도면으로서, 각 단계별로 설명하면 다음과 같다.2 illustrates a slit type metal mask 104 used to form an organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention, wherein the metal mask 104 includes an opening 104a and a mask surface ( 104b). 3 is a view showing each step of forming the organic electroluminescent device according to the present embodiment, which will be described in each step as follows.

종래의 공정에 따라 유리 기판(1) 상에 소정 간격으로 분리되도록 패터닝된 ITO층(2)을 형성하고(도 3a), ITO층(2) 상에 다수의 절연층(3)을 셀 영역(4)에 해당하는 간격을 갖는 상태로 분리하여 형성한다(도 3b). According to a conventional process, a patterned ITO layer 2 is formed on the glass substrate 1 so as to be separated at predetermined intervals (FIG. 3A), and a plurality of insulating layers 3 are formed on the ITO layer 2 in the cell region ( It is formed separately in a state having an interval corresponding to 4) (Fig. 3b).

상기 단계 후에 ITO층(2) 상의 셀 영역(4)과 금속 마스크의 개구(104a)가 일치되고, 절연층(3)과 마스크 면(104b)이 일치되도록 금속 마스크(104)를 전체 구조면 상에 위치시킨다(도 3c). After the step, the metal mask 104 is placed on the entire structural surface such that the cell region 4 on the ITO layer 2 and the opening 104a of the metal mask coincide, and the insulating layer 3 and the mask surface 104b coincide. (Fig. 3c).

도 3d를 기준으로, 기판(1)의 하면에 마그네틱 척(105; Magnetic chuck)을 위치시켜 자력에 의해 금속 마스크(104)를 기판(1)의 상면에 견고히 고정시킨다. 여기서 마그네틱 척(105)에 의해 기판(1)에 고정된 금속 마스크의 마스크 면(104b)은 임시적으로 격벽의 역할을 수행하게 되고, 마그네틱 척이 아닌 다른 고정 수단에 의해 마스크가 기판(1)에 고정되는 경우에는 비금속 마스크가 사용되는 것이 가능하다.Referring to FIG. 3D, the magnetic chuck 105 is positioned on the lower surface of the substrate 1 to firmly fix the metal mask 104 to the upper surface of the substrate 1 by magnetic force. Here, the mask surface 104b of the metal mask fixed to the substrate 1 by the magnetic chuck 105 temporarily serves as a partition wall, and the mask is attached to the substrate 1 by a fixing means other than the magnetic chuck. If fixed, it is possible that a non-metal mask is used.

상기 단계 후에 금속 마스크(104)가 고정된 기판(1)에 대하여 유기물층(5)이 전면 증착된다(도 3e). 여기서 유기물층(5)은 금속 마스크(104)의 개구(104a)를 통해 셀 영역(4)의 ITO층(2) 상에 증착된다.After this step, the organic material layer 5 is entirely deposited on the substrate 1 on which the metal mask 104 is fixed (FIG. 3E). The organic layer 5 here is deposited on the ITO layer 2 of the cell region 4 through the opening 104a of the metal mask 104.

유기물층(5)의 증착 후에 금속 마스크(104)를 그대로 유지한 상태로 금속 전극층(6)을 전면 증착한다(도 3f). 금속 전극층(6) 역시 금속 마스크(104)의 개구(104a)를 통해 셀 영역(4)의 유기물층(5) 상에 증착된다. After the deposition of the organic layer 5, the metal electrode layer 6 is deposited on the entire surface while the metal mask 104 is maintained (FIG. 3F). The metal electrode layer 6 is also deposited on the organic layer 5 of the cell region 4 through the opening 104a of the metal mask 104.

금속 전극층(6)의 증착 후 기판(1) 하면에 위치한 마그네틱 척(105)을 제거함으로서 금속 마스크(104)를 기판(1)의 상면에서 제거한다(도 3g). 임시적으로 격벽 역할을 수행한 금속 마스크(104)가 제거되면, 격벽없이 셀 영역(4)이 분리된 유 기 전계 발광 소자가 형성된다.The metal mask 104 is removed from the top surface of the substrate 1 by removing the magnetic chuck 105 located on the bottom surface of the substrate 1 after deposition of the metal electrode layer 6 (FIG. 3G). When the metal mask 104 that temporarily serves as a partition wall is removed, an organic EL device in which the cell region 4 is separated without a partition wall is formed.

상기의 단계를 거쳐 형성된 유기 전계 발광 소자는 금속 전극층(6)과 절연층(3) 간의 높이 차가 크지 않기 때문에, 밀봉 캡에 의하지 않고 패시베이션 공정에 의해 소자를 밀봉하는 것이 가능하게 된다. Since the organic EL device formed through the above steps does not have a large height difference between the metal electrode layer 6 and the insulating layer 3, the device can be sealed by a passivation process without using a sealing cap.

마지막의 패시베이션 공정에서는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 방법에 의해 패시베이션 막(110)이 전면 증착된다. PECVD 방법은 비교적 낮은 공정 온도, 즉 400℃ 이하에서 수행되므로 이미 형성된 유기물층(5)에 영향을 미치지 않으며, 비교적 낮은 에너지를 가진 입자로 증착이 되기 때문에 금속 전극층(6)에 대한 손상도 최소화할 수 있다. In the last passivation process, the passivation film 110 is deposited on the entire surface by a Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) method. Since the PECVD method is performed at a relatively low process temperature, i.e., 400 ° C. or lower, the PECVD method does not affect the organic layer 5 already formed, and since the deposition is performed with particles having relatively low energy, damage to the metal electrode layer 6 can be minimized. have.

또한, PECVD 챔버가 유기물층(5) 및 금속 전극층(6)의 증착 챔버와 인라인(In-line)으로 구성되어 있는 경우에는 진공 중에서 모든 단계가 이루어질 수 있게 되어 소자에 미치는 손상을 최소화 할 수 있다.In addition, when the PECVD chamber is configured in-line with the deposition chamber of the organic material layer 5 and the metal electrode layer 6, all steps may be performed in a vacuum, thereby minimizing damage to the device.

상기 패시베이션 공정은 PECVD 방법 외에 PVD(Physical Vapor Deposition) 방법에 의해 수행되는 것도 가능하며, 패시베이션 막은 SiNx 또는 SiO2로 이루어진다.The passivation process may be performed by a physical vapor deposition (PVD) method in addition to the PECVD method, and the passivation film is made of SiNx or SiO 2 .

도 3h에는 격벽없이 기판(1), ITO층(2), 절연층(3), 유기물층(5), 금속 전극층(6) 및 패시베이션 막(110)이 순차적으로 형성되어 있는 유기 전계 발광 소자가 도시되어 있다.3H shows an organic electroluminescent device in which a substrate 1, an ITO layer 2, an insulating layer 3, an organic material layer 5, a metal electrode layer 6, and a passivation film 110 are sequentially formed without a partition wall. It is.

상기와 같은 본 발명은 격벽이 없는 유기 전계 발광 소자를 제공한다. 이에 따라 격벽 형성 공정이 사라지게 되어 생산 공정의 단순화가 이루어지며, 기판 상에 형성된 층의 높이 차가 크지 않으므로 패시베이션 공정이 가능하게 된다. The present invention as described above provides an organic electroluminescent device without a partition. Accordingly, the partition wall forming process disappears, thereby simplifying the production process, and the passivation process is possible because the height difference of the layers formed on the substrate is not large.

상기 패시베이션 공정이 가능하게 됨에 따라 소자 전체의 두께가 감소되고, 소자 내부의 공간이 사라지게 되어 수분에 의한 소자 수명의 단축이 방지된다.As the passivation process becomes possible, the thickness of the entire device is reduced, and the space inside the device disappears, thereby preventing shortening of the device life due to moisture.

또한, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조 방법은 밀봉 캡으로 소자를 밀봉하는 공정을 제거함으로서 새로운 소자를 개발하는 경우에 필요한 밀봉 캡, 지그(Jig) 및 게터(Getter) 등이 사용되지 않기 때문에 개발비 및 개발 일정이 줄어드는 효과가 있다. In addition, the manufacturing method of the organic electroluminescent device according to the present invention eliminates the process of sealing the device with a sealing cap, so that the sealing cap, jig, getter, etc. required when developing a new device are not used. Therefore, development costs and development schedules are reduced.

Claims (9)

(a) 기판 상에 소정 간격으로 분리된 ITO층을 형성하는 단계;(a) forming an ITO layer separated at predetermined intervals on the substrate; (b) 상기 ITO층 상에서 소정 간격으로 분리된 절연층을 형성하는 단계; (b) forming insulating layers separated on the ITO layer at predetermined intervals; (c) 마스크를 전체 구조면 상에 위치시키는 단계;(c) positioning the mask on the entire structural surface; (d) 상기 전체 구조면의 반대면에 위치한 마스크 고정 수단으로 상기 마스크를 상기 전체 구조면 상에 고정시키는 단계; (d) fixing the mask on the entire structural surface with mask fixing means located opposite the entire structural surface; (e) 상기 절연층 사이에 형성된 공간의 상기 ITO층 상에 유기물층을 형성하는 단계;(e) forming an organic material layer on the ITO layer in the space formed between the insulating layers; (f) 상기 유기물층 상에 금속 전극층을 형성하는 단계; 및 (f) forming a metal electrode layer on the organic material layer; And (g) 상기 마스크를 상기 전체 구조면에서 분리시키는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.(g) separating the mask from the overall structure surface. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, (h) 상기 금속 전극층 및 절연층 상에 패시베이션 막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.(h) forming a passivation film on the metal electrode layer and the insulating layer. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 패시베이션 막은 PECVD 또는 PVD의 방법에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.The passivation film is a method of manufacturing an organic electroluminescent device, characterized in that formed by the method of PECVD or PVD. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, The method of claim 2 or 3, 상기 패시베이션 막은 SiNx 또는 SiO2로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.The passivation film is a method of manufacturing an organic electroluminescent device, characterized in that consisting of SiNx or SiO 2 . 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 마스크는 셀 영역에 개구가 형성된 슬릿 형태인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.The mask is a method of manufacturing an organic electroluminescent device, characterized in that the slit form opening is formed in the cell region. 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서, The method according to claim 1 or 5, 상기 마스크는 금속으로 이루어지고, 상기 마스크 고정 수단은 마그네틱 척인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.The mask is made of a metal, the mask fixing means is a method of manufacturing an organic electroluminescent device, characterized in that the magnetic chuck. 기판 상에 소정 간격으로 분리되어 형성된 ITO층;An ITO layer separated and formed at predetermined intervals on the substrate; 상기 ITO층 상에서 소정 간격으로 분리되어 형성된 절연층; An insulating layer formed on the ITO layer and separated at predetermined intervals; 상기 절연층 사이에 형성된 공간의 상기 ITO층 상에 형성된 유기물층;An organic material layer formed on the ITO layer in a space formed between the insulating layers; 상기 유기물층 상에 형성된 금속 전극층; 및A metal electrode layer formed on the organic material layer; And 상기 금속 전극층 및 절연층 상에 형성된 패시베이션 막을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.And a passivation film formed on the metal electrode layer and the insulating layer. 삭제delete 제 7 항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 패시베이션 막은 SiNx 또는 SiO2로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.The passivation film is an organic electroluminescent device, characterized in that consisting of SiNx or SiO 2 .
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