KR100653811B1 - Molding material transfer method and substrate structure - Google Patents

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후지쯔 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명의 과제는 돌기물 패턴을 갖는 기판을 제조할 때에 돌기물 패턴 형성 시의 기포의 권입에 의한 구조 결함을 감소시킬 수 있어 제품의 신뢰성과 제품 수율을 향상시킬 수 있고, 진공 탈포 등 오프 라인의 공정이 불필요해져 생산 효율의 향상과 공정 간략화를 도모할 수 있는 새로운 신뢰성이 높은 기판 제조 기술을 제공하는 것이다. An object of the present invention is to reduce the structural defects due to the introduction of bubbles at the time of forming the projection pattern when manufacturing the substrate having a projection pattern, it is possible to improve the reliability and product yield of the product, such as vacuum defoaming off-line It is to provide a new highly reliable substrate manufacturing technology that can improve the production efficiency and simplify the process by eliminating the need for the process.

충전용 오목판의 오목부에 페이스트형의 성형 재료를 채우고, 소정의 홈 패턴이 형성되어 있는 전사용 오목판을 충전용 오목판에 부분적으로 접촉시켜 전사용 오목판의 홈에 성형 재료를 충전하고, 계속해서 전사용 오목판으로부터 기판 상으로 성형 재료를 돌기물 패턴으로서 전사한다.The paste-shaped molding material is filled in the recesses of the filling recess plate, and the transfer recessed plate in which the predetermined groove pattern is formed is partially contacted with the filling recessed plate to fill the groove of the transfer recessed plate with the molding material, The molding material is transferred from the concave plate onto the substrate as a projection pattern.

돌기물 패턴, 충전용 오목판, PDP, 롤러, 리브Protruding patterns, filling recesses, PDPs, rollers, ribs

Description

성형 재료 전사 방법, 기판 구조체 {MOLDING MATERIAL TRANSFER METHOD AND SUBSTRATE STRUCTURE}Molding material transfer method, substrate structure {MOLDING MATERIAL TRANSFER METHOD AND SUBSTRATE STRUCTURE}

도1은 PDP의 일예의 개략적 분해도. 1 is a schematic exploded view of an example of a PDP.

도2는 PDP의 일예의 개략적 횡단면도. 2 is a schematic cross-sectional view of one example of a PDP.

도3은 배면 기판 상에 어드레스 전극, 유전체층, 리브, 형광체층을 형성하는 순서를 나타내는 흐름도. Fig. 3 is a flowchart showing a procedure of forming an address electrode, a dielectric layer, a rib, and a phosphor layer on a back substrate.

도4는 본 발명에 있어서의 패턴의 일예를 나타내는 개략도. 4 is a schematic view showing an example of a pattern in the present invention.

도5는 본 발명에 있어서의 패턴의 다른 일예를 나타내는 개략도.5 is a schematic view showing another example of a pattern in the present invention.

도6은 본 발명에 있어서의 패턴의 다른 일예를 나타내는 개략도. Fig. 6 is a schematic diagram showing another example of a pattern in the present invention.

도7은 충전용 오목판의 오목부의 스트라이프형의 패턴과 전사용 오목판의 홈의 스트라이프형 패턴이 포개어져 있는 상태를 도시하는 개략도. Fig. 7 is a schematic diagram showing a state in which a stripe-like pattern of a recess of a filling recess plate and a stripe pattern of a groove of a transfer recess plate are stacked.

도8은 충전용 오목판의 오목부의 스트라이프형의 패턴과 전사용 오목판의 홈의 스트라이프형 패턴이 포개어져 있는 상태를 도시하는 다른 개략도. Fig. 8 is another schematic diagram showing a state in which a stripe-like pattern of a recess of the filling recess plate and a stripe pattern of a groove of the transfer recess plate are stacked.

도9는 충전용 오목판의 오목부의 스트라이프형의 패턴과 전사용 오목판의 홈의 스트라이프형 패턴이 포개어져 있는 상태를 도시하는 다른 개략도. Fig. 9 is another schematic diagram showing a state in which a stripe-like pattern of a recess of a filling recess plate and a stripe pattern of a groove of a transfer recess plate are stacked.

도10은 충전용 오목판의 오목부의 스트라이프형의 패턴과 전사용 오목판의 홈의 스트라이프형 패턴이 포개어져 있는 상태를 도시하는 다른 개략도. Fig. 10 is another schematic diagram showing a state in which a stripe-like pattern of a recess of a filling recess plate and a stripe pattern of a groove of a transfer recess plate are stacked.

도11은 충전용 오목판의 오목부의 스트라이프형의 패턴과 전사용 오목판의 홈의 스트라이프형 패턴이 포개어져 있는 상태를 도시하는 다른 개략도. Fig. 11 is another schematic diagram showing a state in which a stripe-like pattern of a recess of a filling recess plate and a stripe pattern of a groove of a transfer recess plate are stacked.

도12는 충전용 오목판의 오목부를 도시하는 개략적 평면도. Fig. 12 is a schematic plan view showing a recess of the filling recess plate.

도13은 도12의 횡단면도. Figure 13 is a cross sectional view of Figure 12;

도14는 전사용 오목판의 홈을 도시하는 개략적 평면도. Fig. 14 is a schematic plan view showing a groove of the transfer recessed plate.

도15는 도14의 횡단면도.Figure 15 is a cross sectional view of Figure 14;

도16은 충전용 오목판의 오목부와 전사용 오목판의 홈이 합쳐진 모양을 도시하는 개략적 횡단면도. Fig. 16 is a schematic cross sectional view showing the shape where the recesses of the filling recess plate and the grooves of the transfer recess plate are joined together;

도17은 충전용 오목판의 오목부에 성형 재료가 인쇄된 모양을 도시하는 개략도. Fig. 17 is a schematic diagram showing a state in which a molding material is printed on a recess of a filling recess plate.

도18은 전사용 오목판의 홈에 성형 재료가 충전될 때에 성형 재료가 흐르는 모양을 도시하는 개략도. Fig. 18 is a schematic diagram showing how the molding material flows when the molding material is filled in the grooves of the transfer recess plate.

도19는 전사용 오목판이 원통면형이고 판 본체에 부착되어 있고, 충전용 오목판이 평면형의 테이블에 놓여진 모양을 도시하는 개략도. Fig. 19 is a schematic diagram showing the shape in which the transfer recessed plate is cylindrical and attached to the plate body, and the filling recessed plate is placed on a flat table.

도20은 전사용 오목판이 원통면형으로 구부러져 판 본체에 부착되어 있는 모양을 도시하는 개략도. Fig. 20 is a schematic diagram showing a state in which a transfer concave plate is bent into a cylindrical surface and attached to a plate body.

도21은 전사용 오목판으로부터 기판으로 성형 재료를 전사하고 있는 모양을 도시하는 개략도. Fig. 21 is a schematic diagram showing a state in which a molding material is transferred from a transfer concave plate to a substrate.

도22는 본 발명에 관한 성형 재료의 충전, 전사를 행하는 흐름도.Fig. 22 is a flowchart for filling and transferring a molding material according to the present invention.

도23a는 충전용 오목판에 성형 재료를 충전하는 모양을 도시하는 개략도. Fig. 23A is a schematic diagram showing how to fill a concave plate for filling a molding material.

도23b는 전사용 오목판을 충전용 오목판에 대향하여 설치한 모양을 도시하는 개략도.Fig. 23B is a schematic diagram showing a state in which a transfer recess plate is provided opposite a filling recess plate;

도23c는 충전용 오목판의 오목부로부터 전사용 오목판의 홈으로 성형 재료를 이행시키는 모양을 도시하는 개략도. Fig. 23C is a schematic diagram showing how the molding material is transferred from the recess of the filling recess plate to the groove of the transfer recess plate.

도23d는 기판을 전사용 오목판에 대향하여 설치한 모양을 도시하는 개략도. Fig. 23D is a schematic diagram showing a state in which a substrate is provided to face a transfer concave plate;

도23e는 전사용 오목판으로부터 기판 상으로 성형 재료를 전사하는 모양을 도시하는 개략도.Fig. 23E is a schematic diagram showing how to transfer a molding material from a transfer recess to a substrate.

도24는 충전용 오목판(191) 그 자체가 원통형인 예를 나타내는 개략도. Fig. 24 is a schematic diagram showing an example in which the filling concave plate 191 is itself cylindrical.

도25는 도포 롤로 전사용 오목판에 도포하는 모양을 도시하는 개략도. Fig. 25 is a schematic diagram showing how to apply the transfer concave plate with an application roll;

도26은 기판 상에 형성된 동일한 면부분에 의해 연결된 돌기물 패턴을 도시하는 개략적 횡단면도. Figure 26 is a schematic cross sectional view showing a projection pattern connected by the same face portion formed on the substrate.

도27은 기판 상에 형성된 동일한 면부분을 갖지 않은 돌기물 패턴을 도시하는 개략적 횡단면도이다. Figure 27 is a schematic cross sectional view showing a projection pattern without the same face portion formed on the substrate.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

1 : PDP1: PDP

2 : 전방면 기판2: front substrate

3 : 배면 기판3: back substrate

4 : 표시 전극4: display electrode

5, 8 : 유전체층5, 8: dielectric layer

6 : 보호층6: protective layer

7 : 어드레스 전극7: address electrode

9 : 리브9: rib

10 : 형광체층10: phosphor layer

11 : 방전 공간11: discharge space

41 : 돌기물 패턴41: projection pattern

42 : 돌기물 이외의 땅의 부분42: parts of land other than projections

71 : 충전용 오목판의 오목부의 스트라이프형의 패턴71: stripe-shaped pattern of the recessed portion of the filling recessed plate

72 : 전사용 오목판의 홈의 스트라이프형의 패턴72: Stripe-shaped pattern of the groove of the transfer recess plate

111 : 오목부111: recess

141 : 전사용 오목판의 홈141: groove of the transfer plate

171 : 성형 재료171: molding materials

191 : 충전용 오목판191: concave plate for charging

192, 195 : 판 본체192, 195: plate body

193 : 전사용 오목판193: transfer plate

194 : 테이블194: table

196 : 충전용 오목판이 전사용 오목판에 부분적으로 접촉되어 있는 부분196: part in which the filling recess plate partially contacts the transfer recess plate

198 : 기판198: substrate

201 : 자외선 조사기201: UV irradiator

231 : 롤러 231: Roller

241 : 블레이드241: Blade

251 : 도포 롤251: Application Roll

261 : 동일한 면부분261: same face part

본 발명은, 예를 들어 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)에 사용되는 리브(격벽)를 갖는 기판에 있어서의 리브 등의 돌기물 패턴을 기판 상에 형성하는 기술에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD This invention relates to the technique of forming a projection pattern, such as a rib in a board | substrate with a rib (bump) used for a plasma display panel (PDP), for example on a board | substrate.

돌기물 패턴을 가진 기판이 필요해지는 예로서, PDP를 이용하여 설명을 한다. PDP는 한 쌍의 기판(통상은 유리 기판)을 미세한 간격을 두고 대향 배치하고, 주위를 밀봉함으로써 내부에 방전 공간을 형성한 자기 발광형의 표시 패널이다. As an example in which a substrate having a projection pattern is required, a description will be given using a PDP. A PDP is a self-luminous display panel in which a pair of substrates (usually glass substrates) are disposed to face each other at minute intervals and are sealed around each other to form a discharge space therein.

일반적으로 PDP에는 방전 공간을 구획하도록 높이 150 내지 250 ㎛ 정도의 리브(돌기물)가 기판 상에 주기적으로 설치되어 있다. 예를 들어, 형광체에 의한 컬러 표시에 적합한 면방전형 PDP에는 PDP를 직시한 경우에 스트라이프형으로 보이는 패턴을 갖는 리브가 기판 상에 어드레스 전극 라인에 따라서 등간격으로 설치되어 있다. 이 리브에 의해 방전의 간섭이나 색의 크로스 토오크를 방지한다. Generally, ribs (projections) having a height of about 150 to 250 μm are periodically provided on a substrate so as to partition the discharge space. For example, in the surface discharge type PDP suitable for color display by phosphors, ribs having a pattern that looks like a stripe shape when the PDP is directly viewed are provided on the substrate at equal intervals along the address electrode lines. This rib prevents interference of discharge and crosstalk of color.

상술한 구조를 갖는 PDP 기판의 제작법은 기판 상에 어드레스 전극 패턴을 형성하고, 그 전극 패턴에 정합(얼라이먼트)시키도록 리브를 형성해 가는 프로세스가 일반적이다. 리브의 형성 방법으로서는 다양한 방법이 제안되어 실시되고 있지만, 대표적인 것으로서는 적층 인쇄법, 샌드 블러스트법, 매립법, 포토리소법, 전 사법 등이 있고, 그 중에서도 가장 저비용화를 기대할 수 있는 방법으로서 전사법이 기대되고 있다. The manufacturing method of the PDP board | substrate which has the above-mentioned structure is a process which forms an address electrode pattern on a board | substrate, and forms a rib so that it may match (align) to the electrode pattern. Various methods have been proposed and implemented as a method of forming the ribs, but typical examples thereof include a lamination printing method, a sand blast method, a landfill method, a photolithography method, a transfer method, and the like. Judiciary is expected.

전사법이라 함은, 리브를 형성하기 위한 홈이 개방되어 있는 전사용 오목판을 이용하여 기판 상에 리브를 형성하는 방법 또는 리브와 유전체층을 동시에 형성하는 방법이다. 순서는 전사용 오목판 표면에 성형 재료를 충전한 후, 충전된 성형 재료의 경화물을 기판에 전사함으로서 리브 및 유전체층을 형성한다(예를 들어, 특허 문헌 1 내지 3 참조). The transfer method is a method of forming a rib on a substrate using a transfer concave plate in which a groove for forming a rib is opened, or a method of simultaneously forming a rib and a dielectric layer. In order, the rib and the dielectric layer are formed by filling a molding material on the transfer concave plate surface and then transferring the cured product of the filled molding material to the substrate (see Patent Documents 1 to 3, for example).

[특허 문헌 1][Patent Document 1]

일본 특허 제3321129호 공보(특허 청구의 범위)Japanese Patent No. 3331129 (claims)

[특허 문헌 2][Patent Document 2]

일본 특허 공개 평8-273537호 공보(특허 청구의 범위)Japanese Patent Laid-Open No. 8-273537 (claims)

[특허 문헌 3][Patent Document 3]

일본 특허 공개 2001-191345호 공보(특허 청구의 범위)Japanese Patent Laid-Open No. 2001-191345 (claims)

[비특허 문헌 1][Non-Patent Document 1]

티제이찬 등,「소사이어티 포 인포메이션 디스플레이(Society For Information Display)」'03, 미국, Society for Information Display 발행, 2003년, p.1011TJ Chan et al., `` Society For Information Display, '' 03, USA, Society for Information Display, 2003, p.1011

전사용 오목판에 성형 재료를 충전할 때의 장해로서, 전사용 오목판 상에 있는 성형 재료를 충전하기 위한 홈 내에 기포가 혼입되어 버리는 일이 있다. 그 결과, 그 부분의 홈에 성형 재료가 충전되지 않아 전사 후의 리브의 결함이 되어 버리는 문제가 있다. 이는 성형 재료가 홈 내에 충전될 때에 기포를 동시에 권입해버리기 때문에 생기는 장해이다. As a failure in filling a transfer material with a molding material, bubbles may be mixed in a groove for filling the molding material on the transfer plate. As a result, there is a problem in that the molding material is not filled in the grooves of the portion, resulting in defects in the ribs after transfer. This is an obstacle that occurs because bubbles are simultaneously wound up when the molding material is filled into the grooves.

전사용 오목판의 홈 패턴이 직선형이고, 예를 들어 스키징시 성형 재료가 그 충전되는 방향으로 신장해 가는 경우, 혹은 기포가 릴리프되는 방향이 일의적으로 결정되는 경우에는 전사용 오목판의 단부로부터 차례로 기포를 압출하도록 성형 재료를 차례로 충전해 가면 기포의 잔류 확률은 낮아지지만, 격자 패턴과 같이 홈이 교차하고 있는 경우에는 권입된 기포가 그 교차점에서 릴리프 장소를 잃어버려 그대로 기포 결함으로서 잔류되어 버리는 일이 많다. 스키징을 몇 번이나 반복하여 기포를 압출하는 방법도 고려되지만 비효율적이다. 또한, 전사용 오목판이 실리콘 수지와 같이 변형되기 쉬운 재료로 이루어지는 경우에는 스키징시에 전사용 오목판 자체가 결손될 우려가 있다. When the groove pattern of the transfer recess is straight, for example, when the molding material is elongated in the filling direction during skidding, or when the direction in which the bubbles are released is determined uniquely, the end of the transfer recess is sequentially. Filling the molding material to extrude the bubbles in turn decreases the probability of bubbles remaining, but when the grooves intersect, such as a lattice pattern, the filled bubbles lose their relief position at the intersection and remain as bubble defects as they are. There are many. A method of extruding bubbles by repeating skids several times is also considered but inefficient. In addition, when the transfer recess plate is made of a material that is easily deformed, such as a silicone resin, there is a fear that the transfer recess plate itself may be defective during skidding.

종래, 이와 같은 경우에는 전사용 오목판에 성형 재료를 충전한 후에, 주위를 감압함으로써 기포를 빼는 진공 탈포법을 병용하는 등하여 기포를 제거하고 있었다. 이 방법은 매우 비효율적이다. Conventionally, in such a case, after filling a molding material in the transfer concave plate, the bubble was removed by using together the vacuum degassing method which removes a bubble by depressurizing surroundings. This method is very inefficient.

진공 탈포법을 병용하지 않는 방법으로서는, 성형 재료의 모세관 현상을 이용하여 기포를 권입하는 일없이 성형 재료를 전사용 오목판에 충전하는 방법이 보고되어 있다(비특허 문헌 1 참조). 이 방법은 전사용 오목판의 홈의 벽면에 성형 재료가 젖어 가는 현상을 이용한 것이지만, 그 때에는 전사용 오목판에의 성형 재료의 공급량을 매우 작게 할 필요가 있다고 생각되고 있고, 공업 레벨로 제어하는 방법은 개발되어 있지 않다. 또한, 이 방법에 있어서는 기판과 전사용 오목판 사이에 성형 재료를 협입하도록 하여 성형 재료의 충전을 행하므로, PDP에 있어서의 유전체층과 리브를 동시에 형성하는 경우에는 유전체층의 막두께를 정확하게 제어하는 것이 매우 곤란하다. As a method which does not use the vacuum defoaming method together, the method of filling the recessed plate for transcription | transfer into a transcription | transfer recess plate without winding a bubble using the capillary phenomenon of a molding material is reported (refer nonpatent literature 1). This method uses the phenomenon that the molding material is wetted to the wall surface of the groove of the transfer recess plate, but at that time, it is thought that the supply amount of the molding material to the transfer recess plate needs to be made very small. It is not developed. In this method, the molding material is filled by sandwiching the molding material between the substrate and the transfer recess plate. Therefore, when the dielectric layer and the rib in the PDP are simultaneously formed, it is very important to accurately control the thickness of the dielectric layer. It is difficult.

본 발명은 상기한 문제를 해결하여 돌기물 패턴을 갖는 기판을 제조하기 위한 새로운 신뢰성이 높은 기술을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다. 본 발명의 또 다른 목적 및 이점은 이하의 설명으로부터 명백해질 것이다.An object of the present invention is to solve the above problems and to provide a new highly reliable technique for producing a substrate having a projection pattern. Still other objects and advantages of the present invention will become apparent from the following description.

본 발명이 어느 태양에 따르면, 충전용 오목판의 오목부에 페이스트형의 성형 재료를 만족시키고, 소정의 홈 패턴이 형성되어 있는 전사용 오목판을 충전용 오목판에 부분적으로 접촉시켜 전사용 오목판의 홈에 성형 재료를 충전하고, 전사용 오목판으로부터 기판 상으로 성형 재료를 돌기물 패턴으로서 전사하는 것을 포함하는 성형 재료 전사 방법 및 기판 제조 방법이 제공된다. According to one aspect of the present invention, a paste-shaped molding material is satisfied in a recess of a filling recess plate, and a transfer recess plate having a predetermined groove pattern is partially contacted with the filling recess plate to form a groove in the transfer recess plate. A molding material transfer method and a substrate manufacturing method comprising filling a molding material and transferring the molding material from the recessed plate for transfer onto the substrate as a projection pattern.

전사용 오목판 중의 성형 재료를 열, 자외선, 또는 열과 자외선과의 조합에 의해 다경화 처리하는 것을 포함하는 것, 전사용 오목판의 홈에 성형 재료를 충전한 후, 필요에 따라서 홈 이외의 부분에 부착한 성형 재료를 제거하고, 계속해서 전사용 오목판의 표면에 소정의 두께의 성형 재료를 도포하는 것, 충전용 오목판이 평면형 또는 원통면형이고, 전사용 오목판이 원통면형 또는 구부림 가능한 것, 충전용 오목판의 오목부의 패턴과 전사용 오목판의 홈 패턴이 위치적으로 대응하는 관계를 포함하는 것, 전사용 오목판의 홈폭 방향에 있어서의 충전용 오목판의 오목 부의 길이가 전사용 오목판의 홈폭보다 크거나, 전사용 오목판의 홈의 깊이의 쪽이 충전용 오목판의 오목부의 깊이보다 크거나, 전사용 오목판의 홈폭 방향에 있어서의 충전용 오목판의 오목부의 길이가 전사용 오목판의 홈폭보다 크고, 전사용 오목판의 홈의 깊이의 쪽이 충전용 오목판의 오목부의 깊이보다 큰 것, 충전용 오목판의 오목부의 패턴이 도트형인 것, 전사용 오목판의 홈 패턴이 스트라이프형의 패턴인 것, 전사용 오목판의 홈 패턴이 기복을 갖는 스트라이프형의 패턴인 것, 전사용 오목판의 오목부의 패턴이 격자형의 패턴인 것, 돌기물 패턴이 동일한 면부분에 의해 연결된 것인 것, 돌기물의 높이가 150 내지 250 ㎛의 범위에 있고, 돌기물의 폭이 50 내지 120 ㎛의 범위에 있는 것, 동일한 면부분의 두께가 10 내지 30 ㎛의 범위에 있는 것이 바람직하다. Comprising multi-hardening the molding material in the transfer recess plate by heat, ultraviolet light, or a combination of heat and ultraviolet light, and after filling the molding material in the groove of the transfer recess plate, attaching it to a part other than the groove as necessary. Removing one of the molding materials, and subsequently applying a molding material having a predetermined thickness to the surface of the transfer recess plate, the filling recess plate being flat or cylindrical, and the transfer recess plate being cylindrical or bendable, the filling recess plate A relationship in which the pattern of the recessed portion of the recessed portion and the recessed pattern of the transfer recessed plate correspond to the position, and the length of the recessed portion of the filling recessed plate in the groove width direction of the transfer recessed plate is larger than the groove width of the transfer recessed plate, or The depth of the groove of the used recessed plate is greater than the depth of the recessed portion of the filling recessed plate, or of the filling recessed plate in the groove width direction of the transfer recessed plate. The length of the recess is larger than the groove width of the transfer recess plate, the depth of the groove of the transfer recess plate is larger than the depth of the recess portion of the filling recess plate, the pattern of the recess portion of the filling recess plate is a dot, the recess of the transfer recess plate The pattern is a stripe-shaped pattern, the groove pattern of the transfer recessed plate is a stripe-shaped pattern having ups and downs, the pattern of the recessed portion of the transfer recessed plate is a lattice pattern, and the projection pattern has the same surface portion It is preferable that it is connected, the height of a projection exists in the range of 150-250 micrometers, the width of a projection exists in the range of 50-120 micrometers, and the thickness of the same surface part exists in the range of 10-30 micrometers.

본 발명의 다른 형태에 따르면, 상기 제조법으로 제조된 기판이나, 이 기판을, 리브를 갖는 기판으로서 사용한 박형 표시 패널 및 박형 표시 장치가 제공된다. According to another form of this invention, the board | substrate manufactured by the said manufacturing method, and the thin display panel and thin display apparatus which used this board | substrate as a board | substrate which has a rib are provided.

본 발명의 상기 형태에 따르면, 돌기물 패턴을 갖는 기판을 제조하기 위한 새로운 신뢰성이 높은 기술을 제공할 수 있다. 돌기물 패턴 형성시의 기포의 권입에 의한 구조 결함을 크게 감소시키는 것이 가능해지고, 제품의 신뢰성과 제품 수율을 향상시킬 수 있다. 진공 탈포 등 오프 라인의 공정이 불필요해져 생산 효율의 향상과 공정 간략화를 도모할 수 있다. According to the above aspect of the present invention, it is possible to provide a new highly reliable technique for producing a substrate having a projection pattern. It is possible to greatly reduce structural defects due to the inclusion of bubbles at the time of forming the projection pattern, thereby improving product reliability and product yield. Off-line processes such as vacuum degassing are unnecessary, which can improve production efficiency and simplify the process.

본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 1 이상의 판 본체와, 충전용 오목판과, 전사용 오목판과, 충전용 오목판과 전사용 오목판을 부분적으로 접촉시키기 위한 전사용 오목판 접촉 기구와, 성형 재료 경화부와, 필요에 따라서 전사용 오목판 표면 상의 성형 재료의 막두께 조정 기구를 구비한 성형 재료 전사 장치 및 1 이상의 판 본체와, 충전용 오목판과, 전사용 오목판과, 기판과, 충전용 오목판과 전사용 오목판을 부분적으로 접촉시키기 위한 전사용 오목판 접촉 기구와, 전사용 오목판과 기판을 접촉시키기 위한 기판 접촉 기구와, 성형 재료 경화부와, 필요에 따라서 전사용 오목판 표면 상의 성형 재료의 막두께 조정 기구를 구비한 기판 제조 장치가 제공된다. According to still another aspect of the present invention, there is provided at least one plate main body, a filling recess plate, a transfer recess plate, a transfer recess plate contact mechanism for partially contacting the filling recess plate and the transfer recess plate, a molding material hardened portion, A molding material transfer device having a film thickness adjusting mechanism of the molding material on the surface of the transfer recess plate and, if necessary, at least one plate body, a filling recess plate, a transfer recess plate, a substrate, a filling recess plate and a transfer recess plate Transfer recess contact mechanism for partially contacting the substrate, a substrate contact mechanism for contacting the transfer recess plate and the substrate, a molding material hardened portion, and a film thickness adjustment mechanism of the molding material on the transfer recess plate surface, if necessary. One substrate manufacturing apparatus is provided.

본 발명의 상기 형태에 따르면, 상기한 성형 재료 전사 방법과 기판 제조 방법을 실현하기 위한 바람직한 장치가 제공된다. According to the above aspect of the present invention, a preferred apparatus for realizing the aforementioned molding material transfer method and substrate manufacturing method is provided.

이하에, 본 발명의 실시 형태를 도면, 실시예 등을 사용하여 설명한다. 또한, 이들 도면, 실시예 등의 설명은 본 발명을 예시하는 것이고, 본 발명의 범위를 제한하는 것은 아니다. 본 발명의 취지에 합치하는 한 다른 실시 형태도 본 발명의 범주에 속할 수 있는 것은 물론이다. 도면 중 동일한 부호는 동일한 요소를 나타낸다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, embodiment of this invention is described using drawing, an Example, etc. In addition, description of these drawings, an Example, etc. is illustrative of this invention, and does not limit the scope of the present invention. It goes without saying that other embodiments may fall within the scope of the present invention as long as they are in accordance with the spirit of the present invention. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도1에 종래의 PDP의 일예의 분해도를, 도2에 그 횡단면도를 도시한다. 도1, 도2에 있어서, 사람은 화살표에 따르는 방향으로부터 패널을 보게 된다. PDP(1)는 전방면 기판(2)과 배면 기판(3)이 대향하는 구조를 갖는다. 본 예에서는, 전방면 기판(2)의 내측[배면 기판(3)에 면하는 측]에 표시 전극(4), 유전체층(5), 유전체층(5)을 보호하기 위한 보호층(6)이 차례로 적층되어 있고, 배면 기판(3)의 내측[전방면 기판(2)에 면하는 측]에 어드레스 전극(7), 유전체층(8)이 차례로 적층되어 있고, 그 위에 리브(9)와 형광체층(10)이 있다. 유전체층(8)은 도2와 같이 2개의 표시 전극 사이에 전압을 인가하여 방전을 일으키게 하는 방식인 경우에는 설치하지 않아도 되는 경우가 있다. Fig. 1 shows an exploded view of an example of a conventional PDP and Fig. 2 shows a cross sectional view thereof. 1 and 2, the person sees the panel from the direction following the arrow. The PDP 1 has a structure in which the front substrate 2 and the rear substrate 3 face each other. In this example, the display electrode 4, the dielectric layer 5, and the protective layer 6 for protecting the dielectric layer 5 are in turn on the inner side (the side facing the rear substrate 3) of the front substrate 2. The address electrode 7 and the dielectric layer 8 are laminated in order on the inner side of the back substrate 3 (the side facing the front substrate 2), and the ribs 9 and the phosphor layer 10) There is. As shown in FIG. 2, the dielectric layer 8 may not be provided in the case of applying a voltage between two display electrodes to cause a discharge.

유전체층(5)과 리브(9)와 형광체층(10)으로 둘러싸인 방전 공간(11)에 네온 가스나 크세논 가스 등의 자외선 발광용 가스가 봉입된다. PDP(1)는 2개의 표시 전극 사이에 전압을 인가하여 방전을 일으키고, 자외선 발광용 가스를 여기하여 플라즈마 상태로 하고, 플라즈마 상태로부터 본래 상태로 복귀될 때에 발생하는 자외선을 이용하여 형광체층(10)의 형광체를 발광시킴으로써 가시광의 표시를 실현하는 것이다. PDP에는 컬러 필터, 전자파 차폐 시트, 반사 방지 필름 등도 부설되는 일이 많다. 이 PDP에 전원부나 튜너 유닛과의 인터페이스를 부설함으로써 대형 텔레비전 장치(플라즈마 텔레비전)와 같은 박형 패널 표시 장치를 얻을 수 있다.Ultraviolet light emitting gases such as neon gas and xenon gas are enclosed in the discharge space 11 surrounded by the dielectric layer 5, the ribs 9, and the phosphor layer 10. The PDP 1 applies a voltage between two display electrodes to generate a discharge, excites an ultraviolet light emitting gas into a plasma state, and utilizes ultraviolet rays generated when the plasma state is returned from the plasma state to the original state. Display of visible light is realized by emitting a fluorescent material. PDPs are often provided with color filters, electromagnetic shielding sheets, antireflection films, and the like. By providing an interface with a power supply unit and a tuner unit in the PDP, a thin panel display device such as a large television device (plasma television) can be obtained.

PDP의 기판에는 소다 석회 유리, 고왜곡점 유리 등이 사용된다. 어드레스 전극에는 도전성을 갖는 금속이면 어떠한 것을 사용해도 좋다. 현행의 PDP에서는 저항이 낮고, 유전체층과 반응하기 어려운 금속으로서 은, 구리, 알루미늄이 사용된다. 유전체층에는 유리판이나 저융점 유리 등이 사용된다. 리브(9)는 저융점 유리로 형성되어 있다.Soda-lime glass, high distortion glass, etc. are used for the board | substrate of a PDP. Any metal may be used for the address electrode as long as it is a conductive metal. In current PDPs, silver, copper and aluminum are used as metals having low resistance and hardly reacting with the dielectric layer. A glass plate, low melting glass, etc. are used for a dielectric layer. The rib 9 is formed of low melting glass.

배면 기판(3)의 내측에 어드레스 전극(7), 유전체층(8), 리브(9), 형광체층(10)을 형성하는 순서는, 예를 들어 다음과 같이 하여 행한다. 우선, 도3을 참조하여 스텝 S31과 같이 배면 기판(3)에 동일한 금속층을 형성하고, 계속해서 스텝 S32와 같이 불필요한 부분을 제거하여 소정의 패턴을 갖는 어드레스 전극(7)을 형 성한다. 계속해서, 스텝 S33과 같이 유전체층(8)을 형성한다. 계속해서, 스텝 S34와 같이 저융점 유리의 동일한 층을 형성한다. 그 후, 스텝 S35와 같이 저융점 유리를 절삭하여 리브를 형성하고, 스텝 S36과 같이 형광체를 도포한다. The order of forming the address electrode 7, the dielectric layer 8, the ribs 9, and the phosphor layer 10 inside the back substrate 3 is performed as follows, for example. First, referring to Fig. 3, the same metal layer is formed on the back substrate 3 as in step S31, and then unnecessary portions are removed as in step S32 to form an address electrode 7 having a predetermined pattern. Subsequently, the dielectric layer 8 is formed as in step S33. Then, the same layer of low melting glass is formed like step S34. Thereafter, the low melting glass is cut to form ribs as in step S35, and the phosphor is applied as in step S36.

본 발명은, 이와 같은 PDP로 대표되는 박형 표시 패널, 박형 표시 장치에 있어서 사용되는 기판 상에 리브를 돌기물로서 형성하는 데 적절하게 적용할 수 있다. 단, 이들 분야에 한정되지 않고, 다른 분야에 있어서도 기판 상에 돌기물 패턴을 형성하는 경우에 적절하게 이용할 수 있다. 특히, 폭이 좁고 높이가 큰 돌기물 패턴인 경우에 신뢰성이 높아 바람직하다. 구체적으로는 높이가 150 내지 250 ㎛인 범위이고, 폭이 50 내지 120 ㎛인 범위의 것이 바람직하다. 돌기 간격은 그다지 중요하지 않지만, 150 내지 350 ㎛의 범위가 바람직하다. 이들 치수는 기판 상에 형성되었을 때의 것이다. 또한, 돌기물의 입체적 형상으로서는 본 발명의 취지에 반하지 않는 한 어떠한 것이라도 좋지만, PDP 기판의 경우에는 도1에 도시한 바와 같은 직육면체 형상의 것이 바람직하다. 기판에의 전사를 쉽게 하기 위해, 약간의 제거각을 갖고 있어도 좋다. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be suitably applied to forming ribs as projections on a substrate used in a thin display panel and a thin display device represented by such a PDP. However, it is not limited to these fields, It can use suitably when forming a projection pattern on a board | substrate also in another field. In particular, it is preferable to have high reliability in the case of a projection pattern having a narrow width and a large height. Specifically, the height is in the range of 150 to 250 m, and the width is preferably in the range of 50 to 120 m. The protrusion spacing is not very important, but a range of 150 to 350 mu m is preferred. These dimensions are when formed on a substrate. The projection may be any three-dimensional shape as long as it does not contravene the purpose of the present invention. In the case of a PDP substrate, one having a rectangular parallelepiped shape as shown in Fig. 1 is preferable. In order to facilitate the transfer to the substrate, it may have a slight removal angle.

또한, 본 발명에 있어서「기판」은 PDP 등의 전자 기기의 기판에 한정되는 것은 아니고, 평판형이면 어떠한 판이라도 좋다. 기판의 재질로서는 본 발명의 취지에 반하지 않는 한 어떠한 것을 사용해도 좋다. In addition, in this invention, a "substrate" is not limited to the board | substrate of electronic devices, such as a PDP, and any board may be sufficient as it is a flat plate type. As a material of a board | substrate, you may use any thing, unless it contradicts the meaning of this invention.

또한, 본 발명에 있어서 돌기물 패턴, 홈 패턴, 오목부의 패턴 등에 있어서의「패턴」이라 함은, 대상면(예를 들어, 기판면, 전사용 오목판면, 충전용 오목판면)을 직시한 경우에 특정한 반복 형상을 포함한다고 인식할 수 있는 형상이다. 전사용 오목판의 홈 패턴이나 기판 상의 돌기물 패턴의 경우에는, 보다 구체적으로는 대상면을 직시한 경우에 도4에 도시한 바와 같은 스트라이프형 형상을 반복하고, 도5에 도시한 바와 같은 기복을 갖는 스트라이프형 형상의 반복 및 도6에 도시한 바와 같은 격자형 형상의 반복을 포함하는 경우를 예시할 수 있다. 도4 내지 도6 중 부호 41은 돌기물 패턴을, 부호 42는 돌기물 이외의 땅의 부분(대상면)을 나타내고 있다. In addition, in this invention, "pattern" in a projection pattern, a groove pattern, a recessed part pattern, etc. is a case where the target surface (for example, a substrate surface, a recessed plate surface for a transfer, a recessed plate surface for a charge) is directly faced. It is a shape that can be recognized as including a specific repeating shape. In the case of the groove pattern of the transfer concave plate or the projection pattern on the substrate, the stripe shape as shown in Fig. 4 is repeated when the object surface is directly viewed, and the relief as shown in Fig. 5 is repeated. The case of including the repetition of the stripe shape having and the repetition of the lattice shape as shown in FIG. 6 can be illustrated. 4 to 6, reference numeral 41 denotes a projection pattern, and reference numeral 42 denotes a portion of the ground (object surface) other than the projection.

또한, 스트라이프나 격자의 높이는 똑같아도 좋지만, 복수의 다른 높이가 포함되어 있어도 좋다. 충전용 오목판의 오목부의 패턴인 경우에는 상기 예에다가 보다 규칙성이 적은 패턴이라도 좋다. 원형, 타원형, 삼각형, 사각형 이상의 다각형 및 불규칙한 형상의 오목부의 반복을 포함하는 것이라도 좋다. 전사용 오목판에의 성형 재료의 충전을 확실한 것으로 하기 위해서는, 도10에 도시한 바와 같이 충전용 오목판의 오목부의 패턴이 도트형인 것도 바람직한 태양이다. 또한, 충전용 오목판의 오목부인 경우에는 패턴이 존재하지 않는 경우도 유용할 수 있다.In addition, although the height of a stripe and a grid | lattice may be the same, several different height may be included. In the case of the pattern of the recessed part of the filling recessed plate, a pattern with less regularity may be sufficient as said example. It may include a repetition of circular, elliptical, triangular, polygonal or polygonal and irregularly shaped recesses. In order to ensure the filling of the molding material to the transfer recess plate, as shown in Fig. 10, it is also a preferable aspect that the pattern of the recess portion of the filling recess plate is a dot shape. In addition, in the case of a recess of the filling concave plate, it may be useful when no pattern exists.

이하, 본 발명의 성형 재료 전사 방법 및 돌기물 패턴을 갖는 기판의 제조 방법에 대해 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the molding material transfer method of this invention and the manufacturing method of the board | substrate which have a protrusion pattern are demonstrated.

본 발명의 기술에 따르면, 전사용 오목판 표면에 직접 성형 재료를 충전하는 것은 아니고, 우선 충전용 오목판의 오목부에 페이스트형의 성형 재료를 채우고, 계속해서 소정의 홈 패턴이 형성되어 있는 전사용 오목판을 충전용 오목판에 부분적으로 접촉시켜 전사용 오목판의 홈에 성형 재료를 충전함으로써 전사용 오목판 표면에 직접 성형 재료를 충전한다. 계속해서, 전사용 오목판으로부터 기판 상으 로 성형 재료를 돌기물 패턴으로서 전사한다. 이들 조작에 의해, 성형 재료가 전사되어 돌기물 패턴을 갖는 기판을 제조할 수 있다. According to the technique of the present invention, instead of filling the molding material directly on the surface of the transfer recess plate, the transfer recess plate is first filled with a paste-shaped molding material in the recess portion of the filling recess plate, and then a predetermined groove pattern is formed. The molding material is directly filled on the surface of the transfer recess plate by partially contacting the filling recess plate and filling the molding material in the groove of the transfer recess plate. Subsequently, the molding material is transferred as a projection pattern from the transfer recess to the substrate. By these operations, the molding material can be transferred to produce a substrate having a projection pattern.

이와 같이 함으로써, 충전용 오목판의 오목부에 스키징 등에 의해 페이스트형의 성형 재료를 기포가 없어질 때까지 인쇄한 후, 전사를 행하기 위한 전사용 오목판을 충전용 오목판에 부분적으로 접촉시킴으로써 모세관 현상을 이용하여 전사용 오목판의 홈 내에 충분히 성형 재료를 충전할 수 있다. 또한, 전사용 오목판을 충전용 오목판에 부분적으로 접촉시킴으로써 충전용 오목판으로부터 전사용 오목판으로 성형 재료가 이행하면, 모세관 현상이 일어났다고 생각할 수 있다. In this way, the paste-shaped molding material is printed to the concave portion of the filling concave plate by skimming or the like until bubbles disappear, and then the capillary phenomenon is caused by partially contacting the transfer concave plate for transferring to the filling concave plate. The molding material can be sufficiently filled in the grooves of the transfer concave plate by using. It is also conceivable that a capillary phenomenon occurred when the molding material shifted from the filling concave plate to the transfer concave plate by partially contacting the transfer concave plate with the filling concave plate.

충전용 오목판으로서는 금속을 기계 가공, 레이저 가공, 에칭 등에 의해 가공한 금형 외에, 유리를 에칭하여 제작한 유리형을 이용할 수 있다. 그 재질로서는 충전용 오목판에의 성형 재료의 인쇄를 금속 블레이드 혹은 세라믹 블레이드로 행할 때의 마모를 방지하기 위해 고경도인 것이 바람직하다. 유리나 금속과 같은 내마모성을 갖고, 쉽게 변형되지 않는 것을 사용하면 스키징 등에 의한 마모나 변형의 우려도 없어지므로, 페이스트형의 성형 재료를 기포가 없어질 때까지 인쇄하는 것이 용이하다. 또한, 후술하는 바와 같이, 충전용 오목판의 오목부는 전사용 오목판의 홈보다 얕게 하거나, 넓게 하거나 할 수 있으므로, 이 점에서도 페이스트형의 성형 재료를 기포가 없어질 때까지 인쇄하는 것이 용이하다. As the filling concave plate, a glass mold produced by etching glass can be used, in addition to a metal mold processed by metal processing, laser processing, etching, or the like. The material is preferably of high hardness in order to prevent abrasion when printing of the molding material on the filling concave plate with the metal blade or the ceramic blade. The use of abrasion resistance such as glass or metal that is not easily deformed also eliminates the risk of abrasion and deformation due to skizing or the like, so that it is easy to print the paste-shaped molding material until bubbles are eliminated. Further, as will be described later, since the recesses of the filling recesses can be made shallower or wider than the grooves of the transfer recesses, it is also easy to print the paste-shaped molding material until the bubbles disappear.

이에 대해, 전사용 오목판은 전사시에 성형 재료의 형상을 파괴하지 않도록 부드러운 이형성이 우수한 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 실리콘 고무를 예시할 수 있다. On the other hand, it is preferable that the transfer recessed plate be made of a material having excellent soft releasability so as not to destroy the shape of the molding material during transfer. Silicone rubber can be illustrated.

전사용 오목판 홈에의 성형 재료의 공급량은 충전용 오목판 상에 형성된 미소한 오목부의 공간에 의해 결정된다. 따라서, 매우 소량씩의 공급이 가능하고, 모세관 현상에 의한 전사용 오목판의 홈에의 충전시에 전사용 오목판의 홈벽면이 완전히 젖기 전에 성형 재료가 과잉으로 공급되기 때문에 생기는 기포의 권입을 방지할 수 있다. 이로 인해, 모세관 현상을 재현성 좋게 이용할 수 있고, 전사용 오목판의 진공 탈포 공정을 생략하는 것이 가능해진다. 이와 같이 하면, 충전용 오목부의 홈 이외, 또는 전사용 오목부의 홈 이외에 전사 재료가 부착되는 것을 방지할 수도 있다. The supply amount of the molding material to the transfer recess groove is determined by the space of the minute recess formed on the filling recess plate. Therefore, it is possible to supply a very small amount, and to prevent the filling of bubbles generated due to excessive supply of the molding material before the groove wall surface of the transfer concave plate is completely wetted when filling the grooves of the transfer concave plate by the capillary phenomenon. Can be. For this reason, the capillary phenomenon can be used reproducibly, and it becomes possible to omit the vacuum defoaming process of the transfer concave plate. In this way, it is possible to prevent the transfer material from adhering to other than the groove of the filling recess or the groove of the transfer recess.

또한, 한번 전사용 오목판의 홈 내에 기포없이 충전된 부분에 대해서는 매우 젖기 쉽게 되어 있고, 그 후 성형 재료를 추가 충전하였다고 해도 홈 내로 기포가 들어가는 일은 매우 드물다. 따라서, 최초의 충전이고, 충전량이 부족한 경우에도 성형 재료를 채우는 충전용 오목판을 사용하여 쉽게 추가 충전할 수 있다. 적극적으로 복수회 충전을 행해도 좋다. 충전량이 지나치게 많았던 경우에는 필요에 따라서 홈 이외의 부분에 부착한 성형 재료를 제거하면 된다. In addition, the part once filled without bubbles in the grooves of the transfer concave plate becomes very wet, and even if additionally filled molding material thereafter, bubbles rarely enter the grooves. Therefore, it is the first filling, and even if the filling amount is insufficient, additional filling can be easily performed by using the filling concave plate filling the molding material. You may actively charge several times. When the filling amount is too large, the molding material attached to the portions other than the grooves may be removed as necessary.

또한, 롤 코팅법, 슬릿 코팅법 등을 이용하여 전사용 오목판면에 소정의 두께의 성형 재료를 도포하는 것도 가능하고, 이와 같이 하면 동일한 면부분에 의해 연결된 돌기물 패턴을 얻을 수 있다. 돌기물을 리브로서 사용하여 동일한 면부분을 유전체층이라 생각하면, PDP 기판인 경우에 있어서의 리브와 유전체층을 조합하여 동시에 형성하는 것에 상당한다. 이 방법은 동일한 면부분의 두께를 임의로 조절할 수 있어 바람직하다. 또한, 동일한 면부분의 두께의 조절을 쉽게 하기 위해 서는 전사용 오목판의 홈에 성형 재료를 충전한 후, 필요에 따라서 홈 이외의 부분에 부착한 성형 재료를 제거하고, 그 후 성형 재료를 도포하는 것도 바람직하다. PDP용 기판 등의 경우에는 기판 상에 형성된 동일한 면부분의 두께가 10 내지 30 ㎛인 범위에 있는 것이 바람직하다. It is also possible to apply a molding material having a predetermined thickness to the transfer concave plate surface by using a roll coating method, a slit coating method, or the like, and in this way, a projection pattern connected by the same surface portion can be obtained. If the projections are used as ribs and the same surface portion is considered to be a dielectric layer, it is equivalent to simultaneously forming ribs and dielectric layers in the case of a PDP substrate. This method is preferable because the thickness of the same surface portion can be arbitrarily adjusted. In addition, in order to easily control the thickness of the same surface portion, after filling the molding material into the groove of the transfer recess plate, the molding material attached to the portion other than the groove is removed as necessary, and then the molding material is applied. It is also preferable. In the case of a PDP board | substrate etc., it is preferable that the thickness of the same surface part formed on the board | substrate exists in the range which is 10-30 micrometers.

도26은 기판 상에 형성된 동일한 면부분(261)에 의해 연결된 돌기물 패턴(41)을 도시하는 개략적 횡단면도이다. 이에 대해 도27은 기판 상에 형성된 동일한 면부분을 갖지 않은 돌기물 패턴(41)을 도시하는 개략적 횡단면도이다. FIG. 26 is a schematic cross sectional view showing the projection pattern 41 connected by the same surface portion 261 formed on the substrate. 27 is a schematic cross sectional view showing the projection pattern 41 without the same face portion formed on the substrate.

본 발명에 관한 성형 재료는 기판 상에 형성하는 돌기물에 대한 실제상의 요구에 따라서 공지의 재료 중으로부터 임의로 선택할 수 있다. PDP용 기판 상에 리브를 설치할 목적으로부터는 원료 페이스트가 저융점 유리 분말, 바인더 등을 포함하는 것이 바람직하다. 또한 내열성 산화물 등을 필러로서 더할 수도 있다. 원료 페이스트의 점도는 취급성이 쉽기 때문에, 실온에서 50 내지 100 P(포아즈)가 바람직하다. 바인더에는 유기 수지 또는 용매 또는 그 양자가 포함된다. 유기 수지로서는 아크릴 수지를 예시할 수 있다. 유기 수지는 열 또는 자외선 등의 활성 에너지선 또는 열과 활성 에너지선의 조합으로 경화되는 것이 바람직하다. 반응 개시제를 공존시켜도 좋다. 전사용 오목판의 홈에 충전된 후에 성형 재료를 경화시키면, 기판 상에의 전사시에 성형 재료의 전사용 오목판의 홈으로부터의 박리(소위 이형)가 용이해지고, 또한 형상 일체성이 향상되므로, 성형 재료가 파손되어 일부 전사용 오목판의 홈 속에 남겨져 버리는 문제(소위 떨어짐)를 방지할 수 있다. 또한, 경화가 지나치게 진행되어 성형 재료의 기판에 대한 점착성 및 밀착성이 저하 되어 전사 확률이 낮아져 버릴 우려가 있는 경우에는 경화를 완전한 것이 아닌, 불충분한 경화 또는 반경화의 상태로 하는 조치를 취하는 것이 바람직하다. 기판 상에 성형 재료가 전사된 후에 충분한 경화를 행해도 좋다. 용매로서는 테르피네올, BCA(부틸카르비톨아세테이트) 등을 예시할 수 있다. 이 때에는 전사용 오목판 속의 성형 재료를 가열 등하여 용매를 증발시킴으로써 형상 일체성을 향상시키는 방법도 있다. 또한 성형 재료의 경화와 조합하여 행해도 좋다. The molding material according to the present invention can be arbitrarily selected from known materials in accordance with the actual requirements for the projections formed on the substrate. It is preferable that a raw material paste contains low melting glass powder, a binder, etc. from the objective of providing a rib on a PDP board | substrate. Moreover, heat resistant oxide etc. can also be added as a filler. Since the viscosity of a raw material paste is easy to handle, 50-100 P (poise) is preferable at room temperature. The binder includes an organic resin or a solvent or both. Acrylic resin can be illustrated as organic resin. The organic resin is preferably cured by an active energy ray such as heat or ultraviolet ray or a combination of heat and active energy ray. You may make reaction initiator coexist. If the molding material is cured after being filled in the grooves of the transfer recess plate, the molding material is easily peeled from the grooves of the transfer recess plate at the time of transfer on the substrate (so-called mold release) and the shape integrity is improved. It is possible to prevent the problem of the material being broken and being left in the grooves of some transfer recesses (so-called fall). In addition, when the curing proceeds excessively and the adhesion and adhesion of the molding material to the substrate may be lowered and the transfer probability may be lowered, it is preferable to take measures to make the curing not sufficient but a sufficient curing or semi-curing state. Do. After the molding material is transferred onto the substrate, sufficient curing may be performed. Examples of the solvent include terpineol, BCA (butyl carbitol acetate), and the like. In this case, there is also a method of improving the shape integrity by evaporating the solvent by heating the molding material in the transfer recess plate. Moreover, you may carry out in combination with hardening of a molding material.

전사용 오목판을 충전용 오목판에 부분적으로 접촉시키는 것은 충전용 오목판이 평면형 또는 원통면형이고, 전사용 오목판이 원통면형 또는 구부림 가능함으로써 달성할 수 있다. 즉, 충전용 오목판이 평면형이고 전사용 오목판이 원통면형이면 충전용 오목판과 전사용 오목판을 접촉시킴으로써 부분적 접촉을 실현할 수 있다. 충전용 오목판이 평면형이고 전사용 오목판이 구부림 가능한 경우에는 충전용 오목판과 전사용 오목판을 근접시킨 후, 전사용 오목판의 전부 또는 일부를 구부림으로써 부분적 접촉을 실현할 수 있다. 충전용 오목판이 원통면형이고, 전사용 오목판이 원통면형인 경우에는 충전용 오목판과 전사용 오목판을 접촉시킴으로써 부분적 접촉을 실현할 수 있다. 또한, 충전용 오목판이 원통면형이고, 전사용 오목판이 구부림 가능한 경우에는 충전용 오목판과 구부림 전사용 오목판을 접촉시킴으로써 부분적 접촉을 실현할 수 있다. The partial contact of the transfer recess plate to the filling recess plate can be achieved by the fact that the filling recess plate is flat or cylindrical and the transfer recess plate is cylindrical or bendable. That is, when the filling recessed plate is flat and the transfer recessed plate is cylindrical, partial contact can be realized by bringing the filling recessed plate into contact with the transfer recessed plate. When the filling concave plate is flat and the transfer concave plate can be bent, partial contact can be realized by bringing the filling concave plate and the transfer concave plate into close proximity and then bending all or part of the transfer concave plate. When the filling concave plate is cylindrical and the transfer concave plate is cylindrical, partial contact can be realized by bringing the filling concave plate into contact with the transfer concave plate. In addition, when the filling concave plate is cylindrical and the transfer concave plate can be bent, partial contact can be realized by contacting the filling concave plate and the bending transfer concave plate.

부분적인 접촉은 충전용 오목판으로부터 전사용 오목판에의 성형 재료의 이동이 일어나면 충분하고, 충전용 오목판과 전사용 오목판 사이에 필요 이상으로 압력을 가하는 것은 통상 불필요하다. Partial contact is sufficient if movement of the molding material from the filling concave plate to the transfer concave plate occurs, and it is usually unnecessary to apply more pressure than necessary between the filling concave plate and the transfer concave plate.

본 발명에 관한 기판은 평면형이므로, 전사용 오목판으로부터 기판 상으로의 성형 재료의 전사에 대해서는 전사용 오목판을 기판에 일부 접촉시키고, 전사용 오목판과 기판 사이에 어느 정도의 압력을 가하는 것이 통상 필요하다. 이 목적을 위해서는 전사용 오목판이 원통면형이거나, 혹은 구부림 가능한 것이 바람직하다. 가하는 압력을 어느 정도로 할지는 전사의 실상을 감안하여 임의로 정할 수 있다. Since the substrate according to the present invention is planar, it is usually necessary to partially transfer the transfer recess plate to the substrate and to apply a certain pressure between the transfer recess plate and the substrate in order to transfer the molding material from the transfer recess plate to the substrate. . For this purpose, the transfer concave plate is preferably cylindrical or bendable. The amount of pressure to be applied can be arbitrarily determined in consideration of the actual state of the transfer.

충전용 오목판으로부터 전사용 오목판으로 성형 재료를 원활하게 이동시키기 위해서는 충전용 오목판의 오목부의 패턴과 전사용 오목판의 홈 패턴이 위치적으로 대응하는 관계를 포함하는 것이 바람직하다. 충전용 오목판의 오목부의 패턴과 전사용 오목판의 홈 패턴이 위치적으로 대응하는 관계를 포함한다라 함은, 충전용 오목판과 전사용 오목판을 포갠 경우에 전사용 오목판의 홈 패턴이 충전용 오목판의 오목부의 패턴으로 실질적으로 포개어지는 것 또는 그 반대를 의미한다. 보다 구체적으로는 전사용 오목판의 홈 패턴의 90 % 이상이 충전용 오목판의 오목부의 패턴으로 포개어지는 것 또는 그 반대가 바람직하다.In order to smoothly move the molding material from the filling concave plate to the transfer concave plate, it is preferable that the pattern of the concave portion of the filling concave plate and the groove pattern of the transfer concave plate include a position corresponding to each other. The relation that the pattern of the recess of the filling recess plate and the groove pattern of the transfer recess plate includes a positional correspondence means that when the filling recess and the transfer recess plate are sandwiched, the groove pattern of the transfer recess plate is recessed of the filling recess plate. Substantially overlapping in a negative pattern or vice versa. More specifically, it is preferable that 90% or more of the groove pattern of the transfer recess plate is superimposed on the pattern of the recess portion of the filling recess plate or vice versa.

도7은 충전용 오목판의 오목부의 스트라이프형의 패턴(71)과 전사용 오목판의 홈의 스트라이프형의 패턴(72)이 포개어져 있는 상태를 도시하고 있다. 포개어지는 중심은 도면과 같이 일치하고 있을 필요는 없고, 도8에 도시한 바와 같이 어긋나 있어도 좋다. 또한, 도9에 도시한 바와 같이 전사용 오목판의 복수의 홈이 충전용 오목판의 오목부 중 하나의 스트라이프에 대응하고 있어도 좋다. 이와 같이, 패턴의 일부만이 포개어지는 경우에도 본 발명의 범주에 속한다. 또한, 충전용 오목판의 오목부의 패턴이 원형, 타원형, 삼각형, 사각형 이상의 다각형 및 불 규칙한 형상의 오목부의 반복을, 예를 들어 도트형으로 포함하는 경우에 이들 형상의 집합을 스트라이프형의 패턴이라 가정할 때에는 이들 형상의 집합이 스트라이프형의 패턴으로서 전사용 오목판의 홈 패턴과 포개어지는 상태를 도시하는 경우도 본 발명의 범주에 속한다. 도10은 충전용 오목판의 도트형의 오목부가 스트라이프형의 패턴으로서 전사용 오목판의 홈의 스트라이프형의 패턴과 포개어져 있는 상태를 나타내고 있다.Fig. 7 shows a state in which the stripe pattern 71 of the concave portion of the filling concave plate and the stripe pattern 72 of the groove of the transfer concave plate are stacked. The overlapping centers do not have to coincide with each other as shown in the drawing, and may be shifted as shown in FIG. As shown in Fig. 9, the plurality of grooves of the transfer recess plate may correspond to one stripe of the recesses of the filling recess plate. As such, even if only a part of the pattern is overlapped, it is within the scope of the present invention. When the pattern of the concave portion of the filling concave plate includes a repetition of a concave portion of a circular, elliptical, triangular, polygonal or more rectangular shape and irregular shape, for example, a dot pattern, a set of these shapes is referred to as a stripe pattern. If it is assumed, the case where these sets of shapes show a state of being overlapped with the groove pattern of the transfer recess plate as a stripe-shaped pattern is also within the scope of the present invention. Fig. 10 shows a state where the dot-shaped concave portion of the filling concave plate overlaps with the stripe-shaped pattern of the groove of the transfer concave plate as a stripe pattern.

또한, 포개어짐은 충전용 오목판이나 전사용 오목판의 전면에 있어서 생기는 것이 바람직하지만, 포개어져 있지 않은 부분이 포함되어 있어도 좋은 것은 전술한 바와 같다. 따라서, 원형, 타원형, 삼각형, 사각형 이상의 다각형 및 불규칙한 형상이 충전용 오목판의 전면에 존재하는 결과, 충전용 오목판의 오목부의 패턴과 포개어지지 않은 오목부 부분이 많이 포함되는 경우나, 충전용 오목판의 오목부의 스트라이프의 수가 전사용 오목판의 홈의 수보다 훨씬 많고, 충전용 오목판의 오목부의 패턴과 포개어지지 않은 오목부 부분이 많이 포함되는 경우도 본 발명의 범주에 속한다.In addition, it is preferable that the overlap occurs on the entire surface of the filling concave plate or the transfer concave plate, but it is as described above that a portion not overlapped may be included. Therefore, as a result of circular, elliptical, triangular, polygonal or more irregular shapes and irregular shapes on the front surface of the filling recess plate, the pattern of the recess portion of the filling recess plate and the non-overlapping recess portion are included. The case where the number of stripes of the concave portion is much larger than the number of grooves of the transfer concave plate, and the pattern of the concave portion of the filling concave plate and the concave portion not overlapped is also included in the scope of the present invention.

또한, 전사용 오목판과 충전용 오목판의 상대 위치 맞춤이 곤란한 것이 예측되는 경우에는, 충전용 오목판의 패턴으로서 전사용 오목판의 패턴과 무관계인 그라비아판이라도 좋다. 그라비아판은 그라비아 인쇄에 이용되고 있는 판으로, 50 내지 수백 ㎛ 정도의 사각형 혹은 원형의 오목부가 배열된 금속판이다. 또한, 그 대신에, 정반 혹은 롤의 표면에 50 내지 수백 ㎛ 정도인 사각형 등의 개구부가 있고, 두께가 50 내지 수백 ㎛ 정도인 스크린 메쉬를 부착한 것도 충전용 오목판으로 서 이용할 수 있다. In addition, when it is predicted that the relative position of a transfer recessed plate and a filling recessed plate is difficult, the gravure plate which is irrelevant to the pattern of the transfer recessed plate may be used as a pattern of a filling recessed plate. A gravure plate is a plate used for gravure printing, and is a metal plate in which rectangular or circular recesses of 50 to several hundred micrometers are arranged. In addition, an opening such as a square of 50 to several hundred micrometers or the like on the surface of a surface plate or a roll and a screen mesh having a thickness of about 50 to several hundred micrometers may be used as the filling concave plate instead.

충전용 오목판의 오목부의 입체적 형상으로서는 전사용 오목판의 홈폭 방향에 있어서의 충전용 오목판의 오목부의 길이가 전사용 오목판의 홈폭보다 큰 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 충전용 오목판의 오목부가 상기 전사용 오목판의 홈에 접촉하기 쉬어져 모세관 현상에 의한 성형 재료의 충전이 원활해진다. 또한, 전사용 오목판의 홈폭 방향에 있어서의 충전용 오목판의 오목부의 길이라 함은, 도7, 도11의 길이(L)의 것을 의미한다. 복수 형상의 집합인 경우에는, 도11과 같이 각각의 오목부(111)에 대해 판단한다. As the three-dimensional shape of the concave portion of the filling concave plate, the length of the concave portion of the filling concave plate in the groove width direction of the transfer concave plate is preferably larger than the groove width of the transfer concave plate. By doing in this way, the recessed part of a filling recess plate will be easy to contact with the groove | channel of the said transfer recessed plate, and the filling of the molding material by capillary phenomenon will become smooth. In addition, the length of the recessed part of the filling recessed plate in the groove width direction of a transfer recessed plate means the thing of length L of FIG. In the case of a plurality of sets of shapes, it is determined for each recess 111 as shown in FIG.

또한, 전사용 오목판의 홈의 깊이의 쪽이 충전용 오목판의 오목부의 깊이보다 큰 것이 바람직하다. 모세관 현상에 의한 성형 재료의 충전이 원활해지기 때문이다. 이 양쪽의 조건을 만족시키는 것이 보다 바람직하다. 또한, 이들 조건은 충전용 오목판과 전사용 오목판의 전면에 대해 성립할 필요는 없지만, 일반적으로는 성립하는 부분이 많을수록 바람직하다. Moreover, it is preferable that the depth of the groove of the recess for transfer is larger than the depth of the recess of the filler recess. This is because the filling of the molding material by the capillary phenomenon becomes smooth. It is more preferable to satisfy both of these conditions. In addition, although these conditions do not need to be established with respect to the front surface of a filling concave plate and a transfer concave plate, generally, the more parts which hold | maintain, the more preferable.

상기와 같은 성형 재료 전사 방법이나 기판 제조 방법에 따르면, PDP용 기판과 같은 돌기물 패턴을 갖는 기판을 제조하기 위한 새로운 신뢰성이 높은 기술을 제공할 수 있다. 전사용 오목판의 홈에 성형 재료를 확실하게 충전시킬 수 있고, 돌기물 패턴 형성시의 기포의 권입에 의한 구조 결함을 크게 감소시키는 것이 가능해진다. 따라서, 제품의 신뢰성과 제품 수율을 향상시킬 수 있다. 또한, 진공 탈포 등 오프 라인의 공정이 불필요해져 생산 효율의 향상과 공정 간략화를 도모할 수 있다. 이와 같은 기판은, 특히 리브를 갖는 기판을 사용하는 가스 방전 패널이나 가스 방전 패널 표시 장치에 적용하는 것이 바람직하다. According to the molding material transfer method and the substrate manufacturing method as described above, it is possible to provide a new highly reliable technology for manufacturing a substrate having a projection pattern, such as a substrate for PDP. The molding material can be reliably filled in the grooves of the transfer concave plate, and it is possible to greatly reduce structural defects due to the inclusion of bubbles at the time of forming the projection pattern. Therefore, the reliability and product yield of a product can be improved. In addition, an off-line process such as vacuum degassing is unnecessary, and the production efficiency can be improved and the process can be simplified. It is preferable to apply such a board | substrate to a gas discharge panel and a gas discharge panel display apparatus which use the board | substrate which has a rib especially.

또한, 상기와 같은 기술을 실현하기 위한 장치로서는 판 본체와, 충전용 오목판과, 전사용 오목판과, 충전용 오목판과 전사용 오목판을 부분적으로 접촉시키기 위한 전사용 오목판 접촉 기구와, 성형 재료 경화부와, 필요에 따라서 전사용 오목판 표면 상의 성형 재료의 막두께 조정 기구를 구비한 성형 재료 전사 장치 및 판 본체와, 충전용 오목판과, 전사용 오목판과, 기판과, 충전용 오목판과 전사용 오목판을 부분적으로 접촉시키기 위한 전사용 오목판 접촉 기구와, 전사용 오목판과 기판을 접촉시키기 위한 기판 접촉 기구와, 성형 재료 경화부와, 필요에 따라서 전사용 오목판 표면 상의 성형 재료의 막두께 조정 기구를 구비한 기판 제조 장치를 바람직하게 예시할 수 있다. 이와 같은 장치를 사용하면 충전용 오목판의 오목부에 페이스트형의 성형 재료를 만족시키고, 소정의 홈 패턴이 형성되어 있는 전사용 오목판을 충전용 오목판에 부분적으로 접촉시킴으로써 전사용 오목판의 홈에 성형 재료를 쉽게 충전할 수 있다. 또한, 전사용 오목판과 기판을 접촉시킴으로써 전사용 오목판으로부터 기판 상으로 성형 재료를 돌기물 패턴으로서 쉽게 전사할 수 있다. Moreover, as an apparatus for realizing the above technique, a transfer concave contact mechanism for partially contacting a plate main body, a filling concave plate, a transfer concave plate, a filling concave plate and a transfer concave plate, and a molding material hardened portion And a molding material transfer device and a plate main body, a filling recess plate, a transfer recess plate, a substrate, a filling recess plate and a transfer recess plate, if necessary, including a film thickness adjusting mechanism of the molding material on the transfer recess plate surface. A transfer recess plate contact mechanism for partially contacting, a substrate contact mechanism for contacting the transfer recess plate and the substrate, a molding material hardened portion, and, if necessary, a film thickness adjusting mechanism of the molding material on the transfer recess plate surface. The substrate manufacturing apparatus can be illustrated preferably. The use of such an apparatus satisfies the paste-shaped molding material in the recessed portion of the filling recess plate, and the transfer recessed plate having the predetermined groove pattern is partially contacted with the filling recessed plate to form the molding material in the groove of the transfer recessed plate. Can be easily charged. In addition, by contacting the transfer recess plate with the substrate, the molding material can be easily transferred from the transfer recess plate onto the substrate as a projection pattern.

또한, 판 본체는 충전용 오목판으로부터 전사용 오목판으로 성형 재료를 충전하는 경우와 전사용 오목판으로부터 기판 상으로 성형 재료를 돌기물 패턴으로서 전사하는 경우에 공용해도 좋고, 별개의 판 본체를 사용해도 좋다. 전사용 오목판은 판 본체 상에 설치해도 좋지만, 후술하는 바와 같이 사용하지 않아도 좋다. The plate body may be shared when the molding material is filled from the filling recess plate to the transfer recess plate and when the molding material is transferred from the transfer recess plate onto the substrate as a projection pattern, or a separate plate body may be used. . The transfer recess may be provided on the plate body, but may not be used as described later.

성형 재료 경화부는 성형 재료를 경화시키는 기능을 갖는 부분으로, 성형 재 료의 경화를 일으키게 하는 것이면 열풍 송풍 장치, 자외선 조사 장치 등 공지의 어떠한 장치를 사용해도 좋다. The molding material hardening part is a part having a function of curing the molding material, and any known device such as a hot air blower and an ultraviolet irradiation device may be used as long as it causes curing of the molding material.

성형 재료의 막두께 조정 기구는 동일한 면부분에 의해 연결된 돌기물 패턴을 얻기 위한 기구로, 전사용 오목판면에 소정의 두께의 성형 재료를 도포하는 것이 가능한 것이면 공지의 어떠한 장치를 사용해도 좋다. The film thickness adjustment mechanism of the molding material is a mechanism for obtaining a projection pattern connected by the same surface portion, and any known device may be used as long as the molding material having a predetermined thickness can be applied to the transfer concave plate surface.

충전용 오목판과 전사용 오목판을 부분적으로 접촉시키기 위한 전사용 오목판 접촉 기구는 상기에 설명한 의미이고 충전용 오목판과 전사용 오목판을 부분적으로 접촉시키는 것이면 어떠한 것이라도 좋다. 충전용 오목판과 전사용 오목판이 모두 판 본체 상에 설치되는 경우나 충전용 오목판이 판 본체 상에 설치되고, 전사용 오목판이 테이블 상에 설치되는 경우에는 판 본체끼리 중 어느 하나 또는 양쪽 또는 판 본체와 테이블 중 어느 하나 또는 양쪽을 이동시키는 기구이면 충분하다. 전사용 오목판을 일부 변형할 수 있는 것인 경우에는 전사용 오목판의 일부를 변형할 수 있는 기구이면 된다. The transfer concave plate contact mechanism for partially contacting the filling concave plate and the transfer concave plate may be any as long as it is the meaning described above and partially contacts the filling concave plate and the transfer concave plate. When both the filling concave plate and the transfer concave plate are provided on the plate main body, or when the filling concave plate is provided on the plate main body and the transfer concave plate is installed on the table, any one or both of the plate bodies or the plate body A mechanism for moving either or both of the table and the table is sufficient. What is necessary is just a mechanism which can deform | transform a part of transfer recessed plate, when the transfer recessed plate can be partially deformed.

전사용 오목판과 기판을 접촉시키기 위한 기판 접촉 기구는 상기에 설명한 의미이고 전사용 오목판과 기판을 부분적으로 접촉시키는 것이면 어떠한 것이라도 좋다. 전사용 오목판이 판 본체 상에 설치되는 경우에는 판 본체와 기판을 설치한 테이블 중 어느 하나 또는 양쪽을 이동시키는 기구이면 충분하다. 전사용 오목판이 일부 변형될 수 있는 것인 경우에는 전사용 오목판의 일부를 변형할 수 있는 기구이면 좋다. 또한, 그 밖의 요소의 의미는 이미 설명한 바와 같다.The substrate contact mechanism for contacting the transfer recess plate and the substrate may be any of the above-described meanings as long as the transfer recess plate and the substrate are partially contacted. In the case where the transfer recessed plate is provided on the plate main body, a mechanism for moving one or both of the plate main body and the table on which the substrate is provided is sufficient. In the case where the transfer recessed plate may be partially deformed, a mechanism capable of deforming a part of the transfer recessed plate may be used. In addition, the meaning of other elements is as having already demonstrated.

(실시예)(Example)

다음에 본 발명의 실시예를 상세하게 서술한다. 또한, 이하의 실시예에서는 충전용 오목판의 오목부 패턴 및 전사용 오목판에 형성되어 있는 홈 패턴으로서, 격자형의 것이고, 그 단면이 제거각을 갖는 직사각형(즉 사다리꼴 형상)의 것을 채용한다. 이 경우, 충전용 오목판의 오목부를 전사용 오목판의 경우와 마찬가지로 홈이라 불러도 지장이 없으므로, 실시예에서는 충전용 오목판의 오목부도「홈」이라 호칭하는 경우도 있다.Next, the Example of this invention is described in detail. In addition, in the following embodiment, as a recess pattern of a filling recess plate and a groove pattern formed in the transfer recess plate, it is a thing of lattice form and the rectangle (namely trapezoid shape) whose cross section has a removal angle is employ | adopted. In this case, since the concave portion of the filling concave plate is called a groove similarly to the case of the transfer concave plate, there is no problem, so in the embodiment, the concave portion of the filling concave plate may also be referred to as "groove".

[제1 실시예][First Embodiment]

본 예에서는 도12 내지 도16을 사용하여 본 발명의 원리를 설명한다. 도12는 충전용 오목판의 오목부(111)를 도시하는 개략적 평면도, 도13은 그 개략적 횡단면도, 도14는 전사용 오목판의 홈(141)을 도시하는 개략적 평면도, 도15는 그 개략적 횡단면도, 도16은 충전용 오목판의 오목부(111)와 전사용 오목판의 홈(141)이 합쳐진 모양을 도시하는 개략적 횡단면도이다. 도12 내지 도16에 있어서, 충전용 오목판 및 전사용 오목판에 형성되어 있는 홈 패턴은 모두 격자형의 것이고, 충전용 오목판과 전사용 오목판이 포개어진 경우, 양 형상은 서로 포개어지도록 되어 있다. 도12의 치수와 도14의 치수는 1 : 1의 관계에 있고, 도12와 도14의 비교로부터 판단할 수 있는 바와 같이 충전용 오목판의 홈폭의 쪽이 전사용 오목판의 홈폭보다 크다. 또한, 도13의 치수와 도15의 치수는 1 : 1의 관계에 있고, 도16으로부터 판단할 수 있는 바와 같이 전사용 오목판의 홈폭의 쪽이 충전용 오목판의 홈의 깊이보다 크다. 이 이유는, 상술한 바와 같다.In this example, the principle of the present invention will be explained using Figs. Fig. 12 is a schematic plan view showing the recess 111 of the filling concave plate, Fig. 13 is a schematic cross sectional view thereof, Fig. 14 is a schematic plan view showing a groove 141 of the transfer concave plate, Fig. 15 is a schematic cross sectional view thereof, Fig. 16 is a schematic cross-sectional view showing the shape in which the recess 111 of the filling recess plate and the groove 141 of the transfer recess plate are joined together. 12 to 16, all of the groove patterns formed in the filling concave plate and the transfer concave plate are lattice-shaped, and when the filling concave plate and the transfer concave plate are stacked, both shapes are overlapped with each other. The dimension of FIG. 12 and the dimension of FIG. 14 have a 1: 1 relationship, and as can be judged from the comparison between FIGS. 12 and 14, the groove width of the filling recess plate is larger than the groove width of the transfer recess plate. In addition, the dimension of FIG. 13 and the dimension of FIG. 15 have a 1: 1 relationship, and as can be judged from FIG. 16, the groove width of the transfer recess plate is larger than the depth of the groove of the filling recess plate. This reason is as above-mentioned.

성형 재료 전사 방법을 설명하면, 우선 충전용 오목판의 홈에 페이스트형의 성형 재료를 채운다. 구체적으로는, 충전용 오목판에 페이스트형의 성형 재료를 금속 블레이드 등으로 인쇄한다. 인쇄는 필요에 따라서 복수회 행해도 좋다. 도17은 충전용 오목판의 홈에 성형 재료(171)가 인쇄된 모양을 도시하는 개략도이다. When describing the molding material transfer method, first, a paste-shaped molding material is filled in the grooves of the filling concave plate. Specifically, a paste-shaped molding material is printed on a filling recessed plate with a metal blade or the like. You may print in multiple times as needed. Fig. 17 is a schematic diagram showing how the molding material 171 is printed in the grooves of the filling concave plate.

계속해서, 소정의 홈 패턴이 형성되어 있는 전사용 오목판을 충전용 오목판에 부분적으로 천천히 접촉시킨다. 이에 의해 모세관 현상이 일어나 도18의 화살표와 같이 성형 재료가 흐르게 되어 전사용 오목판의 홈에 충전된다. 모세관 현상은 전사용 오목판의 홈의 벽을 차례로 적셔가도록 진행되므로, 기포의 먹어 들어감을 방지할 수 있다. 또한, 도18의 부호 141에 존재하는 기체는 모세관 현상이 진행됨에 따라서 도면의 전방 혹은 안측의 성형 재료가 충전되어 있지 않은 측으로 이동하고, 그 상태에서 기포로서 남는 일은 없다. Subsequently, the transfer recessed plate in which the predetermined groove pattern is formed is partially brought into contact with the filling recessed plate slowly. As a result, a capillary phenomenon occurs, and a molding material flows as shown by the arrow in FIG. The capillary phenomenon proceeds to wet the walls of the grooves of the transfer concave plate one by one, thereby preventing the intake of bubbles. As the capillary phenomenon progresses, the gas existing at 141 in FIG. 18 moves to the side where the molding material in the front or the inner side of the figure is not filled, and does not remain as a bubble in that state.

[제2 실시예]Second Embodiment

본 예에서는 충전용 오목판이 원통면형이고, 전사용 오목판이 원통면형으로 구부림 가능한 경우의 성형 재료 전사 장치 및 기판 제조 장치 및 그 사용 방법에 대해 설명한다. In this example, a molding material transfer device, a substrate manufacturing device, and a method of using the same when the filling concave plate is cylindrical and the transfer concave plate can be bent into a cylindrical surface will be described.

도19는 원통면형이고 판 본체(192)에 부착된 전사용 오목판(193)에 평면형의 테이블(194)에 놓여진 충전용 오목판(191)으로부터 성형 재료를 충전하고 있는 모양을 도시한다. 충전용 오목판(191)의 홈에는 미리 성형 재료가 충전되어 있다. 판 본체(192)가 화살표의 방향에 회전하는 것에 따라서 전사용 오목판(193)과 충전용 오목판(191)이 부분적으로 접촉하고, 모세관 현상에 의해 충전용 오목판(191)의 홈으로부터 전사용 오목판(193)의 홈으로 성형 재료가 이행하여 전사용 오목판 (193)의 홈이 성형 재료로 충전된다. 부호 196은 충전용 오목판(191)이 전사용 오목판(193)과 부분적으로 접촉하고 있는 부분을 나타내고 있다. 충전용 오목판(191)과 전사용 오목판(193)을 부분적으로 접촉시키기 위한 전사용 오목판 접촉 기구는 도시되어 있지 않다. 또한, 실제로는, 충전용 오목판(191)과 전사용 오목판(193)의 접촉 부분(196)은 매우 약간이고, 도19의 방향으로부터 보았을 때에는 접촉 부분이 점에 가까운 선접촉인 것이 바람직하다. Fig. 19 shows a state in which a molding material is filled from a filling concave plate 191 placed in a planar table 194 on a transfer concave plate 193 attached to a plate main body 192 in a cylindrical shape. The groove of the filling concave plate 191 is filled with a molding material in advance. As the plate body 192 rotates in the direction of the arrow, the transfer concave plate 193 and the filling concave plate 191 partially contact each other, and the transfer concave plate (1) is moved from the groove of the filling concave plate 191 by a capillary phenomenon. The molding material shifts to the groove of 193, and the groove of the transfer concave plate 193 is filled with the molding material. Reference numeral 196 denotes a portion where the filling concave plate 191 partially contacts the transfer concave plate 193. A transfer recess plate contact mechanism for partially contacting the filling recess plate 191 and the transfer recess plate 193 is not shown. Further, in practice, the contact portion 196 of the filling concave plate 191 and the transfer concave plate 193 is very small, and when viewed from the direction of Fig. 19, it is preferable that the contact portion is a line contact close to a point.

도20은 전사용 오목판(193)을 판 본체(195)에 부착하고, 자외선 조사기(201)로부터의 자외선 조사에 의해 성형 재료를 경화하고 있는 모양을 도시한다. 자외선 조사기(201)는 본 발명에 관한 성형 재료 경화부에 해당한다. 이 공정에 있어서의 판 본체(195) 등의 주요 설비로서, 도19와 동일한 설비를 사용해도 좋다. 기판(198)에의 성형 재료의 전사는 행해지고 있지 않다. 20 shows a state in which the transfer concave plate 193 is attached to the plate body 195 and the molding material is cured by ultraviolet irradiation from the ultraviolet irradiator 201. The ultraviolet irradiator 201 corresponds to the molding material hardening part which concerns on this invention. As main equipment, such as the plate main body 195 in this process, you may use the equipment similar to FIG. Transfer of the molding material to the substrate 198 is not performed.

도21은 전사용 오목판(193)으로부터 기판(198)으로 성형 재료를 전사하고 있는 모양을 도시한다. 전사용 오목판(193)과 기판(198)을 접촉시키기 위한 기판 접촉 기구는 도시되어 있지 않다.Fig. 21 shows a state in which the molding material is transferred from the transfer recessed plate 193 to the substrate 198. Figs. A substrate contact mechanism for contacting the transfer recessed plate 193 and the substrate 198 is not shown.

[제3 실시예]Third Embodiment

본 예에서는 충전용 오목판이 평면형이고, 전사용 오목판이 구부림 가능한 경우의 성형 재료 전사 장치 및 기판 제조 장치 및 그 사용 방법에 대해 설명한다.In this example, a molding material transfer device, a substrate manufacturing device, and a method of using the same when the filling concave plate is flat and the transfer concave plate can be bent will be described.

우선, 도22의 스텝 S221에 따라서, 도23a에 도시한 바와 같이 충전용 오목판(191)에 스키징에 의해 성형 재료를 충전한다. First, according to step S221 of FIG. 22, as shown in FIG. 23A, the filling concave plate 191 is filled with a molding material by skidging.

계속해서, 도22의 스텝 S222에 따라서, 도23b에 도시한 바와 같이 전사용 오 목판(193)을 충전용 오목판(191)에 대향하여 설치한다. Subsequently, in accordance with step S222 of FIG. 22, as shown in FIG. 23B, the transfer concave plate 193 is provided opposite the filling concave plate 191.

계속해서, 도22의 스텝 S223에 따라서, 도23c에 도시한 바와 같이 롤러(231)에 의해 전사용 오목판(193)을 구부림으로써 충전용 오목판(191)과 전사용 오목판(193)을 부분적으로 접촉시키고, 모세관 현상에 의해 충전용 오목판(191)의 홈으로부터 전사용 오목판(193)의 홈으로 성형 재료를 이행시켜 전사용 오목판(193)의 홈을 성형 재료로 충전한다. 롤러(231)는 상기 전사용 오목판 접촉 기구에 해당한다. Subsequently, in accordance with step S223 in FIG. 22, the filling concave plate 191 and the transfer concave plate 193 are partially contacted by bending the transfer concave plate 193 by the roller 231 as shown in FIG. 23C. The molding material is transferred from the groove of the filling concave plate 191 to the groove of the transfer concave plate 193 by a capillary phenomenon, and the groove of the transfer concave plate 193 is filled with the molding material. The roller 231 corresponds to the transfer concave plate contact mechanism.

계속해서, 도22의 스텝 S224에 따라서, 도23d에 도시한 바와 같이 도23b의 충전용 오목판(191) 대신에 기판(198)을 설치하고, 도22의 스텝 S225에 따라서, 도23e에 도시한 바와 같이 롤러(231)에 의해 전사용 오목판(193)을 구부림으로써 전사용 오목판(193)과 기판(198)을 부분적으로 접촉시키고, 약간 압박을 가함으로써 전사용 오목판(193)으로부터 기판(198) 상으로 성형 재료를 전사한다. 이 경우의 롤러(231)는 상기 기판 접촉 기구에 해당한다. 도22의 스텝 S223과 스텝 S225 사이에 열풍 송풍이나 자외선 조사 공정을 삽입할 수도 있다. Subsequently, in accordance with step S224 of FIG. 22, as shown in FIG. 23D, a substrate 198 is provided in place of the filling concave plate 191 of FIG. 23B, and in accordance with step S225 of FIG. As described above, the transfer concave plate 193 and the substrate 198 are partially brought into contact with each other by bending the transfer concave plate 193 by the roller 231, and the substrate 198 is transferred from the transfer concave plate 193 by applying a slight pressure. The molding material is transferred onto the phase. The roller 231 in this case corresponds to the substrate contact mechanism. A hot air blowing or ultraviolet irradiation step may be inserted between step S223 and step S225 of FIG.

[제4 실시예][Example 4]

본 예는 충전용 오목판이 원통면형이고, 전사용 오목판이 원통면형으로 구부림 가능한 경우의 성형 재료 전사 장치 및 기판 제조 장치 및 그 사용 방법에 대한 것이다. 도24는 충전용 오목판(191) 그 자체가 원통형이고, 전사용 오목판(193)이 원통면형으로 구부러져 판 본체에 부착되어 있는 경우를 나타내고 있다. 충전용 오목판(191)에는 여분의 성형 재료를 긁기 위한 블레이드(241)가 부설되어 있다. 충전용 오목판으로서는 공업적으로 대량으로 유통되고 있는 그라비아 롤을 활용해도 좋다. 이 조합을 충전용 오목판으로부터 전사용 오목판으로 성형 재료를 이동시켜 충전하기 위해 사용할 수 있다. 예를 들어, 제2, 제3 실시예의 성형 재료 충전 공정 대신에 사용할 수 있다. This example relates to a molding material transfer device, a substrate manufacturing apparatus, and a method of using the same when the filling concave plate is cylindrical and the transfer concave plate is bendable into a cylindrical surface. Fig. 24 shows a case where the filling concave plate 191 itself is cylindrical and the transfer concave plate 193 is bent into a cylindrical shape and attached to the plate body. The filling concave plate 191 is provided with a blade 241 for scraping excess molding material. As the filling concave plate, a gravure roll, which is distributed in large quantities industrially, may be used. This combination can be used to move and fill the molding material from the filling concave plate to the transfer concave plate. For example, it can be used instead of the molding material filling process of the second and third embodiments.

[제5 실시예][Example 5]

본 예는 모세관 현상을 이용한 전사용 오목판에의 성형 재료 충전 후에 전사용 오목판의 표면에 소정의 두께의 성형 재료를 도포하는 경우의 성형 재료 전사 장치 및 기판 제조 장치 및 그 사용 방법에 대한 것이다. 도25는 도포 롤(251) 상의 성형 재료가 전사용 오목판(193)과 접촉함으로써 롤 코팅법에 의해 전사용 오목판 상에 소정의 두께의 성형 재료가 도포되는 모습을 나타내고 있다. 도포 롤(251)이 상기한 성형 재료의 막두께 조정 기구에 해당한다. 롤 코팅법 대신에 슬릿으로부터 재료가 토출되는 슬릿 코팅법 등을 이용하는 것도 가능하다. 이들 방법에서는 일반적으로 성형 재료의 두께의 조절이 용이하다. This example relates to a molding material transfer device, a substrate manufacturing device, and a method of using the same in the case of applying a molding material having a predetermined thickness to the surface of the transfer recess plate after filling the molding material to the transfer recess plate using a capillary phenomenon. Fig. 25 shows how the molding material having a predetermined thickness is applied onto the transfer recess plate by the roll coating method by bringing the molding material on the application roll 251 into contact with the transfer recess plate 193. Figs. The application roll 251 corresponds to the film thickness adjustment mechanism of the above-mentioned molding material. Instead of the roll coating method, it is also possible to use a slit coating method or the like in which material is discharged from the slit. In these methods, it is generally easy to adjust the thickness of the molding material.

또한, 상기에 개시한 내용으로부터 하기의 부기에 도시한 발명을 도출할 수 있다.Moreover, the invention shown in the following appendix can be derived from the content disclosed above.

(부기 1)(Book 1)

평탄한 면 상에 오목부를 갖는 충전용 오목판의 상기 오목부에 페이스트형의 성형 재료를 채우고,A paste-shaped molding material is filled into the recesses of the filling recesses having recesses on the flat surface;

소정 패턴의 홈이 형성되어 있는 전사용 오목판을 상기 충전용 오목판의 면 상에 부분적으로 접촉시키고, 이 접촉 상태에서 모세관 현상에 의해 상기 충전용 오목판의 오목부 내의 성형 재료를 상기 전사용 오목판의 홈 내로 유입시켜 채우고, A transfer recessed plate in which grooves of a predetermined pattern are formed is partially brought into contact with the surface of the filling recessed plate, and the molding material in the recessed portion of the filling recessed plate is formed by the capillary phenomenon in this contact state. Fill it in, fill it,

전사 대상의 기판 상에 상기 전사용 오목판의 홈 내의 성형 재료를 돌기물로서 전사하는 것을 특징으로 하는 성형 재료 전사 방법. A molding material transfer method, wherein a molding material in a groove of the transfer recessed plate is transferred as a projection onto a substrate to be transferred.

(부기 2) (Supplementary Note 2)

상기 충전용 오목판의 오목부 내의 성형 재료를 상기 전사용 오목판의 홈 내로 유입시켜 가득 채운 후, 상기 전사용 오목판의 표면에 원하는 두께의 전사 재료를 도포하는 것을 특징으로 하는 부기 1에 기재된 성형 재료 전사 방법. The molding material transfer according to Appendix 1, wherein a transfer material having a desired thickness is applied to the surface of the transfer recess plate after filling the filling material in the recess of the filling recess plate into the groove of the transfer recess plate. Way.

(부기 3) (Supplementary Note 3)

상기 충전용 오목판의 오목부의 패턴과 상기 전사용 오목판의 홈의 패턴이 위치적으로 대응하는 위치 관계를 포함하는 것을 특징으로 하는 부기 1 또는 부기 2에 기재된 성형 재료 전사 방법. The molding material transfer method according to Supplementary Note 1 or Supplementary Note 2, wherein the filling recessed plate includes a positional relationship in which the pattern of the recessed portion and the groove of the transfer recessed plate correspond to each other.

(부기 4) (Appendix 4)

상기 충전용 오목판의 오목부의 깊이가 상기 전사용 오목판의 홈의 깊이보다도 얕고, The depth of the recess of the filling recess plate is shallower than the depth of the groove of the transfer recess plate,

상기 충전용 오목판의 오목부의 개구 면적이 상기 전사용 오목판의 홈의 개구 면적보다도 넓은 것을 특징으로 하는 부기 1 내지 부기 3에 기재된 성형 재료 전사 방법. The opening area of the recessed part of the said filling recessed plate is larger than the opening area of the groove | channel of the said transfer recessed plate, The molding material transfer method as described in Supplementary notes 1-3 characterized by the above-mentioned.

(부기 5) (Appendix 5)

상기 충전용 오목판의 오목부는 도트형이며 복수개로 이루어지고, 상기 복수 의 도트와 상기 전사용 오목판의 홈의 패턴이 위치적으로 대응하는 관계를 포함하는 부기 1 내지 4 중 어느 하나에 기재된 성형 재료 전사 방법. Transfer of the molding material according to any one of Supplementary Notes 1 to 4, wherein the concave portion of the filling concave plate is formed in a plurality of dots, and includes a relationship in which the plurality of dots and the pattern of the grooves of the transfer concave plate are positioned correspondingly. Way.

(부기 6) (Supplementary Note 6)

상기 충전용 오목판이 평면형 또는 원통면형이고, 상기 전사용 오목판이 원통면형 또는 구부림 가능한 부기 1 내지 5 중 어느 하나에 기재된 성형 재료 전사 방법. The molding material transfer method according to any one of Supplementary Notes 1 to 5, wherein the filling recessed plate is flat or cylindrical, and the transfer recessed plate is cylindrical or bendable.

(부기 7) (Appendix 7)

부기 1 내지 6에 기재된 전사 방법을 포함하는 제조법으로 제조되고, 상기 돌기물이 방전 공간을 구획하기 위한 리브인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 구조체. A plasma display panel substrate structure, wherein the projection is a rib for partitioning a discharge space, wherein the projection is manufactured by a manufacturing method including the transfer method according to supplementary notes 1 to 6.

(부기 8)(Appendix 8)

1 이상의 판 본체와, With one or more board bodies,

충전용 오목판과, Filling recess plate,

상기 판 본체 상에 설치한 전사용 오목판과, A transfer recess plate provided on the plate body;

상기 충전용 오목판과 상기 전사용 오목판을 부분적으로 접촉시키기 위한 전사용 오목판 접촉 기구와, A transfer recess plate contact mechanism for partially contacting the filling recess plate and the transfer recess plate;

성형 재료 경화부와, Molding material curing unit,

필요에 따라서 상기 전사용 오목판 표면 상의 성형 재료의 막두께 조정 기구를 구비한 성형 재료 전사 장치. The molding material transfer device provided with the film thickness adjustment mechanism of the molding material on the said recessed plate surface as needed.

본 발명에 따르면, 돌기물 패턴을 갖는 기판을 제조하기 위한 새로운 신뢰성이 높은 기술을 제공할 수 있다. 그것에다가, 본원을 이용함으로써 충전용 오목부의 홈 이외 또는 전사용 오목부의 홈 이외에 전사 재료가 부착되는 일 없이 전사할 수 있다는 효과를 갖는다. According to the present invention, it is possible to provide a new highly reliable technique for producing a substrate having a projection pattern. In addition, the use of the present application has the effect that the transfer material can be transferred without the attachment of the transfer material other than the groove of the filling recess or the recess of the transfer recess.

Claims (5)

평탄한 면 상에 오목부를 갖는 충전용 오목판의 상기 오목부에 페이스트형의 성형 재료를 채우고, A paste-shaped molding material is filled into the recesses of the filling recesses having recesses on the flat surface; 소정 패턴의 홈이 형성되어 있는 전사용 오목판을 상기 충전용 오목판의 면 상에 충전용 오목판의 오목부와 전사용 오목판의 홈이 중첩되도록 접촉시키고, 이 접촉 상태에서 모세관 현상에 의해 상기 충전용 오목판의 오목부 내의 성형 재료를 상기 전사용 오목판의 홈 내로 유입시켜 가득 채우고, The transfer recessed plate in which the groove of a predetermined pattern is formed is brought into contact with the recessed portion of the filling recessed plate and the groove of the transfer recessed plate so as to overlap the surface of the filling recessed plate, and the filling recessed plate is formed by a capillary phenomenon in this contact state. The molding material in the recess of the inflow into the groove of the transfer recess plate, 전사 대상의 기판 상에 상기 전사용 오목판의 홈 내의 성형 재료를 돌기물로서 전사하는 것을 특징으로 하는 성형 재료 전사 방법. A molding material transfer method, wherein a molding material in a groove of the transfer recessed plate is transferred as a projection onto a substrate to be transferred. 제1항에 있어서, 상기 충전용 오목판의 오목부 내의 성형 재료를 상기 전사용 오목판의 홈 내로 유입시켜 가득 채운 후, 상기 전사용 오목판의 표면에 원하는 두께의 전사 재료를 도포하는 것을 특징으로 하는 성형 재료 전사 방법. 2. The molding according to claim 1, wherein after the molding material in the recess of the filling recess is filled into the groove of the transfer recess, the transfer material having a desired thickness is applied to the surface of the transfer recess. Material transfer method. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 충전용 오목판의 오목부의 패턴과 상기 전사용 오목판의 홈의 패턴이 위치적으로 대응하는 관계를 포함하는 것을 특징으로 하는 성형 재료 전사 방법. The molding material transfer method according to claim 1 or 2, wherein the pattern of the recessed portion of the filling recess plate and the pattern of the groove of the transfer recess plate include a position corresponding to each other. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 충전용 오목판의 오목부의 깊이가 상기 전사용 오목판의 홈의 깊이보다도 얕고, The depth of the recessed part of the said filling recessed plate is shallower than the depth of the groove | channel of the said recessed recessed plate, 상기 충전용 오목판의 오목부의 개구 면적이 상기 전사용 오목판의 홈의 개구 면적보다도 넓은 것을 특징으로 하는 성형 재료 전사 방법. The opening area of the recessed part of the said filling recessed plate is larger than the opening area of the groove | channel of the said transfer recessed plate, The molding material transfer method characterized by the above-mentioned. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 충전용 오목판의 오목부는 도트형이며 복수개로 이루어지고, 상기 복수의 도트와 상기 전사용 오목판의 홈의 패턴이 위치적으로 대응하는 관계를 포함하는 성형 재료 전사 방법. The molding material according to claim 1 or 2, wherein the concave portion of the filling concave plate is formed of a plurality of dots, and includes a relationship in which the plurality of dots and the pattern of the grooves of the transfer concave plate correspond to positions. Transcription method.
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