KR100664576B1 - 원판 수명 및 점등검사 지그장치 - Google Patents

원판 수명 및 점등검사 지그장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100664576B1
KR100664576B1 KR1020040084470A KR20040084470A KR100664576B1 KR 100664576 B1 KR100664576 B1 KR 100664576B1 KR 1020040084470 A KR1020040084470 A KR 1020040084470A KR 20040084470 A KR20040084470 A KR 20040084470A KR 100664576 B1 KR100664576 B1 KR 100664576B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
support
base plate
main body
plate
axis
Prior art date
Application number
KR1020040084470A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20060035122A (ko
Inventor
김진홍
Original Assignee
김진홍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김진홍 filed Critical 김진홍
Priority to KR1020040084470A priority Critical patent/KR100664576B1/ko
Publication of KR20060035122A publication Critical patent/KR20060035122A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100664576B1 publication Critical patent/KR100664576B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/70Testing, e.g. accelerated lifetime tests
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/44Testing lamps
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 원판 수명 및 점등검사 장치에 관한 것으로서, 수동형 유기EL(OLED PM), 능동형 유기EL(OLED AM)을 제조후 셀을 절단하기 전에 원판 글라스(Glass)의 불량품을 선별하기 위하여 원판의 접점단자(점등패드)를 이용하여 지그장치내에서 점등하여 검사할 수 있는 원판 수명 및 점등검사 장치를 얻기 위한 것인 바,
검사창이 형성되고 수평방향으로 슬라이드되는 본체부의 상부에 구성된 커버부와; 상기 커버를 고정하도록 본체의 측면에 앵글에 고정된 고정레버와; 상기 본체내부에 안착되는 다수의 핀을 연결한 회로기판(PCB)과, 상기 다수의 핀을 상부로 돌출시키도록 상부 에폭시판과, 하부 에폭시판을 지지판에 일체로 고정한 베이스판과; 상기 베이스판의 양측면에 본체부와 베이스판사이에 상/하방향으로 슬라이드 되도록 베어링블록과 베어링레일로 구성된 다수개의 베어링부와; 상기 베이스판을 Z축방향으로 작동하도록 한 상/하작동수단부와; 검사 원판을 지지하도록 3면에 걸이턱이 형성된 지지대가 구성하되 각각 X축, Y축으로 이동할 수 있는 지지대이동수단부로 구성한 특징이 있다.
원판글라스, 셀, 유기EL, 지그, X, Y ,Z축

Description

원판 수명 및 점등검사 지그장치{Sheet aging and lighting test jig device}
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예의 원판 수명 및 점등검사 지그장치의 커버가 오픈된 상태의 사시도,
도 2는 본 발명의 원판 수명 및 점등검사 지그장치의 커버가 닫힌상태를 도시한 사시도,
도 3은 본 발명의 X축, Y축방향의 지지대이동수단부를 도시한 평면도,
도 4는 본 발명의 원판 수명검사 지그장치의 단면도,
도 5는 도 4의 "A"의 지지대이동수단부를 도시한 구성상태도,
도 6은 본 발명의 Z축 방향의 작동부를 도시한 구성도,
도 7은 Z축 방향의 작동부와 베이스판과의 작동상태도,
도 8은 본 발명의 다른 실시예의 원판 수명 및 점등검사 지그장치의 공/유압실린더를 구성한 상태도,
도 9는 본 발명의 조절레버를 배열한 상태의 구성도이다.
* 도면의 주요부호에 대한 설명*
1 : 손잡이 2 : 격자판 3 : 검사창
4 : 가이드홀 5 : 레일 6 : 커버부
7 : 고정레버 8 : 앵글 9 : 원판다이
10 : 베어링블록 11 : 베아링레일 12 : 지지대
13,22 : 조절레버 16 : 축지지대 17,18 : 상/하부슬라이드
19 : 베어링블록 20 : 베어링레일 21 : 회전축
23 : 상/하작동수단부 24,26 : 에폭시판 25 : 회로기판(PCB)
27 : 지지판 28 : 핀
30 : 지지대이동수단부
본 발명은 원판 수명 및 점등검사 지그장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 수동형 유기EL(OLED PM), 능동형 유기EL(OLED AM)을 제조후 셀을 절단하기 전에 원판 글라스(Glass)의 불량품을 선별하기 위하여 원판의 접점단자(점등패드)를 이용하여 지그장치내에서 점등하여 검사할 수 있는 원판 수명 및 점등검사 장치에 관한 것이다.
첨단산업의 발달로 평판표시기의 대표적인 소자로서, 액정 기술과 반도체 기술을 융합한 액티브 매트릭스형 LCD, TFT-LCD, PDP DIVICE, MOBIL DEVICE 인 OLED PM, OLED AM 등의 디스플레이부가 연구 개발이 빠르게 이루어지고 있다.
상기 액티브 매트릭스형 LCD는 매트릭스 형태로 배열된 수십만개의 각각의 화소에 스위칭 소자인 TFT를 부가하고, 이 TFT는 화소 선택용 어드레스(address) 배선과 함께 유리기판 상에 집적화되어 매트릭스 회로를 구성하도록 이루어져, 지그 장치를 사용하여 이들 LCD 패널의 정·오동작 유/무를 판단하도록 하고 있다.
그러나 상기의 경우 TV, 모니터, 대형디스플레이에 사용되는 패널 등은 패널의 크기에 맞게 지그장치가 구성되어 테스트 패드와 지그장치의 핀이 로딩하기가 쉽다.
그러나, 현재 소형화 추세에 따라 디스플레이창이 기능추가와 경량 및 소비전력을 최소화시킨 소형 유기EL Cell이 개발되어 양산에 들어 가고 있으나, 테스트할 수 있는 장비의 개발되지 않아 검사시간 증가와 불량률이 증가되는 문제점이 있었다.
또한, 제조 후 최종 원판 Device내에 배치되어 있는 셀은 보통 100~200Cell 이상의 검사를 동시에 수행해야 하는 문제점이 있었다.
또한, 원판 Device는 고온에서 제조되므로 항상 일정한 평면상태를 유지하기가 어려우므로 테스트 패드와 지그장치의 핀이 로딩하기가 어려운 문제점이 있었다.
따라서, 이러한 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 본 발명의 목적은 공정의 제조 후 최종 원판내에 배치되어 있는 다수의 Cell에 임의의 에이징 파워(Aging Power(DC,AC))를 인가하여 소형 유기EL Cell들의 양품 및 불량 등을 식 별하여 생산성을 증가하기 위한 원판 수명검사 지그장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 유기EL(Electro Luminescence)은 음극과 양극에서 주입된 전자와 정공(전자에 대응하는 양의 전하를 띤 입자)이 유기물 내에서 결합하여 빛을 내는 자체발광 현상을 이용한 디스플레이를 구동이 가능하고 발광 효율이 높아 전력 소모가 적으며 TFT-LCD의 박막 트랜지스터 공정이 필요없기 때문에 생산원가를 LCD의 절반 이하로 줄일 수 있는 유기EL을 하면에서 검사할 수 있는 원판 수명 및 점등검사 지그장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 원판의 평면상태에 따라 지그를 상/하방향 및 좌/우방향(2축이상)으로 이동하여 테스트 패드와 지그장치의 핀이 로딩 되도록한 원판수명 및 점등검사 지그장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 유기EL의 배열된 대형 유리원판에 따라 베이스판을 단위체로 분할한 원판 수명 및 점등검사 지그장치를 제공하는 데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 원판을 검사시 육안으로 볼 수 있도록 검사창이 형성된 커버부와; 본체 내부에 다수의 핀홀더내에 핀을 구성하여 연결한 회로기판과, 다수의 핀을 상부로 돌출시키도록 상부 에폭시판과, 하부 에폭시판을 지지판에 일체로 고정한 베이스판을 구성하고, 상기 베이스판의 양측면에 본체부와 베이스판과의 사이에 상/하방향으로 슬라이드 되도록 베어링블록과 베어링레일로 구성된 다수개의 베어링부와; 상기 베이스판을 Z축방향으로 작동하도록 한 상 /하작동수단부와; 원판을 지지하도록 3면에 각각 걸이턱이 형성된 지지대를 구성하되 각각의 X축, Y축으로 이동할 수 있는 지지대이동수단부로 구성하여 달성하였다.
또 지그장치의 상/하작동수단는 베이스판 저면에 역삼각형 구조의 상부슬라드판과 축지지대에 설치된 나사산이 형성된 회전축과 상기 회전축에 끼워진 삼각형구조의 하부슬라이드판으로 구성되어 상/하부슬라이드판이 회전축에 의해 경사면에 따라 이동하도록 구성되었다.
또 도 8과 도 9에 도시한 다른 실시예의 본 발명의 지그장치의 상/하이동수단을 베이스판(29)과 조절레버와 가이드베어링과 플레이트를 구성하고, 상기 플레이트와 베이스판 사이에 "
Figure 112004048015332-pat00001
"형 보강대(42)를 구성하고, 상기 보강대의 내측면에 베이스판이 상하로 슬라이드 되도록 보강대측 레일과 베이스판측 이동블록이 양측면에 결합된 내측베어링와, 상기 보강대 외측면에 결합된 다수개의 내측베어링으로 구성되고, 상기 플레이트 저면에 조절볼트(36)와 라크볼트(37)로 구성된 조절레버(39)와 상기 조절레버의 하단에 공/유압실린더(35)를 구성하여 공압 또는 유압 실린더로 상/하방향(Z축방향)으로 조절하도록 구성하였다.
또 다른 실시예는 감속장치를 포함한 모터와, 공/유압실린더, 수동으로 구현할 수 있도록 달성하였다.
이하, 본 발명의 원판 수명 및 점등검사 지그장치의 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명은 수동형 유기EL(OLED PM), 능동형 유기EL(OLED AM)을 제조후 셀을 절단하기 전에 불량품을 검사시 원판의 변형에 따른 접점단자간의 불규칙한 배열을 지그장치를 이용하여 로딩될 수 있도록 한 것을 요지로 검사창(3)이 형성되며 수평방향으로 슬라이드되는 본체부(40)의 상부에 구성된 커버부(6)와; 상기 커버를 고정하도록 본체의 측면에 앵글(8)에 고정된 고정레버(7)와; 상기 본체내부에 안착되는 다수의 핀(28)을 연결한 회로기판(25)과, 상기 다수의 핀을 상부로 돌출시키도록 상부에폭시판(24)과, 하부 에폭시판(26)을 지지판(27)에 일체로 고정한 베이스판(29)과; 상기 베이스판의 양측면에 본체부와 베이스판(29)사이에 상/하방향으로 슬라이드 되도록 베어링블록(19)과 베어링레일(20)로 구성된 다수개의 베어링부(41)와; 상기 베이스판(29)을 Z축방향으로 작동하도록 한 상/하작동수단부(23)와; 검사 원판(33)을 지지하도록 3면에 걸이턱이 형성된 지지대(12)가 구성하되 각각 X축, Y축으로 이동할 수 있는 지지대이동수단부(30)로 구성한 특징이 있다.
도 1과 도 7에 도시한 본 발명은 본체부(40)와 커버부(6)와 핀(28)을 포함한 베이스판(29)과 X축, Y축방향으로 조절하는 지지대이동수단부(30)와, Z축방향으로 슬라이드 되도록 구성된 상/하작동수단부(23)로 구성된다.
먼저, 도 1과 도2에 도시한 바와 같이 커버부(6)는 커버면 검사창(3)에 일정한 간격으로 구성된 격자테(2)를 구성하여 내부를 볼 수 있도록 관통되어 있으며, 개폐시에 커버부(6)가 수평으로 개폐되도록 가이드홀(4)이 형성된 레일(5)을 따라 이동하도록 구성되어지면 쉽게 개폐할 수 있도록 상부에 손잡이(1)가 형성되어 있다.
그리고, 도 3내지 도 5에 도시한 지지대이동수단부(30)는 X축상에 두 개를 대칭되도록 X축지지대이동수단부(14)를 배열하고, Y축상에 1개 또는 대칭면에 각각 설치하도록 구성이 가능하며, 본 발명에서는 Y축상에 Y축지지대이동수단부(15)를 배열한 구조로 형성하였으며, 상기 X축, Y축은 서로 같은 구조이므로 같은 부호로 설명하였다.
도 3에 도시한 지지대이동수단부(30)는 X,Y축지지대이동수단부(14,15)로 이루어지며 X축방향 또는 Y축방향으로 원판을 이동할 수 있도록 각각 구성되며, 도 5에 도시한 바와 같이 그 구성은 원판(33)을 올려놓을 수 있도록 걸이턱을 형성한 원판 다이(9)가 결합되는 지지대(12)를 구성한다. 상기 지지대가 이동할 수 있도록 저면에 결합된 베어링블록(10)과 상기 본체면에 고정된 베어링레일(11)이 결합된 레일을 구성하여 접촉면을 따라 슬라이드되도록 하되 뒤틀려지지 않고 이동되도록 서로 각형구조로 맞물려져 결합된다. 또한, 지지대와 본체부의 사이에 스프링(35)을 구성하여 각각의 고정볼트(34)로 결합한 탄성체를 구성하여 조절레버(13)로 미세조절할 수 있도록 구성하고 있다.
다음, 도 4와 도 6,7에 도시한 상/하작동수단부(23)는 베이스판(29) 저면에 역삼각형 구조의 상부슬라드판(17)을 고정결합하도록 구성하고, 본체부의 저면에 축지지대(16)에 나사산이 형성된 회전축(21)을 구성하고 삼각형구조의 하부슬라이드판(18)이 삽입하여 결합 구성된다. 상기 상/하부슬라이드판은 회전축의 회전시 하부슬라이드판(18)을 회전축과 수평방향으로 이동함과 동시에 상부슬라이판이 이동되어 베이스판이 Z축방향으로 이동된다.
상기 Z축방향(상하방향)으로 이동시에 베이스판의 양측면에 본체부와 베이스판사이에 상/하방향으로 슬라이드 되도록 베어링블록(19)과 베어링레일(20)로 구성 한 베어링부(22)를 장착하여 정방향으로 이동할 수 있도록 구성하고 있다.
또한, 베이스판을 3개의 단위체로 구성하고 있으므로 각각의 단위체에 도 6의 베이스판을 떼어낸 상태의 평면도에서 나타낸 바와 같이 베이스판의 저면에 구성되며, 본체 저면과 베이스판 사이에 상/하방향으로 슬라이드 되도록 베어링블록(19)과 베어링레일(20)로 구성된 전/후방향에 베어링부(41)와 중앙에 도시된 상/하작동수단부를 구성하였다. 더욱 상세하게는 도 7에 도시한 상/하작동수단부(23)는 베이스판(29) 저면에 역삼각형 구조의 상부슬라드판(17)을 고정결합하도록 구성하고, 본체부의 저면에 축지지대(16)에 나사산이 형성된 회전축(21)을 구성하고 삼각형구조의 하부슬라이드판(18)이 삽입하여 하부슬라이드판이 전후방향으로 이동되면 상부슬라이드판이 상하방향으로 이동된다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 원판 수명 및 점등검사 지그장치의 작용을 상세히 설명한다.
유기EL(OLED AM PM)의 생산공정에서 디바이스(Device)의 제조공정인 최종 원판 Device내에 배치되어 있는 다수(100~200Cell)의 셀(Cell)에 임의의 에이징파워(Aging Power(DC,AC))를 인가하여 소형 유기EL Cell들의 기능성 수율을 높이고 1차적인 양품과 불량의 식별하도록 전원(전원연결컨넥트 미도시함)을 연결하여 유기EL Cell의 생산 수율등을 향상 시키도록 원판수명검사를 실시한다.
상기 원판(33)을 X축, Y축방향으로 일정한 위치에 설전된 베이스판(29)에 올려놓은 후 커버부(6)의 손잡이를 잡고 당기면 레일을 타고 이동하여 본체부의 상부를 닫도록 한다음, 본체부의 상부에 형성된 양측 앵글의 고정레버(7)를 돌려 커버를 고정 및 눌러주도록 하여 커버를 셋팅한다.
다음, 원판을 받쳐주도록하며 X축방향 또는 Y축방향으로 원판을 이동할 수 있도록 각각 작동되며, 조절레버(13)를 회전하여 시계방향으로 이동시 지지대가 전진되면 반시계방화으로 회전시 후진되도록 하여 원판을 X축과 Y축으로 이동하여 테스트 패드와 지그장치의 핀이 로딩되도록 조절한다.
그리고, 원판의 균일하지 않는 평판면과 베이판의 돌출된 핀(28)이 로딩되도록 각각의 단위체를 Z축방향으로 이동하도록 단위체의 저면에 역삼각형 구조의 상 부슬라드판과 축지지대에 설치된 나사산이 형성된 회전축과 상기 회전축에 끼워진 삼각형구조의 하부슬라이드판으로 구성되어져 상/하부슬라이드판이 회전축에 끼워진 조절레버를 회전하여 하부슬라이드판이 이동함으로써 상부슬라이드판이 경사면에 따라 이동하도록 작동됨으로서 테스트 패드와 지그장치의 핀의 Z축 방향을 조절하도록 하여 원판에 배열된 다수개의 셀의 다양한 검사를 진행할 수 있도록 하였다.
예컨대, 본 발명은 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위내에 있게 된다
상기한 본 발명은 원판의 평면상태에 따라 지그를 상/하방향 및 좌/우방향(2축이상)으로 이동하여 검사할 수 있으며 또한 커버의 수평개폐방식으로 설치공간을 최소화시킨 효과가 있다.
또, 지그 하면에 핀을 사용한 Jig와 PCB를 분할하여 Z축방향으로 조절이 되어 2축이상의 방향으로 각각 조절이 가능하여 원판용 Aging 또는 점등식별 전류값, 전압값 측정 등의 다양한 검사를 편리하게 할 수 있도록한 뛰어난 효과가 있으므로 매우 유용한 발명인 것이다.

Claims (6)

  1. 검사창이 형성된 수평방향으로 슬라이드되는 본체부의 상부에 구성된 커버부와; 상기 커버를 고정하도록 본체의 양측면에 앵글에 고정된 고정레버와; 상기 본체내부에 안착되는 다수의 핀을 배열하여 연결한 회로기판과, 상기 다수의 핀을 상부로 돌출시키도록 회로기판에 구성한 상부 에폭시판과, 상기 회로기판의 저면에 도포 도는 부착한 하부 에폭시판을 지지판에 일체로 고정한 베이스판과; 상기 베이스판의 양측면에 본체부와 베이스판사이에 상/하방향으로 슬라이드 되도록 베어링블록과 베어링레일로 구성된 다수개의 베어링부와; 상기 베이스판을 Z축방향으로 작동하도록 한 상/하작동수단부와; 검사 원판을 지지하도록 3면에 걸이턱이 형성된 지지대가 구성하되 각각 X축, Y축으로 이동할 수 있는 지지대이동수단부로 구성함을 특징으로 하는 원판 수명 및 점등검사 지그장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 커버부는 커버면 검사창에 일정한 간격으로 구성된 격자테와, 상기 커버부가 본체부에 수평으로 개폐되도록 가이드홀이 형성된 레일과 손잡이로 구성된 것을 특징으로 하는 원판 수명 및 점등검사 지그장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 상/하작동수단는 베이스판 저면에 역삼각형 구조의 상부슬라드판과 축지지대에 설치된 나사산이 형성된 회전축과 상기 회전축에 끼워진 삼각형구조의 하부슬라이드판으로 구성되어 상/하부슬라이드판이 회전축에 의해 경사면에 따라 이동하도록 구성함을 특징으로 하는 원판 수명 및 점등검사 지그장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 베이스판은 다수개의 판으로 분리하여 Z축방향으로 개별적으로 작동되도록 하부면에 베이스판 저면에 역삼각형 구조의 상부슬라드판과 축지지대에 설치된 나사산이 형성된 회전축과 상기 회전축에 끼워진 삼각형구조의 하부슬라이드판으로 구성되어 상/하부슬라이드판이 회전축에 의해 경사면에 따라 이동되도록 상/하부작동부를 구성함을 특징으로 하는 원판 수명 및 점등검사 지그장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 지지대이동수단부는 원판을 올려놓을 수 있도록 걸이턱을 형성한 원판다이가 결합되는 지지대와; 상기 지지대가 이동되도록 저면에 결합된 베어링블록과 상기 본체면에 고정된 베어링레일이 결합된 레일과; 상기 지지대와 본체부사이에 스프링을 구성하여 각각 고정볼트로 결합한 탄성체와; 상기 지지대를 상/하방향으로 이동하도록 구성된 조절레버로 구성함을 특징으로하는 원판 수명 및 점등검사 지그장치.
  6. 삭제
KR1020040084470A 2004-10-21 2004-10-21 원판 수명 및 점등검사 지그장치 KR100664576B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040084470A KR100664576B1 (ko) 2004-10-21 2004-10-21 원판 수명 및 점등검사 지그장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040084470A KR100664576B1 (ko) 2004-10-21 2004-10-21 원판 수명 및 점등검사 지그장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060035122A KR20060035122A (ko) 2006-04-26
KR100664576B1 true KR100664576B1 (ko) 2007-01-04

Family

ID=37143736

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040084470A KR100664576B1 (ko) 2004-10-21 2004-10-21 원판 수명 및 점등검사 지그장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100664576B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108091920B (zh) * 2017-12-25 2024-01-12 安徽嘉熠智能科技有限公司 一种用于动力电池模组的环氧树脂板装配的设备

Also Published As

Publication number Publication date
KR20060035122A (ko) 2006-04-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101350662B1 (ko) 디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치
KR200484209Y1 (ko) Oled 프로세싱을 위한 cvd 마스크 정렬
KR101234088B1 (ko) 어레이 테스트 장치
TW201226913A (en) Array test apparatus
KR101286250B1 (ko) 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치
KR20130005128A (ko) 글라스패널 이송장치
KR100776177B1 (ko) 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블
KR100664576B1 (ko) 원판 수명 및 점등검사 지그장치
KR100764628B1 (ko) 평면디스플레이용 화학 기상 증착장치
KR101162912B1 (ko) 어레이기판 검사장치 및 어레이기판 검사방법
CN114460433A (zh) 一种用于显示器主板ict自动测试的治具
KR20090116279A (ko) 정전기 방지를 위한 디스플레이 패널 검사장치용워크테이블
CN201549181U (zh) Tft-lcd阵列电路检测用探针框架
KR101269446B1 (ko) 기판 검사 및 리페어 장치
KR102656883B1 (ko) 기판 스테이지 및 이를 포함하는 디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치
KR101269443B1 (ko) 기판 검사 및 리페어 장치
KR101808521B1 (ko) 영상 표시패널 검사장치 및 그 검사방법
KR20070118770A (ko) 복합 검사기
KR101588855B1 (ko) 액정표시패널 검사장치의 프로브 유닛 각도조절장치
CN213581246U (zh) 一种用于显示器主板ict自动测试的治具
KR101373507B1 (ko) 디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치
KR101317173B1 (ko) 기판 검사 및 리페어 장치
CN109449092B (zh) 一种阵列基板的测试设备和测试方法
KR100989216B1 (ko) 액정표시장치 공정 장비의 척 구조
KR102023926B1 (ko) 평판 표시 장치의 검사 방법 및 검사 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee