KR100679916B1 - 액정표시장치용 어레이기판 및 그의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정표시장치용 어레이기판에 관한 것으로, 특히 게이트배선과 데이터배선과 화소전극을 포함하는 어레이기판의 구성 중 상기 데이터배선과 동일신호가 흐르는 보조 데이터배선을 더욱 형성하여, 상기 어레이기판의 제조공정 중 발생하는 데이터배선의 단선이나 상기 데이터배선과 게이트배선간의 단락 불량을 화소단위로 수리할 수 있으므로, 대면적 액정표시장치의 수리가 가능하여 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

Description

액정표시장치용 어레이기판 및 그의 제조방법{Array sustrate for liquid crystal display device and method for fabricating the same}

도 1은 일반적인 액정표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이고,

도 2는 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 도시한 평면도이고,

도 3은 본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 도시한 평면도이고,

도 4a 내지 도 4e는 본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이기판의 공정을 순서에 따라 도시한 공정평면도이고,

도 5는 본 발명에 따른 어레이기판 구조를 이용한 배선의 단선 수리방법을 도시한 평면도이고,

도 6은 본 발명에 따른 어레이기판 구조를 이용한 배선간의 단락 수리방법을 도시한 평면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

111 : 기판 113 : 게이트배선

115 : 데이터배선 117 : 화소전극

118 : 보조 데이터배선 121 : 게이트전극

123 : 소스전극 125 : 드레인전극

140 : 콘택홀

본 발명은 액정표시장치용 어레이기판에 관한 것으로, 특히 다수의 게이트배선과 데이터배선이 매트릭스형태(matrix type)로 구성되고, 리페어배선(repair line)을 더욱 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 구조와 제조방법에 관한 것이다.

도 1은 일반적인 액정표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이다

도시한 바와 같이, 일반적인 액정표시장치(11)는 블랙매트릭스(6)를 포함하는 컬러필터(7)와 컬러필터 상에 투명한 공통전극(18)이 형성된 상부기판(5)과, 화소영역(P)과 화소영역 상에 형성된 화소전극(17)과 스위칭소자(T)를 포함한 어레이배선이 형성된 하부기판(22)으로 구성되며, 상기 상부기판(5)과 하부기판(22) 사이에는 액정(14)이 충진되어 있다.

상기 하부기판(22)은 어레이기판이라고도 하며, 스위칭 소자인 박막트랜지스터(T)가 매트릭스형태(matrix type)로 위치하고, 이러한 다수의 박막트랜지스터를 교차하여 지나가는 게이트배선(13)과 데이터배선(15)이 형성된다.

상기 화소(P)영역은 상기 게이트배선(13)과 데이터배선(15)이 교차하여 정의되는 영역이다. 상기 화소영역(P)상에 형성되는 화소전극(17)은 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide : ITO)와 같이 빛의 투과율이 비교적 뛰어난 투명도전성 금속을 사용한다.

전술한 바와 같이 구성되는 액정표시장치는 상기 화소전극(17)상에 위치한 액정층(14)이 상기 박막트랜지스터(T)로부터 인가된 신호에 의해 배향되고, 상기 액정층의 배향정도에 따라 상기 액정층(14)을 투과하는 빛의 양을 조절할 수 있으므로, 이와 같은 방법으로 영상을 표시할 수 있다.

상기 게이트배선(13)은 상기 박막트랜지스터(T)의 제 1 전극인 게이트전극을 구동하는 펄스전압을 전달하며, 상기 데이터배선(15)은 상기 박막트랜지스터(T)의 제 2 전극인 소스전극을 구동하는 신호전압을 전달하는 수단이다.

이러한 구성에서, 상기 게이트배선(13)에 펄스가 주사되고 있으면, 박막트랜지스터(T)의 게이트전극에 펄스가 인가되고, 모든 데이터배선(15)에 신호전압이 인가되고 있으면, 상기 박막트랜지스터(T)의 소스전극에 신호가 인가된다.

이 때, 상기 게이트전극의 신호에 의해 임의의 소스전극에 액정을 구동할 수 있는 전압이 인가되고, 나머지에는 액정 구동전압보다 작은 전압이 인가된다면, 액정 구동전압이 인가된 화소만 동작할 것이다.

이러한 동작원리에 의해, 모든 게이트전극에 순차적으로 펄스를 인가하고, 해당 소스전극에 신호전압을 인가함으로써 액정표시장치의 모든 화소전극을 구동하는 것이 가능하다.

전술한 바와 같이, 수백만 개의 화소전극을 각각 독립적으로 구동하기 위해 전체 표시면적에 게이트배선(13) 및 데이터배선이 매트릭스 형태로 배치되어 있으며, 이러한 게이트배선(13) 및 데이터배선은 스위칭 소자인 박막트랜지스터를 구동하기 위해 사용된다.

수백만 개의 화소를 구동하기 위해 각 화소마다 스위칭 소자를 두어야 하는 데, 이러한 표시소자를 제조하는데 있어서 세밀한 패턴을 형성함과 동시에 박막소자의 특성을 동일하게 제어하는 기술은 매우 중요하다고 할 수 있다.

그러나, 액정표시장치용 어레이기판의 제작과정 중 여러 가지 결함이 발생할 수 있다.

이러한 결함은 발생원인에 따라 공정편차에 의해 특성 값이 설계기준을 벗어나서 발생하는 불량, 막 계면의 세정불량이나 먼지 등에 의한 불량, 그리고 정전기에 의한 특성변화 및 박막트랜지스터 또는 액정셀의 파괴로 나타나는 불량 등을 예로 들 수 있다. 이러한 불량들은 형태에 따라 점 결함(dot defect), 선결함 또는 표시얼룩으로 나눌 수 있는데, 점 결함은 박막트랜지스터 소자 또는 화소전극 등의 불량으로 발생되며, 선결함은 배선의 단선, 단락 및 정전기에 의한 박막트랜지스터 등의 파괴에 기인한다.

이러한 결함들은 이미지 소자의 표시면적이 대면적화 됨에 따라 더욱 중요한 문제로 대두되고 있으며, 이러한 결함발생을 능동적으로 대처하기 위한 방법으로 리던던시(redundancy) 및 리페어(repair)가능한 설계가 도입되었다.

상기 리던던시 개념은 예를 들어, 점결함의 한 종류인 박막트랜지스터의 결 함일 경우, 결함이 발생한 박막트랜지스터를 대신하기 위해 하나의 화소에 복수개의 박막트랜지스터를 더 배치하여 점결함의 발생을 막을 수 있으며, 선결함의 한 종류인 게이트배선(13) 또는 데이터배선(15)이 단선 되었을 경우, 상기 각 배선의 양 끝부분에 인접한 예비배선을 연결하여 단선을 수리하는 방법으로 결함을 방지 할 수 있다.

이러한 리던던시 또는 리페어설계의 개념은 상기 결함들 중 점결함의 경우보다는 선결함의 경우에 더욱 필요하다. 왜냐하면 점결함의 경우는 그 분포, 개수, 유형에 따라 허용되는 레벨이 있지만, 선결함의 경우는 한 개라도 발생하면 제품으로서의 가치가 없어지기 때문이다.

예를 들면, 상기 데이터배선(15) 또는 게이트배선(13) 중 한 라인이 단선이 되었다고 가정하면 단선된 라인과 연결되어 있는 모든 박막트랜지스터의 동작이 불가능하게 될 것이고, 이러한 어레이기판에서의 결함은 액정표시소자에서 치명적인 결함이 된다.

도 2는 도 1의 구성 중 한 화소에 해당하는 어레이기판의 일부를 도시한 단면도이다.

도시한 바와 같이, 액티브매트릭스용 어레이기판은 상기 게이트배선(13)과 데이터배선(15)이 교차하여 형성되고, 상기 게이트배선(13)과 데이터배선(15)이 교차하여 정의된 영역은 화소영역(P)이라 정의한다.

상기 화소영역(P)의 상부에는 투명전극으로 형성된 화소전극(17)이 형성된다.

상기 화소전극(17)의 일측은 상기 박막트랜지스터(T)에 연결되어 형성되고 타측은 상기 화소영역(P)을 정의하는 일부 게이트배선(13)의 상부에 위치하여, 상기 게이트배선(13)과 함께 스토리지 캐패시터(C)를 구성한다.

상기 박막트랜지스터(T)는 앞서 설명한 바와 같이, 게이트전극(31)과 소스전극(33)및 드레인전극(35)으로 구성되고, 액티브채널로서 반도체층(37)을 포함한다.

이와 같이 구성된 어레이기판의 공정 중 상기 게이트배선(13)이 단선(open)된다면, 도시한 바와 같이 단선된 게이트배선(13)을 대신할 수리배선이 구성되어 있지 않으므로 수리가 불가능하다.

단, 상기 스토리지 캐패시터 하부의 게이트배선(13)이 오픈 된다면 상기 스토리지 캐패시터 전극을 이용한 수리가 어느 정도 가능하나, 한 화소에 대한 스토리지기능을 사용할 수 없으므로 점결함이 발생한다.

더불어, 상기 게이트배선(13)과 데이터배선(15)의 교차부에서의 단락(short)이 발생할 경우에도 이를 수리할 배선이 구성되어 있지 않으므로 수리가 불가능하기 때문에, 비용의 낭비와 더불어 액정표시장치의 수율을 상당히 저하하는 문제가 발생한다.

따라서, 본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해, 상기 데이터배선과 동일한 신호가 인가되는 별도의 보조 데이터배선을 더욱 구성하여, 배선의 단선 또는 배선간의 단락불량을 해결한 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법을 제안하는데 목적이 있다.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이기판은, 기판과; 상기 기판 상에 가로방향으로 연장된 게이트배선과; 상기 게이트배선의 상부에 위치하고, 상기 게이트배선과 절연층을 사이에 두고 교차하는 데이터배선과; 상기 게이트배선과 상기 데이터배선의 교차형성에 의해 정의된 화소영역과; 상기 화소영역 상에 위치한 화소전극과; 상기 데이터배선과 상기 게이트배선의 교차점에 위치하고, 상기 게이트배선과 연결되는 게이트전극과 상기 데이터배선과 연결되는 소스전극과 상기 소스전극과 이격되고, 상기 화소전극과 연결되는 드레인전극을 포함하는 스위칭소자와; 상기 화소영역에 위치하는 화소전극과; 상기 소스전극에서 일 방향으로 연장되고 상기 화소전극의 상측과 하측에 평행하게 구성된 수평패턴과, 상기 화소전극과 상기 데이터배선 사이에 일방향으로 연장되어 상기 수평패턴을 모두 연결하는 수직패턴으로 구성된 보조 데이터배선;을 포함한다.

본 발명의 특징에 따른 액정표시장치용 어레이기판 제조방법은, 기판 상에 가로방향으로 연장된 게이트배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트배선이 형성된 상기 기판 상에 절연층과 반도체층을 적층하는 단계와; 상기 반도체층을 패터닝하여 액티브층을 형성하는 단계와; 상기 게이트배선과 교차하는 데이터배선과 상기 데이터배선과 상기 게이트배선과의 교차지점에서 일 방향으로 돌출 연장된 소스전극과 상기 소스전극과 이격된 드레인전극과, 상기 소스전극에서 가로방향으로 연장되어 화소전극의 상측과 하측에 평행하게 구성되는 수평패턴과 상기 수평패턴에 연결되고 상기 데이터배선과 평행하게 이격되어 일방향으로 형성된 수직패턴을 포함하는 보조 데이터배선을 형성하는 단계와; 상기 데이터배선과, 상기 소스전극과, 상기 드레인전극과, 상기 보조 데이터배선이 형성된 상기 기판의 전면에 형성되고, 상기 드레인전극 상부에 콘택홀을 포함하는 보호층을 형성하는 단계와; 상기 드레인전극과 연결된 화소전극을 형성하는 단계;를 포함한다.

상기 보조 데이터배선의 상기 수평패턴은 상기 화소영역을 지나가는 게이트배선과 화소전극 사이에 위치하는 것을 특징으로 한다.

상기 보조 데이터배선의 상기 수직패턴은 상기 화소영역을 지나가는 상기 데이터배선과 상기 화소전극 사이에 위치하는 것을 특징으로 한다.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명한다.

-- 실시예 --

본 발명은 전술한 바와 같은 배선불량을 수리하기 위해, 상기 각 데이터배선마다, 상기 데이터배선과 동일신호가 인가되는 보조 데이터배선을 더욱 형성하여, 만약 데이터배선이 단선 되더라도 상기 보조 데이터배선을 통해 신호가 흐를 수 있도록 한다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이기판의 일부 단면도이다.

게이트배선(113)과 데이터배선(115)이 직교하여 구성되고, 상기 게이트배선(113)과 데이터배선(115)의 직교점에 스위칭소자인 박막트랜지스터(T)가 위치한다.

상기 게이트배선(113)의 끝단에 신호를 인가받는 게이트패드(미도시)를 형성하고, 상기 데이터배선(115)의 끝단에는 데이터패드(150)를 형성한다.

여기서, 상기 박막트랜지스터(T)는 전술한 바와 같이, 게이트전극(121)과 소스전극(123)과 드레인전극(125)으로 구성되며, 상기 게이트배선(113)은 상기 다수의 게이트전극(121)과 직교하여 연장 형성하며, 상기 데이터배선(115)은 상기 다수의 소스전극(123)과 수직하게 직교하여 연장 형성한다.

본 발명의 실시예는 상기 데이터배선(115)을 형성하는 공정에서 상기 데이터배선(115)의 일 끝단에 형성된 상기 데이터패드(150)에 근접한 데이터배선(115)에서 상기 화소영역으로 돌출 연장된 보조 데이터배선(118)을 동시에 형성한다.

상기 보조 데이터배선(118)은 상기 다수의 데이터배선(115) 중 각각의 데이터배선의 일 끝단에서 가로방향으로 돌출 연장되도록 하여, 상기 화소전극(117)의 둘레에 평행하게 소정각격 이격 되도록 형성한다.

즉, 화소전극(117)을 감싸는 구성이 되며, 화소영역(P)을 정의하는 게이트배선(113)과 데이터배선(115)과 상기 화소전극(117)의 사이에 위치하는 구성이 된다.

이때, 어레이기판 중 표시영역 상에 위치하는 보조 데이터배선(118) 중 상기 화소전극의 가로방향과 평행한 부분(118a)은 상기 소스전극(121)으로부터 연장하여 구성한다.

그러므로, 어레이기판(111) 상의 데이터배선(113)구조는 상기 데이터패드(150)를 통해 입력된 화상신호가 상기 데이터배선(115)과 상기 보조 데이터배선(118)에 동일하게 흐르는 구조이다.

따라서, 이러한 구조는 상기 데이터배선(115)이 단선 되더라도, 상기 보조데이터배선(118)을 통해 연속적으로 신호가 공급되는 구조이므로, 리페어기능이 자동으로 행해지는 결과를 얻을 수 있다.

이하, 도 4a 내지 도 4e의 공정단면도를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이기판의 제조방법을 설명한다.

도 4a 내지 도 4f는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ를 따라 절단하여 공정순서에 따라 도시한 공정단면도이다.

먼저, 도 4a에 도시한 바와 같이, 기판(111)상에 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr)등의 도전성 금속을 증착하고 패터닝하여, 게이트배선(113)과 상기 게이트배선에서 소정면적으로 일 방향으로 돌출 연장된 게이트전극(121)을 형성한다.

상기 게이트배선(113)의 끝단에는 소정면적으로 게이트패드(미도시)가 구성되며, 상기 게이트패드와 평행하지 않은 일 측에는 데이터패드(미도시)를 형성한다.

다음으로 도시하지는 않았지만, 상기 게이트배선(113)등이 형성된 기판(111)의 전면에 실리콘 산화막(SiO₂), 실리콘 질화막(SiN_X)등의 무기 절연물질과 경우에 따라서는 벤조사이클로부텐(BCB)과 아크릴(Acryl)계 수지(resin)와 같은 유기절연물질을 증착 또는 도포하고 연속으로, 순수 비정질실리콘과 상기 순수 비정질실리콘층의 표면에 불순물(n형 또는 p형)을 도핑하여 불순물 비정질실리콘층을 형성하여, 제 1 절연층인 게이트절연막과 반도체층인 액티브층(active layer)과 오믹콘택층(omhic contact layer)을 형성한다.

다음으로, 도 4b에 도시한 바와 같이, 상기 반도체층은 추후에 형성되는 매인 데이터배선과 동일한 형상으로 일방향으로 형성된 액티브라인(131a), 상기 액티브라인에서 상기 게이트전극(121)상부로 돌출 연장하여 액티브채널(131b)을 형성하여 구성한다.

다음으로, 도 4c에 도시한 바와 같이, 상기 액티브라인(131a)이 형성된 기판(111)의 전면에 전술한 바와 같은 도전성금속 중 선택된 하나를 증착하여 도전성 금속층(미도시)을 형성한다.

상기 도전성 금속층을 패터닝하여, 상기 일방향으로 연장형성된 액티브라인(131a)과 평면적으로 겹쳐지는 데이터배선(115)과, 상기 데이터배선에서 상기 게이트전극의 상부로 돌출연장된 소스전극(123)과 이와는 소정간격 이격된 드레인전극(125)을 형성한다.

동시에, 상기 데이터배선의 일끝단에 구성된 데이터패드에 근접한 데이터배선에서 상기 화소영역으로 소정폭을 가지고 가로방향으로 연장하여 보조 데이터배선(118)을 형성한다.

상기 보조 데이터배선(118)은 데이터배선(115)의 끝단에서는 상기 데이터배 선으로부터 연장되지만, 어레이기판의 표시영역에서는 상기 소스전극(123)에서 가로방향으로 연장하여 구성한다.

다음으로, 상기 가로방향으로 연장된 다수의 보조 데이터배선(118a)은 화소전극을 중심으로 타측의 데이터배선과 소정간격 이격되어 일방향으로 평행하게 연장된 세로방향의 보조 데이터배선(118b)과 연결된다.

여기서, 상기 보조 데이터배선의 위치를 더욱 설명하자면, 상기 보조데이터배선(118)은 상기 화소전극(147)과, 상기 화소전극(147)이 위치한 화소영역(P)을 정의하는 상기 게이트배선과 상기 데이터배선 사이에 위치하게 된다.

또한, 상기 데이터배선(115)과 보조 데이터배선(118)을 형성하는 동시에, 상기 화소영역(P)을 정의하는 일부 게이트배선 상부에 아일랜드 형태로 소스/드레인 금속층(133)을 형성한다.

다음으로, 도 4d에 도시한 바와 같이, 상기 데이터배선과 이와 연결된 보조데이터배선(118)등이 형성된 기판(111)의 전면에 전술한 바와 같은 절연물질로 제 2 절연층인 보호층(미도시)을 형성한 후, 이를 패터닝하여 상기 데이터패드 상부에 제 1 데이터패드 콘택홀(미도시)과, 상기 데이터배선(115)의 끝단 상부에 제 2 데이터패드 콘택홀(도 3의 140)과, 상기 드레인전극(125)상부에 드레인 콘택홀(139)을 형성한다. 또한, 상기 소스/드레인 금속층 상에 스토리지 콘택홀(141)을 형성한다.

도시하지는 않았지만 상기 게이트패드 상부에 게이트패드 콘택홀(미도시)을 형성한다.

다음으로, 상기 각 콘택홀이 형성된 기판의 전면에 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)와 같은 투명 도전성금속을 증착하여 투명전극층(미도시)을 형성한다.

도 4e에 도시한 바와 같이, 상기 투명전극층을 패터닝하여, 일측은 상기 드레인 콘택홀(139)을 통해 상기 드레인전극(125)과 전기적으로 접촉하고 타측은 상기 스토리지 콘택홀(141)을 통해 상기 소스/드레인 금속층인 스토리지 전극(133)과 전기적으로 접촉하는 화소전극(147)과, 도시하지는 않았지만 상기 제 1 데이터패드 콘택홀과 상기 제 2 데이터패드 콘택홀(미도시)에 동시에 충진되어 상기 데이터배선(115)과 상기 데이터패드(미도시)를 전기적으로 연결하는 데이터패드 단자와, 상기 게이트패드 콘택홀(미도시)에 충진되어 상기 게이트패드 상에 아일랜드 형태로 패턴되는 게이트패드 단자를 형성한다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이기판의 구조에서, 상기 데이터배선(115)과 상기 데이터배선(115)에서 분기하여 형성한 보조 데이터배선(118)을 형성함으로서, 상기 데이터배선(115)이 단선 되거나, 상기 데이터배선과 상기 게이트배선(113)이 단락되는 불량이 발생하더라도 이를 충분히 수리할 수 있는 구성이 된다.

이하, 데이터배선이 단선된 경우와 상기 데이터배선과 상기 게이트배선이 단락 되었을 경우, 각각의 수리방법을 이하 도 5와 6을 참조하여 설명한다.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 구성에서 상기 데이터배선에 단선불량이 발생하였을 경우를 도시한 평면도이다.

도시한 바와 같이, 데이터배선에 단선불량(A)이 발생하였을 경우에는, 상기 단선된 데이터배선(115)을 대신하여 상기 단선된 데이터배선(115)과 연결된 보조 데이터배선(118)을 통해 신호가 계속 흐르기 때문에 별도의 리페어처리가 필요하지 않다.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 구성에서 상기 데이터배선과 게이트배선에 단락불량이 발생하였을 경우를 위한 수리방법을 도시한 평면도이다.

도시한 바와 같이, 상기 게이트배선(113)과 데이터배선(115)이 교차하는 부분에서 상기 두 배선간 단락(short)불량이 발생하였을 경우, 상기 단락된 부분(B)을 지나가는 데이터배선(115)의 일부를 데이터배선으로부터 전기적으로 독립시키는 방법으로 수리가 가능하다.

따라서, 상기 데이터배선(115) 중 상기 단락된 부분(B)을 중심으로 상측(C)과 하측(D)을 절단하고, 동시에 상기 데이터배선(115)의 단락된 부분(B)과 근접한 소스전극(123)에서 연장된 가로방향의 보조 데이터배선(118a)을 상기 소스전극(123)으로부터 절단하여 분리한다.

이러한 절단처리는 세심하게 이루어 져야 하며, 일반적인 방법으로는 레이저를 이용한 레이저절단(laser ctting)법을 예로 들 수 있다.

이와 같이 처리하게 되면, 비록 상기 단락된 부분과 근접한 스위칭 소자(T)와 연결된 화소는 구동을 할 수 없지만, 라인불량(line defect)을 점불량(point defect)으로 전환하였다는 사실에 큰 의미가 있다.

앞에서도 설명하였지만, 상기 점불량은 인간이 눈으로 의식하지 못하는 한계 내에서 허용되기 때문에 허용치 이하의 점불량을 포함한 액정패널을 그대로 사용할 수 있기 때문이다.

따라서, 본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이기판의 배선구조는 배선이 단선되었을 경우 별도의 리페어처리를 하지 않아도 되는 장점이 있고, 상기 데이터배선과 게이트배선이 단락 되었을 경우에도 리페어가 가능하여 액정패널의 수율을 향상시키는 효과가 있다.

또한, 화소단위로 수리가 가능하기 때문에 대면적 액정패널의 리페어에 유리한 효과가 있다.

Claims (7)

1. 기판과;

   상기 기판 상에 가로방향으로 연장된 게이트배선과;

   상기 게이트배선의 상부에 위치하고, 상기 게이트배선과 절연층을 사이에 두고 교차하는 데이터배선과;

   상기 게이트배선과 상기 데이터배선의 교차형성에 의해 정의된 화소영역과;

   상기 화소영역 상에 위치한 화소전극과;

   상기 데이터배선과 상기 게이트배선의 교차점에 위치하고, 상기 게이트배선과 연결되는 게이트전극과 상기 데이터배선과 연결되는 소스전극과 상기 소스전극과 이격되고, 상기 화소전극과 연결되는 드레인전극을 포함하는 스위칭소자와;

   상기 화소영역에 위치하는 화소전극과;

   상기 소스전극에서 일 방향으로 연장되고 상기 화소전극의 상측과 하측에 평행하게 구성된 수평패턴과, 상기 화소전극과 상기 데이터배선 사이에 일방향으로 연장되어 상기 수평패턴을 모두 연결하는 수직패턴으로 구성된 보조 데이터배선;

   을 포함하는 액정표시장치용 어레이기판.
2. 기판 상에 가로방향으로 연장된 게이트배선을 형성하는 단계와;

   상기 게이트배선이 형성된 상기 기판 상에 절연층과 반도체층을 적층하는 단계와;

   상기 반도체층을 패터닝하여 액티브층을 형성하는 단계와;

   상기 게이트배선과 교차하는 데이터배선과 상기 데이터배선과 상기 게이트배선과의 교차지점에서 일 방향으로 돌출 연장된 소스전극과 상기 소스전극과 이격된 드레인전극과, 상기 소스전극에서 가로방향으로 연장되어 화소전극의 상측과 하측에 평행하게 구성되는 수평패턴과 상기 수평패턴에 연결되고 상기 데이터배선과 평행하게 이격되어 일방향으로 형성된 수직패턴을 포함하는 보조 데이터배선을 형성하는 단계와;

   상기 데이터배선과, 상기 소스전극과, 상기 드레인전극과, 상기 보조 데이터배선이 형성된 상기 기판의 전면에 형성되고, 상기 드레인전극 상부에 콘택홀을 포함하는 보호층을 형성하는 단계와;

   상기 드레인전극과 연결된 화소전극을 형성하는 단계;

   를 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 보조 데이터배선의 상기 수평패턴은 상기 화소영역을 지나가는 상기 게이트배선과 상기 화소전극 사이에 위치하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
4. 제 2 항에 있어서,

   상기 보조 데이터배선의 상기 수직패턴은 상기 화소영역을 지나가는 상기 데이터배선과 상기 화소전극 사이에 위치하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 보조 데이터배선의 상기 수평패턴은 상기 화소영역을 지나가는 상기 게이트배선과 상기 화소전극 사이에 위치하는 액정표시장치용 어레이기판.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 보조 데이터배선의 상기 수직패턴은 상기 화소영역을 지나가는 상기 데이터배선과 상기 화소전극 사이에 위치하는 액정표시장치용 어레이기판.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 보조 데이터배선은 상기 화소전극을 감싸는 구성인 액정표시장치용 어레이기판.

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