KR100617114B1 - Dual Organic Electroluminescence display pannel and Fabrication Method for the same - Google Patents
Dual Organic Electroluminescence display pannel and Fabrication Method for the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR100617114B1 KR100617114B1 KR1020040040467A KR20040040467A KR100617114B1 KR 100617114 B1 KR100617114 B1 KR 100617114B1 KR 1020040040467 A KR1020040040467 A KR 1020040040467A KR 20040040467 A KR20040040467 A KR 20040040467A KR 100617114 B1 KR100617114 B1 KR 100617114B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- electrode
- organic
- emission
- layer
- anode electrode
- Prior art date
Links
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 title claims abstract description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 title description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 64
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 claims description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 3
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 32
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 18
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 10
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 8
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000027756 respiratory electron transport chain Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/128—Active-matrix OLED [AMOLED] displays comprising two independent displays, e.g. for emitting information from two major sides of the display
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/81—Anodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/81—Anodes
- H10K50/818—Reflective anodes, e.g. ITO combined with thick metallic layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/82—Cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/302—Details of OLEDs of OLED structures
- H10K2102/3023—Direction of light emission
- H10K2102/3031—Two-side emission, e.g. transparent OLEDs [TOLED]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
본 발명은 유기 EL에 관한 것으로, 특히 듀얼형 유기 EL 디스플레이 패널에 관한 것이다. 이와 같이 본 발명에 따른 듀얼형 유기 EL 디스플레이 패널은 기판 상에 화소 구동부가 형성된 유기 EL에 있어서, 상기 유기 EL은 상기 하나의 화소 구동부로 배면발광 및 전면발광이 동시에 구동되도록 복수의 화소 전극과 복수의 공통전극으로 구성된다. The present invention relates to an organic EL, and more particularly to a dual type organic EL display panel. As described above, in the dual type organic EL display panel according to the present invention, in the organic EL having the pixel driver formed on the substrate, the organic EL includes a plurality of pixel electrodes and a plurality of pixels such that back emission and front emission are simultaneously driven by the single pixel driver. It consists of a common electrode.
에노드 전극, 캐소드 전극, 정공 주입층, 유기 발광층, 전자 전달층 Anode electrode, cathode electrode, hole injection layer, organic light emitting layer, electron transport layer
Description
도 1은 종래의 유기 EL의 단면도1 is a cross-sectional view of a conventional organic EL
도 2a 내지 도 2d는 종래의 유기 EL 제조 공정 단면도2A to 2D are cross-sectional views of a conventional organic EL manufacturing process
도 3은 종래의 능동 구동형 유기 EL 디스플레이의 화소 회로도3 is a pixel circuit diagram of a conventional active drive organic EL display.
도 4는 능동 구동형 유기 EL 디스플레이의 화소 구조 평면도4 is a plan view of a pixel structure of an active driving organic EL display
도 5a 내지 도 5j는 본 발명에 따른 듀얼형 유기 EL 디스플레이 패널 제조 공정 단면도5A to 5J are cross-sectional views of a dual-type organic EL display panel manufacturing process according to the present invention.
도 6은 본 발명에 따른 듀얼형 유기 EL 디스플레이 패널 화소 회로도6 is a circuit diagram of a dual type organic EL display panel according to the present invention.
도 7은 본 발명에 따른 듀얼형 유기 EL 디스플레이 패널의 화소 구조 평면도7 is a plan view of a pixel structure of a dual type organic EL display panel according to the present invention.
*도면의 주요 부분에 대한 부호 설명** Description of symbols on the main parts of the drawings *
21 : 기판 22 : 반도체층21
22a, 22c : 소오스/드레인 영역 22b : 채널 영역22a, 22c: source / drain
23 : 게이트 절연막 24 : 게이트 전극23 gate
25 : 층간 절연막 26 : 전극라인 25 interlayer
27 : 제 1 에노드 전극 28 : 평탄화막27: first anode electrode 28: planarization film
29 : 컨택 홀 30 : 제 2 에노드 전극29
31 : 절연막 32 : 정공 주입층31
33 : 정공 전달층 34 : 유기 발광층33: hole transport layer 34: organic light emitting layer
35 : 전자 전달층 36 : 전자 주입층35
37 : 제 1 쉐도우 마스크 38 : 제 1 캐소드 전극37: first shadow mask 38: first cathode electrode
39 : 제 2 쉐도우 마스크 40 : 제 2 캐소드 전극39: second shadow mask 40: second cathode electrode
41 : 보호막41: protective film
본 발명은 유기 EL에 관한 것으로 특히 듀얼형 유기 EL 디스플레이 패널 및 그 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an organic EL, and more particularly to a dual type organic EL display panel and a manufacturing method thereof.
일반적으로 매트릭스형 유기 EL 소자(Active Matrix Organic ElectroLuminescence Device : AMOELD)의 화소 부분은 크게 각 화소 부분을 스위칭 해 주는 스위칭용 박막트랜지스터, 구동용 박막트랜지스터, 저장 커패시터(capacitor), 화소전극(anode), 유기물층, 공통전극(cathod)으로 구성된다. In general, the pixel portion of an active matrix organic electroluminescence device (AMOELD) is a switching thin film transistor, a driving thin film transistor, a driving capacitor, a storage capacitor, an anode, It is composed of an organic material layer and a common electrode (cathod).
이중 구동용 박막트랜지스터를 기준으로 한 종래 기술에 다른 화소의 단면을 도 1에 도시하였다. FIG. 1 is a cross-sectional view of a pixel different from the related art based on a dual driving thin film transistor.
종래의 유기 EL 소자는 도 1에 나타낸 바와 같이 유기 기판(1)상에 각각 다수 개로 형성된 화소전극(8) 및 공통 전극(메탈 공통전극)(15)에 교차하는 영역에 의해 정의되는 다수개의 화소에 형성되는 유기 발광층(12)과, 상기 유리 기판(1)상에 형성되며 그 드레인 전극이 상기 화소전극(8)에 전기적으로 연결되는 박막트랜지스터(A)와, 상기 화소전극(8)과 유기 발광층(12) 사이에 적층 형성된 정공주입층(10), 정공 전달층(11)과, 상기 유기 발광층(12)과 메탈 공통전극(15)사이에 적층 형성된 전자전달층(13), 전자주입층(14)으로 구성된다. As shown in FIG. 1, a conventional organic EL device includes a plurality of pixels defined by regions intersecting a plurality of
상기 박막 트랜지스터(A)는 유리 기판(1)의 일영역상에 형성되어 소오스/드레인 영역(2a)(2c) 및 채널 영역(2b)으로 구성되는 반도체층(2)과, 상기 반도체층(2)을 포함한 유리 기판(1) 전면에 형성되는 게이트 절연막(3)과, 상기 채널 영역(2c) 상부의 게이트 절연막(3)상에 형성되는 게이트 전극(4)으로 구성된다. The thin film transistor A is formed on one region of the
이때, 상기 소오스/드레인 영역(2a)(2c)과 채널 영역(2b)의 경계는 상기 게이트 전극(4)의 양 에지와 얼라인(align)된다. In this case, the boundary between the source /
그리고 상기 박막트랜지스터(A)상에는 상기 소오스 영역(2a) 및 드레인 영역(2c)을 오픈하는 층간 절연막(5)이 형성되어 있고, 상기 층간 절연막(5)의 오픈 부위를 통해 상기 소오스/드레인 영역(2a)(2c)에 전기적으로 접속되는 전극 라인(6)이 형성되어 있다. An
그리고, 상기 층간 절연막(5) 및 전극 라인(6)을 포함한 전면에는 상기 드레인 영역(2c)에 전기적으로 접속된 전극 라인(6)을 오픈하는 평탄화 절연막(7)이 형성된다. A
상기 평탄화 절연막(7) 위에는 상기 화소 전극(8)이 형성되게 되는데, 화소 전극(8)은 상기 평탄화 절연막(7)의 오픈 부위를 통해 박막트랜지스터(A)의 드레인 영역(2b)에 전기적으로 연결되게 된다. The
그리고, 이웃하는 화소전극(8) 사이에 화소전극(8)의 일부분이 덮이도록 절연막(9)이 형성되어 있다. The
상기 공통전극은 상기 전자주입층(14) 상에 적층 된 메탈 공통전극(15)으로 구성되며, 상기 공통전극상에는 보호막(16)이 형성되어 있다. The common electrode includes a metal
다음에 상기한 구조의 종래 기술에 따른 유기 EL 소자의 제조방법을 설명한다. Next, the manufacturing method of the organic electroluminescent element which concerns on the prior art of the said structure is demonstrated.
도 2a 내지 도 2d는 종래 기술에 따른 유기 EL 소자의 제조 공정 단면도이다. 2A to 2D are sectional views of the manufacturing process of the organic EL device according to the prior art.
우선, 도 2a에 도시된 바와 같이 유리 기판(1)상에 박막트랜지스터의 활성층으로 사용하기 위해 예를 들어, 다결정 실리콘 등을 이용하여 반도체층(2)을 형성하고 이후에 박막트랜지스터가 형성될 영역 즉, 박막트랜지스터 예정 영역에만 남도록 상기 반도체층(2)를 패터닝(patterning)한다. First, as shown in FIG. 2A, the
이어, 상기 전면에 게이트 절연막(3)과 게이트 전극용 도전막을 차례로 적층한 다음 상기 패터닝 된 반도체층(2)의 일영역상에 남도록 상기 게이트 전극용 도전막을 패터닝하여 게이트 전극(4)을 형성한다. Subsequently, the
그리고, 상기 게이트 전극(4)을 마스크로 상기 반도체층(2)에 보론(B)나 인(P)등의 불순물을 주입한 후에 열처리하여 박막트랜지스터의 소오스/드레인 영역(2a)(2c)을 형성한다. The source /
이때, 상기 불순물 이온이 주입되지 않은 반도체층(2)은 채널 영역(2b)이다. At this time, the
이어, 전면에 층간 절연막(5)을 형성하고, 상기 박막트랜지스터의 소오스/드레인 영역(2a)(2c)이 노출되도록 상기 층간 절연막(5)과 게이트 절연막(3)을 선택적으로 제거하여 콘택홀을 형성한다. Next, an
그리고, 상기 콘택홀이 매립될 수 있는 정도의 충분한 두께로 제 1 금속막을 형성하고 상기 콘택홀 및 그에 인접한 영역에만 남도록 상기 제 1 금속막을 선택적으로 제거하여 소오스/드레인 영역(2a)(2b)에 각각 전기적으로 연결되는 전극 라인(6)을 형성한다. In addition, the first metal layer may be formed to a thickness sufficient to fill the contact hole, and the first metal layer may be selectively removed to remain only in the contact hole and the region adjacent to the contact hole, thereby forming a
그리고, 전면에 평탄화 절연막(7)을 형성하여 전면을 평탄화 시키고 상기 드레인 영역(2c)에 연결된 전극 라인(6)이 노출되도록 상기 평탄화 절연막(7)을 선택적으로 제거하여 콘택홀을 형성한 다음 Cr, Al, Mo, Ag 및 Au 등과 같이 반사율과 일함수(재가 function)값이 높은 제 2 금속막을 전면에 증착 한다. Next, the
이때, 상기 콘택홀 내에도 제 2 금속막이 형성되어 상기 제 2 금속막은 콘택홀 하부의 전극 라인(6)에 연결되게 된다. In this case, a second metal film is formed in the contact hole so that the second metal film is connected to the
이어, 화소 부분에만 남도록 상기 제 2 금속막을 선택적으로 제거하여 상기전극 라인(6)을 통해 하부의 드레인 영역(2c)에 전기적으로 연결되는 ITO와 같은 투명한 화소전극(anode)(8)을 형성한다. Subsequently, the second metal film is selectively removed to remain only in the pixel portion to form a
이어, 도 2b에 도시된 바와 같이 이웃하는 화소전극(8) 사이에 이 화소전극(8)의 일부분이 덮이게 절연막(9)을 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 2B, the
그리고, 도 2c에 도시된 바와 같이, 정공 주입층(10), 정공 전달층(11)을 공통유기막으로 증착하고, 쉐도우 마스크(shadow mask)를 사용하여 R, G, B 유기발광 층(12)을 각각 증착 한다. As illustrated in FIG. 2C, the
이어, 전면에 전자 전달층(13)과 전자 주입층(14) 등의 유기물층을 차례로 형성한다. Subsequently, organic material layers such as the
그 다음에 도 2d에 도시된 바와 같이 메탈 공통전극(cathod)(15)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 2D, a metal
이때, 상기 메탈 공통전극(15)은 알루미늄(Al)과 같은 일함수가 낮은 금속물질을 증착 한다. In this case, the metal
그리고, 상기 메탈 공통전극(15)상에 유기물층을 산소나 수분으로부터 보호하기 위한 보호막(16)을 형성한 후 도시되지 않았지만 실런트와 투명기판 혹은 금속 캡을 사용하여 실링용 캡을 부착하여 능동 구동형 유기 EL 소자를 제작을 완성한다. After the
이때 배면발광형(bottom emission)의 경우 상기 보호막(16) 형성 없이 게터(getter)와 실링용 캡을 사용하여 구동형 유기 EL를 제작하기도 한다.In this case, in the bottom emission type, a driving type organic EL may be manufactured using a getter and a sealing cap without forming the
도 3은 종래의 능동 구동형 유기 EL 디스플레이의 화소 회로도이고 도 4는 능동 구동형 유기 EL 디스플레이의 화소 구조 평면도로, 스캔 신호에 의해 스위칭 트랜지스터가 온(On)되어 있는 동안 데이터 신호가 커패시터에 저장되고, 구동 트랜지스터는 데이터 전압에 비례하는 전류를 유기 EL에 공급한다.3 is a pixel circuit diagram of a conventional active drive organic EL display, and FIG. 4 is a plan view of a pixel structure of an active drive organic EL display, wherein a data signal is stored in a capacitor while a switching transistor is turned on by a scan signal. The driving transistor then supplies a current proportional to the data voltage to the organic EL.
이와 같은 방식으로 능동 구동형 유기 EL 소자를 제작할 경우, 한 화소의 대부분을 구동회로가 차지하고, 빛이 나오는 부분이 적어 개구율이 낮아지며, 만약 보상회로를 적용할 경우 화소 구동회로가 차지하는 영역은 더욱더 커지게 된다. In the case of fabricating an active driving type organic EL device in this manner, the driving circuit occupies most of one pixel, and the opening ratio is low due to the small portion of light output. If the compensation circuit is applied, the area occupied by the pixel driving circuit is even larger. You lose.
즉, 동일한 화소 크기에 대해 보상회로 적용 시 개구율이 현저히 낮아지는 문제가 있다. That is, when the compensation circuit is applied to the same pixel size, the aperture ratio is significantly lowered.
따라서, 본 발명의 목적은 이상에서 언급한 종래 기술의 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 화소구동 회로가 차지하는 영역을 활용하여 배면 발광 유기 EL 소자와 전면 발광 유기 EL 소자를 동시에 구현하고 구동을 각각 할 수 있는 듀얼형 유기 EL 소자를 제공하기 위한 것이다. Accordingly, an object of the present invention has been devised in view of the above-mentioned problems of the prior art, and simultaneously implements and drives a back light emitting organic EL device and a top light emitting organic EL device by utilizing an area occupied by a pixel driving circuit. It is to provide a dual type organic EL device that can be used.
이상과 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 기판상에 화소 구동부가 형성된 유기 EL에 있어서, 상기 유기 EL은 상기 하나의 화소 구동부로 배면발광 및 전면발광이 동시에 구동되도록 복수의 화소 전극과 복수의 공통전극으로 구성된다. According to a feature of the present invention for achieving the above object, in the organic EL having a pixel driver formed on the substrate, the organic EL is a plurality of pixel electrodes such that the back light emission and the front light emission are driven simultaneously by the one pixel driver And a plurality of common electrodes.
바람직하게, 상기 복수의 화소 전극과 복수의 공통 전극은 상기 기판에 동시에 형성된다. Preferably, the plurality of pixel electrodes and the plurality of common electrodes are simultaneously formed on the substrate.
그리고, 상기 복수의 공통전극은 전면발광용과 배면발광용이 서로 분리되어 각각 독립적으로 구동되며, 상기 구동은 배면발광을 할 경우 전면발광을 멈추게 하고, 전면 발광시에는 배면 발광을 멈추게 하거나, 동시에 구동된다. In addition, the plurality of common electrodes are driven separately from each other for the front light emitting and the bottom light emitting, and the driving stops the front light emitting when the bottom light is emitted, and stops the back light emission when the front light is emitted, or is driven at the same time. .
이상과 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 기판 상에 화소 구동부를 형성하는 단계, 상기 화소 구동부 상에 제 1 에노드 전극을 형성하는 단계, 상기 화소 구동부와 제 1 에노드 전극 상에 제 2 에노드 전극을 형성하는 단계, 상기 제 1 에노드 전극의 일부분을 노출시키고 제 2 에노드 전극이 덮이도록 절연막을 형성하고 정공 주입층, 정공 전달층, 발광층, 전자 전달층, 전자 주입층을 순차적으로 형성하는 단계, 상기 제 1 에노드를 통한 발광영역을 쉐도우 마스크로 가리고, 제 2 에노드를 통한 발광영역의 유기물층위에 제 1 캐소드 전극을 증착하는 단계, 상기 제 1 캐소드 전극 영역을 쉐도우 마스크로 가리고 제 2 캐소드 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다. According to another feature of the present invention for achieving the above object, forming a pixel driver on the substrate, forming a first anode electrode on the pixel driver, the pixel driver and the first anode Forming a second anode electrode on the electrode, forming an insulating film to expose a portion of the first anode electrode and cover the second anode electrode, and inject a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, Sequentially forming an electron injection layer, covering a light emitting region through the first anode with a shadow mask, and depositing a first cathode electrode on the organic material layer of the light emitting region through the second anode, the first cathode electrode Covering the area with a shadow mask and forming a second cathode electrode.
바람직하게, 상기 제 1 에노드 전극은 배면발광용이고, 제 2 에노드 전극은 전면발광용인이다. Preferably, the first anode electrode is for back emission and the second anode electrode is for top emission.
그리고, 상기 배면 발광용 제 1 에노드 전극은 일 함수(work function) 값이 높은 투명 전도막이다. In addition, the first anode electrode for bottom emission is a transparent conductive film having a high work function value.
또한, 상기 전면 발광용 제 2 에노드 전극은 반사율과 일 함수(work function) 값이 높은 전도성막이며, 상기 제 2 에노드 전극은 Cr, Al, Mo, Ag 및 Au 중 하나를 이용한다. In addition, the second anode electrode for top emission is a conductive film having a high reflectance and a work function, and the second anode electrode uses one of Cr, Al, Mo, Ag, and Au.
그리고, 상기 제 1 캐소드 전극은 전면발광용이고, 제 2 캐소드 전극은 배면발광용이며, 상기 제 1 캐소드 전극은 일함수가 낮은 전도성 물질이며, 상기 제 2 캐소드는 반사율이 높고 일함수가 낮은 전도성 물질을 증착 한다. The first cathode electrode is for front emission, the second cathode is for back emission, the first cathode is a conductive material having a low work function, and the second cathode has a high reflectivity and a low work function. Deposit the material.
이하 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 구성 및 작용을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, a configuration and an operation according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 5a 내지 도 5i는 본 발명에 따른 듀얼형 유기 EL 디스플레이 제작 과정을 나타낸 도면이고, 도 6은 본 발명에 따른 듀얼형 유기 EL 디스플레이의 화소 회로 도 이며, 도 7은 본 발명에 따른 듀얼형 유기 EL 디스플레이의 화소 구조 평면도이다. 5A to 5I are views illustrating a process of manufacturing a dual type organic EL display according to the present invention, FIG. 6 is a pixel circuit diagram of a dual type organic EL display according to the present invention, and FIG. 7 is a dual type organic display according to the present invention. A plan view of a pixel structure of an EL display.
먼저 도 5a와 같이 유리와 같은 투명기판(21)위에 박막트랜지스터의 활성층으로 사용할 다결정실리콘과 같은 반도체 물질(22)을 형성하고 패터닝 한다. 그 위에 게이트 절연막(23)을 형성한 다음, 게이트 전극(24)을 증착한 후 패터닝 한다. 그리고, 상기 반도체층(22)의 일부분에 B나 P같은 불순물을 주입하고 열처리하면 박막트랜지스터의 소스-드레인 영역(22a)(22c)을 형성한다. First, as shown in FIG. 5A, a
그리고, 상기 게이트 전극(24)위에 층간 절연막(25)을 증착하고, 트랜지스터의 소스-드레인 영역(22a)(22c)위에 게이트 절연막(23), 층간 절연막(25)의 일부분을 에칭하여 콘택홀을 형성한 다음 메탈을 증착하고 패터닝하여 전극라인(26)을 형성한다. The interlayer insulating
그 다음 공정으로 도 5b처럼 배면발광(bottom emission)용 제 1 화소전극(27)으로 ITO등과 같은 투명하고, 일 함수 값이 높은 투명 전도막을 증착하여 패턴닝 한다. Next, as shown in FIG. 5B, a transparent, high work function value, such as ITO, is deposited on the
그리고, 도 5c와 같이 상기 메탈 라인(26) 및 제 1 화소전극(27) 위에 평탄화막(28)을 형성하여 전면을 평탄화 시킨 다음 드레인 영역(22c) 위의 메탈 전극(26) 위의 일부 평탄화막(28)을 에칭하여 제거하므로 컨택 홀(29)을 형성한다. 5C, a
그 다음 공정으로 도 5d와 같이 전면발광(Top emission)용 제 2 화소전극인 에노드 전극(30)으로 Cr, Al, Mo, Ag 및 Au 등과 같은 반사율과 일 함수값이 높은 전도성막을 증착하여 패터닝 한다. Next, as shown in FIG. 5D, the
그 다음 공정으로 상기 형성한 배면 발광용 제 1 에노드 전극(27)위의 상기 형성한 평탄화막의 일부분을 제거하여 제 1 에노드 전극의 일부분이 노출되게 한다 (도 5e). Next, a portion of the formed planarization film on the formed
그리고, 도 5f와 같이 전면 발광용 제 2 에노드 전극(30)의 가장자리가 덮이도록 절연막(31)을 형성한다. As shown in FIG. 5F, the insulating
그 다음 도 5g와 같이 상기 배면 발광용과 전면 발광용인 제 1 , 제 2 에노드 전극(27, 30) 위에 정공주입층(32), 정공전달층(33), 레드 발광층(34), 전자전달층(35), 전자주입층(36) 등의 유기물을 차례로 형성한다. Next, as shown in FIG. 5G, the
그 다음으로 배면 발광 영역을 제 1 쉐도우 마스크(37)로 가리고, 전면 발광 영역의 유기물층위에 제 1 캐소드 전극(38)으로 알루미늄을 수 nm 증착한 후, Ag를 수 nm ~ 15 nm 정도 증착하거나 Mg:Ag 같은 메탈을 수 nm ~ 15nm 정도 증착하거나, 일함수가 낮은 전도성 물질을 형성하여 전면 발광용 제 1 캐소드 전극(38)을 형성한다 (도 5h). Next, the back emission region is covered by the
그 다음 도 5i와 같이 전면 발광영역을 제 2 쉐도우 마스크(39)로 가린 후 배면 발광 영역의 유기물위에 알루미늄과 같이 반사율이 높고 일함수가 낮은 전도성 물질을 증착하여 배면 발광용 제 2 캐소드 전극(40)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 5I, the top emission region is covered with the
그리고, 공정으로 상기 형성한 유기물층을 산소나 수분으로부터 보호하기 위한 보호막(41)을 형성한 후 도면에는 도시하지 않았지만, 실런트와 투명기판을 사용하여 보호 캡을 붙여서 듀얼 능동 구동 유기 EL 패널 제작을 완성한다. After forming a
이렇게 상기와 같이 제작할 경우 전면발광용의 제 1캐소드(38)와 배면발광용 제 2 캐소드(40)가 서로 분리되어있기 때문에 각각 독립적으로 구동을 할 수 있게 된다. In this case, since the
즉, 배면 발광을 할 경우에는 전면발광을 멈추게 하고, 전면 발광시에는 배면 발광을 멈추게 하며 혹은 동시에 발광하게 한다. That is, when the bottom emission is performed, the top emission is stopped, and when the front emission is performed, the bottom emission is stopped or the light is simultaneously emitted.
이러한 기능을 이동용 전화기에 사용할 경우 하나의 디스플레이 모듈로 외부창용 디스플레이와 내부창용 디스플레이의 구현이 가능하다.When this function is used in a mobile phone, one display module can be used to implement an external window display and an internal window display.
이상의 설명에서와 같이 본 발명은 동일 기판상에 배면발광형과 전면발광형을 동시에 구현하여 이미지를 양쪽에서 볼 수 있는 새로운 개념의 디스플레이 제작이 가능해 졌으며, 이 새로운 디스플레이의 응용분야는 매우 많아 경제적 가치 또한 매우 높은 효과가 있다. As described above, the present invention enables the production of a display of a new concept in which an image can be viewed from both sides by simultaneously implementing a bottom emission type and a top emission type on the same substrate. It also has a very high effect.
그리고, 디스플레이를 이동용 전화기에 사용할 경우 하나의 디스플레이 모듈로 외부창용 디스플레이와 내부창용 디스플레이의 구현이 가능하다. In addition, when the display is used in a mobile phone, the display for the outer window and the display for the inner window can be implemented with one display module.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시예에 기재된 내용으로 한정하는 것이 아니라 특허 청구 범위에 의해서 정해져야 한다. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the examples, but should be defined by the claims.
Claims (12)
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040040467A KR100617114B1 (en) | 2004-06-03 | 2004-06-03 | Dual Organic Electroluminescence display pannel and Fabrication Method for the same |
US11/137,408 US7420324B2 (en) | 2004-06-03 | 2005-05-26 | Organic EL display and fabricating method thereof |
EP05011550.0A EP1603161B1 (en) | 2004-06-03 | 2005-05-28 | Organic EL display and fabricating method thereof |
CN2010101294362A CN101834200B (en) | 2004-06-03 | 2005-06-03 | Organic RL display and fabricating method thereof |
JP2005164004A JP5080726B2 (en) | 2004-06-03 | 2005-06-03 | Organic EL display and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040040467A KR100617114B1 (en) | 2004-06-03 | 2004-06-03 | Dual Organic Electroluminescence display pannel and Fabrication Method for the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050115494A KR20050115494A (en) | 2005-12-08 |
KR100617114B1 true KR100617114B1 (en) | 2006-08-31 |
Family
ID=37289395
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040040467A KR100617114B1 (en) | 2004-06-03 | 2004-06-03 | Dual Organic Electroluminescence display pannel and Fabrication Method for the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100617114B1 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100726645B1 (en) * | 2005-10-14 | 2007-06-11 | 엘지전자 주식회사 | light emitting diodes and method for preparing the same |
KR100774949B1 (en) * | 2005-12-26 | 2007-11-09 | 엘지전자 주식회사 | Light Emitting Diode and Method for Manufacturing the same |
-
2004
- 2004-06-03 KR KR1020040040467A patent/KR100617114B1/en active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20050115494A (en) | 2005-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100435054B1 (en) | The organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same | |
KR100465883B1 (en) | The organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same | |
US7963816B2 (en) | Organic electro luminescence device and fabrication method thereof | |
KR100651936B1 (en) | Organic Electroluminescence of Top-Emission Type and Fabrication Method for the same | |
JP5080726B2 (en) | Organic EL display and manufacturing method thereof | |
US7049636B2 (en) | Device including OLED controlled by n-type transistor | |
JP2001109404A (en) | El display device | |
KR20030086166A (en) | The organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same | |
KR100565674B1 (en) | Dual Organic Electroluminescence display panel and Fabrication Method for the same | |
KR20110035049A (en) | Organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same | |
JP4488557B2 (en) | EL display device | |
KR101511548B1 (en) | Light emitting diode display device and method for driving the same | |
KR20030086165A (en) | The organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same | |
KR101560233B1 (en) | Organic Light Emitting Display Device and Method for fabricating the same | |
JP4614051B2 (en) | Organic electroluminescent device and manufacturing method thereof | |
KR100705819B1 (en) | Method for manufacturing light emitting diode and light emitting diode the same | |
KR100473999B1 (en) | The organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same | |
KR100771607B1 (en) | organic EL display | |
KR102355605B1 (en) | Organic Light Emitting Diode Display Device and Method of Fabricating the Same | |
KR100617193B1 (en) | Dual Organic Electroluminescence display device and Fabrication Method for the same | |
KR20040007823A (en) | The organic electro-luminescence device and method of fabricating of the same | |
KR100617114B1 (en) | Dual Organic Electroluminescence display pannel and Fabrication Method for the same | |
KR100658341B1 (en) | Electroluminescent device and method of manufacturing thereof | |
KR100606781B1 (en) | Dual Organic Electroluminescence display panel and Fabrication Method for the same | |
KR100774949B1 (en) | Light Emitting Diode and Method for Manufacturing the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130619 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140630 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150728 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160712 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170713 Year of fee payment: 12 |