KR101398439B1 - The chemical mixing tank - Google Patents

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KR101398439B1 KR1020120139643A KR20120139643A KR101398439B1 KR 101398439 B1 KR101398439 B1 KR 101398439B1 KR 1020120139643 A KR1020120139643 A KR 1020120139643A KR 20120139643 A KR20120139643 A KR 20120139643A KR 101398439 B1 KR101398439 B1 KR 101398439B1
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정현호
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

The present invention relates to a chemical mixing tank and, more particularly, to a chemical mixing tank heating or insulating after mixing a plurality of fluids inside of the tank. The chemical mixing tank comprises a housing storing the fluids; an inflow unit providing the fluids to the inside of the housing; a heating member for heating or insulating the fluids; a separator forming a path for the fluids to float; and an outlet for discharging the fluids to the outside. The present invention includes a plurality of bumps protruding from one side of the separator or the housing to expand the size of the surface in which the fluids are in contact with the heating member while the fluids floats. In addition, a protective cover for protecting the heating member from the surroundings while covering the heating member is also included. Thereby, the mixing time can be reduced by mixing the fluids in the tank without an additional mixer device or a line circulation. Furthermore, the temperature of the fluids can be increased by heating the directly provided fluids or insulating the fluids, heated from the outside, inside the tank.

Description

케미컬 혼합탱크{The chemical mixing tank}&Quot; The chemical mixing tank "

본 발명은 케미컬 혼합탱크에 관한 것으로, 보다 구체적으로 탱크 내부에서 유체를 혼합하여, 가열 또는 보온하는 케미컬 혼합탱크에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chemical mixing tank, and more particularly, to a chemical mixing tank for mixing or heating a fluid inside a tank.

반도체 제조 공정에서는 기판의 식각, 평탄화, 세정 등 다양한 기판 처리 공정이 진행되며, 각 기판 처리 공정에서는 식각 공정을 위한 식각액, 세정 공정을 위한 세정액 등을 각 장치에 공급하여야 하고, 식각액, 세정액 등을 공급하기 위하여 순수(Deionized water)에 불산 등을 혼합하여 식각액을 형성하거나 순수에 수산화나트륨 등을 혼합하여 세정액을 형성한 후 각 공정 장비에 공급되도록 한다.In the semiconductor manufacturing process, various substrate processing steps such as etching, planarizing, and cleaning of the substrate are performed. In each substrate processing step, an etchant for the etching process and a cleaning liquid for the cleaning process must be supplied to each device. In order to supply deionized water, hydrofluoric acid or the like is mixed to form an etchant, or pure water is mixed with sodium hydroxide to form a cleaning liquid, which is then supplied to each process equipment.

이러한 순수, 불산, 수산화 나트륨 등의 다른 종류의 케미컬을 혼합하여, 반도체 제조 장비에 공급하기 위하여 케미컬 공급 장치를 사용하는 데, 종래의 케미컬 공급 장치는 기본적으로 다른 종류의 케미컬을 혼합(희석)하는 혼합탱크, 혼합 후의 케미컬을 보관하는 버퍼탱크, 그리고 회수탱크 등을 구비하고 있다.A conventional chemical feeder basically mixes (dilutes) other types of chemicals by mixing other types of chemicals such as pure water, hydrofluoric acid, sodium hydroxide, etc., and supplying them to semiconductor manufacturing equipment. A mixing tank, a buffer tank for storing the mixed chemical, and a recovery tank.

한편, 종래의 케미컬 공급 장치 중 하나인 혼합 탱크는 별도의 장치를 구비하여, 약액들을 혼합 및 가열하는 방식이다.On the other hand, the mixing tank, which is one of the conventional chemical feeding devices, is equipped with a separate device and mixes and heats the chemical fluids.

도1은 종래의 혼합 탱크를 개략적으로 도시한 구성도이다.1 is a schematic view showing a conventional mixing tank.

종래의 혼합 탱크는 케미컬 또는 순수를 저장하는 하우징(10), 상기 하우징 내부로 케미컬 또는 순수를 공급하는 유입구(20), 상기 케미컬 또는 순수를 순환하는 펌프(30), 상기 케미컬 또는 순수를 가열하는 히터(40) 및 상기 펌프(30)에 케미컬 또는 순수를 배출하는 배출구(50)을 포함한다.The conventional mixing tank includes a housing 10 for storing chemical or pure water, an inlet 20 for supplying chemical or pure water into the housing, a pump 30 for circulating the chemical or pure water, Heater 40 and an outlet 50 for discharging chemical or pure water to the pump 30.

상기 혼합 탱크는 상기 하우징(10) 내부로 상기 케미컬 또는 순수가 유입되고, 유입된 케미컬 또는 순수는 상기 하우징(10) 내부에서 혼합과정이 이루어 지며, 상기 혼합 과정을 빠르게 하기 위해, 상기 하우징(10) 하부에 구비된 배출구(50)을 통해 상기 케미컬 또는 순수는 상기 펌프(30)로 공급된다. 상기 펌프(30)는 상기 케미컬 또는 순수를 히터(40)에 공급하며, 상기 히터(40)에 의해 상기 케미컬 또는 순수를 가열된다. 상기 가열된 케미컬 또는 순수는 다시 상기 하우징(10) 내부로 유입되어, 상기 하우징(10) 내부에서 혼합될 수 있다. 따라서, 상기 케미컬 또는 순수를 혼합하는 과정에서 상기 펌프(30) 및 히터(40)를 이용하여 상기 혼합과정을 빠르게 진행시킬 수 있다.The chemical or pure water is introduced into the housing 10 and the mixed chemical or pure water is mixed in the housing 10. In order to accelerate the mixing process, The chemical or pure water is supplied to the pump 30 through the discharge port 50 provided at the lower part. The pump 30 supplies the chemical or pure water to the heater 40, and the chemical or pure water is heated by the heater 40. The heated chemical or pure water may be introduced into the housing 10 again and mixed therein. Therefore, the mixing process can be rapidly performed using the pump 30 and the heater 40 in the process of mixing the chemical or pure water.

하지만, 종래의 혼합 탱크는 구조가 복잡하고 시설비가 많이 드는 단점이 있다. 특히, 상기 케미컬은 공정챔버로 공급되기까지 다수의 탱크들과 라인들을 거치기 때문에 케미컬 공급에 많은 시간이 소요되므로, 케미컬의 공급을 위한 준비시간의 증가와 케미컬의 온도 유지가 어려운 문제점이 있다.
However, the conventional mixing tank has a disadvantage that the structure is complicated and the facility cost is large. Particularly, since the chemical passes through a plurality of tanks and lines until it is supplied to the process chamber, it takes a long time to supply the chemical, so that it is difficult to increase the preparation time for supplying the chemical and maintain the chemical temperature.

본 발명의 실시예들에 따르면 별도의 믹서장치 또는 라인 써큘레이션(Line Circulation) 없이 유체를 탱크 내부에서 혼합하여 혼합시간을 단축하는 케미컬 혼합탱크를 제공하기 위한 것이다.According to the embodiments of the present invention, there is provided a chemical mixing tank for mixing a fluid in a tank without a separate mixer device or line circulation to shorten a mixing time.

또한, 탱크 내부에서 외부로부터 가열된 유체를 보온하거나, 직접 공급된 유체를 가열하여 상기 유체의 온도를 상승시키는 케미컬 혼합탱크를 제공하기 위한 것이다.It is another object of the present invention to provide a chemical mixing tank in which a fluid heated from the outside is kept in the tank or a fluid directly fed is heated to raise the temperature of the fluid.

상술한 본 발명의 실시예들에 따른 케미컬 혼합탱크는 복수의 유체를 저장하는 하우징, 상기 하우징 내부에 상기 유체들을 공급하는 유입구, 상기 유체들을 가열 또는 보온하는 히팅부재, 상기 유체가 유동하는 경로를 형성하는 칸막이 및 상기 유체를 외부로 배출하는 배출구를 포함한다. 여기서, 상기 유체가 유동하는 동안 상기 히팅부재와 접촉되는 면적을 증가시키기 위해, 상기 하우징 또는 상기 칸막이 일측에 돌출된 복수개의 요철을 더 포함한다. 또한, 상기 히팅부재를 둘러싸며, 외부로부터 상기 히팅부재를 보호하는 보호커버를 더 포함한다.The chemical mixing tank according to the above-described embodiments of the present invention includes a housing for storing a plurality of fluids, an inlet for supplying the fluids into the housing, a heating member for heating or maintaining the fluids, And a discharge port for discharging the fluid to the outside. Here, in order to increase an area of contact with the heating member while the fluid flows, a plurality of irregularities protruding from the housing or the partition may be further included. The apparatus further includes a protective cover surrounding the heating member and protecting the heating member from the outside.

일 실시예에 따른, 상기 칸막이는 상기 유체를 측면으로 유도하는 제1벽; 및 상기 하우징과 일정한 공간을 형성하며, 상기 유체가 유동하는 경로를 형성하는 제2벽을 포함한다.According to one embodiment, the partition comprises a first wall for guiding the fluid laterally; And a second wall defining a space with the housing and defining a path through which the fluid flows.

일 실시예에 따른, 상기 하우징은 상기 유입구로부터 과다하게 유입된 상기 유체를 외부로 배출하는 드레인 포트; 및 상기 드레인 포트로 상기 유체의 경로를 형성하는 드레인 격판을 포함한다.According to one embodiment, the housing includes a drain port for discharging the fluid excessively introduced from the inlet port to the outside; And a drain diaphragm that forms the path of the fluid to the drain port.

일 실시예에 따른, 상기 하우징은 바닥면에 경사를 형성하여, 상기 배출구로 상기 유체가 유동하는 것을 특징으로 한다.According to one embodiment, the housing forms a slope on the bottom surface, and the fluid flows to the outlet.

일 실시예에 따른, 상기 히팅부재는 원적외선 필름을 사용하는 것을 특징으로 한다.According to one embodiment, the heating member uses a far-infrared ray film.

일 실시예에 따른, 상기 유입구는 적어도 2개 이상이 구비되며, 각각의 유입구에 상기 유체가 유입되는 것을 특징으로 한다.According to one embodiment, at least two of the inlets are provided, and the fluid is introduced into each of the inlets.

일 실시예에 따른, 상기 유체는 약액 및 초순수(DI Water)가 사용되는 것을 특징으로 한다.According to one embodiment, the fluid is characterized in that a chemical solution and DI water are used.

이와 같은 구성으로, 별도의 믹서장치 또는 라인 써큘레이션(Line Circulation) 없이 유체를 탱크 내부에서 혼합하여 혼합시간을 단축할 수 있다. 또한, 탱크 내부에서 외부로부터 가열된 유체를 보온하거나, 직접 공급된 유체를 가열하여 상기 유체의 온도를 상승시킬 수 있다.With this configuration, the mixing time can be shortened by mixing the fluid in the tank without a separate mixer device or line circulation. In addition, the temperature of the fluid can be increased by keeping the fluid heated from the outside in the tank or by heating the fluid directly supplied.

이상에서 본 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따르면, 별도의 믹서장치 또는 라인 써큘레이션(Line Circulation) 없이 유체를 탱크 내부에서 혼합하여 혼합시간을 단축할 수 있다.As described above, according to the embodiments of the present invention, the mixing time can be shortened by mixing the fluid in the tank without a separate mixer device or line circulation.

또한, 탱크 내부에서 외부로부터 가열된 유체를 보온하거나, 직접 공급된 유체를 가열하여 상기 유체의 온도를 상승시킬 수 있다.In addition, the temperature of the fluid can be increased by keeping the fluid heated from the outside in the tank or by heating the fluid directly supplied.

도1은 종래의 혼합 탱크를 개략적으로 도시한 구성도이다.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합탱크의 측면을 도시한 측면도이다.
도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합탱크의 정면을 도시한 정면도이다.
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합탱크를 도시한 부분 단면도이다.1 is a schematic view showing a conventional mixing tank.
2 is a side view of a side view of a chemical mixing tank according to an embodiment of the present invention.
3 is a front view showing a front side of a chemical mixing tank according to an embodiment of the present invention.
4 is a partial cross-sectional view illustrating a chemical mixing tank according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합탱크에 대해서 자세히 설명한다.Hereinafter, a chemical mixing tank according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합탱크의 측면을 도시한 측면도이고, 도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합탱크의 정면을 도시한 정면도이고, 도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합탱크를 도시한 부분 단면도이다.FIG. 2 is a side view showing a side surface of a chemical mixing tank according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a front view showing a front surface of a chemical mixing tank according to an embodiment of the present invention, Sectional view of a chemical mixing tank according to one embodiment.

도2 내지 도4을 참고하면, 상기 케미컬 혼합탱크(800)는 복수의 유체를 저장하는 하우징(100), 상기 하우징(100) 내부에 상기 유체들을 공급하는 유입구(200), 상기 유체들을 가열 또는 보온하는 히팅부재(300), 상기 유체가 유동하는 경로를 형성하는 칸막이(400) 및 상기 유체를 외부로 배출하는 배출구(500)를 포함한다. 여기서, 상기 케미컬 혼합탱크(800)는 상기 유체가 유동하는 동안 상기 히팅부재(300)와 접촉되는 면적을 증가시키기 위해, 상기 하우징(100) 또는 상기 칸막이(400) 일측에 돌출된 복수개의 요철(600)을 더 포함한다. 또한, 상기 히팅부재(300)를 둘러싸며, 외부로부터 상기 히팅부재(300)를 보호하는 보호커버(700)를 더 포함한다.2 through 4, the chemical mixing tank 800 includes a housing 100 for storing a plurality of fluids, an inlet 200 for supplying the fluids into the housing 100, A heating member 300 for heating, a partition 400 for forming a path through which the fluid flows, and an outlet 500 for discharging the fluid to the outside. The chemical mixing tank 800 may include a plurality of protrusions and protrusions protruding from one side of the housing 100 or the partition 400 to increase an area of contact with the heating member 300 while the fluid flows. 600). The apparatus further includes a protective cover 700 surrounding the heating member 300 and protecting the heating member 300 from the outside.

상기 하우징(100)은 상부에 구비된 유입구(200)를 통해 복수의 유체가 내부로 유입 및 저장되며, 상부에 유지보수용 도어(150)가 구비될 수 있다. 또한, 상기 하우징(100)의 측면과 바닥면(140)에 히팅부재(300)가 구비되며, 상기 히팅부재(300)의 열이 상기 하우징(100) 내부로 전도되어, 상기 유체를 가열 또는 보온할 수 있다.A plurality of fluids may be introduced into and stored in the housing 100 through an inlet 200 provided at an upper portion of the housing 100, and a maintenance door 150 may be provided at an upper portion of the housing 100. A heating member 300 is provided on the side surface and the bottom surface 140 of the housing 100 so that the heat of the heating member 300 is conducted to the inside of the housing 100, can do.

예를 들면, 상기 하우징(100)은 바닥면(140)에 배출구(500)를 형성하며, 상기 배출구(500)를 통해 혼합된 유체가 외부로 배출될 수 있다. 이 때, 상기 바닥면(140)에 경사를 형성하여, 상기 배출구(500)로 혼합된 유체가 유동함으로써, 상기 혼합탱크(800) 내부에 잔류하는 유체가 없도록 전량을 상기 배출구(500)를 통해 외부로 배출할 수 있다. 여기서, 상기 바닥면(140)의 경사도는 4°~ 6°가 바람직하다.For example, the housing 100 forms a discharge port 500 on the bottom surface 140, and the mixed fluid can be discharged to the outside through the discharge port 500. At this time, a slope is formed on the bottom surface 140 so that the mixed fluid flows into the discharge port 500, so that the entire amount of the fluid is discharged through the discharge port 500 It can be discharged to the outside. Here, the inclination of the bottom surface 140 is preferably 4 ° to 6 °.

상기 하우징(100)은 상기 유체가 과다하게 유입되어, 상기 하우징(100)의 용량을 오버할 경우 상기 유체를 외부로 배출시키는 드레인 포트(110)(Drain Port), 상기 드레인 포트(110)로 상기 유체의 경로를 형성하는 드레인 격판(120)을 구비한다.The housing 100 has a drain port 110 for discharging the fluid to the outside when the fluid is excessively introduced and the capacity of the housing 100 is exceeded, And a drain diaphragm 120 forming a path of the fluid.

다시 말해서, 상기 하우징(100) 내부로 유체가 과다하게 유입될 경우, 오버된 유체는 상기 드레인 격판(120)에 의해 상기 드레인 포트(110)로 유체가 유입되어 외부로 배출되거나 상기 하우징(100) 내부로 순환할 수 있다.In other words, when the fluid is excessively introduced into the housing 100, the overflowed fluid flows into the drain port 110 by the drain partition 120 to be discharged to the outside, It can circulate inside.

또한, 상기 하우징(100)은 내부에 발생하는 기압변화를 조절하는 배기홀(130)을 구비되며, 상기 배기홀(130)을 통해 상기 하우징(100) 내부의 기압을 일정하게 유지할 수 있다.The housing 100 is provided with an exhaust hole 130 for controlling a change in atmospheric pressure generated therein and the air pressure inside the housing 100 can be maintained constant through the exhaust hole 130.

상기 유입구(200)는 적어도 2개 이상이 상기 하우징(100) 상부에 구비되며, 각각의 유입구(200a, 200b)에는 상기 유체가 유입될 수 있다. 여기서, 상기 유체는 약액 및 초순수(DI Water)가 사용될 수 있다.At least two of the inlet ports 200 are provided on the housing 100, and the fluids may flow into the respective inlet ports 200a and 200b. Here, the fluid may be a chemical solution and DI water.

따라서, 상기 유입구(200) 중 하나(200a)에는 상기 약액이 유입되며, 다른 하나(200b)에는 초순수가 유입되어, 상기 하우징(100) 내부에서 혼합될 수 있다.Accordingly, the chemical solution flows into one of the inlet ports 200a and 200b, and ultrapure water flows into the other port 200b, so that the mixed solution can be mixed in the housing 100. [

상기 히팅부재(300)는 상기 하우징(100) 외측에 측면 또는 하면에 구비되며, 상기 히팅부재(300)에서 발생되는 열이 상기 하우징(100) 내부로 전도되어, 상기 하우징(100) 내에 상기 유체를 가열 또는 보온할 수 있다.The heating member 300 is provided on the side or the bottom of the housing 100 so that heat generated from the heating member 300 is conducted to the inside of the housing 100, Can be heated or kept warm.

예를 들면, 상기 히팅부재(300)는 상기 하우징(100)의 외측면에 부착되며, 상기 유체가 상기 탱크 내부를 유동하거나, 저장되는 동안에 상기 히팅부재(300)에서 발열하여 열(Heat)을 생성하고, 상기 열은 상기 유체에 전도되어, 상기 유체를 가열 또는 보온할 수 있다. 여기서, 상기 히팅부재(300)는 원적외선 필름이 사용될 수 있다.For example, the heating member 300 is attached to the outer surface of the housing 100, and generates heat in the heating member 300 while the fluid flows or stores in the tank, And the heat may be conducted to the fluid to heat or warm the fluid. Here, the heating member 300 may be a far infrared ray film.

또한, 상기 히팅부재(300)를 보호하기 위해 상기 히팅부재(300) 외부를 둘러싸는 보호커버(700)가 구비되며, 상기 보호커버(700)는 상기 히팅부재(300)의 보호뿐만 아니라, 상기 히팅부재(300)에서 발생하는 열이 외부로 새어나가는 것을 방지하여, 열효율을 높일 수 있다.The protection cover 700 surrounds the outside of the heating member 300 to protect the heating member 300. The protection cover 700 protects the heating member 300, Heat generated in the heating member 300 can be prevented from leaking to the outside, and the heat efficiency can be increased.

상기 칸막이(400)는 상기 유체를 측면으로 유도하는 제1벽(410) 및 상기 하우징(100)과 일정한 공간을 형성하며, 상기 유체가 유동하는 경로를 형성하는 제2벽(420)을 포함한다.The partition 400 includes a first wall 410 for guiding the fluid laterally and a second wall 420 forming a space with the housing 100 and forming a path through which the fluid flows .

예를 들면, 상기 칸막이(400)는 상기 하우징(100) 내부에 구비되며, 상기 유체가 흐르는 경로를 형성할 수 있다. 상기 제1벽(410)은 상기 하우징(100) 상부에 구비되어, 상기 유입구(200)에서 유입된 유체를 상기 하우징(100) 측면으로 유동하도록 유도하며, 유도된 유체는 상기 제2벽(420)을 따라 상기 하우징(100) 상부에서 하부로 흘러내려간다. 상기 제2벽(420)을 따라 상기 유체가 흐르면서, 상기 유체는 상기 히팅부재(300)의 열에 의해 가열 또는 보온될 수 있다. 또한, 상기 유체는 상기 칸막이(400)가 형성하는 유동경로를 따라 유동하면서, 적어도 2개 유체 즉, 약액 및 초순수가 혼합될 수 있다.For example, the partition 400 may be provided in the housing 100 to form a path through which the fluid flows. The first wall 410 is provided on the housing 100 to guide the fluid introduced from the inlet 200 to flow toward the side of the housing 100 and the induced fluid flows through the second wall 420 And flows down from the upper portion of the housing 100 to the lower portion. As the fluid flows along the second wall 420, the fluid can be heated or kept warm by the heat of the heating member 300. In addition, while the fluid flows along the flow path formed by the partition 400, at least two fluids, i.e., a chemical solution and ultrapure water can be mixed.

상기 제2벽(420)은 상기 하우징(100) 하부에 일정한 공간을 형성하여, 상기 제2벽(420)을 따라 흘러내린 유체는 상기 공간을 통해 상기 하우징(100) 내부로 유입되며, 유입된 액체는 상기 하우징(100) 하부에 구비된 상기 히팅부재(300)에 의해 가열 또는 보온될 수 있다.The second wall 420 forms a certain space below the housing 100 so that the fluid flowing along the second wall 420 flows into the housing 100 through the space, The liquid may be heated or maintained by the heating member 300 provided under the housing 100.

한편, 상기 케미컬 혼합탱크(800)는 상기 유체가 유동하는 동안 상기 히팅부재(300)와 접촉되는 면적을 증가시키기 위해, 상기 하우징(100) 또는 상기 칸막이(400) 일측에 돌출된 복수개의 요철(600)을 더 포함한다.The chemical mixing tank 800 may include a plurality of protrusions and protrusions protruding from one side of the housing 100 or the partition 400 to increase an area of contact with the heating member 300 during the flow of the fluid. 600).

상기 요철(600)은 상기 하우징(100) 측면 또는 상기 칸막이(400)의 제2벽(420)에 일정한 간격으로 구비되며, 상기 유입구(200)를 통해 유입된 유체는 상기 칸막이(400)에 의해 형성된 유도 경로를 따라 흘러간다. 이 때, 상기 유체는 상기 요철(600)에 의해 상기 히팅부재(300)에서 발생하는 열에 대한 접촉 면적이 넓어지게 되며, 그에 따라, 상기 유체는 빠르게 가열 또는 보온될 수 있다.The protrusions and depressions 600 are provided on the side of the housing 100 or the second wall 420 of the partition 400 at regular intervals and the fluid introduced through the inlet 200 is separated by the partition 400 And flows along the formed induction path. At this time, the contact area of the fluid with respect to heat generated in the heating member 300 is widened by the protrusions and depressions 600, so that the fluid can be quickly heated or kept warm.

다시 말해서, 상기 유체가 상기 제2벽(420)면 또는 상기 하우징(100)의 측면을 따라 상기 하우징(100) 상부에서 하부로 흘러내리면서, 상기 요철(600)에 의해 상기 히팅부재(300)에서 발생되는 열에 접촉되는 면적 넓어지고, 경과 시간을 증가시켜 보다 효과적으로 상기 유체를 가열 및 보온할 수 있다.In other words, the fluid flows downward from the upper portion of the housing 100 along the side of the second wall 420 or the housing 100, So that the fluid can be heated and maintained more effectively by increasing the elapsed time.

따라서, 상기 유입구(200)을 통해 유입된 유체는 상기 칸막이(400)에 의해 상기 하우징(100) 측면으로 유동되며, 상기 유체는 상기 제2벽(420) 또는 상기 하우징(100) 측면에 구비된 복수의 요철(600)에 의해 혼합, 가열 또는 보온되며, 혼합 및 가열된 유체는 상기 칸막이(400)와 상가 하우징(100) 바닥 사이에 형성된 공간을 통해 상기 하우징(100) 내부에 유입되어 저장될 수 있다. 저장된 유체는 상기 하우징 바닥(140)에 구비된 상기 히팅부재(300)에 의해 보온될 수 있다.The fluid introduced through the inlet 200 flows to the side of the housing 100 by the partition 400 and the fluid flows through the second wall 420 or the side of the housing 100 The mixed and heated fluid is introduced into the housing 100 through the space formed between the partition 400 and the bottom of the upper housing 100 and stored therein . The stored fluid may be kept warm by the heating member 300 provided at the bottom 140 of the housing.

한편, 상기 하우징(100) 내부에 저장된 유체는 상기 하우징(100) 하부에 구비된 배출구(500)를 통해 외부 장치에 공급되며, 상기 배출구(500)는 상기 하우징 바닥면(140)에 형성된 경사면에서 상대적으로 낮은 경사면에 위치할 수 있다.The fluid stored in the housing 100 is supplied to an external device through a discharge port 500 provided in the lower portion of the housing 100 and the discharge port 500 is formed on an inclined surface formed on the bottom surface 140 of the housing It can be located on a relatively low slope.

이와 같은 구성으로, 별도의 믹서장치 또는 라인 써큘레이션(Line Circulation) 없이 유체를 탱크 내부에서 혼합하여 혼합시간을 단축할 수 있다. 또한, 탱크 내부에서 외부로부터 가열된 유체를 보온하거나 직접 공급된 유체를 가열하여 상기 유체의 온도를 상승시킬 수 있다.
With this configuration, the mixing time can be shortened by mixing the fluid in the tank without a separate mixer device or line circulation. In addition, the temperature of the fluid can be raised by keeping the fluid heated from the outside or directly heating the fluid supplied from the inside of the tank.

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것이다. 또한, 본 발명이 상술한 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 사상은 상술한 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and changes may be made thereto by those skilled in the art to which the present invention belongs. Therefore, the spirit of the present invention should not be construed as being limited to the above-described embodiments, and all of the equivalents or equivalents of the claims, as well as the following claims, are included in the scope of the present invention.

10: 하우징 140: 바닥면
20: 유입구 150: 유지보수용 도어
30: 펌프 200: 유입구
40: 히터 300: 히팅부재
50: 배출구 400: 칸막이
100: 하우징 500: 배출구
110: 드레인 포트 600: 요철
120: 드레인 격판 700: 보호 커버
130: 배기홀 800: 케미컬 혼합탱크10: housing 140: bottom surface
20: inlet 150: maintenance door
30: pump 200: inlet
40: heater 300: heating member
50: outlet 400: partition
100: housing 500: outlet
110: drain port 600: concave and convex
120: drain diaphragm 700: protective cover
130: Exhaust hole 800: Chemical mixing tank

Claims (9)

복수의 유체를 저장하는 하우징;
상기 하우징 내부에 상기 유체들을 공급하는 유입구;
상기 유체들을 가열 또는 보온하는 히팅부재;
상기 유체가 유동하는 경로를 형성하는 칸막이; 및
상기 유체를 외부로 배출하는 배출구;
를 포함하고,
상기 유체가 유동하는 동안 상기 히팅부재와 접촉되는 면적을 증가시키기 위해, 상기 하우징 또는 상기 칸막이 일측에 돌출된 복수개의 요철을 더 포함하는 케미컬 혼합탱크.A housing for storing a plurality of fluids;
An inlet for supplying the fluids into the housing;
A heating member for heating or maintaining the fluids;
A partition forming a path through which the fluid flows; And
A discharge port for discharging the fluid to the outside;
Lt; / RTI >
Further comprising a plurality of protrusions and protrusions protruding from one side of the housing or the partition to increase an area of contact with the heating member while the fluid flows. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 히팅부재를 둘러싸며, 외부로부터 상기 히팅부재를 보호하는 보호커버를 더 포함하는 케미컬 혼합탱크.The method according to claim 1,
And a protective cover surrounding the heating member and protecting the heating member from the outside. 제1항에 있어서,
상기 칸막이는
상기 유체를 측면으로 유도하는 제1벽; 및
상기 하우징과 일정한 공간을 형성하며, 상기 유체가 유동하는 경로를 형성하는 제2벽;
을 포함하는 케미컬 혼합탱크.The method according to claim 1,
The partition
A first wall for guiding the fluid laterally; And
A second wall defining a space with the housing and defining a path through which the fluid flows;
And a chemical mixing tank. 제1항에 있어서,
상기 하우징은
상기 유입구로부터 과다하게 유입된 상기 유체를 외부로 배출하는 드레인 포트; 및
상기 드레인 포트로 상기 유체의 경로를 형성하는 드레인 격판;
을 포함하는 케미컬 혼합탱크.The method according to claim 1,
The housing
A drain port for discharging the fluid excessively introduced from the inlet port to the outside; And
A drain diaphragm forming a path of the fluid to the drain port;
And a chemical mixing tank. 제1항에 있어서,
상기 하우징은 바닥면에 경사를 형성하여, 상기 배출구로 상기 유체가 유동하는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합탱크.The method according to claim 1,
Wherein the housing forms a slope on a bottom surface, and the fluid flows to the outlet. 제1항에 있어서,
상기 히팅부재는 원적외선 필름을 사용하는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합탱크.The method according to claim 1,
Wherein the heating member uses a far infrared ray film. 제1항에 있어서,
상기 유입구는 적어도 2개 이상이 구비되며, 각각의 유입구에 상기 유체가 유입되는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합탱크.The method according to claim 1,
Wherein at least two of the inlets are provided, and the fluid is introduced into each of the inlets. 제1항 또는 제8항에 있어서,
상기 유체는 약액 및 초순수(DI Water)가 사용되는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합탱크.The method according to claim 1 or 8,
Wherein the fluid is a chemical liquid and DI water.
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