KR100696553B1 - 마스크 프레임 조립체 - Google Patents

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KR100696553B1
KR100696553B1 KR1020050121954A KR20050121954A KR100696553B1 KR 100696553 B1 KR100696553 B1 KR 100696553B1 KR 1020050121954 A KR1020050121954 A KR 1020050121954A KR 20050121954 A KR20050121954 A KR 20050121954A KR 100696553 B1 KR100696553 B1 KR 100696553B1
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김태형
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Abstract

본 발명은 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 관한 것으로서, 상기 마스크 프레임 조립체는, 프레임과; 상기 프레임에 접합된 마스크를 포함하며, 상기 프레임의 종단면은 L형, I형, 및 H형으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 형상으로 되거나, 선택적으로, 상기 프레임에는 하나 이상의 홈이 형성된다. 이에 따라 본 발명에 의할 경우, 프레임에 작용하는 굽힘 응력에 대한 저항력이 최대화되어 프레임의 굽힘강도가 상승되고 프레임의 무게 절감이 이루어진다.

Description

마스크 프레임 조립체{Mask frame assembly}
도 1은 종래의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 개략적으로 도시하는 분리 사시도이다.
도 2는 종래의 마스크 프레임 조립체의 변형 상태를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 분리 사시도이다.
도 4는 도 3의 IV-IV선을 따라 취한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 분리 사시도이다.
도 6은 도 5의 VI-VI 선을 따라 취한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 분리 사시도이다.
도 8은 도 7의 VIII-VIII선을 따라 취한 단면도이다.
도 9는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 분리 사시도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
110 : 마스크 120 : 프레임
111 : 개구부 210 : 마스크
220 : 프레임 310 : 마스크
320 : 프레임 410 : 마스크
420 : 프레임 422 : 홈
본 발명은 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 관한 것으로서, 더 상세하게는 프레임의 변형이 방지될 수 있도록 강성면에서 보강된 구조를 가진 마스크 프레임 조립체에 관한 것이다.
전계발광 디스플레이 장치는 자발광형 디스플레이 장치로서, 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.
전계발광 디스플레이 장치는 발광층(EML : Emission layer) 형성 물질에 따라 무기 전계발광 디스플레이 장치와 유기 전계발광 디스플레이 장치로 구분되며, 이 중 유기 전계발광 디스플레이 장치는 무기 전계발광 디스플레이 장치에 비하여 휘도, 구동전압 및 응답속도 특성이 우수하고 다색화가 가능하다는 장점을 가지고 있다.
일반적인 유기 전계발광 디스플레이 장치에 구비되는 유기 전계발광 소자에 는 서로 대향된 전극들 사이에 적어도 발광층을 포함하는 중간층이 된다. 상기 중간층에는 다양한 층들이 구비될 수 있는 바, 예컨대 홀 주입층, 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층 또는 전자 주입층 등을 들 수 있다. 유기 전계발광 소자의 경우, 이러한 중간층들은 유기물로 형성된 유기 박막들이다.
상기와 같은 구성을 가지는 유기 전계발광 소자를 제조하는 과정에서, 기판 상에 형성되는 홀 주입층, 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층 또는 전자 주입층 등의 유기박막들은 증착 장치를 이용하여 증착(deposition)의 방법에 의해 형성될 수 있다.
즉, 유기 전계발광 소자의 박막을 이루는 상기 유기물은 10-6 내지 10-7 torr의 진공도에 250 내지 450℃ 정도의 온도범위에서 증발 또는 승화하므로, 상기 증착 방법은 일반적으로 진공챔버 내에 기판을 장착한 후, 증착될 물질을 담은 가열 용기를 가열하여 그 내부의 증착될 물질을 증발 또는 승화시킴으로써 박막을 제작한다.
한편, 상기와 같은 전계발광 소자에는 서로 대향되는 전극이 구비되며, 특히 능동 구동형 전계발광 소자의 경우에는 금속으로 형성되는 전극들을 구비한 박막 트랜지스터들이 구비되는 바, 상기와 같은 전극 등도 증착 등의 방법을 통해 형성될 수 있다.
이러한 전극재료는 유기재료와 비교하여 일반적으로 고온에서 증발하게 되는데, 이러한 증발온도는 재료의 종류에 따라 다양하다. 일반적으로 이용되는 마그네 슘(Mg)은 500 내지 600℃, 은(Ag)은 1000℃ 이상에서 증발한다. 또한 전극재료로서 이용되는 알루미늄(Al)은 1000℃내외에서 증발하며, 리튬(Li)은 300℃ 정도에서 증발한다.
상기와 같은 증착에 의해 유기막 또는 금속막 등을 형성함에 있어서, 상기 유기막 또는 금속막을 특정한 패턴을 가지도록 형성하기 위해 마스크가 이용된다. 즉, 유기막 또는 금속막 등을 형성할 대상에 소정 패턴의 개구부들이 형성된 마스크를 장착한 후 증착을 행함으로써, 상기 마스크에 형성된 소정 패턴의 개구부들을 통해 노출된 부분에만 유기막 또는 금속막 등이 증착되도록 하여 원하는 패턴으로 증착이 이루어지도록 하는 것이다.
이 경우, 마스크를 기판 등에 밀착시킨 후 증착이 이루어지는데, 종래의 마스크의 경우 마스크의 자중에 의해 마스크의 중앙부가 기판 등에 밀착되지 못한다는 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 텐션 마스크가 개발되었다. 도 1은 이러한 텐션 마스크가 구비된, 종래의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 개략적으로 도시하는 분리 사시도이다. 도시된 바와 같이 하나의 금속박판(11)에 전계발광 디스플레이 장치를 이루는 단위 기판을 복수개 증착할 수 있도록 단위 마스크(12)들이 구비되어 있으며, 상기 마스크(10)는 프레임(20)에 인장력이 가하여지도록 고정된다.
이러한 종래의 마스크(10)는 대량생산을 위해 상대적으로 그 크기가 크므로, 마스크를 격자상의 프레임(20)에 고정할 때 균일하게 인장력이 가하여져 있다 하여도 상술한 바와 같은 자중에 의한 문제는 심화된다. 특히 대면적 금속 박판 마스크는 각 단위 마스크(12)들에 형성된 개구부(12a)들의 너비를 설정된 공차 범위 내로 유지되도록 프레임(20)에 용접하여야 한다. 이때에 마스크(10)의 처짐을 방지하기 위하여 각 방향으로 인장력을 가하여 프레임(20)에 용접하여 마스크 프레임 조립체가 제작된다. 이러한 마스크 프레임 조립체를 제작함에 있어서, 프레임(20)은 금속박판(11)으로 된 마스크(10)를 견고하게 지지해 줄 수 있어야 한다.
마스크에 인장력이 가해진 상태로 마스크(10)가 프레임(20)에 고정되기 때문에, 프레임이 인장력을 버티지 못하는 경우, 도 2에 도시된 바와 같이 양측의 지지바(21)가 외측으로 볼록하게 굴곡되고 프레임의 상하부를 이루는 상하부 지지바(22)가 내측으로 만곡될 수 있고, 도면에 도시되지는 않았지만 양측의 지지바(21)가 내측으로 만곡되고, 프레임의 상하부를 이루는 상하부 지지바(22)가 외측으로 만곡될 수도 있다.
프레임(20)의 변형은 마스크(10)의 내부 패턴의 변형을 유발하여 이는 제품의 불량으로 직결되게 된다. 이 경우, 프레임의 굽힘에 대한 강성은 매우 중요한 요인이 된다. 여기서, 기존의 프레임의 단면은 속이 꽉찬 단순한 사각형의 중실 구조(미도시)로서, 프레임의 강도를 상승시키기 위하여 프레임의 크기를 크게 할 경우 제작 기판의 크기가 커짐에 따라 프레임의 크기도 당연히 커지게 되고 무게 또한 공정에 큰 부담이 되는 문제가 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 동일한 재질과 동일한 단면적으로 프레임을 형성할 경우 보다 강성이 우수한 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적 및 그 밖의 여러 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체는,
프레임과;
상기 프레임에 접합된 마스크를 포함하며,
상기 프레임의 종단면은 L형, I형, 및 H형으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 형상으로 된다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체는,
프레임과;
상기 프레임에 접합된 마스크를 포함하며,
상기 프레임에는 하나 이상의 홈이 형성되어 있다.
여기서, 상기 마스크와 프레임은 레이저 용접으로 접합되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 프레임은 스테인레스 스틸 또는 니켈 합금으로 되는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 분리 사시도이며, 도 4는 도 3의 IV-IV 선을 따라 취한 수직 단면을 나타내는 단면도이다.
상기 도면들을 참조하면, 먼저 도 3에 도시된 바와 같이 다수의 개구부(111)가 소정의 형상으로 형성된 마스크(110)가 프레임(120)에 결합된다. 이 경우, 상기 마스크(110)에 인장력을 가하여, 상기 마스크(110)에 인장력이 가해진 상태에서 상기 프레임(120)에 결합한다. 이 과정에서, 상기 마스크(110)의 단부에 클램프(미도시)를 결합시키고, 상기 클램프의 하부에 구비되어 상기 클램프를 이동시킬 수 있는 액튜에이터를 작동시켜 상기 마스크(110)에 인장력을 가하며, 그 상태에서 상기 마스크(110)를 상기 프레임(120)에 결합시킨다.
이때, 도 3에서는 마스크에 미리 개구부들을 형성한 후 마스크를 프레임에 결합시키나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 따라서 마스크를 프레임에 결합시킨 후에 마스크에 개구부들을 형성하는 경우도 본 발명의 범위에 포함된다. 즉, 본 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 제조단계에서 개구부들이 형성되지 않은 금속 박판의 마스크에 인장력을 가하여 프레임에 결합시킬 수도 있다.
결합 방법으로는 접착제에 의한 접합, 레이저 용접 또는 저항가열 용접 등 다양한 방법들이 적용될 수 있으나, 정밀도의 변화 등을 고려하여 레이저 용접방법을 사용하는 것이 바람직하다.
도 3에 도시되어 있는 바와 같이 상기 마스크(110)에 개구부(111)들을 형성 함에 있어서 복수개의 단위 마스크들이 구비되도록 개구부들을 형성할 수도 있고, 필요에 따라서는 전체가 하나의 디스플레이 장치에 대응되도록 개구부들이 형성되게 할 수도 있다.
이 경우, 상기 개구부들(111)은 서로 불연속적인 도트형, 스트라이프형 또는 이들의 혼합 형태 등, 필요에 따라 다양한 형태로 형성될 수 있다.
한편, 상기와 같은 구조의 마스크와 결합하게 되는 프레임(120)은 마스크(110)가 부착될 수 있는 대응되는 형상을 가진다. 도 3을 참조하면, 프레임(120)은 사각형의 마스크(110)의 테두리면이 프레임에 안착될 수 있는 크기를 가진 구조를 가진다.
한편, 프레임(120)에 부착될 마스크(110)는 인장력이 작용되는 상태에서 프레임에 부착되게 되므로, 마스크와 프레임이 결합된 후에는 마스크에 작용되었던 인장력이 프레임에도 작용하게 된다. 따라서, 프레임(120)의 강성이 약할 경우, 프레임의 구조가 도 2에 도시된 바와 같이 휘어질 수가 있다. 이 경우, 프레임의 변형은 결국 다시 마스크의 변형을 유발하여 마스크 패턴의 변형을 일으키게 된다. 이를 방지하기 위하여, 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체에서는 프레임의 강성을 높이기 위한 구조를 구비한다.
마스크의 강성을 올리기 위하여 마스크와 결합되게 되는 프레임의 두께나 크기를 크게 할 수도 있다. 그러나, 프레임의 크기가 커지면 조립체의 무게가 필요 이상으로 무거워지게 되고 이로 인하여 마스크 프레임 제작시 후속되는 공정에서 사용되는 각 설비(증착기, 세정기, 보관함 등)에서의 작업이 원활하게 이루어지지 못하게 될 수도 있고, 로봇 아암에 의한 안전한 이송이 위협받을 수도 있다. 또한, 프레임의 크기가 커지면 설비의 정밀도가 낮아지는 문제점이 있으며, 제작 단가에도 큰 영향을 미치게 된다. 따라서, 프레임의 무게를 증가시키지 않으면서 프레임의 강도를 증가시키는 구조에 대한 요구가 존재한다.
이러한 요구에 부합하기 위하여, 같은 재질, 동일 단면적으로 프레임을 만들었을 때에는 강성을 보완하기 위한 특별한 구조로써 중공 구조를 형성하여 단면의 2차 모멘트를 크게 해주는 것이 필요하다.
이와 관련하여, 도 3의 IV-IV선을 따라 취한 단면도에 해당하는 도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 프레임의 수직 단면이 도시되어 있는데, 보다 상세하게는 프레임(120)의 단면이 L 자 형상으로 형성되어 있다. 즉, 단면은 서로 90도를 이루어 연장된 플레이트 쌍(120a, 120b)로 구성되어 있다. 따라서, 마스크의 테두리부는 프레임(120)의 가로방향으로 연장된 플레이트(120a) 상에 접합된다.
특히, 도 3 및 도 4에 도시된 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 프레임 조립체의 프레임의 수직 단면 형상은 L자 형상이 뒤집어진 구조인데 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 프레임의 수직 단면이 형상이 바로 세워진 L 자 형상일 수도 있다.
한편, 이러한 구조의 프레임(120)은 스테인레스 스틸 또는 니켈 합금으로 이루어질 있으며, 상기 프레임은 그 외에도 무게와 강성면에서 유리한 다른 재료로 형성될 수도 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프레임 구조를 가진 마스크 프레임 조 립체의 분리 사시도이며, 도 6은 도 5의 VI-VI선을 따라 취한 수직 단면도이다.
상기 도면들을 참조하면, 먼저 도 5에 도시된 바와 같이 다수의 개구부(211)가 소정의 형상으로 형성된 마스크(210)가 프레임(220)에 결합된다. 이 경우, 상기 마스크(210)에 인장력을 가하여, 상기 마스크(210)에 인장력이 가해진 상태에서 상기 마스크(210)가 상기 프레임(220)에 결합한다. 이러한 과정은 전술한 도 3의 마스크 프레임 조립체의 경우와 동일하다.
이때, 도 5에서도 마스크에 미리 개구부들을 형성한 후 마스크를 프레임에 결합시키나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 따라서 마스크를 프레임에 결합시킨 후에 마스크에 개구부들을 형성하는 경우도 본 발명의 범위에 포함된다.
결합 방법으로는 접착제에 의한 접합, 레이저 용접 또는 저항가열 용접 등 다양한 방법들이 적용될 수 있으나, 정밀도의 변화 등을 고려하여 레이저 용접방법을 사용하는 것이 바람직하다.
도 5에 도시되어 있는 바와 같이 상기 마스크(210)에 개구부(211)들을 형성함에 있어서 복수개의 단위 마스크들이 구비되도록 개구부들을 형성할 수도 있고, 필요에 따라서는 전체가 하나의 디스플레이 장치에 대응되도록 개구부들이 형성되게 할 수도 있다.
한편, 상기와 같은 구조의 마스크와 결합하게 되는 프레임(220)은 마스크(210)가 부착될 수 있는 대응되는 형상을 가진다. 도 3을 참조하면, 프레임(220)은 사각형의 마스크(210)의 테두리면이 프레임에 안착될 수 있는 크기를 가진 구조를 가진다.
한편, 마스크(210)에 인장력을 가한 상태로 프레임(220)에 결합하게 되면 이러한 인장력으로 인하여 프레임(220)이 도 2에 도시된 바와 같이 변형될 가능성이 있으며, 이러한 프레임의 변형은 결국 다시 마스크의 변형을 유발하여 마스크 패턴의 변형을 일으키게 된다. 이를 방지하기 위하여, 도 5에 따른 마스크 프레임 조립체에서는 프레임의 강성을 높이기 위한 구조를 구비한다.
이와 관련하여, 도 5의 VI-VI선을 따라 취한 수직 단면도에 해당하는 도 6을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 프레임의 수직 단면이 도시되어 있는데, 보다 상세하게는 프레임(220)의 단면이 I 자 형상으로 형성되어 있다. 즉, 단면은 서로 이격되어 나란하게 수평하게 연장된 수평 플레이트 쌍(220a, 220b)과 이에 일체로 형성된 중간의 수직 플레이트(220c)로 구성되어 있다. 따라서, 마스크의 테두리부는 프레임(220)의 상측에서 가로방향으로 연장된 수평 플레이트(220a) 상에 접합된다.
한편, 이러한 구조의 프레임(120)은 스테인레스 스틸 또는 니켈 합금으로 이루어질 있으며, 상기 프레임은 그 외에도 무게와 강성면에서 유리한 다른 재료로 형성될 수도 있다.
도 7은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 프레임 구조를 가진 마스크 프레임 조립체의 분리 사시도이며, 도 8은 도 7의 VIII-VIII 선을 따라 취한 수직 단면도이다.
상기 도면들을 참조하면, 먼저 도 7에 도시된 바와 같이 다수의 개구부(311)가 소정의 형상으로 형성된 마스크(310)가 프레임(320)에 결합된다. 이 경우, 상 기 마스크(310)에 인장력을 가하여, 상기 마스크(310)에 인장력이 가해진 상태에서 상기 마스크(310)는 상기 프레임(320)에 결합된다. 이 과정에서, 상기 마스크(310)의 단부에 클램프(미도시)를 결합시키고, 상기 클램프의 하부에 구비되어 상기 클램프를 이동시킬 수 있는 액튜에이터를 작동시켜 상기 마스크(310)에 인장력을 가하며, 그 상태에서 상기 마스크(310)를 상기 프레임(320)에 결합시킨다.
이때, 도 7에서는 마스크에 미리 개구부들을 형성한 후 마스크를 프레임에 결합시키나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 따라서 마스크를 프레임에 결합시킨 후에 마스크에 개구부들을 형성하는 경우도 본 발명의 범위에 포함된다.
결합 방법으로는 접착제에 의한 접합, 레이저 용접 또는 저항가열 용접 등 다양한 방법들이 적용될 수 있으나, 정밀도의 변화 등을 고려하여 레이저 용접방법을 사용하는 것이 바람직하다.
한편, 상기와 같은 구조의 마스크와 결합하게 되는 프레임(320)은 마스크(310)가 부착될 수 있는 대응되는 형상을 가진다. 도 7을 참조하면, 프레임(320)은 사각형의 마스크(310)의 테두리부가 프레임에 안착될 수 있는 크기를 가진 구조를 가진다.
한편, 프레임(320)에 부착될 마스크(310)는 인장력이 작용되는 상태에서 프레임에 부착되게 되므로, 마스크와 프레임이 결합된 후에는 마스크에 작용되었던 인장력이 프레임에도 작용하게 된다. 따라서, 프레임(320)의 강성이 약할 경우, 프레임의 구조가 도 2에 도시된 바와 같이 휘어질 수가 있다. 이 경우, 프레임의 변형은 결국 다시 마스크의 변형을 유발하여 마스크 패턴의 변형을 일으키게 된다. 이를 방지하기 위하여, 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체에서는 프레임의 강성을 높이기 위한 구조를 구비한다.
마스크 프레임 조립체의 크기를 줄히면서 강성을 올리기 위한 특별한 구조로써 단면의 2차 모멘트를 크게 해주는 것이 필요하다.
이와 관련하여, 도 7의 VIII-VIII선을 따라 취한 단면도에 해당하는 도 8을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 프레임의 수직 단면이 도시되어 있는데, 보다 상세하게는 프레임(120)의 단면이 H 자 형상으로 형성되어 있다. 즉, 단면은 서로 이격되어 나란하게 연장되는 수직 플레이트 쌍(320a, 320b)과 상기 수직 플레이트쌍들 사이에 일체로 형성된 수평 플레이트(320c)로 구성되어 있다. 따라서, 마스크의 테두리부는 프레임(320)의 적어도 하나의 수직 플레이트 쌍(320a, 320b)이 상측 단부상에 접합된다.
이러한 구조의 단면의 가진 프레임의 경우 굽힘 응력에 대한 강성이 증대되어 프레임의 변형이 방지된다. 구체적으로 H 형 단면의 경우가 일반적인 사각형 단면의 빔에 의해 형성된 프레임에 비하여 64% 더 효율적이다.
한편, 이러한 구조의 프레임(320)도 스테인레스 스틸 또는 니켈 합금으로 이루어질 있으며, 상기 프레임은 그 외에도 무게와 강성면에서 유리한 다른 재료로 형성될 수도 있다.
도 9는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 프레임 구조를 가진 마스크 프레임 조립체에 대한 분리 사시도이다.
도 9에 도시된 바와 같이 다수의 개구부(411)가 소정의 형상으로 형성된 마 스크(410)가 프레임(420)에 결합된다. 전술한 다른 실시예의 경우와 마찬가지로, 상기 마스크(410)에 인장력을 가하여, 상기 마스크(410)에 인장력이 가해진 상태에서 상기 마스크(410)는 상기 프레임(420)에 결합된다.
이때, 도 9에서는 마스크에 미리 개구부들을 형성한 후 마스크를 프레임에 결합시키나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 따라서 마스크를 프레임에 결합시킨 후에 마스크에 개구부들을 형성하는 경우도 본 발명의 범위에 포함된다.
결합 방법으로는 접착제에 의한 접합, 레이저 용접 또는 저항가열 용접 등 다양한 방법들이 적용될 수 있으나, 정밀도의 변화 등을 고려하여 레이저 용접방법을 사용하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 개구부들(411)은 서로 불연속적인 도트형, 스트라이프형 또는 이들의 혼합 형태 등, 필요에 따라 다양한 형태로 형성될 수 있다.
상기와 같은 구조의 마스크와 결합하게 되는 프레임(420)은 마스크(410)가 부착될 수 있는 대응되는 형상을 가진다. 도 9를 참조하면, 프레임(420)은 사각형의 마스크(410)의 테두리면이 프레임에 안착될 수 있는 크기를 가진 구조를 가진다.
한편, 프레임(420)에 부착될 마스크(410)는 인장력이 작용되는 상태에서 프레임에 부착되게 되므로, 마스크와 프레임이 결합된 후에는 마스크에 작용되었던 인장력이 프레임에도 작용하게 된다. 따라서, 프레임(420)의 강성이 약할 경우, 프레임의 구조가 도 2에 도시된 바와 같이 휘어질 수가 있다. 이 경우, 프레임의 변형은 결국 다시 마스크의 변형을 유발하여 마스크 패턴의 변형을 일으키게 된다. 이를 방지하기 위하여, 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체에서는 프레임의 재료를 덜 사용하면서 프레임의 강성을 높이기 위한 구조를 구비한다.
이와 관련하여, 도 9를 참조하면, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 프레임(420)의 본체에는 하나 이상의 홈(422)이 형성되어 있는데, 상기 홈은 상기 프레임을 관통하여 프레임의 중간 중간에 불연속적인 공간을 형성하게 된다. 복수개의 상기 홈(422)은 프레임(420)상에 서로 대칭되게 형성되어 굽힘 응력에 대한 강성이 서로 대칭을 이루어 어느 한쪽 방향에 대한 강성의 차이가 발생되지 않도록 된다.
한편, 이러한 구조의 프레임(420)은 스테인레스 스틸 또는 니켈 합금으로 이루어질 있으며, 상기 프레임은 그 외에도 무게와 강성면에서 유리한 다른 재료로 형성될 수도 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 동일 재질, 동일 단면적으로 프레임을 만들 경우, 강성이 우수한 구조로 프레임을 형성할 수 있어, 이를 이용하여 제조되는 마스크 프레임 조립체의 구조가 변형될 위험이 현저하게 줄어들게 된다.
둘째, 높은 강성을 유지하면서도 프레임의 재료를 절감할 수 있게 되는 효과가 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (4)

  1. 프레임과;
    상기 프레임에 접합된 마스크를 포함하며,
    상기 프레임의 종단면은 L형, I형, 및 H형으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 형상으로 된 마스크 프레임 조립체.
  2. 프레임과;
    상기 프레임에 접합된 마스크를 포함하며,
    상기 프레임에는 하나 이상의 홈이 형성된 마스크 프레임 조립체.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 마스크와 상기 프레임은 레이저 용접으로 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 프레임은 스테인레스 스틸 또는 니켈 합금으로 된 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
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