KR100663159B1 - Tester of power module - Google Patents

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Abstract

본 발명은 파워모듈의 테스트장치에 관한 것으로서, 전력 에너지의 이용효율을 최적화시키는 파워모듈과 같은 낮은 주파수의 대전력 소자를 테스트할 때 고가의 고정도 장비나 계측기를 통한 수동적인 테스트를 탈피하여 자동으로 대전력 소자의 고전압, 고전류, 스위칭 특성 등을 테스트하여 테스트를 위한 비용 및 시간을 절감할 수 있어 제조 단가를 낮추고 수율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다. The present invention relates to a test apparatus for a power module, and when testing a large frequency device of low frequency, such as a power module that optimizes the utilization efficiency of power energy, it is possible to avoid the manual test through expensive high-precision equipment or instruments. As a result, the high voltage, high current, and switching characteristics of the large power device can be tested to reduce the cost and time for the test, thereby reducing the manufacturing cost and improving the yield.

파워모듈, 대전력소자, 테스트장치, ATE, 고전압, 고전류Power Module, High Power Device, Test Device, ATE, High Voltage, High Current

Description

파워모듈의 테스트장치{TESTER OF POWER MODULE} Test module of power module {TESTER OF POWER MODULE}             

도 1은 본 발명에 의한 파워모듈의 테스트장치를 나타낸 블록구성도이다. 1 is a block diagram showing a test apparatus of a power module according to the present invention.

도 2는 위와 같이 이루어진 본 발명에 의한 파워모듈의 테스트장치를 구현한 실시예이다. Figure 2 is an embodiment implementing the test device of the power module according to the present invention made as described above.

- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -   -Explanation of symbols for the main parts of the drawings-

10 : 컴퓨터 스테이션 20 : 테스트모듈부10: computer station 20: test module unit

21 : 전원공급 모듈 22 : 임의 파형발생 모듈21: power supply module 22: arbitrary waveform generation module

23 : 저주파 디지타이저 모듈 24 : 샘플링 모듈23: low frequency digitizer module 24: sampling module

25 : 고전압 모듈 26 : 고전류 모듈25: high voltage module 26: high current module

27 : 교정모듈 30 : 스테이션 멀티플렉서27: calibration module 30: station multiplexer

40 : 테스트 헤드 45 : 디바이스 소켓40: test head 45: device socket

50 : 디바이스50: device

본 발명은 파워모듈의 테스트장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전력 에너지의 이용효율을 최적화시키는 파워모듈과 같은 낮은 주파수의 대전력 소자를 테스트할 때 고가의 고정도 장비나 계측기를 통한 수동적인 테스트를 탈피하여 자동으로 대전력 소자의 고전압, 고전류, 스위칭 특성 등을 테스트할 수 있도록 한 파워모듈의 테스트장치에 관한 것이다. The present invention relates to a test apparatus for a power module, and more particularly, when testing a large frequency device of low frequency, such as a power module that optimizes the efficiency of using power energy, a manual test using expensive high-precision equipment or a measuring instrument. The present invention relates to a test apparatus for a power module that can automatically test high voltage, high current, switching characteristics, and the like of a large power device.

파워모듈은 여러개의 반도체 칩을 용도, 목적에 따라 결선하고, 하나의 패키지로 수납한 복합형 반도체로써 내장하는 주요 칩의 종류에 따라 다이오드(Diode) 모듈, MOSFET 모듈, 지능형 전력모듈(Intelligent Power Module ; IPM)로 불려지고 있다. The power module is a complex semiconductor that connects several semiconductor chips according to purpose and purpose, and is housed in one package. According to the type of the main chip, a diode module, a MOSFET module, and an intelligent power module ; IPM).

이러한 파워모듈은 전력 에너지의 이용효율을 최적화시킬 수 있는 대전력 소자로써 전력이 사용되는 모든 분야 즉, 인버터(Inverter), 유피에스(UPS), 용접기 등 산업용 제품 및 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel ; PDP) 등의 디지털 미디어 제품에 사용되고 있다. These power modules are large power devices that can optimize the use efficiency of power energy. Industrial fields such as inverters, UPS, welding machines, and plasma display panels are used in all fields where power is used; It is used in digital media products such as PDP).

이와 같은 대전력 소자인 파워모듈을 테스트하기 위해서는 고전압, 고전류 특성 및 스위칭 특성 등을 테스트하게 되는데 스위칭 특성은 일반적으로 낮은 주파수 특성을 갖고 있다.In order to test the power module, such a large power device, high voltage, high current characteristics, and switching characteristics are tested. The switching characteristics generally have low frequency characteristics.

그런데. 반도체소자를 테스트하기 위한 테스트장치로써 자동으로 테스트하는 자동테스트장비(Automatic Test Equipment ; ATE)들의 경우는 고도의 기술을 요하는 RF 소자나, 비디오 소자 등 1GHz 대의 고속의 데이터 스피드를 출력시키며 256 채널 이상의 많은 채널을 갖으며 정밀도와 해상도가 높은 믹스드 테스터로써 로직IC 및 아날로그 IC 뿐만아니라 로직과 아날로그가 혼재되어있는 믹스트 IC를 테스트할 수 있는 고가인 장비들로써 산업용 민생용의 비교적 저급의 소자를 테스트하기에는 너무 비용이 많이 소요되는 문제점이 있다. By the way. Automatic Test Equipment (ATE), which is a test device for testing semiconductor devices, automatically outputs high-speed data speeds of 1 GHz such as RF devices and video devices that require high technology. It is a mixed tester with many channels and high precision and resolution. It is an expensive device that can test not only logic IC and analog IC but also mixed IC with logic and analog. There is a problem that is too expensive to do.

한편, 산업용이나 민생용의 TR, LED, DIODE, MOSFET, 사이리스터 등 비교적 고도의 기술을 필요로 하지 않고 낮은 주파수의 스위칭 특성을 갖는 소자들을 테스트하기 위한 장비로는 아날로그 IC 테스터 등이 있다. Meanwhile, an analog IC tester is a device for testing devices having low frequency switching characteristics without requiring a relatively high technology such as TR, LED, DIODE, MOSFET, and thyristor for industrial or consumer use.

이런 아날로그 IC 테스터의 경우 기본적인 DC소스와, 매트릭스, 먹스(MUX), 인터페이스 보드 등으로 구성되어 극히 제한적인 부품에 적용되어 비교적 낮은 스위칭 특징으로 갖는 소자들을 테스트하고 있다. These analog IC testers consist of basic DC sources, matrices, muxes, and interface boards, which are applied to extremely limited components to test devices with relatively low switching characteristics.

그런데 이와 같은 아날로그 IC 테스터의 경우 DC소스가 60V, 200mA 로써 대전력 소자를 테스트하기 위한 1,200V의 고전압이나, 100A의 고전류 등을 제공할 수 없고 테스트할 수 없어 벤치 테스트 생산방식으로 계측기를 통해 파워모듈을 수동으로 테스트함으로써 생산성이 저하되는 문제점이 있다. However, in the case of such an analog IC tester, since the DC source is 60V and 200mA, it cannot provide a high voltage of 1,200V or a high current of 100A for testing a large power device and cannot test it. There is a problem that the productivity is lowered by manually testing the module.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은 전력 에너지의 이용효율을 최적화시키는 파워모듈과 같은 낮은 주파수의 대전력 소자를 테스트할 때 고가의 고정도 장비나 계측기를 통한 수동적인 테스트를 탈피하여 자동으로 대전력 소자의 고전압, 고전류, 스위칭 특성 등을 테스트할 수 있도록 한 파워모듈의 테스트장치를 제공함에 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention was created to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an expensive high-precision device or an instrument when testing low frequency large power devices such as power modules that optimize power efficiency. It is to provide a test module of power module that can test high voltage, high current, switching characteristics of large power device automatically by avoiding manual test.

상기와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은 컴퓨터와 키보드와 표시장치와 유저 인터페이스와 저장장치 등으로 구비되어 테스트 과정을 설정하고 제어하며 테스트 결과를 저장하고 표시하기 위한 컴퓨터 스테이션과; 테스트 디바이스가 장착될 수 있는 디바이스 소켓을 제공하며 장착된 테스트 디바이스의 각 핀과 접속될 수 있도록 인터페이스를 제공하는 테스트 헤드와; 테스트모듈부에 전압과 전류를 공급하기 위한 전원공급 모듈과, 낮은 주파수의 임의 파형을 발생하기 위한 임의 파형발생 모듈과, 낮은 주파수로 샘플링하여 디지털화하는 저주파 디지타이저 모듈과, 테스트 디바이스의 동작파형을 샘플링하기 위한 샘플링 모듈과, 고전압을 발생시키고 측정하기 위한 고전압 모듈과, 고전류를 발생시키고 측정하기 위한 고전류 모듈로 이루어져 컴퓨터 스테이션의 제어에 따라 동작하여 테스트 헤드로 전원공급 모듈은 전압과 전류를 출력하고, 임의 파형발생 모듈은 임의 파형을 출력하고, 고전압 모듈은 고전압을 출력하고, 고전류 모듈은 고전류를 출력하여 테스트 디바이스를 저주파 디지타이저 모듈과 샘플링 모듈과 고전압 모듈과 고전류 모듈에 의해 측정된 데이터를 컴퓨터 스테이션으로 전달하는 테스트모듈부와; 테스트 헤드와 테스트모듈부 사이에서 신호의 입출력패스를 설정하는 스테이션 멀티플렉서로 이루어진 것을 특징으로 한다. The present invention for realizing the above object is provided with a computer, a keyboard, a display device, a user interface and a storage device for setting and controlling the test process, and for storing and displaying the test results; A test head providing a device socket into which the test device can be mounted and providing an interface to be connected with each pin of the mounted test device; A power supply module for supplying voltage and current to the test module, an arbitrary waveform generation module for generating low frequency arbitrary waveforms, a low frequency digitizer module for sampling and digitizing at low frequency, and an operation waveform of the test device It consists of a sampling module for generating, a high voltage module for generating and measuring a high voltage, and a high current module for generating and measuring a high current. The module is operated under the control of a computer station, and the power supply module outputs voltage and current to the test head. The arbitrary waveform generator module outputs an arbitrary waveform, the high voltage module outputs a high voltage, and the high current module outputs a high current to transfer the test device data to the computer station from the low frequency digitizer module, the sampling module, and the high voltage module and the high current module. Passing test module Wealth; Characterized in that the station multiplexer for setting the input and output path of the signal between the test head and the test module unit.

본 발명에서 테스트모듈부에는 출력되는 전압과 전류를 측정하여 전압과 전류에 이상이 발생할 경우 전원공급 모듈을 조절하여 자동교정하기 위한 교정모듈이 더 포함된 것을 특징으로 한다. In the present invention, the test module unit is characterized in that it further comprises a calibration module for measuring the output voltage and current to automatically correct the power supply module when an error occurs in the voltage and current.

본 발명에서 테스트모듈부의 각 모듈은 선택적으로 착탈 가능한 것을 특징으로 한다. Each module of the test module unit in the present invention is characterized in that the removable selectively.

본 발명에서 전원공급 모듈은 60V/200mA와 60V/10A를 공급하는 것을 특징으 로 한다. In the present invention, the power supply module is characterized by supplying 60V / 200mA and 60V / 10A.

본 발명에서 임의 파형발생 모듈의 파형 발생 범위는 1Hz ∼ 255 KHz 인 것을 특징으로 한다. In the present invention, the waveform generation range of the arbitrary waveform generation module is characterized in that 1Hz ~ 255 KHz.

본 발명에서 저주파수 디지타이저 모듈의 샘플링 클럭은 최대 20MHz 인 것을 특징으로 한다. In the present invention, the sampling clock of the low frequency digitizer module is characterized in that the maximum 20MHz.

본 발명에서 샘플링 모듈은 0.1ns의 해상도를 갖는 2채널인 것을 특징으로 한다. In the present invention, the sampling module is characterized in that two channels having a resolution of 0.1ns.

본 발명에서 고전압 모듈은 켈빈 커넥션에 의해 최대 1,000V / 100mA 까지 고전압을 발생시키고 측정할 수 있는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the high voltage module is characterized by being capable of generating and measuring high voltage up to 1,000V / 100mA by Kelvin connection.

본 발명에서 고전류 모듈은 켈빈 커넥션에 의해 최대 100A / 30V 까지 고전류를 발생시키고 측정할 수 있는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the high current module is capable of generating and measuring a high current up to 100 A / 30 V by Kelvin connection.

본 발명에서 스테이션 멀티플렉서는 컴퓨터 스테이션에 의해 제어되는 최대 48개의 릴레이와 12핀 매트릭스에 의해 구성된 것을 특징으로 한다. In the present invention, the station multiplexer is configured by a maximum of 48 relays and a 12-pin matrix controlled by a computer station.

본 발명에서 스테이션 멀티플렉서는 복수의 테스트 헤드와 연결하기 위한 복수의 스테이션을 제공하는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the station multiplexer provides a plurality of stations for connecting with a plurality of test heads.

위와 같이 이루어진 본 발명은 테스트 헤드에 낮은 주파수에 동작되며 고전압, 고전류의 특성을 갖는 파워모듈을 장착하고 파워모듈의 각핀에 테스트신호의 입력 및 출력신호를 측정하기 위해 스테이션 멀티플렉서를 통해 설정한 후 컴퓨터 스테이션에서 테스트를 위한 일련의 순서를 설정하여 테스트모듈부의 각종 모듈을 작동시켜 신호를 출력하고 입력되는 신호를 샘플링 모듈을 통해 컴퓨터 스테이션에 서 출력하며 저주파 디지타이저 모듈을 통해 디지털로 변환하여 저장하고 고전압, 고전류를 발생시켜 인가하고 측정하는 등 대전력 소자의 고전압, 고전류, 스위칭 특성 등을 용이하게 테스트할 수 있게 된다. The present invention made as described above is equipped with a power module operating at a low frequency in the test head and having characteristics of high voltage and high current, and after setting through a station multiplexer to measure input and output signals of the test signal on each pin of the power module, Set a sequence of tests for the station to operate the various modules of the test module to output signals, output the input signals from the computer station through the sampling module, convert them digitally through the low-frequency digitizer module, store them, and The high voltage, high current, and switching characteristics of a large power device can be easily tested by generating, applying, and measuring a high current.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 또한 본 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고, 단지 예시로 제시된 것이다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In addition, this embodiment is not intended to limit the scope of the present invention, but is presented by way of example only.

도 1은 본 발명에 의한 파워모듈의 테스트장치를 나타낸 블록구성도이고, 도 2는 위와 같이 이루어진 본 발명에 의한 파워모듈의 테스트장치를 구현한 실시예이다. 1 is a block diagram showing a test apparatus for a power module according to the present invention, and FIG. 2 is an embodiment for implementing a test apparatus for a power module according to the present invention.

여기에 도시된 바와 같이 컴퓨터(11)와 키보드(12)와 표시장치(13)와 유저 인터페이스(미도시)와 저장장치(15) 등을 갖는 컴퓨터 스테이션(10)과; 테스트 디바이스(50)가 장착될 수 있는 디바이스 소켓(45)을 제공하며 장착된 테스트 디바이스(50)의 각 핀과 접속될 수 있도록 인터페이스를 제공하는 테스트 헤드(40)와; 컴퓨터 스테이션(10)의 제어에 따라 동작하여 신호를 테스트 헤드(40)로 출력하고 측정된 데이터를 컴퓨터 스테이션(10)으로 전달하는 테스트모듈부(20)와; 테스트 헤드(40)와 테스트모듈부(20) 사이에서 신호의 입출력패스를 설정하는 스테이션 멀티플렉서(30)로 이루어진 것을 특징으로 한다. A computer station 10 having a computer 11, a keyboard 12, a display device 13, a user interface (not shown), a storage device 15, and the like, as shown here; A test head 40 providing a device socket 45 to which the test device 50 can be mounted and providing an interface to be connected to each pin of the mounted test device 50; A test module unit 20 operating under the control of the computer station 10 to output a signal to the test head 40 and to transmit measured data to the computer station 10; Characterized in that the station multiplexer 30 for setting the input and output path of the signal between the test head 40 and the test module unit 20.

이때 테스트모듈부(20)는 테스트모듈부에 60V/200mA와 60V/10A 전압과 전류를 공급하기 위한 전원공급 모듈(21)과, 1Hz ∼ 255 KHz 의 낮은 주파수로써 임의 의 파형을 발생시키기 위한 임의 파형발생 모듈(22)과, 마스터 클럭이 62.5MHz이고 샘플링 클럭이 최대 20MHz의 낮은 주파수로 샘플링하여 디지털화하는 저주파 디지타이저 모듈(23)과, 테스트 디바이스(50)의 동작파형을 0.1ns의 해상도로 샘플링하기 위한 2채널의 샘플링 모듈(24)과, 켈빈 커넥션에 의해 최대 1,000V / 100mA 까지 고전압을 발생시키고 측정하기 위한 고전압 모듈(25)과, 켈빈 커넥션에 의해 최대 100A / 30V 까지 고전류를 발생시키고 측정하기 위한 고전류 모듈(26)들로 이루어진다. At this time, the test module unit 20 is a power supply module 21 for supplying 60V / 200mA and 60V / 10A voltage and current to the test module unit, and random for generating an arbitrary waveform with a low frequency of 1Hz ~ 255KHz Sampling waveform generation module 22, low frequency digitizer module 23, which master clock is 62.5 MHz and sampling clock is digitized at a low frequency of up to 20 MHz, and operating waveforms of test device 50 at a resolution of 0.1 ns. 2 channels of sampling module 24 for generating, high voltage module 25 for generating and measuring high voltage up to 1,000 V / 100 mA by Kelvin connection, and high current for measuring and generating high current up to 100 A / 30 V by Kelvin connection It consists of high current modules 26 for the purpose of.

이때 테스트모듈부(20)를 이루는 각각의 모듈들은 선택적으로 착탈 가능하도록 구성되어 파워모듈의 테스트 특성에 따라 삽입하거나 제거할 수 있도록 구성될 수 있다. In this case, each module constituting the test module unit 20 may be configured to be selectively detachable and may be inserted or removed according to the test characteristics of the power module.

즉, 도 2에 도시된 바와 같이 테스트모듈부(20)의 각각의 모듈을 개별보드로 구성하여 랙(15)에 슬롯으로 착탈할 수 있도록 구성함으로써 선택적으로 테스트모듈을 추가 및 제거할 수 있게 된다. That is, by configuring each module of the test module unit 20 as a separate board as shown in Figure 2 to be detachable as a slot in the rack 15 it is possible to selectively add and remove test modules. .

또한, 테스트모듈부(20)에는 출력되는 전압과 전류를 측정하여 전압과 전류에 이상이 발생할 경우 전원공급 모듈을 조절하여 자동교정하기 위한 교정모듈(27)을 더 포함하여 구성함으로써 자동으로 정확한 전압과 전류값에 의해 측정할 수 있도록 한다. In addition, the test module unit 20 further includes a calibration module 27 for automatically calibrating by adjusting the power supply module when an error occurs in the voltage and current by measuring the output voltage and current. It can be measured by overcurrent value.

그리고, 스테이션 멀티플렉서(30)는 컴퓨터 스테이션(10)에 의해 제어되는 최대 48개의 릴레이와 12핀 매트릭스에 의해 구성되어 복수의 테스트 헤드(40)와 연결하기 위한 2개의 스테이션(ST1, ST2)으로 구성된다. In addition, the station multiplexer 30 is configured by up to 48 relays and 12-pin matrix controlled by the computer station 10 and consists of two stations ST1 and ST2 for connecting to the plurality of test heads 40. do.

이와 같은 파워모듈의 테스트장치의 작동을 하나씩 살펴보면 다음과 같다. Looking at the operation of the test device of such a power module one by one as follows.

먼저, 샘플링 모듈(24)의 경우 2개의 채널로써 샘플링 해상도는 0.1ns로써 12비트의 4095의 트리거 레인지로 전압을 샘플링하여 컴퓨터 스테이션(10)을 통해 파형을 측정하게 된다. First, in the case of the sampling module 24, the sampling resolution of the two channels is 0.1 ns, and the voltage is sampled at a trigger range of 4095 of 12 bits to measure the waveform through the computer station 10.

그리고, 고전압 모듈(25)은 0V∼1000V의 전압을 100V나 1000V의 레인지로 조절하고 전류를 1㎂, 10㎂, 100㎂, 1㎃, 10㎃의 레인지로 조절하여 고전압을 출력하고 고전압을 측정하여 저주파 디지타이저 모듈(23)에 의해 디지털화하여 컴퓨터 스테이션(10)에 저장 및 표시하게 된다. The high voltage module 25 adjusts the voltage of 0V to 1000V in the range of 100V or 1000V and adjusts the current in the range of 1V, 10V, 100V, 1V, 10V to output high voltage and measure the high voltage. By the low-frequency digitizer module 23 to be stored and displayed in the computer station (10).

또한, 고전류 모듈(26)은 0A∼100A의 전류를 10A나 100A의 레인지로 조절하고 전압을 3V, 30V의 레인지로 조절하여 고전류를 출력하고 고전류를 측정하여 저주파 디지타이저 모듈(23)에 의해 디지털화하여 컴퓨터 스테이션(10)에 저장 및 표시하게 된다. In addition, the high current module 26 adjusts the current of 0A to 100A in the range of 10A or 100A, adjusts the voltage in the range of 3V and 30V, outputs a high current, measures the high current, and digitizes it by the low frequency digitizer module 23. To the computer station 10 for display and display.

상기한 바와 같이 본 발명은 전력 에너지의 이용효율을 최적화시키는 파워모듈과 같은 낮은 주파수의 대전력 소자를 테스트할 때 고가의 고정도 장비나 계측기를 통한 수동적인 테스트를 탈피하여 자동으로 대전력 소자의 고전압, 고전류, 스위칭 특성 등을 테스트할 수 있는 이점이 있다. As described above, the present invention provides a method of automatically testing a large power device by avoiding manual tests through expensive high-precision equipment or instruments when testing a low frequency large power device such as a power module that optimizes the utilization efficiency of power energy. The benefits include testing high voltages, high currents, and switching characteristics.

또한, 고가의 고정도 장비를 사용하지 않음으로써 테스트를 위한 비용을 절감할 수 있어 제조 단가를 낮출 수 있는 이점이 있다. In addition, by not using expensive high-precision equipment can reduce the cost for testing has the advantage of lowering the manufacturing cost.                     

또한, 수동적인 테스트를 탈피하여 자동으로 테스트함으로써 테스트 시간을 줄일 수 있어 수율을 향상시킬 수 있고 대량 생산이 가능하다.In addition, by eliminating manual testing and automatically testing, test time can be shortened, yield can be improved, and mass production is possible.

Claims (11)

컴퓨터와 키보드와 표시장치와 유저 인터페이스와 저장장치 등으로 구비되어 테스트 과정을 설정하고 제어하며 테스트 결과를 저장하고 표시하기 위한 컴퓨터 스테이션과; A computer station equipped with a computer, a keyboard, a display device, a user interface, a storage device, etc. for setting and controlling a test process and for storing and displaying a test result; 테스트 디바이스가 장착될 수 있는 디바이스 소켓을 제공하며 장착된 상기 테스트 디바이스의 각 핀과 접속될 수 있도록 인터페이스를 제공하는 테스트 헤드와; A test head providing a device socket to which a test device can be mounted and providing an interface to be connected with each pin of the test device mounted; 테스트모듈부에 전압과 전류를 공급하기 위한 전원공급 모듈과, 낮은 주파수의 임의 파형을 발생하기 위한 임의 파형발생 모듈과, 낮은 주파수로 샘플링하여 디지털화하는 저주파 디지타이저 모듈과, 테스트 디바이스의 동작파형을 샘플링하기 위한 샘플링 모듈과, 고전압을 발생시키고 측정하기 위한 고전압 모듈과, 고전류를 발생시키고 측정하기 위한 고전류 모듈로 이루어져 상기 컴퓨터 스테이션의 제어에 따라 동작하여 상기 테스트 헤드로 상기 전원공급 모듈은 전압과 전류를 출력하고, 상기 임의 파형발생 모듈은 임의 파형을 출력하고, 상기 고전압 모듈은 고전압을 출력하고, 상기 고전류 모듈은 고전류를 출력하여 상기 테스트 디바이스를 상기 저주파 디지타이저 모듈과 상기 샘플링 모듈과 상기 고전압 모듈과 상기 고전류 모듈에 의해 측정된 데이터를 상기 컴퓨터 스테이션으로 전달하는 테스트모듈부와; A power supply module for supplying voltage and current to the test module, an arbitrary waveform generation module for generating low frequency arbitrary waveforms, a low frequency digitizer module for sampling and digitizing at low frequency, and an operation waveform of the test device And a high voltage module for generating and measuring a high voltage, and a high current module for generating and measuring a high current, operating under the control of the computer station. And the arbitrary waveform generation module outputs an arbitrary waveform, the high voltage module outputs a high voltage, and the high current module outputs a high current to supply the test device to the low frequency digitizer module, the sampling module, the high voltage module, and the Side by high current module A test module unit for transmitting predetermined data to the computer station; 상기 테스트 헤드와 상기 테스트모듈부 사이에서 신호의 입출력패스를 설정하는 스테이션 멀티플렉서Station multiplexer for setting the input and output path of the signal between the test head and the test module unit 로 이루어진 것을 특징으로 하는 파워모듈의 테스트장치. Test module of the power module, characterized in that consisting of. 제 1항에 있어서, 상기 테스트모듈부에는 출력되는 전압과 전류를 측정하여 전압과 전류에 이상이 발생할 경우 상기 전원공급 모듈을 조절하여 자동교정하기 위한 교정모듈이 더 포함된 것을 특징으로 하는 파워모듈의 테스트장치. The power module of claim 1, wherein the test module unit further includes a calibration module for measuring the output voltage and current and automatically calibrating the power supply module when an abnormality occurs in the voltage and current. Test equipment. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 테스트모듈부의 각 모듈은 선택적으로 착탈 가능한 것을 특징으로 하는 파워모듈의 테스트장치. The test apparatus of claim 1, wherein each module of the test module unit is selectively detachable. 제 1항에 있어서, 상기 전원공급 모듈은 60V/200mA와 60V/10A를 공급하는 것을 특징으로 하는 파워모듈의 테스트장치. The apparatus of claim 1, wherein the power supply module supplies 60V / 200mA and 60V / 10A. 제 1항에 있어서, 상기 임의 파형발생 모듈의 파형 발생 범위는 1Hz ∼ 255 KHz 인 것을 특징으로 하는 파워모듈의 테스트장치. The test module of claim 1, wherein the waveform generation range of the arbitrary waveform generation module is 1 Hz to 255 KHz. 제 1항에 있어서, 상기 저주파수 디지타이저 모듈의 샘플링 클럭은 최대 20MHz 인 것을 특징으로 하는 파워모듈의 테스트장치. 2. The apparatus of claim 1, wherein a sampling clock of the low frequency digitizer module is at most 20 MHz. 제 1항에 있어서, 상기 샘플링 모듈은 0.1ns의 해상도를 갖는 2채널인 것을 특징으로 하는 파워모듈의 테스트장치. The test module of claim 1, wherein the sampling module is two channels having a resolution of 0.1 ns. 제 1항에 있어서, 상기 고전압 모듈은 켈빈 커넥션에 의해 최대 1,000V / 100mA 까지 고전압을 발생시키고 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 파워모듈의 테스트장치. The test apparatus of claim 1, wherein the high voltage module is capable of generating and measuring a high voltage up to 1,000 V / 100 mA by Kelvin connection. 제 1항에 있어서, 상기 고전류 모듈은 켈빈 커넥션에 의해 최대 100A / 30V 까지 고전류를 발생시키고 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 파워모듈의 테스트장치. The apparatus of claim 1, wherein the high current module is capable of generating and measuring a high current up to 100 A / 30 V by Kelvin connection. 제 1항에 있어서, 상기 스테이션 멀티플렉서는 상기 컴퓨터 스테이션에 의해 제어되는 최대 48개의 릴레이와 12핀 매트릭스에 의해 구성된 것을 특징으로 하는 파워모듈의 테스트장치. The apparatus of claim 1, wherein the station multiplexer is configured by a maximum of 48 relays and a 12-pin matrix controlled by the computer station. 제 1항에 있어서, 상기 스테이션 멀티플렉서는 복수의 테스트 헤드와 연결하기 위한 복수의 스테이션을 제공하는 것을 특징으로 하는 파워모듈의 테스트장치. The apparatus of claim 1, wherein the station multiplexer provides a plurality of stations for connecting with the plurality of test heads.
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