KR100692852B1 - Fabricating method of electro ruminescence display device - Google Patents

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KR100692852B1 KR1020040011579A KR20040011579A KR100692852B1 KR 100692852 B1 KR100692852 B1 KR 100692852B1 KR 1020040011579 A KR1020040011579 A KR 1020040011579A KR 20040011579 A KR20040011579 A KR 20040011579A KR 100692852 B1 KR100692852 B1 KR 100692852B1
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Abstract

본 발명은 휘도 불균일을 방지 할 수 있도록 한 일렉트로 루미네센스 표시소자의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing an electro luminescence display element capable of preventing luminance unevenness.

본 발명의 실시 예에 따른 일렉트로 루미네센스 표시소자의 제조방법은 다수의 라운드 형태의 홀들이 형성된 제 1 마스크를 마련하는 단계와; 기판 상에 제 1 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1 마스크를 이용하여 상기 제 1 전극 상에 상기 마스크와 동일한 형태의 발광영역이 형성되도록 절연막을 형성하는 단계와; 상기 절연막 상에 상기 발광영역을 분리시키기 위한 격벽을 형성하는 단계와; 상기 발광영역에 유기발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기발광층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing an electroluminescent display device according to an exemplary embodiment of the present invention includes providing a first mask having a plurality of round holes formed therein; Forming a first electrode on the substrate; Forming an insulating layer on the first electrode by using the first mask to form a light emitting region having the same shape as the mask; Forming a partition on the insulating layer to separate the light emitting region; Forming an organic light emitting layer in the light emitting region; Forming a second electrode on the organic light emitting layer.

Description

일렉트로 루미네센스 표시소자의 제조방법{FABRICATING METHOD OF ELECTRO RUMINESCENCE DISPLAY DEVICE} Manufacturing method of electro luminescence display element {FABRICATING METHOD OF ELECTRO RUMINESCENCE DISPLAY DEVICE}             

도 1은 종래 일렉트로 루미네센스 표시소자를 나타내는 평면도이다.1 is a plan view showing a conventional electro luminescence display element.

도 2는 도 1에서 선"Ⅰ-Ⅰ'"를 따라 절취한 일렉트로 루미네센스 표시소자를 나타내는 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating an electroluminescence display element taken along the line "I-I '" in FIG. 1.

도 3은 도 2에 도시된 절연막을 나타내는 평면도이다.3 is a plan view illustrating the insulating film illustrated in FIG. 2.

도 4는 도 2에 도시된 유기발광층의 형성을 나타내는 도면이다.4 is a diagram illustrating formation of an organic light emitting layer illustrated in FIG. 2.

도 5는 도 3에 도시된 발광영역에 증착되는 유기발광물질의 퍼짐 현상을 나타내는 도면이다.FIG. 5 is a view illustrating a spread phenomenon of an organic light emitting material deposited in the light emitting region shown in FIG. 3.

도 6은 도 3에 도시된 발광영역에 증착되는 유기발광물질을 나타내는 평면도이다.FIG. 6 is a plan view illustrating an organic light emitting material deposited in a light emitting region shown in FIG. 3.

도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 일렉트로 루미네센스 표시소자의 픽셀구조를 나타내는 평면도이다.7 is a plan view illustrating a pixel structure of an electro luminescence display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 8a 및 도 8e는 도 7에 도시된 픽셀구조를 갖는 일렉트로 루미네센스 표시소자의 제조방법을 나타내는 단면도이다.8A and 8E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an electroluminescent display device having a pixel structure shown in FIG. 7.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

2, 32 : 기판 4, 34 : 애노드전극2, 32 substrate 4, 34 anode electrode

6, 36 : 절연막 8, 38 : 격벽6, 36 insulating film 8, 38 partition wall

10, 40 : 유기발광층 12, 42 : 캐소드전극10, 40: organic light emitting layer 12, 42: cathode electrode

18, 48 : 발광영역 20, 50 : 새도우마스크18, 48: light emitting area 20, 50: shadow mask

22 : 유기발광물질22: organic light emitting material

본 발명은 일렉트로 루미네센스 표시소자에 관한 것으로, 특히 휘도 불균일을 방지 할 수 있도록 한 일렉트로 루미네센스 표시소자의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electro luminescence display element, and more particularly, to a method of manufacturing an electro luminescence display element to prevent luminance unevenness.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 일렉트로 루미네센스(Electro-luminescence : EL) 표시소자 등이 있다.Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. Flat display devices include Liquid Crystal Display (LCD), Field Emission Display (FED), Plasma Display Panel (PDP) and Electro-luminescence (EL). Display elements;

PDP는 구조와 제조공정이 비교적 단순하기 때문에 대화면화에 가장 유리하지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있다. LCD는 반도체공정을 이용 하기 때문에 대화면화에 어려움이 있지만 노트북 컴퓨터의 표시소자로 주로 이용되면서 수요가 늘고 있지만, 대화면화 어렵고 백라잇 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점이 있다. 또한, LCD는 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 단점이 있다. 이에 비하여, EL 표시소자는 무기 EL과 유기 EL로 대별되며, 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 유기 EL 표시소자는 대략 10[V] 정도의 전압으로 수만 [cd/㎡]의 높은 휘도로 화상을 표시할 수 있다. PDP is most advantageous for large screens because of its relatively simple structure and manufacturing process, but it has the disadvantages of low luminous efficiency, low luminance and high power consumption. LCD has difficulty in large screen because it uses semiconductor process, but demand is increasing as it is mainly used as display device of notebook computer. However, large screen is difficult and power consumption is large due to backlight unit. In addition, LCD has a disadvantage of high light loss and a narrow viewing angle due to optical elements such as a polarizing filter, a prism sheet, and a diffusion plate. In contrast, EL display devices are classified into inorganic ELs and organic ELs, and have advantages of fast response speed and high luminous efficiency, brightness, and viewing angle. The organic EL display element can display an image with a high luminance of tens of thousands [cd / m 2] at a voltage of about 10 [V].

도 1은 종래 유기 EL 표시소자를 나타내는 평면도이며, 도 2는 도 1에서 선 "Ⅰ-Ⅰ'"를 따라 절취한 유기 EL 표시소자를 나타내는 단면도이다.Fig. 1 is a plan view showing a conventional organic EL display element, and Fig. 2 is a cross sectional view showing an organic EL display element cut along the line " I-I '"

도 1 및 도 2를 참조하면, 종래 유기 EL 표시소자는 서로 절연되게 교차하는 애노드전극(4) 및 캐소드전극(12) 사이에 형성되는 절연막(6), 격벽(8) 및 유기발광층(10)을 구비한다.1 and 2, a conventional organic EL display device includes an insulating film 6, a partition 8, and an organic light emitting layer 10 formed between an anode electrode 4 and a cathode electrode 12 that cross each other insulated from each other. It is provided.

애노드전극(4)은 기판(2) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드전극(4)에는 전자(또는 정공)를 방출시키기 위한 제 1 구동신호가 공급된다.A plurality of anode electrodes 4 are spaced apart at predetermined intervals on the substrate 2. The anode electrode 4 is supplied with a first driving signal for emitting electrons (or holes).

절연막(6)은 애노드전극(4)이 형성된 기판(2) 상에 각각의 화소 영역마다 개구부가 노출되도록 발광영역(18) 즉, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 각각의 유기발광물질이 증착되는 부분이 도 3에 도시된 바와 같이 사각형 형태를 갖도록 형성하게 된다. 이를 위해, 사각형 형태의 홀이 형성된 마스크를 이용하여 절연막(6)을 패터닝(Patterning)하게 된다. 이렇게 형성되는 발광영역(18) 중 인접한 발광영역(18)에는 서로 다른 유기발광물질이 증착된다. 다시 말해, 제 2 발광영역(18b)에 적색(R)의 유기발광물질이 증착되면 제 1 및 제 3 발광영역(18a,18c)에는 청색(B) 및 녹색(G)의 유기발광물질이 증착되게 된다. 이로 인해, 제 1 내지 제 3 발광영역(18a,18b,18c)은 하나의 화소 즉, 픽셀(Pixel)을 이루게 된다.The insulating film 6 is formed on each of the light emitting regions 18, that is, red (R), green (G), and blue (B), so that openings are exposed in each pixel region on the substrate 2 on which the anode electrode 4 is formed. The portion on which the organic light emitting material is deposited is formed to have a rectangular shape as shown in FIG. 3. To this end, the insulating film 6 is patterned by using a mask having a rectangular hole. Different organic light emitting materials are deposited in adjacent light emitting regions 18 among the light emitting regions 18 formed as described above. In other words, when a red (R) organic light emitting material is deposited on the second light emitting region 18b, blue (B) and green (G) organic light emitting materials are deposited on the first and third light emitting regions 18a and 18c. Will be. As a result, the first to third light emitting regions 18a, 18b, and 18c form one pixel, that is, the pixel Pixel.

격벽(8)은 애노드전극(4)과 교차되게 형성되고 캐소드전극(12)과 소정간격을 사이에 두고 나란하게 형성되어 인접한 각각의 화소를 구분하게 된다. 즉, 격벽(8)은 인접한 각각의 화소의 유기발광층(10)과 캐소드전극(12)을 분리하게 된다. 또한, 격벽(8)은 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 갖는 오버행(Overhang)구조로 형성된다.The partition wall 8 is formed to intersect the anode electrode 4 and is formed side by side with the cathode electrode 12 at a predetermined distance therebetween to distinguish adjacent pixels. That is, the partition 8 separates the organic light emitting layer 10 and the cathode electrode 12 of each adjacent pixel. In addition, the partition wall 8 is formed in an overhang structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion.

유기발광층(10)은 도 4에 도시된 바와 같이 발광영역(18)과 동일한 형상의 홀이 다수개 형성된 새도우마스크(20)를 이용하여 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 유기발광물질이 각각의 발광영역(18)에 증착되어 형성된다. 이때, 새도우마스크(20)에는 절연막(6)을 형성하기 위해 사용되는 마스크에 형성된 홀의 수에 비해 1/3 만큼의 홀만 형성된다. 다시 말해, 적색(R)의 발광영역(18b)에 적색(R) 유기발광물질을 증착시킬 경우 녹색(G) 및 청색(B)의 발광영역(18c,18a)에 적색(R)의 유기발광물질이 증착되지 않도록 적색(R)의 발광영역(18b)과 일치한 부분을 제외한 부분의 새도우마스크(20)에는 홀이 형성되지 않는다. 이로 인해, 적색(R)의 발광영역(18b)에는 적색(R)의 유기발광물질이 증착되고, 녹색(G)의 발광영역(18c)에는 녹색(G)의 유기발광물질이 증착되며 청색(B)의 발광영역(18a)에는 청 색(B)의 유기발광물질 만이 증착되게 된다. As shown in FIG. 4, the organic light emitting layer 10 is formed of red (R), green (G), and blue (B) using the shadow mask 20 having a plurality of holes having the same shape as the light emitting region 18. An organic light emitting material is formed by depositing in each light emitting region 18. In this case, only one third of the holes are formed in the shadow mask 20 as compared with the number of holes formed in the mask used to form the insulating film 6. In other words, when the red (R) organic light emitting material is deposited in the red (R) light emitting region 18b, the red (R) organic light emitting light is emitted in the green (G) and blue (B) light emitting regions 18c and 18a. The hole is not formed in the shadow mask 20 except for the portion coinciding with the emission region 18b of the red color R so that the material is not deposited. As a result, a red (R) organic light emitting material is deposited in the red (R) light emitting region 18b, and a green (G) organic light emitting material is deposited in the green (G) light emitting region 18c, and a blue ( Only the organic light emitting material of blue color B is deposited in the light emitting region 18a of B).

캐소드전극(12)은 유기발광층(10) 상에 소정간격으로 이격되어 애노드전극(4)과 교차되게 다수개 형성된다. 또한, 캐소드전극(12)에는 정공(전자)을 방출시키기 위한 제 2 구동신호가 공급된다. A plurality of cathode electrodes 12 are formed on the organic light emitting layer 10 to be spaced apart at predetermined intervals so as to cross the anode electrode 4. In addition, a second driving signal for emitting holes (electrons) is supplied to the cathode electrode 12.

캐소드전극(12)이 형성된 기판(2)은 패키징판(14)에 의해 보호된다. 즉, 패키징판(14)은 유기발광층(10)이 대기 중의 수분 및 산소에 쉽게 열화 되는 것을 방지하기 위하여 접착제(도시하지 않음)를 사용하여 기판(2) 위에 형성된 애노드전극(4)과 캐소드전극(12) 및 유기발광층(10)을 덮게 된다. 이후, 기판(2)과 패키징판(14)을 가압하여 봉지를 한 다음 자외선을 조사하여 경화를 시키게 된다. 봉지 후, 기판(2)과 패키징판(14)의 접합에 의해 형성된 공간에는 불활성 가스가 주입된다. 이 때, 봉지되는 분위기는 글러브 박스나 진공챔버로 구성되어진다. The substrate 2 on which the cathode electrode 12 is formed is protected by the packaging plate 14. That is, the packaging plate 14 includes an anode electrode 4 and a cathode electrode formed on the substrate 2 by using an adhesive (not shown) to prevent the organic light emitting layer 10 from being easily degraded to moisture and oxygen in the air. And the organic light emitting layer 10. Subsequently, the substrate 2 and the packaging plate 14 are pressurized to be sealed and then irradiated with ultraviolet rays to cure. After sealing, an inert gas is injected into the space formed by the bonding of the substrate 2 and the packaging plate 14. At this time, the atmosphere to be sealed is constituted by a glove box or a vacuum chamber.

이러한 유기 EL 표시소자는 애노드전극(4)과 캐소드전극(12)에 각각 제 1 및 제 2 구동신호가 인가되면 전자와 정공이 방출되고, 애노드전극(4) 및 캐소드전극(12)에서 방출된 전자와 정공은 유기발광층(10) 내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. 이때, 발생된 가시광은 애노드전극(4)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을 표시하게 된다.In the organic EL display device, electrons and holes are emitted when the first and second driving signals are applied to the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, respectively, and are emitted from the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, respectively. Electrons and holes generate visible light while recombining in the organic light emitting layer 10. At this time, the generated visible light comes out through the anode electrode 4 to display a predetermined image or image.

그러나, 이와 같이 유기발광물질이 증착되는 발광영역(18) 즉, 절연막(6)이 형성되지 않는 영역을 사각형 형태로 형성하게 되면 유기발광물질의 퍼짐 현상이 발생되는 발광영역(18)의 모서리 부분에서 휘도 불균일을 발생하게 된다. 보다 자세히 설명하면, 새도우마스크(20)를 이용하여 발광영역(18)에 유기발광물질을 증착하게 되면 새도우마스크(18)의 두께 및 유기발광물질 증착장치(도시하지 않음)의 위치에 따라 유기발광물질이 증착되지 않은 새도우영역(Shadow Zone)에 따른 단차가 발생하게 된다. 또한, 도 5에 도시된 바와 같이 발광영역(18)에 증착되는 유기발광물질(22)은 그 점성으로 인해 퍼짐 현상이 발생하게 된다. 이러한, 퍼짐 현상으로 인해 도 6에 도시된 바와 같이 발광영역(18)에 증착되는 적색, 녹색 및 청색의 유기발광물질(22R,22G,22B)은 발광영역(18)의 중심부와 모서리부분(18z)에 균일하게 증착되지 않게 되어 휘도 불균일이 발생하게 된다. 또한, 일렉트로 루미네센스 표시소자(OLED)는 수분 또는 산소에 취약해서 여러 가지 방법을 통하여 외부와의 차단을 시켜주게 된다. 그러나, 시간에 따라 외부 공기 또는 수분의 유입 및 내부 잔존 산소 등에 의해 발광영역(픽셀)(18)의 수축이 발생 되는데, 이때, 상기와 같은 외부 물질 등은 격벽(8)을 타고 발광영역(픽셀)(18) 내부로 침투되기 때문에 일반적인 발광영역(18)의 수축 현상은 발광영역(18)의 모서리(Edge부)에서부터 시작되므로 도 6에 도시된 바와 같이 발광영역(18)이 줄어들게 되며, 심할 경우 발광영역(18)(픽셀)이 마름모형으로까지 변형되어, 발광영역(18)의 휘도 불량이 발생된다는 문제점이 있다.However, when the light emitting region 18 in which the organic light emitting material is deposited, that is, the region in which the insulating layer 6 is not formed, is formed in a quadrangular shape, the corner portion of the light emitting region 18 in which the organic light emitting material is spread is generated. The luminance nonuniformity occurs at. In more detail, when the organic light emitting material is deposited in the light emitting region 18 by using the shadow mask 20, the organic light emitting material is deposited according to the thickness of the shadow mask 18 and the position of the organic light emitting material deposition apparatus (not shown). Steps occur due to the shadow zone in which the material is not deposited. In addition, as shown in FIG. 5, the organic light emitting material 22 deposited in the light emitting region 18 is caused to spread due to its viscosity. Due to this spreading phenomenon, as shown in FIG. 6, the red, green, and blue organic light emitting materials 22R, 22G, and 22B deposited in the light emitting region 18 are formed at the center and the edge portion 18z of the light emitting region 18. ) Is not uniformly deposited, resulting in luminance unevenness. In addition, the electro luminescence display device OLED is vulnerable to moisture or oxygen to block the outside through various methods. However, shrinkage of the light emitting region (pixel) 18 occurs due to inflow of external air or moisture and residual oxygen, etc. over time. Since the shrinkage phenomenon of the general light emitting region 18 starts from the edge (edge portion) of the light emitting region 18 because it penetrates into the inside 18, the light emitting region 18 is reduced as shown in FIG. 6. In this case, there is a problem that the light emitting region 18 (pixel) is deformed to a rhombus, so that a poor luminance of the light emitting region 18 occurs.

따라서, 본 발명의 목적은 휘도 불균일을 방지 할 수 있도록 한 일렉트로 루미네센스 표시소자의 제조방법을 제공하는데 있다.
Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing an electro luminescence display element capable of preventing luminance unevenness.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 일렉트로 루미네센스 표시소자의 제조방법은 다수의 라운드 형태의 홀들이 형성된 제 1 마스크를 마련하는 단계와; 기판 상에 제 1 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1 마스크를 이용하여 상기 제 1 전극 상에 상기 마스크와 동일한 형태의 발광영역이 형성되도록 절연막을 형성하는 단계와; 상기 절연막 상에 상기 발광영역을 분리시키기 위한 격벽을 형성하는 단계와; 상기 발광영역에 유기발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기발 광층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함한다.In order to achieve the above object, a method of manufacturing an electro luminescence display device according to an embodiment of the present invention comprises the steps of providing a first mask formed with a plurality of round holes; Forming a first electrode on the substrate; Forming an insulating layer on the first electrode by using the first mask to form a light emitting region having the same shape as the mask; Forming a partition on the insulating layer to separate the light emitting region; Forming an organic light emitting layer in the light emitting region; Forming a second electrode on the organic light emitting layer.

상기 홀들 각각은 사각형 형태로 이루어지고, 모서리 부분이 라운드 형태인 것을 특징으로 한다.Each of the holes is formed in a quadrangular shape, and the corner portion is a round shape.

상기 유기발광층을 형성하는 단계는 제 2 마스크를 마련하는 단계와, 유기발광물질 증착장치로부터 유기발광물질이 비산되는 단계와, 상기 비산된 유기발광물질이 상기 제 2 마스크를 통해 상기 발광영역에 증착되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The forming of the organic light emitting layer may include preparing a second mask, dispersing the organic light emitting material from the organic light emitting material deposition apparatus, and depositing the scattered organic light emitting material in the light emitting region through the second mask. Characterized in that it comprises a step.

상기 제 2 마스크는 상기 제 1 마스크에 형성된 홀들과 동일한 형상의 다수의 홀들이 형성된 것을 특징으로 한다.The second mask is characterized in that a plurality of holes having the same shape as the holes formed in the first mask.

상기 제 2 마스크는 다수의 사각형 형태의 홀들이 형성된 것을 특징으로 한다.The second mask is characterized in that a plurality of rectangular holes are formed.

상기 목적 외에 본 발명에 다른 목적 및 특성들은 첨부한 도면들을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 7 내지 도 8e를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 to 8E.

도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 픽셀 구조를 나타내는 도면이고 도 8a 내지 도 8e는 도 7에 도시된 픽셀 구조를 갖는 유기 EL 표시소자의 제조방법을 나타내는 도면이다.7 is a diagram illustrating a pixel structure of an organic EL display device according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIGS. 8A to 8E are views illustrating a method of manufacturing an organic EL display element having the pixel structure shown in FIG. 7.

도 7 내지 도 8e를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조방법은 먼저, 도 8a에 도시된 바와 같이 소다라임 또는 경화유리로 된 기판(32) 상에 투명전도성물질인 인듐-틴-옥사이드 등을 증착한 후 패터닝함으로써 다수개의 스트라입 형태의 애노드전극(34)이 형성하게 된다. 애노드전극(34)이 형성되면 크롬 등을 증착한 후 패터닝함으로써 애노드전극(34)이 형성된 기판(32) 상에 버스전극(도시하지 않음)을 형성하게 된다. 이때, 버스전극(도시하지 않음)은 애노드전극(34)의 일측에 형성되어 애노드전극(34)의 저항성분을 감소시키게 된다.7 to 8E, a method of manufacturing an organic EL display device according to an exemplary embodiment of the present invention may be a transparent conductive material on a substrate 32 made of soda lime or hardened glass, as shown in FIG. 8A. After depositing indium tin oxide and the like, a plurality of stripe-shaped anode electrodes 34 are formed. When the anode electrode 34 is formed, a bus electrode (not shown) is formed on the substrate 32 on which the anode electrode 34 is formed by depositing and patterning chromium or the like. At this time, the bus electrode (not shown) is formed on one side of the anode electrode 34 to reduce the resistance component of the anode electrode 34.

버스전극이 형성되면 도 8b에 도시된 바와 같이 포지티브 감광성 절연물질을 증착한 후 노광 및 현상공정을 이용하여 절연막(36)을 형성하게 된다. 이때, 절연막(36)은 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 유기발광물질이 증착되는 부분 즉, 발광영역(48)이 도 7에 도시된 바와 같이 사각형 형태로 이루어지고, 각각의 모서리 부분이 라운드(Round) 형상을 갖도록 형성된다. 이를 위해, 발광영역(48)과 동일한 형태 및 동일한 수의 홀이 형성된 마스크(도시하지 않음)를 이용하여 절연막(36)을 패터닝하게 된다. 이렇게 형성되는 발광영역(48) 중 인접한 발광영역(48)에는 서로 다른 유기발광물질이 증착된다. 다시 말해, 제 2 발광영역(48b)에 적색(R)의 유기발광물질이 증착되면 제 1 및 제 3 발광영역(48a,48c)에는 청색(B) 및 녹색(G)의 유기발광물질이 증착되게 된다. 이로 인해, 제 1 내지 제 3 발광영역(48a,48b,48c)은 하나의 화소 즉, 픽셀을 이루게 된다.When the bus electrode is formed, a positive photosensitive insulating material is deposited as shown in FIG. 8B, and then an insulating film 36 is formed by using an exposure and development process. In this case, the insulating layer 36 is formed in a rectangular shape in which a portion in which the organic light emitting materials of red (R), green (G), and blue (B) are deposited, that is, the light emitting region 48 is formed as shown in FIG. Each corner portion is formed to have a round shape. To this end, the insulating film 36 is patterned by using a mask (not shown) having the same shape and the same number of holes as the light emitting region 48. Different organic light emitting materials are deposited in adjacent light emitting regions 48 of the light emitting regions 48 formed as described above. In other words, when a red (R) organic light emitting material is deposited on the second light emitting region 48b, blue (B) and green (G) organic light emitting materials are deposited on the first and third light emitting regions 48a and 48c. Will be. As a result, the first to third light emitting regions 48a, 48b, and 48c form one pixel, that is, a pixel.

절연막(36)이 형성되면 도 8c에 도시된 바와 같이 네가티브 감광성 절연물질을 증착한 후 노광 및 현상공정을 이용하여 격벽(38)을 형성하게 된다. 이때, 격벽(38)은 애노드전극(34)과 교차되는 방향으로 소정 간격을 사이에 두고 비발광영역(48)에 형성된다. 또한, 격벽(38)은 격벽(38)의 상부 폭이 하부 폭보다 넓은 오 버행 구조로 형성된다.When the insulating film 36 is formed, as shown in FIG. 8C, the barrier 38 is formed by depositing a negative photosensitive insulating material and using an exposure and development process. In this case, the partition wall 38 is formed in the non-light emitting region 48 with a predetermined interval therebetween in the direction crossing the anode electrode 34. In addition, the partition wall 38 is formed in an overhang structure in which the upper width of the partition wall 38 is wider than the lower width.

격벽(38)이 형성되면 원하는 패턴(Pattern)에 원하는 컬러(Color)를 형성하기 위해 도 3에 도시된 발광영역(18)과 동일한 형상의 홀이나 도 7에 도시된 발광영역(48)과 동일한 형상의 홀이 형성된 새도우마스크(50)를 이용하여 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 유기발광물질을 각각의 발광영역(48)에 증착하여 도 8d에 도시된 바와 같이 유기발광층(40)을 형성하게 된다. 이때, 새도우마스크(50)에는 절연막(36)을 형성하기 위해 사용되는 마스크에 형성된 홀의 수에 비해 1/3 만큼만 홀이 형성된다. 다시 말해, 적색(R)의 발광영역(48b)에 적색(R) 유기발광물질을 증착시킬 경우 녹색(G) 및 청색(B)의 발광영역(48c,48a)에 적색(R)의 유기발광물질이 증착되지 않도록 적색(R)의 발광영역(48b)과 일치한 부분을 제외한 부분의 새도우마스크(50)에는 홀이 형성되지 않는다. 이로 인해, 적색(R)의 발광영역(48b)에는 적색(R)의 유기발광물질이 증착되고, 녹색(G)의 발광영역(48c)에는 녹색(G)의 유기발광물질이 증착되며 청색(B)의 발광영역(48a)에는 청색(B)의 유기발광물질 만이 증착되게 된다.When the partition wall 38 is formed, a hole having the same shape as the light emitting region 18 shown in FIG. 3 or the same as the light emitting region 48 shown in FIG. 7 to form a desired color in a desired pattern. The organic light emitting material of red (R), green (G) and blue (B) is deposited in each of the light emitting regions 48 by using the shadow mask 50 having a hole having a shape, and as shown in FIG. 8D. The light emitting layer 40 is formed. At this time, only one third of the holes are formed in the shadow mask 50 compared to the number of holes formed in the mask used to form the insulating layer 36. In other words, when the red (R) organic light emitting material is deposited in the red (R) light emitting region 48b, the red (R) organic light emitting light is emitted in the green (G) and blue (B) light emitting regions 48c and 48a. The hole is not formed in the shadow mask 50 except for the portion coinciding with the emission region 48b of the red color R so that the material is not deposited. As a result, an organic light emitting material of red R is deposited in the light emitting region 48b of red (R), and an organic light emitting material of green (G) is deposited in the light emitting region 48c of green (G), and blue ( Only the organic light emitting material of blue (B) is deposited in the light emitting region 48a of B).

유기발광층(40)이 형성되면 도 8e에 도시된 바와 같이 캐소드전극(42)을 전면에 증착하게 된다. 이 때 캐소드전극(42)은 특별한 형태 없이 발광유효면내 전면에 일괄적으로 증착되지만, 이전에 스트라입 형태로 격벽(38)에 의해 인접한 캐소드전극(42)과 분리된다.When the organic light emitting layer 40 is formed, the cathode electrode 42 is deposited on the entire surface as shown in FIG. 8E. At this time, the cathode electrode 42 is collectively deposited on the entire surface of the light emitting effective surface without any particular shape, but is separated from the adjacent cathode electrode 42 by the partition wall 38 in a stripe shape.

이와 같이 본 발명에서는 유기발광물질이 증착되는 발광영역(48)을 라운드 형태로 형성함으로써 휘도 불균일을 방지할 수 있다. 다시 말해, 유기발광물질이 증착되는 발광영역(48)을 라운드 형태로 형성하여 발광영역(48)에 증착되는 유기발광물질의 퍼짐이 발생되는 영역을 제거함으로써 종래의 유기 EL 표시소자에서 발생되었던 휘도 불균일을 방지 할 수 있다.As described above, in the present invention, luminance unevenness can be prevented by forming the light emitting region 48 in which the organic light emitting material is deposited in a round shape. In other words, the luminance generated in the conventional organic EL display device is formed by forming the light emitting region 48 in which the organic light emitting material is deposited in a round shape to remove the region in which the organic light emitting material deposited in the light emitting region 48 occurs. It can prevent unevenness.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 일렉트로 루미네센스 표시소자의 제조방법은 유기발광물질이 증착되는 발광영역을 라운드 형태로 형성함으로써 유기발광물질 증착 시 유기발광물질의 퍼짐 현상이 발생되는 영역 및 수축 현상이 발생되는 영역이 제거되어 휘도 불균일을 방지할 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 일렉트로 루미네센스 표시소자의 제조방법은, 종래 기술에서 발생되는 퍼짐 현상 및 수축 현상을 근본적으로 차단하기 위한 것이 아니라, 상기 퍼짐 현상 및 수축 현상에 의해 발생될 수 있는 휘도 불량 부분(모서리)을 라운드 형태의 절연막을 통해 발광영역에서 제외시킴으로써, 상기 휘도 불량 부분(모서리)에 의해 발생될 수 있는 휘도 불량을 방지하여, 결과적으로 발광영역의 휘도 불량을 방지할 수 있다는 우수한 효과가 있다.As described above, the method of manufacturing an electroluminescent display device according to the present invention forms a light emitting region in which the organic light emitting material is deposited in a round shape, and thus a region in which the organic light emitting material is deposited and shrinks when the organic light emitting material is deposited. The region where the phenomenon occurs can be removed to prevent luminance unevenness. That is, the manufacturing method of the electroluminescent display device according to the present invention is not intended to fundamentally block spreading and shrinkage phenomena generated in the prior art, but is poor in luminance that may be caused by the spreading and shrinkage phenomena. By excluding the portion (edge) from the light emitting region through the round insulating film, it is possible to prevent the luminance defect which may be caused by the luminance defective portion (edge), and consequently to prevent the luminance defect of the emitting region. There is.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (5)

라운드 형태의 홀들이 다수 개 형성되어져 있는 제 1 마스크를 마련하는 단계와;Providing a first mask having a plurality of round holes formed therein; 기판 상에 제 1 전극을 형성하는 단계와;Forming a first electrode on the substrate; 상기 제 1 마스크를 이용하여 상기 제 1 전극 상에 상기 마스크와 동일한 형태의 발광영역이 형성되도록 절연막을 형성하는 단계와;Forming an insulating layer on the first electrode by using the first mask to form a light emitting region having the same shape as the mask; 상기 절연막 상에 상기 발광영역을 분리시키기 위한 격벽을 형성하는 단계와;Forming a partition on the insulating layer to separate the light emitting region; 상기 발광영역에 유기발광층을 형성하는 단계와;Forming an organic light emitting layer in the light emitting region; 상기 유기발광층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 표시소자의 제조방법.And forming a second electrode on the organic light emitting layer. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 홀들 각각은 사각형 형태로 이루어지고, 모서리 부분이 라운드 형태인 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 표시소자의 제조방법.Each of the holes is formed in a rectangular shape, the edge portion is a manufacturing method of the electroluminescent display device, characterized in that the round shape. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기발광층을 형성하는 단계는,Forming the organic light emitting layer, 제 2 마스크를 마련하는 단계와,Providing a second mask, 유기발광물질 증착장치로부터 유기발광물질이 비산되는 단계와,The organic light emitting material is scattered from the organic light emitting material deposition apparatus, 상기 비산된 유기발광물질이 상기 제 2 마스크를 통해 상기 발광영역에 증착되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 표시소자의 제조방법.And depositing the scattered organic light emitting material in the light emitting region through the second mask. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제 2 마스크는 상기 제 1 마스크에 형성된 홀들과 동일한 형상의 다수의 홀들이 형성된 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 표시소자의 제조방법.The second mask is a manufacturing method of an electroluminescence display device, characterized in that a plurality of holes having the same shape as the holes formed in the first mask is formed. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제 2 마스크는 다수의 사각형 형태의 홀들이 형성된 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 표시소자의 제조 방법.The second mask is a manufacturing method of an electro luminescence display device, characterized in that a plurality of rectangular holes are formed.
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