KR100669803B1 - 증착 물질 공급장치 및 이를 구비한 증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 증착 물질을 효율적으로 증착원에 공급하는 증착 물질 공급장치 및 이를 구비한 증착장치를 위하여, 복수개의 제 1 구멍들이 형성된 상판과, 상기 상판에 형성된 제 1 구멍들에 대응하는 적어도 하나의 제 2 구멍이 형성된 하판을 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치 및 이를 구비한 증착장치를 제공한다.

Description

증착 물질 공급장치 및 이를 구비한 증착장치{Apparatus for feeding deposition material and deposition apparatus therewith}
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 증착 물질 공급장치를 개략적으로 도시하는 개념도이다.
도 2는 도 1에 도시된 증착 물질 공급장치의 변형예를 개략적으로 도시하는 개념도이다.
도 3 내지 도 5는 도 1에 도시된 증착 물질 공급장치 및 그 변형예들을 개략적으로 도시하는 단면도들이다.
도 6은 도 5에 도시된 증착 물질 공급장치의 노즐부의 움직임을 개략적으로 도시하는 개념도이다.
도 7은 도 5에 도시된 증착 물질 공급장치에 지지부가 결합된 것을 개략적으로 도시하는 개념도이다.
도 8은 도 7에 도시된 증착 물질 공급장치의 변형예를 개략적으로 도시하는 개념도이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 다른 일 실시예에 따른 증착 물질 공급장치를 개략적으로 도시하는 개념도이다.
도 10은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착 물질 공급장치 를 구비한 증착장치를 보여주는 사진이다.
도 11은 도 10의 증착장치를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
11: 상판 12: 하판
12a: 돌출부 111: 제 1 구멍
122: 제 2 구멍 113: 제 3 구멍
본 발명은 증착 물질 공급장치 및 이를 구비한 증착장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 증착 물질을 효율적으로 증착원에 공급하는 증착 물질 공급장치 및 이를 구비한 증착장치에 관한 것이다.
전계발광 디스플레이 장치는 자발광형 디스플레이 장치로서, 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.
전계발광 디스플레이 장치는 발광층(EML : Emission layer) 형성 물질에 따라 무기 전계발광 디스플레이 장치와 유기 전계발광 디스플레이 장치로 구분되며, 이 중 유기 전계발광 디스플레이 장치는 무기 전계발광 디스플레이 장치에 비하여 휘도, 구동전압 및 응답속도 특성이 우수하고 다색화가 가능하다는 장점을 가지고 있다.
일반적인 유기 전계발광 디스플레이 장치에 구비되는 유기 전계발광 소자에는 서로 대향된 전극들 사이에 적어도 발광층을 포함하는 중간층이 된다. 상기 중간층에는 다양한 층들이 구비될 수 있는 바, 예컨대 홀 주입층, 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층 또는 전자 주입층 등을 들 수 있다. 유기 전계발광 소자의 경우, 이러한 중간층들은 유기물로 형성된 유기 박막들이다.
상기와 같은 구성을 가지는 유기 전계발광 소자를 제조하는 과정에서, 상기 중간층의 상하부에 구비되는 전극들은 증착 장치를 이용하여 증착(deposition)의 방법에 의해 형성될 수 있다. 물론 그 외의 배선 등도 역시 증착의 방법에 의해 형성될 수 있음은 물론이다.
상기 증착 방법은 일반적으로 진공 챔버 내에 기판을 장착한 후, 증착될 물질을 담은 가열 용기를 가열하여 그 내부의 증착될 물질을 증발 또는 승화시킴으로써 박막을 제작한다.
유기 전계발광 소자의 전극 및 배선의 재료는 일반적으로 고온에서 증발하게 되는데, 이러한 증발온도는 재료의 종류에 따라 다양하다. 일반적으로 이용되는 마그네슘(Mg)은 500 내지 600℃, 은(Ag)은 1000℃ 이상, 알루미늄(Al)은 1000℃내외에서 증발하며, 리튬(Li)은 300℃ 정도에서 증발한다.
이러한 증착을 위해서는 증발 또는 승화가 이루어지는 보트(boat) 또는 도가니(crucible) 등에 증발 또는 승화될 물질(이하 '증착 물질'이라 함)이 공급되어야 한다. 기존에는 보트를 이용한 증착원을 주로 사용하였으며, 이러한 증착원에 공급되는 증착 물질은 바(bar) 형태로 제작되어 공급되었다. 그러나 이러한 바 형태의 증착 물질은 그 공급 물량을 효율적으로 조절하기 어렵다는 문제점이 있었으며, 이에 따라 구(sphere) 형태로 증착 물질을 공급하는 것을 시도하였으나, 그러한 증착 물질을 효율적으로 공급하는 장치는 아직 개발되지 않았다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 증착 물질을 효율적으로 증착원에 공급하는 증착 물질 공급장치 및 이를 구비한 증착장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적 및 그 밖의 여러 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 복수개의 제 1 구멍들이 형성된 상판과, 상기 상판에 형성된 제 1 구멍들에 대응하는 적어도 하나의 제 2 구멍이 형성된 하판을 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치를 제공한다.
이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 상판은 원반형인 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 상판에 형성된 제 1 구멍들은 상기 상판의 일 지점으로부터 동일한 거리에 형성된 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 상판을 회전시키는 상판 액튜에이터를 더 구비하는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 상판에 형성된 제 1 구멍과 상기 하판에 형성된 제 2 구멍을 얼라인 시키는 얼라이너를 더 구비하는 것으로 할 수 있 다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 얼라이너는, 상기 상판에 형성된 복수개의 제 3 구멍들과 상기 하판의 상기 상판 방향의 면의 상기 상판의 제 3 구멍에 대응하는 부분에 형성된 적어도 하나의 돌출부를 구비하는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 얼라이너는, 상기 하판에 형성된 복수개의 제 3 구멍들과 상기 상판의 상기 하판 방향의 면의 상기 하판의 제 3 구멍에 대응하는 부분에 형성된 적어도 하나의 돌출부를 구비하는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 상판 또는 상기 하판에 형성된 제 3 구멍들은, 상기 상판에 형성된 제 1 구멍들과 대응되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 상판 또는 상기 하판에 형성된 제 3 구멍들은, 상기 상판에 형성된 제 1 구멍들과 1대 1 대응되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 하판에 형성된 제 2 구멍의 직경은 상기 상판에 형성된 제 1 구멍의 직경보다 큰 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 하판의 상기 상판 방향의 면에 있어서 상기 하판에 형성된 제 2 구멍의 모서리의 직경은, 상기 상판의 상기 하판 방향의 면에 있어서 상기 상판에 형성된 제 1 구멍의 모서리의 직경보다 큰 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 하판에 형성된 제 2 구멍은 깔때기 형태인 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 하판의 상기 상판 방향과 반대 방향 의 면에는, 상기 하판에 형성된 제 2 구멍에 대응되는 노즐부가 더 구비되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 노즐부를 회전시키는 노즐부 액튜에이터가 더 구비되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 노즐부 액튜에이터는 상기 노즐부를 상기 하판에 형성된 제 2 구멍을 중심축으로 회전시키는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 상판 및 상기 하판을 지지하는 지지부가 더 구비되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 지지부는 상기 상판 및 상기 하판이 상하로 움직이게 하는 수직 이송부를 더 구비하는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 상판에 형성된 제 1 구멍들은, 동심원 형태로 배치되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 하판에 형성된 제 2 구멍은, 상기 상판에 형성된 제 1 구멍들이 이루는 각 원형의 배치에 대응되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 하판에 형성된 제 2 구멍은, 상기 상판에 형성된 제 1 구멍들이 이루는 각 원형의 배치에 1대 1 대응되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 하판에 형성된 각각의 제 2 구멍에 대응되는 노즐부들이 더 구비되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 각 노즐부를 회전시키는 노즐부 액튜에이터들이 더 구비되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 노즐부 액튜에이터들은 상기 노즐부들을 상기 하판에 형성된 제 2 구멍들을 중심축으로 회전시키는 것으로 할 수 있다.
본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 상기와 같은 증착 물질 공급장치와, 상기 증착 물질 공급장치로부터 증착 물질을 공급받는 적어도 하나의 증착원을 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치를 제공한다.
이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 증착원은 도가니를 구비하는 것으로 할 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 증착 물질 공급장치를 개략적으로 도시하는 개념도이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착 물질 공급장치는 상판(11)과 하판(12)을 구비한다. 상기 상판(11)에는 복수개의 제 1 구멍(111)들이 형성되어 있다. 그리고 상기 하판(12)에는 상기 상판(11)에 형성된 제 1 구멍(111)들에 대응하는 위치에 적어도 하나의 제 2 구멍(122)이 형성되어 있다. 도 1에 도시된 증착 물질 공급장치는 상기 하판(12)에 한 개의 제 2 구멍(122)이 형성되어 있는 증착 물질 공급장치이다.
상기 상판(11)에 형성된 각 제 1 구멍(111)에는 증착 물질, 예컨대 볼 형태의 증착 물질(미도시)이 배치되며, 제 1 구멍(111)에 대응되는 위치에 형성된 제 2 구멍(122)을 통해 그 물질이 배출되어 증착원에 공급된다. 이때 상기 상판(11)을 회전시키는 상판 액튜에이터(미도시)가 더 구비될 수 있으며, 상기 상판 액튜에이터에 의해 회전하는 상기 상판(11)은 도 1에 도시된 바와 같이 원반형인 것이 바람직하다. 그리고 이 경우 상기 상판(11)에 형성된 제 1 구멍(111)들은 상기 상판(11)의 일 지점으로부터 동일한 거리에 형성된 것, 즉 원형으로 배치되는 것이 바람직하다.
상기와 같은 구조를 취함으로써, 상기 상판 액튜에이터로 상기 상판(11)을 회전시키면, 상기 상판(11)에 형성된 제 1 구멍(111)들이 순차적으로 상기 하판(12)에 형성된 제 2 구멍(122)의 상부에 위치하게 된다. 상기 상판(11)의 제 1 구멍(111)들에는 증착 물질이 배치되며, 따라서 상기 증착 물질은 상기 상판(11)이 회전함에 따라 순차적으로 상기 하판(12)의 제 2 구멍(122)을 통해 외부, 예컨대 증착원으로 배출된다. 이와 같은 구조를 취함으로써, 증착원에 공급되는 증착 물질의 양을 효율적으로 제어할 수 있게 된다.
한편, 상기 상판(11)을 회전시키면서 상기 상판(11)의 제 1 구멍(111)과 상기 하판(12)의 제 2 구멍(122)이 정확하게 얼라인 되어야 상기 상판(11)의 제 1 구멍(111)에 배치된 증착 물질이 상기 하판(12)의 제 2 구멍(122)을 통해 배출되는 바, 따라서 상기 상판(11)에 형성된 제 1 구멍(111)과 상기 하판(12)에 형성된 제 2 구멍(122)을 정확히 얼라인 시키는 얼라이너를 더 구비하는 것이 바람직하다.
이때, 증착 장치를 이용하여 증착을 함에 있어서 증착되는 막의 두께가 균일하게 형성되는 것이 바람직한 바, 이를 위해서는 증착원에 공급되는 증착 물질의 양이 정확하게 조절되어야 한다. 상기 증착 물질 공급장치는 상기 상판(11)이 회전함에 따라 증착 물질을 공급하게 되므로, 상기 상판(11)이 과도하게 빠른 속도로 회전하거나 정확하게 회전이 멈춰지지 않는다면 증착 물질의 공급량을 정확하게 제어할 수 없게 된다.
즉, 상기 상판(11)이 과도하게 빠른 속도로 회전하게 되면 상기 상판(11)의 제 1 구멍(111)과 상기 하판(12)의 제 2 구멍(122)이 얼라인되더라도 상기 상판(11)의 제 1 구멍(111)에 배치된 증착 물질이 상기 하판(12)의 제 2 구멍(122)을 통해 외부로 배출되지 않을 수도 있으며, 상기 상판(11)의 회전이 정확하게 멈춰지지 않는다면 과도하게 회전되어 상기 상판(11)의 제 1 구멍(111)에 배치된 증착 물질이 더 많이 외부로 배출될 수도 있게 된다.
따라서, 상기 얼라이너가 상기 상판(11)의 제 1 구멍(111)들과 상기 하판(12)의 제 2 구멍(122)을 정확히 얼라인시키는 역할 외에 상기 상판(11)의 회전을 정확하게 제어할 수 있는 역할도 할 수 있게 하는 것이 바람직하다.
이를 위해, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 얼라이너는 상기 상판(11)에 형성된 복수개의 제 3 구멍(113)들과, 상기 하판(12)의 상기 상판(11) 방향의 면(125)의 상기 상판의 제 3 구멍(113)에 대응하는 부분에 형성된 적어도 하나의 돌출부(12a)를 구비하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 구조를 취함으로써, 상기 상판(11)이 회전하면서 상기 상판(11) 의 각각의 제 3 구멍(113)은 상기 하판(12)의 면 상에 형성된 돌출부(12a)에 걸리게 된다. 따라서 상기 상판(11)에 형성된 제 3 구멍(113)들 및 상기 하판(12)에 형성된 돌출부(12a)의 위치가, 상기 상판(11)에 형성된 제 3 구멍(113)들이 상기 하판(12)에 형성된 돌출부(12a)에 걸렸을 때마다 상기 상판(11)의 각 제 1 구멍(111)이 상기 하판(12)의 제 2 구멍(122)에 얼라인되도록 하는 위치가 되게 함으로써, 상기 상판(11)의 회전을 보다 정확하게 제어할 수 있게 된다. 이를 통해 상기 상판(11)의 제 1 구멍(111)들에 배치되어 있던 증착 물질이 상기 하판(12)의 제 2 구멍(122)을 통해 배출되는 양을 보다 정확하게 제어할 수 있게 된다.
물론 도 1에 도시된 바와 같이 상기 얼라이너가 상기 상판(11)에 형성된 복수개의 제 3 구멍(113)들과, 상기 하판(12)의 상기 상판(11) 방향의 면(125)의 상기 상판의 제 3 구멍(113)에 대응하는 부분에 형성된 적어도 하나의 돌출부(12a)를 구비하도록 하는 것 외에 다양한 변형이 가능한 바, 예컨대 도 2에 도시된 바와 같은 형태도 가능하다.
즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 얼라이너가 상기 하판(12)에 형성된 복수개의 제 3 구멍(123)들과 상기 상판(11)의 상기 하판(12) 방향의 면(114)의 상기 하판(12)의 제 3 구멍(123)에 대응하는 부분에 형성된 적어도 하나의 돌출부(11a)를 구비하도록 할 수도 있다. 물론 도 1 및 도 2에 도시된 바와 달리 상기 상판(11) 및 상기 하판(12) 중 적어도 어느 하나의 판의 단부에 돌출부들이 구비되고, 다른 판에는 그 돌출부들에 걸릴 수 있는 또 다른 돌출부들이 구비되도록 할 수도 있는 등, 다양한 변형이 가능함은 물론이다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같은 얼라이너(113, 12a)와 도 2에 도시된 바와 같은 얼라이너(123, 11a)는 상기 상판(11)의 각 제 1 구멍(111)에 배치된 증착 물질이 상기 하판(12)의 제 2 구멍(12)을 통해 외부로 배출되는 것을 제어하기 위한 것이므로, 상기 상판(11) 또는 상기 하판(12)에 형성된 제 3 구멍(113, 123)들은 상기 상판(11)에 형성된 제 1 구멍(111)들과 대응되도록 하는 것이 바람직하다. 물론 증착 물질의 공급량을 보다 정확히 제어하기 위해서는, 상기 상판(11) 또는 상기 하판(12)에 형성된 제 3 구멍(113, 123)들이 상기 상판(11)에 형성된 제 1 구멍(111)들과 1대 1 대응되도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 상판(11)에 형성된 제 1 구멍(111)들에 증착 물질이 배치되고, 그 증착 물질이 상기 하판(12)에 형성된 제 2 구멍(12)을 통해 외부로 배출되게 된다. 따라서 상기 상판(11)에 형성된 제 1 구멍(111)과 상기 하판(12)에 형성된 제 2 구멍(12)이 얼라인되었을 때, 상기 상판(11)에 형성된 제 1 구멍(111)에 배치된 증착 물질이 원활하게 상기 하판(12)에 형성된 제 2 구멍(12)으로 이동할 수 있도록 해야 한다.
이를 위해, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 하판(12)에 형성된 제 2 구멍(122)의 직경(r2)이 상기 상판(11)에 형성된 제 1 구멍(111)의 직경(r1)보다 크게 하는 것이 바람직하다. 이 경우, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 하판(12)에 형성된 제 2 구멍(122)이 깔때기 형태가 되도록 할 수도 있으며, 이 때에도 상기 하판(12)의 상기 상판(11) 방향의 면(125)에 있어서 상기 하판(12)에 형성된 제 2 구멍(122)의 모서리의 직경(r2)은, 상기 상판(11)의 상기 하판(12) 방향의 면(114)에 있어서 상기 상판(11)에 형성된 제 1 구멍(111)의 모서리의 직경(r1)보다 크게 하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 상판(11)의 제 1 구멍(111)들에 배치된 증착 물질은 상기 하판(12)의 제 2 구멍(122)을 통해 외부로 배출되는 바, 배출되어 증착원(미도시)에 공급되어야 한다. 이때, 증착원이 상기 하판(12)의 제 2 구멍(122)의 바로 아래에 배치될 수도 있지만, 그 외의 다른 곳에 배치될 경우에는 상기 제 2 구멍(122)을 통해 배출된 증착 물질을 그 증착원까지 전달시켜주는 수단이 필요하다. 따라서 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 하판(12)의 상기 상판(11) 방향과 반대 방향의 면(124)에는, 상기 하판(12)에 형성된 제 2 구멍(122)에 대응되는 노즐부(13)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 이와 같은 노즐부(13)가 더 구비됨으로써, 상기 하판(12)의 제 2 구멍(122)에서 배출된 증착 물질이 소정 위치의 증착원에 전달될 수 있다.
이 경우, 상기 증착원의 위치는 필요에 따라 변경될 수 있으므로, 이에 따라 상기 노즐부(13)도 움직일 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 즉, 상기 노즐부(13)를 회전시키는 노즐부 액튜에이터(미도시)가 더 구비되도록 할 수 있다. 이 경우, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 노즐부 액튜에이터는 상기 노즐부(13)를 상기 하판(12)에 형성된 제 2 구멍(122)을 중심축으로 회전시키도록 할 수 있다. 물론 상기 노즐부(13) 자체가 플렉서블한 특성을 갖도록 하여 그 위치를 자유롭게 조절할 수 있도록 할 수도 있다.
그리고 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 상판(11) 및 상기 하판(12)을 지지하는 지지부(14)가 더 구비될 수도 있다. 이 경우, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 지지부(14)에 상기 상판(11) 및 상기 하판(12)이 상하로 움직일 수 있도록 하는 수직 이송부(14a)가 더 구비될 수도 있다. 이를 통해 다양한 높이의 증착원들에 증착 물질을 공급할 수 있도록 할 수 있다.
도 9는 본 발명의 바람직한 다른 일 실시예에 따른 증착 물질 공급장치를 개략적으로 도시하는 개념도이다.
본 실시예에 따른 증착 물질 공급장치가 전술한 실시예 및 그 변형예들에 따른 증착 물질 공급장치와 다른 점은, 상판(11)에 형성된 복수개의 제 1 구멍(211a, 211b)들이 동심원 형태로 배치되어 있다는 점이다. 도 9에서는 제 1 구멍(211a, 211b)들이 두 개의 원들의 형태로 배치되어 있다. 그리고 하판(22)에 형성된 제 2 구멍(222a, 222b)은, 상기 상판(21)에 형성된 제 1 구멍(211a, 211b)들이 이루는 각 원형의 배치에 대응되도록 되어 있다. 이 경우, 상기 하판(22)에 형성된 제 2 구멍(222a, 222b)들은, 상기 상판(21)에 형성된 제 1 구멍(211a, 211b)들이 이루는 각 원형의 배치에 1대 1 대응되도록 할 수 있다. 도 9에서는 상기 하판(22)에 두 개의 제 2 구멍(222a, 222b)들이 형성되어 있으며, 상기 상판(21)의 제 1 구멍(211a, 211b)들이 이루는 두개의 원들에 대응하도록 배치되어 있다.
상기와 같은 구조를 취함으로써, 전술한 실시예에 따른 증착 물질 공급장치에 비해, 한번의 회전으로 두 배의 증착 물질을 상기 하판(22)을 통해 배출할 수 있게 된다. 이 경우, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 하판(22)에 형성된 각각의 제 2 구멍(222a, 222b)에 대응되는 노즐부들(23a, 23b)이 더 구비되도록 할 수 있는 바, 이에 따라 하나의 증착 물질 공급장치로 두 개의 증착원에 증착 물질을 동시( 同時) 또는 이시(異時)에 공급할 수 있다.
물론 상기와 같은 경우에도, 상기 각 노즐부(23a, 23b)를 회전시키는 노즐부 액튜에이터들(미도시)이 더 구비되도록 할 수도 있으며, 상기 노즐부 액튜에이터들은 상기 노즐부들(23a, 23b)을 상기 하판(22)에 형성된 제 2 구멍들(222a, 222b)을 중심축으로 회전시키도록 할 수도 있다.
상기와 같은 구조의 증착 물질 공급장치를 사용함으로써, 보다 효율적이고 정확하게 증착 물질이 증착원에 공급되도록 할 수 있으며, 이를 통해 증착되는 막의 두께를 보다 균일하게 함과 동시에 정확하게 제어할 수 있게 된다.
도 10은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른, 도 8에 도시된 바와 같은 증착 물질 공급장치를 구비한 증착장치를 보여주는 사진이고, 도 11은 도 10의 증착장치를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 10 및 도 11에 나타난 바와 같이, 본 실시예에 따른 증착장치는 전술한 실시예들 및 그 변형예들에 따른 증착 물질 공급장치와, 상기 증착 물질 공급장치로부터 증착 물질을 공급받는 적어도 하나의 증착원을 구비한다. 상기 증착원은 상기 증착 물질 공급장치로부터 증착 물질을 공급받아, 이를 가열 등을 통해 승화 또는 증발시켜 소정의 표면에 증착을 행하게 된다. 이 경우, 상기 증착원은 도가니(crucible)를 구비하는 것으로 할 수 있으나, 그 외의 다양한 형태의 증착원이 사용될 수 있음은 물론이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 증착 물질 공급장치 및 이를 구비한 증착장치에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 상판과 하판으로 이루어지고 상판에 형성된 구멍들에 증착 물질이 배치되도록 하고, 상기 상판이 회전하면서 상기 하판에 형성된 구멍들을 통해 상기 증착 물질이 배출되도록 함으로써, 증착 물질의 배출양을 정확하게 제어할 수 있게 된다.
둘째, 상기 상판과 하판 사이에 얼라이너가 더 구비되도록 하고 그 얼라이너가 상기 상판의 회전을 제어할 수 있도록 함으로써, 보다 정확하게 증착 물질의 배출량을 조절할 수 있게 된다.
셋째, 하판에 형성된 구멍에 노즐부가 구비되도록 하고 그 노즐부가 움직일 수 있도록 함으로써, 증착원의 다양한 위치 변화에 대응할 수 있게 된다.
넷째, 상판과 하판을 지지하는 지지부재가 상기 상판과 상기 하판을 상하로 움직일 수 있게 하는 수직 이송부를 더 구비하도록 함으로써, 증착원의 다양한 높이 변화에 대응할 수 있게 된다.
다섯째, 상판에 형성된 구멍들이 동심원 형태로 배치되고 하판에 형성된 배출구멍이 상기 각 원형에 대응되도록 함으로써, 하나의 증착 물질 공급장치로 두 개 이상의 증착원에 증착 물질을 동시(同時) 또는 이시(異時)에 공급할 수 있게 된다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정 한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (25)

  1. 복수개의 제 1 구멍들이 형성된 상판; 및
    상기 상판에 형성된 제 1 구멍들에 대응하는 적어도 하나의 제 2 구멍이 형성된 하판;을 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 상판은 원반형인 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 상판에 형성된 제 1 구멍들은 상기 상판의 일 지점으로부터 동일한 거리에 형성된 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 상판을 회전시키는 상판 액튜에이터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 상판에 형성된 제 1 구멍과 상기 하판에 형성된 제 2 구멍을 얼라인 시키는 얼라이너를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 얼라이너는, 상기 상판에 형성된 복수개의 제 3 구멍들과 상기 하판의 상기 상판 방향의 면의 상기 상판의 제 3 구멍에 대응하는 부분에 형성된 적어도 하나의 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 얼라이너는, 상기 하판에 형성된 복수개의 제 3 구멍들과 상기 상판의 상기 하판 방향의 면의 상기 하판의 제 3 구멍에 대응하는 부분에 형성된 적어도 하나의 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  8. 제 6항 또는 제 7항에 있어서,
    상기 상판 또는 상기 하판에 형성된 제 3 구멍들은, 상기 상판에 형성된 제 1 구멍들과 대응되는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 상판 또는 상기 하판에 형성된 제 3 구멍들은, 상기 상판에 형성된 제 1 구멍들과 1대 1 대응되는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 하판에 형성된 제 2 구멍의 직경은 상기 상판에 형성된 제 1 구멍의 직경보다 큰 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 하판의 상기 상판 방향의 면에 있어서 상기 하판에 형성된 제 2 구멍의 모서리의 직경은, 상기 상판의 상기 하판 방향의 면에 있어서 상기 상판에 형성된 제 1 구멍의 모서리의 직경보다 큰 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 하판에 형성된 제 2 구멍은 깔때기 형태인 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 하판의 상기 상판 방향과 반대 방향의 면에는, 상기 하판에 형성된 제 2 구멍에 대응되는 노즐부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 노즐부를 회전시키는 노즐부 액튜에이터가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 노즐부 액튜에이터는 상기 노즐부를 상기 하판에 형성된 제 2 구멍을 중심축으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  16. 제 1항에 있어서,
    상기 상판 및 상기 하판을 지지하는 지지부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 지지부는 상기 상판 및 상기 하판이 상하로 움직이게 하는 수직 이송부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  18. 제 1항에 있어서,
    상기 상판에 형성된 제 1 구멍들은, 동심원 형태로 배치되는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 하판에 형성된 제 2 구멍은, 상기 상판에 형성된 제 1 구멍들이 이루는 각 원형의 배치에 대응되는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  20. 제 19항에 있어서,
    상기 하판에 형성된 제 2 구멍은, 상기 상판에 형성된 제 1 구멍들이 이루는 각 원형의 배치에 1대 1 대응되는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  21. 제 19항에 있어서,
    상기 하판에 형성된 각각의 제 2 구멍에 대응되는 노즐부들이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  22. 제 21항에 있어서,
    상기 각 노즐부를 회전시키는 노즐부 액튜에이터들이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  23. 제 22항에 있어서,
    상기 노즐부 액튜에이터들은 상기 노즐부들을 상기 하판에 형성된 제 2 구멍들을 중심축으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 증착 물질 공급장치.
  24. 제 1항 내지 제 7항 및 제 10항 내지 제 23항 중 어느 한 항의 증착 물질 공급장치와, 상기 증착 물질 공급장치로부터 증착 물질을 공급받는 적어도 하나의 증착원을 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  25. 제 24항에 있어서,
    상기 증착원은 도가니를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
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