KR100670305B1 - 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 공정이 단순화되고 제조비용이 절감된 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 위하여, 서로 대향되도록 배치된 제 1 기판 및 제 2 기판과, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 배치되고 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판과 함께 가스방전이 일어나는 방전셀들을 한정하는 격벽을 구비하고, 상기 격벽은 일 방향으로 연장된 주격벽들과 상기 주격벽들과 교차하도록 배치된 보조격벽들을 구비하며, 상기 주격벽과 상기 보조격벽의 두께 및 높이가 서로 다른 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 제공한다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법{Plasma display panel and method of manufacturing the same}

도 1은 종래의 플라즈마 디스플레이 패널을 개략적으로 도시하는 분해 사시도이다.

도 2는 도 1의 II-II 선을 따라 취한 단면을 개략적으로 도시하는 단면도이다.

도 3은 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽을 개략적으로 도시하는 사시도이다.

도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 개략적으로 도시하는 분해 사시도이다.

도 5 내지 도 11은 도 4에 도시된 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽의 제조공정을 개략적으로 도시하는 사시도들이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

200: 플라즈마 디스플레이 패널 211: 제 1 기판

212: 제 1 유지 전극 213: 제 2 유지 전극

214: 유지 전극쌍 215: 유전체층

216: 보호막 222: 어드레스 전극

223: 유전체층 224: 격벽

224a: 주격벽 224b: 보조격벽

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 공정이 단순화되고 제조비용이 절감된 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma display panel)은 기체방전으로 생성된 자외선으로 형광체를 여기시켜 소정의 영상을 구현하는 평판 디스플레이 패널로서, 박형화가 가능하고 고해상도의 대화면 구성이 가능하여 차세대 박형 평판 디스플레이 패널로서 각광받고 있다. 이러한 플라즈마 디스플레이 패널 내부에는 기체방전에 의해 소정의 파장의 자외선 등이 방출되도록 하는 기체가 주입되어 있는 바, 패널 내부의 구조가 그러한 기체의 주입이 용이한 형상을 갖도록 해야한다.

도 1에는 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 일 예가 도시되어 있으며, 도 2에는 도 1의 II-II선을 따라 취한 단면이 도시되어 있고, 도 3에는 종래의 플라즈마 디스플레이 패널 내부의 격벽의 형상이 도시되어 있다.

이 플라즈마 디스플레이 패널(100)은 서로 대향된 제 1 기판(111)과 제 2 기판(121)을 구비한다. 제 1 기판의 제 2 기판 방향의 면(111a) 상에는 유지 전극쌍 (114)들이 배치되고, 이 유지 전극쌍들을 덮는 유전체층(115) 및 유전체층(115)을 덮는 보호층(116)이 구비된다. 유지 전극쌍은 X전극(112)과 Y전극(113)을 구비하며, X전극(112)과 Y전극(113)은 각각 투명전극(112b, 113b)과 버스전극(112a, 113a)을 구비한다.

상기 제 1 기판(111)에 대향된 제 2 기판(121)의 제 1 기판 방향의 면(121a) 상에는 서로 평행하게 배치된 어드레스 전극(122)들이 구비되고, 이 어드레스 전극들을 덮는 또 다른 유전체층(123), 이 유전체층(123) 상에 형성된 격벽(124), 그리고 상기 유전체층(123)의 제 1 기판(111) 방향의 면과 격벽(124)의 측면에 형성된 형광체층(125)이 구비된다.

이와 같이 제 1 기판(111) 및 제 2 기판(121) 상에 필요한 구성요소들을 형성한 후 이를 봉합함으로써 플라즈마 디스플레이 패널이 완성되는데, 봉합시 그 내부의 기체를 배출시키고 기체방전에 적합한 기체를 주입하게 된다. 이때 기체의 배출 및 또 다른 기체의 주입이 원활히 이루어지도록 하기 위해, 제 1 기판(111) 및 제 2 기판(121) 사이에 기체가 소통할 수 있는 공간이 마련되도록 하는 것이 필요하다.

이를 위해 일본 공개특허공보 특개평10-321148호에는 어드레스 전극과 평행한 방향으로 배면판에 형성된 격벽과，버스 전극과 평행한 방향으로 배면판에 형성된 보조 격벽을 갖고，어드레스 전극과 버스 전극에 의해 특정되는 방전 공간을 다른 방전 공간으로부터 분리한 플라즈마 디스플레이 패널이 개시되어 있다. 이때, 도 3에 도시된 바와 같이 보조격벽(124b)의 높이가 주격벽(124a)의 높이의 1/2 내 지 5/6의 높이를 갖도록 함으로써, 그 보조격벽(124b)의 상부를 통해 기체가 소통할 수 있는 공간이 마련되도록 하였다.

그러나 도 3에 도시된 바와 같은 구조의 격벽을 형성하기 위해서는, 홈이 형성된 베이스 필름을 이용하여 격벽 형상을 갖는 전사시트를 제조하고, 이 전사시트를 이용하여 기판에 격벽이 전사되도록 하는 복잡한 공정을 거쳐야만 한다는 문제점이 있었다.

또한 이러한 방법 외에도 감도가 서로 다른 감광성 물질을 2회 도포 및 건조한 후, 1회의 노광을 통해 높이가 서로 다른 격벽을 형성하거나, 도포, 건조 및 노광을 각각 2회 반복하여 높이가 서로 다른 격벽을 형성하는 방법이 알려졌다. 그러나 이러한 방식들은 두 가지의 감광성 물질들을 사용하고 공정을 반복해야만 하므로, 공정이 복잡해지고 제조비용이 상승하며 수율이 하락하게 된다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 공정이 단순화되고 제조비용이 절감된 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적 및 그 밖의 여러 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 서로 대향되도록 배치된 제 1 기판 및 제 2 기판과, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 배치되고 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판과 함께 가스방전이 일어나 는 방전셀들을 한정하는 격벽을 구비하고, 상기 격벽은, 일 방향으로 연장된 주격벽들과, 상기 주격벽들과 교차하도록 배치된 보조격벽들을 구비하며, 상기 주격벽과 상기 보조격벽의 두께 및 높이가 서로 다른 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널을 제공한다.

이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제 2 기판과 상기 격벽 사이에 일 방향으로 연장된 복수개의 어드레스 전극들이 더 구비되는 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 어드레스 전극들을 덮는 유전체층을 더 구비하는 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 주격벽들이 연장된 방향은 상기 어드레스 전극들이 연장된 방향과 평행한 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 각 어드레스 전극은 서로 인접한 두 개의 주격벽들 사이에 배치되는 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 보조격벽들의 두께는 상기 주격벽들의 두께보다 얇은 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 보조격벽들의 두께는 상기 주격벽들의 두께의 1/3 내지 1/2인 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 각 방전셀의 보조격벽의 중앙부의 높이는 각 방전셀의 주격벽의 중앙부의 높이보다 낮은 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 각 방전셀의 보조격벽의 중앙부의 높이는 각 방전셀의 주격벽의 중앙부의 높이의 1/2 내지 4/5인 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 각 방전셀의 보조격벽의 양 끝의 높이는 상기 보조격벽과 접촉하는 주격벽의 높이와 같고, 상기 보조격벽의 중앙부의 높이는 상기 보조격벽의 양 끝의 높이보다 낮은 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 격벽은 감광성 물질로 형성되는 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 감광성 물질은 포토 리지스트인 것으로 할 수 있다.

본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 복수개의 어드레스 전극들 및 상기 어드레스 전극들을 덮는 유전체층이 형성된 기판 상에 감광성 물질을 도포하는 단계와, 상기 감광성 물질을 노광 및 현상하여 격벽을 형성하되, 상기 격벽이, 일방향으로 연장된 주격벽들과, 상기 주격벽들과 교차하도록 배치되며 상기 주격벽들의 두께보다 얇은 두께의 보조격벽들을 구비하도록 형성하는 단계, 그리고 상기 격벽을 소성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 제공한다.

이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 격벽을 형성하는 단계는, 상기 감광성 물질을 노광 및 현상하여 격벽을 형성하되, 상기 격벽이, 일방향으로 연장된 주격벽들과, 상기 주격벽들과 교차하도록 배치되며 상기 주격벽들의 두께의 1/3 내지 1/2의 두께를 갖는 보조격벽들을 구비하도록 형성하는 단계인 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 격벽을 형성하는 단계는, 상기 감광 성 물질을 노광 및 현상하여 격벽을 형성하되, 상기 격벽이, 일방향으로 연장되고 인접한 어드레스 전극들 사이에 배치되는 주격벽들과, 상기 주격벽들과 교차하도록 배치되며 상기 주격벽들의 두께보다 얇은 두께의 보조격벽들을 구비하도록 형성하는 단계인 것으로 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 감광성 물질은 포토 리지스트인 것으로 할 수 있다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 개략적으로 도시하는 분해 사시도이다.

도 4를 참조하면, 제 1 기판(211)과 제 2 기판(221)이 서로 대향되도록 배치된다. 제 1 기판(211) 및 제 2 기판(221)은 유리와 같은 투명한 재질로 형성될 수 있다. 그리고 제 1 기판(211)과 제 2 기판(221) 사이에는 격벽(224)이 배치되어 있는데, 이 격벽(224)은 제 1 기판(211) 및 제 2 기판(221)과 함께 가스방전이 일어나는 방전셀들을 한정한다. 이때, 도 4에는 방전셀들이 매트릭스 형태로 배치된 것으로 도시되어 있으나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니고, 델타 형태로 배치될 수도 있는 등 다양한 변형이 가능함은 물론이다. 그리고 도 4에는 방전셀의 횡단면이 사각형인 것으로 도시되었으나, 삼각형, 오각형 등의 다각형, 원형 또는 타원형 등으로의 다양한 변형이 가능하다.

이때, 전술한 바와 같이, 제 1 기판(211)과 제 2 기판(221)의 봉합시 그 내 부의 기체를 배출시키고 기체방전에 적합한 기체를 주입하게 되는데, 이때 기체의 배출 및 또 다른 기체의 주입이 원활히 이루어지도록 하기 위해, 제 1 기판(211) 과 제 2 기판(221) 사이에 기체가 소통할 수 있는 공간이 마련되도록 하는 것이 필요하다.

이를 위해 본 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널에 구비된 격벽(224)은, 일 방향, 즉 도 4의 x방향으로 연장된 주격벽(224a)들과, 이 주격벽(224a)들과 교차하도록 배치된 보조격벽(224b)들을 구비하는데, 상기 주격벽(224a)과 보조격벽(224b)의 두께 및 높이가 서로 다르도록 형성되어 있다. 도 4에는, 보조격벽(224b)의 두께 및 높이가 주격벽(224a)의 두께 및 높이보다 얇고 낮도록 되어 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 주격벽의 두께 및 높이가 보조격벽의 두께 및 높이보다 얇고 낮도록 할 수도 있고, 주격벽에 있어서도 일부분의 두께 및 높이가 다른 부분의 두께 및 높이보다 얇고 낮도록 할 수도 있는 등 다양한 변형이 가능함은 물론이다. 이와 같은 형성 방법은 후술한다.

한편, 제 1 기판(211), 제 2 기판(221) 및 격벽(224)에 의해 한정되는 방전셀들에는 유지 전극쌍(214)들이 구비된다. 즉, 플라즈마 디스플레이 패널(200)에는 방전셀에 대응하도록 일 방향으로 연장되는 유지 전극쌍(214)들이 구비되는데, 도 4에서는 유지 전극쌍(214)들이 y방향으로 연장되어 있다. 그리고 도 4에서는 유지 전극쌍(214)들이 제 1 기판(211)의 제 2 기판(221) 방향의 면 상에 배치되어 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.

이때 유지 전극쌍(214)은 서로 이격되어 배치되는 제 1 유지 전극(212)과 제 2 유지 전극(213)을 구비할 수 있다. 도 4에서는 제 1 유지 전극(212)과 제 2 유지 전극(213)이 y방향으로 연장되도록 배치되어 있다. 이 제 1 유지 전극(212)과 제 2 유지 전극(213)은 유지 방전을 위한 전극들로서, 이 전극들 사이에서 플라즈마 디스플레이 패널의 화상을 구현하기 위한 유지 방전이 일어난다.

이러한 제 1 유지 전극(212)과 제 2 유지 전극(213)은 알루미늄 또는 구리 등과 같은 도전성 금속으로 형성될 수도 있는데, 상기 플라즈마 디스플레이 패널(200) 내부에서 발생된 광이 유지 전극쌍(214)이 구비된 방향으로 방출되는 경우, 즉 제 1 기판(211)을 통해 외부로 방출되는 경우에는 유지 전극쌍(214)이 투명하게 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 투명 전극의 형성을 위해 ITO(Indium tin oxide) 등과 같은 투명한 물질을 사용할 수 있다.

이 경우, 제 1 유지 전극(212) 및 제 2 유지 전극(213)에는 필요에 따라 제 1 버스 전극(212a) 및 제 2 버스 전극(213a)이 각각 더 구비될 수 있다. 제 1 유지 전극(212) 및 제 2 유지 전극(213)의 투명한 부분들(212a, 212b, 213a, 213b)은 일반적으로 저항이 높기 때문에, 이러한 높은 저항에 의한 전압강하를 방지하기 위해 상기와 같은 버스 전극들(212a, 213a)이 더 구비되도록 하는 것이다. 따라서 버스 전극들(212a, 213a)은 저항이 낮고 전기 전도도가 높은 은, 구리, 금 또는 알루미늄 등으로 형성될 수 있다. 또한, 버스 전극들(212a, 213a)에 흑색 첨가제를 포함시키거나 버스 전극들(212a, 213a)이 흑색 물질로 형성된 층을 포함하는 다층 구조를 갖도록 함으로써, 콘트라스트가 향상되도록 할 수도 있다.

이러한 유지 전극들(212, 213)은 상기 플라즈마 디스플레이 패널(200)의 가 장자리에 배치된 연결 케이블에 접속되어 전원을 공급받는 바, 버스 전극들(212a, 213a)만이 상기 연결 케이블에 접속되도록 할 수도 있는 등 다양한 변형이 가능하다.

상기와 같은 유지 전극쌍(214)들은 유전체층(215)으로 덮인다. 이는 유지 전극쌍(214)에 구비되는 제 1 유지 전극(212) 및 제 2 유지 전극(213)이 서로 직접 통전되는 것을 방지하고, 하전 입자가 유지 전극들(212, 213)에 충돌함으로써 이들을 손상시키는 것을 방지하기 위함이다. 이와 같은 유전체로는 PbO, B₂O₃ 및 SiO₂ 등이 있다. 상기 플라즈마 디스플레이 패널(200) 내부에서 발생된 광이 제 1 기판(211)을 통해 외부로 취출되는 경우에는 이 유전체층(215)이 투명한 물질로 형성되도록 할 수 있다.

이 경우, 적어도 이 유전체층(215)의 일부 면은 보호막에 의하여 덮이는 것이 바람직하다. 도 4에서는, 유전체층(215)의 전면이 보호막(216)에 의해 덮여있는 것으로 도시되어 있다. 이 보호막(216)은 예컨대 MgO 등의 물질을 증착하여 형성한다. 이러한 보호막은 유전체층(215)을 보호하는 역할 외에, 2차 전자를 방출하여 방전을 더욱 활성화시키는 역할도 한다.

이때, 도 4에 도시된 바와 같이, 제 2 기판(221)과 격벽(224) 사이에 상기 유지 전극쌍(214)과 교차하는 일 방향, 예컨대 도 4의 x방향으로 연장된 복수개의 어드레스 전극(222)들이 더 구비되도록 할 수 있다. 도 4에서는 어드레스 전극(222)들이 연장된 방향이 상기 주격벽(224a)들이 연장된 방향과 평행하게 되어 있 는데, 이와 달리 보조격벽(224b)들이 연장된 방향과 평행할 수도 있는 등 그 다양한 변형이 가능함은 물론이다. 어드레스 전극(222)들이 연장된 방향이 주격벽(224a)들이 연장된 방향과 평행한 경우에는, 각 어드레스 전극(222)이 서로 인접한 두 개의 주격벽(224a)들 사이에 배치되도록 한다.

이러한 전극 배치 구조는, 제 1 유지 전극(212) 및 제 2 유지 전극(213) 중 적어도 어느 하나의 전극과 어드레스 전극(222) 간에 어드레스 방전이 일어나고, 그 후 제 1 유지 전극(212)과 제 2 유지 전극(213) 간에 유지 방전이 일어나도록 하기 위한 것이다. 이러한 어드레스 전극(222)도 도전성 금속으로 형성될 수 있다.

이 경우, 이 어드레스 전극(222)들을 덮어서, 방전시 하전 입자가 어드레스 전극(222)에 충돌하여 어드레스 전극(222)을 손상시키는 것을 방지하는 유전체층(223)이 더 구비되도록 하는 것이 바람직하다. 이러한 유전체층(223)은 하전 입자를 유도할 수 있는 유전체로서 형성되는 것이 바람직한 바, 이와 같은 유전체로서는 PbO, B₂O₃, SiO₂ 등이 있다.

한편, 방전셀의 내부, 보다 상세하게는 어드레스 전극(222)을 덮는 유전체층의 상면(223a)과 격벽의 측면에는 형광체층(225)이 구비된다. 이 형광체층(225)은, 적색발광 형광체, 녹색발광 형광체 및 청색발광 형광체 중의 일 형광체와, 솔벤트 및 바인더가 혼합된 형광체 페이스트를 유전체층의 상면(223a)과 격벽의 측면에 도포한 후, 이를 건조 및 소성시킴으로써 형성된다. 상기 적색발광 형광체로서는 Y(V,P)O₄:Eu 등이 있고, 녹색발광 형광체로서는 Zn₂SiO₄:Mn, YBO₃:Tb 등이 있으며, 청색발광 형광체로서는 BAM:Eu 등이 있다.

이때, 상기 격벽(224)이 주격벽(224a)으로만 이루어진 소위 스트라이프 형태의 격벽일 경우에는 각 방전셀에 구비되는 형광체층(225)의 표면적이 줄어든다. 따라서 본 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널에서와 같이, 격벽(224)이 주격벽(224a) 및 보조격벽(224b)을 구비하도록 하고 그 표면에 형광체층(225)이 구비되도록 함으로써, 형광체층(225)의 표면적이 늘어나도록 하여 발광효율 및 휘도를 향상시킬 수 있다.

물론 도 4에는 형광체층(225)이 유전체층의 상면(223a)과 격벽의 측면에 배치된 것으로 도시되었으나, 형광체층은 후술하는 방전가스로부터 방출되는 자외선을 받아서 가시광선을 방출하므로, 그 위치가 유전체층의 상면(223a)과 격벽의 측면에 한정되는 것은 아니고, 방전셀 내에 있으면 된다.

그리고 방전셀의 내부에는 방전가스가 충전되어 있다. 이 방전가스는 예컨대 Xe이 5% 내지 15% 포함된 Ne-Xe 혼합가스인데, 필요에 따라서 Ne의 적어도 일부가 He으로 대체될 수도 있다. 물론 이 외의 가스를 사용할 수도 있음은 물론이다.

상기와 같은 구조의 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 전술한 바와 같이 주격벽(224a)과 보조격벽(224b)의 두께 및 높이가 서로 다르도록 함으로써, 제 1 기판(211)과 제 2 기판(221) 사이에 기체가 소통할 수 있는 공간이 마련되는 것이다.

이를 위해, 도 4에 도시된 바와 같이 각 방전셀의 보조격벽(224b)의 중앙부의 높이는 각 방전셀의 주격벽(224a)의 중앙부의 높이보다 낮도록, 특히 각 방전셀 의 보조격벽(224b)의 중앙부의 높이가 각 방전셀의 주격벽(224a)의 중앙부의 높이의 1/2 내지 4/5가 되도록 할 수 있다.

이러한 구조의 격벽(224)의 제조방법은 후술하는데, 그와 같은 방법으로 형성하게 되면 격벽의 높이가 낮은 부분의 두께는 높이가 높은 부분의 두께보다 얇게 형성된다. 따라서 도 4에 도시된 바와 같이 보조격벽(224b)의 높이가 주격벽(224a)의 높이보다 낮은 경우에는 보조격벽(224b)의 두께가 주격벽(224a)의 두께보다 얇게 된다. 이 경우, 보조격벽(224b)의 두께가 주격벽(224a)의 두께의 1/3 내지 1/2가 되도록 하는 것이 바람직하다.

물론 보조격벽(224b)의 높이가 주격벽(224a)의 높이보다 높은 경우에는 보조격벽(224b)의 두께가 주격벽(224a)의 두께보다 두껍게 형성된다. 또한, 주격벽(224a)에 있어서 일부분의 높이가 다른 부분의 높이보다 낮게 할 경우에는, 높이가 높은 부분의 두께가 높이가 낮은 부분의 두께보다 두껍게 형성된다.

그리고 도 4에 도시된 바와 같이 보조격벽(224b)의 높이가 주격벽(224a)의 높이보다 낮게 형성될 경우에는, 각 방전셀의 보조격벽(224b)의 양 끝의 높이는 그 보조격벽(224b)과 접촉하는 주격벽(224a)의 높이와 같고, 그 보조격벽(224b)의 중앙부의 높이가 그 보조격벽(224b)의 양 끝의 높이보다 낮도록, 즉 제 2 기판(221) 방향으로 만곡된 형태가 될 수 있다.

이러한 다양한 형태의 격벽(224)은 감광성 물질로 형성되는데, 특히 포토 리지스트를 이용하여 형성될 수 있다.

도 5 내지 도 11은 도 4에 도시된 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽의 제조 공정을 개략적으로 도시하는 사시도들이다. 이 도면들을 참조하여 전술한 바와 같은 구조의 격벽을 제조하는 방법을 설명하자면 다음과 같다.

먼저 도 5에 도시된 바와 같이 기판(221) 상에 복수개의 어드레스 전극(222)들 및 그 어드레스 전극(222)들을 덮는 유전체층(224)을 형성한다. 그리고 도 6에 도시된 바와 같이 그 상부에 감광성 물질(224c)을 도포한다. 이 감광성 물질(224c)이 후에 격벽이 되는 것으로서, 예컨대 포토 리지스트 등이 사용될 수 있다. 이러한 감광성 물질(224c)을 도포한 후 필요에 따라 건조하는 공정을 더 거칠 수도 있다.

감광성 물질(224c)을 도포한 후 이를 노광 및 현상하여 격벽을 형성하는데, 이 과정에서는 포토 마스크(photo mask)를 사용한다. 즉, 도 7에 도시된 바와 같이 포토 마스크(226)를 상기 감광성 물질(224c)의 상부에 배치시키고 노광 공정을 거친다. 이때, 포토 마스크(226)는 도 8에 도시된 바와 같이 글라스재 등의 투명한 베이스(226a) 상에 광이 투과할 수 없는 차폐물(226b)이 구비되어 있는 구조를 취하는데, 물론 이 외의 다양한 변형이 가능함은 물론이다.

상기 감광성 물질(224c)의, 이 차폐물(226b)이 없는 부분 밑에 있는 부분이 후에 격벽이 된다. 따라서, 격벽이, 일방향으로 연장된 주격벽들과, 그 주격벽들과 교차하도록 배치되며 그 주격벽들의 두께보다 얇은 두께의 보조격벽들을 구비하도록 형성하기 위해서는, 상기 포토 마스크(226)의 차폐물(226b)이 없는 부분의, 일 방향, 예컨대 도 7의 x방향으로 연장된 부분의 폭이, 타 방향, 예컨대 도 7의 y방향으로 연장된 부분의 폭 보다 두껍도록 한다. 바람직하게는, 포토 마스크(226)의 차폐물(226b)이 없는 부분의 y방향으로 연장된 부분의 폭이, x방향으로 연장된 부분의 폭의 1/3 내지 1/2이 되도록 한다. 물론 이때 상기 포토 마스크(226)의 차폐물(226b)이 없는 부분이, 일방향으로 연장되고 서로 인접한 어드레스 전극들 사이에 대응되도록 할 수 있다.

이와 같은 포토 마스크(226)를 사용하여 도 9에 도시된 바와 같이 감광성 물질(224c)을 노광한다. 이 감광성 물질(224c)로 파지티브 포토 리지스트를 사용하고 노광 후 현상을 하게 되면, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 감광성 물질(224c)의, 상기 포토 마스크(226)의 차폐물(226b)에 대응하는 부분들은 제거되고, 포토 마스크(226)의 차폐물(226b)이 없는 부분에 대응하는 부분만 남게 된다. 물론 상기 감광성 물질(224c)로 네거티브 포토 리지스트를 사용하고 상기 포토 마스크(226)의 차페물(226b)이 배치된 영역이 반전되어 있을 경우에도 동일한 효과를 얻을 수 있다. 이렇게 형성된 격벽(224)은, x방향으로 연장된 주격벽(224a)의 두께가, y방향으로 연장된 보조격벽(224b)의 두께보다 얇게 되어 있다. 물론 아직까지는 주격벽(224a)과 보조격벽(224b)의 높이는 동일하다.

상기와 같은 단계를 거친 후, 격벽(224)을 소성한다. 격벽(224)을 소성하게 되면 그 내부에 있는 유기물이 날아가면서 그에 따라 수축하게 되는데, 주격벽(224a)의 폭 보다 보조격벽(224b)의 폭이 얇기 때문에 소성에 의한 수축에 의해 보조격벽(224b)의 중앙부가 꺼지게 된다. 따라서 소성을 거친 후, 도 11에 도시된 바와 같이 보조격벽(224b)의 중앙부의 높이가 주격벽(224a)의 중앙부의 높이보다 낮은 형태의 격벽(224)이 형성되게 된다.

이와 같이, 베이스 필름 등을 이용하여 전사시트를 제조한 후 격벽이 기판에 전사되도록 하거나, 감도가 서로 다른 감광성 물질을 2회 도포 및 건조한 후, 1회의 노광을 통해 높이가 서로 다른 격벽을 형성하거나, 도포, 건조 및 노광을 각각 2회 반복하여 높이가 서로 다른 격벽을 형성하는 등이 종래의 방법과 달리, 감광성 물질을 1회 도포하고 1회 노광하는 단계를 거쳐 높이가 서로 다른 격벽을 형성할 수 있다. 따라서 공정이 단순해지고 그에 따라 제조비용을 절감하는 동시에 수율을 높일 수 있다.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법에 따르면, 감광성 물질을 1회 도포하고 1회 노광하는 단계를 거쳐 높이가 서로 다른 격벽을 형성할 수 있으며, 이를 통해 제조공정을 단순화하고 그에 따라 제조비용을 절감하는 동시에 수율을 높일 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (16)

1. 서로 대향되도록 배치된 제 1 기판과 제 2 기판; 및

   상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 배치되고, 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판과 함께 가스방전이 일어나는 방전셀들을 한정하는 격벽;을 구비하고,

   상기 격벽은 감광성 물질로 형성되고, 일 방향으로 연장된 주격벽들과, 상기 주격벽들과 교차하도록 배치된 보조격벽들을 구비하며, 상기 주격벽과 상기 보조격벽의 두께 및 높이가 서로 다른 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 제 2 기판과 상기 격벽 사이에 일 방향으로 연장된 복수개의 어드레스 전극들이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 어드레스 전극들을 덮는 유전체층을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
4. 제 2항에 있어서,

   상기 주격벽들이 연장된 방향은 상기 어드레스 전극들이 연장된 방향과 평행한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 각 어드레스 전극은 서로 인접한 두 개의 주격벽들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 보조격벽들의 두께는 상기 주격벽들의 두께보다 얇은 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 보조격벽들의 두께는 상기 주격벽들의 두께의 1/3 내지 1/2인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
8. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 각 방전셀의 보조격벽의 중앙부의 높이는 각 방전셀의 주격벽의 중앙부의 높이보다 낮은 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 각 방전셀의 보조격벽의 중앙부의 높이는 각 방전셀의 주격벽의 중앙부의 높이의 1/2 내지 4/5인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
10. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 각 방전셀의 보조격벽의 양 끝의 높이는 상기 보조격벽과 접촉하는 주격벽의 높이와 같고, 상기 보조격벽의 중앙부의 높이는 상기 보조격벽의 양 끝의 높이보다 낮은 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
11. 삭제
12. 제 1항에 있어서,

    상기 감광성 물질은 포토 리지스트인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
13. 복수개의 어드레스 전극들 및 상기 어드레스 전극들을 덮는 유전체층이 형성된 기판 상에 감광성 물질을 도포하는 단계;

    상기 감광성 물질을 노광 및 현상하여 격벽을 형성하되, 상기 격벽이, 일방향으로 연장된 주격벽들과, 상기 주격벽들과 교차하도록 배치되며 상기 주격벽들의 두께보다 얇은 두께의 보조격벽들을 구비하도록 형성하는 단계; 및

    상기 격벽을 소성하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스 플레이 패널의 제조방법.
14. 제 13항에 있어서,

    상기 격벽을 형성하는 단계는, 상기 감광성 물질을 노광 및 현상하여 격벽을 형성하되, 상기 격벽이, 일방향으로 연장된 주격벽들과, 상기 주격벽들과 교차하도록 배치되며 상기 주격벽들의 두께의 1/3 내지 1/2의 두께를 갖는 보조격벽들을 구비하도록 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
15. 제 13항에 있어서,

    상기 격벽을 형성하는 단계는, 상기 감광성 물질을 노광 및 현상하여 격벽을 형성하되, 상기 격벽이, 일방향으로 연장되고 인접한 어드레스 전극들 사이에 배치되는 주격벽들과, 상기 주격벽들과 교차하도록 배치되며 상기 주격벽들의 두께보다 얇은 두께의 보조격벽들을 구비하도록 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
16. 제 13항 내지 제 15항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 감광성 물질은 포토 리지스트인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.

Images