KR100669372B1 - A preparation method of green emitting phosphor for vuvvacuum ultraviolet excited light emitting device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공자외선을 여기원으로 하는 발광소자용 녹색형광체의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 a) 아연산화물, 실리콘 산화물, 및 망간계 화합물을 혼합하는 단계; 및 b) 마이크로 웨이브의 에너지를 이용하여 상기 혼합물을 열처리하는 단계를 포함하는, 진공자외선을 여기원으로 하는 발광소자용 녹색형광체의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a method of manufacturing a green phosphor for a light emitting device using vacuum ultraviolet as an excitation source, and more particularly, a) mixing zinc oxide, silicon oxide, and manganese compound; And b) heat-treating the mixture using energy of microwaves. The present invention relates to a method of manufacturing a green phosphor for a light emitting device using vacuum ultraviolet radiation as an excitation source.

본 발명의 녹색형광체의 제조방법은 높은 휘도, 낮은 공정 열화 및 장시간의 수명을 갖는 Zn2SiO4:Mn 녹색형광체를 저온-단시간 반응으로 제조할 수 있으며, 상기 방법으로 제조된 형광체는 발광 효율이 우수하고 공정 열화에 강할 뿐만 아니라 장시간의 VUV 조사에 의한 형광체의 열화를 방지할 수 있어 패널의 성능을 장시간 유지할 수 있는 장점이 있다.According to the method of manufacturing the green phosphor of the present invention, a Zn 2 SiO 4 : Mn green phosphor having high luminance, low process degradation, and a long lifetime can be produced by a low-temperature reaction, and the phosphor prepared by the above method has high luminous efficiency. Not only is it excellent and resistant to process deterioration, it is possible to prevent deterioration of the phosphor due to prolonged VUV irradiation, which has the advantage of maintaining the performance of the panel for a long time.

진공자외선, 녹색형광체, 마이크로 웨이브, 플라즈마 디스플레이 패널Vacuum ultraviolet ray, green phosphor, microwave, plasma display panel

Description

진공자외선을 여기원으로 하는 발광소자용 녹색형광체의 제조방법{A PREPARATION METHOD OF GREEN EMITTING PHOSPHOR FOR VUV(VACUUM ULTRAVIOLET) EXCITED LIGHT EMITTING DEVICE}A manufacturing method of a green phosphor for a light emitting device using a vacuum ultraviolet ray as an excitation source {A PREPARATION METHOD OF GREEN EMITTING PHOSPHOR FOR VUV (VACUUM ULTRAVIOLET) EXCITED LIGHT EMITTING DEVICE}

도 1은 본 발명의 녹색형광체의 제조에 사용되는 마이크로 웨이브 퍼니스 장치의 모식적 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a schematic cross-sectional view of a microwave furnace apparatus used for producing a green phosphor of the present invention.

도 2는 실시예 1 및 비교예 1에 의해 제조된 녹색형광체 분말의 X선 회절도이다. 2 is an X-ray diffraction diagram of the green phosphor powder prepared in Example 1 and Comparative Example 1. FIG.

도 3은 실시예 1 및 비교예 1에 의해 제조된 녹색형광체 분말의 형광(PL) 발광 스펙트럼이다. 3 is a fluorescence (PL) emission spectrum of the green phosphor powder prepared by Example 1 and Comparative Example 1.

도 4는 실시예 1 및 비교예 1에 의해 제조된 녹색형광체 분말의 잔광시간을 측정한 그래프이다. Figure 4 is a graph measuring the afterglow time of the green phosphor powder prepared in Example 1 and Comparative Example 1.

[산업상 이용분야][Industrial use]

본 발명은 진공자외선을 여기원으로 하는 발광소자용 녹색형광체의 제조방법 에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 Zn2SiO4:Mn녹색형광체의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a green phosphor for a light emitting element using vacuum ultraviolet as an excitation source, and more particularly, to a method for manufacturing a Zn 2 SiO 4 : Mn green phosphor.

[종래기술][Private Technology]

진공자외선을 여기 원으로 하는 발광소자 중 형광 디스플레이 패널, 특히 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma display panel)은 유리기판 사이에 봉입 되어진 Ne과 Xe의 혼합가스의 방전에 의해서 생성된 자외선에 의한 발광을 이용한 디스플레이이다. 이때 각각의 형광체는 Xe 이온의 공명 방사광(147 nm 진공 자외선)에 의해서 가시광을 발생한다. 플라즈마 디스플레이 패널에 사용되는 형광체는 플라즈마 디스플레이 패널의 개발 초기부터 사용되어 왔던 CRT 형광체나 형광등 등의 형광체 응용 제품에 사용되어 온 형광재료를 개량하는 방향으로 검토가 진행되어 왔다. 형광체가 플라즈마 디스플레이 패널에 사용되기 위해서는 발광 휘도, 발광효율 및 색순도가 우수해야 하며, 잔광 시간이 짧아야 하고, 특히 열이나 자외선에 의한 형광체의 열화가 일어나지 않아야 한다. Fluorescent display panels, particularly plasma display panels, among the light emitting devices which use vacuum ultraviolet rays as excitation sources, are displays using light emission by ultraviolet rays generated by discharge of a mixed gas of Ne and Xe enclosed between glass substrates. . In this case, each phosphor generates visible light by resonance emission light (147 nm vacuum ultraviolet ray) of Xe ions. Phosphors used in plasma display panels have been studied to improve the phosphor materials used in phosphor application products such as CRT phosphors and fluorescent lamps, which have been used since the early stages of plasma display panel development. In order for a phosphor to be used in a plasma display panel, it must be excellent in luminescence brightness, luminous efficiency and color purity, have a short afterglow time, and in particular, do not cause deterioration of the phosphor by heat or ultraviolet rays.

현재 플라즈마 디스플레이 패널용 녹색형광체로는 Zn2SiO4:Mn가 주로 사용되고 있다. Zn2SiO4:Mn은 발광 휘도가 우수한 반면 플라즈마 디스플레이 패널에 사용되는 청색, 적색 형광체에 비해서 상대적으로 잔광 시간이 길고 진공 자외선에 대한 발광 휘도가 빨리 새츄래이션(saturation)되는 단점이 있다. 또한 유전 상수가 청색이나 적색 형광체에 비해서 높기 때문에 플라즈마 디스플레이 패널 구동 시 방전 개시 전압이 높아지는 치명적인 단점이 있다. 이러한 단점을 해결하기 위해서, Zn2SiO4:Mn 형광체의 코팅, 신조성 형광체 합성, 제조공정의 개선 등에 관한 연구가 요구된다. . At present, Zn 2 SiO 4 : Mn is mainly used as a green phosphor for plasma display panels. Zn 2 SiO 4 : Mn has excellent light emission luminance, but has a relatively long afterglow time and a rapid emission saturation with respect to vacuum ultraviolet rays compared to blue and red phosphors used in plasma display panels. In addition, since the dielectric constant is higher than that of the blue or red phosphors, there is a fatal disadvantage that the discharge start voltage is increased when the plasma display panel is driven. In order to solve this drawback, research on coating of Zn 2 SiO 4 : Mn phosphor, synthesizing new phosphor, improvement of manufacturing process, and the like is required. .

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 높은 휘도, 낮은 공정 열화 및 장시간의 수명을 갖는 Zn2SiO4:Mn 녹색형광체를 저온-단시간 반응으로 제조하는 방법을 제공하는 것이다. The present invention is to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a method for producing a Zn 2 SiO 4 : Mn green phosphor having a high brightness, low process degradation and a long life by a low-temperature reaction will be.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, a) 아연산화물, 실리콘 산화물, 및 망간계 화합물을 혼합하는 단계; 및 b) 마이크로 웨이브 에너지를 이용하여 상기 혼합물을 열처리하는 단계를 포함하는, 진공자외선을 여기원으로 하는 발광소자용 녹색형광체의 제조방법을 제공한다.The present invention to achieve the above object, a) mixing the zinc oxide, silicon oxide, and manganese compound; And b) heat-treating the mixture using microwave energy. The method provides a method of manufacturing a green phosphor for a light emitting device using vacuum ultraviolet radiation as an excitation source.

이하, 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

본 발명은 진공자외선(VUV:Vacuum Ultraviolet)를 여기 원으로 한 디바이스 용 녹색형광체의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명의 녹색형광체는 하기 화학식 1로 표시되는 녹색형광체이며, 상기 녹색형광체는 Xe 가스의 플라즈마에서 나오는 147nm 와 173nm의 자외선으로 여기했을 때 530nm의 녹색 발광 밴드를 나타난다. The present invention relates to a method for producing a green phosphor for a device using a vacuum ultraviolet (VUV: Vacuum Ultraviolet) as an excitation source, wherein the green phosphor of the present invention is a green phosphor represented by the following Chemical Formula 1, wherein the green phosphor is formed of Xe gas. When excited by ultraviolet rays of 147 nm and 173 nm emitted from the plasma, a green emission band of 530 nm appears.

[화학식 1][Formula 1]

Zn2SiO4:MnZn 2 SiO 4 : Mn

상기 녹색형광체를 제조하기 위하여 사용되는 원료물질 중에서, 상기 아연 산화물에는 ZnO를 사용하는 것이 바람직하며, 상기 실리콘 산화물에는 SiO2를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 망간계 화합물로는 MnCO3, MnO, MnF2, Mn(NO 3)2, 또는 MnCl2를 사용하는 것이 바람직하다. Among the raw materials used to manufacture the green phosphor, ZnO is preferably used for the zinc oxide, and SiO 2 is preferably used for the silicon oxide. In addition, it is preferable to use MnCO 3 , MnO, MnF 2 , Mn (NO 3 ) 2 , or MnCl 2 as the manganese compound.

상기 원료물질의 조성은 하기 조성식 1의 비율로 혼합되는 것이 바람직하다. The composition of the raw material is preferably mixed in the ratio of the following formula (1).

[조성식 1][Formula 1]

xZnO + ySiO2 : z mol% Mn+2 xZnO + ySiO 2: z mol% Mn +2

단, 1.5≤x/y≤2, 0≤z≤15이다. However, 1.5≤x / y≤2 and 0≤z≤15.

이와 같은 조성으로 상기 원료물질을 균일하게 혼합한 다음, 상기 혼합물을 열처리하는 공정을 거친다. 이때, 상기의 열처리 공정은 기존이 열원인 전기로를 사용하지 않고, 마이크로웨이브 에너지를 열원으로서 이용한다. The raw material is uniformly mixed with such a composition, and then the mixture is subjected to a heat treatment process. At this time, the heat treatment process does not use an electric furnace which is a conventional heat source, and uses microwave energy as a heat source.

도 1은 본 발명의 녹색형광체의 제조에 사용되는 마이크로 웨이브 퍼니스(furnace) 장치(1)의 모식적인 단면도이다. 1 is a schematic cross-sectional view of a microwave furnace apparatus 1 used in the manufacture of the green phosphor of the present invention.

도 1을 참조하면, 상기 마이크로 웨이브 퍼니스 장치는 연료물질이 투입되는 도가니(11), 상기의 도가니 내의 온도를 측정하기 위하여 도가니 뚜껑(12)의 중심을 관통하여 설치된 온도계(13), 상기 도가니의 외부를 둘러싸며 형성된 예열체(pre-heater)(14), 상기 예열체의 외부를 둘러싸며 형성된 단열재(15), 상기 단열재의 외부를 둘러싸며 형성된 수정(quartz) 챔버(16)를 포함하며, 상기 수정 챔버는 다중모드 공동(multimode cavity)(17) 내에 위치한다. 또한, 상기 마이크 로 웨이브 퍼니스 장치는 마이크로 웨이브를 발생장치(미도시)와 상기 마이크로 웨이브를 균일하게 하기 위한 모드 교반기(mode stirrer)(미도시)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the microwave furnace apparatus includes a crucible 11 into which fuel material is injected, a thermometer 13 installed through a center of the crucible lid 12 to measure the temperature in the crucible, and the crucible of the crucible. A pre-heater 14 formed to surround the outside, a heat insulating material 15 formed to surround the outside of the preheater, and a quartz chamber 16 formed to surround the outside of the heat insulating material, The quartz chamber is located in a multimode cavity 17. The microwave wave furnace apparatus also includes a microwave generator (not shown) and a mode stirrer (not shown) for uniformizing the microwaves.

본 발명의 녹색형광체의 제조에 사용되는 마이크로 웨이브 퍼니스 장치에서 상기 도가니(11)는 알루미나로 이루어진 것이 바람직하며, 상기 예열체(14)는 실리콘 카바이드 블록인 것이 바람직하다. In the microwave furnace apparatus used for manufacturing the green phosphor of the present invention, the crucible 11 is preferably made of alumina, and the preheater 14 is preferably a silicon carbide block.

마이크로 웨이브 발생장치에서 발생한 마이크로 웨이브는 상기 수정 챔버(16)를 통과하여 도가니(11) 내부에 포함되어 있는 원료물질을 직접 가열한다. 이 때, 환원분위기를 제공하는 질소 기체 또는 질소 기체와 수소 기체의 혼합기체는 수정 챔버 내부로 투입된다. The microwave generated by the microwave generator passes through the crystal chamber 16 and directly heats the raw material contained in the crucible 11. At this time, nitrogen gas or a mixture gas of nitrogen gas and hydrogen gas, which provides a reducing atmosphere, is introduced into the crystal chamber.

마이크로 웨이브란 파장 1 mm에서 1 m까지의 전파를 말하며, 일반적으로 300 ~ 3,000 MHz의 주파수를 갖는 마이크로 웨이브를 극초단파(UHF:ultrahigh frequency)라고 하며, 3 ~ 300 GHz의 주파수를 갖는 마이크로 웨이브를 초단파(SHF:superhigh frequency)라고 한다. 마이크로 웨이브는 공기, 유리, 종이 등을 투과하고, 금속에 의해서 반사되며 식품이나 물 등에는 흡수되기 쉬운 성질을 가지고 있다. Microwave refers to radio waves from 1 mm to 1 m in wavelength. Generally, microwaves having a frequency of 300 to 3,000 MHz are called ultrahigh frequencies (UHF), and microwaves having a frequency of 3 to 300 GHz are microwaves. It is called (SHF: superhigh frequency). Microwaves penetrate air, glass, paper, and the like, are reflected by metal, and are easily absorbed by food and water.

따라서, 기존의 열원인 전기로를 사용하는 경우에는 상기 혼합물이 고르게 가열되지 못하여 공정시간이 길어지고, 고온을 요하게 되는 반면, 본 발명의 마이크로 웨이브 에너지를 이용하게 되면, 상기 원료물질 혼합물 자체에서 열이 발생하므로, 균일하게 가열되어 저온에서 단시간에 녹색형광체를 제조할 수 있다는 장점이 있다. Therefore, in the case of using an electric furnace, which is a conventional heat source, the mixture is not heated evenly, and thus, the process time is long, and high temperature is required. However, when the microwave energy of the present invention is used, heat is not generated in the raw material mixture itself. Since it occurs, it is heated uniformly, there is an advantage that the green phosphor can be produced in a short time at a low temperature.

본 발명에서는 높은 주파수의 마이크로 웨이브의 에너지를 사용할수록 좋은 효과를 얻을 수 있으며, 900 MHz 내지 30 GHz의 마이크로 웨이브 주파수를 갖는 마이크로 웨이브의 에너지를 사용하는 것이 바람직하고, 915 MHz를 포함하여, 2.45, 5.8, 18, 28, 30 GHz의 ISM (Industrial, Scientific, Medical) 마이크로웨이브 주파수를 가지는 마이크로 웨이브의 에너지를 사용하는 것이 더 바람직하다. In the present invention, the better the use of high frequency microwave energy, it is preferable to use the energy of the microwave having a microwave frequency of 900 MHz to 30 GHz, including 915 MHz, 2.45, It is more preferred to use microwave energy having an Industrial, Scientific, Medical (ISM) microwave frequency of 5.8, 18, 28, 30 GHz.

이 때, 상기 열처리 온도는 950 내지 1150℃가 되도록 하는 것이 바람직하다. 열처리 온도가 950℃ 미만인 경우에는 아연산화물과 실리콘 산화물의 반응이 충분히 일어나지 않으며, 1150℃를 초과하는 경우에는 제조되는 형광체의 입자가 커져서 도포특성이 나빠질 수 있다. 상기 열처리는 3시간 이하, 바람직하게는 30분 내지 1시간 동안 실시하는 것이 바람직하다. At this time, the heat treatment temperature is preferably to be 950 to 1150 ℃. When the heat treatment temperature is less than 950 ° C., the reaction between zinc oxide and silicon oxide does not sufficiently occur, and when the heat treatment temperature is higher than 1150 ° C., particles of the phosphor to be manufactured may become large and coating characteristics may deteriorate. The heat treatment is preferably performed for 3 hours or less, preferably 30 minutes to 1 hour.

상기 열처리 과정은 환원 분위기 하에서 진행되며, 이러한 환원 분위기를 만들어 주기 위해서, 질소 기체 또는 질소 기체와 수소 기체를 혼합한 혼합기체를 흘려보내 준다. 이 때, 상기 질소와 수소의 비율은 100:0 내지 90:10의 부피비인 것이 바람직하다. The heat treatment is performed under a reducing atmosphere, and in order to create such a reducing atmosphere, nitrogen gas or a mixed gas of nitrogen gas and hydrogen gas is flowed out. At this time, the ratio of the nitrogen and hydrogen is preferably a volume ratio of 100: 0 to 90:10.

본 발명의 녹색형광체의 제조방법은 전기로 열원에 근거한 기존의 방식 보다 합성온도가 낮고 합성 시간이 단축되는 장점이 있다. 또한, 상기 방법으로 제조되는 녹색형광체는 결정성이 향상되고, 크기가 작으며, 표면조성, 형광체 분말의 입도 및 형상이 최적화됨으로써, 형광체 막 형성시 Mn+2이 균일하게 분포시킬 수 있으므로, 사용되는 Mn+2의 양이 줄어들게 되고, 휘도, 색순도, 방전특성, 및 잔광시간 등과 같은 광특성이 극대화된다. The manufacturing method of the green phosphor of the present invention has the advantage that the synthesis temperature is lower and the synthesis time is shorter than the conventional method based on the electric heat source. In addition, the green phosphor manufactured by the above method has improved crystallinity, small size, and optimized surface composition, particle size and shape of the phosphor powder, so that Mn +2 can be uniformly distributed when forming a phosphor film. The amount of Mn +2 is reduced, and optical characteristics such as luminance, color purity, discharge characteristics, and afterglow time are maximized.

본 발명의 제조 방법으로 제조된 녹색형광체는 진공자외선을 여기원으로 사용하는 발광소자에 사용될 수 있으며, 바람직하게는 평판 디스플레이, 더 바람직하게는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP:Plasma Display Panel)에 사용될 수 있으며, 장시간의 진공자외선 조사에 의한 형광체의 열화를 방지할 수 있으므로, 패널의 성능을 장시간 유지할 수 있다.The green phosphor manufactured by the manufacturing method of the present invention may be used in a light emitting device using vacuum ultraviolet radiation as an excitation source, and may be preferably used in a flat panel display, more preferably, a plasma display panel (PDP). Since the deterioration of the phosphor due to the long-term vacuum ultraviolet irradiation can be prevented, the performance of the panel can be maintained for a long time.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 기재한다. 다만, 하기의 실시예는 본 발명의 바람직한 일 실시예일 뿐, 본 발명이 하기 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention are described. However, the following examples are only preferred embodiments of the present invention, and the present invention is not limited to the following examples.

[실시예 1]Example 1

ZnO와 SiO2를 2:1의 몰비로 믹서에 투입하고, 최종 녹색형광체에서 Mn+2의 양이 11 mol%로 포함되도록 MnCO3를 첨가한 후, 균일하게 혼합하였다. 상기 혼합물을 도 1의 알루미나 도가니(11)에 담고, 2.45 GHz의 주파수의 파장을 갖는 마이크로 웨이브를 이용하여 1060℃의 온도에서 1시간 동안 열처리 하여 Zn2SiO4:Mn 녹색형광체를 제조하였다. ZnO and SiO 2 were added to the mixer in a molar ratio of 2: 1, and MnCO 3 was added to include 11 mol% of Mn +2 in the final green phosphor, followed by uniform mixing. The mixture was placed in the alumina crucible 11 of FIG. 1, and heat-treated at a temperature of 1060 ° C. for 1 hour using a microwave having a wavelength of 2.45 GHz to prepare a Zn 2 SiO 4 : Mn green phosphor.

상기 열처리 과정은, 질소 기체와 수소 기체가 95:5의 부피비로 혼합된 혼합기체를 수정 챔버(16) 내부로 흘려주면서 진행하였다. The heat treatment process was performed while flowing a mixed gas in which nitrogen gas and hydrogen gas were mixed at a volume ratio of 95: 5 into the crystal chamber 16.

상기 제조된 형광체 분말, 유리 볼 및 증류수를 1:4:2의 비율로 혼합하고, 150 rpm으로 1시간 동안 밀링한 후 분말을 다시 산 용액(1.5 ml의 37% HCl/ 1L의 순수)에 넣어 약 1시간 세정하여 2㎛이하의 입경을 갖는 형광체 분말을 제조하였다. The prepared phosphor powder, glass ball and distilled water were mixed at a ratio of 1: 4: 2, milled at 150 rpm for 1 hour, and then the powder was put back into an acid solution (1.5 ml of 37% HCl / 1L pure water). The powder was washed for about 1 hour to prepare a phosphor powder having a particle diameter of 2 μm or less.

[비교예 1]Comparative Example 1

ZnO와 SiO2를 2:1의 몰비로 믹서에 투입하고, 최종 녹색형광체에서 Mn+2의 양이 11 mol%로 포함되도록 MnCO3를 첨가한 후, 균일하게 혼합하였다. 상기 혼합물을 전기로에 넣고, 1300℃의 온도에서 3시간 동안 열처리 하여 Zn2SiO4:Mn 녹색형광체를 제조한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 녹색형광체 분말을 제조하였다. ZnO and SiO 2 were added to the mixer in a molar ratio of 2: 1, and MnCO 3 was added to include 11 mol% of Mn +2 in the final green phosphor, followed by uniform mixing. The mixture was placed in an electric furnace and heat-treated at a temperature of 1300 ° C. for 3 hours to prepare green phosphor powder in the same manner as in Example 1 except that Zn 2 SiO 4 : Mn green phosphor was prepared.

상기 실시예 1 및 비교예 1에 의해 제조된 녹색형광체 분말의 X선 회절 패턴을 조사하여 그 결과를 도 2에 나타내었고, 147 nm의 여기 광으로 측정한 형광(PL) 발광 스펙트럼을 도 3에 나타내었다. 도 3에서 보는 바와 같이 실시예 1의 녹색형광체와 비교예 1의 녹색형광체의 x 좌표와 y 좌표는 동일하지만, 휘도는 실시예 1의 녹색형광체가 더 높은 것을 알 수 있다. The X-ray diffraction patterns of the green phosphor powders prepared by Example 1 and Comparative Example 1 were examined, and the results are shown in FIG. 2, and the fluorescence (PL) emission spectrum measured by excitation light at 147 nm is shown in FIG. 3. Indicated. As shown in FIG. 3, the x and y coordinates of the green phosphor of Example 1 and the green phosphor of Comparative Example 1 are the same, but the luminance of the green phosphor of Example 1 is higher.

상기 실시예 1 및 비교예 1에 의해 제조된 녹색형광체 분말의 잔광 그래프를 도 4에 나타내었다. 녹색형광체 분말 내에 Mn+2의 양이 증가하면, 잔상시간이 짧아지게 된다. 따라서, 도 4에서 보는 바와 같이 마이크로 웨이브의 에너지를 열원으로 사용한 실시예 1의 녹색형광체는 전기로를 열원으로 사용한 비교예 1의 녹색형광체에 비해 동일한 잔상 시간을 얻는데 첨가되는 Mn+2의 양이 적은 것을 알 수 있 다. Afterglow graphs of the green phosphor powders prepared by Example 1 and Comparative Example 1 are shown in FIG. 4. If the amount of Mn + 2 in the green phosphor powder is increased, the afterimage time is shortened. Accordingly, as shown in FIG. 4, the green phosphor of Example 1 using microwave energy as a heat source has a smaller amount of Mn + 2 added to obtain the same afterimage time as compared to the green phosphor of Comparative Example 1 using an electric furnace as a heat source. You can see that.

본 발명의 녹색형광체의 제조방법은 높은 휘도, 낮은 공정 열화 및 장시간의 수명을 갖는 Mn+2이 첨가된 Zn2SiO4:Mn 녹색형광체를 저온-단시저온-단시 제조할 수 있으며, 상기 방법으로 제조된 형광체는 발광 효율이 우수하고 공정 열화에 강할 뿐만 아니라 장시간의 VUV 조사에 의한 형광체의 열화를 방지할 수 있어 패널의 성능을 장시간 유지할 수 있는 장점이 있다.In the method of manufacturing the green phosphor of the present invention, Zn 2 SiO 4 : Mn green phosphor to which Mn +2 is added, which has high luminance, low process deterioration and long life, can be produced at low temperature, low temperature, and short time. The manufactured phosphor is excellent in luminous efficiency and strong in process deterioration, and can prevent deterioration of the phosphor due to prolonged VUV irradiation, thereby maintaining the performance of the panel for a long time.

Claims (8)

a) 아연산화물, 실리콘 산화물, 및 망간계 화합물을 혼합하는 단계; 및a) mixing zinc oxide, silicon oxide, and manganese compound; And b) 주파수가 900 MHz 내지 30 GHz인 마이크로 웨이브의 에너지를 이용하여 상기 혼합물을 열처리하는 단계b) heat-treating the mixture using energy of microwaves having a frequency of 900 MHz to 30 GHz 를 포함하는, 진공자외선을 여기원으로 하는 발광소자용 녹색형광체의 제조방법.A method of manufacturing a green phosphor for a light emitting element comprising a vacuum ultraviolet ray as an excitation source. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 마이크로 웨이브는 주파수가 915 MHz, 2.45 GHz, 5.8 GHz, 18 GHz, 28 GHz 또는 30 GHz인, 진공자외선을 여기원으로 하는 발광소자용 녹색형광체의 제조방법.The method of manufacturing a green phosphor for a light emitting element according to claim 1, wherein the microwaves have a frequency of 915 MHz, 2.45 GHz, 5.8 GHz, 18 GHz, 28 GHz, or 30 GHz. 제1항에 있어서, 상기 열처리 단계는 질소 기체 또는 질소와 수소의 혼합 기체의 존재하에, 950 내지 1150℃ 온도에서 마이크로 웨이브 에너지를 이용하여 3시간 이하 동안 진행되는 것인, 진공자외선을 여기원으로 하는 발광소자용 녹색형광체의 제조방법.The method of claim 1, wherein the heat treatment step is carried out for 3 hours or less using microwave energy at a temperature of 950 to 1150 ℃ in the presence of nitrogen gas or a mixed gas of nitrogen and hydrogen, vacuum ultraviolet to excitation source Method of manufacturing a green phosphor for a light emitting device. 제4항에 있어서, 상기 열처리 단계는 30분 내지 1시간 동안 진행되는 것인, 진공자외선을 여기원으로 하는 발광소자용 녹색형광체의 제조방법.The method of manufacturing a green phosphor for a light emitting device according to claim 4, wherein the heat treatment is performed for 30 minutes to 1 hour. 제4항에 있어서, 상기 열처리 단계에서 질소 및 수소 기체는 100:0 내지 90:10의 비율인, 진공자외선을 여기원으로 하는 발광소자용 녹색형광체의 제조방법The method of manufacturing a green phosphor for a light emitting device according to claim 4, wherein nitrogen and hydrogen gas in the heat treatment step are in a ratio of 100: 0 to 90:10. 제1항에 있어서, 상기 아연산화물은 ZnO이고, 상기 실리콘 산화물은 SiO2이며, 상기 망간계 화합물은 MnCO3, MnO, MnF2, Mn(NO3)2, 및 MnCl2로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상인, 진공자외선을 여기원으로 하는 발광소자용 녹색형광체의 제조방법. The method of claim 1, wherein the zinc oxide is ZnO, the silicon oxide is SiO 2 , and the manganese compound is selected from the group consisting of MnCO 3 , MnO, MnF 2 , Mn (NO 3 ) 2 , and MnCl 2 . The manufacturing method of the green fluorescent substance for light emitting elements which uses 1 or more types of vacuum ultraviolet rays as an excitation source. 제7항에 있어서, 상기 아연산화물, 실리콘 산화물, 및 망간계 화합물을 하기 조성식 1의 비율로 혼합하는 것인, 진공자외선을 여기원으로 하는 발광소자용 녹색형광체의 제조방법. The method of manufacturing a green phosphor for a light emitting element according to claim 7, wherein the zinc oxide, silicon oxide, and manganese compound are mixed at a ratio of the following Formula 1. [조성식 1][Formula 1] xZnO + ySiO2 : z mol% Mn+2 xZnO + ySiO 2: z mol% Mn +2 단, 1.5≤x/y≤2, 0≤z≤15이다. However, 1.5≤x / y≤2 and 0≤z≤15.
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