KR100676815B1 - Ink jet print head and manufacturing method of the same - Google Patents

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KR100676815B1 KR1020050046352A KR20050046352A KR100676815B1 KR 100676815 B1 KR100676815 B1 KR 100676815B1 KR 1020050046352 A KR1020050046352 A KR 1020050046352A KR 20050046352 A KR20050046352 A KR 20050046352A KR 100676815 B1 KR100676815 B1 KR 100676815B1
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Abstract

본 발명은 잉크를 수용하는 잉크챔버를 구비하는 잉크젯 프린트헤드에 관한 것으로서, 잉크챔버에 배치되는 기판; 기판 상에 적층되는 단열층; 단열층 상에 배치되어 잉크를 가열하는 제1히터; 제1히터 상에 배치되어 제1히터에 전원을 공급하는 히터전극; 및 상기 제1히터와 함께 상기 히터전극을 감싸도록 상기 히터전극 상에 배치되고 상기 히터전극으로부터 전원을 공급받아 상기 잉크와 직접 접촉하여 가열하는 제2히터를 포함한다. 이에 의해 히팅 효율을 향상시킬 수 있다.The present invention relates to an inkjet printhead having an ink chamber for containing ink, comprising: a substrate disposed in the ink chamber; A thermal insulation layer laminated on the substrate; A first heater disposed on the heat insulation layer to heat the ink; A heater electrode disposed on the first heater to supply power to the first heater; And a second heater disposed on the heater electrode to surround the heater electrode together with the first heater and receiving power from the heater electrode to directly contact the ink and to heat the heater. Thereby, heating efficiency can be improved.

잉크젯 프린트헤드, 2층 히터 구조, 노출히터 Inkjet printheads, 2-layer heater construction, exposed heater

Description

잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법{INK JET PRINT HEAD AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}Inkjet printhead and manufacturing method thereof {INK JET PRINT HEAD AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}

도 1은 종래의 잉크젯 프린트헤드를 나타내는 개략도이고,1 is a schematic view showing a conventional inkjet printhead,

도 2는 종래의 다른 잉크젯 프린트헤드를 나타내는 개략도이고,2 is a schematic view showing another conventional inkjet printhead,

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드를 나타내는 개략도이다.3 is a schematic diagram illustrating an inkjet printhead according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

1 : 잉크젯 프린트헤드 10 : 기판1 inkjet printhead 10 substrate

20 : 단열층 30 : 제1히터20: heat insulation layer 30: first heater

40 : 히터전극 50 : 제2히터40: heater electrode 50: second heater

본 발명은 잉크젯 프린트헤드에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 히팅 효율을 향상할 수 있는 잉크젯 프린트헤드에 관한 것이다.The present invention relates to an inkjet printhead, and more particularly, to an inkjet printhead capable of improving heating efficiency.

일반적으로 잉크젯 프린트헤드는 미세한 잉크노즐을 통해 잉크 액적을 인쇄용지에 토출하여 화상을 형성하는 장치이다. 잉크젯 프린트헤드는 압전소자를 이용하여 압전소자의 변형력에 의해 잉크를 토출하는 압전방식과, 잉크를 순간 가열하 고 버블을 발생시켜 버블의 팽창력에 의해 잉크를 토출하는 가열방식이 있다.In general, an inkjet printhead is an apparatus for forming an image by ejecting ink droplets onto printing paper through fine ink nozzles. The inkjet printhead includes a piezoelectric method for discharging ink by the deformation force of the piezoelectric element using a piezoelectric element, and a heating method for discharging ink by the expansion force of the bubble by instantaneously heating the ink and generating bubbles.

도 1은 종래의 잉크젯 프린트헤드를 나타내는 개략도이다. 도시된 바와 같이, 잉크젯 프린트헤드(100)는 잉크를 수용하는 잉크챔버(미도시) 내에 배치된 기판(110)과, 기판(110) 상면에 순차적으로 적층된 단열층(120), 히터(130) 및 전극(140)을 갖는다. 전극(140)은 히터(130) 상측에 배치되어 있다.(forward type) 히터(130)는 전극(140)으로부터 전원을 공급받아 잉크챔버(미도시) 내의 잉크를 순간 가열하여 잉크버블을 형성한다. 이에 따라 잉크챔버(미도시) 내의 잉크는 잉크버블에 의해 가압되어 잉크노즐(미도시)을 통해 인쇄용지로 토출된다.1 is a schematic view showing a conventional inkjet printhead. As shown, the inkjet printhead 100 includes a substrate 110 disposed in an ink chamber (not shown) containing ink, a heat insulating layer 120 and a heater 130 sequentially stacked on the upper surface of the substrate 110. And an electrode 140. The electrode 140 is disposed above the heater 130. (forward type) The heater 130 receives power from the electrode 140 to instantaneously heat ink in an ink chamber (not shown) to form an ink bubble. . Accordingly, the ink in the ink chamber (not shown) is pressurized by the ink bubble and discharged to the printing paper through the ink nozzle (not shown).

보호층(160)은 히터(130) 및 전극(140) 상에 적층되며 전극(140)을 보호한다. 보호층(160)은 전극(140)이 잉크와 직접 접촉하는 것을 차단하여 전극(140)이 잉크에 의해 부식되는 것을 방지한다. 또한 보호층(160)은 잉크챔버(미도시)를 형성하는 유로플레이트(미도시) 등과 같은 상측에 적층되는 구조물과의 전기적 통전을 방지한다.The protective layer 160 is stacked on the heater 130 and the electrode 140 to protect the electrode 140. The protective layer 160 blocks the electrode 140 from directly contacting the ink to prevent the electrode 140 from being corroded by the ink. In addition, the protective layer 160 prevents electrical conduction with a structure stacked on the upper side such as a flow path plate (not shown) forming an ink chamber (not shown).

그런데 이러한 종래의 잉크젯 프린트헤드(100)는 전극(140)을 보호하기 위해 보호층(160)을 설치해야 하는 제조 공정 상의 복잡함을 야기한다. 뿐만 아니라, 보호층(160)은 히터(130)가 잉크에 직접 접촉하여 가열하는 것을 차단한다. 이에 따라 히터(130)의 발열은 잉크에 직접 전달되지 않고 보호층(160)을 경유하여 잉크에 전달되므로 히터(130)의 가열 효율이 저하될 수 있다. 히터(130)를 잉크에 직접 접촉하도록 하기 위해 히터(130)의 상면에 적층된 보호층(160)을 제거할 수 있으나 보호층(160) 제거 공정 시 히터(130)가 손상될 수 있다.However, such a conventional inkjet printhead 100 causes complexity in the manufacturing process in which the protective layer 160 must be installed to protect the electrode 140. In addition, the protective layer 160 prevents the heater 130 from directly contacting and heating the ink. Accordingly, since the heat generated by the heater 130 is not directly transmitted to the ink but is transmitted to the ink through the protective layer 160, the heating efficiency of the heater 130 may be lowered. In order to directly contact the heater 130 with ink, the protective layer 160 stacked on the upper surface of the heater 130 may be removed, but the heater 130 may be damaged during the process of removing the protective layer 160.

도 2는 종래의 다른 잉크젯 프린트헤드를 나타내는 개략도이다. 도시된 바와 같이, 잉크젯 프린터헤드(100')는 잉크를 수용하는 잉크챔버(미도시) 내에 배치된 기판(110)과, 기판(110) 상면에 순차적으로 적층된 단열층(120), 전극(140) 및 히터(130)를 갖는다. 전극(140)은 히터(130) 하측에 배치되어 있다.(reverse type)2 is a schematic view showing another conventional inkjet printhead. As shown, the inkjet printhead 100 ′ includes a substrate 110 disposed in an ink chamber (not shown) containing ink, a heat insulating layer 120, and an electrode 140 sequentially stacked on an upper surface of the substrate 110. ) And the heater 130. The electrode 140 is disposed under the heater 130. (reverse type)

이와 같은 reverse type의 잉크젯 프린터헤드는 제조하는 과정에서 히터(130)와 전극(140) 사이에 전극(140)을 보호하고 전기적 통전을 방지하는 보호층(미도시)이 형성된 후 제거되게 된다. 그런데 보호층(미도시)의 성분과 단열층(120)의 성분이 실리콘 계열로 동일하기 때문에 선택도가 작다. 따라서 보호층(미도시)의 패턴 형성 시 단열층(120) 중 전극(140)에 의해 차단되지 않는 부분도 보호층(미도시)과 함께 식각되어 수직손상부(122)가 형성될 수 있다.The reverse type inkjet printhead may be removed after a protective layer (not shown) is formed between the heater 130 and the electrode 140 to protect the electrode 140 and prevent electrical current. However, since the components of the protective layer (not shown) and the components of the heat insulating layer 120 are the same as the silicon series, the selectivity is small. Therefore, when the pattern of the protective layer (not shown) is formed, a portion of the heat insulation layer 120 that is not blocked by the electrode 140 may also be etched together with the protective layer (not shown) to form the vertical damage portion 122.

히터(130)는 금속의 스퍼터링(sputtering)에 의해 형성되는데 수직손상부(122)에는 양호한 금속의 스퍼터링이 어렵다. 따라서 히터(130)를 형성하는 과정에서 수직손상부(122)에는 금속의 증착 두께가 얇게 형성되는 등 두께가 일정하지 않은 불균일부(132)가 형성될 수 있다. 히터(130)의 전기적 특성은 형성 두께에 직접적인 영향을 받게 되므로 불균일부(132)는 히터(130)의 전체 성능을 저하시킬 수 있다.The heater 130 is formed by sputtering of metal, but it is difficult to sputter good metal in the vertical damage portion 122. Accordingly, in the process of forming the heater 130, the vertical damage portion 122 may be formed with a non-uniform portion 132 having a non-uniform thickness such as a thin metal deposition thickness. Since the electrical characteristics of the heater 130 are directly affected by the forming thickness, the nonuniformity 132 may reduce the overall performance of the heater 130.

따라서 본 발명의 목적은 히팅 효율을 향상시키고, 제조공정을 단순화할 수 있는 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an inkjet printhead and a method of manufacturing the same, which can improve heating efficiency and simplify the manufacturing process.

상기 목적은 본 발명에 따라, 잉크를 수용하는 잉크챔버를 구비하는 잉크젯 프린트헤드에 있어서, 상기 잉크챔버에 배치되는 기판; 상기 기판 상에 적층되는 단열층; 상기 단열층 상에 배치되어 상기 잉크를 가열하는 제1히터; 상기 제1히터 상에 배치되어 상기 제1히터에 전원을 공급하는 히터전극; 및 상기 제1히터와 함께 상기 히터전극을 감싸도록 상기 히터전극 상에 배치되고 상기 히터전극으로부터 전원을 공급받아 상기 잉크와 직접 접촉하여 가열하는 제2히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드에 의해 달성된다.An object of the present invention is an inkjet printhead having an ink chamber for accommodating ink, comprising: a substrate disposed in the ink chamber; A heat insulation layer laminated on the substrate; A first heater disposed on the heat insulation layer to heat the ink; A heater electrode disposed on the first heater to supply power to the first heater; And a second heater disposed on the heater electrode to surround the heater electrode together with the first heater and receiving power from the heater electrode to directly contact the ink to heat the ink electrode. Is achieved.

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상기 제2히터는 백금합금일 수 있다.The second heater may be a platinum alloy.

상기 제1히터의 전기적 저항은 상기 제2히터의 전기적 저항보다 크지 않을 수 있다.The electrical resistance of the first heater may not be greater than the electrical resistance of the second heater.

상기 목적은 본 발명에 따라, 잉크를 수용하는 잉크챔버를 구비하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법에 있어서, 상기 잉크챔버에 기판을 배치하는 단계; 상기 기판 상에 단열층을 형성하는 단계; 상기 단열층 상에 제1히터를 형성하는 단계; 상기 제1히터 상에 히터전극을 형성하는 단계; 및 기 제1히터와 함께 상기 히터전극을 감싸도록 마련되어 상기 잉크와 직접 접촉하며 가열하는 제2히터를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법에 의해 달성된다.According to the present invention, the above object is a method of manufacturing an inkjet printhead having an ink chamber containing ink, comprising the steps of: placing a substrate in the ink chamber; Forming a heat insulation layer on the substrate; Forming a first heater on the heat insulation layer; Forming a heater electrode on the first heater; And forming a second heater provided to surround the heater electrode together with the first heater to directly contact and heat the ink.

이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment according to the present invention.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드를 나타내는 개략도이다. 도시된 바와 같이, 잉크젯 프린트헤드(1)는 잉크를 수용하는 잉크챔버(미도시)가 형성된 유로플레이트(미도시)와 잉크를 토출하는 잉크노즐(미도시)이 배열된 노즐플레이트(미도시)를 구비한다. 잉크챔버(미도시) 내에 수용된 잉크가 제1히터(30) 및 제2히터(50)에 의해 순간 가열되어 잉크버블이 형성되며, 잉크버블의 팽창력에 의해 잉크챔버(미도시) 내에 수용된 잉크가 잉크노즐(미도시)로 토출된다. 토출된 잉크는 인쇄용지에 흡착 건조되어 화상이 형성된다.3 is a schematic diagram illustrating an inkjet printhead according to an embodiment of the present invention. As shown, the inkjet printhead 1 has a nozzle plate (not shown) in which a flow path plate (not shown) with an ink chamber (not shown) containing ink and an ink nozzle (not shown) for discharging ink are arranged. It is provided. The ink contained in the ink chamber (not shown) is instantaneously heated by the first heater 30 and the second heater 50 to form an ink bubble, and the ink contained in the ink chamber (not shown) is expanded by the expansion force of the ink bubble. It is discharged to an ink nozzle (not shown). The discharged ink is adsorbed and dried on printing paper to form an image.

기판(10)은 잉크챔버(미도시) 내에 배치된다. 기판(10)은 잉크챔버(미도시)의 바닥면을 형성할 수 있다. 기판(10)에는 실리콘 기판이 이용될 수 있다. 단열층(20)은 잉크노즐(미도시)을 향하는 기판(10)의 일면 상에 적층된다. 단열층(20)은 제1히터(30)와 기판(10) 사이의 열전도를 차단함으로써 제1히터(30) 및 제2히터(50)의 가열에 의해 발생한 열이 기판(10)을 통해 손실되는 것을 방지한다. 단열층(20)은 기판(10) 상면을 산화시키거나 SiO2 등과 같은 실리콘 산화막을 증착하여 형성할 수 있다.The substrate 10 is disposed in an ink chamber (not shown). The substrate 10 may form a bottom surface of the ink chamber (not shown). A silicon substrate may be used for the substrate 10. The heat insulation layer 20 is stacked on one surface of the substrate 10 facing the ink nozzle (not shown). The heat insulation layer 20 blocks heat conduction between the first heater 30 and the substrate 10 so that heat generated by the heating of the first heater 30 and the second heater 50 is lost through the substrate 10. To prevent them. The heat insulation layer 20 may be formed by oxidizing the upper surface of the substrate 10 or by depositing a silicon oxide film such as SiO 2 .

제1히터(30)는 단열층(20) 상에 배치되어 잉크를 가열한다. 제1히터(30)는 단열층(20) 상에 탄탈륨 질화물(tantalum nitride), 탄탈륨 알루미늄합금(tantalum aluminum) 또는 백금합금 등과 같은 발열 금속을 적층하여 형성할 수 있다. 제1히터(30)는 스퍼터링(sputtering), 코스퍼터링(co-sputtering) 또는 화학기상증착법(chemical vapor deposition) 기타 이와 유사한 방법에 의해 형성될 수 있다. 제1히터(30)의 두께는 500~3,000 Å인 것이 바람직하다.The first heater 30 is disposed on the heat insulation layer 20 to heat the ink. The first heater 30 may be formed by stacking a heating metal such as tantalum nitride, tantalum aluminum alloy, or platinum alloy on the insulating layer 20. The first heater 30 may be formed by sputtering, co-sputtering or chemical vapor deposition or the like. It is preferable that the thickness of the 1st heater 30 is 500-3,000 Pa.

히터전극(40)은 제1히터(30) 상에 배치되어 제1히터(30)에 전원을 공급한다. 전원공급부(미도시)는 히터전극(40)에 전원을 공급한다. 제어부(미도시)는 외부의 화상정보 신호에 기초하여 전원공급부(미도시)가 히터전극(40)에 전원을 공급하는 것을 단속한다.The heater electrode 40 is disposed on the first heater 30 to supply power to the first heater 30. The power supply unit (not shown) supplies power to the heater electrode 40. The controller (not shown) intercepts the power supply unit (not shown) supplying power to the heater electrode 40 based on an external image information signal.

히터전극(40)은 알루미늄으로 형성될 수 있다. 히터전극(40)은 스퍼터링에 의해 제1히터(30) 상에 증착된 후 포토레지스트(PR)에 의해 패터닝한 후 식각되어 형성될 수 있다. 히터전극(40)의 경사면의 기울기는 30~50°인 것이 바람직하다.The heater electrode 40 may be formed of aluminum. The heater electrode 40 may be formed by being deposited on the first heater 30 by sputtering and then etching by patterning the photoresist PR. The inclination of the inclined surface of the heater electrode 40 is preferably 30 to 50 degrees.

제2히터(50)는 제1히터(30)와 함께 히터전극(40)을 감싸도록 히터전극(40) 상에 배치되고 히터전극(40)으로부터 전원을 공급받아 잉크를 가열한다. 제2히터(50)는 제1히터(30) 및 히터전극(40)의 상면에 형성되어 제1히터(30) 및 히터전극(40)이 잉크챔버(미도시) 내에 수용된 잉크에 노출되어 직접 접촉되는 것을 차단한다. 제2히터(50)는 잉크와 직접 접촉하여 가열하도록 잉크에 노출된다.The second heater 50 is disposed on the heater electrode 40 to surround the heater electrode 40 together with the first heater 30, and receives power from the heater electrode 40 to heat the ink. The second heater 50 is formed on the upper surface of the first heater 30 and the heater electrode 40 so that the first heater 30 and the heater electrode 40 are exposed to the ink contained in the ink chamber (not shown). Block contact. The second heater 50 is exposed to the ink to be heated in direct contact with the ink.

제2히터(50)는 잉크에 대한 내부식성이 강하고 화학적으로 안정한 금속으로 형성하는 것이 바람직하다. 제2히터(50)는 Pt-Tax, Pt-Ox, Pt-Wx, Pt-Rux, Pt-Rhx 또는 Pt-Irx 등과 같은 백금합금인 것이 바람직하다. 제2히터(50)는 스퍼터링 또는 코스퍼터링 또는 이와 유사한 방법에 의해 형성될 수 있으며, 두께는 500~3000Å 인 것이 바람직하다.The second heater 50 is preferably formed of a metal having strong corrosion resistance to the ink and chemically stable. The second heater 50 is preferably a platinum alloy such as Pt-Tax, Pt-Ox, Pt-Wx, Pt-Rux, Pt-Rhx or Pt-Irx. The second heater 50 may be formed by sputtering or coasting or the like, and the thickness thereof is preferably 500 to 3000 mm 3.

이에 따라 제2히터(50)는 노출히터(bare heater)를 형성하여 직접 잉크를 가열할 수 있어 히팅 효율을 향상시킬 수 있다. 또한 제2히터(50)는 잉크에 취약한 히터전극(40)이 잉크에 접촉하는 것을 차단함으로써 히터전극(40)을 보호하기 위해 히터전극(40)을 감싸도록 형성되는 별도의 보호층을 생략할 수 있으며, 그 결과 보호층의 형성에 필요한 제조 과정을 생략할 수 있다.Accordingly, the second heater 50 may form an exposed heater to directly heat the ink, thereby improving heating efficiency. In addition, the second heater 50 may omit a separate protective layer formed to surround the heater electrode 40 to protect the heater electrode 40 by blocking the heater electrode 40 vulnerable to ink from contacting the ink. As a result, the manufacturing process required for the formation of the protective layer can be omitted.

뿐만 아니라 종래의 reverse type에서 발생한 바와 같이 단열층(20)에 수직방향으로 식각된 수직손상부가 형성되지 않는다. 히터전극(40)과 제2히터(50) 사이에 실리콘 계열의 보호층을 증착, 패터닝하는 경우에도 비실리콘 계열인 제1히터(30)가 단열층(20)을 차단 보호하고 있으므로, 보호층의 패터닝 과정에서 단열층(20)이 손상되지 않는다. 따라서 수직손상부에 금속이 불량하게 스퍼터링되어 제2히터(50)의 두께가 불균일하게 형성되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the vertical damage portion etched in the vertical direction is not formed in the heat insulation layer 20 as occurs in the conventional reverse type. In the case of depositing and patterning a silicon-based protective layer between the heater electrode 40 and the second heater 50, the non-silicon-based first heater 30 blocks and protects the heat insulating layer 20. The insulating layer 20 is not damaged during the patterning process. Therefore, it is possible to prevent the metal sputtered poorly to the vertical damage portion to form a non-uniform thickness of the second heater (50).

제1히터(30)의 전기적 저항은 제2히터(50)의 전기적 저항보다 크지 않은 것이 바람직하다. 이에 따라 전원공급부(미도시)로부터 히터전극(40)에 수령된 전원 중 제1히터(30)에 보다 많은 전력이 배분될 수 있다. 제1히터(30)와 제2히터(50)의 전기적 저항의 합은 20~70Ω/square 인 것이 바람직하다.The electrical resistance of the first heater 30 is preferably not greater than the electrical resistance of the second heater 50. Accordingly, more power may be distributed to the first heater 30 among the power received from the power supply unit (not shown) to the heater electrode 40. It is preferable that the sum of the electrical resistances of the first heater 30 and the second heater 50 is 20 to 70 mW / square.

물론 제2히터(50)는 히터전극(40)만을 감싸도록 형성되어 히터전극(40)만이 잉크와 직접 접촉하는 것을 방지하고, 제1히터(30)는 감싸도록 형성되지 않아 제1히터(30)가 잉크에 노출되어 직접 잉크를 가열하도록 할 수 있다. 이 경우 제1히터(30)는 백금합금 등으로 형성되어 잉크에 대해 내부식성을 향상시키는 것이 바람직하다.Of course, the second heater 50 is formed to surround only the heater electrode 40 to prevent only the heater electrode 40 from directly contacting the ink, and the first heater 30 is not formed to surround the first heater 30. ) Can be exposed to the ink to directly heat the ink. In this case, it is preferable that the first heater 30 is made of platinum alloy or the like to improve corrosion resistance of the ink.

이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린터헤드의 제조방법에 대해 도 3을 참조하여 설명한다. 잉크를 수용하는 잉크챔버에 기판(10)을 배치하고, 기판(10) 상에 단열층(20)을 형성한다. 단열층(20) 상에 제1히터(30)를 형성하고, 제 1히터(30) 상에 히터전극(40)을 형성한다. 다음으로 제1히터(30)와 함께 히터전극(40)을 감싸도록 히터전극(40) 상에 제2히터를 형성한다.Hereinafter, a method of manufacturing an inkjet printhead according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 3. The substrate 10 is disposed in the ink chamber containing the ink, and the heat insulating layer 20 is formed on the substrate 10. The first heater 30 is formed on the heat insulation layer 20, and the heater electrode 40 is formed on the first heater 30. Next, a second heater is formed on the heater electrode 40 to surround the heater electrode 40 together with the first heater 30.

이상에서 볼 수 있듯이 본 발명에 따른 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법은 히터가 직접 잉크와 접촉하여 가열함으로써 히팅 효율을 향상시키고, 히터전극을 보호하기 위한 보호층을 생략함으로써 제조공정을 단순화할 수 있다. 또한 단열층이 손상되는 것을 방지하여 히터층이 불균일한 두께로 형성되는 것을 방지할 수 있다.As can be seen from the above, the inkjet printhead and the manufacturing method thereof according to the present invention can improve the heating efficiency by heating the heater directly in contact with the ink, and simplify the manufacturing process by omitting a protective layer for protecting the heater electrode. . In addition, it is possible to prevent the heat insulation layer from being damaged, thereby preventing the heater layer from being formed with a nonuniform thickness.

Claims (5)

잉크를 수용하는 잉크챔버를 구비하는 잉크젯 프린트헤드에 있어서,An inkjet printhead having an ink chamber for containing ink, the inkjet printhead comprising: 상기 잉크챔버에 배치되는 기판;A substrate disposed in the ink chamber; 상기 기판 상에 적층되는 단열층;A heat insulation layer laminated on the substrate; 상기 단열층 상에 배치되어 상기 잉크를 가열하는 제1히터;A first heater disposed on the heat insulation layer to heat the ink; 상기 제1히터 상에 배치되어 상기 제1히터에 전원을 공급하는 히터전극; 및A heater electrode disposed on the first heater to supply power to the first heater; And 상기 제1히터와 함께 상기 히터전극을 감싸도록 상기 히터전극 상에 배치되고 상기 히터전극으로부터 전원을 공급받아 상기 잉크와 직접 접촉하여 가열하는 제2히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드.And a second heater disposed on the heater electrode to surround the heater electrode together with the first heater and receiving power from the heater electrode to directly contact the ink and to heat the ink. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2히터는 백금합금인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드.And the second heater is a platinum alloy. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 제1히터의 전기적 저항은 상기 제2히터의 전기적 저항보다 크지 않은 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드.And the electrical resistance of the first heater is not greater than the electrical resistance of the second heater. 잉크를 수용하는 잉크챔버를 구비하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법에 있어서,An inkjet printhead manufacturing method comprising an ink chamber containing ink, 상기 잉크챔버에 기판을 배치하는 단계;Disposing a substrate in the ink chamber; 상기 기판 상에 단열층을 형성하는 단계;Forming a heat insulation layer on the substrate; 상기 단열층 상에 제1히터를 형성하는 단계;Forming a first heater on the heat insulation layer; 상기 제1히터 상에 히터전극을 형성하는 단계; 및Forming a heater electrode on the first heater; And 상기 제1히터와 함께 상기 히터전극을 감싸도록 마련되어 상기 잉크와 직접 접촉하며 가열하는 제2히터를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.And forming a second heater provided to surround the heater electrode together with the first heater to directly contact and heat the ink. 삭제delete
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