KR100674016B1 - 풀-컬러 유기 전계 발광 장치의 제조에 사용되는 마스크 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 셀 구조물을 손상시키지 않고 마스킹 기능을 수행할 수 있는 풀-컬러 유기 전계 발광 장치의 제조에 사용되는 마스크에 관한 발명이다. 이를 위해, 상기 마스크는 제 1 마스킹부와 제 2 마스킹부를 포함한다. 상기 제 1 마스킹부는 셀 구조물들 위에 수평하게 형성되어 있다. 상기 제 2 마스킹부는 상기 셀 구조물들 사이에 위치하도록 상기 제 1 마스킹부와 결합되며, 소정의 높이를 가진다. 상기 마스크는 상기 셀 구조물들 사이에 상기 셀 구조물과 동일한 높이를 가지는 상기 제 2 마스킹부를 포함하고 있으므로, 상기 셀 구조물을 손상시키지 않고 마스킹 기능을 수행할 수 있다.
마스크, 자석, 유기 전계 발광 장치
Description
도 1a는 종래의 쉐도우 마스크를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1b는 물질 증착시 도 1a의 상기 쉐도우 마스크를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마스크를 도시한 평면도이다.
도 2b는 도 2a의 I - I' 선을 따라 절단된 마스크를 도시한 단면도이다.
도 2c는 도 2a의 셀 구조물을 도시한 평면도이다.
본 발명은 풀-컬러 유기 전계 발광 장치의 제조에 사용되는 마스크에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 셀 구조물을 손상시키지 않고 마스킹 기능을 수행할 수 있는 마스크에 관한 것이다.
풀-컬러 유기 전계 발광 장치(Full Color Organic Electroluminescent apparatus)는 레드(red), 그린(green) 및 블루(blue)의 3색을 발광하는 장치로서, 유기물층에 각기 레드, 그린 및 블루에 해당하는 유기물을 증착하여 구현한다. 풀-컬러를 구현하기 위한 많은 방법이 있으나, 그 중에서 발광 효율이 좋은 것은 쉐도우 마스크(shadow mask)를 이용하여 발광층을 형성하는 방법이다. 상기 쉐도우 마스크를 이용하여 발광층을 형성하는 방법은 레드, 그린 및 블루의 빛을 발하는 물질을 각기 증착시키는 방법을 의미하며, 화소의 어레이에 따라 스트립 방법, 델타(delta) 방법 등이 있다.
도 1a는 종래의 쉐도우 마스크를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 1b는 물질 증착시 도 1a의 상기 쉐도우 마스크를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 종래의 마스크(90)는 셀 구조물(70) 위에 위치하며, 유리 기판(50)과 평행하게 설정되어 있다. 물질 증착시, 자석(10)은 자기장을 발생시켜 마스크(90)를 셀 구조물(70) 위에 밀착시킨다. 이 것은 물질 증착시 쉐도우 현상(shadow phenomenon)을 방지하기 위한 것이다. 그러나, 도 1b에 도시된 바와 같이 상기 자기장이 발생되면, 셀 구조물들(70) 사이에 위치하는 마스크(90)의 부분이 휘어지게 되어 셀 구조물(70)의 모서리 부분이 손상될 수 있다. 그 결과, 파티클(particle)이 발생될 수 있어 전계 발광 장치의 제조 수율이 떨어질 수 있다. 그러므로, 물질 증착시, 셀 구조물을 손상없이 마스킹 기능을 수행할 수 있는 마스크가 요구된다.
본 발명의 목적은 셀 구조물을 손상시키지 않고 마스킹 기능을 수행할 수 있는 풀-컬러 유기 전계 발광 장치의 제조에 사용되는 마스크를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 풀-컬러 유기 전계 발광 장치의 제조에 사용되는 마스크는 제 1 마스킹부 및 제 2 마스킹부를 포함한다. 상기 제 1 마스킹부는 셀 구조물들 위에 수평하게 형성되어 있다. 상기 제 2 마스킹부는 상기 셀 구조물들 사이에 위치하도록 상기 제 1 마스킹부와 결합되며, 소정의 높이를 가진다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제 2 마스킹부는 상기 셀 구조물과 동일한 높이를 가진다.
본 발명의 풀-컬러 유기 전계 발광 장치의 제조에 사용되는 마스크는 상기 셀 구조물들 사이에 상기 셀 구조물과 동일한 높이를 가지는 상기 제 2 마스킹부를 포함하고 있으므로, 자기장 인가시 상기 셀 구조물을 손상시키지 않고 마스킹 기능을 수행할 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 풀-컬러 유기 전계 발광 장치의 제조에 사용되는 마스크의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다.
도 2a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마스크를 도시한 평면도이다.
도 2a를 참조하면, 마스크(280)는 셀들 위에 형성된다. 상기 셀들은 능동 영역(active region, 260) 위에 형성된다. 마스크(280)는 이하의 제 1 마스킹부와 제 2 마스킹부를 포함한다. 상기 제 2 마스킹부는 능동 영역(260)들 사이의 공간(270)에 형성된다. 이에 대한 자세한 설명은 이하 첨부된 도면을 참조하여 상술하겠다.
도 2b는 도 2a의 I - I' 선을 따라 절단된 마스크를 도시한 단면도이다.
도 2b를 참조하면, 자석(magnet, 200)은 알루미늄(Al) 평판(220)에 결합되어 있고, 셀 구조물(260)은 유리 기판 또는 인듐 주석 산화물층(Indium Tin Oxide Film)을 포함하는 유리 기판(240) 위에 형성되어 있다. 여기서, 셀 구조물(260)은 상기 셀 위에 형성된 구조물을 의미한다.
본 발명의 마스크(280)는 셀 구조물들(260) 위에 위치하여 일정한 패턴의 구조물을 마스크(280)의 관통 개구들을 통해 유리 기판(240) 위에 형성시키며, 셀 구조물(260)들에 대응되는 위치에 관통 개구들이 형성된 제 1 마스킹부(300) 및 제 2 마스킹부(320)를 포함한다.
제 1 마스킹부(300)는 셀 구조물(260) 위에 유리 기판(240)과 수평하게 형성되어 있다.
제 2 마스킹부(320)는 셀 구조물들(260) 사이에 위치하며, 제 1 마스킹부(300)에 결합되어 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 제 2 마스킹부(320)는 제 1 마스킹부(300)에 일체로 결합된다. 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 제 2 마스킹부(320)는 셀 구조물(260)과 동일한 높이를 가진다. 또한, 제 2 마스킹부(320)는 셀 구조물들(260) 사이의 길이보다 작은 폭을 가지고, 사각형 모양을 가진다. 물론 제 2 마스킹부(320)는 다양한 모양을 가질 수 있고, 이러한 모양의 변형은 본 발명의 범주에 영향을 미치지 아니한다는 것은 당업자에게 있어 자명한 사실일 것이다.
쉐도우 현상(shadow phenomenon)을 방지하기 위하여, 자석(200)을 이용하여 마스크(280)를 셀 구조물(260) 위에 밀착시킨다. 즉, 자석(200)에 의해 발생된 자 기장에 의해 마스크(280)가 셀 구조물(260) 위에 밀착된다. 종래의 마스크는 유리 기판(240)에 평행하게 형성되어 있었으므로, 자기장에 의해 셀 구조물들 사이의 마스크 부분이 휘어져 상기 셀 구조물의 모서리 부분, 특히 상기 격벽 부분이 손상될 수 있었다. 반면에, 본 발명의 마스크(280)는 셀 구조물들(260) 사이에 셀 구조물(260)과 동일한 높이를 가지는 제 2 마스킹부(320)를 위치시켜 상기 자기장에 의한 마스크(280)의 휘어짐을 약하게 하였다. 그 결과, 쉐도우 현상이 방지될 뿐만 아니라 셀 구조물(260)이 손상되지 않아 수율이 향상된다.
도 2c는 도 2a의 상기 셀 구조물을 도시한 평면도이다.
도 2c를 참조하면, 셀 구조물(260)은 인듐 주석 산화물층(Indium Tin Oxide Film)을 포함하는 유리 기판(240) 위에 형성되어 있다. 상세하게는, 셀 구조물(260)은 순차적으로 적층된 절연막(400), 격벽(420), 유기물층(440) 및 금속 전극층(460) 중 전부 또는 일부에 해당하는 구조물이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물층(440)은 정공 주입층, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층 및 전자 주입층을 포함한다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기물층(440)은 정공 수송층, 발광층 및 전자 수송층을 포함한다. 이 경우, 본 발명의 제 2 마스킹부(320)는 순차적으로 적층된 절연막(400), 격벽(420), 유기물층(440) 및 금속 전극층(460)의 전체 높이와 동일한 높이를 가진다.
상기한 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양 한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 풀-컬러 유기 전계 발광 장치의 제조에 사용되는 마스크는 셀 구조물들 사이에 소정 높이를 가지는 제 2 마스킹부를 포함하고 있으므로, 자기장 인가시 상기 셀 구조물을 손상시키지 않고 마스킹 기능을 수행할 수 있는 장점이 있다.
Claims (6)
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- 복수개의 셀 구조물 위에 증착 물질을 증착하기 위한, 풀-컬러 유기 전계 발광 장치의 제조에 사용되는 마스크에 있어서,셀 구조물들 위에 수평하게 위치하도록 평평하게 형성되고, 상기 셀 구조물들에 대응되는 위치에 증착 물질이 통과되는 관통 개구들이 형성된 제 1 마스킹부; 및상기 셀 구조물들 사이에 위치하도록 상기 제 1 마스킹부와 결합되며, 소정의 높이를 가지는 제 2 마스킹부를 포함하되,상기 제 2 마스킹부는 상기 제 1 마스킹부와 일체로 결합되는 것을 특징으로 하는 풀-컬러 유기 전계 발광 장치의 제조에 사용되는 마스크.
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