KR100631475B1 - 증착장치용 자동 와이어공급피더 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체의 박막 증착장치에 증착용 금속재료를 공급하는 피더(Feeder)에 관한 것으로서, 특히 정량의 금속재료를 와이어의 형태로 연속적으로 자동 공급함으로써 박막두께를 정확하게 제어할 수 있는 자동 와이어공급피더에 관한 것이다.
이의 달성을 위해, 본 발명에서는, 증발히터를 구비한 증착장치에 증착용 금속을 와이어 형태로 공급하는 자동 와이어공급피더에 있어서, 회전력을 발생시키는 모터구동부; 상기 모터구동부의 일단에 결합하여 회전하는 회전축; 상기 회전축의 일단부와 일정간격 이격되어 상기 회전축과의 사이로 와이어를 통과시켜 이송하는 텐션기어; 와이어를 저장하고 상기 회전축과 텐션기어의 사이로 상기 와이어를 공급하는 저장롤; 및 상기 공급되는 와이어의 양에 따라 상기 모터구동부를 제어하는 제어부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 자동 와이어공급피더가 개시된다.
증착, 진공, 박막, 알루미늄, 와이어, 증발
Description
도 1은 본 발명에 따른 증착장치용 자동 와이어공급피더의 일실시예를 나타내는 사시도,
도 2는 도 1의 정면도,
도 3은 도 1의 평면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
110: 모터구동부 120: 회전축
130: 텐션기어 131: 스프링
135: 지지플레이트 140: 저장롤
150: 가이드판 150H: 가이드홈
160: 플레이트 160H: 높이조절봉
본 발명은 반도체 증착장치에 증착용 와이어를 공급하는 자동 와이어공급 피더(feeder)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 지속적이고 안정적으로 적정량의 와 이어를 증착장치에 공급할 수 있도록 하는 자동 와이어공급피더에 관한 것이다.
최근 제품의 소형화 추세에 따라 박막형 반도체 소자가 널리 사용되고 있다. 증착장치 중 특히 열증착법(Thermal Evaporation Method)을 사용하는 진공증착장치는, 이러한 박막형 반도체 소자의 제조에 사용되는 장치로서 박막의 재료가 되는 금속(ex. 알루미늄)을 가열 및 증발시켜 금속가스를 생성시키고 상기 금속가스를 진공실에 주입하여 대상 기판의 표면에 부착하도록 하는 장치를 말한다.
이와 같은 증착장치에 의해 형성되는 금속박막의 두께는 작게는 수㎛에서 크게는 수백㎛에 이르며, 원하는 두께의 금속박막을 형성하기 위해서는 진공실 내의 진공압, 증착온도와 함께 공급되는 금속가스의 양을 적절하게 조절해 주어야 한다. 특히, 이중에서도 금속박막의 두께는 금속가스의 양에 좌우되므로 일정한 박막두께를 얻기 위해서는 금속가스의 공급을 일정하게 유지해주어야 하며, 이를 위해서는 가열 및 증발되는 금속재료의 공급(feeding)량을 일정하게 유지하여야 한다.
이와 같은 증착용 금속재료의 공급방식으로서, 종래에는 분말 즉 시료형태로 콘베이어 벨트에 담아 이송하는 방법, 시료가 담긴 용기를 진동시키면서 일정량으로 주입시키는 방법 등이 사용되어 왔다.
그러나, 이상과 같은 방법으로 금속재료를 공급하는 경우에는 일정 두께의 박막을 형성하고자 할 때 적정량의 금속재료를 지속적으로 공급하는데 어려움이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은, 증착용 금속재료를 와이어 형태로 공급함으로써 정확한 박막두께를 제어할 수 있도록 하는 자동 와이어공급피더를 제공하는데 있다.
또한, 증착실의 진공을 유지한 상태에서 계속적으로 증착용 금속재료를 공급함으로써 증착과정을 중단시키지 않고 지속적으로 이루어지도록 하여 증착작업의 생산성을 높이도록 하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 증발히터를 구비한 증착장치에 증착용 금속을 와이어 형태로 공급하는 자동 와이어공급피더에 있어서, 회전력을 발생시키는 모터구동부; 상기 모터구동부의 일단에 결합하여 회전하는 회전축; 상기 회전축의 일단부와 일정간격 이격되어 상기 회전축과의 사이로 와이어를 통과시켜 이송하는 텐션기어; 와이어를 저장하고 상기 회전축과 텐션기어의 사이로 상기 와이어를 공급하는 저장롤; 및 상기 공급되는 와이어의 양에 따라 상기 모터구동부를 제어하는 제어부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 자동 와이어공급피더를 제공한다.
여기서, 상기 회전축과 텐션기어의 와이어 공급부분 앞뒤에, 상기 와이어가 통과하는 가이드홈이 구비된 가이드판이 각각 구비되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 회전축과 텐션기어의 위치를 고정시키는 지지플레이트를 더 구비하고, 상기 텐션기어와 상기 지지플레이트 사이에는 상기 텐션기어의 지지를 위한 스프링이 더 구비된 것이 바람직하다.
또한, 상기 저장롤, 상기 가이드판 및 상기 지지플레이트를 지지하는 플레이 트를 더 구비하고, 상기 플레이트의 하면에는 상기 플레이트를 지지하고, 높이조절이 가능한 높이조절봉이 구비된 것이 바람직하다.
그리고, 상기 제어부는, 상기 회전축 또는 상기 텐션기어의 회전량을 감지하여 공급되는 와이어의 양을 계산하고, 이에 의해 상기 모터구동부를 제어하는 것이 바람직하다.
이하 첨부도면을 참조하여 본 발명에 따른 증착장치용 자동 와이어공급피더에 대하여 상세히 설명하기로 한다.
본 발명에 따른 증착장치용 자동 와이어공급피더의 일실시예는, 도 1에 도시된 바와 같이, 회전력을 발생시키는 모터구동부(110), 상기 모터구동부(110)의 상단에 결합하여 회전하는 회전축(120), 상기 회전축(120)의 상단부와 일정간격 이격되어 회전축(120)과의 사이로 통과하는 와이어를 이송시키는 텐션기어(130), 와이어를 저장하고 상기 회전축(120)과 텐션기어(130)의 사이로 상기 와이어를 공급하는 저장롤(140)을 포함하여 구성된다.
모터구동부(110)는 최하부에 위치하여 상단부에 결합되는 회전축(120)의 회전을 회전구동한다.
회전축(120)은 상기 모터구동부(110)로부터 회전력을 전달받아 회전하며, 후술할 저장롤(140)로부터 증착용 금속시편에 해당하는 와이어를 인출하여 증착장치에 공급하는 역할을 한다.
텐션기어(130)는 상기 회전축(120)의 상단부와 일정간격 이격되어 상기 회전 축(120)과 평행하게 배치되며, 양단부가 지지플레이트(135)에 의해 지지되어 있다. 상기 텐션기어(130)는 회전축(120)과의 사이를 통해 와이어가 통과하도록 한다. 즉, 공급되는 와이어의 일측에는 회전축(120)이 접촉하고, 반대측에는 텐션기어(130)가 스프링(131)에 의해 발생하는 일정 접촉력에 의해 접촉함으로써 상기 와이어를 증착장치로 공급한다. 상기 스프링(131)은 지지플레이트(135)와 텐션기어(130) 단부 사이에 개재하여 상기 텐션기어(130)를 회전축(120) 방향, 즉 와이어 공급방향의 수직방향으로 밀어 상기 와이어에 접촉력을 가하는 역할을 한다.
저장롤(140)은 와이어를 감아 저장하고, 이를 상기 회전축(120)과 텐션기어(130) 사이로 공급한다.
그리고, 상기 회전축(120)과 텐션기어(130)의 사이, 즉 와이어가 통과하는 부분의 앞뒤로는 가이드홈(150H)이 형성된 가이드판(150)을 더 구비하여 와이어의 공급이 원할해지도록 한다.
또한, 본 발명에 따른 자동 와이어공급피더는, 상기 저장롤(140), 지지플레이트(135) 그리고 가이드판(150)을 지지하는 플레이트(160)를 더 구비한다. 상기 플레이트(160)에는 이를 지지하며, 높이조절이 가능한 높이조절봉(161)이 구비되어 있다.
또한, 본 발명에 따른 자동 와이어공급피더는 와이어의 공급속도를 조절하기 위해 회전축(120) 또는 텐션기어(130)의 회전량에 의해 공급되는 와이어의 양을 계산하고, 이에 의해 모터구동부(110)의 회전구동을 제어하는 제어부(도면 미도시)를 더 포함한다.
이상과 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 증착장치용 자동 와이어공급피더의 작동상태를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 저장롤(140)에 감긴 상태로 저장된 증착용 금속 와이어의 일단부를 가이드판(150)의 가이드홈(150H)을 통과하여 회전축(120)의 상단부와 텐션기어(130)의 사이로 통과시켜 놓는다. 그리고, 모터구동부(110)를 구동시키면 회전축(120)이 회전하여 상기 텐션기어(130)와 함께 와이어를 저장롤(140)로부터 끌어당겨 증착장치 내부의 증발히터(도면 미도시)로 공급하게 된다. 제어부(도면 미도시)가 상기 회전축(120) 또는 텐션기어(130)의 회전량으로부터 증착용 금속의 공급량을 계산하고, 이에 의해 적정량의 와이어를 공급하도록 모터구동부(110)를 제어하게 된다.
이상에서 설명한 본 발명에 따른 증착장치용 자동 와이어공급피더는 증착장치 및 형성하는 박막에 따라서 복수개로 구비하여 동시에 또는 순차적으로 운용할 수도 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 증착장치용 자동 와이어공급피더에 의하면, 증착용 금속재료를 와이어 형태로 공급할 수 있어 정확한 박막두께를 제어할 수 있다는 효과가 있다. 또한, 증착실의 진공을 유지한 상태에서 계속적으로 증착용 금속재료를 공급함으로써 증착과정을 중단시키지 않고 지속적으로 이루어지도록 하여 증착작업의 생산성을 높일 수 있다는 효과가 있다.
Claims (5)
- 증발히터를 구비한 증착장치에 증착용 금속을 와이어 형태로 공급하는 자동 와이어공급피더에 있어서,회전력을 발생시키는 모터구동부;상기 모터구동부의 일단에 결합하여 회전하는 회전축;상기 회전축의 일단부와 일정간격 이격되어 상기 회전축과의 사이로 와이어를 통과시켜 이송하는 텐션기어;상기 회전축과 텐션기어의 위치를 고정시키되 일정한 접촉력에 의해 상기 텐션기어를 상기 회전축 방향으로 가압하는 스프링을 구비한 지지플레이트;와이어를 저장하고 상기 회전축과 텐션기어의 사이로 상기 와이어를 공급하는 저장롤;상기 지지플레이트를 안착하는 플레이트;상기 플레이트의 하면에는 상기 플레이트를 지지하고, 높이조절이 가능한 높이조절봉; 및상기 공급되는 와이어의 양에 따라 상기 모터구동부를 제어하는 제어부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 자동 와이어공급피더.
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