KR100586831B1 - 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상(幾上)측정시스템 - Google Patents

가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상(幾上)측정시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 가속도계가 설치된 프로브장치가 구비된 선반공구대를 X축과 Z축으로 이송시켜 이 가속도계를 통해 선반공구대의 위치좌표를 측정함으로써 기상측정의 정확성을 높일 수 있도록 한 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템에 관한 것으로서, 측정물에 접촉되는 컨택트 볼이 단부에 설치되어 공기압을 통해 상하로 이동가능하게 설치되는 가동부재를 내부에 구비하여 선반공구대와 연결되는 프로브 장치를 구비하여, 프로브 장치를 통해 측정물의 기상측정을 할 수 있도록 한 초정밀 가공기용 기상측정시스템에 있어서, 선반공구대는 X축과 Z축 방향으로 이동가능하게 설치되는 한편, 프로브장치에는 선반공구대의 X축, Z축 방향으로의 이동에 따른 선형 가속도와 각가속도를 측정하여 선반공구대의 위치좌표를 측정할 수 있도록 한 가속도계가 설치되어, 가속도계를 통해 측정된 선반공구대의 위치좌표를 얻을 수 있도록 하는 한편, 컨택트 볼과 측정물의 접촉시 컨택트 볼의 Z축 방향 이동에 따른 거리와 회전각을 조합하여 측정물의 기상을 측정할 수 있도록 한다.
공작기계, 프로브, 기상측정, 정전용량형 센서, 가속도계, 선반공구대

Description

가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상(幾上)측정시스템{On-the-machine measurement device for super-precision turning operations using a accelerometer}
도 1 은 종래의 초정밀 가공기용 기상측정시스템을 보인 구성도.
도 2 는 본 발명에 따른 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템을 보인 구성도.
도 3 은 본 발명에 따른 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템의 구성도.
도 4 는 본 발명에 따른 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템의 신호흐름을 보인 구성도.
도 5 는 본 발명에 따른 프로브의 위치와 각 X,Y,Z축에 대한 프로브의 회전각을 나타낸 예시도.
도 6 은 본 발명에 따른 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템의 접촉식 프로브장치를 보인 개략적인 구성도.
도 7 은 본 발명에 따른 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템의 접촉식 프로브장치를 보인 단면 상세도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 프로브 110 : 프로브 하우징
120 : 압력조절밸브 130 : 가동부재
140 : 스테이터 150 : 컨택트 볼
160 : 정전용량형 센서 170 : 프로브 홀더
180 : 가속도계
본 발명은 초정밀 선삭가공용 기상측정기의 접촉식 프로브장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 가속도계가 설치된 프로브장치가 구비된 선반공구대를 X축과 Z축으로 이송시켜 이 가속도계를 통해 선반공구대의 위치좌표를 측정함으로써 기상측정의 정확성을 높일 수 있도록 한 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템에 관한 것이다.
일반적으로, CNC(Computer Numerical Control) 공작기계에서 기상측정시스템(On-the-Machine Measurement;OMM)을 구성하기 위해 사용이 가능한 센서로는 3점볼의 접점신호를 이용한 터치 트리거 프로브(Touch Trigger Probe), 스타일러스(Stylus)가 평행 이동기구를 갖는 스캐닝 프로브 및 비접촉 방법인 레이져 변위계(Laser Displacement Sensor) 등이 있다. 이러한 센서 중 터치 트리거 프로브와 비접촉 방법인 레이져 변위계를 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 3점식 볼구조의 터치 프로브에 있어서, 터치 프로브는 구조가 간단하다는 장점이 있으나, 3점볼이 스타일러스를 지지하므로 측정방향에 따라 측정압의 차이가 발생하며, 초기 이동량이 인터페이스 유니트를 통해 CNC에서 스킵(Skip)신호를 입력받은 후, 그때의 기계 좌표값을 측정값으로 하기 때문에 프로브의 이동속도에 따라 프리 트래블 에러(Pre Travel Error)를 가진다. 이에 대한 보상이 필요하며 측정속도가 비교적 느린 단점을 갖고 있다.
또한, 레이져 변위계는 통상 광축 방향으로만 측정이 가능하다는 단점을 가지지만, 높은 측정 정밀도를 얻을 수 있고 측정 속도가 빠르며 거칠기 정보와 형상정보를 동시에 얻을 수 있는 장점을 갖는다. 반도체 레이져를 이용한 변위계는 수광부가 PSD(Position Sensitive Detector)형과 CCD(Charge coupled Device)형이 있다. PSD의 경우 가장 폭넓게 사용이 되고 있는 방법으로, 측정원리는 광소자로 들어오는 전체 스폿의 광량 분포상태를 이용하여 스폿 중심을 찾는다. 광량 분포는 피측정물의 반사율, 거칠기, 색 등의 영향을 받는다. 따라서, 정확도가 떨어지는 측정기 또는 제한된 환경에서의 고정밀 측정기에 적용이 되고 있다. CCD는 피트치를 찾아 대상물의 위치를 찾기 때문에 환경적인 요인을 거의 받지 않는 장점이 있다.
이중 본 출원인은 터치 트리거 프로브에 관해 2002년 6월10일 특허출원번호 제10-2002-0032298호로 출원되고, 2003년 12월18일 공개번호 제10-2003-0094938호로 공개된 '초정밀 선삭가공용 기상측정기의 접촉식 프로브장치'를 제안하였는데, 이는 도 1 에 도시된 바와 같이, 기상측정장치의 측정프로브가 설치된 선반공구대(9)가 Z축으로 움직이면서 측정물(20)의 형상을 측정할 때 각 측정점에서의 측정값은 선반공구대(9)의 Z축 좌표(NC 데이타)와 측정 프로브(7)의 조합을 통해 구할 수 있도록 하고, 여기에 측정된 이송축 오차를 형상측정값에 반영함으로써, 최종적인 형상측정 결과를 구할 수 있고, 따라서 기계적인 이송축 오차를 없앤 형상측정값을 얻도록 하였다.
한편, 이송축 오차는 분해능 10nm의 레이져 변위 센서(5)를 사용하여 이송축 과 평행하게 설치된 스트레이트 에지(Straight Edge-Long Mirror)(3)를 기준으로 실시간으로 스핀들이 X축상에서 움직일 때 Z축 방향의 흔들림을 측정한 것이다.
하지만, 특허출원번호 제10-2002-0032298호는 선반공구대(9)의 각 축의 좌표를 NC데이타를 이용하여 측정결과에 NC데이타를 이용하므로 NC의 기계적 오차가 측정결과에 포함되게 되고, 스트레이트 에지(3)와 레이져 변위센서(5)를 더 구비하여야 한다는 문제점이 있었다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 가속도계가 설치된 프로브장치가 구비된 선반공구대를 X축과 Z축으로 이송시켜 이 가속도계를 통해 선반공구대의 위치좌표를 측정함으로써 기상측정의 정확성을 높일 수 있도록 한 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위해 안출된 본 발명의 가속도계를 이용한 초정밀가공기용 기상측정시스템은, 측정물에 접촉되는 컨택트 볼이 단부에 설치되어 공기압을 통해 상하로 이동가능하게 설치되는 가동부재를 내부에 구비하여 선반공구대와 연결되는 프로브 장치를 구비하여, 프로브 장치를 통해 측정물의 기상측정을 할 수 있도록 한 초정밀 가공기용 기상측정시스템에 있어서, 선반공구대는 X축과 Z축 방 향으로 이동가능하게 설치되는 한편, 프로브장치에는 선반공구대의 X축, Z축 방향으로의 이동에 따른 선형 가속도와 각가속도를 측정하여 선반공구대의 위치좌표를 측정할 수 있도록 한 가속도계가 설치되어, 가속도계를 통해 측정된 선반공구대의 위치좌표를 얻을 수 있도록 하는 한편, 컨택트 볼과 측정물의 접촉시 컨택트 볼의 Z축 방향 이동에 따른 거리와 회전각을 조합하여 측정물의 기상을 측정할 수 있도록 한다.
여기서, 상기한 가속도계는 선반공구대의 가속도를 컨택트 볼이 측정물에 접촉할 때까지 반복해서 측정한다.
또한, 가동부재의 상단과 이격되게 설치되어 컨택트 볼과 측정물의 접촉에 의해 발생되는 가동부재의 상하이동에 의한 거리를 전압값의 차이를 통해 측정하는 정전용량형 센서를 구비한다.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2 는 본 발명에 따른 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템을 보인 구성도이고, 도 3 은 본 발명에 따른 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템의 구성도이며, 도 4 는 본 발명에 따른 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템의 신호흐름을 보인 구성도이며, 도 5 는 본 발명에 따른 프로브의 위치와 각 X,Y,Z축에 대한 프로브의 회전각을 나타낸 예시도이다.
본 발명의 기상측정시스템은 터치 프로브와 유사한 측정방법을 사용하지만 볼의 접점신호를 이용하는 터치 트리거 프로브를 사용하진 않고, 정전용량형 센서(160)와 가동부재(130)의 간격을 읽어서 트리거 신호를 발생시키는 방식으로 측정 시스템이 구성되어 있다. 이 때, 기상형상 측정 정밀도를 확보하기 위해, 프로브의 정확한 위치를 측정하는 오차보상시스템이 필요한데, 이를 위해 본 발명에서는 도 1 에 도시된 바와 같이, 프로브(100)의 프로브 하우징(110) 표면에 가속도계(180)를 설치하여 이 가속도계(180)를 통해 프로브(100)의 움직이는 거리 및 회전 각도를 측정하여 프로브(100)의 정확한 좌표값 및 회전각(θ)에 따른 정전용량센서(150)의 값을 보정하여 기상측정의 정확성을 높일 수 있도록 하였다.
즉, 본 발명의 오차보상시스템은 공작물(20)이 고정된 상태에서, 선반공구대(200)가 X축과 Z축 2축으로 이송되면서 프로브(100)의 프로브 하우징(110) 표면에 설치된 6축 측정 가속도계(180)가 X축, Y축, Z축으로의 선형 가속도(aX, aY, aZ)와 각가속도(αX, αY, αZ )를 측정하게 된다.
이와 같이 6축의 가속도계(180)로 각각의 가속도를 기상측정작업동안 일정 주기로 계속해서 측정한 후, 이 측정결과를 이용하여 신호 후처리 작업을 통해서 선반공구대(200)의 진직도 오차가 포함된 정확한 위치(X축, Y축, Z축)와 도 7 에 도시된 각 축에 대해서 프로브(100)의 회전각(θ) 즉, 프로브가 스핀들 축(Z축)에 대해서 회전한 각도를 구할 수 있게 된다.
이러한 오차보상 시스템을 구비한 본 발명의 기상측정시스템의 구성 및 신호흐름을 도 3 과 도 4 를 참조하여 설명하면, 최초 측정이 시작되면 측정 PC측에 설 치된 DIO(Digital Input Output) 보드의 DO(Digital Output) 출력을 통해 NC쪽의 PLC I/O로 측정을 진행하라는 신호를 보낸다. 이 신호를 NC측에서 받게 되면 NC는 선반공구대(200)를 이송시켜 프로브(100)를 측정위치로 이동시키게 되고, 이송 중에 프로브(100)는 공작물에 접촉을 하게 되어 트리거 신호를 발생하게 된다. 측정 PC측에서는 이 트리거 신호를 감지하여 NC 스킵 기능이 동작되도록 DO를 통해 PLC의 I/C로 기계 정지 신호를 출력한다. PLC I/C를 통해 기계정지 신호를 받은 NC는 기계를 정지시키고, 완전히 정지되면 정지가 되었음을 확인시키는 신호를 측정 PC측의 DI(Digital Input)로 보낸다.
여기서, 측정할 위치의 G-code를 측정 PC에서 NC에 전송하기 위해서 NC에서 지원하는 LAN통신을 이용하고, TCP/IP 소켓을 사용하여 측정 PC에서 데이터를 요청할 경우 NC측에서 각 축의 기계좌표 및 절대좌표를 전송하도록 한다.
한편, 프로브(100)의 정확한 위치를 측정하는 과정은 상기한 선반 공구대(200)가 X축과 Z축방향으로 움직이면서 상기한 바와 같은 기상측정을 수행하는 동안, 측정 PC는 가속도계(180)의 6축의 가속도의 값들을 계속해서 읽어들이고, 정전용량의 센서(150)의 값을 관찰하다가 프로브(100)에서 트리거 신호가 발생된 이후부터 정지확인신호를 확인할 때까지 프로브(100)의 정전용량형 센서(160)의 값을 읽어 오게 된다.
이때 측정 PC측에서 이송중인 프로브(100)가 측정물(20)에 접촉하게 되어 트리거 신호가 발생한 이후에는 가속도가 급변하게 되므로, 선반공구대(200)의 이동거리를 구할때는 트리거 신호가 발생되기 전까지만의 측정된 가속도를 이용하고 트 리거 신호가 발생한 후부터 기계가 완전히 정지되었음을 확인하는 완전 정지신호까지는 정전용량형 센서(150)의 값을 이용한다.
따라서, 6축의 가속도계(180)로 각각의 가속도를 기상측정작업동안 일정 주기로 계속해서 측정을 하므로, 모든 측정이 끝난 후, 측정결과를 이용하여 신호 후처리 작업을 통해 선반공구대의 진직도 오차가 포함된 정확한 위치(X축, Y축, Z축 좌표)와 각 축에 대해서 프로브의 회전각(θ) 즉, 도 5 에 도시된 프로브가 스핀들 축(Z축)에 대해서 회전한 각도를 구할 수 있다.
따라서, 이때 계산된 프로브(100)의 위치좌표와 프로브(100)의 회전각(θ)을 고려한 프로브(100)의 정전용량형 센서(160)의 값을 조합 즉, 도 5 에서 정전용량 센서(150)의 값이 ｌ1 이 나왔다면 회전각(θ)을 고려한 실제 Z축 방향으로의 변위는 ｌ1 cosθ 계산하여 최종적으로 기상측정을 할 수 있다.
도 6 은 본 발명에 따른 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템의 접촉식 프로브장치를 보인 개략적인 구성도이고, 도 7 은 본 발명에 따른 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템의 접촉식 프로브장치를 보인 단면 상세도이다.
본 발명에 따른 프로브(100)는 공기압의 배출이 이루어지는 프로브 하우징(110), 프로브 하우징(110) 내부의 공기압을 조절하는 압력 조절 밸브(120), 공기압에 의해 상시 공작물(20) 방향으로 그 힘이 작용하는 가동부재(130), 가동부재(130)와 사이에 공기압 베어링이 형성되도록 그 외주면에 설치되는 스테이터(140), 가동부재(130)의 하단에 설치된 볼 지지부재(132)에 의해 지지되어 공작물(20) 표면에 접촉되는 컨택트 볼(150), 가동부재(130)의 위치를 측정하는 정전용량형 센서(160), 프로브 하우징(110)을 선반 공구대(200)에 지지되도록 하는 프로브 홀더(170), 및 프로브 하우징(110)의 표면에 설치되어 6축 가속도를 계속적으로 측정하는 가속도계(180)로 이루어진다. 또한, 정전용량형 센서(160)에는 기본적으로 센서 앰프 및 앰프 전원부(도시하지 않음)가 구성된다.
먼저, 프로브 하우징(110)은 가동부재(130)와 정전용량형 센서(160)를 지지하기 위한 것으로, 이 프로브 하우징(110)의 구조는 그 내부에 일정 크기의 공간이 형성되고, 공간으로 일정 압력의 공기를 공급하는 공기공급공(112)과 공급된 공기를 배출시키는 공기 배출공(114)이 형성된다.
전술한 바와 같은 프로브 하우징(110)은 공기 공급공(112)을 통해 공급되는 공기의 압력을 통해 가동부재(130)를 상시 하향으로 그 힘이 작용되도록 하며, 공간상의 공기압이 설정된 값 이상이면 공기 배출공(114)을 통해 배출하여 공간상의 공기압을 조절하게 된다.
압력 조절 밸브(120)는 프로브 하우징(110) 내부의 공기압을 조절하기 위한 것으로, 이 압력 조절 밸브(120)는 공기 배출공(114)의 일측에 설치되어 프로브 하우징(110) 내부의 공기압이 설정치 이하이면 공기 배출공(114)을 폐쇄시키고, 프로브 하우징(110) 내부의 공기압이 설정치 이상이면 공기 배출공(114)을 개방시켜 공간상의 공기압을 조절하게 된다.
가동부재(130)는 컨택트 볼(150)의 변위를 전달하기 위한 것으로, 이 가동부 재(130)는 프로브 하우징(110)의 내측 하부에 상하로는 이동 간으하게 설치되어지나, 회전은 이루어지지 않는 구조로 이루어진다. 이때, 가동부재(130)는 회전되지 않도록 다각형 구조로 형성되는데, 본 발명의 구성에서는 사각형의 구조로 형성되었다.
전술한 가동부재(130)는 공급된 공기압에 의해 하향으로 그 힘이 작용하고 있는 상태에서 공작물(20)을 측정하게 되면 컨택트 볼(150)의 변위에 따라 상하로 움직이면서 그 위치가 상하로 가변된다. 이에 따라 가동부재(130)는 정전용량형 센서(160) 하단에 근접되거나 멀어지게 되어 전압값의 변화가 발생하게 된다. 즉, 가동부재(130)의 위치에 따른 전압값의 변화가 발생되고, 이 전압값의 차이는 정전용량형 센서(160)에 의해 측정되어 트리거 신호로써 측정 PC로 전송된다.
스테이터(140)는 가동부재(130)와의 사이에 공기압 베어링이 형성되도록 하는 것으로서, 이 스테이터(140)는 프로브 하우징(110) 내측에 설치 고정되어지되 가동부재(130) 외주면에 설치된다. 이처럼 구성된 스테이터(140)는 가동부재(130)를 지지하여 상하로만 움직임이 가능하도록 한다.
전술한 스테이터(140)는 본 발명의 구성에서는 다공성의 카본 소재로 구성하여 프로브 하우징(110)의 내부로 공급된 공기가 가동부재(130)와 스테이터(140) 사이에서 공기베어링의 역할을 할 수 있도록 하며, 가동부재(130)의 상하 움직임에 따른 마찰을 극소화할 수 있도록 한다.
컨택트 볼(150)은 공작물(20)의 표면 거칠기 또는 그 표면 형상에 따른 변위가 발생되고, 이러한 컨택트 볼(150)의 변위는 가동부재(130)로 전달된다.
정전용량형 센서(160)는 가동부재(130)의 상하 움직임에 따른 위치 변화에 의해 발생되는 전압값의 차이를 측정하여 가동부재(130)의 위치를 검출하는 것으로서, 가동부재(130)의 상단과 일정거리 이격되어 프로브 하우징(110)의 내측 상부에 설치된다.
이 정전용량형 센서(160)는 본 발명에 따른 프로브(100)의 분해능을 결정하는 것으로, 본 발명에 따른 기상측정시스템의 궁긍적인 목적을 달성하기 위해 ADE사의 분해능 10nm를 가지는 PC3203 3/8' 정전용량형 센서를 사용하였다.
이러한 정전용량형 센서(160)는 가동부재(130)의 상단 또는 가동부재(130) 상단에 설치되는 센서 타겟(132)과 상대적 거리를 측정한다.
즉, 가동부재(130) 또는 센서 타겟(132)의 정위치 상태를 나타내는 노미널 스탠드오프(nominal standoff), 가동부재(130) 또는 센서 타겟(132)이 정전용량형 센서(160)로부터 최근접 상태를 니어 스탠드오프(near standoff), 가동부재(130) 또는 센서 타겟(132)이 정전용량형 센서(160)로부터 가장 원거리 상태를 파 스탠드오프(far stanoff)라 할 때, 정전용량형 센서(160)는 가동부재(130) 또는 센서 타겟(132)과 노미널 스탠드오프라 불리는 정위치에 대한 상대적 거리를 전압값의 차이를 통해 측정한다.
이는, 가동부재(130)나 센서 타겟(132)이 가까워질 수록 출력 전압을 감소하여 니어 스탠드오프에 위치하면 -10V가 출력되며, 노미널 스탠드오프에서 가동부재(130)나 센서 타겟(132)이 멀어질 수록 출력 전압이 증가하여 파 스탠드오프에서는 +10V가 출력된다.
프로브 홀더(170)는 프로브(100)를 지지하는 것으로, 이 프로브 홀더(170)는 선반공구대(200)의 이송축상에 설치되어 이송축 상에서 프로브(100)가 X축 방향으로 이동할 수 있도록 한다.
마지막으로, 가속도계(180)는 프로브 하우징(110)의 일측에 설치되어 선반공구대(200)의 X축, Z축 이동에 따른 선형 가속도 및 각 가속도를 측정하는 것으로서, 선반공구대(200)가 기상측정을 하는 동안 6축의 가속도(선형 가속도(aX, aY, aZ)와 각가속도(αX, αY, αZ))를 트리거 신호가 발생할 때까지 측정한다.
이에 따라, 선반공구대(200)의 진직도 오차가 포함된 정확한 위치(X축, Y축, Z축의 좌표)를 구할 수 있도록 하고, 도 4 에 도시된 바와 같은 각 축에 대해서 프로브(100)의 회전각(θ)(프로브(100)가 스핀들 축(Z축)에 대해서 회전한 각도)을 구할 수 있도록 한다.
따라서, 프로브(100)의 위치 좌표(X축, Y축, Z축의 좌표)와 프로브(100)의 회전각(θ)을 고려한 프로브의 정전용량센서 값을 조합, 즉 정전용량 센서의 값이 ｌ1 이 나왔다고 하면, 회전각(α)을 고려한 실제 Z축방향의 변위는 ｌ1cosθ로 하여 최종적으로 기상측정을 할 수 있도록 한다.
본 발명은 전술한 실시예에 국한되지 않고 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시될 수 있다.
이와 같이 구성되는 본 발명에 따르면, 선반 공구대의 각 축의 좌표를 NC데이타를 이용하지 않고, 가속도계를 이용하여 선반공구대의 위치를 측정하게 되므로, NC의 기계적 오차가 포함되지 않게 되고, 또한 측정면에 컨택트 볼이 접촉할 때 프로브의 회전각을 구할 수 있으므로, 프로브의 정전용량형 센서의 값을 이용할 때, 회전각을 고려한 값을 이용함으로써 좀 더 정확한 측정값을 얻을 수 있다.

Claims (3)

  1. 측정물에 접촉되는 컨택트 볼이 단부에 설치되어 공기압을 통해 상하로 이동가능하게 설치되는 가동부재를 내부에 구비하여 선반공구대와 연결되는 프로브 장치를 구비하여, 상기 프로브 장치를 통해 상기 측정물의 기상측정을 할 수 있도록 한 초정밀 가공기용 기상측정시스템에 있어서,
    상기 선반공구대는 X축과 Z축 방향으로 이동가능하게 설치되는 한편,
    상기 프로브장치에는 상기 선반공구대의 X축, Z축 방향으로의 이동에 따른 선형 가속도와 각가속도를 측정하여 상기 선반공구대의 위치좌표를 측정할 수 있도록 한 가속도계가 설치되어,
    상기 가속도계를 통해 측정된 상기 선반공구대의 위치좌표를 얻을 수 있도록 하는 한편, 상기 컨택트 볼과 측정물의 접촉시 상기 컨택트 볼의 Z축 방향 이동에 따른 거리와 회전각을 조합하여 상기 측정물의 기상을 측정할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 가속도계는 상기 선반공구대의 가속도를 상기 컨택트 볼이 상기 측정물에 접촉할 때까지 반복해서 측정하는 것을 특징으로 하는 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 가동부재의 상단과 이격되게 설치되어 상기 컨택트 볼과 측정물의 접촉에 의해 발생되는 상기 가동부재의 상하이동에 의한 거리를 전압값의 차이를 통해 측정하는 정전용량형 센서를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 가속도계를 이용한 초정밀 가공기용 기상측정시스템.
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