KR100659908B1 - Flat display panel tester - Google Patents
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Abstract
본 발명은 패널이 장착되는 스테이지의 경사각 조정은 물론 위치의 이동을 구현할 수 있도록 한 평판 표시패널 검사장치에 관한 것으로, 그 구성은 베드의 상측에 힌지부를 지점으로 회동가능하게 설치되는 받침대와, 상기 받침대의 각도를 조정하는 작동부재와, 상기 받침대상에 수평방향으로 이동가능하게 설치되며 상부에 패널이 장착되는 스테이지와, 상기 스테이지의 이동을 구현하는 이송부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a flat panel display panel inspection apparatus that can realize the movement of the position as well as the inclination angle of the stage on which the panel is mounted, the configuration is a pedestal rotatably installed to the hinge portion on the upper side of the bed, and It is characterized in that it comprises an operating member for adjusting the angle of the pedestal, the stage is mounted on the pedestal to be movable in the horizontal direction, the panel is mounted on the upper portion, and the transfer unit for implementing the movement of the stage.
상기와 같은 검사장치를 제공함으로써, 종래와는 달리 대형 패널을 검사하는 과정에서 거리가 멀어서 육안으로 검사하기가 매우 곤란한 부분까지 손쉽게 검사할 수 있는 효과를 가진다.By providing the inspection apparatus as described above, unlike the prior art has a long distance in the process of inspecting a large panel has an effect that can be easily inspected to the part that is very difficult to visually inspect.
스테이지, 슬라이더, 스크류축, 레일, 이송부Stage, slider, screw shaft, rail, feed section
Description
도 1은 본 발명의 일 실시예를 보인 것으로,1 shows an embodiment of the present invention,
도 1a는 측면도. 1A is a side view.
도 1b는 도 1a의 정면도. FIG. 1B is a front view of FIG. 1A; FIG.
도 2는 도 1b의 평면도.2 is a plan view of FIG. 1B.
도 3은 본 발명의 작동상태도.3 is an operational state diagram of the present invention.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of codes for main parts of drawing
10 : 베드 11a,11b : 지지대10
20 : 받침대 21a,21b : 레일20:
22 : 서보모터 23 : 원동축22: servo motor 23: circular shaft
24a,24b : 스크류축 25a,25b : 연결부재24a, 24b:
30 : 힌지부 40a,40b : 작동부재30:
50 : 스테이지 60a,60b : 슬라이더50:
61 : 너트하우징 P : 패널61: nut housing P: panel
본 발명은 평판 표시패널 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스테이지상에 장착된 대형 패널을 각도조정 및 위치이동을 통해 작업자가 편안한 자세로 검사할 수 있도록 한 평판 표시패널 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flat panel display panel inspection apparatus, and more particularly, to a flat panel display panel inspection apparatus that allows the operator to inspect in a comfortable posture through the angle adjustment and the position shift.
일반적으로 평판 표시패널은 TV나 컴퓨터의 모니터에 사용되고 있는 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)을 대체하기 위해 개발된 차세대 표시장치로, LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), EL(Electro Luminance) 등의 평판 표시 소자에 대한 수요가 급증하고 있는 실정이다.In general, flat panel displays are the next-generation display devices developed to replace Cathode Ray Tubes (CRTs), which are used in TVs and computer monitors.These include Liquid Crystal Display Device (LCD), Plasma Display Panel (PDP) and EL. The demand for flat panel display devices such as (Electro Luminance) is rapidly increasing.
한편, 상기 평판 표시패널을 생산하는 과정에서 백라이트, 구동회로 등을 조립하기 전에 패널의 외관을 검사하여, 패널에 남아 있는 이물질이나 얼룩, 회로 배선 자체의 결함, 합착된 기판 사이 간격의 균일도, 스크레치 등을 검사하게 된다.In the process of manufacturing the flat panel display panel, the panel is inspected before assembling the backlight and the driving circuit, so that foreign matters or stains remaining on the panel, defects in the circuit wiring itself, and evenness between the bonded substrates and scratches are observed. And back.
상기와 같은 검사공정을 수행하기 위해, 종래에도 스테이지상에 패널을 장착하여 그 경사각을 조절하면서 검사를 수행할 수 있도록 구성된 평판 표시패널 검사장치가 사용되고 있다.In order to perform the inspection process as described above, conventionally, a flat panel display panel inspection apparatus configured to mount a panel on a stage and perform an inspection while adjusting an inclination angle thereof is used.
상기와 같은 종래의 검사장치는, 작업자가 검사장치의 전방에 위치한 상태에서 조이스틱 등을 조작하여 패널이 장착된 스테이지의 경사각을 조절할 수 있으므로, 편안한 자세에서 패널상의 결함을 관찰할 수 있다.In the conventional inspection apparatus as described above, since the operator can adjust the inclination angle of the stage on which the panel is mounted by operating a joystick or the like in a state in front of the inspection apparatus, the defect on the panel can be observed in a comfortable posture.
그러나, 대형 패널을 장착하여 검사하고자 하는 경우에는, 패널의 상측 끝부분이 작업자로부터 먼 거리에 위치함으로써, 상기와 같이 스테이지의 경사각을 조절하여도 패널을 구석구석 자세하게 관찰하기가 매우 곤란한 문제점이 있었다.However, when a large panel is to be mounted and inspected, since the upper end of the panel is located far from the operator, it is very difficult to observe the panel in detail even when adjusting the inclination angle of the stage as described above. .
이에, 본 발명은 상술한 바와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 패널이 장착되는 스테이지의 경사각 조정은 물론 위치의 이동을 구현할 수 있도록 한 평판 표시패널 검사장치를 제공함에 있다. Accordingly, the present invention has been made to solve the conventional problems as described above, the object of the present invention is to provide a flat panel display panel inspection apparatus that can realize the movement of the position as well as adjusting the inclination angle of the stage on which the panel is mounted. have.
본 발명의 다른 목적은 스테이지를 한 개의 서보모터로 이동시킬 수 있도록 한 평판 표시패널 검사장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a flat panel display panel inspection apparatus capable of moving a stage to a single servomotor.
상기와 같은 목적을 이루기 위해 본 발명은 베드의 상측에 힌지부를 지점으로 회동가능하게 설치되는 받침대와, 상기 받침대의 각도를 조정하는 작동부재와, 상기 받침대상에 수평방향으로 이동가능하게 설치되며 상부에 패널이 장착되는 스테이지와, 상기 스테이지의 이동을 구현하는 이송부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a pedestal rotatably installed to the hinge portion on the upper side of the bed, the operation member for adjusting the angle of the pedestal, and is installed to be movable in the horizontal direction on the pedestal It characterized in that it comprises a stage on which the panel is mounted, and a transfer unit for implementing the movement of the stage.
이때, 상기 이송부는 상기 받침대의 상면에 세로방향으로 장착되는 한 쌍의 레일과, 상기 스테이지의 밑면에 부착되며 상기 레일상에 이송가능하게 장착되는 슬라이더와, 상기 슬라이더를 상기 레일상에서 전·후로 이동시키는 모터구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.At this time, the conveying unit is a pair of rails mounted in the longitudinal direction on the upper surface of the pedestal, a slider attached to the bottom surface of the stage and mounted on the rail so as to be transported, the slider is moved forward and backward on the rail It characterized in that it comprises a motor drive to make.
상기 모터구동부는 상기 받침대상에 상기 레일과 평행하게 설치되며, 상기 슬라이더의 밑면에 장착된 너트하우징에 체결되는 스크류축과; 상기 받침대에 장착되어 상기 스크류축을 구동하는 서보모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.The motor driving unit is installed in parallel with the rail on the pedestal, the screw shaft is fastened to the nut housing mounted on the bottom of the slider; It is characterized in that it comprises a servo motor mounted to the pedestal to drive the screw shaft.
또한, 상기 받침대상에 가로방향으로 설치되며 상기 서보모터에 의해 구동되는 원동축과, 상기 원동축의 양 측에 각각 구비되어 상기 스크류축으로 동력을 전 달하는 연결부재를 더 포함하여 한 개의 서보모터로 스테이지를 이동시킬 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한다.The servo motor may further include a driving shaft installed in the horizontal direction on the pedestal and driven by the servo motor, and connecting members provided at both sides of the driving shaft to transfer power to the screw shaft. It is characterized in that it is configured to move the stage.
상술한 본 발명의 양상은 첨부된 도면을 참조하여 설명되는 바람직한 실시예들을 통하여 더욱 명백해질 것이다. 이하에서는 바람직한 실시예를 통해 당업자가 본 발명을 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하기로 한다.Aspects of the present invention described above will become more apparent through preferred embodiments described with reference to the accompanying drawings. Hereinafter, the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily understand and reproduce the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예를 보인 것으로 도 1a는 측면도이고, 도 1b는 도 1a의 정면도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명은 베드(10)의 상측에 힌지부(30)를 지점으로 회동가능하게 설치되는 받침대(20)와, 상기 받침대의 각도를 조정하는 작동부재(40a,40b)와, 상기 받침대상에 수평방향으로 이동가능하게 설치되며 상부에 패널(P)이 장착되는 스테이지(50)와, 상기 스테이지의 이동을 구현하는 이송부로 구성된다.Figure 1 shows an embodiment of the present invention, Figure 1a is a side view, Figure 1b is a front view of Figure 1a. As shown, the present invention is a
상기 작동부재(40a,40b)는 통상의 공압 실린더로 구성되는데, 실린더의 하단이 베드(10)에 설치된 지지대(11a,11b)에 힌지고정되고, 상기 실린더에 구비된 피스톤은 끝단이 받침대(20)의 밑면에 힌지고정된다.The actuating
상기 스테이지(50)에는 일반적으로 패널의 위치를 정렬하는 위치정렬수단(미도시)과, 패널을 고정하는 진공흡착수단(미도시) 등이 구비되어, 외부에서 공급된 패널을 정위치에 안정되게 장착할 수 있다.The
상기 이송부는 도 2에 도시된 바와 같이, 받침대(20)의 상면에 세로방향으로 장착되는 한 쌍의 레일(21a,21b)과, 스테이지(50)의 밑면에 부착되며 상기 레일상에 이송가능하게 장착되는 슬라이더(60a,60b)와, 상기 슬라이더를 상기 레일상에서 전·후로 이동시키는 모터구동부로 구성되며, 상기 슬라이더의 수평이송은 고속·고정밀 이송이 가능한 LM가이드를 사용한다.As shown in FIG. 2, the conveying unit is attached to the bottom surface of the
상기 모터구동부는, 받침대(20)상에 레일(21a,21b)과 평행하게 설치되며, 슬라이더(60a,60b)의 밑면에 장착된 너트하우징(61)에 체결되는 스크류축(24a,24b)과, 상기 받침대(20)에 장착되어 상기 스크류축을 구동하는 서보모터(22)로 구성되는데, 본 실시예에서는 상기 받침대상에 가로방향으로 설치되며 상기 서보모터에 의해 구동되는 원동축(23)과, 상기 원동축의 양 측에 각각 구비되어 상기 스크류축으로 동력을 전달하는 연결부재(25a,25b)가 더 구비됨을 특징으로 한다.The motor driving part is installed on the
이때, 서보모터(22)는 받침대(20)의 전방 중앙측에 설치되며, 타이밍밸트(미부호)를 이용하여 원동축(23)에 동력을 전달한다. 상기 원동축의 회전력을 직각방향으로 설치된 스크류축(24a,24b)에 전달하는 연결부재(25a,25b)는 다수개의 기어가 내장된 통상의 기어박스 등으로 구성된다.At this time, the
이에 따라, 서보모터(22)의 작동으로 원동축(23)이 회전되면, 양측의 스크류축(24a,24b)이 동시에 회전됨으로써, 슬라이더(60a,60b)와 그 상부에 장착된 스테이지(50)가 레일(21a,21b)을 따라 이동하게 된다.Accordingly, when the driving
상기 스크류축(24a,24b)을 회전시키기 위해 한 쌍의 서보모터를 각각 직렬로 연결함이 일반적이나, 본 실시예에서는 한 개의 서보모터로 상기 스크류축을 동시에 구동하도록 구성하여, 장치의 구성이 간소화되고 제조비용이 절감됨은 물론 정밀한 이송이 가능하게 된다.It is common to connect a pair of servomotors in series to rotate the
도 3은 본 발명의 작동상태도이다. 도시된 바와 같이, 스테이지(50)상에 패 널(P)을 장착한 상태에서 작동부재(40a,40b)를 작동시키면, 상기 스테이지가 힌지부(30)를 지점으로 회전하여 각도가 조절되며, 그에 따라 검사장치의 전방에 위치한 작업자가 상기 패널의 상태를 육안으로 검사할 수 있게 된다.3 is an operational state diagram of the present invention. As shown, when operating the operating member (40a, 40b) in the state in which the panel (P) is mounted on the
이때, 서보모터(22)를 작동하여 스크류축(24a,24b)을 회전시키면 스테이지(50)가 받침대(20)상의 레일(21a,21b)을 따라 화살표방향으로 이동됨으로써, 상기 스테이지에 장착된 패널(P)이 대형인 경우에도 작업자가 전·후로 이동시키면서 구석구석 자세하게 관찰할 수 있게 된다.At this time, when the
따라서, 작업자는 검사장치에 구비된 조이스틱 등의 제어수단을 조작하여 스테이지의 위치를 이동시키면서, 대형 패널의 끝부분과 같이 거리가 멀어서 육안으로 검사하기가 매우 곤란한 부분까지 손쉽게 검사할 수 있다.Therefore, the operator can easily inspect even the part which is very difficult to visually inspect because it is far from the end of the large panel while moving the position of the stage by operating control means such as a joystick provided in the inspection apparatus.
상술한 바와 같이 본 발명은 패널이 장착되는 스테이지의 경사각 조정은 물론 위치의 이동을 구현함으로써, 종래와는 달리 대형 패널을 검사하는 과정에서 거리가 멀어서 육안으로 검사하기가 매우 곤란한 부분까지 손쉽게 검사할 수 있는 효과를 가진다.As described above, the present invention implements the movement of the position as well as the inclination angle of the stage on which the panel is mounted. Unlike the conventional method, it is easy to inspect even a part that is very difficult to visually inspect due to the long distance in the process of inspecting a large panel. Has the effect.
또한, 스테이지를 한 개의 서보모터로 이동시킬 수 있도록 구성함으로써, 검사장치의 구성이 간소화되고 제조비용이 절감됨은 물론 정밀한 이송이 가능한 효과를 가진다.In addition, by configuring the stage to move to a single servomotor, the configuration of the inspection apparatus is simplified, manufacturing cost is reduced, as well as has the effect of precise transfer.
한편, 본 발명은 도면에 도시된 실시예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진자라면 이로부터 다양 한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.On the other hand, the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings but this is only exemplary, those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible from this. will be. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be defined only by the appended claims.
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040048704A KR100659908B1 (en) | 2004-06-26 | 2004-06-26 | Flat display panel tester |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020040048704A KR100659908B1 (en) | 2004-06-26 | 2004-06-26 | Flat display panel tester |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050123004A KR20050123004A (en) | 2005-12-29 |
KR100659908B1 true KR100659908B1 (en) | 2006-12-20 |
Family
ID=37294748
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040048704A KR100659908B1 (en) | 2004-06-26 | 2004-06-26 | Flat display panel tester |
Country Status (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2004-06-26 KR KR1020040048704A patent/KR100659908B1/en active IP Right Grant
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