KR100646101B1 - 평판표시소자 제조장치의 연결구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조장치의 연결구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 일렬로 배치되는 다수 챔버 가운데 어느 특정 챔버의 분리와 조립이 끼움블록의 장탈착에 의해 용이하게 실시될 수 있게 한 평판표시소자 제조장치의 연결구조에 관한 것이다.

즉, 본 발명은 다수개가 일렬로 배치되는 챔버; 상기 챔버 각각의 양쪽 측면에 기판이 반입되고 반출되도록 형성되는 입, 출구 통로마다 각각 마련되되 마주보는 측면이 경사지는 플랜지부; 상기 플랜지부와 마주보는 다른 챔버의 플랜지부 사이마다 삽입하여 그 양쪽 플랜지부에 접촉 고정되는 쐐기 형상의 끼움블록;을 포함하여 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 연결구조를 제공함에 있다.

평판표시소자 제조장치, 챔버, 플랜지부, 끼움블록, 잠금부재

Description

평판표시소자 제조장치의 연결구조{CONNECTION STRUCTURE OF FLAT PANEL DISPLAY MANUFACTURING APPARATUS}

도 1은 종래에 따른 평판표시소자 제조장치의 연결구조를 도시한 측면도이다.

도 2는 도 1의 "A" 부분을 확대 도시한 단면도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 연결구조를 도시한 측면도이다.

도 4는 도 3의 "B" 부분을 확대 도시한 분리사시도이다.

도 5는 도 4의 단면도이다.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

110 : 챔버 112 : 입구 통로

114, 118 : 플랜지부(Flange) 116 : 출구 통로

120 : 거치대 130 : 끼움블록

132 : 잠금부재 O : 오링(O-ring)

본 발명은 평판표시소자 제조장치의 연결구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 일렬로 배치되는 다수 챔버 가운데 어느 특정 챔버의 분리와 조립이 용이할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치의 연결구조에 관한 것이다.

최근 정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광받고 있다. 이러한 평판표시소자로는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 대표적이다.

종래의 평판표시소자 제조장치의 연결구조는 도 1에 도시된 바와 같이 일렬로 배치되는 다수개의 챔버(10)가 거치대(20)에 거치된 상태로 구비되며, 각각의 챔버(10)는 기판(도면에 미도시)이 반입되는 입구 통로(12)와 타 공정을 진행하기 위해 이웃한 챔버(10)로 반출하기 위한 출구 통로(16)가 연결되도록 마련된다.

상기 입구 통로(12)에는 그 입구 통로(12)보다 면적이 큰 플랜지부(14)가 마련되고, 상기 출구 통로(16)에는 그 출구 통로(16)보다 면적이 큰 플랜지부(18)가 마련된다.

여기서, 어느 한 챔버(10)에 구비되는 입구 통로(12) 측의 플랜지부(14)와, 상기 챔버(10)와 근접한 다른 챔버(10)에 구비되는 출구 통로(16) 측의 플랜지부(18)는 서로 수직 방향으로 평행한 상태로 접촉하여 내부가 통하게 되며, 그 접촉면에는 기밀을 유지하기 위한 오링(O)이 사이에 개입되고 볼트와 너트에 의해 상호 체결하였다. (도 2 참조)

그리고 상기 챔버(10)의 입구 통로(12)마다 게이트 밸브(Gate valve : G)가 마련되며, 상기 게이트 밸브(G)는 각각의 챔버(10)를 개방하고 폐쇄하는 기능을 한다.

그러나 다수 챔버(10) 중 양쪽 끝 부분에 위치한 각각의 챔버(10)는 그 챔버(10)의 유지 보수가 불가피할 경우 분리 및 장착이 용이하지만, 중간에 설치된 챔버(10)는 수직 방향으로 평행한 플랜지부(14, 18)가 접촉한 상태로 위치 고정되어 있어 분리 및 장착이 용이하지 않으며, 불가피하게 중간에 개입된 챔버(10)를 분리 및 장착할 경우 각각 수직 방향으로 평행한 플랜지부(14, 18)의 접촉면에 마련되는 오링(O)이 분리하는 챔버(10)의 플랜지부(14, 18)에 의해 쉽게 손상되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 일렬로 배열되는 다수 챔버 중 중간부에 개입된 챔버의 유지 보수시 그 챔버의 분리와 장착이 용이한 평판표시소자 제조장치의 연결구조를 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 다수개가 일렬로 배치되는 챔버; 상기 챔버 각각의 양쪽 측면에 기판이 반입되고 반출되도록 형성되는 입, 출구 통로마다 각각 마련되되 마주보는 측면이 경사지는 플랜지부; 상기 플랜지부와 마주보는 다른 챔버의 플랜지부 사이마다 삽입하여 그 양쪽 플랜지부에 접촉 고정되는 쐐기 형상의 끼움블록;을 포함하여 마련됨으로써, 각각의 챔버마다 구비되는 입, 출구 통로마다 경사진 상태로 마련되는 플랜지부와 그 플랜지부와 마주보는 다른 챔버의 경사진 플랜지부와의 사이에 각각의 플랜지부와 경사 방향이 다르도록 경사를 갖는 끼움블록을 개입하여 그 끼움블록의 분리 또는 장착할 경우 용이하게 실시되므로 바람직하다.

또한, 본 발명에서의 끼움블록은, 세로 길이 방향으로 연장되고 중앙부가 너비 방향으로 관통 형성되며, 그 단면 형상이 하부 방향으로 갈수록 간격이 좁아지는 역 사다리꼴 또는 상부 방향으로 갈수록 간격이 좁아지는 사다리꼴 중 어느 하나의 형상으로 형성되므로 바람직하다.

또한, 본 발명에서의 끼움블록과 플랜지는 접촉하며, 끼움블록의 양쪽면 또는 플랜지의 외측면 중 적어도 어느 하나에 기밀을 유지하는 오링(O-ring)이 각각 더 구비됨으로써, 일렬로 정렬되는 각각의 챔버와 챔버와의 기밀을 유지하므로 바람직하다.

또한, 본 발명에서의 플랜지부와 마주보면서 접하는 다른 플랜지부에 잠금부재가 삽입되며, 상기 잠금부재는 단면형상이 "ㄷ" 자로 형성되고 그 잠금부재를 수직방향에서 볼트에 의해 끼움블록에 고정됨으로써, 이웃한 챔버를 그 챔버마다 마련되는 플랜지부의 고정력을 상승시키므로 바람직하다.

이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치의 연결구조를 첨부도면을 참조하여 일 실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 연결구조는 도 3에 도시된 바와 같이 인-라인(In-line) 형태로 다수개의 평판표시소자 제조장치인 챔버(110)가 배열되며, 각각의 챔버(110)에는 기판(도면에 미도시)이 외부의 운송수단(도면에 미도시)에 의해 챔버(110) 내부로 반입되거나 이웃한 타 챔버(110)로 반출되는 입구 통로(112)와 출구 통로(116)가 각각 마련된다.

상기 챔버(110)의 저면 각각에는 그 챔버(110)를 이동하고 위치 고정하도록 거치대(120)가 구비된다.

상기 챔버(110) 각각의 입구 통로(112)에는 게이트 밸브(Gate valve : G)가 마련되며, 이러한 게이트 밸브(G)는 각각의 입구 통로(112)를 개폐하여 챔버(110)와 이웃한 챔버(110)를 개방하고 폐쇄하는 기능을 한다.

그리고 상기 입구 통로(112)와 출구 통로(116)에는 적정 각도의 경사면이 형성되는 플랜지부(114, 118)가 구비되며, 상기 입, 출구 통로(112, 116)의 내부는 기판이 통과할 수 있도록 그 기판의 세로 길이 보다 길게 형성된다.

상기 플랜지부(114, 118)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 아래쪽으로 갈수록 폭이 넓어지며, 입, 출구 통로(112, 116)와 연결되도록 내부가 중공 형성된다.

상기 끼움블록(130)은 세로 길이 방향으로 연장되고 중앙부가 너비 방향으로 관통 형성되어 그 내부에서 기판이 걸림 없이 이동할 수 있으며, 단면 형상이 아래쪽으로 갈수록 간격이 좁아지는 역 사다리꼴 형상인 쐐기 형태로 마련된다.

여기서, 상기 끼움블록(130)은 상방으로 갈수록 간격이 좁아지는 사다리꼴 형상으로 형성될 수 있으며, 그 끼움블록(130)이 사이에 삽입되는 플랜지부(118, 114)의 경사면 또한 상방으로 갈수록 간격이 좁아지도록 형성될 수 있다.

즉, 상기 플랜지부(114, 118)의 경사면 사이에 끼워지는 끼움블록(130)이 이 플랜지부(114, 118)의 경사면 각도와 엇각으로 마련되어 상기 끼움블록(130)의 사이각은 플랜지부(114, 118)의 경사면 각도의 두 배가 되는 것이다. 그리고 상기 끼움블록(130)의 사이각은 예각 범위 안에서 형성된다.

그리고 상기 플랜지부(114, 118)의 경사면 가장자리를 따라 각각 홈을 형성하고 그 홈에 기밀을 유지하는 오링(O)을 삽입하여 양쪽 플랜지부(114, 118)와 이 플랜지부(114, 118)에 개입되어 고정되는 끼움블록(130)과의 기밀을 유지하게 된다.

한편, 도면에는 도시하지 않았지만 상기 오링(O)은 플랜지부(114, 118)에 접하는 끼움블록(130)의 양쪽 접촉면에 각각 홈을 형성하고 그 홈에 마련될 수 있다.

여기서, 상기 플랜지부(114, 118)는 끼움블록(130)의 폭 만큼 이격된 상태로 구비되며, 끼움블록(130)쪽으로 다수개의 볼트를 체결하여 고정한다.

상기 잠금부재(132)는 단면 형상이 "ㄷ"자 형상으로 형성되며, 상기 양쪽 플랜지부(114, 118)의 폭과 그 플랜지부(114, 118)의 사이에 개입되는 끼움블록(130)의 폭과 합친 길이를 상기 플랜지부(114, 118)의 양쪽면에서 견고하게 고정할 수 있도록 하는 기능을 하며, 굽혀진 양쪽 내측면은 단차가 형성되어 플랜지부(114, 118)와 끼움블록(130)의 외주면에 간격을 갖도록 단차진 면이 플랜지부(114, 118)의 양쪽에 끼워진다.

그리고 상기 잠금부재(132)는 플랜지부(114, 118)의 가로 방향으로 적어도 2개가 고정되고, 세로 방향으로 적어도 하나가 구비되며, 그 각각의 잠금부재(132)를 볼트 체결에 의해 끼움블록(130)에 견고하게 고정한다.

결국, 상기 플랜지부(114, 118)의 사이에 삽입되는 끼움블록(130)은 그 플랜지부(114, 118)에서 다수개의 볼트에 의해 1차 고정되고, 상기 잠금부재(132)에 의해 2차 고정되어 이 끼움블록(130)이 플랜지부(114, 118)에 더욱 견고하게 고정되는 것이다.

여기서, 도면에는 도시하지 않았지만 클러스터(Cluster) 형태의 평판표시소자 제조장치에도 사용될 수 있다.

그러므로 본 발명의 평판표시소자 제조장치의 연결구조는 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이 다수 챔버(110)가 일렬로 배열되는 각각의 챔버(110)마다 기판이 반입되고, 타 챔버(110)로 이동하여 다른 공정을 실시하거나 공정 완료된 기판을 외부로 반출할 수 있도록 입구 통로(112)와 출구 통로(116)가 각각 형성되며, 최선단에 마련되는 챔버(110)의 출구 통로(116)에 플랜지부(118)가 마련되고 그 플랜지부(118)와 내부적으로 통할 수 있도록 다른 챔버(110)의 입구 통로(112)에 구비되는 플랜지부(114) 사이에 끼움블록(130)이 고정된다.

그리고 외부에 별도로 마련되는 운송수단에 의해 최선단에 구비되는 챔버(110) 내부로 기판을 반입하게 되면 각각의 챔버(110)마다 공정을 수행한 후 최후단에 구비되는 챔버(110)의 출구 통로(116)를 통해 기판을 외부로 반출하게 된다.

여기서, 일렬로 배치되는 다수 챔버(110) 중 중간 지점에 마련되는 챔버(110)의 유지 보수가 필요할 경우에 이웃한 다른 챔버(110)에서 유지 보수할 챔버(110)를 분리한 후 유지 보수하고 재조립하여야 하며, 특정 챔버(110)의 분리시 우선, 분리할 챔버(110)의 입구 통로(112)에 마련되는 플랜지부(114)와, 이웃한 챔버(110)의 출구 통로(116)에 마련되는 플랜지부(118)와의 사이에 고정되는 끼움블록(130)에 볼트 체결된 다수개의 잠금부재(132)를 분리해야 하며, 상기 잠금부재(132)를 끼움블록(130)에 고정하기 위한 체결 볼트를 모두 분리한 다음 상기 플랜지부(118, 114)에서 끼움블록(130)을 고정하기 위해 체결한 볼트를 분리하고 상기 끼움블록(130)을 플랜지부(118, 114)로부터 이탈시킨다.

그 후, 상기 끼움블록(130)은 테이퍼(Taper) 형상이고 양쪽 플랜지부(118, 114)는 끼움블록(130)의 한 쪽면의 경사각과 엇각의 경사면으로 형성되어 상기 끼움블록(130)에 약간의 힘을 가하면 분리가 용이하게 된다.

이때, 어느 한 챔버(110)의 출구 통로(116)에 마련되되 경사면을 갖는 플랜지부(118)와, 그와 이웃한 다른 챔버(110)의 입구 통로(112)에 마련되되 경사면을 갖는 플랜지부(114)에는 양쪽면이 경사진 끼움블록(130)이 개입되며, 양쪽 플랜지부(118, 114)에서 끼움블록(130) 분리시 이 끼움블록(130)이 플랜지부(118, 114)에 전체 접촉하고 있다가 끼움블록(130)을 상부쪽으로 약간의 힘을 가하면 이 끼움블 록(130)의 분리가 용이하게 실시되며, 상기 플랜지부(118, 114)의 경사면에 구비되는 각각의 오링(O) 또한 손상 없이 끼움블록(130)의 분리가 가능하게 된다.

이와 마찬가지로 분리하고자 하는 어느 한 챔버(110)의 출구 통로(116)에 마련되는 플랜지부(118)와, 이웃한 챔버(110)의 입구 통로(112)에 마련되는 플랜지부(114) 사이에서 고정되는 끼움블록(130)을 양쪽 플랜지부(118, 114)에 견고하게 고정하는 다수개의 잠금부재(132) 또한 상술한 방법으로 분리한 후 끼움블록(130)을 분리한다.

역으로, 유지 보수한 챔버(110)를 원위치로 복귀할 경우에는 양쪽에서 이웃한 챔버(110)의 출구 통로(116)에 구비되는 플랜지부(118)와, 다른 챔버(110)의 입구 통로(112)에 구비되는 플랜지부(114)의 사이에 유지 보수한 챔버(110)의 입, 출구 통로(112, 116)에 구비되는 플랜지부(114, 118)의 중심과 양 간격을 맞춘 다음 어느 한쪽부터 끼움블록(130)을 삽입한 후 다른 쪽에 끼움블록(130)을 삽입하게 된다.

이때, 양쪽 플랜지부(118, 114)의 사이에 삽입하는 끼움블록(130)은 하방으로 갈수록 간격이 좁아지고 양쪽 플랜지부(118, 114)는 상방으로 갈수록 간격이 넓어지므로 이 끼움블록(130)이 양쪽 플랜지부(118, 114)에 진입할 때는 접촉하지 않다가 상기 끼움블록(130)의 하단이 플랜지부(118, 114)의 하단에 위치될 때 이 끼움블록(130)의 양쪽면이 플랜지부(118, 114)의 양쪽 경사면에 거의 접촉하게 되며, 약간의 힘을 끼움블록(130)에 가하면 상기 플랜지부(118, 114)에 끼움블록(130)이 견고하게 고정되면서 서로 일직선상에 위치된다.

한편, 상기 플랜지부(118, 114)에 구비되는 오링(O)은 끼움블록(130)이 이 플랜지부(118, 114)의 하단에 위치되면 끼움블록(130)의 양쪽면이 접하므로 손상이 최소화된다.

그 후, 원상 복귀할 챔버(110)의 양쪽에 끼움블록(130)을 삽입하여 고정한 다음 각각의 플랜지부(118, 114)에서 다수개의 볼트로 끼움블록(130)을 체결하고 상기 플랜지부(118, 114)의 둘레면에 다수개의 잠금부재(132)를 볼트에 의해 끼움블록(130)에 견고히 고정한다.

이와 같은 본 발명의 평판표시소자 제조장치의 연결구조는 일렬로 배치되는 다수 챔버마다 그 챔버의 입, 출구 통로에 경사면을 갖는 플랜지부가 각각 구비되되 경사면을 갖는 플랜지부 사이에 상기 플랜지부의 경사면과 엇각의 두 배인 사이각을 갖는 쐐기 형태의 끼움블록을 삽입하고 플랜지부 양쪽에서 다수 볼트로 고정한 다음 양쪽 플랜지부를 잡아주면서 끼움블록에 볼트 체결하는 잠금부재에 의해 견고하게 고정됨으로써, 다수 챔버 중 중간부에 위치된 특정 챔버의 유지 보수시 분리 및 장착시 끼움블록의 장탈착에 의해 용이하게 실시되는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 다수개가 일렬로 배치되는 챔버;

   상기 챔버 각각의 양쪽 측면에 기판이 반입되고 반출되도록 형성되는 입, 출구 통로마다 각각 마련되되 마주보는 측면이 경사지는 플랜지부;

   상기 플랜지부와 마주보는 다른 챔버의 플랜지부 사이마다 삽입하여 그 양쪽 플랜지부에 접촉 고정되는 쐐기 형상의 끼움블록;을 포함하여 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 연결구조.
2. 제 1항에 있어서, 상기 끼움블록은,

   세로 길이 방향으로 연장되고 중앙부가 너비 방향으로 관통 형성되며, 그 단면 형상이 하부 방향으로 갈수록 간격이 좁아지는 역 사다리꼴 또는 상부 방향으로 갈수록 간격이 좁아지는 사다리꼴 중 어느 하나의 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 연결구조.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 끼움블록의 양쪽면 또는 플랜지의 외측면 중 적어도 어느 하나에 기밀을 유지하는 오링(O-ring)이 각각 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 연결구조.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 플랜지부와 마주보면서 접하는 다른 플랜지부에 잠금부재가 삽입되며, 상기 잠금부재는 단면형상이 "ㄷ" 자로 형성되고 그 잠금부재를 수직방향에서 볼트에 의해 끼움블록에 고정하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 연결구조.

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