KR100572157B1 - Taping device for chip bonding and taping method for chip bonding - Google Patents
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Abstract
본 발명은 접착필름과 지지필름으로 이루어진 테이프를 사용하여 칩을 기판에 고정하는 칩본딩용 테이핑장치 및 그 방법에 관한 것이다. 칩본딩용 테이핑장치는, 테이프를 일정한 형상으로 성형하는 테이프 성형기와, 테이프 성형기의 일측에 설치되며 테이프 성형기에서 일정한 형상으로 성형된 테이프를 기판의 칩고정부위에 부착하는 테이프 부착기, 및 테이프 성형기 및 테이프 부착기를 제어하여 테이프의 접착필름을 기판의 칩고정부위에 부착하는 제어기를 포함한다.The present invention relates to a chip bonding taping apparatus and a method for fixing a chip to a substrate using a tape made of an adhesive film and a support film. The tape bonding device for chip bonding includes a tape molding machine for molding a tape into a predetermined shape, a tape attaching machine installed on one side of the tape molding machine, and a tape attaching machine for attaching a tape formed on the tape fixing machine to a chip fixing part of a substrate. And a controller for controlling the tape attacher to attach the adhesive film of the tape onto the chip fixing part of the substrate.
접착필름, 이방전도성필름, 펀칭, 비젼카메라, 히터, 가압Adhesive Film, Anisotropic Conductive Film, Punching, Vision Camera, Heater, Pressurization
Description
도 1은 기판 구멍에 삽입되는 칩을 테이프를 이용하여 부착하는 상태를 나타내 보인 분리사시도,1 is an exploded perspective view illustrating a state in which a chip is inserted into a hole in a substrate by using a tape;
도 2는 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치의 정면도,2 is a front view of a taping device for chip bonding according to the present invention;
도 3은 도 1의 A-A에서 본 단면도,3 is a cross-sectional view seen from A-A of FIG.
도 4는 도 1의 B-B에서 본 부분 측단면도,4 is a partial side cross-sectional view seen from B-B of FIG.
도 5는 도 1의 좌측면도,5 is a left side view of FIG. 1;
도 6은 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치의 테이프 성형기의 사시도,6 is a perspective view of a tape molding machine of a taping device for chip bonding according to the present invention;
도 7은 도 6의 테이프 성형기에서 테이프의 구멍가공과 접착필름의 절단이 동시에 행해지는 것을 설명하기 위한 도면,7 is a view for explaining that the hole processing of the tape and the cutting of the adhesive film is performed at the same time in the tape molding machine of FIG.
도 8은 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치의 테이프 성형기의 테이프폭 절단유닛을 나타낸 측면도,8 is a side view showing a tape width cutting unit of the tape molding machine of the taping device for chip bonding according to the present invention;
도 9는 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치의 테이프 부착기를 나타낸 사시도, 9 is a perspective view showing a tape attaching device of a taping device for chip bonding according to the present invention;
도 10은 도 9의 테이프 부착기가 테이프를 기판의 칩고정부위에 부착시키는 과정을 설명하기 위한 도면,FIG. 10 is a view for explaining a process of attaching a tape to a chip fixing part of a substrate by the tape attacher of FIG. 9;
도 11은 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치의 인덱스 피더를 나타낸 사시도,11 is a perspective view showing an index feeder of the taping device for chip bonding according to the present invention;
도 12는 도 2의 칩본딩용 테이핑장치의 작동순서를 나타낸 순서도,12 is a flow chart showing an operation procedure of the taping device for chip bonding of FIG.
도 13은 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑방법을 나타낸 순서도이다.13 is a flowchart showing a chip bonding taping method according to the present invention.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
100; 테이프 공급기 101; 테이프릴100; Tape
110; 제1릴회전유닛 120; 제1테이프 감지유닛110; First
200; 테이프 성형기 210; 펀치200;
220; 절단날 230; 다이220;
250; 테이프폭 절단유닛 300; 테이프 부착기250; Tape
301; 기판 310; 간격보상수단301;
320; 기판위치 조정유닛 322; 기판고정부320; A substrate
324; 제1비젼카메라 326; 엑스-와이 테이블324;
340; 테이프위치 조정유닛 342; 제2비젼카메라340; Tape
350; 인덱스 피더 352; 고정핸드350;
356; 이동핸드 370; 부착유닛356;
372; 히터 375; 가압부372;
380; 냉각노즐 390; 지지필름 분리기380;
400; 테이프 회수기 401; 회수릴400;
410; 제2릴회전유닛 420; 제2테이프 감지유닛410; A second
T; 테이프 T1; 접착필름T; Tape T1; Adhesive film
T2; 지지필름 P; 기준점T2; Support film P; Benchmark
본 발명은 테이프를 이용하여 칩을 기판에 부착하는 칩본딩장치 및 방법에 있어서, 칩을 기판에 부착시키기 전에 테이프를 기판에 부착시키는 칩본딩용 테이핑장치 및 칩본딩용 테이핑방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chip bonding apparatus and method for attaching a chip to a substrate using tape, the present invention relates to a chip bonding taping apparatus and a chip bonding taping method for attaching a tape to a substrate before the chip is attached to the substrate.
테이프를 이용하여 칩을 기판등에 부착하는 방식의 일예는 LCD 팬널(Liquid Crystal Display Panel) 과 TCP(Tape Carrier Package) 또는 PCB(Printed Circuit Board)와 TCP등을 전기적으로 접속시키는데 이방전도성필름(ACF-Anisotropic Conductive Film)을 이용하는 것이다. 또는 Bare Chip을 접속 LCD 팬널에 실장하는 COG(Chip On Glass)실장 등의 접속재료로 테이프를 사용하는 것이다. 이외에도 테이프를 이용한 칩본딩방법은 Bare Chip을 FPC(Flexible Printed Circuit)와 PCB에 접속실장하는 COF(Chip On Film), COB(Chip On Board)실장에도 응용되고 있다. 이하의 설명에서는 LCD 팬널, PCB, FPC 등 칩이 부착되는 모든 것을 통칭하여 기판이라고 부르기로 한다.An example of a method of attaching a chip to a substrate using a tape is an anisotropic conductive film (ACF-) to electrically connect an LCD panel (Liquid Crystal Display Panel), TCP (Tape Carrier Package) or PCB (Printed Circuit Board) and TCP. Anisotropic Conductive Film) is used. Alternatively, the tape is used as a connection material such as COG (Chip On Glass) mounting in which a bare chip is mounted on a connected LCD panel. In addition, the chip bonding method using a tape is applied to mounting a chip on film (COF) and a chip on board (COB) in which a bare chip is connected to a flexible printed circuit (FPC) and a PCB. In the following description, everything attached to a chip such as an LCD panel, a PCB, and an FPC will be collectively called a substrate.
이러한 테이프를 이용한 칩본딩방법에 사용되는 이방전도성필름(ACF)은 금속코팅된 플라스틱 또는 금속입자등의 전도성 입자를 분산시킨 필름상의 접착제로서, 분산되어 있는 전도성 입자에 의해 전극사이에 도전성이 얻어지고 인접하는 전극사 이에는 접착제가 충진되어 도전입자가 서로 독립하여 존재하기 때문에 높은 절연성이 얻어진다. 그리고 전도성 입자와 전극간의 기계적 접융은 접착제의 높은 접착력에 의하여 유지된다. 또한, 이러한 이방전도성필름은 보관과 사용의 편리를 위해 접착성이 없는 지지필름을 이방전도성필름의 일면에 부착한 상태로 공급된다. 즉, 칩본딩용으로 사용되는 테이프는 상기와 같은 이방전도성필름과 같이 칩을 기판등에 부착하는 접착성과 전도성을 갖는 접착필름과 접착필름을 분리,지지하는 지지필름으로 이루어진다.Anisotropic conductive film (ACF) used in the chip bonding method using such a tape is a film-like adhesive in which conductive particles such as metal-coated plastic or metal particles are dispersed, and conductivity is obtained between the electrodes by dispersed conductive particles. Adhesive is filled between adjacent electrodes, so that the conductive particles are independent of each other, thereby obtaining high insulation. And mechanical welding between the conductive particles and the electrode is maintained by the high adhesion of the adhesive. In addition, such an anisotropic conductive film is supplied with a non-adhesive support film attached to one surface of the anisotropic conductive film for convenience of storage and use. That is, the tape used for chip bonding consists of an adhesive film having adhesiveness and conductivity for attaching a chip to a substrate and the like and an supporting film for separating and supporting the adhesive film, as in the anisotropic conductive film as described above.
그런데, 기판 등에 구멍이 형성되어 있고, 이 구멍에 칩을 삽입한 후 테이프를 이용하여 칩을 기판에 부착하는 경우에는 테이프에 기판 등에 형성된 구멍에 대응되는 구멍을 가공할 필요가 있다. 이의 일예가 도 1에 도시되어 있다. 도 1에 도시된 바와 같이 구멍이 있는 FPC에 테이프를 이용하여 칩을 부착하는 경우는 먼저 테이프를 FPC에 부착한 후 FPC의 구멍에 상응하는 테이프 부위를 제거하는 것이 일반적이다. 그러나 이와 같은 작업방법은 작업이 불편하여 시간이 많이 소요된다는 문제점이 있다. 또한, 테이프를 제거하는 과정에 FPC의 회로선을 손상시킬 수도 있다는 문제점이 있다.By the way, when a hole is formed in a board | substrate etc., and a chip is inserted in this hole, and a chip is attached to a board | substrate using a tape, it is necessary to process the hole corresponding to the hole formed in the board | substrate etc. in a tape. One example of this is shown in FIG. 1. When the chip is attached to the FPC with holes as shown in FIG. 1 by using a tape, it is common to first attach the tape to the FPC and then remove the tape portion corresponding to the hole of the FPC. However, this work method has a problem that the work is inconvenient and takes a lot of time. In addition, there is a problem that may damage the circuit of the FPC in the process of removing the tape.
따라서, 테이프를 이용하여 구멍 등이 형성된 FPC와 같은 기판 등에 칩을 부착하는 공정에서 작업시간을 단축할 수 있고 기판을 손상시키지 않는 칩본딩용 테이핑장치 및 칩본딩용 테이핑방법에 대한 발명이 요구되어 왔다.Therefore, there is a need for an invention regarding a chip bonding taping apparatus and a chip bonding taping method that can shorten the working time and do not damage the substrate in a process of attaching a chip to a substrate such as an FPC formed with holes or the like using a tape. come.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 테이프를 기판 에 부착하기 전에 필요한 구멍 등의 가공을 한 후 기판에 부착하도록 함으로써 작업시간을 단축할 수 있고, 기판을 손상시키지 않는 칩본딩용 테이핑장치 및 칩본딩용 테이핑방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above-described problems, and can be shortened working time by attaching to the substrate after processing the necessary holes, etc. before attaching the tape to the substrate, for chip bonding that does not damage the substrate An object thereof is to provide a taping apparatus and a taping method for chip bonding.
상기와 같은 본 발명의 목적은, 기판의 칩고정부위에 지지필름과 접착필름으로 이루어진 테이프로부터 접착필름만을 부착하는 칩본딩용 테이핑장치에 있어서, 상기 테이프를 일정한 형상으로 성형하는 테이프 성형기; 상기 테이프 성형기의 일측에 설치되며, 상기 테이프 성형기에서 일정한 형상으로 성형된 상기 테이프를 상기 기판의 칩고정부위에 부착하는 테이프 부착기; 및 상기 테이프 성형기 및 상기 테이프 부착기를 제어하여 상기 테이프의 접착필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착하는 제어기;를 포함하는 칩본딩용 테이핑장치를 제공함으로써 달성된다.An object of the present invention as described above, in the chip bonding tape for attaching only the adhesive film from the tape consisting of the support film and the adhesive film on the chip fixing of the substrate, a tape molding machine for molding the tape to a certain shape; A tape attacher installed at one side of the tape molding machine and attaching the tape formed in a predetermined shape on the tape molding machine onto a chip fixing part of the substrate; And a controller for controlling the tape molding machine and the tape attaching device to attach the adhesive film of the tape onto the chip fixing part of the substrate.
여기서, 상기 테이프 성형기는, 상기 테이프에 일정한 형상의 구멍을 뚫는 펀치; 및 상기 테이프에서 접착필름만을 일정한 간격으로 절단하는 절단날을 포함하는 것이 바람직하다. 특히, 상기 절단날은 상기 펀치로 상기 테이프에 구멍을 가공할 때 상기 접착필름을 동시에 절단하도록 상기 펀치와 일체로 하는 것이 바람직하다. 이때, 절단날의 끝이 상기 펀치의 날끝과 일정한 높이차를 갖도록 절단날을 설치함으로써 상기 테이프로부터 상기 접착필름만이 절단되도록 하는 것이 바람직하다.Here, the tape molding machine, a punch for punching a predetermined shape hole in the tape; And it is preferable to include a cutting blade for cutting only the adhesive film at regular intervals in the tape. In particular, the cutting blade is preferably integrated with the punch so as to cut the adhesive film at the same time when processing the hole in the tape with the punch. At this time, it is preferable that only the adhesive film is cut from the tape by installing the cutting blade so that the cutting edge has a constant height difference from the cutting edge of the punch.
또한, 상기 테이프 성형기는 상기 테이프의 폭을 일정한 치수로 절단하는 테이프폭 절단유닛을 더 포함할 수 있다.In addition, the tape molding machine may further include a tape width cutting unit for cutting the width of the tape to a predetermined dimension.
또한, 상기 테이프 부착기는, 상기 기판의 칩고정부위의 위치를 조정하는 기판위치 조정유닛; 상기 기판의 칩고정부위에 대한 상기 테이프의 성형된 부분의 위치를 조정하는 테이프위치 조정유닛; 및 상기 테이프의 성형된 부분의 접착필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착시키는 부착유닛;을 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the tape attaching unit, the substrate position adjusting unit for adjusting the position on the chip fixing of the substrate; A tape position adjusting unit for adjusting the position of the molded portion of the tape with respect to the chip fixing portion of the substrate; And an attachment unit attaching the adhesive film of the molded part of the tape to the chip fixing part of the substrate.
여기서, 상기 기판위치 조정유닛은, 상기 기판이 고정되는 기판고정부; 상기 기판고정부의 상측에 설치되며, 상기 기판의 칩고정부위의 위치를 검출하는 제1비젼카메라; 및 상기 기판고정부의 하측에 설치되며, 상기 제1비젼카메라의 위치정보에 따라 상기 기판의 칩고정부위를 상기 부착유닛의 하측에 위치시키는 엑스-와이 테이블(X-Y Table);을 포함하는 것이 바람직하다.Here, the substrate position adjusting unit, the substrate fixing portion to which the substrate is fixed; A first vision camera installed at an upper side of the substrate fixing part and detecting a position of a chip fixing part of the substrate; And an X-Y table disposed below the substrate fixing part and positioning the chip fixing part of the substrate under the attachment unit according to the position information of the first vision camera. Do.
또한, 상기 테이프위치 조정유닛은, 상기 테이프의 성형된 부분의 위치를 검출하는 제2비젼카메라; 및 상기 기판위치 조정유닛의 일측에 설치되며, 상기 제2비젼카메라의 위치정보에 따라 상기 테이프의 성형된 부분을 상기 부착유닛의 하측에 위치시키는 인덱스 피더;를 포함하는 것이 바람직하다. 이때, 인덱스 피더는 상기 테이프를 고정하는 고정핸드; 및 상기 테이프를 고정하며, 상기 제2비젼카메라의 위치정보에 따라 상기 테이프를 일방향으로 이동시키는 이동핸드;를 포함한다.In addition, the tape position adjustment unit, the second vision camera for detecting the position of the molded portion of the tape; And an index feeder installed at one side of the substrate position adjusting unit and positioning the molded part of the tape under the attachment unit according to the position information of the second vision camera. At this time, the index feeder is a fixed hand for fixing the tape; And a moving hand which fixes the tape and moves the tape in one direction according to the position information of the second vision camera.
또한, 상기 부착유닛은, 상기 테이프의 성형부분을 가열하는 히터; 상기 테이프의 성형부분을 상기 기판의 칩본딩부위에 대해 누르는 가압부; 및 상기 기판의 칩본딩부위에 부착된 상기 테이프의 성형부분을 냉각시키는 냉각부;를 포함하는 것이 바람직하다. 여기서, 상기 냉각부는 상기 가압부의 일측에 설치되는 에어 블로어(Air Blower)이며, -50 ~10℃의 찬 공기를 상기 테이프의 성형부분에 분사하거 나, 상기 기판의 하측에 설치된 냉각관을 통해 찬 공기를 순환시킴으로써 상기 기판이 안치된 부분을 -10 ~ 20로 냉각시키도록 구성할 수 있다.In addition, the attachment unit, a heater for heating the molded portion of the tape; A pressing portion for pressing the molded portion of the tape against the chip bonding portion of the substrate; And a cooling unit cooling the molded portion of the tape attached to the chip bonding portion of the substrate. Here, the cooling unit is an air blower (Air Blower) is installed on one side of the pressurizing portion, and sprays cold air of -50 ~ 10 ℃ to the molded portion of the tape, or cold through a cooling tube installed on the lower side of the substrate By circulating the air can be configured to cool the portion where the substrate is placed to -10 ~ 20.
그리고, 70 ~ 120℃로 가열된 히터로 테이프 성형부분을 가열하여 부착하는 것이 바람직하다.And it is preferable to heat and attach a tape shaping | molding part with the heater heated at 70-120 degreeC.
또한, 상기 부착유닛은 상기 테이프의 성형부분의 지지필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착된 접착필름으로부터 분리하는 지지필름 분리구를 더 포함할 수 있다.In addition, the attachment unit may further include a support film separator for separating the support film of the molded portion of the tape from the adhesive film attached to the chip fixing portion of the substrate.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예로서, 기판의 칩고정부위에 지지필름과 접착필름으로 이루어진 테이프로부터 접착필름만을 부착하는 칩본딩용 테이핑장치에 있어서, 상기 테이프를 공급하는 테이프 공급기; 상기 테이프를 일정한 형상으로 성형하는 테이프 성형기; 상기 테이프 성형기에서 일정한 형상으로 성형된 상기 테이프를 상기 기판의 칩고정부위에 부착한 후, 상기 지지필름만을 분리하는 테이프 부착기; 상기 지지필름을 되감는 테이프 회수기; 및 상기 테이프 공급기, 테이프 성형기, 테이프 부착기, 및 테이프 회수기를 제어하여 상기 테이프의 접착필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착하고 상기 지지필름을 회수하는 제어기;를 포함하는 칩본딩용 테이핑장치를 제공할 수 있다.In another embodiment of the present invention for achieving the above object, in the tape bonding device for attaching only the adhesive film from the tape consisting of the support film and the adhesive film on the chip fixing of the substrate, the tape for supplying the tape feeder; A tape molding machine for molding the tape into a predetermined shape; A tape attacher for attaching the tape formed in a predetermined shape in the tape molding machine onto a chip fixing part of the substrate and separating only the support film; A tape recovery machine rewinding the support film; And a controller for controlling the tape feeder, the tape molding machine, the tape attaching machine, and the tape recovering machine to attach the adhesive film of the tape onto the chip fixing part of the substrate and to recover the supporting film. can do.
여기서, 상기 테이프 성형기는, 상기 테이프에서 접착필름만을 일정한 간격으로 절단하는 절단날과 상기 테이프에 일정한 구멍을 뚫는 펀치가 일체로 된 것이 바람직하다.Here, the tape forming machine, it is preferable that the cutting blade for cutting only the adhesive film in the tape at regular intervals and a punch for punching a predetermined hole in the tape is integrated.
또한, 상기 테이프 부착기는, 상기 기판이 고정되는 기판고정부와, 상기 기 판고정부의 상측에 설치되며, 상기 기판의 칩고정부위의 위치를 검출하는 제1비젼카메라, 및 상기 기판고정부의 하측에 설치되며, 상기 제1비젼카메라의 위치정보에 따라 상기 기판의 칩고정부위를 상기 부착유닛의 하측에 위치시키는 엑스-와이 테이블(X-Y Table)을 포함하며, 상기 기판의 칩고정부위의 위치를 조정하는 기판위치 조정유닛; 상기 테이프의 성형된 부분의 위치를 검출하는 제2비젼카메라와, 상기 기판위치 조정유닛의 일측에 설치되며, 상기 제2비젼카메라의 위치정보에 따라 상기 테이프의 성형된 부분을 상기 부착유닛의 하측에 위치시키는 인덱스 피더를 포함하며, 상기 기판의 칩고정부위에 대한 상기 테이프의 성형된 부분의 위치를 조정하는 테이프위치 조정유닛; 및 상기 테이프의 성형부분을 가열하는 히터와, 상기 테이프의 성형부분을 상기 기판의 칩본딩부위에 대해 누르는 가압부, 및 상기 기판의 칩본딩부위에 부착된 상기 테이프의 성형부분을 냉각시키는 냉각부를 포함하며, 상기 테이프의 성형된 부분의 접착필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착시키는 부착유닛;을 포함하는 것이 바람직하다.The tape attaching device may further include a substrate fixing part on which the substrate is fixed, a first vision camera installed on an upper side of the substrate fixing part, and detecting a position on a chip fixing part of the substrate, and a lower side of the substrate fixing part. And an XY table for positioning the chip fixing part of the substrate under the attachment unit according to the positional information of the first vision camera, and defining the position of the chip fixing part of the substrate. A substrate position adjusting unit for adjusting; A second vision camera for detecting the position of the molded portion of the tape, and is installed on one side of the substrate position adjusting unit, the molded portion of the tape in accordance with the position information of the second vision camera to the lower side of the attachment unit A tape position adjusting unit including an index feeder positioned at a position of the tape feeder, the tape position adjusting unit adjusting a position of the molded portion of the tape with respect to the chip fixing portion of the substrate; And a heater for heating the molded portion of the tape, a press portion for pressing the molded portion of the tape against the chip bonding portion of the substrate, and a cooling portion for cooling the molded portion of the tape attached to the chip bonding portion of the substrate. And an attachment unit attaching the adhesive film of the molded part of the tape to the chip fixing part of the substrate.
본 발명의 다른 측면으로서 본 발명의 목적은. 기판의 칩고정부위에 지지필름과 접착필름으로 이루어진 테이프로부터 접착필름만을 부착하는 칩본딩용 테이핑방법에 있어서, 상기 테이프를 상기 기판의 칩고정부위의 형상에 대응되도록 성형하는 단계; 상기 테이프의 성형부분을 상기 기판의 칩고정부위에 일치시키는 단계; 상기 테이프의 성형부분을 상기 기판의 칩고정부위에 열과 압력을 가하여 부착하는 단계; 및 상기 기판의 칩고정부위로부터 상기 테이프의 지지필름을 분리하는 단계;를 포함하는 칩본딩용 테이핑방법에 의해 달성된다.As another aspect of the present invention the object of the present invention. A chip bonding taping method for attaching only an adhesive film from a tape made of a support film and an adhesive film on a chip fixing part of a substrate, the method comprising: forming the tape to correspond to the shape of the chip fixing part of the substrate; Matching the molded portion of the tape to the chip fixing portion of the substrate; Attaching a molded portion of the tape by applying heat and pressure on the chip fixing portion of the substrate; And separating the support film of the tape from the chip fixing part of the substrate.
여기서, 상기 성형단계는, 상기 테이프의 접착필름만을 일정 간격으로 절단하고, 절단된 접착필름의 중앙에 지지필름을 관통하는 일정한 구멍을 성형하며 이를 하나의 동작으로 행하는 것이 바람직하다.Here, in the forming step, it is preferable to cut only the adhesive film of the tape at regular intervals, and to form a predetermined hole penetrating the support film in the center of the cut adhesive film and to perform this in one operation.
또한, 상기 일치단계에서는, 비젼카메라를 이용하여 상기 테이프의 성형부분과 상기 기판의 칩본딩부위를 일치시키는 것이 바람직하다.In the matching step, it is preferable to match the molded portion of the tape with the chip bonding portion of the substrate using a vision camera.
또한, 상기 부착단계에서는 70 ~ 120℃로 가열된 히터로 상기 테이프의 성형부분을 가열하여 부착한 후, -50 ~10℃의 찬 공기를 분사하여 상기 테이프의 성형부분을 냉각하는 것이 바람직하다.In addition, in the attaching step, it is preferable to cool the molded part of the tape by spraying cold air of −50 to 10 ° C. after attaching the molded part of the tape by heating the heater heated to 70 to 120 ° C.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.
도 2 및 도 3은 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치의 일실시예를 나타내 보인 정면도 및 단면도이다. 도면을 참조하면, 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치는 테이프 공급기(100), 테이프 성형기(200), 테이프 부착기(300), 테이프 회수기(400), 및 제어기(500)를 포함한다.2 and 3 are a front view and a cross-sectional view showing an embodiment of the taping device for chip bonding according to the present invention. Referring to the drawings, the taping apparatus for chip bonding according to the present invention includes a
테이프 공급기(100)는 릴에 감긴 상태로 공급되는 ACF 등의 테이프를 풀어 테이프 성형기(200)로 공급하는 것으로서, 도 2, 도 3 및 도 5를 참조하면, 테이프릴(101)을 회전시키는 제1릴회전유닛(110)과 테이프(T)에 장력을 가하며 테이프(T)의 공급상태에 따라 제1릴회전유닛(110)을 제어하는 제1테이프 감지유닛(120), 및 테이프(T)의 경로를 형성하는 수개의 롤러(131,132)를 포함한다. 제1릴회전유닛(110)은 테이프릴(101)이 고정되는 회전축(112)과 이 회전축(112)을 회전시키는 모터(114)로 구성된다. 제1테이프 감지유닛(120)은 자중에 의해 테이프(T)에 장력을 가하며, 테이프(T)가 당겨지면 위로 상승하고, 제1릴회전유닛(110)에서 테이프릴(101)이 풀리면 아래로 하강하는 승강부(122) 및 승강부(122)가 규정된 양만큼 하강하거나 상승하면 이를 감지하여 제어기(500)로 신호를 보내는 센서부(123,124)를 포함한다. 제어기(500)는 승강부(122)가 상승하여 센서(123)를 작동시키면 제1릴회전유닛(110)의 모터(114)를 구동시켜 테이프릴(101)로부터 테이프(T)가 풀리게 한다. 테이프(T)가 풀려 승강부(122)가 하강하여 센서(124)를 동작시키면 제어기(500)는 제1릴회전유닛(110)의 모터(114)를 정지시킨다. 이와 같이 테이프 성형장치(200)로 테이프(T)를 공급하는 테이프 공급장치(100)는 상술한 장치외에도 지금까지 공지된 여러가지 방법이 사용될 수 있음은 당연하다.The
테이프 성형기(200)는 테이프(T)를 일정한 형상으로 성형하는 것으로서, 도 2, 도 6, 및 도 7을 참조하면, 테이프(T)에 일정한 형상의 구멍을 뚫는 펀치(210) 및 테이프(T)에서 지지필름(T2)은 절단하지 않고 접착필름(T1)만을 일정한 간격으로 절단하는 절단날(220)을 포함한다. 펀치(210)의 상부에는 다이(230)가 마련되며, 공압실린더(216)에 의해 상하로 승강하는 펀치(210)는 펀치(210)와 일체로 형성된 스토퍼(214)에 의해 상승높이가 제한된다. 다이(230)에는 테이프(T)의 이동을 안내하는 안내홈과 펀치날(212)이 통과하여 테이프(T)에 소정의 구멍을 형성할 수 있는 구멍(234)이 마련되며, 다이의 구멍(234)에는 테이프(T)로부터 절단된 스크랩(T')을 제거하기 위한 호스(240)가 연결되어 있다. 호스(240)에는 흡입공기 가 가해져서 테이프(T)로부터 절단된 스크랩(T')은 호스(240)로 빨려들어 가게 된다. 절단날(220)은 펀치날(212)의 양측에 설치되어 있으며, 접착필름(T1)의 절단간격은 이 2개의 절단날(220)의 간격에 의해 정해진다. 또한, 펀치날(212)에 의해 형성되는 구멍과 접착필름(T1)의 절단부와의 거리는 펀치날(212)과 절단날(220)의 간격에 의해 정해진다. 펀치날(212)과 절단날(220)이 일체로 형성되어 있기 때문에 펀치(210)가 상승하여 테이프(T)에 구멍을 가공할 때 절단날(220)에 의해 테이프(T)의 접착필름(T1)도 동시에 절단된다. 이때, 절단날(220)이 접착필름(T1)만을 절단하게 하는 것은 절단날(220)의 끝이 펀치날(212)의 끝단과 일정한 높이차를 갖도록 설치함으로써 가능하다. 도 7을 참조하여 이를 상세하게 설명한다. 도 7은 펀치날(212)이 테이프(T)를 통과한 후 펀치(210)에 설치된 스토퍼(214)가 다이(230)와 접촉하여 펀치(210)가 더 이상 상승하지 못하는 상태를 나타낸다. 이때, 스토퍼(214)에 의해 펀치(210)가 정지한 위치에서 절단날(220)의 끝과 다이(230)의 테이프(T)가 지나가는 면(231) 사이의 간격(t)이 테이프(T)의 지지필름(T2)의 두께가 되면 테이프(T)는 접착필름(T1)만 절단되고 지지필름(T2)은 절단되지 않게 된다. 따라서, 절단날(220)의 날끝의 높이와 펀치 스토퍼(214)의 높이 차이를 관리함으로써 테이프(T)의 접착필름(T1)만을 절단할 수 있다. 또한, 스토퍼(214)의 높이는 펀치날(212)의 끝단과 일정하게 정해지므로 절단날(220)의 날끝과 펀치날(212) 사이에도 역시 일정한 높이차가 유지되게 된다.The
또한, 테이프 성형기(200)는 테이프폭(W)을 일정한 치수로 절단하는 테이프폭 절단유닛(250)을 더 포함할 수 있다. 테이프폭 절단유닛(250)은, 도 6 및 도 8 을 참조하면, 공압실린더(252)에 의해 상하로 승강하는 칼날(254)과, 테이프(T)의 이동을 안내하며 칼날(254)에 의한 테이프폭의 절단을 지지하는 절단안내부(256)를 포함한다. 이 테이프폭 절단유닛(250)은 기판에 부착하는 테이프(T)의 폭이 일반적으로 공급되는 테이프의 크기로 만족시킬 수 없는 경우에, 도 6에 도시된 바와 같이 테이프 성형기(200) 전단에 추가 설치함으로써 사용자가 원하는 크기로 테이프를 성형할 수 있다.In addition, the
테이프 부착기(300)는 상술한 테이프 성형기(200)에서 일정한 형상으로 성형된 테이프(T)를 기판의 칩고정부위에 부착하는 것으로서, 도 2를 참조하면, 기판의 칩고정부위의 위치를 조정하는 기판위치 조정유닛(320)과, 기판의 칩고정부위에 대한 테이프(T)의 성형된 부분의 위치를 조정하는 테이프위치 조정유닛(340), 및 테이프의 성형부분을 기판의 칩고정부위에 부착하는 부착유닛(370)을 포함한다.The tape attacher 300 attaches the tape T formed in a predetermined shape in the
기판위치 조정유닛(320)은, 도 2 내지 4 및 도 9를 참조하면, 기판고정부(322), 제1비젼카메라(324), 및 엑스-와이 테이블(X-Y Table,326)을 포함한다. 기판고정부(322)는 엑스-와이 테이블(326)의 상측에 설치되며, 기판(301)이 놓이는 수납부(303)와 수납부(303)에 대해 기판(301)을 고정하는 고정판(305)으로 구성된다. 제1비젼카메라(324)는 기판고정부(322)의 상측에 설치되며, 기판(301)의 칩고정부위를 확인한다. 제1비젼카메라(324)는 일반적으로 CCD 카메라가 사용되며, 제1비젼카메라(324)에 의해 촬상된 영상을 출력하는 비젼모니터(325)를 별도로 구비한다. 엑스-와이 테이블(326)은 평면상에서 서로 직교하는 2개의 이동축을 갖고 있어 제어기(500)의 명령에 따라 기판고정부(322)를 동일 평면상에서 임의의 위치로 이동시킬 수 있다. 기판(301)의 칩고정부위가 제1비젼카메라(324)의 센터와 일치하지 않으면, 제어기(500)는 엑스-와이 테이블(326)을 이동시켜 기판(301)의 칩고정부위가 제1비젼카메라(324)의 센터에 위치하도록 조정한다.2 to 4 and 9, the substrate
테이프위치 조정유닛(340)은 테이프(T)의 성형된 부분의 위치 즉, 구멍위치가 기판(301)의 칩고정부위에 일치하도록 테이프(T)의 위치를 조정하는 것으로서, 제2비젼카메라(342)와 인덱스 피더(350)로 구성된다. 제2비젼카메라(342)는 테이프(T)가 지나가는 경로의 상측에 설치되며, 일반적으로 CCD 카메라가 사용된다. 제2비젼카메라(342)에 의해 촬상된 영상을 출력하는 비젼모니터를 별도로 구비하거나 제1비젼카메라(324)의 비젼모니터(325)를 공동으로 사용할 수도 있다. 인덱스 피더(350)는 테이프(T)가 이동하지 않도록 잡고 있거나, 기판(301)의 칩고정부위가 복수개 있는 경우에 계속적으로 테이프(T)의 성형부분을 부착시킬 수 있도록 테이프(T)를 일정 간격으로 이동시키는 것으로서 고정핸드(352)와 이동핸드(356)를 포함한다. 고정핸드(352)는 고정단(353)과 고정단(353)에 대해 상하로 승강하는 공압실린더(354)로 구성된다. 이동핸드(356)는 고정핸드(352)와 동일하게 고정단(357)과 공압실린더(358)로 구성되며 이동핸드(356)의 하부에는 이동핸드(356)를 좌우로 이송시키는 이동부(359)가 설치된다. 이동부(359)는 제2비젼카메라(342)와 테이프(T)의 성형부분의 센터를 일치시킬 수 있도록 위치제어가 가능한 스테핑 리니어 모터(Stepping Linear Motor)를 사용하는 것이 바람직하다. 이동부(359)의 일측에는 이동핸드(356)의 좌우이동을 확인할 수 있도록 2개의 센서(360)가 부착되어 있다.The tape
부착유닛(370)은 테이프(T)의 성형된 부분의 접착필름(T1)을 기판(301)의 칩고정부위에 부착시키는 것으로서, 도 9를 참조하면, 히터(372)와 가압부(375) 및 냉각부(380)를 포함한다. 히터(372)는 테이프(T)의 접착필름(T1)을 용융시키는 것으로서, 끝단이 기판(301)에 접착될 테이프(T)의 성형부분에 대응되는 단면으로 성형되는 것이 바람직하다. 히터(372)의 가열온도는 접착필름(T1)을 용융시키기에 충분한 온도이어야 하나 너무 온도가 높으면 냉각에 장시간이 소요되고 또 기판(301)을 손상시킬 우려가 있으므로 적절한 온도로 가열시켜야 한다. 히터(372)의 가열온도는 70 ~ 120℃로 하는 것이 바람직하다. 가압부(375)는 히터(372)가 테이프(T)를 가열하면서 동시에 가압할 수 있도록 히터(372)를 가압한다. 즉, 히터(372)는 하강시에 끝단에 가해지는 압력을 일정 범위내에서 설정할 수 있는 가압부(375)의 로드(376)의 끝에 설치되어 있다. 따라서, 제어기(500)의 명령에 따라 가압부(375)가 로드(376)를 하강시키면 히터(372)가 일정한 압력으로 테이프(T)를 기판(301)에 대해 누르는 상태가 된다. 그러므로 히터(372) 열에 의해 접착필름(T1)이 용융되면서 가압부(375)의 로드(376)에 의해 일정한 압력으로 눌리기 때문에 테이프의 접착필름(T1)이 기판(301)에 부착되게 된다. 이 상태에서 히터(372)를 오프(Off)시키고 냉각부(380)를 동작시켜 테이프(T)와 기판(301)의 접착부분을 냉각시킨다.The
이때, 부착유닛(370)의 히터(372)의 중심축과 테이프위치 조정유닛(340)의 제2비젼카메라(342)의 중심축이 테이프(T) 구멍에 대해 동일축상에 위치하도록 설치하는 것이 곤란하므로 이와 동일한 상태가 되도록 기구를 구성할 필요가 있다. 이를 위한 하나의 방법으로 도 9 및 10a에 도시된 바와 같이 히터(372)와 제2비젼 카메라(342)를 테이프 이송방향(X-X)을 따라 일정 간격으로 설치한 후 이를 간격보상수단(310)을 이용하여 좌우로 이송시킴으로써 히터(372)와 제2비젼카메라(342)가 동일축상에 설치된 것과 동일한 효과를 얻을 수 있다. 즉, 제2비젼카메라(342)로 테이프(T)의 구멍(H)위치를 확인하는 경우에는 간격보상수단(310)을 동작시켜 제2비젼카메라(342)가 도 10b와 같이 기준선 C-C의 위치로 오도록 한다. 제2비젼카메라(342)와 인덱스 피더(350)에 의해 테이프(T)의 구멍(H)이 조정되면 제어기(500)는 다시 간격보상수단(310)을 동작시켜 히터(372)가 도 10a와 같이 기준선 C-C의 위치에 오도록 한다. 이때, 간격보상수단(310)은 직선운동을 안내하는 LN가이드(312)와 공압실린더(314) 및 제2비젼카메라(342)와 히터(372)의 위치를 기계적으로 결정하는 양쪽의 스토퍼(316)로 구성된다. 또한, 본 실시예와 같이 제1비젼카메라(324)를 이용하여 기판(301)의 칩고정부위(G)를 확인하는 경우에는 제1비젼카메라(324)도 간격보상수단(310)에 일체로 설치하는 것이 바람직하다. 이때, 제1비젼카메라(324)는 도 10a에 도시된 바와 같이 테이프의 이송방향(X-X)과 직각을 이루며 제2비젼카메라(342)와 일직선을 이루는 Y-Y선상에 제2비젼카메라(342)와 일정한 간격(D)을 두고 설치하는 것이 바람직하다. 이때, 제1비젼카메라(324)와 제2비젼카메라(342) 사이의 간격(D)은 일종의 오프셋(Offset)으로 제어기(500)에 기억되어 있기 때문에, 제어기(500)는 엑스-와이 테이블(326)을 오프셋량 만큼 더하여 이동시킴으로서 제1비젼카메라(324)에 의해 인식된 기판(301)의 칩고정부위(G)와 제2비젼카메라(342)에 의해 인식된 테이프(T)의 구멍(H)위치를 일치시킬 수 있다.At this time, the central axis of the
냉각부는 용융된 테이프(T)의 접착필름(T1)을 빨리 굳혀 기판(301)에 단단하게 부착되도록 하기 위한 것으로서, 도 9에 도시된 바와 같이 에어 블로어(Air Blower,380)을 통해 찬 공기를 테이프(T)의 접착부위에 직접 분사하도록 구성한다. 냉각온도는 히터(372)의 가열온도에 따라 상대적으로 정해지지만 상기와 같은 온도로 히터(372)를 가열하는 경우에는 에어 블로어로부터 분사되는 찬 공기의 온도는 -50 ~ 10℃의 범위로 하는 것이 바람직하다. The cooling unit is to fasten the adhesive film T1 of the molten tape T so as to be firmly attached to the
테이프(T)가 기판(301)에 부착된 부위를 냉각시키기 위한 냉각부의 구성은 상기와 같이 에어 블로어(380)를 통해 찬 공기를 직접 분사하는 직접냉각방식 외에도 기판(301)이 놓이는 기판고정부(322)의 수납부(303)를 냉각시킴으로써 테이프(T)의 가열부위를 냉각시키는 간접냉각방식이 적용될 수 있다. 이때 수납부(303)의 내부에는 냉각관을 설치하여 찬공기나 냉각수를 흘려 수납부(303)의 상면을 냉각시킴으로서 기판(301)을 전체적으로 냉각시킬 수 있다. 이 경우 기판(301)이 놓이는 기판고정부(322)의 바닥, 즉 수납부(303) 상면은 -10 ~ 20℃가 되도록 냉각시키는 것이 바람직하다.The structure of the cooling unit for cooling the portion where the tape T is attached to the
또한, 부착유닛(370)에는 도 4 및 도 9에 도시된 바와 같이 지지필름 분리부(390)를 더 설치할 수 있다. 지지필름 분리부(390)는 테이프 지지필름(T2)의 하면과 접촉하도록 설치되는 분리단(392)과 이 분리단(392)을 테이프 좌우로 이송시키는 이송단(394)으로 구성된다. 이송단(394)은 통상 공압실린더로 이루어진다. 냉각부에 의해 테이프(T)의 냉각이 이루어지면 제어기(500)는 지지필름 분리부(390)의 이송단(394)을 일측으로 이동시켜 분리단(392)이 테이프 접착부위로 부터 지지필름(T2)을 분리하도록 한다.In addition, the
테이프 회수기(400)는 기판(301)의 칩고정부위에 접착필름(T1)이 부착되고 분리된 지지필름(T2)만을 회수하여 회수릴(401)에 감는 것으로서 그 구조는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 테이프 공급기(100)와 동일하다. 즉, 회수릴(401)을 회전시키는 제2릴회전유닛(410)과 지지필름(T2)에 장력을 가하며 지지필름(T2)의 공급상태에 따라 제2릴회전유닛(410)을 제어하는 제2테이프 감지유닛(420), 및 지지필름(T2)의 경로를 형성하는 수개의 롤러(431,432)를 포함한다. 제2릴회전유닛(410)은 회수릴(401)이 고정되는 회전축(412)과 이 회전축(412)을 회전시키는 모터(414)로 구성된다. 제2테이프 감지유닛(420)은 자중에 의해 지지필름(T2)에 장력을 가하며, 인덱스 피더(350)에 의해 지지필름(T2)이 많이 이송되면 아래로 하강하고, 제2릴회전유닛(410)에 의해 회수릴(401)이 감기면 위로 상승하는 승강부(422) 및 승강부(422)가 규정된 양만큼 하강하거나 상승하면 이를 감지하여 제어기(500)로 신호를 보내는 센서부(423,424)를 포함한다. 제어기(500)는 승강부(422)가 하강하여 센서(424)를 작동시키면 제2릴회전유닛(410)의 모터(414)를 구동시켜 회수릴(401)이 지지필름(T2)을 감도록 한다. 지지필름(T2)이 감겨 승강부(422)가 상승하여 센서(423)를 동작시키면 제어기(500)는 제2릴회전유닛(410)의 모터(414)를 정지시킨다. 이와 같이 테이프 부착기(300)로부터 배출되는 지지필름(T2)을 회수할 수 있는 테이프 회수기(400)는 상술한 장치이외에 지금까지 공지된 여러가지 방법이 사용될 수 있음은 당연하다.The
제어기(500)는 테이프 공급기(100), 테이프 성형기(200), 테이프 부착기(300), 테이프 회수기(400)를 제어하여 테이프릴(101)에 감긴 테이프(T)를 일정한 형상으로 성형하고 기판(301)의 칩고정부위에 부착시키는 것으로서, 각종 센서들로부터 신호를 받고 연산을 수행하는 제어부와, 각종 스위치가 설치된 판넬부(502), 및 각종 데이터를 출력하는 표시부(504)를 포함한다.The
이하, 상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치의 작동에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 여기서, 도 12는 칩본딩용 테이핑장치의 동작흐름을 나타내는 순서도이다.Hereinafter, the operation of the taping device for chip bonding according to the present invention having the configuration as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 12 is a flowchart illustrating an operation flow of the chip bonding taping apparatus.
먼저, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 테이프 공급기(100)의 제1릴회전유닛(110)의 회전축(112)에 테이프릴(101)을 장착한 후 테이프(T)를 풀어 테이프(T)의 선단이 테이프 성형기(200)와, 테이프 부착기(300)를 통과하도록 하여 테이프 회수기(400)의 회수릴(401)에 고정한다(S10). 이어서, 기판고정부(322)에 기판(301)을 로딩한다(S20). 이 상태에서 칩본딩용 테이핑장치를 온(ON)시키면 제어기(500)는 먼저 테이핑 성형장치(200)를 작동시켜 테이프(T)를 일정한 형상으로 성형한다(S30). 본 실시예의 경우에는 테이프폭 절단유닛(250)에 의해 테이프(T)가 일정한 폭으로 성형되고, 펀치(210)와 절단날(220)에 의해 테이프(T)에 사각의 구멍이 형성되고 접착필름(T1)이 일정한 간격으로 절단된다. 테이프폭 절단유닛(250)에서는 제어기(500)에 의해 공압실린더(252)가 상승함으로써 테이프(T)가 일정한 폭으로 가공된다. 또, 테이프폭 절단유닛(250)을 지나 펀치(210)와 다이(230) 사이로 진입된 테이프(T)는 공압실린더(216)에 의한 펀치(210)의 상승운동으로 테이프(T)에 사각구멍이 형성되고, 펀치(210)와 일체로 설치된 절단날(220)에 의해 접착필름(T1)이 일정 간격으로 절단된다. 이때, 스토퍼(214)에 의해 펀치(210)의 상승 높이가 제한되기 때문에 절단날(220)은 테이프(T)의 접착필름(T1)만을 절단하고 지지필름(T2)은 절단하지 않게 된다. First, as shown in FIGS. 2 and 3, the
다음으로, 제어기(500)는 제1비젼카메라(424)와 엑스-와이 테이블(326)을 이용하여 기판(301)의 칩고정부위(G)의 센터가 기준점(도 10a의 P), 즉 히터(372)의 직하방에 오도록 조정한다(S40). 이때, 제어기(500)는 간격보상수단(310)을 동작시켜 제1비젼카메라(324)가 도 10b와 같이 C-C선상에 있도록 한 상태에서 기판(301)의 위치를 조정한다. 이 과정을 상세히 설명하면 다음과 같다. 제어기(500)는 제1비젼카메라(324)로 기판(301)의 칩고정부위(G)의 센터의 벗어난 양을 측정한 후 엑스-와이 테이블(326)을 동작시켜 그 편심량이 0이 되도록 하여 기판(301)의 칩고정부위(G) 센터와 제1비젼카메라(324)의 센터가 일치되도록 한다. 이어서, 제어기(500)는 기억하고 있는 오프셋량만큼 엑스-와이 테이블(326)을 더 이송시킨다. 그러면, 기판(301)의 칩고정부위(G)는 기준점(P)에 위치하게 된다.Next, the
테이프 성형장치(200)에 의해 구멍(H)이 가공된 테이프(T)는 테이프(T)의 구멍(H)이 도 10b의 위치에 있는 제2비젼카메라(342)의 센터와 일치하도록 인덱스 피더(350)에 의해 이송된다(S50). 제어기(500)는 제2비젼카메라(342)의 영상데이터를 이용하여 제2비젼카메라(342)의 센터와 테이프(T) 구멍(H)의 편심량을 측정한 후 이에 상당하는 신호를 인덱스 피더(350)의 이송부(359)로 전송한다. 그러면, 스테핑 리니어 모터로 된 이송핸드(356)의 이동부(359)는 제어기(500)의 신호에 의해 제2비젼카메라(342)에 의해 측정된 편심량만큼 정확하게 이동하여 테이프(T)의 구 멍(H)을 제2비젼카메라(342)의 센터에 일치시킨다. 이로써 테이프(T)의 구멍(H)이 테이프(T)의 아래에 위치한 기판(301)의 칩고정부위(G)와 정확하게 일치하게 된다. 그러면, 인덱스 피더(250)의 고정핸드(252)가 동작하여 테이프(T)가 좌우로 이동하지 못하도록 테이프(T)를 고정한다.The tape T in which the hole H is processed by the
이어서, 제어기(500)는 간격보상수단(310)의 공압실린더(314)를 동작시켜 도 10a와 같이 부착유닛(370)의 히터(372)가 테이프(T)의 구멍(H) 위에 위치하도록 한다. 이 사이에 제어기(500)는 부착유닛(370)의 히터(372)를 동작시켜 히터(372)가 일정한 온도가 되도록 한다. 히터(372)가 일정한 온도로 상승되면, 가압부(375)를 동작시켜 히터(372)가 테이프(T)의 구멍(H) 주위를 기판(301)의 칩고정부위(G)에 대해 누르도록 한다(S60). 그러면, 히터(372)의 열에 의해 테이프(T)의 접착필름(T1)이 용융되고, 가압부(375)의 압력에 의해 접착필름(T1)이 기판(301)의 칩고정부위(G)에 부착된 상태가 된다. 일정한 시간이 경과되면 제어기(500)는 히터(372)를 오프(OFF)시키고 냉각부를 동작시켜 에어 블로어(380)로부터 찬 공기가 분사되도록 하여 테이프(T)의 접착부위를 냉각시킨다(S70). 이에 의해, 테이프(T)의 접착필름(T1)이 기판(301)에 단단하게 부착한 상태가 된다. 그러면, 제어기(500)는 가압부(375)의 로드(376)를 상승시켜 히터(372)가 테이프(T)로부터 분리되도록 한다. 이 상태에서 제어기(500)는 지지필름 분리기(390)를 테이프(T)의 접착부위로 이동시킨다(S80). 그러면, 지지필름 분리기(390)의 분리단(392)에 의해 테이프(T)의 지지필름(T2)이 기판(301)에 부착된 접착필름(T1)으로부터 분리된다. 이로서 테이프(T)의 성형부분 즉, 구멍(H)이 형성된 접착필름(T1)을 기판(301)의 칩고정부위(G)에 부착시키는 작업은 완료된다. Subsequently, the
이어서, 기판(301)의 다른 칩고정부위에 테이프(T)를 부착시키기 위해 제어기(500)는 상기의 과정을 다시 수행한다. 즉, 간격보상수단(310)을 동작시켜 제1비젼카메라(324)가 도 10b과 같은 위치에 있도록 한 후, 엑스-와이 테이블(326)을 동작시켜 기판(301)의 다른 칩고정부위가 제1비젼카메라(324)의 아래에 위치하도록 한다. 이어서, 상술한 방법으로 다른 칩고정부위의 위치를 조정한 후 오프셋량만큼 엑스-와이 테이블(326)을 이동시켜 다른 칩고정부위가 기준점(P)에 위치하도록 한다. 다음으로 인덱스 피더(350)가 동작하여 테이프(T)의 다음 구멍이 제2비젼센서(342)의 아래에 위치하도록 한다. 이를 상세하게 설명하면 다음과 같다. 테이프(T)의 성형부분을 기판(301)에 부착시키는 동안에는 인덱스 피더(350)의 고정핸드(352)가 테이프(T)를 고정시키고 있다. 이때, 이동핸드(356)가 테이프(T)의 이송방향과 반대방향으로 테이프(T)에 형성된 구멍의 간격만큼 이동하여 테이프(T)를 잡는다. 이어서, 고정핸드(352)가 테이프(T)를 놓고, 이동핸드(356)가 테이프 이송방향으로 테이프(T) 구멍 간격만큼 이동한다. 그러면, 테이프(T)가 잡아 당겨지면서 테이프(T)의 다음 구멍이 제2비젼카메라(342)의 아래에 위치하게 된다. 이 상태에서 제2비젼카메라(342)가 구멍의 위치를 확인한 후 이동핸드(356)를 제어하여 테이프(T)의 구멍이 제2비젼카메라(342)의 센터와 일치되도록 한다. 구멍이 제2비젼카메라(342)의 센터와 일치되면, 인덱스 피더(350)의 고정핸드(352)가 테이프(T)를 고정시킨다. 이 상태에서 제어기(500)는 상술한 바와 같은 과정을 통해 테이프(T)의 성형부분을 기판(301)의 칩고정부위에 부착시킨다.Subsequently, the
상기와 같은 동작을 반복하는 동안에 테이프(T)로부터 분리된 지지필름(T2)은 테이프 회수기(400)의 회수릴(401)에 감겨 회수된다(S90).While repeating the above operation, the support film T2 separated from the tape T is wound around the
본 발명의 목적을 달성하기 위한 또 다른 측면으로서, 기판의 칩고정부위에 지지필름과 접착필름으로 이루어진 테이프로부터 접착필름만을 부착하는 칩본딩용 테이핑방법을 설명하면 다음과 같다.As another aspect for achieving the object of the present invention, a tape bonding method for attaching only the adhesive film from the tape consisting of the support film and the adhesive film on the chip fixing of the substrate as follows.
도 13을 참조하면, 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑방법은, 먼저 테이프를 일정한 형상으로 성형한다. 즉, 테이프에 구멍을 형성하거나, 테이프의 폭을 소정의 폭으로 가공하거나, 테이프의 접착필름만을 일정한 간격으로 절단하는 것과 같이 테이프를 일정한 모양으로 성형한다(S100).Referring to FIG. 13, in the taping method for chip bonding according to the present invention, first, a tape is formed into a predetermined shape. That is, the tape is formed into a predetermined shape, such as forming holes in the tape, processing the width of the tape to a predetermined width, or cutting only the adhesive film of the tape at regular intervals (S100).
이어서, 테이프의 성형부분을 기판의 칩고정부위에 일치시킨다(S200). 이를 위해서는 여러가지의 기구장치가 사용될 수 있다. 그 일예가 상기에서 설명한 바와 같이 비젼카메라와 엑스-와이 테이블 등을 사용하여 테이프의 성형부분과 기판의 칩고정부위를 일치시키는 것이다.Subsequently, the molded portion of the tape coincides with the chip fixing portion of the substrate (S200). Various mechanisms can be used for this purpose. One example is to match the molded part of the tape with the chip fixing position of the substrate using a vision camera and an X-Y table as described above.
다음으로, 테이프의 성형부분을 기판의 칩고정부위에 부착시킨다(S300). 테이프의 접착필름을 기판에 부착시키기 위해서는 일반적으로 열과 압력을 동시에 가한다. 일정하게 가열된 히터를 일정한 압력으로 테이프에 대해 누름으로써 테이프가 기판에 부착되도록 한다. 이때, 히터는 70 ~ 120℃로 가열시키는 것이 바람직하다. 이어서, 용융된 접착필름이 빨리 굳어 기판에 단단하게 부착되도록 접착부위를 일정 온도 이하로 냉각시키는 것이 바람직하다. 에어 블로어에 의해 냉각시는 분사되는 공기의 온도를 -50 ~ 10℃ 정도로 하고, 기판이 놓이는 바닥을 냉각시키는 경 우에는 바닥의 온도가 -10 ~ 20℃ 정도가 되도록 하는 것이 바람직하다. Next, the molded part of the tape is attached to the chip fixing portion of the substrate (S300). In order to adhere the adhesive film of the tape to the substrate, heat and pressure are generally applied simultaneously. The uniformly heated heater is pressed against the tape at a constant pressure to allow the tape to adhere to the substrate. At this time, the heater is preferably heated to 70 ~ 120 ℃. Subsequently, it is preferable to cool the adhesive site below a predetermined temperature so that the molten adhesive film hardens quickly and adheres firmly to the substrate. When cooling by an air blower, the temperature of the sprayed air is about -50 to 10 ° C, and when the floor on which the substrate is placed is cooled, it is preferable that the temperature of the floor is about -10 to 20 ° C.
테이프의 접착필름이 기판의 칩고정부위에 단단하게 부착되면, 테이프의 지지필름을 접착필름으로부터 분리시킨다(S400). 분리된 지지필름은 회수릴에 자동으로 감기도록 하는 것이 바람직하다.When the adhesive film of the tape is firmly attached to the chip fixing of the substrate, the support film of the tape is separated from the adhesive film (S400). It is preferable that the separated support film is automatically wound on a recovery reel.
상기에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치 및 칩본딩용 테이핑방법에 의하면, 테이프를 칩이 부착될 칩고정부위의 형상에 대응되는 소정의 형태로 성형한 후 기판에 부착하기 때문에 작업시간을 단축시킬 수 있고, 기판의 손상을 방지할 수 있게 된다.As described above, according to the taping device for chip bonding and the taping method for chip bonding according to the present invention, since the tape is formed into a predetermined shape corresponding to the shape of the chip fixing part to which the chip is attached, the tape is attached to the substrate. The time can be shortened and damage to the substrate can be prevented.
이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려, 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다양한 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.While the invention has been shown and described with reference to preferred embodiments for illustrating the principles of the invention, the invention is not limited to the construction and operation as such is shown and described. Rather, those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made to the present invention without departing from the spirit and scope of the appended claims. Accordingly, all such suitable changes and modifications and equivalents should be considered to be within the scope of the present invention.
Claims (21)
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