KR100643143B1 - Manufacturing method of silicon carbide from rice hull and rice straw - Google Patents
Manufacturing method of silicon carbide from rice hull and rice straw Download PDFInfo
- Publication number
- KR100643143B1 KR100643143B1 KR1020050024392A KR20050024392A KR100643143B1 KR 100643143 B1 KR100643143 B1 KR 100643143B1 KR 1020050024392 A KR1020050024392 A KR 1020050024392A KR 20050024392 A KR20050024392 A KR 20050024392A KR 100643143 B1 KR100643143 B1 KR 100643143B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- rice
- silicon carbide
- straw
- rice straw
- hours
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
- G01V8/00—Prospecting or detecting by optical means
- G01V8/10—Detecting, e.g. by using light barriers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geophysics (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
본 발명은 실리콘카바이드를 제조하는 방법에 있어서,The present invention provides a method for producing silicon carbide,
수세, 건조시킨 왕겨를 산화분위기에서 300~600℃에서 연소시켜 얻은 재를 분쇄하여 분말크기 1㎜이하의 분말을 얻고, 수세·건조시킨 볏짚을 환원분위기에서 200~550℃에서 탄화시켜 얻은 재를 분쇄하여 분말크기 1㎜ 이하의 분말을 얻은 후 상기 왕겨재 50~80중량%와 볏짚재 20~50중량%를 혼합한 혼합물을 750~1200℃에서 3~13시간 소결시키고 이를 300~600℃에서 1~3시간 방치한 후 분쇄, 선별하여 실리콘카바이드를 얻는 왕겨와 볏짚을 원료로 하는 실리콘카바이드의 제조방법에 관한 것이다.The ash obtained by burning the washed and dried rice husk at 300 ~ 600 ℃ in an oxidizing atmosphere is pulverized to obtain a powder having a powder size of 1 mm or less, and the ash obtained by carbonizing washed and dried rice straw at 200 ~ 550 ℃ in a reducing atmosphere. After pulverizing to obtain a powder having a powder size of 1 mm or less, the mixture of 50 to 80% by weight of rice hulls and 20 to 50% by weight of rice straw was sintered at 750 to 1200 ° C. for 3 to 13 hours and then at 300 to 600 ° C. It relates to a method for producing silicon carbide as a raw material of rice husk and rice straw obtained by grinding, screening and silicon carbide after leaving for 1 to 3 hours.
본 발명의 방법은 쌀을 생산하는 과정에서 부산물로 함께 얻어지는 입수가 용이한 왕겨와 볏집만을 이용하여 고순도의 실리콘카바이드를 제조할 수 있는 효과가 있다.The method of the present invention has the effect of producing a high-purity silicon carbide using only chaff and rice hulls easily obtained as a byproduct in the process of producing rice.
실리콘카바이드, 왕겨, 볏짚, 실리카, 탄소Silicon Carbide, Chaff, Rice Straw, Silica, Carbon
Description
도 1은 본 발명에 의해 제조된 실리콘카바이드의 반응 온도별 결정구조를 도시한 그래프이다.1 is a graph showing the crystal structure of the reaction temperature of the silicon carbide produced by the present invention.
도 2는 본 발명에 의한 왕겨와 볏짚을 이용해 제조한 실리콘카바이드의 XRD 분석결과를 나타낸 그래프이다.Figure 2 is a graph showing the XRD analysis results of silicon carbide prepared using rice husk and rice straw according to the present invention.
본 발명은 왕겨와 볏짚을 원료로하는 실리콘카바이드(silicon carbide)의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for producing silicon carbide (silicon carbide) from the rice husk and rice straw.
실리콘카바이드는 실리카(Si)와 탄소(C) 성분이 1:1의 몰비로 구성되어 있는 물질로서 내열성, 내약품성, 내마모성이 우수하여 반도체 제조장치용 부품, 전자 정보기용 부품, 연마재 등 여러 분야에서 널리 사용되고 있는 회색의 결정체이다. Silicon carbide is composed of silica (Si) and carbon (C) in a molar ratio of 1: 1. It is excellent in heat resistance, chemical resistance, and abrasion resistance, so it is widely used in various fields such as semiconductor manufacturing equipment parts, electronic information parts, and abrasives. It is a gray crystal widely used.
실리콘카바이드(SiC)는 오래전부터 사용되어 왔고 제조방법도 많이 알려져 있다.Silicon carbide (SiC) has been used for a long time and many manufacturing methods are known.
그중 가장 대표적인 것으로서는 고순도의 규석(SiO2)과 코크스(C)를 1800~1900℃로 가열 반응시켜 제조하는 방법(SiO2 + 3C → SiC + 2CO)이 있다.The most representative of them is a method of manufacturing a high-purity silica (SiO 2 ) and coke (C) by heating the reaction at 1800 ~ 1900 ℃ (SiO 2 + 3C → SiC + 2CO).
그러나 이 방법은 고가의 원료를 사용하고, 고온에서 장시간의 반응이 필요하므로 제조비용이 높다는 문제가 있다.However, this method uses expensive raw materials and requires a long time reaction at a high temperature, thus causing a problem of high manufacturing cost.
또다른 방법으로는 반도체 산업에서 실리콘 단결정 웨이퍼를 절삭 가공할 때 부생되는 실리카 분말과 카본블랙 분말을 혼합하여 봉상(棒狀)으로 만들고 이를 산화분위기 중에서 950℃에서 1시간 가열하거나 질소분위기 중에서 1000℃에서 4시간 가열하여 실리콘카바이드를 제조하는 방법이 알려져 있다.(대한민국공개특허 공개번호 특2002-0086790호) 그 밖에도 비닐실란, 비닐디실란과 같은 규소함유 고분자 화합물을 성형한 후 소성하여 실리콘카바이드를 제조하는 방법이 제안된 바 있다(대한민국특허공보 공고번호 특1991-0008295호). 상기한 방법들은 고가의 원료를 사용하거나 고온에서 장시간 반응시켜야 하므로 제조비용이 높다는 문제가 있다.In another method, in the semiconductor industry, silica powder and carbon black powder which are by-products when cutting silicon single crystal wafers are mixed to form rods, which are heated at 950 ° C. for 1 hour in an oxidizing atmosphere or 1000 ° C. in a nitrogen atmosphere. A method for producing silicon carbide by heating for 4 hours is known. (Korean Patent Laid-Open Publication No. 2002-0086790) In addition, a silicon carbide polymer is molded by molding a silicon-containing polymer compound such as vinylsilane and vinyldisilane. The manufacturing method has been proposed (Korean Patent Publication No. 1991-0008295). The above methods have a problem in that manufacturing costs are high because they require expensive raw materials or need to be reacted at a high temperature for a long time.
따라서 이 분야에서는 비교적 낮은 제조비용으로 실리콘카바이드를 제조할 수 있는 방법의 개발이 요구되고 있다. Therefore, there is a need in the art for the development of a method for producing silicon carbide at a relatively low manufacturing cost.
본 발명의 목적은 쌀을 생산하는 과정에서 농가부산물로 함께 부생되는 왕겨와 볏짚을 원료로 하여 실리콘카바이드를 제조하는 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명자는 일반적으로 실리콘카바이드가 규석과 같은 규산질성분(SiO2)과 코크스(cokes) 등의 탄소성분을 고온에서 소성하여 제조되는데 왕겨에는 실리콘성분(SiO2)이 다량함유되어 있고, 볏짚은 주로 탄소성분으로 구성되어 있는 점에 착안하여, 농가에서 쌀수확시 부산물로 함께 얻어지는 왕겨와 볏짚만으로 고순도 실리콘카바이드를 제조할 수 있는 것을 확인하여 본 발명을 완성하게 되었다.An object of the present invention is to provide a method for producing silicon carbide using as raw material rice husk and rice straw by-produced as a farm by-product in the process of producing rice.
The inventors of the present invention generally silicon carbide is produced by firing a carbon component such as siliceous component (SiO 2 ) and cokes (cokes) such as silica, the chaff contains a large amount of silicon component (SiO 2 ), rice straw mainly Focusing on the carbon component, it was confirmed that high purity silicon carbide can be produced using only rice husk and rice straw obtained as a by-product when rice is harvested in a farm.
삭제delete
본 발명은 왕겨와 볏짚을 원료로하는 실리콘 카바이드의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for producing silicon carbide based on rice husk and rice straw.
도정공장에서 벼를 찧어 쌀을 생산하는 과정에서 벼에서 벗겨낸 껍질을 왕겨(rice hull)라하며, 벼에서 이삭을 떨어낸 줄기를 볏짚(rice traw)이라고 한다.Rice hulls peeled from rice during rice production at rice mills are called rice hulls, and stems from which rice is removed are called rice traw.
왕겨는 산지에 따라 차이가 있기는 하지만 수분을 제외한 일반적인 조성은 다음과 같다.Chaff varies depending on the region, but the general composition excluding moisture is as follows.
지질 : 약 3wt%Lipid: About 3wt%
셀룰로오스 : 약 33wt%Cellulose: about 33wt%
규산질(SiO2) : 약 23wt%Silicate (SiO 2 ): about 23wt%
펜토산 : 약 24wt%Pentosan: About 24wt%
기타 : 약 17wt%Others: about 17wt%
볏짚은 왕겨에 비하여 규산질성분이 매우 적고 셀룰로오스 성분은 높다. Rice straw has very low siliceous content and high cellulose content compared to rice husk.
일반적으로 왕겨와 볏짚은 벼이삭을 탈곡시킨 후 함께 생성되는 것으로 해마다 많은량이 발생되고 있으나 활용도는 매우 낮으며 아주 제한적으로 퇴비, 버섯재배용 배지, 사료, 축사에 사용되며 발생량의 대부분이 폐기물로 농가에서 버려지고 있는 실정이다.Generally, rice husk and rice straw are produced together after threshing rice ears, and a large amount is generated each year, but the utilization is very low, and the utilization is very limited and used for compost, mushroom cultivation medium, feed, and barn. It is being abandoned.
그러나 왕겨는 섬유소와 리그닌 같은 탄소 성분과 규소 성분인 SiO2를 천연 상으로 함유하고 있어, 이로부터 실리콘카바이드의 원료가 될 수 있는 실리카(SiO2)를 얻을 수 있다.
볏짚은 소량의 실리카와 함께 주로 셀룰로오스로 구성되어 있어 이로부터 실리콘카바이드의 원료가 될 수 있는 탄소성분과 소량의 실리카성분을 얻을 수 있다.However, chaff contains carbon components such as cellulose and lignin and SiO 2 , which is a silicon component, in a natural phase, and thus silica (SiO 2 ), which can be a raw material of silicon carbide, can be obtained.
Rice straw is mainly composed of cellulose together with a small amount of silica, thereby obtaining a carbon component and a small amount of silica that can be a raw material of silicon carbide.
이러한 왕겨와 볏짚을 이용하여 실리콘카바이드를 제조할 경우, 특히 왕겨의 경우 실리콘카바이드 화학성분인 실리카와 탄소 성분의 이미 자연물 상태에서 결합을 하고 있어 반응이 용이 하였으며, 이 두 물질(왕겨와 볏짚)은 종래의 실리콘카바이드의 원료에 비해 거의 불순물이 없고 함께 구할 수 있는 것이어서 제조비용적인 측면에서 매우 경제적이며, 여기에서 얻어지는 실리카, 탄소 분말은 매우 미분이므로 비교적 낮은 온도에서 실리콘카바이드를 얻을 수 있었으며, 종래의 폐 실리콘 이용공정과 같은 별도의 원료 가압 성형 공정 없이 바로 제조에 사용하여도 실리콘카바이드의 반응성이 우수하였다.In the case of preparing silicon carbide using chaff and rice straw, especially in the case of rice husk, the reaction of the silicon carbide chemicals, silica and carbon, is already performed in the natural state, and the reaction was easy.The two materials (chaff and rice straw) Compared with the raw material of the conventional silicon carbide, there is almost no impurity and can be obtained together, so it is very economical in terms of manufacturing cost.Since the silica and carbon powder obtained therefrom are very fine, silicon carbide can be obtained at a relatively low temperature. The silicon carbide was excellent in reactivity even when used directly for production without a separate raw material press molding process such as waste silicon utilization process.
본 발명에서는 왕겨와 볏짚의 성분적인 특성을 이용하여, 경제적이면서도 간단한 공정으로 고순도의 실리콘카바이드를 제조할 수 있었다.In the present invention, using the characteristics of the chaff and rice straw, it was possible to manufacture high-purity silicon carbide in an economical and simple process.
이하 실시예를 들어 본 발명을 구체적으로 설명한다.The present invention will be described in detail with reference to the following Examples.
실시예Example
<왕겨를 이용하여 실리카 원료를 얻는 단계><Step of obtaining silica raw material using chaff>
왕겨를 수집하여 수세 후 잘 건조하여 산화 분위기(공기중에서)에서 고온으로 가열하여 연소시켜 왕겨 재(灰)를 얻는다. 이재중에는 소량의 탄소성분과 다량의 실리카 성분이 함유되어 있다. 방냉한 이 물질은 1㎜ 이하로 분쇄한다.
왕겨를 산화분위기 중에서 연소시켜주는 이유는 왕겨중의 셀룰로오스등 실리카성분 이외의 성분을 연소시켜주기 위한 것이다.The rice husks are collected, dried well after washing with water, heated to a high temperature in an oxidizing atmosphere (in air) and burned to obtain rice husk ash. This material contains a small amount of carbon and a large amount of silica. This cooled material is ground to 1 mm or less.
The reason for burning rice hulls in an oxidizing atmosphere is to burn ingredients other than silica such as cellulose in rice hulls.
상기와 같은 과정으로 왕겨와 볏짚으로부터 얻어진 재의 조성은 하기 표1및 표2에 기재한 바와 같다. 표 1은 환원 분위기 중에서 500℃에서 5시간 탄환시켜 얻은 재의 조성을 나타낸 것이다. 이때 탄화온도는 300~600℃가 적당하여 산화시간은 온도에 따라 2~6시간 소요된다.The ash composition obtained from the rice husk and rice straw by the same process as described in Table 1 and Table 2 below. Table 1 shows the composition of the ash obtained by bullet at 500 ° C. for 5 hours in a reducing atmosphere. At this time, the carbonization temperature is 300 ~ 600 ℃ is suitable, the oxidation time takes 2 ~ 6 hours depending on the temperature.
<볏짚을 이용하여 탄소 원료를 얻는 단계><Step of obtaining carbon raw material using rice straw>
볏짚을 수집하여 수세 후 건조하여 약 30㎝길이로 절단하고, 환원분위기에서 고온으로 가열 소성하여 다량의 탄소성분과 미량의 실리카 성분이 함유된 재를 얻는다. 이 물질을 1㎜ 이하로 분쇄한다.
볏짚을 환원분위기 중에서 가열·소성시켜주는 이유는 산화분위기 중에서는 볏짚이 연소되므로 탄소성분을 소량밖에는 얻을 수 없게 되나 환원분위기 중에서 소성시켜주게 되면 탄화되기 때문이다.
산화분위기 중에서 볏짚을 소성한 경우와 환원분위기 중에서 왕겨를 소성한 경우 얻어지는 재의 소성을 [표 1] 및 [표 2]에 참고로 기재하였다.The straw is collected, washed with water, dried, cut to about 30 cm in length, and calcined by heating at a high temperature in a reducing atmosphere to obtain ash containing a large amount of carbon and a small amount of silica. This material is ground to 1 mm or less.
The reason why rice straw is heated and fired in a reducing atmosphere is that rice straw is burned in an oxidizing atmosphere, so only a small amount of carbon is obtained, but it is carbonized when fired in the reducing atmosphere.
The firing of the rice straw in the oxidizing atmosphere and the burning of the rice hull in the reducing atmosphere are described in Tables 1 and 2 by reference.
상기와 같은 과정으로 볏짚으로 부터 얻어진 재의 조성은 하기 표1및 표2에 기재한 바와 같다. 표 2는 산화분위기 중에서 500℃에서 5시간 탄화시켜 얻은 재의 조성을 나타낸 것이다. 이때 탄화온도는 200~550℃가 적당하며 탄화시간은 온도에 따라 3~6시간 소요된다.The composition of the ash obtained from the straw in the same manner as described above is as described in Table 1 and Table 2. Table 2 shows the ash composition obtained by carbonization at 500 ° C. for 5 hours in an oxidizing atmosphere. The carbonization temperature is suitable 200 ~ 550 ℃ and the carbonization time is 3 ~ 6 hours depending on the temperature.
[표 1] 환원분위기 중에서 탄화시켜 얻은 재의 조성 (단위 : 중량%)[Table 1] Composition of ash obtained by carbonization in reducing atmosphere (Unit: wt%)
[표 2] 산화분위기 중에서 탄화시켜 얻은 재의 조성 (단위 : 중량%)[Table 2] Composition of ash obtained by carbonization in an oxidizing atmosphere (Unit: wt%)
<실리콘카바이드의 제조><Production of Silicon Carbide>
[표 1]에 기재된 왕겨재 60g과 [표 1]에 기재된 볏짚재 20g을 혼합하여 950℃에서 6시간 소결한 후 450℃에서 90분간 방치시켜 회색괴상의 결정 30g을 얻었다. 여기에서 얻은 작은괴상의 결정을 분쇄하여 분말을 얻었다. 이 분말을 분석해 본 결과 순도 97%의 실리콘카바이드인 것을 확인할 수 있었다.60 g of rice hulls listed in [Table 1] and 20 g of rice straw materials shown in [Table 1] were mixed and sintered at 950 ° C. for 6 hours, and left at 450 ° C. for 90 minutes to obtain 30 g of gray mass crystals. The small mass crystals obtained here were pulverized to obtain a powder. Analysis of this powder confirmed that it was silicon carbide with a purity of 97%.
상기 [표 1]및 [표 2]에 나타낸 바와 같이 산화분위기에서 얻어진 왕겨재에는 실리콘 성분이 다량 함유되어 있고 환원분위기에서 얻어진 볏짚재에는 주로 탄소성분으로 구성되어 있다. 또한 산화분위기 중에서 얻어진 재에서는 탄소성분의 함량이 비교적 적다. 따라서 실리콘 성분과 탄소성분이 1:1의 당량비를 구성하도록 이들을 조합하여 실리콘카바이드의 원료로 사용할 필요가 있다. 실리콘 성분과 탄소성분의 당량비를 1:1로 구성시켜 주기 위해서는 실리콘성분(SiO2) 60중량부와 탄소성분(C) 12중량부의 비율이 유지되어야 한다.As shown in [Table 1] and [Table 2], the rice hull obtained in the oxidizing atmosphere contains a large amount of silicon components, and the straw straw obtained in the reducing atmosphere mainly consists of carbon components. In addition, the ash content obtained in the oxidizing atmosphere has a relatively low carbon content. Therefore, it is necessary to use them as a raw material of silicon carbide by combining them so that the silicon component and the carbon component constitute an equivalent ratio of 1: 1. In order to make the equivalent ratio of the silicon component and the carbon component 1: 1, the ratio of 60 parts by weight of the silicon component (SiO 2 ) and 12 parts by weight of the carbon component (C) should be maintained.
원료는 재의 조성내용에 따라 왕겨재 50~80중량부와 볏짚재 20~25중량부를 혼합하여 사용할 수 있다. 소결공정은 750~1200℃에서 3~13시간 소요되며 방냉처리는 300~600℃에서 1~3시간 소요된다.The raw material may be used by mixing 50 to 80 parts by weight of rice hulls and 20 to 25 parts by weight of rice straw according to the composition of the ash. The sintering process takes 3 ~ 13 hours at 750 ~ 1200 ℃ and the cooling treatment takes 1 ~ 3 hours at 300 ~ 600 ℃.
도 1은 왕겨와 볏짚을 환원분위기 중에서 500℃로 5시간 회화 후 얻은 원료를 60:40중량비로 혼합하고 950℃에서 6시간 소결한 후 다시 450℃에서 90분간 처리한 경우(A)와, 1100℃에서 7시간 소결한 후 450℃에서 90분간 처리한 경우(B)의 실리콘카바이드의 XRD 분석 결과를 비교한 것이다.Figure 1 is a mixture of rice husk and rice straw in a reduced atmosphere at 500 ℃ for 5 hours after incubation at 60:40 weight ratio of the raw material was mixed and sintered at 950 ℃ for 6 hours and then treated at 450 ℃ for 90 minutes (A) and 1100 After sintering at 7 ° C. for 7 hours and then treating at 450 ° C. for 90 minutes, the XRD analysis results of silicon carbide (B) were compared.
이 결과 최적의 소결 조건을 1100℃에서 7시간 이상임을 확인할 수 있다.As a result, it can be seen that the optimum sintering condition is 7 hours or more at 1100 ° C.
도 2는 실시예에서 얻은 결과를 토대로 왕겨와 볏짚을 500℃로 5시간 회화 후 얻은 원료를 60:40중량비 혼합하고, 1100℃에서 9시간 소결한 후 450℃에서 90분간 처리하여 얻은 실리콘카바이드의 XRD 분석 결과를 나타낸 그래프이다.Figure 2 is based on the results obtained in the Example chaff and rice straw after mixing for 5 hours at 500 ℃ 60:40 weight ratio of the raw material obtained by mixing, sintered at 1100 ℃ for 9 hours and then treated at 450 ℃ 90 minutes of silicon carbide It is a graph which shows the result of XRD analysis.
본 발명의 방법은 쌀을 생산하는 과정에서 부산물로 함께 얻어지는 입수가 용이한 왕겨와 볏집만을 이용하여 고순도의 실리콘카바이드를 제조할 수 있는 효과가 있다.The method of the present invention has the effect of producing a high-purity silicon carbide using only chaff and rice hulls easily obtained as a byproduct in the process of producing rice.
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050024392A KR100643143B1 (en) | 2005-03-24 | 2005-03-24 | Manufacturing method of silicon carbide from rice hull and rice straw |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050024392A KR100643143B1 (en) | 2005-03-24 | 2005-03-24 | Manufacturing method of silicon carbide from rice hull and rice straw |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060102605A KR20060102605A (en) | 2006-09-28 |
KR100643143B1 true KR100643143B1 (en) | 2006-11-10 |
Family
ID=37622940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050024392A KR100643143B1 (en) | 2005-03-24 | 2005-03-24 | Manufacturing method of silicon carbide from rice hull and rice straw |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100643143B1 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200103961A (en) | 2019-02-26 | 2020-09-03 | 충남대학교산학협력단 | Agricultural by-product particle insulator and manufacturing method thereof |
KR20210046237A (en) | 2019-10-18 | 2021-04-28 | 충남대학교산학협력단 | Agricultural by-product insulator and manufacturing method thereof |
-
2005
- 2005-03-24 KR KR1020050024392A patent/KR100643143B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060102605A (en) | 2006-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101253064B1 (en) | Composition and method for making silicon-containing products | |
US7638108B2 (en) | High purity silicon-containing products | |
CN106866154A (en) | The preparation method of silicon nitride ceramics | |
KR100643143B1 (en) | Manufacturing method of silicon carbide from rice hull and rice straw | |
US4483839A (en) | Process for producing silicon nitride | |
JPH0420850B2 (en) | ||
JP4421745B2 (en) | Graphite material for semiconductor diamond synthesis and method for producing semiconductor diamond | |
CN113979768A (en) | High-conductivity carbon electrode material and preparation method thereof | |
JP6420695B2 (en) | Method for producing fine silica powder | |
JPH02248365A (en) | Silicon nitride ceramic composition | |
JPH01208371A (en) | Highly hard cubic boron nitride calcined compact and production thereof | |
KR101685705B1 (en) | Method for synthesis of silicon carbide whisker using seta of chaff | |
CN1594216A (en) | Process for synthesizing high purity sialon material by coal-series kaolin | |
JP2003176119A (en) | Method and apparatus for producing silicon carbide | |
JP7213607B2 (en) | Manufacturing method of conductive silicon carbide sintered body and conductive silicon carbide sintered body | |
JPH1129361A (en) | Silicon nitride sintered product and its production | |
JPS6042209A (en) | Manufacture of fine isometric silicon nitride powder of high purity | |
KR860001211B1 (en) | Method for preparing adiabatic brick | |
JPS62207767A (en) | High temperature high strength silicon nitride ceramics and manufacture | |
JP2024110337A (en) | Method for producing silicon carbide | |
WO2002081373A1 (en) | Method for producing silicon | |
CN116143430A (en) | Concrete block and preparation method thereof | |
JP2635695B2 (en) | Method for producing α-silicon nitride powder | |
JPH05194017A (en) | Production of dielectric porcelain | |
CN118684500A (en) | Aluminum nitride ceramic and preparation method thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121018 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131030 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141028 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |