KR100640956B1 - 확산 방지막의 형성방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스텝 커버리지가 우수한 확산 방지막을 형성하도록 한 확산 방지막의 형성방법에 관한 것으로서, 반도체 기판상에 층간 절연막을 형성하는 단계와, 상기 층간 절연막을 선택적으로 식각하여 콘택홀을 형성하는 단계와, 상기 콘택홀을 포함한 반도체 기판의 전면에 질화 탄탈륨막을 형성하는 단계와, 상기 질화 탄탈륨막이 형성된 반도체 기판을 제 1 반응조에 넣는 단계와, 제 2 반응조에 사일렌 가스를 유입하는 단계와, 상기 사일렌 가스가 유입된 제 2 반응조에 아르곤 가스를 유입하고 플라즈마 반응을 일으켜 실리콘 가스와 수소 가스로 분해하는 단계와, 상기 실리콘 가스를 상기 제 1 반응조로 이동시키는 단계와, 상기 반도체 기판상에 형성된 상기 질화 탄탈륨막과 실리콘 가스를 반응시키어 질화 실리콘 탄탈륨막을 형성하는 단계를 포함하여 형성함을 특징으로 한다.
APD, 확산 방지막, TaN, TaSiN, PVD, 금속배선

Description

확산 방지막의 형성방법{method for forming of diffusion barrier layer}
도 1a 내지 도 1b는 종래 기술에 의한 확산 방지막의 형성방법을 나타낸 공정단면도
도 2a 내지 도 2g는 본 발명에 의한 확산 방지막의 형성방법을 나타낸 공정단면도
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
31 : 반도체 기판 32 : 층간 절연막
33 : 콘택홀 34 : TaN막
35 : 제 1 TaSiN막 36 : 제 2 TaSiN막
37 : 제 3 TaSiN막 40 : 확산 방지막
41 : Ta막 42 : 구리 박막
43 : 구리 배선
본 발명은 반도체 소자의 제조방법에 관한 것으로, 특히 작은 사이즈(size)에서도 스텝 커버리지(step coverage)를 향상시키도록 한 확산 방지막의 형성방법 에 관한 것이다.
일반적으로 금속배선에 대한 확산방지막은 반도체 소자의 사이즈(size) 감소에 따라 보다 컨포멀(Conformal) 하고 낮은 비저항을 갖는 것이 요구되어 지고 있다.
특히, 60nm 이하 급의 소자에서는 콘택 저항에 따른 지연 시간(delay time)을 감소시키기 위해 약 50Å 이하의 두께를 갖는 확산 방지막이 요구되어진다.
상기와 같은 확산 방지막으로서, TiN 또는 TaN을 사용하고 있다.
상기 TaN의 증착은 일반적으로 PVD(Physical Vapor Deposition)법을 사용하고 있는데, 상기 TaN는 60nm 이하의 소자에서 사이드 커버리지(side coverage)를 기준으로 약 50Å이 되어야 하므로 스텝 커버리지 등에서 문제가 발생할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 종래 기술에 의한 반도체 소자의 확산 방지막 형성방법을 설명하면 다음과 같다.
도 1a 내지 도 1b는 종래 기술에 의한 반도체 소자의 확산 방지막 형성방법을 나타낸 공정단면도이다.
도 1a에 도시한 바와 같이, 반도체 기판(11)상에 층간 절연막(12)을 형성하고, 포토 및 식각 공정을 통해 상기 반도체 기판(11)의 표면이 소정부분 노출되도록 상기 층간 절연막(12)을 선택적으로 제거하여 콘택홀(13)을 형성한다.
도 1b에 도시한 바와 같이, 상기 콘택홀(13)을 포함한 반도체 기판(11)의 전면에 확산 방지막으로 PVD법으로 TaSiN막(14)을 증착한다.
여기서, 상기 TaSiN막(14)은 Ta + Si + N으로 이루어진 3 원계로 구성되어 TiN 또는 TaN보다 우수한 특성을 갖는 확산 방지막으로 사용되고 있다.
그러나 종래 기술에 의한 반도체 소자의 확산 방지막으로 사용되는 TaSiN막(14)은 일반적으로 PVD에 의해 증착 되어지는데 마찬가지로 작은 사이즈의 소자에서는 스텝 커버리지 등에 문제를 유발할 수 있다.
이러한 PVD가 가지는 단점을 극복하기 위해서 현재 TaSiN의 증착은 CVD(Chemical Vapor Deposition) 및 ALD(Atomic Layer Deposition)법에 의해 증착하려는 연구가 진행되고 있지만, 순수한 CVD 및 ALD 법에 의한 증착은 아직까지 유력한 방법이 개발되지 않아 계속 연구되고 있는 실정이다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 스텝 커버리지가 우수한 확산 방지막을 형성하도록 한 확산 방지막의 형성방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 확산 방지막의 형성방법은 반도체 기판상에 층간 절연막을 형성하는 단계와, 상기 층간 절연막을 선택적으로 식각하여 콘택홀을 형성하는 단계와, 상기 콘택홀을 포함한 반도체 기판의 전면에 질화 탄탈륨막을 형성하는 단계와, 상기 질화 탄탈륨막이 형성된 반도체 기판을 제 1 반응조에 넣는 단계와, 제 2 반응조에 사일렌 가스를 유입하는 단계와, 상기 사일렌 가스가 유입된 제 2 반응조에 아르곤 가스를 유입하고 리모트 플라즈마법을 이용하여 실리콘 가스와 수소 가스로 분해하는 단계와, 상기 제 2 반응조에서 분해된 실리콘 가스를 상기 제 1 반응조로 유입하여 상기 질화 탄탈륨막과 실리콘 가스를 반응시키어 상기 콘택홀을 포함한 반도체 기판의 전면에 제 1 질화 실리콘 탄탈륨막을 형성하는 단계와, 상기 제 1 질화 실리콘 탄탈륨막과 동일한 공정을 반복하여 진행하는 원자층증착법을 사용하여 제 2, 제 3 질화 실리콘 탄탈륨막을 차례로 형성하는 단계를 포함하여 형성함을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 확산 방지막의 형성방법을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2a 내지 도 2g는 본 발명에 의한 확산 방지막의 형성방법을 나타낸 공정단면도이다.
도 2a에 도시한 바와 같이, 반도체 기판(31)상에 층간 절연막(32)을 형성하고, 포토 및 식각 공정을 통해 상기 반도체 기판(31)의 표면이 소정부분 노출되도록 상기 층간 절연막(32)을 선택적으로 제거하여 콘택홀(33)을 형성한다.
여기서, 상기 층간 절연막(32)은 SiO2, SiOF, SiOC 계열의 산화막을 사용하고 있다.
한편, 상기 콘택홀(33)은 트랜치 및 비아홀을 갖는 듀얼 다마신 구조로 형성할 수도 있다.
도 2b에 도시한 바와 같이, 상기 콘택홀(33)을 포함함 반도체 기판(31)의 전면에 t-부틸리미도(트리스미디에틸아미드)(tertbutylimido (trisdiethylamide)) 탄탈륨(tantalum)(TBTDET), 펜티키스(디에틸아미드)(pentakis(diethylamide)) 탄탈륨(tantalum)(PDEAT), 펜티키스(디메틸아미드)(pentakis(dimethylamide)) 탄탈륨( tantalum)(PDMAT) 및 펜티키스(에틸메틸아미노(pentakis(ethylmethylamino)) 탄탈 륨(tantalum)(PEMAT) 등의 전구체(precursor)에 의해 TaN막(34)을 형성한다.
이때 상기 TaN막(34)의 증착온도는 약 100 ~ 400℃로 하고, 그 두께는 0.5 ~ 100Å으로 한다.
도 2c에 도시한 바와 같이, 상기 TaN막(34)이 형성된 반도체 기판(31)을 제 1 반응조(도시되지 않음)에 넣고, 상기 제 1 반응조와 다른 제 2 반응조(도시되지 않음)의 내부에 사일렌(SiH4) 가스를 100 ~ 2000sccm의 유량으로 유입하고, 상기 SiH4 가스가 유입된 제 2 반응조에 아르곤(Ar) 가스를 약 100 ~ 2000sccm 유입하여 플라즈마 반응을 일으켜 상기 사일렌 가스를 Si와 2H2로 분해한 후 상기 Si 가스를 제 1 반응조로 이동시킨다.
여기서, 상기 Si 가스를 TaN막(34)이 형성된 반도체 기판(31)의 표면으로 이동하여 제 1 TaSiN막(35)이 형성된다.
여기서, 상기 제 1 TaSiN막(35)은 약 0.5 ~ 100Å의 두께를 갖게 된다.
도 2d에 도시한 바와 같이, 상기 제 1 TaSiN막(35)상에 상기와 같은 공정을 반복적으로 진행하는 원자층증착(atomic layer deposition)법을 사용하여 제 2, 제 3 TaSiN막(36,37)을 형성하여 확산 방지막(40)을 형성한다.
도 2e에 도시한 바와 같이, 상기 제 1 내지 제 3 TaSiN막(35,36,37)으로 이루어진 확산 방지막(40)을 형성한다.
즉, 본 발명은 원하는 두께 및 우수한 특성을 갖는 확산 방지막(40)을 형성하기 위해 여러 전구체를 통하여 TaN막을 형성하고, 리모트 플라즈마법을 이용하여 실리콘(Si) 중성자를 형성시킨 후, 이를 증착된 TaN막(34)과 반응시켜 TaSiN막을 제조하고 있다.
이때 상기 TaSiN막은 소정의 두께를 확보하기 위하여 TaN막의 형성과 리모트 플라즈마에 의한 Si 생성 등을 반복적으로 수행하는 원자층 증착법(ALD)을 사용하여 원하는 두께를 갖는 확산 방지막을 형성한다.
도 2f에 도시한 바와 같이, 상기 확산 방지막(40)을 포함한 반도체 기판(31)의 전면에 탄탈륨(Ta)막(41)을 형성하고, 상기 탄탈륨막(41)상에 씨드 구리(seed Cu)층을 형성한 후 성장시키어 상기 콘택홀(33)을 갭-필(gap-fill)하도록 구리 박막(42)을 형성한다.
여기서, 상기 탄탈륨막(41)을 형성하는 것을 실시예로 설명하고 있지만, 상기 탄탈륨막(41)을 생략하고 구리 박막(42)을 바로 형성할 수도 있다.
도 2g에 도시한 바와 같이, 상기 층간 절연막(32)을 앤드 포인트로 상기 반도체 기판(31)의 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정을 실시하여 상기 구리 박막(42)과 탄탈륨막(41) 그리고 확산 방지막(40)을 선택적으로 연마하여 상기 콘택홀(33)의 내부에 구리 배선(43)을 형성한다.
여기서, 상기 구리 배선(43)을 한 예로 들어 설명하고 있지만, 알루미늄, 텅스텐, 백금 등의 금속이나 이들의 합금을 사용하여 배선을 형성할 수도 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자 에게 있어 명백할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의한 확산 방지막의 형성방법은 다음과 같은 효과가 있다.
즉, 우수한 특성을 갖는 TaSiN으로 이루어진 확산 방지막을 리모트 플라즈마법과 원자층증착법에 의해 미세한 콘택홀 내부에서도 스텝 커버리지가 우수한 확산 방지막을 형성할 수가 있고, 기존의 장비를 그대로 사용할 수 있다.

Claims (5)

  1. 반도체 기판상에 층간 절연막을 형성하는 단계;
    상기 층간 절연막을 선택적으로 식각하여 콘택홀을 형성하는 단계;
    상기 콘택홀을 포함한 반도체 기판의 전면에 질화 탄탈륨막을 형성하는 단계;
    상기 질화 탄탈륨막이 형성된 반도체 기판을 제 1 반응조에 넣는 단계;
    제 2 반응조에 사일렌 가스를 유입하는 단계;
    상기 사일렌 가스가 유입된 제 2 반응조에 아르곤 가스를 유입하고 리모트 플라즈마법을 이용하여 실리콘 가스와 수소 가스로 분해하는 단계;
    상기 제 2 반응조에서 분해된 실리콘 가스를 상기 제 1 반응조로 유입하여 상기 질화 탄탈륨막과 실리콘 가스를 반응시키어 상기 콘택홀을 포함한 반도체 기판의 전면에 제 1 질화 실리콘 탄탈륨막을 형성하는 단계;
    상기 제 1 질화 실리콘 탄탈륨막과 동일한 공정을 반복하여 진행하는 원자층증착법을 사용하여 제 2, 제 3 질화 실리콘 탄탈륨막을 차례로 형성하는 단계를 포함하여 형성함을 특징으로 하는 확산 방지막의 형성방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 질화 탄탈륨막은 t-부틸리미도(트리스미디에틸아미드)(tertbutylimido (trisdiethylamide)) 탄탈륨(tantalum)(TBTDET), 펜티키스(디에틸아미드)(pentakis(diethylamide)) 탄탈륨(tantalum)(PDEAT), 펜티키스(디메틸아미드)(pentakis(dimethylamide)) 탄탈륨( tantalum)(PDMAT) 및 펜티키스(에틸메틸아미노(pentakis(ethylmethylamino)) 탄탈륨(tantalum)(PEMAT) 등의 전구체 (precursor)로 형성하는 것을 특징으로 하는 확산 방지막의 형성방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 질화 탄탈륨막은 약 100 ~ 400℃의 온도에서 형성하는 것을 특징으로 하는 확산 방지막의 형성방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 질화 탄탈륨막은 약 0.5 ~ 100Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 확산 방지막의 형성방법.
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