KR100595508B1 - 향상된 채움율을 갖는 마이크로렌즈 배열 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 향상된 채움율(Fill Factor)을 갖는 마이크로렌즈 배열 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 마이크로렌즈를 장착하기 위한 기판과; 상기 기판에 배열되어 결합된 다수의 마이크로렌즈와; 상기 마이크로렌즈들의 사이에 생성된 상기 기판상의 간격과 배열된 상기 다수의 마이크로렌즈의 상면을 덮도록 형성된 간격 채움막을; 포함하여 구성되어, 상기 간격 채움막에 의하여 상기 기판의 전체 면적에서 상기 마이크로렌즈가 차지하는 면적의 비율을 높이도록 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열의 광학적 효율을 극대화하는 등 광학적 특성을 향상시킬 수 있는 마이크로렌즈 배열 및 그 제조 방법을 제공한다.

마이크로렌즈, 채움율, 광효율, 간격, 간격 채움막

Description

향상된 채움율을 갖는 마이크로렌즈 배열 및 그 제조 방법{MICROLENS ARRAY WITH IMPROVED FILL FACTOR AND THE FABRICATING METHOD THEREOF}

도1 및 도2는 종래의 마이크로렌즈 배열을 나타낸 도면으로서,

도1은 종래의 마이크로렌즈 배열의 사시도

도2는 도1의 절단선 Ⅱ-Ⅱ에 따른 단면도

도3 및 도4는 본 발명의 제1실시예에 따른 향상된 채움율을 갖는 마이크로렌즈 배열을 나타낸 도면으로서,

도3은 본 발명의 제1실시예에 따른 향상된 채움율을 갖는 마이크로렌즈 배열의 사시도,

도4는 도3의 절단선 Ⅳ-Ⅳ에 따른 단면도

도5 내지 도6은 본 발명의 제2실시예에 따른 향상된 채움율을 갖는 마이크로렌즈 배열을 나타낸 도면으로서,

도5는 본 발명의 제2실시예에 따른 향상된 채움율을 갖는 마이크로렌즈 배열의 사시도,

도6은 도5의 절단선 Ⅵ-Ⅵ에 따른 단면도

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **

110: 마이크로렌즈 기판 120: 마이크로렌즈

130: 간격 채움막

본 발명은 향상된 채움율(Fill Factor)을 갖는 마이크로렌즈 배열 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 소정의 공정에 의하여 제작된 마이크로렌즈 배열에 있어서 렌즈와 렌즈 사이의 간격이 발생하여 채움율이 감소된 경우에 마이크로렌즈 배열의 채움율을 향상시키는 마이크로렌즈 배열 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

일반적으로 미세 광학 시스템에 사용되는 마이크로렌즈는 수 내지 수백 마이크로미터(μm)의 피치와 수십 마이크로미터 이하의 높이를 갖는 것을 특징으로 한다. 이러한 마이크로렌즈는 광픽업 헤드의 경우에는 단일 렌즈로 시스템이 구성되며, 이미지 센서나 프로젝션 디스플레이 장치의 스크린 등의 경우에는 2차원으로 배열(array)된 형태로 구성된다.

한편, 마이크로렌즈 배열에 있어서, 전체 면적에서 마이크로렌즈가 차지하는 면적의 비율을 채움율(Fill factor)라 정의하며, 마이크로렌즈 배열의 구성은 채움율이 100%로 형성되는 것이 바람직하다. 그러나, 제조 공정상의 제약 조건 등으로 인하여 렌즈와 렌즈 사이의 간격은 발생되며, 이로 인하여 채움율이 감소하는 문제점이 발생한다.

도1 및 도2는 종래의 마이크로렌즈 배열을 나타낸 도면으로서, 도1은 종래의 마이크로렌즈 배열의 사시도, 도2는 도1의 절단선 Ⅱ-Ⅱ에 따른 단면도이다.

도면에 도시된 바와 같이, 종래의 마이크로렌즈 배열은 마이크로렌즈를 설치하는 기판(Substrate,1)과, 그 위에 입사광을 굴절시키도록 촘촘히 형성된 마이크로렌즈(2)가 배열되어 구성된다.

종래의 제조 방법으로 제조된 마이크로렌즈의 배열은 제조 공정상의 이유 등으로 마이크로렌즈(2) 사이에 일정한 간격(3)이 형성된다. 이렇게 생성된 간격(3)은 마이크로렌즈(2) 배열의 광특성을 저하시키는 요인으로 작용하게 되며, 결과적으로 원하는 광학 성능을 얻을 수 없게 된다.

즉, 상기 간격(3)이 커지면 전체 면적에서 마이크로렌즈가 차지하는 면적의 비율이 작아지게 되어 채움율이 낮아진다. 이 경우, 이미지 센서에 사용되는 렌즈의 경우에는 집광 면적을 감소시켜 광감도(Photo sensitivity)를 저하시키며, 프로젝션 디스플레이장치의 스크린에 사용되는 렌즈의 경우에는 상기 간격(3)의 근처에서 광원으로부터 스크린으로 출사된 광이 굴절되지 않게 되어 광효율을 저하시키게 되는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 소정의 공정에 의하여 제작된 마이크로렌즈 배열에 있어서 렌즈와 렌즈 사이의 간격이 발생하여 채움율이 감소된 경우에 마이크로렌즈 배열의 채움율을 향상시켜 전체적인 마이크로렌즈의 광학적 특성을 개선하는 마이크로렌즈 배열 및 그 제조 방법을 제공함을 그 목적으로 한다.

본 발명은 상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 마이크로렌즈를 장착하기 위한 기판과; 상기 기판에 배열되어 결합된 다수의 마이크로렌즈와; 상기 마이크로렌즈들의 사이에 생성된 상기 기판상의 간격과 배열된 상기 다수의 마이크로렌즈의 상면을 덮도록 형성된 간격 채움막을; 포함하여 구성되어, 상기 간격 채움막에 의하여 상기 기판의 전체 면적에서 상기 마이크로렌즈가 차지하는 면적의 비율을 높히도록 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열을 제공한다.

이는 간격 채움막을 이용하여 마이크로렌즈사이에 간격이 발생하여 감소된 채움율(Fill factor)를 향상시켜 광학적 효율 및 광학 특성을 향상시키기 위함이다.

여기서, 상기 기판은 유리 재질 또는 실리콘 등과 같은 단일원소 반도체 또는 GaAs 등과 같은 화합물 반도체 재질로 형성된 것이 바람직하다.

또한, 상기 기판은 유기물 폴리머 재질 또는 금속 재질로 형성될 수도 있다.

그리고, 상기 마이크로렌즈는 유리, 단일원소 반도체, 화합물 반도체 , 금속, 유기물 폴리머 중 하나로 형성된 것이 효과적이다.

또한, 상기 마이크로렌즈는 렌티큘(Lanticular)렌즈, 벌집형(Honeycomb type)렌즈를 포함하는 다각형 렌즈, 원형, 타원형 렌즈, 2차원 배열이 가능한 임의의 형상을 가지는 렌즈가 2차원 배열로 이루어지는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 마이크로렌즈는 그 피치가 수 마이크로미터 내지 수백 마이크로미터의 크기를 갖는 것이 효과적이다.

또한, 상기 간격 채움막은 금속막, 유기물 폴리머막, 산화막, 질화막 중 하나의 물질로 형성된 것을 특징으로 한다. 이들의 물질은 각기 제조 방법에 따라 상기 간격 채움막으로 활용되어 광학적 효율을 향상시킬 수 있는 물질이며, 상기 물질들은 광학적 효율을 향상시키기 위한 막으로서 한정되기 위한 것이 아니며, 다른 물질이라도 간격 채움막으로 활용될 수 있다면 본 발명의 범주에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.

한편, 본 발명의 다른 분야에 따르면, 상기 마이크로렌즈 배열을 제조하는 방법에 있어서, 상기 기판을 준비하는 단계와; 상기 마이크로렌즈를 제조하는 단계와; 상기 기판의 상면에 상기 마이크로렌즈를 배열하여 결합하는 단계와; 상기 마이크로렌즈의 배열의 상면과 상기 마이크로렌즈 사이의 간격에 간격 채움막을 형성하는 단계를; 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열의 제조 방법을 제공한다.

여기서, 상기 간격 채움막을 형성하는 단계에서의 상기 간격 채움막은 전해 도금, 무전해 도금에 의하여 형성된 금속막으로 이루어진것이 바람직하다.

그리고, 상기 간격 채움막을 형성하는 단계에서의 상기 간격 채움막은 스퍼터링(Sputtering)이나 승화증착법(Evaporation) 등으로 형성된 금속막 또는 유기물 폴리머 막으로 이루어진것이 효과적이다.

또한, 상기 간격 채움막을 형성하는 단계에서의 상기 간격 채움막은 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition ; CVD)으로 형성된 산화막이나 질화막으로 형성된 것이 바람직하다.

그리고, 상기 간격 채움막을 형성하는 단계에서의 상기 간격 채움막은 스핀 코팅(Spin coating)이나 스프레이 코팅(Spray coating)에 의하여 형성된 유기물 폴리머로 형성된 것이 효과적이다.

또한, 상기 간격 채움막을 형성하는 단계는 마이크로렌즈 배열의 형상을 보정하는 단계로 이용될 수 있다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 관하여 상세히 설명한다.

다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다. 또한 전술한 구성과 동일 및 동일 상당 부분에 대해서는 동일 또는 동일 상당한 참조 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.

도3 및 도4는 본 발명의 제1실시예에 따른 향상된 채움율을 갖는 마이크로렌즈 배열을 나타낸 도면으로서, 도3은 본 발명의 제1실시예에 따른 향상된 채움율을 갖는 마이크로렌즈 배열의 사시도, 도4는 도3의 절단선 Ⅳ-Ⅳ에 따른 단면도이다.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 향상된 채움율을 갖는 마이크로렌즈의 배열(100)은 마이크로렌즈를 설치하는 기판(110)과, 그 위에 입사광을 굴절시키도록 촘촘히 배열되도록 형성된 마이크로렌즈(120)와, 마이크로렌즈(120) 및 마이크로렌즈(120) 사이의 간격(123)을 덮도록 형성된 간격 채움막(130)을 포함하여 구성된다. 즉, 종래의 마이크로렌즈 배열에서 각각의 마이크로렌즈 사이의 간격은 상기 간격 채움막(130)에 의하여 채워져 없어지게 된다.

한편, 마이크로렌즈 배열(100)상에 간격 채움막(130)을 포함하여 사용하는 경우에 상기 간격 채움막(130)은 투명한 간격 채움막을 사용하는 것이 효과적이다.

상기 간격 채움막은 증착하는 방법에 따라 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition; CVD) 방법 등에 의하여 산화막 또는 질화막으로 형성될 수 있으며, 스핀 코팅(Spin coating), 스프레이코팅(spray coating) 방법 등에 의하여 유기물 폴리머로 형성될 수도 있다.

간격 채움막(130)을 포함한 마이크로렌즈(120)의 배열이 금형을 만들기 위한 금형 마스터로 사용될 경우에는, 간격 채움막(130)은 투명한 막으로 형성될 수도 있으며 또한 불투명한 막으로 형성될 수도 있다.

불투명한 간격 채움막(130)은 증착하는 방법에 따라 전해 도금이나 무전해 도금에 의하여 금속막으로 형성될 수 있으며, 스퍼터링(Sputtering)에 의하여 금속막으로도 형성될 수 있고, 승화증착법(Evaporation)에 의하여 표면 전체가 균일한 두께로 증착되는 금속막 또는 패릴린(Parylene)으로도 형성될 수 있다.

상기 간격 채움막(130)은 마이크로렌즈의 설계에 따라 소정의 두께로 증착이 되며, 이는 증착하는 방법에 따라 증착 조건을 변경함으로서 용이하게 조절될 수 있다.

도5 내지 도6은 본 발명의 제2실시예에 따른 향상된 채움율을 갖는 마이크로렌즈 배열을 나타낸 도면으로서, 도5는 본 발명의 제2실시예에 따른 향상된 채움율을 갖는 마이크로렌즈 배열의 사시도, 도6은 도5의 절단선 Ⅵ-Ⅵ에 따른 단면도이다.

본 발명의 제2실시예에 따른 향상된 채움율을 갖는 마이크로렌즈 배열을 설 명함에 있어서, 전술한 제1실시예의 구성 및 작용과 동일 및 동일 상당 부분에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의하여 채움율을 향상시키기 위하여 간격 채움막(130)을 마이크로렌즈(120)의 배열에 형성하는 방법이 적용될 수 있는 마이크로렌즈의 형상은 제1실시예에서 설명한 렌티큘(Lanticular) 마이크로렌즈 이외에도 육각형 형상의 마이크로렌즈(220)를 포함한다. 더욱이, 상기 렌티큘 마이크로렌즈 및 육각형 형상의 마이크로렌즈(220)를 포함한 다각형 렌즈, 원형 또는 타원형 렌즈 등 임의의 형상을 갖는 마이크로렌즈에도 적용될 수 있음은 명백하다.

또한, 제1실시예에서 설명한 마이크로렌즈 배열에 간격채움막(130,230)을 형성하는 제조 방법은 마이크로렌즈 상의 렌즈 곡률에 따라 증착률이 상이한 막을 형성함에 의하여 렌즈 형상을 조절하는 것도 가능하다.

즉, 전해 도금, 무전해 도금, 스퍼터링, 승화 증착, 화학기상증착 등에 의하여 각각의 공정 조건을 변경함으로서 간격 채움막(130,230)이 마이크로렌즈 (120,220) 배열의 상부 및 마이크로렌즈 사이의 간격(123,223) 및 측벽(122,222) 등에 대하여 증착률의 조절이 가능하게 된다. 이를 통하여, 마이크로렌즈(120,220)의 비구면 상수를 조절하여 마이크로렌즈(120,220)의 광학적 특성을 크게 향상시킬 수 있게 된다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절히 변경 가능한 것이다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 마이크로렌즈 배열에 있어서 마이크로렌즈 사이에 생성되는 간격 및 마이크로렌즈의 상면등에 간격 채움막을 형성시킴에 의하여 100%의 채움율에 도달하거나 이에 상응하는 만큼의 채움율을 달성하여 마이크로렌즈 배열의 광학적 효율을 극대화하는 등 광학적 특성을 향상시킬 수 있는 향상된 채움율을 갖는 마이크로렌즈 배열 및 그 제조 방법을 제공한다.

상기와 같이 제작된 마이크로렌즈 배열은 고성능의 광효율을 요구하는 광학 시스템에 응용될 수 있으며, 특히 고휘도를 갖는 프로젝션 디스플레이 장치의 스크린에 이용될 수도 있다.

또한, 본 발명에 따른 간격 채움막을 형성하는 방법은 기존의 마이크로렌즈 배열에 렌즈의 곡률에 따라 증착률이 다른 막을 증착할 수 있도록 함으로서 다양한 형상을 갖는 렌즈를 제작할 수 있게 된다. 더욱이, 종래에 정밀 가공에 의하여 정밀한 렌즈를 제작하는 방법에 비하여 반도체 일관 제조 공정으로 제작되므로, 대량 생산 및 제조 비용의 감소가 용이한 장점도 아울러 갖는다.

Claims (28)

1. 삭제
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 마이크로렌즈를 장착하기 위한 기판과;

   상기 기판에 2차원적으로 배열되어 결합된 다수의 마이크로렌즈와;

   상기 마이크로렌즈들의 사이에 생성된 상기 기판상의 간격과 배열된 상기 다수의 마이크로렌즈의 상면을 덮도록 형성된 간격 채움막을;

   포함하여 구성되어, 상기 간격 채움막에 의하여 상기 기판의 전체 면적에서 상기 마이크로렌즈가 차지하는 면적의 비율을 높이도록 구성되고, 상기 기판은 유기물 폴리머 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열.
6. 삭제
7. 마이크로렌즈를 장착하기 위한 기판과;

   상기 기판에 2차원적으로 배열되어 결합된 다수의 마이크로렌즈와;

   상기 마이크로렌즈들의 사이에 생성된 상기 기판상의 간격과 배열된 상기 다수의 마이크로렌즈의 상면을 덮도록 형성된 간격 채움막을;

   포함하여 구성되어, 상기 간격 채움막에 의하여 상기 기판의 전체 면적에서 상기 마이크로렌즈가 차지하는 면적의 비율을 높이도록 구성되고, 상기 마이크로렌즈는 유리로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열.
8. 마이크로렌즈를 장착하기 위한 기판과;

   상기 기판에 2차원적으로 배열되어 결합된 다수의 마이크로렌즈와;

   상기 마이크로렌즈들의 사이에 생성된 상기 기판상의 간격과 배열된 상기 다수의 마이크로렌즈의 상면을 덮도록 형성된 간격 채움막을;

   포함하여 구성되어, 상기 간격 채움막에 의하여 상기 기판의 전체 면적에서 상기 마이크로렌즈가 차지하는 면적의 비율을 높이도록 구성되고, 상기 마이크로렌즈는 단일원소 반도체 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열.
9. 마이크로렌즈를 장착하기 위한 기판과;

   상기 기판에 2차원적으로 배열되어 결합된 다수의 마이크로렌즈와;

   상기 마이크로렌즈들의 사이에 생성된 상기 기판상의 간격과 배열된 상기 다수의 마이크로렌즈의 상면을 덮도록 형성된 간격 채움막을;

   포함하여 구성되어, 상기 간격 채움막에 의하여 상기 기판의 전체 면적에서 상기 마이크로렌즈가 차지하는 면적의 비율을 높이도록 구성되고, 상기 마이크로렌즈는 화합물 반도체 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열.
10. 마이크로렌즈를 장착하기 위한 기판과;

    상기 기판에 2차원적으로 배열되어 결합된 다수의 마이크로렌즈와;

    상기 마이크로렌즈들의 사이에 생성된 상기 기판상의 간격과 배열된 상기 다수의 마이크로렌즈의 상면을 덮도록 형성된 간격 채움막을;

    포함하여 구성되어, 상기 간격 채움막에 의하여 상기 기판의 전체 면적에서 상기 마이크로렌즈가 차지하는 면적의 비율을 높이도록 구성되고, 상기 마이크로렌즈는 금속으로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열.
11. 마이크로렌즈를 장착하기 위한 기판과;

    상기 기판에 2차원적으로 배열되어 결합된 다수의 마이크로렌즈와;

    상기 마이크로렌즈들의 사이에 생성된 상기 기판상의 간격과 배열된 상기 다수의 마이크로렌즈의 상면을 덮도록 형성된 간격 채움막을;

    포함하여 구성되어, 상기 간격 채움막에 의하여 상기 기판의 전체 면적에서 상기 마이크로렌즈가 차지하는 면적의 비율을 높이도록 구성되고, 상기 마이크로렌즈는 유기물 폴리머로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열.
12. 마이크로렌즈를 장착하기 위한 기판과;

    상기 기판에 2차원적으로 배열되어 결합된 다수의 마이크로렌즈와;

    상기 마이크로렌즈들의 사이에 생성된 상기 기판상의 간격과 배열된 상기 다수의 마이크로렌즈의 상면을 덮도록 형성된 간격 채움막을;

    포함하여 구성되어, 상기 간격 채움막에 의하여 상기 기판의 전체 면적에서 상기 마이크로렌즈가 차지하는 면적의 비율을 높이도록 구성되고, 상기 마이크로렌즈는 렌티큘(Lanticular)렌즈로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열.
13. 마이크로렌즈를 장착하기 위한 기판과;

    상기 기판에 2차원적으로 배열되어 결합된 다수의 마이크로렌즈와;

    상기 마이크로렌즈들의 사이에 생성된 상기 기판상의 간격과 배열된 상기 다수의 마이크로렌즈의 상면을 덮도록 형성된 간격 채움막을;

    포함하여 구성되어, 상기 간격 채움막에 의하여 상기 기판의 전체 면적에서 상기 마이크로렌즈가 차지하는 면적의 비율을 높이도록 구성되고, 상기 마이크로렌즈는 벌집형(Honeycomb type)렌즈를 포함하는 다각형 렌즈로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열.
14. 삭제
15. 제 5항 또는 제7항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 마이크로렌즈는 그 피치가 수 마이크로미터 내지 수백 마이크로미터의 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열.
16. 제 5항 또는 제7항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 간격 채움막은 금속막으로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열.
17. 삭제
18. 마이크로렌즈를 장착하기 위한 기판과;

    상기 기판에 2차원적으로 배열되어 결합된 다수의 마이크로렌즈와;

    상기 마이크로렌즈들의 사이에 생성된 상기 기판상의 간격과 배열된 상기 다수의 마이크로렌즈의 상면을 덮도록 형성된 간격 채움막을;

    포함하여 구성되어, 상기 간격 채움막에 의하여 상기 기판의 전체 면적에서 상기 마이크로렌즈가 차지하는 면적의 비율을 높이도록 구성되고, 상기 간격 채움막은 산화막으로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열.
19. 마이크로렌즈를 장착하기 위한 기판과;

    상기 기판에 2차원적으로 배열되어 결합된 다수의 마이크로렌즈와;

    상기 마이크로렌즈들의 사이에 생성된 상기 기판상의 간격과 배열된 상기 다수의 마이크로렌즈의 상면을 덮도록 형성된 간격 채움막을;

    포함하여 구성되어, 상기 간격 채움막에 의하여 상기 기판의 전체 면적에서 상기 마이크로렌즈가 차지하는 면적의 비율을 높이도록 구성되고, 상기 간격 채움막은 질화막으로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열.
20. 마이크로렌즈를 장착하기 위한 기판과, 상기 기판에 2차원적으로 배열되어 결합된 다수의 마이크로렌즈와, 상기 마이크로렌즈들의 사이에 생성된 상기 기판상의 간격과 배열된 상기 다수의 마이크로렌즈의 상면을 덮도록 형성된 간격 채움막을 포함하여 구성된 마이크로렌즈 배열을 제조하는 방법으로서,

    상기 기판을 준비하는 단계와;

    상기 마이크로렌즈를 제조하는 단계와;

    상기 기판의 상면에 상기 마이크로렌즈를 배열하여 결합하는 단계와;

    상기 마이크로렌즈의 배열의 상면과 상기 마이크로렌즈 사이의 간격에 간격 채움막을 형성하는 단계를;

    포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열의 제조 방법.
21. 제 20항에 있어서,

    상기 간격 채움막을 형성하는 단계에서의 상기 간격 채움막은 전해 도금에 의하여 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열의 제조 방법.
22. 제 20항에 있어서,

    상기 간격 채움막을 형성하는 단계에서의 상기 간격 채움막은 무전해 도금에 의하여 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열의 제조 방법.
23. 제 20항에 있어서,

    상기 간격 채움막을 형성하는 단계에서의 상기 간격 채움막은 스퍼터링(Sputtering)에 의하여 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열의 제조 방법.
24. 제 20항에 있어서,

    상기 간격 채움막을 형성하는 단계에서의 상기 간격 채움막은 승화증착법(Evaporation)에 의하여 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열의 제조 방법.
25. 제 20항에 있어서,

    상기 간격 채움막을 형성하는 단계에서의 상기 간격 채움막은 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition ; CVD)에 의하여 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열의 제조 방법.
26. 제 20항에 있어서,

    상기 간격 채움막을 형성하는 단계에서의 상기 간격 채움막은 스핀 코팅(Spin coating)에 의하여 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열의 제조 방법.
27. 제 20항에 있어서,

    상기 간격 채움막을 형성하는 단계에서의 상기 간격 채움막은 스프레이 코팅(Spray coating)에 의하여 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열의 제조 방법.
28. 제 20항에 있어서,

    상기 간격 채움막을 형성하는 단계는 마이크로렌즈 배열의 형상을 보정하는 단계인 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 배열의 제조 방법.

Images