KR100583970B1 - Device for heating chemical of wet type cleaning apparatus - Google Patents

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Abstract

몸체와, 몸체 내부에 설치되며 케미컬이 경유하도록 케미컬 배관을 구비한 열전달부와, 몸체 내부에 탈착가능하게 결합되며 케미컬을 히팅하도록 적어도 하나 이상의 써모 모듈을 갖는 케미컬 히팅부 및, 케미컬을 냉각하도록 몸체 내부에 설치된 케미컬 냉각부를 포함하는 습식 세정장치의 온조기가 제공된다. 제공된 온조기에는 써모 모듈의 페일될 상태 등을 사전에 감지하도록 써모 모듈 감지수단이 구비되기 때문에 작업자는 공정진행 전에 이 페일될 써모 모듈을 미리 교체할 수 있다. A body, a heat transfer part installed inside the body and having a chemical pipe to pass the chemical, a chemical heating part detachably coupled to the inside of the body and having at least one thermo module to heat the chemical, and the body to cool the chemical body. A thermostat of a wet scrubber comprising a chemical cooling unit installed therein is provided. Since the provided thermostat is provided with a thermo module detecting means for detecting in advance the state of the thermo module to be failed, the operator can replace the thermo module to be failed before the process proceeds.

항온조, 온조기, 케미컬Thermostat, Thermostat, Chemical

Description

습식 세정장치의 온조기{Device for heating chemical of wet type cleaning apparatus}Thermostat of wet cleaning device {Device for heating chemical of wet type cleaning apparatus}

도 1은 본 발명에 따른 습식 세정장치의 일실시예를 도시한 개념도,1 is a conceptual diagram showing an embodiment of a wet cleaning device according to the present invention;

도 2는 도 1에 도시한 습식 세정장치의 온조기를 도시한 사시도,FIG. 2 is a perspective view showing a warmer of the wet cleaning device shown in FIG.

도 3은 도 2에 도시한 온조기의 분해사시도,3 is an exploded perspective view of the warmer shown in FIG.

도 4는 도 3에 도시한 온조기의 케미컬 히팅부를 도시한 사시도이다. 4 is a perspective view illustrating a chemical heating unit of the temperature controller shown in FIG. 3.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 온조기 13 : 열전달부10: temperature controller 13: heat transfer unit

15 : 케미컬 히팅부 17 : 케미컬 냉각부15: chemical heating unit 17: chemical cooling unit

20 : 순환펌프 30 : 필터 20: circulation pump 30: filter

40 : 혼합탱크 50 : 공정 배쓰40: mixing tank 50: process bath

60 : 탈이온수 공급탱크 70 : 케미컬 공급탱크60: deionized water supply tank 70: chemical supply tank

본 발명은 습식 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 습식 세정장치에 사용되는 케미컬이 항상 일정한 온도로 유지되도록 케미컬을 히팅(Heating)시켜주 는 습식 세정장치의 온조기에 관한 것이다. The present invention relates to a wet cleaning device, and more particularly, to a thermostat of a wet cleaning device for heating the chemical so that the chemical used in the wet cleaning device is always maintained at a constant temperature.

일반적으로 순수 실리콘 웨이퍼(Sillicon wafer)는 사진공정, 식각공정, 박막증착공정, 이온주입공정, 금속배선공정 등 일련의 단위공정을 반복적으로 수행함으로써 하나의 완성된 반도체 소자로 제조된다.In general, a pure silicon wafer is manufactured as one completed semiconductor device by repeatedly performing a series of unit processes such as a photo process, an etching process, a thin film deposition process, an ion implantation process, and a metal wiring process.

이와 같은 공정으로 제조되는 반도체 소자는 최근 패턴(Pattern)의 미세화와 함께 패턴이 고집적화되어감에 따라 공정진행 중에 발생하는 불순 파티클(Particle)이나 각종 오염물에 의한 미세오염으로 제품수율 및 신뢰성에 상당한 영향을 받게 된다. The semiconductor device manufactured by such a process has a significant effect on product yield and reliability due to the micro-contamination caused by impurity particles or various contaminants generated during the process as the pattern is highly integrated with the recent refinement of the pattern. Will receive.

이에, 반도체 소자를 제조하기 위한 각 단위공정의 진행중에는 모든 웨이퍼(Wafer)가 항상 청결한 상태로 유지되어야 한다. Therefore, all wafers must be kept clean at all times during the process of manufacturing each semiconductor device.

따라서, 대부분의 단위공정에서는 그 단위공정의 공정진행 전후에 웨이퍼를 별도로 세정해주는 웨이퍼 세정공정을 수행하고 있으며, 이는 주로 불화수소산(HF;Hydrofluoric acid) 등의 케미컬을 이용하여 웨이퍼를 세정하는 습식 세정장치에 의해 수행되고 있다. Therefore, most unit processes perform a wafer cleaning process to separately clean the wafer before and after the process of the unit process. This is mainly a wet cleaning process using a chemical such as hydrofluoric acid (HF). Being performed by the device.

한편, 습식 세정장치에 이용되는 케미컬의 경우, 온도에 따라 확연히 다른 세정율을 나타낼 수도 있다. 따라서, 습식 세정장치에 이용되는 케미컬의 경우 온조기 등에 의해 공정에 적합한 온도로 적절하게 히팅된 후 사용되고 있다. On the other hand, in the case of the chemical used in the wet cleaning apparatus, the cleaning rate may vary significantly depending on the temperature. Therefore, in the case of a chemical used in a wet cleaning apparatus, it is used after being properly heated to a temperature suitable for a process by an air conditioner or the like.

이하, 종래 습식 세정장치의 온조기에 대해 구체적으로 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the temperature controller of the conventional wet cleaning apparatus will be described in detail.

즉, 종래 온조기는 온조기 몸체 내부에 구비된 열전달플레이트(Plate)와, 열 전달플레이트의 내부 또는 열전달플레이트의 외부 일측에 설치되며 케미컬이 유입된 다음 유턴(U-turn)하여 다시 유출되도록 마련된 '⊃' 타입의 케미컬 순환배관과, 케미컬 순환배관 내부의 케미컬을 히팅하도록 열전달 플레이트의 양측에 각각 설치된 다수개의 써머 모듈(Thermo-module)로 구성되어 있다. That is, the conventional temperature controller is installed on the heat transfer plate (Plate) and the inner side of the heat transfer plate or the outer side of the heat transfer plate and the chemical is introduced to the U-turn after the inflow (U-turn) is provided to flow out again It consists of a '⊃' type chemical circulation pipe and a plurality of thermo-modules respectively installed on both sides of the heat transfer plate to heat the chemical in the chemical circulation pipe.

따라서, 종래 온조기는 케미컬 순환배관에 케미컬이 유입될 경우 케미컬 순환배관의 양측에 설치된 다수개의 써머 모듈을 구동함으로써 케미컬이 일정온도로 히팅되도록 하고 있다. Therefore, in the conventional temperature controller, when the chemical is introduced into the chemical circulation pipe, the chemical is heated to a predetermined temperature by driving a plurality of thermal modules installed at both sides of the chemical circulation pipe.

그러나, 종래 온조기에 구비된 써모 모듈의 경우, 일정시간이 지나 데미지(Damage)가 쌓이게 되면 공정진행 중에도 페일(Fail)되어지는 문제가 발생된다. 특히, 종래 온조기에 구비된 써모 모듈의 경우, 다수개의 써모 모듈이 모두 직렬로 연결되어 있기 때문에 하나의 써모 모듈이 페일될 시 전체 써모 모듈이 모두 동작되지 않게 되는 문제점이 있다. 따라서, 종래 습식 세정장치는 저온의 케미컬을 이용하여 공정을 진행할 수 밖에 없는 문제가 발생된다.However, in the case of the thermo module provided in the conventional temperature controller, if a damage is accumulated after a predetermined time, a problem occurs that the device is failed during the process. In particular, in the case of the thermo module provided in the conventional thermostat, since a plurality of thermo modules are all connected in series, there is a problem that the entire thermo module does not operate when one thermo module fails. Therefore, the conventional wet cleaning device has a problem that can only proceed the process using a low temperature chemical.

또한, 종래 온조기에 구비된 써모 모듈이 페일될 시 작업자는 이 써모 모듈을 교체해야 하는데, 종래 써모 모듈의 경우 전체 써모 모듈이 모두 연결되어 있기 때문에 하나의 써모 모듈이 페일된 경우에도 전체 써모 모듈을 전체적으로 교체해야 하는 비용의 낭비가 발생된다. In addition, when the thermo module provided in the conventional thermostat is failed, the operator must replace the thermo module. In the case of the conventional thermo module, since all the thermo modules are connected, the entire thermo module is failed even when one thermo module is failed. There is a waste of the cost of replacing the whole.

또, 종래 써모 모듈을 전체적으로 교체할 경우에는 온조기 내부에 설치된 케미컬 순환배관도 해체해야 하는데, 케미컬 순환배관에는 인체에 매우 유해한 불화수소산(HF) 등이 잔존하거나 이미 경유된 바 있기 때문에 작업자는 케미컬 순환배 관의 해체 전 케미컬 순환배관을 여러번에 걸쳐 세척한 다음 이 해체작업을 수행해야하는 번거로움 및 시간적 로스(Loss)가 발생된다. In addition, when replacing the conventional thermo module as a whole, the chemical circulation pipe installed inside the temperature controller must also be dismantled. The chemical circulation pipe includes the hydrofluoric acid (HF), which is very harmful to the human body, and has already been passed through the operator. The hassle and time-consuming loss of chemical disassembly work before the dismantling of the circulating pipes is required to be cleaned several times.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 본 발명의 목적은 써모 모듈의 페일시점을 미리 인지할 수 있는 습식 세정장치의 온조기를 제공하는데 있다. Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an air conditioner of a wet cleaning apparatus capable of recognizing a failure time of a thermo module in advance.

그리고, 본 발명의 다른 목적은 페일된 써모 모듈을 빠르고 용이하게 교체할 수 있는 습식 세정장치의 온조기를 제공하는데 있다. In addition, another object of the present invention is to provide a thermostat of a wet cleaning apparatus that can quickly and easily replace the failed thermo module.

또한, 본 발명의 또다른 목적은 전체 써모 모듈 중 페일된 일부 써모 모듈만을 부분적으로 교체할 수 있는 습식 세정장치의 온조기를 제공하는데 있다. In addition, another object of the present invention is to provide a thermostat of the wet cleaning apparatus, which can partially replace only a part of the failed thermo module among the entire thermo module.

이와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 제1관점에 따르면, 몸체와, 몸체 내부에 설치되며 케미컬이 경유하도록 케미컬 배관을 구비한 열전달부와, 몸체 내부에 탈착가능하게 결합되며 케미컬을 히팅하도록 적어도 하나 이상의 써모 모듈을 갖는 케미컬 히팅부 및, 케미컬을 냉각하도록 몸체 내부에 설치된 케미컬 냉각부를 포함하는 습식 세정장치의 온조기가 제공된다. According to a first aspect of the present invention for realizing such an object, the body, a heat transfer part installed inside the body and having a chemical pipe so that the chemical passes therethrough, is detachably coupled to the inside of the body, and at least to heat the chemical. A thermostat of a wet scrubber is provided that includes a chemical heating portion having one or more thermo modules and a chemical cooling portion installed inside the body to cool the chemical.

이때, 상기 열전달부는 몸체에 설치된 열전달플레이트와, 케미컬이 유입된 다음 턴하여 다시 유출되도록 열전달플레이트에 구비된 케미컬 배관을 포함할 수 있다. In this case, the heat transfer part may include a heat transfer plate installed in the body, and a chemical pipe provided in the heat transfer plate so that the chemical flows in and then flows out again.

그리고, 상기 케미컬 히팅부는 열전달플레이트에 인접하게 설치된 히팅플레 이트와, 히팅플레이트에 결합되는 다수개의 써모 모듈을 포함할 수 있다. The chemical heating unit may include a heating plate installed adjacent to the heat transfer plate and a plurality of thermo modules coupled to the heating plate.

또한, 상기 써모 모듈들은 각각 히팅플레이트에 탈착가능하게 결합될 수 있다. In addition, the thermo modules may be detachably coupled to the heating plate, respectively.

또, 상기 히팅플레이트에는 써모 모듈들의 손상정도를 감지할 수 있도록 써모 모듈 감지수단이 마련될 수 있다. 이 경우, 상기 써모 모듈 감지수단은 써모 모듈들에 각각 연결되며 써모 모듈들에 인가되는 전류의 양를 계측하여 그 크기를 외부로 나타내는 전류계를 포함하는 것이 바람직하다. In addition, the heating plate may be provided with a thermo module detection means to detect the degree of damage of the thermo module. In this case, the thermo module sensing means preferably includes an ammeter connected to the thermo modules, respectively, and measuring the amount of current applied to the thermo modules to indicate the magnitude of the current to the outside.

한편, 이와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 제2관점에 따르면, 몸체와, 몸체 내부에 설치되며 케미컬이 경유하도록 케미컬 배관을 구비한 열전달부와, 몸체 내부에 결합되며 케미컬을 히팅하도록 적어도 하나 이상의 써모 모듈을 갖는 케미컬 히팅부 및, 써모 모듈의 손상정도를 감지할 수 있도록 마련된 써모 모듈 감지수단을 포함하는 습식 세정장치의 온조기가 제공된다. On the other hand, according to a second aspect of the present invention for achieving the above object, the body, and a heat transfer portion installed in the body and provided with a chemical pipe so as to pass through the chemical, and coupled to the inside of the body and at least one to heat the chemical A thermostat of a wet cleaning device including a chemical heating unit having the above-described thermo module and a thermo module detecting unit provided to detect a degree of damage of the thermo module is provided.

이때, 상기 써모 모듈 감지수단은 써모 모듈에 연결되며 써모 모듈에 인가되는 전류의 크기를 계측하여 그 크기를 외부로 나타내는 전류계를 포함할 수 있다. At this time, the thermo module detecting means may include an ammeter connected to the thermo module and measuring the magnitude of the current applied to the thermo module to indicate the magnitude to the outside.

이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 발명에 따른 습식 세정장치의 온조기 및 이 온조기가 적용된 습식 세정장치의 바람직한 일실시예를 구체적으로 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, with reference to FIGS. 1 to 4, a preferred embodiment of the temperature controller of the wet cleaning device according to the present invention and the wet cleaning device to which the temperature controller is applied are as follows.

도 1은 본 발명에 따른 습식 세정장치의 일실시예를 도시한 개념도이고, 도 2는 도 1에 도시한 습식 세정장치의 온조기를 도시한 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시한 온조기의 분해사시도이다. 그리고, 도 4는 도 3에 도시한 온조기의 케미컬 히팅부를 도시한 사시도이다. 1 is a conceptual view showing an embodiment of a wet cleaning device according to the present invention, Figure 2 is a perspective view showing the temperature controller of the wet cleaning device shown in Figure 1, Figure 3 is a temperature controller shown in Figure 2 An exploded perspective view of. 4 is a perspective view illustrating a chemical heating unit of the temperature controller shown in FIG. 3.

먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 온조기(10)가 적용된 습식 세정장치는 케미컬과 탈이온수 등이 상호 혼합될 수 있도록 마련된 혼합탱크(40)와, 혼합탱크(40)로 불화수소산(HF)과 같이 세정에 필요한 소정 케미컬을 공급하는 케미컬 공급탱크(70)와, 케미컬 공급탱크(70)에서 공급한 케미컬과 혼합되도록 혼합탱크(40)로 탈이온수(D.I Water;deionized water)를 공급하는 탈이온수 공급탱크(60) 및, 혼합탱크(40)로부터 일정배율로 혼합된 케미컬을 공급받도록 마련되며 웨이퍼(90)가 디핑되는 공정 배쓰(Bath,50)로 구성된다. 따라서, 세정될 웨이퍼(90)는 혼합 케미컬이 일정량 수용된 이 공정 배쓰(50)에 적어도 1회이상 디핑(Dipping)됨으로써 세정되는 것이다. First, referring to FIG. 1, the wet cleaning apparatus to which the temperature controller 10 according to the present invention is applied is a hydrofluoric acid as a mixing tank 40 and a mixing tank 40 provided to mix each other with chemical and deionized water. Deionized water (DI Water) is introduced into the mixing tank 40 to be mixed with the chemical supply tank 70 supplying the chemical required for cleaning, such as HF, and the chemical supplied from the chemical supply tank 70. It is composed of a deionized water supply tank 60 to be supplied, and a process bath (50) in which the wafer 90 is dipped so as to receive the mixed chemicals at a predetermined ratio from the mixing tank 40. Thus, the wafer 90 to be cleaned is cleaned by dipping at least one or more times in the process bath 50 in which a certain amount of the mixed chemical is contained.

한편, 케미컬과 탈이온수 등이 혼합되도록 마련된 혼합탱크(40)는 내부에 저장된 케미컬의 온도를 공정에 적합한 일정온도로 유지시킬 수 있는 항온조(恒溫槽)이다. 따라서, 혼합탱크(40)에는 혼합탱크(40)에 저장된 케미컬을 일정온도로 유지시켜주는 케미컬 온도유지수단이 구비된다. On the other hand, the mixing tank 40 is provided so that the chemical and deionized water is mixed is a thermostat (恒溫 槽) that can maintain the temperature of the chemical stored therein at a constant temperature suitable for the process. Therefore, the mixing tank 40 is provided with a chemical temperature maintaining means for maintaining the chemical stored in the mixing tank 40 at a constant temperature.

구체적으로, 케미컬 온도유지수단은 혼합탱크(40)에 저장된 케미컬이 순환될 수 있도록 마련된 케미컬 순환배관(80)과, 케미컬 순환배관(80)을 통해 케미컬을 강제 순환시켜주는 순환펌프(Pump,20)와, 강제 순환되는 케미컬을 필터링해주는 필터(Filter,30) 및, 강제 순환되는 케미컬을 일정온도로 히팅시켜주는 온조기(10)로 구성된다. 이에, 혼합탱크(40)에 저장된 케미컬은 이 케미컬 온도유지수단의 작용에 의해 항상 일정한 온도를 유지할 수 있는 것이다. Specifically, the chemical temperature maintenance means is a chemical circulation pipe (80) provided to circulate the chemical stored in the mixing tank 40, and a circulation pump for forced circulation of the chemical through the chemical circulation pipe (Pump, 20) ), A filter (Filter, 30) for filtering the forced circulation of the chemical, and the temperature controller 10 for heating the forced circulation of the chemical to a certain temperature. Thus, the chemical stored in the mixing tank 40 can always maintain a constant temperature by the action of the chemical temperature holding means.                     

이하, 도 2 내지 도 4를 참조하여, 본 발명에 따른 습식 세정장치의 온조기에 대해 구체적으로 설명하기로 한다. Hereinafter, with reference to Figures 2 to 4, the temperature controller of the wet cleaning apparatus according to the present invention will be described in detail.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 습식 세정장치의 온조기(10)는 온조기 몸체(이하, '몸체'라 칭하기로 한다,11)와, 몸체(11) 내부에 설치되며 혼합탱크(40)의 케미컬이 경유하도록 케미컬 배관(132)을 구비한 열전달부(13)와, 몸체(11) 내부에 탈착가능하게 결합되며 케미컬을 히팅하도록 적어도 하나 이상의 써모 모듈(158)을 갖는 케미컬 히팅부(15)와, 써모 모듈(158)의 손상정도를 감지할 수 있도록 마련된 써모 모듈 감지수단(155)과, 케미컬을 냉각하도록 몸체(11) 내부에 설치된 케미컬 냉각부(17) 및, 온조기(10)를 전반적으로 제어하도록 마련된 컨트롤러(Controller,미도시)를 포함한다. As shown in the drawing, the temperature controller 10 of the wet cleaning apparatus according to the present invention is a temperature controller (hereinafter, referred to as the 'body', 11), and installed inside the body 11, the mixing tank ( A chemical heating part having a heat transfer part 13 having a chemical pipe 132 so as to pass the chemical of 40) and a detachable coupling inside the body 11 and having at least one thermo module 158 to heat the chemical. 15, the thermo module detecting means 155 provided to detect the degree of damage of the thermo module 158, the chemical cooling unit 17 installed inside the body 11 to cool the chemical, and the air conditioner ( 10) includes a controller (Controller, not shown) provided to control overall.

보다 구체적으로 설명하면, 온조기(10)의 몸체(11)는 그 내부에 열전달부(13)와 케미컬 히팅부(15)와 케미컬 냉각부(17) 등이 구비되도록 중공의 박스타입으로 형성되며, 그 상면은 몸체(11)에 결합된 케미컬 히팅부(15)가 작업자 등에 의해 선택적으로 분리될 수 있도록 개구된다. 이때, 개구된 상면은 커버(12)에 의해 밀폐될 수 있다. More specifically, the body 11 of the thermostat 10 is formed in a hollow box type such that a heat transfer part 13, a chemical heating part 15, a chemical cooling part 17, and the like are provided therein. The upper surface is opened so that the chemical heating portion 15 coupled to the body 11 can be selectively separated by an operator or the like. In this case, the opened upper surface may be closed by the cover 12.

열전달부(13)는 몸체(11) 내부에 설치된 열전달플레이트(Plate,135)와, 혼합탱크(40)의 케미컬이 유입된 다음 턴(Turn)하여 다시 유출되도록 열전달플레이트(135)에 구비된 케미컬 배관(132)으로 구성된다. 이때, 열전달플레이트(135)는 열전도성이 뛰어난 재질, 예를 들면 금속재질 등으로 형성됨이 바람직하고, 케미컬 배관(132)은 열전달플레이트(135)의 내부에 설치됨이 바람직하다. The heat transfer part 13 includes a heat transfer plate (Plate, 135) installed inside the body (11), and a chemical provided in the heat transfer plate (135) so that the chemical of the mixing tank (40) flows in and then flows out again. The pipe 132 is configured. In this case, the heat transfer plate 135 is preferably formed of a material having excellent thermal conductivity, for example, a metal material, and the chemical pipe 132 is preferably installed inside the heat transfer plate 135.                     

케미컬 히팅부(15)는 케미컬 배관(132) 내부의 케미컬을 히팅시키는 역할을 하며, 열전달플레이트(135)에 인접하게 설치된 히팅플레이트(Heating plate,157)와, 히팅플레이트(157)에 결합되는 다수개의 써모 모듈(Thermo-module,158)로 구성된다. The chemical heating unit 15 serves to heat the chemical in the chemical pipe 132, and a heating plate 157 installed adjacent to the heat transfer plate 135 and a plurality of heating plates 157 coupled to the heating plate 157. It consists of four thermo-modules (158).

구체적으로, 히팅플레이트(157)는 몸체(11) 내부에 마련된 히팅부 삽입홈(154)에 착탈가능하게 결합되고, 그 일측면에는 컨트롤러에 의해서 외부로부터 공급된 전원을 인가받도록 단자(미도시)가 마련된다. 그리고, 써모 모듈들(158)은 열전달플레이트(135)의 일면에 결합되되 각각 열전달플레이트(135)에 탈착가능하게 결합된다. 따라서, 작업자는 써모 모듈(158)이 페일될 시 전체 써모 모듈(158)을 한꺼번에 교체하는 것이 아니라 페일된 써모 모듈(158)만을 선택적으로 교체할 수 있는 것이다. 이때, 열전달플레이트(135)에는 각 써모 모듈들(158)이 끼워지도록 결합홈들(157a)이 마련됨이 바람직하고, 각 써모 모듈들(158)에는 이 결합홈들(157a)에 끼워지도록 결합돌기(158a)가 마련됨이 바람직하다. 그리고, 이 결합홈들(157a) 및 이 결합홈들(157a)에 끼워지는 각 써모 모듈(158)에는 각각 전원을 인가하거나 전원을 공급받도록 접속단자들(157b)이 마련됨이 바람직하다. Specifically, the heating plate 157 is detachably coupled to the heating unit insertion groove 154 provided in the body 11, the terminal (not shown) to receive power supplied from the outside by the controller on one side thereof. Is prepared. In addition, the thermo modules 158 are coupled to one surface of the heat transfer plate 135, and are detachably coupled to the heat transfer plate 135, respectively. Thus, the operator can selectively replace only the failed thermo module 158 instead of replacing the entire thermo module 158 at once when the thermo module 158 fails. In this case, it is preferable that coupling grooves 157a are provided in the heat transfer plate 135 so that the respective thermo modules 158 are fitted, and coupling protrusions are fitted in the thermo modules 158 in the coupling grooves 157a. 158a is preferably provided. In addition, it is preferable that connection terminals 157b are provided in the coupling grooves 157a and each of the thermo modules 158 fitted into the coupling grooves 157a so as to apply or receive power.

써모 모듈 감지수단(155)은 각 써모 모듈들(158)에 연결되어 각 써모 모듈들(158)의 손상정도를 감지하는 역할을 하며, 몸체(11)의 외부 일측 또는 몸체(11) 내부의 히팅플레이트(157) 등에 설치될 수 있다. 따라서, 작업자는 이 써모 모듈 감지수단(155)을 통하여 각 써모 모듈들(158)의 손상정도를 실시간으로 확인할 수 있는 바, 만일 어느 하나의 써모 모듈(158)이 페일되기 직전이면 작업자는 이 어느 하나의 써모 모듈(158)을 공정을 시작하기 전에 미리 교체함으로써 종래와 같은 문제를 미연에 해결하는 것이다. The thermo module detecting means 155 is connected to each of the thermo modules 158 and serves to detect a degree of damage of each of the thermo modules 158, and the outer side of the body 11 or the inside of the body 11 is heated. Plate 157 or the like. Therefore, the operator can check the damage degree of each of the thermo modules 158 in real time through the thermo module detection means 155, if any one of the thermo module 158 is just before failing, The conventional problem is solved by replacing one thermo module 158 before starting the process.

구체적으로, 써모 모듈 감지수단(155)은 각 써모 모듈들(158)에 연결되되 각 써모 모듈들(158)에 인가되는 전류의 양를 계측하여 그 크기를 외부로 나타내는 전류계나 각 써모 모듈들(158)의 인접한 부분에 설치되되 각 써모 모듈들(158)에 전류가 흐름에 따라 형성되는 자장을 이용하여 전류의 크기를 계측하고 이를 외부로 나타내는 전류계 등으로 구현될 수 있다. 따라서, 작업자는 이 전류값의 크기를 미리 인지함으로써 써모 모듈(158)의 페일을 미리 예측할 수 있는 것이다. 즉, 각 써모 모듈들(158)에는 각 써모 모듈들(158)이 동작되도록 일정한 크기의 전류가 흐르게 되는데, 이 흐르는 전류는 시간이 지남에 따라 쌓이게 되는 데미지로 인하여 어느 시점에서부터 일정치 이하로 떨어지게 된다. 따라서, 전류계는 이와 같은 전류값을 계측하여 외부로 나타내게 되는 바, 작업자는 이 전류값을 통하여 써모 모듈(158)의 페일을 예측하고 이를 미연에 교체할 수 있는 것이다. In detail, the thermo module detecting unit 155 is connected to each of the thermo modules 158, and measures an amount of current applied to each of the thermo modules 158 to indicate an outside of the ammeter or the thermo modules 158. It is installed in the adjacent portion of the) may be implemented by an ammeter, etc. to measure the magnitude of the current by using a magnetic field formed as the current flows in each of the thermo modules 158 and to indicate it to the outside. Therefore, the operator can predict the failure of the thermo module 158 in advance by knowing the magnitude of this current value in advance. That is, a certain amount of current flows in each of the thermo modules 158 to operate the thermo modules 158. The flowing currents fall below a certain value from a certain point due to the damage accumulated over time. do. Therefore, the ammeter measures such a current value and shows it to the outside, so that the operator can predict the failure of the thermo module 158 through this current value and replace it beforehand.

케미컬 냉각부(17)는 케미컬 배관(132)의 케미컬을 냉각하는 역할을 하며, 히팅플레이트(157)의 측면에 설치되는 쿨링플레이트(Cooling plate,175)와, 쿨링플레이트(175)의 내부로 냉각수가 경유하도록 마련된 냉각수 배관(171) 및, 냉각수 배관(171)으로 냉각수를 순환시켜주는 냉각수 공급유닛(미도시)을 포함한다. 따라서, 냉각수 공급유닛이 냉각수 배관(171)으로 냉각수를 공급할 경우, 냉각수 배관(171)을 순환하게 되는 냉각수는 쿨링플레이트(175)를 냉각시키게 된다. 따라서, 냉각된 쿨링플레이트(175)는 다시 히팅플레이트(157)와 열전달플레이트(135)를 냉 각시키게 되는 것이다. The chemical cooling unit 17 serves to cool the chemical in the chemical pipe 132, and a cooling plate 175 installed on the side of the heating plate 157, and cooling water into the cooling plate 175. And a coolant supply unit (not shown) configured to circulate the coolant through the coolant pipe 171 and the coolant pipe 171. Therefore, when the cooling water supply unit supplies the cooling water to the cooling water pipe 171, the cooling water circulating in the cooling water pipe 171 cools the cooling plate 175. Therefore, the cooled cooling plate 175 cools the heating plate 157 and the heat transfer plate 135 again.

한편, 컨트롤러는 습식 세정장치의 온조기(10)를 전반적으로 제어하는 역할을 하고, 케미컬 배관(132)의 케미컬 온도를 측정하는 온도센서(미도시)를 포함한다. 따라서, 온도센서에 의해 측정된 케미컬의 온도가 너무 낮을 경우, 컨트롤러는 써모 모듈(158)에 전원을 공급하여 케미컬을 히팅하게 되며, 온도센서에 의해 측정된 케미컬의 온도가 너무 높을 경우, 컨트롤러는 냉각수 배관(171)에 냉각수를 공급함으로 케미컬을 냉각시키게 된다. 이에, 케미컬은 항상 일정한 온도로 유지되어 전술한 항온조 즉, 혼합탱크(40)로 공급되어지는 것이다. 그리고, 컨트롤러는 전류계를 포함한 써모 모듈 감지수단(155)에도 연결된다. 따라서, 써모 모듈 감지수단(155)을 통하여 어느 하나의 써모 모듈(158)이 페일될 것이 예측되면, 컨트롤러는 알람을 발생하게 된다. 이에 작업자는 이 알람을 통하여 어느 하나의 써모 모듈(158)이 페일되기 직전임을 인지하게 되고, 이 페일될 써모 모듈(158)을 공정진행전 미리 교체할 수 있는 것이다. On the other hand, the controller serves to control the thermostat 10 of the wet cleaning device as a whole, and includes a temperature sensor (not shown) for measuring the chemical temperature of the chemical pipe 132. Accordingly, when the temperature of the chemical measured by the temperature sensor is too low, the controller supplies power to the thermo module 158 to heat the chemical. When the temperature of the chemical measured by the temperature sensor is too high, the controller The chemical is cooled by supplying cooling water to the cooling water pipe 171. Thus, the chemical is always maintained at a constant temperature is supplied to the above-described thermostat, that is, the mixing tank 40. The controller is also connected to the thermo module sensing means 155 including an ammeter. Therefore, when it is predicted that any one of the thermo modules 158 fail through the thermo module sensing means 155, the controller generates an alarm. The operator recognizes that any one of the thermo modules 158 is about to fail through the alarm, and the thermo module 158 to be failed may be replaced before the process proceeds.

미설명부호 131과 133은 각각 케미컬 배관(132)에 마련된 케미컬 유입구와 케미컬 유출구를 지칭한 것이고, 미설명부호 151과 153은 각각 써모 모듈(158)에 전원을 공급해주는 전원 인/아웃 케이블(In/out cable)을 지칭한 것이며, 미설명부호 172와 174는 각각 냉각수 배관에 마련된 냉각수 유입구와 냉각수 유출구를 지칭한 것이다. 그리고, 미설명부호 156은 히팅플레이트(157)의 단자와 접속되도록 몸체(11)에 마련된 단자를 지칭한 것이고, 미설명부호 159는 써모 모듈(158)을 이루는 다수의 써모 쎌을 지칭한 것이다. Reference numerals 131 and 133 denote chemical inlets and chemical outlets provided in the chemical pipe 132, respectively, and reference numerals 151 and 153 denote power in / out cables for supplying power to the thermo module 158, respectively. and reference numerals 172 and 174 refer to the cooling water inlet and the cooling water outlet provided in the cooling water pipe, respectively. In addition, reference numeral 156 refers to a terminal provided in the body 11 so as to be connected to the terminal of the heating plate 157, and reference numeral 159 refers to a plurality of thermo shocks constituting the thermo module 158.                     

이하, 본 발명에 따른 습식 세정장치 및 이 습식 세정장치에 구비된 온조기(10)의 작용 및 효과를 구체적으로 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the operation and effects of the wet cleaning device and the temperature controller 10 provided in the wet cleaning device according to the present invention will be described in detail.

먼저, 케미컬 공급탱크(70)와 탈이온수 공급탱크(60)로부터 각각 케미컬과 탈이온수가 혼합탱크(40)에 공급되어 혼합되면, 혼합탱크(40)는 혼합된 케미컬을 온조기(10)가 설치된 케미컬 순환배관(80)으로 강제순환시키게 된다. First, when the chemical and deionized water are supplied to the mixing tank 40 from the chemical supply tank 70 and the deionized water supply tank 60, respectively, the mixing tank 40 supplies the mixed chemical to the temperature controller 10. Forced circulation to the installed chemical circulation pipe (80).

따라서, 혼합된 케미컬은 온조기(10)에 마련된 케미컬 배관(132)을 통해 온조기(10)의 내부를 경유하게 되는데, 이때, 온조기(10)는 온조기(10) 내부를 경유하는 케미컬을 일정온도로 히팅시키게 된다. Therefore, the mixed chemicals are routed through the inside of the temperature controller 10 through the chemical pipe 132 provided in the temperature controller 10, in which the temperature controller 10 passes through the chemical inside the temperature controller 10. Will be heated to a certain temperature.

즉, 온조기(10)의 케미컬 배관(132)을 통해 혼합된 케미컬이 순환되면, 컨트롤러는 온도센서를 통해 케미컬의 온도를 감지하게 된다. 따라서, 온도센서에 의해 측정된 케미컬의 온도가 기본적으로 유지되어야할 기준온도 보다 낮을 경우, 컨트롤러는 써모 모듈(158)에 전원을 공급하여 케미컬을 히팅하게 된다. 그러나, 만일 온도센서에 의해 측정된 케미컬의 온도가 기본적으로 유지되어야할 기준온도 보다 높을 경우, 컨트롤러는 냉각수 배관(171)에 냉각수를 공급함으로 케미컬을 냉각시키게 된다. 이에, 케미컬은 항상 일정한 온도로 유지되어 전술한 혼합탱크(40)로 공급되어지는 것이다. That is, when the mixed chemical is circulated through the chemical pipe 132 of the temperature controller 10, the controller senses the temperature of the chemical through a temperature sensor. Therefore, when the temperature of the chemical measured by the temperature sensor is lower than the reference temperature to be basically maintained, the controller supplies power to the thermo module 158 to heat the chemical. However, if the temperature of the chemical measured by the temperature sensor is higher than the reference temperature to be basically maintained, the controller cools the chemical by supplying coolant to the cooling water pipe 171. Thus, the chemical is always maintained at a constant temperature is supplied to the mixing tank 40 described above.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 습식 세정장치의 온조기에는 써모 모듈의 페일될 상태 등을 사전에 감지하도록 써모 모듈 감지수단이 구비되기 때문에 작업자는 공정진행 전에 이 페일될 써모 모듈을 미리 교체할 수 있게 된다. 따라서, 본 발명에 따르면, 종래 케미컬의 온도가 낮아짐에 따라 발생되는 공정불량을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다. As described above, the thermostat of the wet cleaning device according to the present invention is provided with a thermo module detecting means for detecting in advance the state of the thermo module to be failed, so that the operator replaces the thermo module to be failed before the process proceeds. You can do it. Therefore, according to the present invention, there is an effect that can prevent in advance the process defects generated as the temperature of the conventional chemical is lowered.

또한, 본 발명에 따른 습식 세정장치의 온조기는 히팅플레이트에 설치된 써모 모듈이 각각 탈착가능하게 설치되어 있기 때문에 어느 하나의 써모 모듈이 페일될 경우, 작업자는 이 페일된 써모 모듈만을 교체할 수 있으므로 종래에 비하여 많은 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다. In addition, since the thermostat of the wet cleaning device according to the present invention is detachably installed in each of the thermo modules installed on the heating plate, when any one of the thermo modules fails, the operator can replace only the failed thermo module. Compared with the prior art, it is possible to reduce a lot of costs.

또, 본 발명에 따른 습식 세정장치의 온조기는 다수의 써모 모듈이 탈착가능하게 설치된 하나의 히팅플레이트에 모두 설치되어 있기 때문에 써모 모듈이 페일될 경우, 종래와 같이 온조기를 전체적으로 해체할 필요없이 히팅플레이트만을 몸체에서 분리하여 써모 모듈을 교체할 수 있는 효과가 있다. 따라서, 본 발명에 따르면, 종래 온조기를 해체함에 따른 번거로움이나 시간적 로스를 해결할 수 있는 효과가 있다. In addition, since the thermostat of the wet cleaning apparatus according to the present invention is installed in one heating plate in which a plurality of thermo modules are detachably installed, when the thermo module fails, it is not necessary to disassemble the thermostat as a whole. It is effective to replace only the heating plate from the body to replace the thermo module. Therefore, according to the present invention, there is an effect that can solve the hassle and time loss caused by dismantling the conventional temperature controller.

본 발명은 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구의 범위와 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Although the present invention has been described with reference to the illustrated embodiments, it is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the scope of the present invention should be defined by the appended claims and their equivalents.

Claims (7)

몸체;Body; 상기 몸체 내부에 설치되며, 케미컬이 경유하도록 케미컬 배관을 구비한 열전달부; A heat transfer part installed inside the body and having a chemical pipe so that the chemical passes therethrough; 상기 몸체 내부에 탈착가능하게 결합되며, 상기 케미컬을 히팅하도록 적어도 하나 이상의 써모 모듈을 갖는 케미컬 히팅부; 및,A chemical heating unit detachably coupled to the inside of the body and having at least one thermo module to heat the chemical; And, 상기 케미컬을 냉각하도록 상기 몸체 내부에 설치된 케미컬 냉각부를 포함한 것을 특징으로 하는 습식 세정장치의 온조기.The temperature controller of the wet cleaning device, characterized in that it comprises a chemical cooling unit installed inside the body to cool the chemical. 제 1항에 있어서, 상기 열전달부는 상기 몸체에 설치된 열전달플레이트와, 상기 케미컬이 유입된 다음 턴하여 다시 유출되도록 상기 열전달플레이트에 구비된 케미컬 배관을 포함하고,The method of claim 1, wherein the heat transfer unit includes a heat transfer plate installed in the body and the chemical pipe provided in the heat transfer plate to flow out again after the chemical flows into the turn, 상기 케미컬 히팅부는 상기 열전달플레이트에 인접하게 설치된 히팅플레이트와, 상기 히팅플레이트에 결합되는 다수개의 써모 모듈을 포함한 것을 특징으로 하는 습식 세정장치의 온조기.The chemical heating unit temperature controller of the wet cleaning device, characterized in that it comprises a heating plate installed adjacent to the heat transfer plate and a plurality of thermo modules coupled to the heating plate. 제 2항에 있어서, 상기 써모 모듈들은 각각 상기 히팅플레이트에 탈착가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 습식 세정장치의 온조기. The temperature controller of claim 2, wherein each of the thermo modules is detachably coupled to the heating plate. 제 3항에 있어서, 상기 히팅플레이트에는 상기 써모 모듈들의 손상정도를 감지할 수 있도록 써모 모듈 감지수단이 마련된 것을 특징으로 하는 습식 세정장치의 온조기. The temperature controller of claim 3, wherein the heating plate is provided with a thermo module detecting unit to detect a degree of damage of the thermo modules. 제 4항에 있어서, 상기 써모 모듈 감지수단은 상기 써모 모듈들에 각각 연결되며, 상기 써모 모듈들에 인가되는 전류의 양를 계측하여 상기 크기를 외부로 나타내는 전류계를 포함한 것을 특징으로 하는 습식 세정장치의 온조기. The wet cleaning apparatus according to claim 4, wherein the thermo module detecting unit comprises an ammeter connected to the thermo modules, respectively, and measuring an amount of current applied to the thermo modules to indicate the magnitude outside. Warmth. 몸체;Body; 상기 몸체 내부에 설치되며, 케미컬이 경유하도록 케미컬 배관을 구비한 열전달부; A heat transfer part installed inside the body and having a chemical pipe so that the chemical passes therethrough; 상기 몸체 내부에 결합되며, 상기 케미컬을 히팅하도록 적어도 하나 이상의 써모 모듈을 갖는 케미컬 히팅부; 및,A chemical heating unit coupled to the body and having at least one thermo module to heat the chemical; And, 상기 써모 모듈의 손상정도를 감지할 수 있도록 마련된 써모 모듈 감지수단을 포함한 것을 특징으로 하는 습식 세정장치의 온조기. Thermostat of the wet cleaning device comprising a thermo module detection means provided to detect the degree of damage of the thermo module. 제 6항에 있어서, 상기 써모 모듈 감지수단은 상기 써모 모듈에 연결되며 상기 써모 모듈에 인가되는 전류의 크기를 계측하여 상기 크기를 외부로 나타내는 전류계를 포함한 것을 특징으로 하는 습식 세정장치의 온조기.The thermostat of claim 6, wherein the thermo module detecting unit includes an ammeter connected to the thermo module and measuring the magnitude of the current applied to the thermo module to indicate the magnitude to the outside.
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