KR100673397B1 - 인쇄 회로 기판의 과검출 방지를 위해 실시간 모니터링하는자동 광학 검사 시스템 및 그 처리 방법 - Google Patents

인쇄 회로 기판의 과검출 방지를 위해 실시간 모니터링하는자동 광학 검사 시스템 및 그 처리 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 다수의 인쇄 회로 기판들을 1 차 검사 후 불량 표시 이전에 실시간으로 2 차 검사하여 과검출을 방지하는 자동 광학 검사 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 자동 광학 검사 시스템은 권출부와 권취부 사이에 1 차 및 2 차 검사부와 불량 처리부 및 제어부를 포함한다. 2 차 검사부는 1 차 검사에서 불량으로 판별된 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 불량 표시하기 전에 실시간으로 모니터링하여 과검출을 방지한다. 이 때, 제어부는 이미지 데이터의 불량 위치 개수를 기준값과 비교하여 양품성 이물에 의한 불량인지 실제 패턴 불량인지를 판별한다. 따라서 본 발명에 의하면, 자동 광학 검사 시스템은 불량 표시 이전에 실시간으로 2 차 검사를 수행함으로써, 검사 속도의 향상과, 제조 수율이 증가된다.
자동 광학 검사 시스템, 인쇄 회로 기판, 2 차 검사, 실시간 모니터링

Description

인쇄 회로 기판의 과검출 방지를 위해 실시간 모니터링하는 자동 광학 검사 시스템 및 그 처리 방법{AUTOMATIC OPTICAL INSPECTION SYSTEM FOR PRINTED CIRCUIT BOARD AND METHOD FOR PROCESSING OF THE SAME}
도 1은 본 발명에 따른 일 실시예에 따른 자동 광학 검사 시스템의 구성을 도시한 블럭도;
도 2는 본 발명에 따른 다른 실시예에 따른 자동 광학 검사 시스템의 구성을 도시한 블럭도; 그리고
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 자동 광학 검사 시스템의 처리 수순을 도시한 흐름도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100, 100' : 자동 광학 검사 시스템
102, 102' : 제어부
104 : 권출부
106 : 1 차 검사부
108, 108' : 2 차 검사부
110 : 불량 처리부
112 : 권취부
본 발명은 자동 광학 검사 시스템에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 인쇄 회로 기판의 과검출을 방지하기 위한 자동 광학 검사 시스템에서, 실시간으로 불량 여부를 판별하기 위한 장치 및 그 처리 방법에 관한 것이다.
각종 전자 제품들이 점차 경박화 및 슬림화 됨에 따라 이에 사용되는 다양한 반도체 재료 및 전기, 전자 소자들이 장착되는 인쇄 회로 기판들이 소형화되고 있다. 이러한 인쇄 회로기판들은 회로 패턴의 선폭들이 점점 얇아진다. 따라서 이를 검사하기 위한 자동 광학 검사 시스템의 도입이 활발히 진행되고 있다. 특히 필름, 테이프 형태로 제조된 인쇄 회로 기판들을 위한 광학 자동 검사 시스템은 릴 또는 롤 방식으로 검사하고 있다.
하지만 이들의 검사에 있어서 양품성 이물 즉, 실제 기능상에는 양품이지만 자동 광학 검사 시스템에서는 불량으로 판정하는 이물에 의한 과검출이 문제가 되고 있다. 이러한 과검출은 실제 생산하는 업체의 생산성을 크게 저하시켜 원가 경쟁력을 저하시키고 있다.
인쇄 회로 기판의 외관 검사시, 과검출을 방지하기 위한 방안으로, 본 출원인에 의해 출원된 특허출원번호 제 2003-41230호(출원일 : 2003년 6월 24일)의 '플렉시블 인쇄 회로 기판의 과검출을 방지하기 위한 광학적 검사 시스템 및 그 방법'과, 특허출원번호 제 2004-21229호(출원일 : 2004년 3월 29일)의 '필름, 테이프 형 태의 인쇄 회로 기판의 외관 검사에서의 과검출을 방지하기 위한 시스템 및 그 처리 방법' 등이 있다.
이러한 자동 광학 검사 시스템은 과검출을 방지하기 위하여 2 차에 걸쳐서 투과광 및/또는 반사광을 이용하여 필름 및 테이프 형태의 인쇄 회로 기판의 외관을 검사한다.
즉, 자동 광학 검사 시스템은 비젼 검사부에서 1 차 검사한 결과를 저장하고, 1 차의 모든 검사가 종료된 후에 2 차로 작업자가 판단하여 양품성 이물과 패턴성 실제 불량을 판단한다. 이 때 1 차 검사가 종료된 후에는 불량 처리 기능은 수행하지 않는다. 그리고 2 차 검사에 의한 양품성 불량은 양품으로 검사 결과를 업데이트하여 최종 업데이트된 검사 결과를 다시 자동 광학 검사 시스템으로 보내어 2 차 검사 결과를 기준으로 불량 처리부에서 펀칭 또는 마킹하여 불량 인쇄 회로 기판을 표시한다. 이는 불량 인쇄 회로 기판 만을 찾아서 불량으로 표시하거나, 자동 검사 시스템의 가동율을 증가시키기 위해서 별도의 불량 처리부(예컨대, 자동 불량 펀칭기)를 이용하여 2 차 검사가 완료된 다수의 인쇄 회로 기판이 감겨져 있는 릴(또는 롤)을 불량 처리부에 장착하고, 불량 인쇄 회로 기판을 불량 표시한다.
상술한 바와 같이, 종래 기술의 자동 광학 검사 시스템은 과검출을 방지하기 위해 2 차 검사를 실시한다. 그러나, 이러한 자동 광학 검사 시스템은 2 차 검사를 실시함에 따라 검사 속도가 저하되어, 생산성이 떨어지는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 인쇄 회로 기판의 양품을 불량으로 판별하는 과검출을 방지하기 위한 자동 광학 검사 시스템 및 그의 처리 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 인쇄 회로 기판의 양품을 불량으로 판별하는 과검출을 방지하기 위하여 1 차 검사 후, 불량 표시 이전에 실제 불량 여부를 실시간으로 모니터링하는 자동 광학 검사 시스템 및 그의 처리 방법을 제공하는데 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 자동 광학 검사 시스템은 불량 표시 이전에 1 차 검사 결과를 실시간으로 모니터링하여 2 차 검사를 수행하는데 그 한 특징이 있다. 본 발명에 의하면, 불량 표시 이전에 2 차 검사를 실시간으로 처리함으로써, 과검출을 방지할 수 있으며 검사 속도가 향상된다.
본 발명의 자동 광학 검사 시스템은, 다수의 인쇄 회로 기판들을 제공하는 권출부 및 상기 인쇄 회로 기판들을 회수하는 권취부를 구비한다. 그리고 상기 권출부로부터 상기 인쇄 회로 기판들을 받아들여서 광학을 이용하여 상기 인쇄 회로 기판들의 회로 패턴을 검사하는 1 차 검사부와; 상기 1 차 검사부로부터 불량 판별된 적어도 하나의 인쇄 회로 기판들을 실시간으로 모니터링하여 상기 불량 판별된 인쇄 회로 기판이 실제 불량인지를 검사하는 2 차 검사부와; 상기 1 차 및 상기 2 차 검사부로부터 실제 불량으로 판별된 인쇄 회로 기판을 불량으로 표시하여 상기 권취부로 제공하는 불량 처리부 및; 상기 1 차 검사부의 검사 결과로부터 불량 판별된 인쇄 회로 기판이 실제 불량인지를 상기 불량 처리부에서 불량으로 표시하기 이전에 상기 2 차 검사부에서 검사하도록 제어하는 제어부를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 2 차 검사부는 상기 1 차 검사부와 상기 불량 처리부 사이에 구비되는 것이 바람직하다.
다른 실시예에 있어서, 상기 2 차 검사부는 상기 제어부와 네트워크를 통해 연결되는 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 특징에 의한 자동 광학 검사 시스템은, 광학을 이용하여 다수의 인쇄 회로 기판들에 대응하는 다수의 이미지 데이터를 획득하는 1 차 검사부와; 상기 이미지 데이터가 기준값 이상의 불량 위치의 개수를 갖는 이미지 데이터이면, 상기 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 불량으로 표시하는 불량 처리부와; 상기 이미지 데이터가 상기 기준값 이하의 불량 위치의 개수를 가지면, 상기 불량 처리부로부터 불량으로 표시하기 이전에 상기 이미지 데이터를 실시간으로 모니터링하여 상기 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판이 실제 불량인지를 검사하는 2 차 검사부 및; 상기 기준값을 설정하고, 상기 1 차 검사부로부터 상기 이미지 데이터를 받아들여서 상기 이미지 데이터가 상기 기준값 이상의 불량 위치의 개수를 가지면 상기 불량 처리부로 상기 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 실제 불량으로 표시하도록 제어하고, 상기 이미지 데이터가 상기 기준값 이하의 불량 위치의 개수를 가지면 상기 2 차 검사부의 검사 결과에 대응하여 상기 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 상기 불량 처리부를 표시하도록 제어하는 제어부를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 2 차 검사부는; 상기 제어부로부터 상기 1 차 검사부에서 상기 불량으로 판별된 인쇄 회로 기판의 이미지 데이터를 받아서 상기 이 미지 데이터의 적어도 하나의 불량 위치가 양품성 이물에 의한 불량인지 실제 불량인지를 판별한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 2 차 검사부는 상기 이미지 데이터의 모든 불량 위치가 양품성 이물에 의한 불량이면 상기 이미지 데이터를 양품으로 업데이트 하며, 상기 제어부는 상기 업데이트된 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 양품으로 처리하도록 상기 불량 처리부를 제어한다. 또한, 상기 2 차 검사부는 상기 이미지 데이터의 적어도 하나의 불량 위치가 실제 패턴 불량이면 상기 이미지 데이터를 그대로 두고, 상기 제어부는 상기 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 불량으로 표시하도록 상기 불량 처리부를 제어한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 2 차 검사부는 상기 1 차 검사부와 상기 불량 처리부 사이에 구비되는 것이 바람직하다.
다른 실시예에 있어서, 상기 2 차 검사부는 상기 제어부와 네트워크를 통해 연결되는 것이 바람직하다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 1 차 및 2 차 검사부를 구비하는 자동 광학 검사 시스템의 처리 방법이 제공된다. 이 방법에 의하면, 다수의 인쇄 회로 기판에 대응하는 이미지 데이터를 획득하여 1 차 검사를 실시한다. 상기 1 차 검사에서 불량으로 판별된 인쇄 회로 기판을 불량으로 표시하기 이전에 상기 1 차 검사에서 불량으로 판별된 인쇄 회로 기판의 이미지 데이터를 실시간으로 모니터링하여 2 차 검사한다. 그리고 상기 1 차 및 상기 2 차 검사에서 실제 불량으로 판별된 인쇄 회로 기판을 불량으로 표시한다.
본 발명의 또 다른 특징의 자동 광학 검사 시스템의 검사 방법은, 다수의 인쇄 회로 기판에 대응하는 이미지 데이터를 획득하여 상기 인쇄 회로 기판의 양부를 판별하는 1 차 검사를 실시한다. 상기 1 차 검사에서 불량으로 판별된 인쇄 회로 기판의 이미지 데이터에 있는 불량 위치의 개수가 설정된 개수 이상인지를 판별한다. 상기 판별 결과, 상기 불량 위치의 개수가 상기 설정된 개수 이상이 아니면 상기 1 차 검사에서 획득된 이미지 데이터를 2 차 검사부로 전송한다. 상기 2 차 검사부에서 상기 불량 판별된 유닛의 이미지 데이터를 디스플레이한다. 상기 디스플레이된 이미지 데이터의 불량 위치가 실제 불량인지를 판별한다. 적어도 하나의 상기 불량 위치가 실제 불량이면, 상기 불량으로 판별된 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 불량으로 표시한다. 모든 불량 위치가 양품성 이물에 의한 불량이면, 상기 1 차 검사에서의 이미지 데이터를 양품으로 업데이트한다. 그리고 상기 업데이트된 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 양품으로 처리한다.
일 실시예에 있어서, 상기 판별 결과, 상기 불량 위치의 개수가 상기 설정된 개수 이상이면, 상기 1 차 검사에서 불량으로 판별된 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 불량으로 표시한다.
이하 본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 일 실시예에 따른 자동 광학 검사 시스템의 구성을 도시한 블럭도이다.
도 1을 참조하면, 자동 광학 검사 시스템(100)은 다수의 인쇄 회로 기판들을 공급, 회수하는 권출부(104)와 권취부(112) 사이에 1 차 및 2 차 검사부(106, 108) 와, 불량 처리부(110) 및 이들 구성 요소들의 제반 동작을 제어하는 제어부(102)를 포함한다. 자동 광학 검사 시스템(100)은 인쇄 회로 기판을 광학을 이용하여 회로 패턴을 검사함에 있어서 과검출을 방지하기 위해 불량 표시(즉, 펀칭 또는 마킹) 전에 실시간으로 모니터링하는 2 차 검사를 수행한다.
여기서 본 발명의 1 차 검사는 자동 광학 검사를 위해 반사 및/또는 투과 광원과, 카메라 및 영상 처리 장치를 이용하여 인쇄 회로 기판들에 대응하는 이미지 데이터들을 획득하고, 획득된 각각의 이미지 데이터에 적어도 하나의 불량 위치가 있는지를 검출하여 해당 인쇄 회로 기판의 양부를 판별한다. 그리고 2 차 검사는 1 차 검사시 불량 판별된 인쇄 회로 기판의 이미지 데이터를 받아서 디스플레이하고, 디스플레이된 이미지 데이터의 적어도 하나의 불량 위치들을 작업자가 실시간으로 직접 확인하여 해당 인쇄 회로 기판의 양부를 검사한다.
권출부(104)는 필름 또는 테이프 형태의 인쇄 회로 기판이 릴(reel) 또는 롤(roll) 형태의 연속적으로 이어진 인쇄 회로 기판들을 1 차 검사부(106)로 제공한다.
1 차 검사부(106)는 예컨대, 비젼 검사부(vision inspector)로서, 권출부(104)로부터 제공된 인쇄 회로 기판들을 광학을 이용하여 촬상하고, 제어부(102)로 촬상된 이미지 데이터를 제공한다. 예컨대, 1 차 검사부(104)는 적어도 하나의 광원(예를 들어, 투과 광원 및/또는 반사 광원)과 적어도 하나의 카메라를 이용하여 인쇄 회로 기판의 회로 패턴에 대한 이미지 데이터를 획득하고, 획득된 이미지 데이터를 제어부(102)로 전송한다.
2 차 검사부(108)는 예컨대, 1 차 검사 결과를 실시간으로 확인하는 모니터링 시스템으로, 도면에는 도시되지 않았지만, 디스플레이 장치와, 입력 장치 및 저장 장치 등을 포함한다. 그리고 저장 장치는 1 차 검사된 인쇄 회로 기판이 불량 처리부(110)로 제공되기 전에 2 차 검사를 실시하기 위한 모니터링 프로그램(미도시됨)을 구비한다. 모니터링 프로그램은 이미지 데이터를 디스플레이하고, 작업자에 의해 불량 위치의 이미지 데이터를 실제 불량인지를 확인하여 업데이트하도록 구비된다. 예컨대, 1 차 검사에서 불량 유닛으로 판별된 인쇄 회로 기판이 2 차 검사없이 불량 처리부(110)로 제공되면, 불량 처리부(110)는 제어부(102)의 제어를 받아서 1 차 검사 결과에 의해 불량으로 표시 처리된다. 그러므로 2 차 검사부(108)에서 불량 처리 이후에 양품성 이물에 의한 불량 유닛을 양품으로 판정하면 이미 해당 유닛은 불량으로 표시된 상태이므로 사용할 수 없는 유닛이 된다. 따라서 2 차 검사부(108)는 해당 인쇄 회로 기판이 1 차 검사부(106)로부터 불량 처리부(110)로 제공되기 이전에 수행되어야 한다.
불량 처리부(110)는 예를 들어, 2 차 검사부와 인라인(inline)으로 구비되며, 1 차 및 2 차 검사 결과, 실제 패턴 불량으로 최종 판별된 인쇄 회로 기판을 펀칭(punching) 또는 마킹(marking)하여 권취부(112)로 제공한다. 이 경우에는 권출부로부터 권취부로 한 번 이동될 때, 1 차 및 2 차 검사와 불량 표시가 순차적으로 모두 처리된다. 그러므로 불량 처리부(110)는 2 차 검사가 완료된 후, 불량 여부를 표시함으로써, 권출부로부터 제공된 인쇄 회로 기판들을 1 차 및 2 차 검사부에서 검사한 후, 권취부를 통해 롤(또는 릴)에 되감은 후, 이를 불량 처리부가 다 시 받아서 불량 표시하는 기존의 자동 광학 검사 시스템보다 처리 속도가 빠르다. 뿐만 아니라 불량 처리부(110)는 예를 들어, 자동 광학 검사 시스템과는 독립적인 장치(예를 들어, 불량 펀칭 장치 등)로 구비될 수 있으며, 이 경우에도 2 차 검사부에서 2 차 검사가 완료된 후 실제 패턴 불량으로 최종 판별된 인쇄 회로 기판에 불량 표시한다.
권취부(112)는 2 차 검사부(108)로부터 검사 완료된 인쇄 회로 기판들을 불량 처리부(110)를 통해 받아들이고 되감는다.
그리고 제어부(102)는 본 발명의 자동 광학 검사 시스템(100)의 제반 동작을 제어하며, 1 차 검사부(104)로부터 촬상된 이미지 데이터를 받아서 양부를 판별한다. 이 때, 1 차 검사의 양부 판별은 기준값으로 하나의 유닛에 불량 위치의 개수를 이용하여 설정하고, 1 차 검사시, 불량 위치의 개수가 설정된 것 이상(또는 초과)의 개수이면, 1 차 검사에서 실제 패턴 불량으로 판별한다. 그리고 설정된 것 미만(또는 이하)의 개수이면 양품성 이물에 의한 불량인지 실제 패턴 불량인지를 판별하기 위하여 해당 유닛의 이미지 데이터를 2 차 검사부(108)로 전송한다. 제어부(102)는 2 차 검사부(108)에서 획득된 이미지 데이터로부터 불량 위치가 실제 불량인지 양품성 이물에 의한 불량인지를 확인하여, 양품성 이물에 의한 불량인 경우, 이를 클릭(또는 선택)하여 해당 유닛을 양품으로 업데이트한다. 그리고 제어부(102)는 업데이트된 이미지 데이터를 불량 처리부(110)로 전송하여 해당 유닛의 불량 여부를 표시하도록 제어한다. 즉, 2 차 검사부(108)에서 양품으로 업데이트된 유닛은 불량 표시하지 않고 권취부(112)로 제공된다.
따라서 본 발명의 자동 광학 검사 시스템(100)은, 1 차 검사부(104)에서 불량 판정된 유닛의 이미지 데이터에 설정된 불량 위치의 개수보다 적은 경우, 불량 처리부(110)에서 표시하기 이전에 실시간으로 2 차 검사를 수행하여, 불량 처리 전에 실시간으로 모니터링한다.
도 2는 본 발명에 따른 다른 실시예에 따른 자동 광학 검사 시스템의 구성을 도시한 블럭도이다. 이 실시예의 자동 광학 검사 시스템(100')의 구성 요소들 중 도 1의 실시예와 동일한 기능의 구성 요소들은 동일한 참조 번호를 병기하고, 이 구성 요소들에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
도 2를 참조하면, 자동 광학 검사 시스템(100')은 1 차 검사부(104)와 불량 처리부(110) 사이에서 실시간으로 2 차 검사를 수행하기 위하여 제어부(102')와 네트워크(114)(예를 들어, LAN, RS-232 등)를 통해 연결되는 2 차 검사부(108')를 구비한다.
2 차 검사부(108')는 예컨대, 퍼스널 컴퓨터, 워크스테이션 등의 컴퓨터 시스템으로 구비되며, 1 차 검사부(104)로부터 불량 판별된 인쇄 회로 기판들의 이미지 데이터를 제어부(102')를 통해 받아서 실시간으로 디스플레이하여 모니터링한다.
2 차 검사부(108')는 1 차 검사부(104)에서 1 차로 검사하여 획득된 이미지 데이터에, 설정 개수 이상의 불량 위치가 존재하면, 해당 유닛을 불량 유닛으로 판별한다. 이 때, 설정 개수는 제어부(102')에 설정되어 있다. 1 차 불량 판별된 인쇄 회로 기판의 이미지 데이터는 불량 위치의 설정 개수 이상이면 실제 불량으로 처리하고, 설정 개수 이하이면 양품성 이물에 의한 불량인지 실제 불량인지를 모니터링하기 위해 디스플레이된다.
예를 들어, 제어부(102')는 불량 위치 개수를 기준값 '5' 로 설정한 후, 실제 1 차 검사부(104)에서 획득된 하나의 이미지 데이터에 불량 위치가 5 개 이상이면, 해당 유닛은 그대로 불량 유닛으로 판정하여 2 차 검사를 생략한다. 그리고 5 개 이하이면 해당 유닛의 이미지 데이터를 2 차 검사부(108')를 실시간으로 전송하여 2 차 검사부(108')에 디스플레이한다. 이는 제어부(102')로부터 2 차 검사부(108')로 이미지 데이터를 실시간으로 네트워크(114)를 통하여 연결되어 있는 2 차 검사부(108')의 모니터링 프로그램에 의해 작업자가 양품성 이물과 실제 패턴 불량을 판별하여 양품성 이물인 경우에는 이미지 데이터의 불량 위치를 포인팅 입력 장치(미도시됨)로 선택하면 실시간으로 그 이미지 데이터는 양품으로 바뀌게 된다.
또한, 1 차 검사부(104)에서 하나의 유닛에 불량 위치 2 개가 얻어지면, 해당 이미지 데이터를 2 차 검사부(108')의 모니터링 프로그램으로 전송하고, 이를 디스플레이하여 작업자가 직접 확인한다. 이 때, 불량 위치의 이미지 데이터가 양품성 이물에 의한 불량이면 이미지 데이터의 해당 불량 위치를 클릭하여 양품으로 업데이트하고 실제 패턴 불량이면 그대로 둔다.
따라서 하나의 유닛에 검출된 2 곳의 불량 위치가 모두 양품성 이물에 의한 불량이면, 작업자는 2 개의 이미지 데이터의 불량 위치들을 모두 선택(클릭)한다. 그 결과, 불량 처리부(110)는 하나의 유닛을 업데이트된 검사 결과를 통해 양품으로 판별하여 불량 표시 처리하지 않는다.
상술한 본 발명은 반드시 2 차 검사부(108 또는 108')에서 작업자에 의한 검사를 하기 위해서 1 차 검사부(104)에서 검사한 유닛이 불량 처리부(110)에 도달하기 전에 2 차 검사 작업이 수행되어야 한다.
예를 들어 1 차 검사에서 불량으로 판별된 유닛이 2 차 검사 없이 불량 처리부(110)로 제공되면, 불량 처리부(110)에서는 그대로 해당 유닛을 불량으로 표시하게 된다. 그러므로 이 후에 2 차 검사를 통하여 양품성 이물에 의한 불량을 양품으로 업데이트하여도 이미 해당 유닛 상에는 불량 표시가 되어 있으므로 사용할 수 없는 유닛이 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 자동 광학 검사 시스템(100, 100')은 1 차 검사부(104)와 불량 처리부(110) 사이에 2 차 검사를 위한 모니터링 시스템(예를 들어, 디스플레이 장치를 포함하는 전자 장치 등)을 구비하여 작업자가 양품, 불량을 재검사할 수 있다. 모니터링 시스템으로 1 차 검사부(104)와 불량 처리부(110) 사이에서 1 차 검사에 의한 이미지 데이터를 작업자가 확인할 수 있는 광학 현미경을 구비하여 직접 작업자가 목측으로 검사할 수 있는 방법, 또는 1 차 검사에 의한 이미지 데이터를 보다 정확하게 판단하기 위해 칼라 카메라 등으로 구비하여 1 차 검사부에서 획득된 이미지 데이터를 보완하여 모니터링하는 방법 등 다양하게 적용 가능하다.
계속해서 도 3은 본 발명에 따른 자동 광학 검사 시스템의 과검출 방지를 위한 처리 수순을 도시한 흐름도이다. 이 수순은 제어부(102 또는 102')가 처리하는 프로그램으로, 이 프로그램은 제어부(102 또는 102')의 메모리 장치(미도시됨)에 저장된다.
도 3을 참조하면, 제어부(102 또는 102')는 단계 S150에서 1 차 검사부(104)로부터 인쇄 회로 기판에 대응하는 이미지 데이터를 획득하여 패턴의 양부를 판별하는 1 차 검사를 실시한다. 단계 S152에서 1 차 검사에서 불량으로 판별된 인쇄 회로 기판 유닛이 존재하면, 해당 유닛의 불량 위치의 개수가 설정된 개수 이상인지를 판별한다.
판별 결과, 불량 위치의 개수가 설정된 개수 이상이면 단계 S164로 진행하여 불량 처리부(110)에서 불량 유닛임을 표시한다. 이 때, 불량 유닛은 2 차 검사가 생략된다.
그리고 판별 결과, 불량 위치의 개수가 설정된 개수 이상이 아니면 단계 S154로 진행하여 1 차 검사에서 획득된 이미지 데이터를 2 차 검사부(108 또는 108')로 전송하고, 단계 S156에서 2 차 검사부(108 또는 108')에서는 1 차 검사에서 불량 판별된 유닛의 이미지 데이터를 디스플레이하여 실시간으로 모니터링한다. 단계 S158에서 디스플레이된 이미지 데이터의 불량 위치가 하여 실제 불량인지를 판별한다. 판별 결과, 불량 위치가 실제 불량이면 단계 S166으로 진행하여 해당 유닛을 불량 처리부(110)로 제공하여 불량 표시한다. 그리고 판별 결과, 불량 위치가 양품성 이물에 의한 불량이면, 단계 S160으로 진행하여 1 차 검사에서의 이미지 데이터를 양품으로 업데이트한다. 이어서 단계 S162에서 업데이트된 이미지 데이터를 통해 불량 처리부(110)로부터 해당 유닛을 양품 처리한다.
따라서, 2 차 검사부(108 또는 108')의 모니터링 프로그램을 통해 불량 위치 의 이미지 데이터를 디스플레이하고, 작업자는 해당 불량 위치가 실제 패턴 불량인지 양품성 이물에 의한 불량인지를 실시간으로 모니터링한다. 실제 불량인 경우 불량 위치의 이미지 데이터를 그대로 두고, 양품성 이물인 경우, 이미지 데이터의 불량 위치를 클릭하여 양품으로 업데이트한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 자동 광학 검사 시스템은 1 차 검사부와 불량 처리부 사이에 2 차 검사부를 구비하고, 불량 표시 이전에 1 차 검사에서 불량으로 판별된 인쇄 회로 기판을 2 차 검사부에서 실시간으로 모니터링하여 과검출을 방지함으로써, 처리 속도를 향상시키고 검사 수율을 증가시킨다.

Claims (12)

  1. 다수의 인쇄 회로 기판들을 제공하는 권출부 및 상기 인쇄 회로 기판들을 회수하는 권취부를 구비하는 자동 광학 검사 시스템에 있어서:
    상기 권출부로부터 상기 인쇄 회로 기판들을 받아들여서 광학을 이용하여 상기 인쇄 회로 기판들의 회로 패턴을 검사하는 1 차 검사부와;
    상기 1 차 검사부로부터 불량 판별된 적어도 하나의 인쇄 회로 기판들을 실시간으로 모니터링하여 상기 불량 판별된 인쇄 회로 기판이 실제 불량인지를 검사하는 2 차 검사부와;
    상기 1 차 및 상기 2 차 검사부로부터 실제 불량으로 판별된 인쇄 회로 기판을 불량으로 표시하여 상기 권취부로 제공하는 불량 처리부 및;
    상기 1 차 검사부의 검사 결과로부터 불량 판별된 인쇄 회로 기판이 실제 불량인지를 상기 불량 처리부에서 불량으로 표시하기 이전에 상기 2 차 검사부에서 검사하도록 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 2 차 검사부는 상기 1 차 검사부와 상기 불량 처리부 사이에 구비되는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 2 차 검사부는 상기 제어부와 네트워크를 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템.
  4. 자동 광학 검사 시스템에 있어서:
    광학을 이용하여 다수의 인쇄 회로 기판들에 대응하는 다수의 이미지 데이터를 획득, 검사하는 1 차 검사부와;
    상기 이미지 데이터가 기준값 이상의 불량 위치의 개수를 갖는 이미지 데이터이면, 상기 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 불량으로 표시하는 불량 처리부와;
    상기 이미지 데이터가 상기 기준값 이하의 불량 위치의 개수를 가지면, 상기 불량 처리부로부터 불량으로 표시하기 이전에 상기 이미지 데이터를 실시간으로 모니터링하여 상기 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판이 실제 불량인지를 검사하는 2 차 검사부 및;
    상기 기준값을 설정하고, 상기 1 차 검사부로부터 상기 이미지 데이터를 받아들여서 상기 이미지 데이터가 상기 기준값 이상의 불량 위치의 개수를 가지면 상기 불량 처리부로 상기 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 실제 불량으로 표시하도록 제어하고, 상기 이미지 데이터가 상기 기준값 이하의 불량 위치의 개수를 가지면 상기 2 차 검사부의 검사 결과에 대응하여 상기 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 상기 불량 처리부를 표시하도록 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 2 차 검사부는;
    상기 제어부로부터 상기 1 차 검사부에서 상기 불량으로 판별된 인쇄 회로 기판의 이미지 데이터를 받아서 상기 이미지 데이터의 적어도 하나의 불량 위치가 양품성 이물에 의한 불량인지 실제 불량인지를 판별하는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템.
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 2 차 검사부는 상기 이미지 데이터의 모든 불량 위치가 양품성 이물에 의한 불량이면 상기 이미지 데이터를 양품으로 업데이트하며,
    상기 제어부는 상기 업데이트된 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 양품으로 처리하도록 상기 불량 처리부를 제어하는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템.
  7. 제 4 항 내지 제 5 항에 있어서,
    상기 2 차 검사부는 상기 이미지 데이터의 적어도 하나의 불량 위치가 실제 패턴 불량이면 상기 이미지 데이터를 그대로 두고,
    상기 제어부는 상기 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 불량으로 표시하도록 상기 불량 처리부를 제어하는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템.
  8. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 2 차 검사부는 상기 1 차 검사부와 상기 불량 처리부 사이에 구비되는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템.
  9. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 2 차 검사부는 상기 제어부와 네트워크를 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템.
  10. 자동 광학 검사 시스템의 처리 방법에 있어서:
    다수의 인쇄 회로 기판에 대응하는 이미지 데이터를 획득하여 1 차 검사를 실시하는 단계와;
    상기 1 차 검사에서 불량으로 판별된 인쇄 회로 기판을 불량으로 표시하기 이전에 상기 1 차 검사에서 불량으로 판별된 인쇄 회로 기판의 이미지 데이터를 실시간으로 모니터링하여 2 차 검사하는 단계 및;
    상기 1 차 및 상기 2 차 검사에서 실제 불량으로 판별된 인쇄 회로 기판을 불량으로 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템의 처리 방법.
  11. 자동 광학 검사 시스템의 처리 방법에 있어서:
    다수의 인쇄 회로 기판에 대응하는 이미지 데이터를 획득하여 상기 인쇄 회로 기판의 양부를 판별하는 1 차 검사를 실시하는 단계와;
    상기 1 차 검사에서 불량으로 판별된 인쇄 회로 기판의 이미지 데이터에 있는 불량 위치의 개수가 설정된 개수 이상인지를 판별하는 단계와;
    상기 판별 결과, 상기 불량 위치의 개수가 상기 설정된 개수 이상이 아니면 상기 1 차 검사에서 획득된 이미지 데이터를 2 차 검사부로 전송하는 단계와;
    상기 2 차 검사부에서 상기 불량 판별된 인쇄 회로 기판의 이미지 데이터를 디스플레이하는 단계와;
    상기 디스플레이된 이미지 데이터의 불량 위치가 실제 불량인지를 판별하는 단계와;
    적어도 하나의 상기 불량 위치가 실제 불량이면, 상기 불량으로 판별된 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 불량으로 표시하는 단계와;
    모든 불량 위치가 양품성 이물에 의한 불량이면, 상기 1 차 검사에서의 이미지 데이터를 양품으로 업데이트하는 단계 및;
    상기 업데이트된 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 양품으로 처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템의 처리 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 판별 결과, 상기 불량 위치의 개수가 상기 설정된 개수 이상이면, 상기 1 차 검사에서 불량으로 판별된 이미지 데이터의 인쇄 회로 기판을 불량으로 표시하는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템의 처리 방법.
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