KR100660796B1 - 기판 절단 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 절단하고자 하는 기판을 지지해 주는 기판 지지수단;상기 기판 지지수단에 안착되어 있는 기판의 설정된 위치에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이버; 및상기 스크라이버에 의해 스크라이브 라인이 형성된 기판의 절단되는 부분의 미리 설정된 어느 한 부분을 가압하는 브레이크 헤드와, 상기 브레이크 헤드를 승강시켜 주는 액튜에이터로 이루어진 브레이커;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 브레이크 헤드는 상기 기판에 접촉되는 부분이 첨두형으로 이루어진 접촉부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 2항에 있어서, 상기 접촉부는 탄성 소재로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 3항에 있어서, 상기 탄성 소재는 고무 또는 폴리우레탄인 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 브레이크 헤드는 상기 액튜에이터에 탄성 수단을 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 5항에 있어서, 상기 탄성 수단은 압축 스프링으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 브레이커는 상기 기판 지지수단에 대하여 종방향 및 횡방향으로 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 액튜에이터는 상기 브레이크 헤드가 상기 기판을 타격하게 하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 액튜에이터는 상기 브레이크 헤드가 상기 기판을 밀게 하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020050133699A KR100660796B1 (ko) | 2005-12-29 | 2005-12-29 | 기판 절단 장치 |
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KR1020050133699A KR100660796B1 (ko) | 2005-12-29 | 2005-12-29 | 기판 절단 장치 |
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KR100660796B1 true KR100660796B1 (ko) | 2006-12-26 |
Family
ID=37815375
Family Applications (1)
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100871561B1 (ko) | 2007-11-14 | 2008-12-02 | 고려대학교 산학협력단 | 반도체 소자용 다이싱 소오 |
KR101052817B1 (ko) | 2008-10-31 | 2011-07-29 | 세메스 주식회사 | 기판 분리 장치, 이를 갖는 기판 절단 시스템 및 이를 이용한 기판 절단 방법 |
KR101355435B1 (ko) * | 2012-05-04 | 2014-01-28 | 삼성코닝정밀소재 주식회사 | 유리기판 브레이킹 장치 |
KR20200122741A (ko) | 2019-04-19 | 2020-10-28 | 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) | 스테이지 경사 조절 장치 및 이를 이용하는 기판 분단 장치 |
-
2005
- 2005-12-29 KR KR1020050133699A patent/KR100660796B1/ko active IP Right Grant
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US8944304B2 (en) | 2012-05-04 | 2015-02-03 | Corning Precision Materials Co., Ltd. | Breaking apparatus for glass substrate |
KR20200122741A (ko) | 2019-04-19 | 2020-10-28 | 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) | 스테이지 경사 조절 장치 및 이를 이용하는 기판 분단 장치 |
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