KR100572157B1 - Taping device for chip bonding and taping method for chip bonding - Google Patents

Taping device for chip bonding and taping method for chip bonding Download PDF

Info

Publication number
KR100572157B1
KR100572157B1 KR1020030072972A KR20030072972A KR100572157B1 KR 100572157 B1 KR100572157 B1 KR 100572157B1 KR 1020030072972 A KR1020030072972 A KR 1020030072972A KR 20030072972 A KR20030072972 A KR 20030072972A KR 100572157 B1 KR100572157 B1 KR 100572157B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tape
substrate
chip
adhesive film
fixing part
Prior art date
Application number
KR1020030072972A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20050037719A (en
Inventor
김종현
Original Assignee
주식회사 쎄크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 쎄크 filed Critical 주식회사 쎄크
Priority to KR1020030072972A priority Critical patent/KR100572157B1/en
Publication of KR20050037719A publication Critical patent/KR20050037719A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100572157B1 publication Critical patent/KR100572157B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H37/00Article or web delivery apparatus incorporating devices for performing specified auxiliary operations
    • B65H37/002Web delivery apparatus, the web serving as support for articles, material or another web
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • H05K13/0413Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws with orientation of the component while holding it; Drive mechanisms for gripping tools, e.g. lifting, lowering or turning of gripping tools
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08Monitoring manufacture of assemblages

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Die Bonding (AREA)

Abstract

본 발명은 접착필름과 지지필름으로 이루어진 테이프를 사용하여 칩을 기판에 고정하는 칩본딩용 테이핑장치 및 그 방법에 관한 것이다. 칩본딩용 테이핑장치는, 테이프를 일정한 형상으로 성형하는 테이프 성형기와, 테이프 성형기의 일측에 설치되며 테이프 성형기에서 일정한 형상으로 성형된 테이프를 기판의 칩고정부위에 부착하는 테이프 부착기, 및 테이프 성형기 및 테이프 부착기를 제어하여 테이프의 접착필름을 기판의 칩고정부위에 부착하는 제어기를 포함한다.The present invention relates to a chip bonding taping apparatus and a method for fixing a chip to a substrate using a tape made of an adhesive film and a support film. The tape bonding device for chip bonding includes a tape molding machine for molding a tape into a predetermined shape, a tape attaching machine installed on one side of the tape molding machine, and a tape attaching machine for attaching a tape formed on the tape fixing machine to a chip fixing part of a substrate. And a controller for controlling the tape attacher to attach the adhesive film of the tape onto the chip fixing part of the substrate.

접착필름, 이방전도성필름, 펀칭, 비젼카메라, 히터, 가압Adhesive Film, Anisotropic Conductive Film, Punching, Vision Camera, Heater, Pressurization

Description

칩본딩용 테이핑장치 및 칩본딩용 테이핑방법{TAPING APPARATUS FOR BONDING A CHIP AND TAPING METHOD FOR THE SAME}Taping device for chip bonding and taping method for chip bonding {TAPING APPARATUS FOR BONDING A CHIP AND TAPING METHOD FOR THE SAME}

도 1은 기판 구멍에 삽입되는 칩을 테이프를 이용하여 부착하는 상태를 나타내 보인 분리사시도,1 is an exploded perspective view illustrating a state in which a chip is inserted into a hole in a substrate by using a tape;

도 2는 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치의 정면도,2 is a front view of a taping device for chip bonding according to the present invention;

도 3은 도 1의 A-A에서 본 단면도,3 is a cross-sectional view seen from A-A of FIG.

도 4는 도 1의 B-B에서 본 부분 측단면도,4 is a partial side cross-sectional view seen from B-B of FIG.

도 5는 도 1의 좌측면도,5 is a left side view of FIG. 1;

도 6은 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치의 테이프 성형기의 사시도,6 is a perspective view of a tape molding machine of a taping device for chip bonding according to the present invention;

도 7은 도 6의 테이프 성형기에서 테이프의 구멍가공과 접착필름의 절단이 동시에 행해지는 것을 설명하기 위한 도면,7 is a view for explaining that the hole processing of the tape and the cutting of the adhesive film is performed at the same time in the tape molding machine of FIG.

도 8은 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치의 테이프 성형기의 테이프폭 절단유닛을 나타낸 측면도,8 is a side view showing a tape width cutting unit of the tape molding machine of the taping device for chip bonding according to the present invention;

도 9는 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치의 테이프 부착기를 나타낸 사시도, 9 is a perspective view showing a tape attaching device of a taping device for chip bonding according to the present invention;

도 10은 도 9의 테이프 부착기가 테이프를 기판의 칩고정부위에 부착시키는 과정을 설명하기 위한 도면,FIG. 10 is a view for explaining a process of attaching a tape to a chip fixing part of a substrate by the tape attacher of FIG. 9;

도 11은 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치의 인덱스 피더를 나타낸 사시도,11 is a perspective view showing an index feeder of the taping device for chip bonding according to the present invention;

도 12는 도 2의 칩본딩용 테이핑장치의 작동순서를 나타낸 순서도,12 is a flow chart showing an operation procedure of the taping device for chip bonding of FIG.

도 13은 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑방법을 나타낸 순서도이다.13 is a flowchart showing a chip bonding taping method according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100; 테이프 공급기 101; 테이프릴100; Tape feeder 101; Tape reel

110; 제1릴회전유닛 120; 제1테이프 감지유닛110; First reel rotating unit 120; First Tape Sensing Unit

200; 테이프 성형기 210; 펀치200; Tape forming machine 210; punch

220; 절단날 230; 다이220; Cutting blade 230; die

250; 테이프폭 절단유닛 300; 테이프 부착기250; Tape width cutting unit 300; Tape attacher

301; 기판 310; 간격보상수단301; Substrate 310; Gap compensation means

320; 기판위치 조정유닛 322; 기판고정부320; A substrate position adjusting unit 322; Board fixing

324; 제1비젼카메라 326; 엑스-와이 테이블324; First vision camera 326; X-Wye Table

340; 테이프위치 조정유닛 342; 제2비젼카메라340; Tape position adjusting unit 342; 2nd Vision Camera

350; 인덱스 피더 352; 고정핸드350; Index feeder 352; Fixed hand

356; 이동핸드 370; 부착유닛356; Hand 370; Attachment Unit

372; 히터 375; 가압부372; Heater 375; Pressurization

380; 냉각노즐 390; 지지필름 분리기380; Cooling nozzle 390; Support Film Separator

400; 테이프 회수기 401; 회수릴400; Tape reclaimer 401; Recovery reel

410; 제2릴회전유닛 420; 제2테이프 감지유닛410; A second reel rotating unit 420; Second Tape Detection Unit

T; 테이프 T1; 접착필름T; Tape T1; Adhesive film

T2; 지지필름 P; 기준점T2; Support film P; Benchmark

본 발명은 테이프를 이용하여 칩을 기판에 부착하는 칩본딩장치 및 방법에 있어서, 칩을 기판에 부착시키기 전에 테이프를 기판에 부착시키는 칩본딩용 테이핑장치 및 칩본딩용 테이핑방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chip bonding apparatus and method for attaching a chip to a substrate using tape, the present invention relates to a chip bonding taping apparatus and a chip bonding taping method for attaching a tape to a substrate before the chip is attached to the substrate.

테이프를 이용하여 칩을 기판등에 부착하는 방식의 일예는 LCD 팬널(Liquid Crystal Display Panel) 과 TCP(Tape Carrier Package) 또는 PCB(Printed Circuit Board)와 TCP등을 전기적으로 접속시키는데 이방전도성필름(ACF-Anisotropic Conductive Film)을 이용하는 것이다. 또는 Bare Chip을 접속 LCD 팬널에 실장하는 COG(Chip On Glass)실장 등의 접속재료로 테이프를 사용하는 것이다. 이외에도 테이프를 이용한 칩본딩방법은 Bare Chip을 FPC(Flexible Printed Circuit)와 PCB에 접속실장하는 COF(Chip On Film), COB(Chip On Board)실장에도 응용되고 있다. 이하의 설명에서는 LCD 팬널, PCB, FPC 등 칩이 부착되는 모든 것을 통칭하여 기판이라고 부르기로 한다.An example of a method of attaching a chip to a substrate using a tape is an anisotropic conductive film (ACF-) to electrically connect an LCD panel (Liquid Crystal Display Panel), TCP (Tape Carrier Package) or PCB (Printed Circuit Board) and TCP. Anisotropic Conductive Film) is used. Alternatively, the tape is used as a connection material such as COG (Chip On Glass) mounting in which a bare chip is mounted on a connected LCD panel. In addition, the chip bonding method using a tape is applied to mounting a chip on film (COF) and a chip on board (COB) in which a bare chip is connected to a flexible printed circuit (FPC) and a PCB. In the following description, everything attached to a chip such as an LCD panel, a PCB, and an FPC will be collectively called a substrate.

이러한 테이프를 이용한 칩본딩방법에 사용되는 이방전도성필름(ACF)은 금속코팅된 플라스틱 또는 금속입자등의 전도성 입자를 분산시킨 필름상의 접착제로서, 분산되어 있는 전도성 입자에 의해 전극사이에 도전성이 얻어지고 인접하는 전극사 이에는 접착제가 충진되어 도전입자가 서로 독립하여 존재하기 때문에 높은 절연성이 얻어진다. 그리고 전도성 입자와 전극간의 기계적 접융은 접착제의 높은 접착력에 의하여 유지된다. 또한, 이러한 이방전도성필름은 보관과 사용의 편리를 위해 접착성이 없는 지지필름을 이방전도성필름의 일면에 부착한 상태로 공급된다. 즉, 칩본딩용으로 사용되는 테이프는 상기와 같은 이방전도성필름과 같이 칩을 기판등에 부착하는 접착성과 전도성을 갖는 접착필름과 접착필름을 분리,지지하는 지지필름으로 이루어진다.Anisotropic conductive film (ACF) used in the chip bonding method using such a tape is a film-like adhesive in which conductive particles such as metal-coated plastic or metal particles are dispersed, and conductivity is obtained between the electrodes by dispersed conductive particles. Adhesive is filled between adjacent electrodes, so that the conductive particles are independent of each other, thereby obtaining high insulation. And mechanical welding between the conductive particles and the electrode is maintained by the high adhesion of the adhesive. In addition, such an anisotropic conductive film is supplied with a non-adhesive support film attached to one surface of the anisotropic conductive film for convenience of storage and use. That is, the tape used for chip bonding consists of an adhesive film having adhesiveness and conductivity for attaching a chip to a substrate and the like and an supporting film for separating and supporting the adhesive film, as in the anisotropic conductive film as described above.

그런데, 기판 등에 구멍이 형성되어 있고, 이 구멍에 칩을 삽입한 후 테이프를 이용하여 칩을 기판에 부착하는 경우에는 테이프에 기판 등에 형성된 구멍에 대응되는 구멍을 가공할 필요가 있다. 이의 일예가 도 1에 도시되어 있다. 도 1에 도시된 바와 같이 구멍이 있는 FPC에 테이프를 이용하여 칩을 부착하는 경우는 먼저 테이프를 FPC에 부착한 후 FPC의 구멍에 상응하는 테이프 부위를 제거하는 것이 일반적이다. 그러나 이와 같은 작업방법은 작업이 불편하여 시간이 많이 소요된다는 문제점이 있다. 또한, 테이프를 제거하는 과정에 FPC의 회로선을 손상시킬 수도 있다는 문제점이 있다.By the way, when a hole is formed in a board | substrate etc., and a chip is inserted in this hole, and a chip is attached to a board | substrate using a tape, it is necessary to process the hole corresponding to the hole formed in the board | substrate etc. in a tape. One example of this is shown in FIG. 1. When the chip is attached to the FPC with holes as shown in FIG. 1 by using a tape, it is common to first attach the tape to the FPC and then remove the tape portion corresponding to the hole of the FPC. However, this work method has a problem that the work is inconvenient and takes a lot of time. In addition, there is a problem that may damage the circuit of the FPC in the process of removing the tape.

따라서, 테이프를 이용하여 구멍 등이 형성된 FPC와 같은 기판 등에 칩을 부착하는 공정에서 작업시간을 단축할 수 있고 기판을 손상시키지 않는 칩본딩용 테이핑장치 및 칩본딩용 테이핑방법에 대한 발명이 요구되어 왔다.Therefore, there is a need for an invention regarding a chip bonding taping apparatus and a chip bonding taping method that can shorten the working time and do not damage the substrate in a process of attaching a chip to a substrate such as an FPC formed with holes or the like using a tape. come.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 테이프를 기판 에 부착하기 전에 필요한 구멍 등의 가공을 한 후 기판에 부착하도록 함으로써 작업시간을 단축할 수 있고, 기판을 손상시키지 않는 칩본딩용 테이핑장치 및 칩본딩용 테이핑방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above-described problems, and can be shortened working time by attaching to the substrate after processing the necessary holes, etc. before attaching the tape to the substrate, for chip bonding that does not damage the substrate An object thereof is to provide a taping apparatus and a taping method for chip bonding.

상기와 같은 본 발명의 목적은, 기판의 칩고정부위에 지지필름과 접착필름으로 이루어진 테이프로부터 접착필름만을 부착하는 칩본딩용 테이핑장치에 있어서, 상기 테이프를 일정한 형상으로 성형하는 테이프 성형기; 상기 테이프 성형기의 일측에 설치되며, 상기 테이프 성형기에서 일정한 형상으로 성형된 상기 테이프를 상기 기판의 칩고정부위에 부착하는 테이프 부착기; 및 상기 테이프 성형기 및 상기 테이프 부착기를 제어하여 상기 테이프의 접착필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착하는 제어기;를 포함하는 칩본딩용 테이핑장치를 제공함으로써 달성된다.An object of the present invention as described above, in the chip bonding tape for attaching only the adhesive film from the tape consisting of the support film and the adhesive film on the chip fixing of the substrate, a tape molding machine for molding the tape to a certain shape; A tape attacher installed at one side of the tape molding machine and attaching the tape formed in a predetermined shape on the tape molding machine onto a chip fixing part of the substrate; And a controller for controlling the tape molding machine and the tape attaching device to attach the adhesive film of the tape onto the chip fixing part of the substrate.

여기서, 상기 테이프 성형기는, 상기 테이프에 일정한 형상의 구멍을 뚫는 펀치; 및 상기 테이프에서 접착필름만을 일정한 간격으로 절단하는 절단날을 포함하는 것이 바람직하다. 특히, 상기 절단날은 상기 펀치로 상기 테이프에 구멍을 가공할 때 상기 접착필름을 동시에 절단하도록 상기 펀치와 일체로 하는 것이 바람직하다. 이때, 절단날의 끝이 상기 펀치의 날끝과 일정한 높이차를 갖도록 절단날을 설치함으로써 상기 테이프로부터 상기 접착필름만이 절단되도록 하는 것이 바람직하다.Here, the tape molding machine, a punch for punching a predetermined shape hole in the tape; And it is preferable to include a cutting blade for cutting only the adhesive film at regular intervals in the tape. In particular, the cutting blade is preferably integrated with the punch so as to cut the adhesive film at the same time when processing the hole in the tape with the punch. At this time, it is preferable that only the adhesive film is cut from the tape by installing the cutting blade so that the cutting edge has a constant height difference from the cutting edge of the punch.

또한, 상기 테이프 성형기는 상기 테이프의 폭을 일정한 치수로 절단하는 테이프폭 절단유닛을 더 포함할 수 있다.In addition, the tape molding machine may further include a tape width cutting unit for cutting the width of the tape to a predetermined dimension.

또한, 상기 테이프 부착기는, 상기 기판의 칩고정부위의 위치를 조정하는 기판위치 조정유닛; 상기 기판의 칩고정부위에 대한 상기 테이프의 성형된 부분의 위치를 조정하는 테이프위치 조정유닛; 및 상기 테이프의 성형된 부분의 접착필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착시키는 부착유닛;을 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the tape attaching unit, the substrate position adjusting unit for adjusting the position on the chip fixing of the substrate; A tape position adjusting unit for adjusting the position of the molded portion of the tape with respect to the chip fixing portion of the substrate; And an attachment unit attaching the adhesive film of the molded part of the tape to the chip fixing part of the substrate.

여기서, 상기 기판위치 조정유닛은, 상기 기판이 고정되는 기판고정부; 상기 기판고정부의 상측에 설치되며, 상기 기판의 칩고정부위의 위치를 검출하는 제1비젼카메라; 및 상기 기판고정부의 하측에 설치되며, 상기 제1비젼카메라의 위치정보에 따라 상기 기판의 칩고정부위를 상기 부착유닛의 하측에 위치시키는 엑스-와이 테이블(X-Y Table);을 포함하는 것이 바람직하다.Here, the substrate position adjusting unit, the substrate fixing portion to which the substrate is fixed; A first vision camera installed at an upper side of the substrate fixing part and detecting a position of a chip fixing part of the substrate; And an X-Y table disposed below the substrate fixing part and positioning the chip fixing part of the substrate under the attachment unit according to the position information of the first vision camera. Do.

또한, 상기 테이프위치 조정유닛은, 상기 테이프의 성형된 부분의 위치를 검출하는 제2비젼카메라; 및 상기 기판위치 조정유닛의 일측에 설치되며, 상기 제2비젼카메라의 위치정보에 따라 상기 테이프의 성형된 부분을 상기 부착유닛의 하측에 위치시키는 인덱스 피더;를 포함하는 것이 바람직하다. 이때, 인덱스 피더는 상기 테이프를 고정하는 고정핸드; 및 상기 테이프를 고정하며, 상기 제2비젼카메라의 위치정보에 따라 상기 테이프를 일방향으로 이동시키는 이동핸드;를 포함한다.In addition, the tape position adjustment unit, the second vision camera for detecting the position of the molded portion of the tape; And an index feeder installed at one side of the substrate position adjusting unit and positioning the molded part of the tape under the attachment unit according to the position information of the second vision camera. At this time, the index feeder is a fixed hand for fixing the tape; And a moving hand which fixes the tape and moves the tape in one direction according to the position information of the second vision camera.

또한, 상기 부착유닛은, 상기 테이프의 성형부분을 가열하는 히터; 상기 테이프의 성형부분을 상기 기판의 칩본딩부위에 대해 누르는 가압부; 및 상기 기판의 칩본딩부위에 부착된 상기 테이프의 성형부분을 냉각시키는 냉각부;를 포함하는 것이 바람직하다. 여기서, 상기 냉각부는 상기 가압부의 일측에 설치되는 에어 블로어(Air Blower)이며, -50 ~10℃의 찬 공기를 상기 테이프의 성형부분에 분사하거 나, 상기 기판의 하측에 설치된 냉각관을 통해 찬 공기를 순환시킴으로써 상기 기판이 안치된 부분을 -10 ~ 20로 냉각시키도록 구성할 수 있다.In addition, the attachment unit, a heater for heating the molded portion of the tape; A pressing portion for pressing the molded portion of the tape against the chip bonding portion of the substrate; And a cooling unit cooling the molded portion of the tape attached to the chip bonding portion of the substrate. Here, the cooling unit is an air blower (Air Blower) is installed on one side of the pressurizing portion, and sprays cold air of -50 ~ 10 ℃ to the molded portion of the tape, or cold through a cooling tube installed on the lower side of the substrate By circulating the air can be configured to cool the portion where the substrate is placed to -10 ~ 20.

그리고, 70 ~ 120℃로 가열된 히터로 테이프 성형부분을 가열하여 부착하는 것이 바람직하다.And it is preferable to heat and attach a tape shaping | molding part with the heater heated at 70-120 degreeC.

또한, 상기 부착유닛은 상기 테이프의 성형부분의 지지필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착된 접착필름으로부터 분리하는 지지필름 분리구를 더 포함할 수 있다.In addition, the attachment unit may further include a support film separator for separating the support film of the molded portion of the tape from the adhesive film attached to the chip fixing portion of the substrate.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예로서, 기판의 칩고정부위에 지지필름과 접착필름으로 이루어진 테이프로부터 접착필름만을 부착하는 칩본딩용 테이핑장치에 있어서, 상기 테이프를 공급하는 테이프 공급기; 상기 테이프를 일정한 형상으로 성형하는 테이프 성형기; 상기 테이프 성형기에서 일정한 형상으로 성형된 상기 테이프를 상기 기판의 칩고정부위에 부착한 후, 상기 지지필름만을 분리하는 테이프 부착기; 상기 지지필름을 되감는 테이프 회수기; 및 상기 테이프 공급기, 테이프 성형기, 테이프 부착기, 및 테이프 회수기를 제어하여 상기 테이프의 접착필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착하고 상기 지지필름을 회수하는 제어기;를 포함하는 칩본딩용 테이핑장치를 제공할 수 있다.In another embodiment of the present invention for achieving the above object, in the tape bonding device for attaching only the adhesive film from the tape consisting of the support film and the adhesive film on the chip fixing of the substrate, the tape for supplying the tape feeder; A tape molding machine for molding the tape into a predetermined shape; A tape attacher for attaching the tape formed in a predetermined shape in the tape molding machine onto a chip fixing part of the substrate and separating only the support film; A tape recovery machine rewinding the support film; And a controller for controlling the tape feeder, the tape molding machine, the tape attaching machine, and the tape recovering machine to attach the adhesive film of the tape onto the chip fixing part of the substrate and to recover the supporting film. can do.

여기서, 상기 테이프 성형기는, 상기 테이프에서 접착필름만을 일정한 간격으로 절단하는 절단날과 상기 테이프에 일정한 구멍을 뚫는 펀치가 일체로 된 것이 바람직하다.Here, the tape forming machine, it is preferable that the cutting blade for cutting only the adhesive film in the tape at regular intervals and a punch for punching a predetermined hole in the tape is integrated.

또한, 상기 테이프 부착기는, 상기 기판이 고정되는 기판고정부와, 상기 기 판고정부의 상측에 설치되며, 상기 기판의 칩고정부위의 위치를 검출하는 제1비젼카메라, 및 상기 기판고정부의 하측에 설치되며, 상기 제1비젼카메라의 위치정보에 따라 상기 기판의 칩고정부위를 상기 부착유닛의 하측에 위치시키는 엑스-와이 테이블(X-Y Table)을 포함하며, 상기 기판의 칩고정부위의 위치를 조정하는 기판위치 조정유닛; 상기 테이프의 성형된 부분의 위치를 검출하는 제2비젼카메라와, 상기 기판위치 조정유닛의 일측에 설치되며, 상기 제2비젼카메라의 위치정보에 따라 상기 테이프의 성형된 부분을 상기 부착유닛의 하측에 위치시키는 인덱스 피더를 포함하며, 상기 기판의 칩고정부위에 대한 상기 테이프의 성형된 부분의 위치를 조정하는 테이프위치 조정유닛; 및 상기 테이프의 성형부분을 가열하는 히터와, 상기 테이프의 성형부분을 상기 기판의 칩본딩부위에 대해 누르는 가압부, 및 상기 기판의 칩본딩부위에 부착된 상기 테이프의 성형부분을 냉각시키는 냉각부를 포함하며, 상기 테이프의 성형된 부분의 접착필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착시키는 부착유닛;을 포함하는 것이 바람직하다.The tape attaching device may further include a substrate fixing part on which the substrate is fixed, a first vision camera installed on an upper side of the substrate fixing part, and detecting a position on a chip fixing part of the substrate, and a lower side of the substrate fixing part. And an XY table for positioning the chip fixing part of the substrate under the attachment unit according to the positional information of the first vision camera, and defining the position of the chip fixing part of the substrate. A substrate position adjusting unit for adjusting; A second vision camera for detecting the position of the molded portion of the tape, and is installed on one side of the substrate position adjusting unit, the molded portion of the tape in accordance with the position information of the second vision camera to the lower side of the attachment unit A tape position adjusting unit including an index feeder positioned at a position of the tape feeder, the tape position adjusting unit adjusting a position of the molded portion of the tape with respect to the chip fixing portion of the substrate; And a heater for heating the molded portion of the tape, a press portion for pressing the molded portion of the tape against the chip bonding portion of the substrate, and a cooling portion for cooling the molded portion of the tape attached to the chip bonding portion of the substrate. And an attachment unit attaching the adhesive film of the molded part of the tape to the chip fixing part of the substrate.

본 발명의 다른 측면으로서 본 발명의 목적은. 기판의 칩고정부위에 지지필름과 접착필름으로 이루어진 테이프로부터 접착필름만을 부착하는 칩본딩용 테이핑방법에 있어서, 상기 테이프를 상기 기판의 칩고정부위의 형상에 대응되도록 성형하는 단계; 상기 테이프의 성형부분을 상기 기판의 칩고정부위에 일치시키는 단계; 상기 테이프의 성형부분을 상기 기판의 칩고정부위에 열과 압력을 가하여 부착하는 단계; 및 상기 기판의 칩고정부위로부터 상기 테이프의 지지필름을 분리하는 단계;를 포함하는 칩본딩용 테이핑방법에 의해 달성된다.As another aspect of the present invention the object of the present invention. A chip bonding taping method for attaching only an adhesive film from a tape made of a support film and an adhesive film on a chip fixing part of a substrate, the method comprising: forming the tape to correspond to the shape of the chip fixing part of the substrate; Matching the molded portion of the tape to the chip fixing portion of the substrate; Attaching a molded portion of the tape by applying heat and pressure on the chip fixing portion of the substrate; And separating the support film of the tape from the chip fixing part of the substrate.

여기서, 상기 성형단계는, 상기 테이프의 접착필름만을 일정 간격으로 절단하고, 절단된 접착필름의 중앙에 지지필름을 관통하는 일정한 구멍을 성형하며 이를 하나의 동작으로 행하는 것이 바람직하다.Here, in the forming step, it is preferable to cut only the adhesive film of the tape at regular intervals, and to form a predetermined hole penetrating the support film in the center of the cut adhesive film and to perform this in one operation.

또한, 상기 일치단계에서는, 비젼카메라를 이용하여 상기 테이프의 성형부분과 상기 기판의 칩본딩부위를 일치시키는 것이 바람직하다.In the matching step, it is preferable to match the molded portion of the tape with the chip bonding portion of the substrate using a vision camera.

또한, 상기 부착단계에서는 70 ~ 120℃로 가열된 히터로 상기 테이프의 성형부분을 가열하여 부착한 후, -50 ~10℃의 찬 공기를 분사하여 상기 테이프의 성형부분을 냉각하는 것이 바람직하다.In addition, in the attaching step, it is preferable to cool the molded part of the tape by spraying cold air of −50 to 10 ° C. after attaching the molded part of the tape by heating the heater heated to 70 to 120 ° C.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3은 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치의 일실시예를 나타내 보인 정면도 및 단면도이다. 도면을 참조하면, 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치는 테이프 공급기(100), 테이프 성형기(200), 테이프 부착기(300), 테이프 회수기(400), 및 제어기(500)를 포함한다.2 and 3 are a front view and a cross-sectional view showing an embodiment of the taping device for chip bonding according to the present invention. Referring to the drawings, the taping apparatus for chip bonding according to the present invention includes a tape feeder 100, a tape molding machine 200, a tape attaching machine 300, a tape recovery machine 400, and a controller 500.

테이프 공급기(100)는 릴에 감긴 상태로 공급되는 ACF 등의 테이프를 풀어 테이프 성형기(200)로 공급하는 것으로서, 도 2, 도 3 및 도 5를 참조하면, 테이프릴(101)을 회전시키는 제1릴회전유닛(110)과 테이프(T)에 장력을 가하며 테이프(T)의 공급상태에 따라 제1릴회전유닛(110)을 제어하는 제1테이프 감지유닛(120), 및 테이프(T)의 경로를 형성하는 수개의 롤러(131,132)를 포함한다. 제1릴회전유닛(110)은 테이프릴(101)이 고정되는 회전축(112)과 이 회전축(112)을 회전시키는 모터(114)로 구성된다. 제1테이프 감지유닛(120)은 자중에 의해 테이프(T)에 장력을 가하며, 테이프(T)가 당겨지면 위로 상승하고, 제1릴회전유닛(110)에서 테이프릴(101)이 풀리면 아래로 하강하는 승강부(122) 및 승강부(122)가 규정된 양만큼 하강하거나 상승하면 이를 감지하여 제어기(500)로 신호를 보내는 센서부(123,124)를 포함한다. 제어기(500)는 승강부(122)가 상승하여 센서(123)를 작동시키면 제1릴회전유닛(110)의 모터(114)를 구동시켜 테이프릴(101)로부터 테이프(T)가 풀리게 한다. 테이프(T)가 풀려 승강부(122)가 하강하여 센서(124)를 동작시키면 제어기(500)는 제1릴회전유닛(110)의 모터(114)를 정지시킨다. 이와 같이 테이프 성형장치(200)로 테이프(T)를 공급하는 테이프 공급장치(100)는 상술한 장치외에도 지금까지 공지된 여러가지 방법이 사용될 수 있음은 당연하다.The tape feeder 100 is used to unwind a tape such as ACF, which is supplied while being wound on a reel, and supply the tape feeder 200 to the tape molding machine 200. Referring to FIGS. 2, 3, and 5, the tape feeder 101 rotates the tape reel 101. The first tape detection unit 120 and the tape T which apply tension to the first reel rotating unit 110 and the tape T and control the first reel rotating unit 110 according to the supply state of the tape T. It includes several rollers (131, 132) to form a path. The first reel rotating unit 110 is composed of a rotating shaft 112 to which the tape reel 101 is fixed and a motor 114 for rotating the rotating shaft 112. The first tape detecting unit 120 applies tension to the tape T by its own weight, and moves upward when the tape T is pulled, and moves downward when the tape reel 101 is released from the first reel rotating unit 110. The lifting unit 122 and the lifting unit 122 include a sensor unit 123 or 124 which detects when the elevator unit descends or rises by a predetermined amount and sends a signal to the controller 500. The controller 500 drives the motor 114 of the first reel rotating unit 110 when the lifting unit 122 is lifted to operate the sensor 123 to release the tape T from the tape reel 101. When the tape T is released and the lifting unit 122 descends to operate the sensor 124, the controller 500 stops the motor 114 of the first reel rotating unit 110. As such, the tape supply apparatus 100 supplying the tape T to the tape forming apparatus 200 may be variously known in the art, in addition to the apparatus described above.

테이프 성형기(200)는 테이프(T)를 일정한 형상으로 성형하는 것으로서, 도 2, 도 6, 및 도 7을 참조하면, 테이프(T)에 일정한 형상의 구멍을 뚫는 펀치(210) 및 테이프(T)에서 지지필름(T2)은 절단하지 않고 접착필름(T1)만을 일정한 간격으로 절단하는 절단날(220)을 포함한다. 펀치(210)의 상부에는 다이(230)가 마련되며, 공압실린더(216)에 의해 상하로 승강하는 펀치(210)는 펀치(210)와 일체로 형성된 스토퍼(214)에 의해 상승높이가 제한된다. 다이(230)에는 테이프(T)의 이동을 안내하는 안내홈과 펀치날(212)이 통과하여 테이프(T)에 소정의 구멍을 형성할 수 있는 구멍(234)이 마련되며, 다이의 구멍(234)에는 테이프(T)로부터 절단된 스크랩(T')을 제거하기 위한 호스(240)가 연결되어 있다. 호스(240)에는 흡입공기 가 가해져서 테이프(T)로부터 절단된 스크랩(T')은 호스(240)로 빨려들어 가게 된다. 절단날(220)은 펀치날(212)의 양측에 설치되어 있으며, 접착필름(T1)의 절단간격은 이 2개의 절단날(220)의 간격에 의해 정해진다. 또한, 펀치날(212)에 의해 형성되는 구멍과 접착필름(T1)의 절단부와의 거리는 펀치날(212)과 절단날(220)의 간격에 의해 정해진다. 펀치날(212)과 절단날(220)이 일체로 형성되어 있기 때문에 펀치(210)가 상승하여 테이프(T)에 구멍을 가공할 때 절단날(220)에 의해 테이프(T)의 접착필름(T1)도 동시에 절단된다. 이때, 절단날(220)이 접착필름(T1)만을 절단하게 하는 것은 절단날(220)의 끝이 펀치날(212)의 끝단과 일정한 높이차를 갖도록 설치함으로써 가능하다. 도 7을 참조하여 이를 상세하게 설명한다. 도 7은 펀치날(212)이 테이프(T)를 통과한 후 펀치(210)에 설치된 스토퍼(214)가 다이(230)와 접촉하여 펀치(210)가 더 이상 상승하지 못하는 상태를 나타낸다. 이때, 스토퍼(214)에 의해 펀치(210)가 정지한 위치에서 절단날(220)의 끝과 다이(230)의 테이프(T)가 지나가는 면(231) 사이의 간격(t)이 테이프(T)의 지지필름(T2)의 두께가 되면 테이프(T)는 접착필름(T1)만 절단되고 지지필름(T2)은 절단되지 않게 된다. 따라서, 절단날(220)의 날끝의 높이와 펀치 스토퍼(214)의 높이 차이를 관리함으로써 테이프(T)의 접착필름(T1)만을 절단할 수 있다. 또한, 스토퍼(214)의 높이는 펀치날(212)의 끝단과 일정하게 정해지므로 절단날(220)의 날끝과 펀치날(212) 사이에도 역시 일정한 높이차가 유지되게 된다.The tape molding machine 200 is to mold the tape T into a predetermined shape. Referring to FIGS. 2, 6, and 7, the punch 210 and the tape T, which drill holes of a predetermined shape in the tape T, are formed. In the support film (T2) includes a cutting blade 220 for cutting only the adhesive film (T1) at regular intervals without cutting. The die 230 is provided at an upper portion of the punch 210, and the rising height of the punch 210 that is lifted up and down by the pneumatic cylinder 216 is limited by the stopper 214 formed integrally with the punch 210. . The die 230 is provided with a guide groove for guiding the movement of the tape T and a hole 234 through which the punch blade 212 passes to form a predetermined hole in the tape T. 234 is connected to a hose 240 for removing the scrap T 'cut from the tape (T). Suction air is applied to the hose 240 and the scrap T 'cut from the tape T is sucked into the hose 240. Cutting blades 220 are provided on both sides of the punch blade 212, the cutting interval of the adhesive film (T1) is determined by the interval between the two cutting blades (220). In addition, the distance between the hole formed by the punch blade 212 and the cut portion of the adhesive film T1 is determined by the distance between the punch blade 212 and the cutting blade 220. Since the punch blade 212 and the cutting blade 220 are integrally formed, the adhesive film of the tape T is formed by the cutting blade 220 when the punch 210 is raised to process a hole in the tape T. T1) is also cut at the same time. At this time, the cutting blade 220 to cut only the adhesive film (T1) is possible by installing so that the end of the cutting blade 220 has a constant height difference with the end of the punch blade (212). This will be described in detail with reference to FIG. 7. FIG. 7 illustrates a state in which the stopper 214 installed in the punch 210 contacts the die 230 after the punch blade 212 passes through the tape T so that the punch 210 can no longer be raised. At this time, the interval t between the end of the cutting blade 220 and the surface 231 through which the tape T of the die 230 passes at the position where the punch 210 is stopped by the stopper 214 is the tape T. When the thickness of the support film (T2) of the (T) is only the adhesive film (T1) is cut, the support film (T2) is not cut. Therefore, only the adhesive film T1 of the tape T can be cut | disconnected by managing the height difference of the blade edge | tip of the cutting blade 220, and the height of the punch stopper 214. In addition, since the height of the stopper 214 is determined to be constant with the end of the punch blade 212, a constant height difference is also maintained between the blade edge of the cutting blade 220 and the punch blade 212.

또한, 테이프 성형기(200)는 테이프폭(W)을 일정한 치수로 절단하는 테이프폭 절단유닛(250)을 더 포함할 수 있다. 테이프폭 절단유닛(250)은, 도 6 및 도 8 을 참조하면, 공압실린더(252)에 의해 상하로 승강하는 칼날(254)과, 테이프(T)의 이동을 안내하며 칼날(254)에 의한 테이프폭의 절단을 지지하는 절단안내부(256)를 포함한다. 이 테이프폭 절단유닛(250)은 기판에 부착하는 테이프(T)의 폭이 일반적으로 공급되는 테이프의 크기로 만족시킬 수 없는 경우에, 도 6에 도시된 바와 같이 테이프 성형기(200) 전단에 추가 설치함으로써 사용자가 원하는 크기로 테이프를 성형할 수 있다.In addition, the tape molding machine 200 may further include a tape width cutting unit 250 for cutting the tape width (W) to a predetermined dimension. 6 and 8, the tape width cutting unit 250 is moved by the pneumatic cylinder 252 to move up and down the blade 254 and the tape T to guide the movement of the blade 254. And a cutting guide portion 256 for supporting the cutting of the tape width. This tape width cutting unit 250 is added to the front end of the tape forming machine 200, as shown in Figure 6, when the width of the tape (T) to be attached to the substrate can not be satisfied with the size of the tape is generally supplied By installing, the tape can be molded to a size desired by the user.

테이프 부착기(300)는 상술한 테이프 성형기(200)에서 일정한 형상으로 성형된 테이프(T)를 기판의 칩고정부위에 부착하는 것으로서, 도 2를 참조하면, 기판의 칩고정부위의 위치를 조정하는 기판위치 조정유닛(320)과, 기판의 칩고정부위에 대한 테이프(T)의 성형된 부분의 위치를 조정하는 테이프위치 조정유닛(340), 및 테이프의 성형부분을 기판의 칩고정부위에 부착하는 부착유닛(370)을 포함한다.The tape attacher 300 attaches the tape T formed in a predetermined shape in the tape forming machine 200 to the chip fixing part of the substrate. Referring to FIG. 2, the tape attacher 300 adjusts the position of the chip fixing part of the substrate. The substrate position adjusting unit 320, the tape position adjusting unit 340 for adjusting the position of the molded portion of the tape T with respect to the chip fixing portion of the substrate, and the molded portion of the tape are attached to the chip fixing portion of the substrate. Attachment unit 370 is included.

기판위치 조정유닛(320)은, 도 2 내지 4 및 도 9를 참조하면, 기판고정부(322), 제1비젼카메라(324), 및 엑스-와이 테이블(X-Y Table,326)을 포함한다. 기판고정부(322)는 엑스-와이 테이블(326)의 상측에 설치되며, 기판(301)이 놓이는 수납부(303)와 수납부(303)에 대해 기판(301)을 고정하는 고정판(305)으로 구성된다. 제1비젼카메라(324)는 기판고정부(322)의 상측에 설치되며, 기판(301)의 칩고정부위를 확인한다. 제1비젼카메라(324)는 일반적으로 CCD 카메라가 사용되며, 제1비젼카메라(324)에 의해 촬상된 영상을 출력하는 비젼모니터(325)를 별도로 구비한다. 엑스-와이 테이블(326)은 평면상에서 서로 직교하는 2개의 이동축을 갖고 있어 제어기(500)의 명령에 따라 기판고정부(322)를 동일 평면상에서 임의의 위치로 이동시킬 수 있다. 기판(301)의 칩고정부위가 제1비젼카메라(324)의 센터와 일치하지 않으면, 제어기(500)는 엑스-와이 테이블(326)을 이동시켜 기판(301)의 칩고정부위가 제1비젼카메라(324)의 센터에 위치하도록 조정한다.2 to 4 and 9, the substrate position adjusting unit 320 includes a substrate fixing part 322, a first vision camera 324, and an X-Y table 326. The substrate fixing part 322 is installed above the X-Y table 326, and a fixing plate 305 fixing the substrate 301 to the storage part 303 and the storage part 303 on which the substrate 301 is placed. It consists of. The first vision camera 324 is installed above the substrate fixing part 322 and checks the chip fixing part of the substrate 301. The first vision camera 324 is generally used with a CCD camera, it is provided with a vision monitor 325 for outputting the image captured by the first vision camera 324 separately. The X-Y table 326 has two moving axes that are orthogonal to each other on a plane to move the substrate fixing part 322 to an arbitrary position on the same plane according to a command of the controller 500. If the chip fixing position of the substrate 301 does not coincide with the center of the first vision camera 324, the controller 500 moves the X-Y table 326 so that the chip fixing position of the substrate 301 is the first vision. Adjust to position at center of camera 324.

테이프위치 조정유닛(340)은 테이프(T)의 성형된 부분의 위치 즉, 구멍위치가 기판(301)의 칩고정부위에 일치하도록 테이프(T)의 위치를 조정하는 것으로서, 제2비젼카메라(342)와 인덱스 피더(350)로 구성된다. 제2비젼카메라(342)는 테이프(T)가 지나가는 경로의 상측에 설치되며, 일반적으로 CCD 카메라가 사용된다. 제2비젼카메라(342)에 의해 촬상된 영상을 출력하는 비젼모니터를 별도로 구비하거나 제1비젼카메라(324)의 비젼모니터(325)를 공동으로 사용할 수도 있다. 인덱스 피더(350)는 테이프(T)가 이동하지 않도록 잡고 있거나, 기판(301)의 칩고정부위가 복수개 있는 경우에 계속적으로 테이프(T)의 성형부분을 부착시킬 수 있도록 테이프(T)를 일정 간격으로 이동시키는 것으로서 고정핸드(352)와 이동핸드(356)를 포함한다. 고정핸드(352)는 고정단(353)과 고정단(353)에 대해 상하로 승강하는 공압실린더(354)로 구성된다. 이동핸드(356)는 고정핸드(352)와 동일하게 고정단(357)과 공압실린더(358)로 구성되며 이동핸드(356)의 하부에는 이동핸드(356)를 좌우로 이송시키는 이동부(359)가 설치된다. 이동부(359)는 제2비젼카메라(342)와 테이프(T)의 성형부분의 센터를 일치시킬 수 있도록 위치제어가 가능한 스테핑 리니어 모터(Stepping Linear Motor)를 사용하는 것이 바람직하다. 이동부(359)의 일측에는 이동핸드(356)의 좌우이동을 확인할 수 있도록 2개의 센서(360)가 부착되어 있다.The tape position adjusting unit 340 adjusts the position of the tape T such that the position of the molded portion of the tape T, that is, the hole position coincides with the chip fixing portion of the substrate 301, is the second vision camera ( 342 and the index feeder 350. The second vision camera 342 is installed above the path through which the tape T passes, and a CCD camera is generally used. A vision monitor for outputting an image captured by the second vision camera 342 may be separately provided or the vision monitor 325 of the first vision camera 324 may be jointly used. The index feeder 350 holds the tape T so that it does not move, or the tape T is fixed so that the molded portion of the tape T can be continuously attached when there are a plurality of chip fixing portions of the substrate 301. It includes a fixed hand 352 and a moving hand 356 to move at intervals. The fixed hand 352 is composed of a fixed end (353) and a pneumatic cylinder (354) for lifting up and down relative to the fixed end (353). The moving hand 356 is composed of a fixed end 357 and a pneumatic cylinder 358 similarly to the fixed hand 352, and a moving part 359 to transfer the moving hand 356 to the left and right at the bottom of the moving hand 356. ) Is installed. The moving unit 359 preferably uses a stepping linear motor capable of position control so that the center of the second vision camera 342 and the molded portion of the tape T can be aligned. Two sensors 360 are attached to one side of the moving unit 359 so as to check the left and right movement of the moving hand 356.

부착유닛(370)은 테이프(T)의 성형된 부분의 접착필름(T1)을 기판(301)의 칩고정부위에 부착시키는 것으로서, 도 9를 참조하면, 히터(372)와 가압부(375) 및 냉각부(380)를 포함한다. 히터(372)는 테이프(T)의 접착필름(T1)을 용융시키는 것으로서, 끝단이 기판(301)에 접착될 테이프(T)의 성형부분에 대응되는 단면으로 성형되는 것이 바람직하다. 히터(372)의 가열온도는 접착필름(T1)을 용융시키기에 충분한 온도이어야 하나 너무 온도가 높으면 냉각에 장시간이 소요되고 또 기판(301)을 손상시킬 우려가 있으므로 적절한 온도로 가열시켜야 한다. 히터(372)의 가열온도는 70 ~ 120℃로 하는 것이 바람직하다. 가압부(375)는 히터(372)가 테이프(T)를 가열하면서 동시에 가압할 수 있도록 히터(372)를 가압한다. 즉, 히터(372)는 하강시에 끝단에 가해지는 압력을 일정 범위내에서 설정할 수 있는 가압부(375)의 로드(376)의 끝에 설치되어 있다. 따라서, 제어기(500)의 명령에 따라 가압부(375)가 로드(376)를 하강시키면 히터(372)가 일정한 압력으로 테이프(T)를 기판(301)에 대해 누르는 상태가 된다. 그러므로 히터(372) 열에 의해 접착필름(T1)이 용융되면서 가압부(375)의 로드(376)에 의해 일정한 압력으로 눌리기 때문에 테이프의 접착필름(T1)이 기판(301)에 부착되게 된다. 이 상태에서 히터(372)를 오프(Off)시키고 냉각부(380)를 동작시켜 테이프(T)와 기판(301)의 접착부분을 냉각시킨다.The attachment unit 370 attaches the adhesive film T1 of the molded portion of the tape T on the chip fixing part of the substrate 301. Referring to FIG. 9, the heater 372 and the pressurizing part 375 And a cooling unit 380. The heater 372 melts the adhesive film T1 of the tape T, and is preferably molded in a cross section corresponding to an end portion of the tape T to be formed on the tape T to be bonded to the substrate 301. The heating temperature of the heater 372 should be sufficient to melt the adhesive film T1, but if the temperature is too high, it takes a long time to cool and may damage the substrate 301. Therefore, the heater 372 should be heated to an appropriate temperature. It is preferable that the heating temperature of the heater 372 be 70-120 degreeC. The pressurizing part 375 pressurizes the heater 372 so that the heater 372 can pressurize the tape T at the same time. That is, the heater 372 is provided at the end of the rod 376 of the pressurizing part 375 which can set the pressure applied to the end at the time of the lowering within a predetermined range. Therefore, when the pressing unit 375 lowers the rod 376 according to the command of the controller 500, the heater 372 presses the tape T against the substrate 301 at a constant pressure. Therefore, since the adhesive film T1 is melted by the heat of the heater 372 and is pressed at a predetermined pressure by the rod 376 of the pressing unit 375, the adhesive film T1 of the tape is attached to the substrate 301. In this state, the heater 372 is turned off and the cooling unit 380 is operated to cool the adhesive portion between the tape T and the substrate 301.

이때, 부착유닛(370)의 히터(372)의 중심축과 테이프위치 조정유닛(340)의 제2비젼카메라(342)의 중심축이 테이프(T) 구멍에 대해 동일축상에 위치하도록 설치하는 것이 곤란하므로 이와 동일한 상태가 되도록 기구를 구성할 필요가 있다. 이를 위한 하나의 방법으로 도 9 및 10a에 도시된 바와 같이 히터(372)와 제2비젼 카메라(342)를 테이프 이송방향(X-X)을 따라 일정 간격으로 설치한 후 이를 간격보상수단(310)을 이용하여 좌우로 이송시킴으로써 히터(372)와 제2비젼카메라(342)가 동일축상에 설치된 것과 동일한 효과를 얻을 수 있다. 즉, 제2비젼카메라(342)로 테이프(T)의 구멍(H)위치를 확인하는 경우에는 간격보상수단(310)을 동작시켜 제2비젼카메라(342)가 도 10b와 같이 기준선 C-C의 위치로 오도록 한다. 제2비젼카메라(342)와 인덱스 피더(350)에 의해 테이프(T)의 구멍(H)이 조정되면 제어기(500)는 다시 간격보상수단(310)을 동작시켜 히터(372)가 도 10a와 같이 기준선 C-C의 위치에 오도록 한다. 이때, 간격보상수단(310)은 직선운동을 안내하는 LN가이드(312)와 공압실린더(314) 및 제2비젼카메라(342)와 히터(372)의 위치를 기계적으로 결정하는 양쪽의 스토퍼(316)로 구성된다. 또한, 본 실시예와 같이 제1비젼카메라(324)를 이용하여 기판(301)의 칩고정부위(G)를 확인하는 경우에는 제1비젼카메라(324)도 간격보상수단(310)에 일체로 설치하는 것이 바람직하다. 이때, 제1비젼카메라(324)는 도 10a에 도시된 바와 같이 테이프의 이송방향(X-X)과 직각을 이루며 제2비젼카메라(342)와 일직선을 이루는 Y-Y선상에 제2비젼카메라(342)와 일정한 간격(D)을 두고 설치하는 것이 바람직하다. 이때, 제1비젼카메라(324)와 제2비젼카메라(342) 사이의 간격(D)은 일종의 오프셋(Offset)으로 제어기(500)에 기억되어 있기 때문에, 제어기(500)는 엑스-와이 테이블(326)을 오프셋량 만큼 더하여 이동시킴으로서 제1비젼카메라(324)에 의해 인식된 기판(301)의 칩고정부위(G)와 제2비젼카메라(342)에 의해 인식된 테이프(T)의 구멍(H)위치를 일치시킬 수 있다.At this time, the central axis of the heater 372 of the attachment unit 370 and the central axis of the second vision camera 342 of the tape position adjusting unit 340 are installed on the same axis with respect to the tape T hole. Since it is difficult, it is necessary to comprise a mechanism so that it may be in this same state. As a method for this purpose, as shown in FIGS. 9 and 10A, the heater 372 and the second vision camera 342 are installed at regular intervals along the tape feed direction XX, and then the gap compensation means 310 is installed. By moving left and right using the same, the same effect as that of the heater 372 and the second vision camera 342 provided on the same axis can be obtained. That is, when the position of the hole H of the tape T is confirmed by the second vision camera 342, the gap compensation means 310 is operated so that the second vision camera 342 is positioned at the reference line CC as shown in FIG. 10B. To come. When the hole H of the tape T is adjusted by the second vision camera 342 and the index feeder 350, the controller 500 operates the gap compensating means 310 again so that the heater 372 is connected with FIG. 10A. As shown in the reference line CC position. At this time, the gap compensation means 310 is a stopper 316 of both mechanically determine the position of the LN guide 312 and the pneumatic cylinder 314 and the second vision camera 342 and the heater 372 to guide the linear motion. It consists of In addition, when checking the chip fixing position G of the substrate 301 by using the first vision camera 324 as in the present embodiment, the first vision camera 324 is also integrally provided with the interval compensating means 310. It is desirable to install. At this time, the first vision camera 324 and the second vision camera 342 on the YY line perpendicular to the second vision camera 342 to form a perpendicular to the feed direction (XX) of the tape as shown in Figure 10a and It is preferable to install at regular intervals D. At this time, since the distance D between the first vision camera 324 and the second vision camera 342 is stored in the controller 500 at a kind of offset, the controller 500 may use the X-Y table ( The hole of the tape T recognized by the chip fixing part G of the board | substrate 301 recognized by the 1st vision camera 324, and the 2nd vision camera 342 by moving 326 by the offset amount. H) The positions can be matched.

냉각부는 용융된 테이프(T)의 접착필름(T1)을 빨리 굳혀 기판(301)에 단단하게 부착되도록 하기 위한 것으로서, 도 9에 도시된 바와 같이 에어 블로어(Air Blower,380)을 통해 찬 공기를 테이프(T)의 접착부위에 직접 분사하도록 구성한다. 냉각온도는 히터(372)의 가열온도에 따라 상대적으로 정해지지만 상기와 같은 온도로 히터(372)를 가열하는 경우에는 에어 블로어로부터 분사되는 찬 공기의 온도는 -50 ~ 10℃의 범위로 하는 것이 바람직하다. The cooling unit is to fasten the adhesive film T1 of the molten tape T so as to be firmly attached to the substrate 301. As illustrated in FIG. 9, the cooling unit cools the air through the air blower 380. It is configured to spray directly on the adhesive portion of the tape (T). The cooling temperature is relatively determined according to the heating temperature of the heater 372. However, when the heater 372 is heated to the above temperature, the temperature of the cold air injected from the air blower is in the range of -50 to 10 ° C. desirable.

테이프(T)가 기판(301)에 부착된 부위를 냉각시키기 위한 냉각부의 구성은 상기와 같이 에어 블로어(380)를 통해 찬 공기를 직접 분사하는 직접냉각방식 외에도 기판(301)이 놓이는 기판고정부(322)의 수납부(303)를 냉각시킴으로써 테이프(T)의 가열부위를 냉각시키는 간접냉각방식이 적용될 수 있다. 이때 수납부(303)의 내부에는 냉각관을 설치하여 찬공기나 냉각수를 흘려 수납부(303)의 상면을 냉각시킴으로서 기판(301)을 전체적으로 냉각시킬 수 있다. 이 경우 기판(301)이 놓이는 기판고정부(322)의 바닥, 즉 수납부(303) 상면은 -10 ~ 20℃가 되도록 냉각시키는 것이 바람직하다.The structure of the cooling unit for cooling the portion where the tape T is attached to the substrate 301 is a substrate fixing part on which the substrate 301 is placed, in addition to the direct cooling method of directly injecting cold air through the air blower 380 as described above. An indirect cooling method of cooling the heating portion of the tape T by cooling the accommodating part 303 of 322 may be applied. In this case, a cooling tube may be installed inside the accommodating part 303 to cool the upper surface of the accommodating part 303 by flowing cold air or cooling water to cool the entire substrate 301. In this case, it is preferable to cool the bottom of the substrate fixing part 322 on which the substrate 301 is placed, that is, the upper surface of the accommodating part 303 to be -10 to 20 ° C.

또한, 부착유닛(370)에는 도 4 및 도 9에 도시된 바와 같이 지지필름 분리부(390)를 더 설치할 수 있다. 지지필름 분리부(390)는 테이프 지지필름(T2)의 하면과 접촉하도록 설치되는 분리단(392)과 이 분리단(392)을 테이프 좌우로 이송시키는 이송단(394)으로 구성된다. 이송단(394)은 통상 공압실린더로 이루어진다. 냉각부에 의해 테이프(T)의 냉각이 이루어지면 제어기(500)는 지지필름 분리부(390)의 이송단(394)을 일측으로 이동시켜 분리단(392)이 테이프 접착부위로 부터 지지필름(T2)을 분리하도록 한다.In addition, the attachment unit 370 may be further provided with a support film separator 390 as shown in FIGS. 4 and 9. The support film separator 390 includes a separation end 392 installed to contact the bottom surface of the tape support film T2 and a transfer end 394 for transferring the separation end 392 to the left and right sides of the tape. The feed end 394 usually consists of a pneumatic cylinder. When the cooling of the tape T is performed by the cooling unit, the controller 500 moves the transfer end 394 of the supporting film separating unit 390 to one side, so that the separating end 392 is supported from the tape bonding portion. ).

테이프 회수기(400)는 기판(301)의 칩고정부위에 접착필름(T1)이 부착되고 분리된 지지필름(T2)만을 회수하여 회수릴(401)에 감는 것으로서 그 구조는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 테이프 공급기(100)와 동일하다. 즉, 회수릴(401)을 회전시키는 제2릴회전유닛(410)과 지지필름(T2)에 장력을 가하며 지지필름(T2)의 공급상태에 따라 제2릴회전유닛(410)을 제어하는 제2테이프 감지유닛(420), 및 지지필름(T2)의 경로를 형성하는 수개의 롤러(431,432)를 포함한다. 제2릴회전유닛(410)은 회수릴(401)이 고정되는 회전축(412)과 이 회전축(412)을 회전시키는 모터(414)로 구성된다. 제2테이프 감지유닛(420)은 자중에 의해 지지필름(T2)에 장력을 가하며, 인덱스 피더(350)에 의해 지지필름(T2)이 많이 이송되면 아래로 하강하고, 제2릴회전유닛(410)에 의해 회수릴(401)이 감기면 위로 상승하는 승강부(422) 및 승강부(422)가 규정된 양만큼 하강하거나 상승하면 이를 감지하여 제어기(500)로 신호를 보내는 센서부(423,424)를 포함한다. 제어기(500)는 승강부(422)가 하강하여 센서(424)를 작동시키면 제2릴회전유닛(410)의 모터(414)를 구동시켜 회수릴(401)이 지지필름(T2)을 감도록 한다. 지지필름(T2)이 감겨 승강부(422)가 상승하여 센서(423)를 동작시키면 제어기(500)는 제2릴회전유닛(410)의 모터(414)를 정지시킨다. 이와 같이 테이프 부착기(300)로부터 배출되는 지지필름(T2)을 회수할 수 있는 테이프 회수기(400)는 상술한 장치이외에 지금까지 공지된 여러가지 방법이 사용될 수 있음은 당연하다.The tape recovery machine 400 collects only the supporting film T2 attached to the chip fixing part of the substrate 301 and separates the supporting film T2 and winds it on the recovery reel 401. The structure thereof is illustrated in FIGS. 2 and 3. As shown, the tape feeder 100 is the same. That is, the second reel rotating unit 410 for rotating the recovery reel 401 and the support film (T2) to apply a tension and control the second reel rotation unit 410 according to the supply state of the support film (T2) It comprises a two-tape detection unit 420, and several rollers (431, 432) forming a path of the support film (T2). The second reel rotating unit 410 is composed of a rotating shaft 412 to which the recovery reel 401 is fixed and a motor 414 for rotating the rotating shaft 412. The second tape detecting unit 420 applies tension to the support film T2 by its own weight, and when the support film T2 is transferred by the index feeder 350, the second tape detection unit 420 descends downward and the second reel rotation unit 410. When the recovery reel 401 is wound by the lifting unit 422 and the lifting unit 422 is lowered or raised by a prescribed amount, the sensor unit 423 and 424 detects this and sends a signal to the controller 500. It includes. The controller 500 moves the motor 414 of the second reel rotating unit 410 when the lifting unit 422 descends to operate the sensor 424 so that the recovery reel 401 winds up the support film T2. do. When the support film T2 is wound and the lifting unit 422 is raised to operate the sensor 423, the controller 500 stops the motor 414 of the second reel rotating unit 410. As described above, the tape recoverer 400 capable of recovering the support film T2 discharged from the tape attacher 300 may be variously known in addition to the above-described apparatus.

제어기(500)는 테이프 공급기(100), 테이프 성형기(200), 테이프 부착기(300), 테이프 회수기(400)를 제어하여 테이프릴(101)에 감긴 테이프(T)를 일정한 형상으로 성형하고 기판(301)의 칩고정부위에 부착시키는 것으로서, 각종 센서들로부터 신호를 받고 연산을 수행하는 제어부와, 각종 스위치가 설치된 판넬부(502), 및 각종 데이터를 출력하는 표시부(504)를 포함한다.The controller 500 controls the tape feeder 100, the tape molding machine 200, the tape attaching machine 300, and the tape recovery machine 400 to form the tape T wound on the tape reel 101 to a predetermined shape and to form a substrate ( Attached to the chip fixing part of the 301, and includes a control unit for receiving a signal from various sensors to perform a calculation, a panel unit 502 provided with various switches, and a display unit 504 for outputting various data.

이하, 상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치의 작동에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 여기서, 도 12는 칩본딩용 테이핑장치의 동작흐름을 나타내는 순서도이다.Hereinafter, the operation of the taping device for chip bonding according to the present invention having the configuration as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 12 is a flowchart illustrating an operation flow of the chip bonding taping apparatus.

먼저, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 테이프 공급기(100)의 제1릴회전유닛(110)의 회전축(112)에 테이프릴(101)을 장착한 후 테이프(T)를 풀어 테이프(T)의 선단이 테이프 성형기(200)와, 테이프 부착기(300)를 통과하도록 하여 테이프 회수기(400)의 회수릴(401)에 고정한다(S10). 이어서, 기판고정부(322)에 기판(301)을 로딩한다(S20). 이 상태에서 칩본딩용 테이핑장치를 온(ON)시키면 제어기(500)는 먼저 테이핑 성형장치(200)를 작동시켜 테이프(T)를 일정한 형상으로 성형한다(S30). 본 실시예의 경우에는 테이프폭 절단유닛(250)에 의해 테이프(T)가 일정한 폭으로 성형되고, 펀치(210)와 절단날(220)에 의해 테이프(T)에 사각의 구멍이 형성되고 접착필름(T1)이 일정한 간격으로 절단된다. 테이프폭 절단유닛(250)에서는 제어기(500)에 의해 공압실린더(252)가 상승함으로써 테이프(T)가 일정한 폭으로 가공된다. 또, 테이프폭 절단유닛(250)을 지나 펀치(210)와 다이(230) 사이로 진입된 테이프(T)는 공압실린더(216)에 의한 펀치(210)의 상승운동으로 테이프(T)에 사각구멍이 형성되고, 펀치(210)와 일체로 설치된 절단날(220)에 의해 접착필름(T1)이 일정 간격으로 절단된다. 이때, 스토퍼(214)에 의해 펀치(210)의 상승 높이가 제한되기 때문에 절단날(220)은 테이프(T)의 접착필름(T1)만을 절단하고 지지필름(T2)은 절단하지 않게 된다. First, as shown in FIGS. 2 and 3, the tape reel 101 is mounted on the rotating shaft 112 of the first reel rotating unit 110 of the tape feeder 100, and then the tape T is released to release the tape T. ) Is fixed to the recovery reel 401 of the tape recovery machine 400 by passing through the tape molding machine 200 and the tape attaching device 300 (S10). Subsequently, the substrate 301 is loaded into the substrate fixing unit 322 (S20). In this state, when the chip bonding taping device is turned on, the controller 500 first operates the taping forming device 200 to form the tape T into a predetermined shape (S30). In the present embodiment, the tape T is formed into a predetermined width by the tape width cutting unit 250, and a square hole is formed in the tape T by the punch 210 and the cutting blade 220, and the adhesive film T1 is cut at regular intervals. In the tape width cutting unit 250, the pneumatic cylinder 252 is raised by the controller 500, so that the tape T is processed to a constant width. In addition, the tape T entered through the tape width cutting unit 250 and between the punch 210 and the die 230 is a square hole in the tape T by the upward movement of the punch 210 by the pneumatic cylinder 216. This is formed, the adhesive film (T1) is cut at regular intervals by a cutting blade 220 installed integrally with the punch (210). At this time, since the rising height of the punch 210 is limited by the stopper 214, the cutting blade 220 cuts only the adhesive film T1 of the tape T and does not cut the support film T2.

다음으로, 제어기(500)는 제1비젼카메라(424)와 엑스-와이 테이블(326)을 이용하여 기판(301)의 칩고정부위(G)의 센터가 기준점(도 10a의 P), 즉 히터(372)의 직하방에 오도록 조정한다(S40). 이때, 제어기(500)는 간격보상수단(310)을 동작시켜 제1비젼카메라(324)가 도 10b와 같이 C-C선상에 있도록 한 상태에서 기판(301)의 위치를 조정한다. 이 과정을 상세히 설명하면 다음과 같다. 제어기(500)는 제1비젼카메라(324)로 기판(301)의 칩고정부위(G)의 센터의 벗어난 양을 측정한 후 엑스-와이 테이블(326)을 동작시켜 그 편심량이 0이 되도록 하여 기판(301)의 칩고정부위(G) 센터와 제1비젼카메라(324)의 센터가 일치되도록 한다. 이어서, 제어기(500)는 기억하고 있는 오프셋량만큼 엑스-와이 테이블(326)을 더 이송시킨다. 그러면, 기판(301)의 칩고정부위(G)는 기준점(P)에 위치하게 된다.Next, the controller 500 uses the first vision camera 424 and the X-Y table 326 so that the center of the chip fixing part G of the substrate 301 is the reference point (P in FIG. 10A), that is, the heater. It adjusts so that it may come directly below (372) (S40). At this time, the controller 500 operates the gap compensation means 310 to adjust the position of the substrate 301 in a state where the first vision camera 324 is on the C-C line as shown in FIG. 10B. This process is described in detail as follows. The controller 500 measures the deviation of the center of the chip fixing part G of the substrate 301 with the first vision camera 324, and then operates the X-Y table 326 so that the eccentricity is zero. The chip fixing center (G) center of the substrate 301 is aligned with the center of the first vision camera 324. Subsequently, the controller 500 further transfers the X-Y table 326 by the offset amount stored therein. Then, the chip fixing portion G of the substrate 301 is located at the reference point P.

테이프 성형장치(200)에 의해 구멍(H)이 가공된 테이프(T)는 테이프(T)의 구멍(H)이 도 10b의 위치에 있는 제2비젼카메라(342)의 센터와 일치하도록 인덱스 피더(350)에 의해 이송된다(S50). 제어기(500)는 제2비젼카메라(342)의 영상데이터를 이용하여 제2비젼카메라(342)의 센터와 테이프(T) 구멍(H)의 편심량을 측정한 후 이에 상당하는 신호를 인덱스 피더(350)의 이송부(359)로 전송한다. 그러면, 스테핑 리니어 모터로 된 이송핸드(356)의 이동부(359)는 제어기(500)의 신호에 의해 제2비젼카메라(342)에 의해 측정된 편심량만큼 정확하게 이동하여 테이프(T)의 구 멍(H)을 제2비젼카메라(342)의 센터에 일치시킨다. 이로써 테이프(T)의 구멍(H)이 테이프(T)의 아래에 위치한 기판(301)의 칩고정부위(G)와 정확하게 일치하게 된다. 그러면, 인덱스 피더(250)의 고정핸드(252)가 동작하여 테이프(T)가 좌우로 이동하지 못하도록 테이프(T)를 고정한다.The tape T in which the hole H is processed by the tape forming apparatus 200 has an index feeder such that the hole H of the tape T coincides with the center of the second vision camera 342 at the position of FIG. 10B. It is transferred by the 350 (S50). The controller 500 measures the eccentricity of the center of the second vision camera 342 and the tape T hole H by using the image data of the second vision camera 342, and then outputs a signal corresponding thereto to the index feeder ( It transfers to the transfer part 359 of 350. Then, the moving part 359 of the transfer hand 356, which is a stepping linear motor, moves precisely by the amount of the eccentricity measured by the second vision camera 342 by the signal of the controller 500 so that the hole of the tape T is obtained. (H) coincides with the center of the second vision camera 342. As a result, the hole H of the tape T coincides with the chip fixing portion G of the substrate 301 located below the tape T. FIG. Then, the fixing hand 252 of the index feeder 250 is operated to fix the tape T to prevent the tape T from moving left and right.

이어서, 제어기(500)는 간격보상수단(310)의 공압실린더(314)를 동작시켜 도 10a와 같이 부착유닛(370)의 히터(372)가 테이프(T)의 구멍(H) 위에 위치하도록 한다. 이 사이에 제어기(500)는 부착유닛(370)의 히터(372)를 동작시켜 히터(372)가 일정한 온도가 되도록 한다. 히터(372)가 일정한 온도로 상승되면, 가압부(375)를 동작시켜 히터(372)가 테이프(T)의 구멍(H) 주위를 기판(301)의 칩고정부위(G)에 대해 누르도록 한다(S60). 그러면, 히터(372)의 열에 의해 테이프(T)의 접착필름(T1)이 용융되고, 가압부(375)의 압력에 의해 접착필름(T1)이 기판(301)의 칩고정부위(G)에 부착된 상태가 된다. 일정한 시간이 경과되면 제어기(500)는 히터(372)를 오프(OFF)시키고 냉각부를 동작시켜 에어 블로어(380)로부터 찬 공기가 분사되도록 하여 테이프(T)의 접착부위를 냉각시킨다(S70). 이에 의해, 테이프(T)의 접착필름(T1)이 기판(301)에 단단하게 부착한 상태가 된다. 그러면, 제어기(500)는 가압부(375)의 로드(376)를 상승시켜 히터(372)가 테이프(T)로부터 분리되도록 한다. 이 상태에서 제어기(500)는 지지필름 분리기(390)를 테이프(T)의 접착부위로 이동시킨다(S80). 그러면, 지지필름 분리기(390)의 분리단(392)에 의해 테이프(T)의 지지필름(T2)이 기판(301)에 부착된 접착필름(T1)으로부터 분리된다. 이로서 테이프(T)의 성형부분 즉, 구멍(H)이 형성된 접착필름(T1)을 기판(301)의 칩고정부위(G)에 부착시키는 작업은 완료된다. Subsequently, the controller 500 operates the pneumatic cylinder 314 of the gap compensation means 310 such that the heater 372 of the attachment unit 370 is positioned above the hole H of the tape T as shown in FIG. 10A. . In the meantime, the controller 500 operates the heater 372 of the attachment unit 370 so that the heater 372 is at a constant temperature. When the heater 372 is raised to a constant temperature, the pressurizing part 375 is operated so that the heater 372 presses the hole H of the tape T against the chip fixing position G of the substrate 301. (S60). Then, the adhesive film T1 of the tape T is melted by the heat of the heater 372, and the adhesive film T1 is applied to the chip fixing part G of the substrate 301 by the pressure of the pressing unit 375. It is attached. When a predetermined time elapses, the controller 500 turns off the heater 372 and operates the cooling unit to cool the air from the air blower 380 to cool the adhesive portion of the tape T (S70). As a result, the adhesive film T1 of the tape T is in a state where the adhesive film T1 is firmly attached to the substrate 301. Then, the controller 500 raises the rod 376 of the pressurizing portion 375 so that the heater 372 is separated from the tape T. In this state, the controller 500 moves the support film separator 390 to the adhesive portion of the tape T (S80). Then, the supporting film T2 of the tape T is separated from the adhesive film T1 attached to the substrate 301 by the separating end 392 of the supporting film separator 390. Thereby, the operation | work which attaches the shaping | molding part of the tape T, ie, the adhesive film T1 in which the hole H was formed, to the chip | tip fixing part G of the board | substrate 301 is completed.

이어서, 기판(301)의 다른 칩고정부위에 테이프(T)를 부착시키기 위해 제어기(500)는 상기의 과정을 다시 수행한다. 즉, 간격보상수단(310)을 동작시켜 제1비젼카메라(324)가 도 10b과 같은 위치에 있도록 한 후, 엑스-와이 테이블(326)을 동작시켜 기판(301)의 다른 칩고정부위가 제1비젼카메라(324)의 아래에 위치하도록 한다. 이어서, 상술한 방법으로 다른 칩고정부위의 위치를 조정한 후 오프셋량만큼 엑스-와이 테이블(326)을 이동시켜 다른 칩고정부위가 기준점(P)에 위치하도록 한다. 다음으로 인덱스 피더(350)가 동작하여 테이프(T)의 다음 구멍이 제2비젼센서(342)의 아래에 위치하도록 한다. 이를 상세하게 설명하면 다음과 같다. 테이프(T)의 성형부분을 기판(301)에 부착시키는 동안에는 인덱스 피더(350)의 고정핸드(352)가 테이프(T)를 고정시키고 있다. 이때, 이동핸드(356)가 테이프(T)의 이송방향과 반대방향으로 테이프(T)에 형성된 구멍의 간격만큼 이동하여 테이프(T)를 잡는다. 이어서, 고정핸드(352)가 테이프(T)를 놓고, 이동핸드(356)가 테이프 이송방향으로 테이프(T) 구멍 간격만큼 이동한다. 그러면, 테이프(T)가 잡아 당겨지면서 테이프(T)의 다음 구멍이 제2비젼카메라(342)의 아래에 위치하게 된다. 이 상태에서 제2비젼카메라(342)가 구멍의 위치를 확인한 후 이동핸드(356)를 제어하여 테이프(T)의 구멍이 제2비젼카메라(342)의 센터와 일치되도록 한다. 구멍이 제2비젼카메라(342)의 센터와 일치되면, 인덱스 피더(350)의 고정핸드(352)가 테이프(T)를 고정시킨다. 이 상태에서 제어기(500)는 상술한 바와 같은 과정을 통해 테이프(T)의 성형부분을 기판(301)의 칩고정부위에 부착시킨다.Subsequently, the controller 500 performs the above process again in order to attach the tape T on the other chip fixing part of the substrate 301. That is, after operating the gap compensation means 310 so that the first vision camera 324 is in the position as shown in FIG. 10B, the X-Y table 326 is operated to allow other chip fixing positions of the substrate 301 to be removed. 1 Position it below the vision camera 324. Subsequently, after adjusting the positions of the other chip fixing positions by the above-described method, the X-Y table 326 is moved by the offset amount so that the other chip fixing positions are positioned at the reference point P. Next, the index feeder 350 is operated so that the next hole of the tape T is positioned below the second vision sensor 342. This will be described in detail as follows. The fixing hand 352 of the index feeder 350 holds the tape T while the molded portion of the tape T is attached to the substrate 301. At this time, the moving hand 356 moves by the gap of the hole formed in the tape T in the direction opposite to the conveying direction of the tape T to hold the tape T. Subsequently, the fixing hand 352 releases the tape T, and the moving hand 356 moves by the tape T hole interval in the tape conveying direction. Then, as the tape T is pulled out, the next hole of the tape T is positioned below the second vision camera 342. In this state, after confirming the position of the hole, the second vision camera 342 controls the moving hand 356 so that the hole of the tape T coincides with the center of the second vision camera 342. When the hole coincides with the center of the second vision camera 342, the fixing hand 352 of the index feeder 350 fixes the tape T. In this state, the controller 500 attaches the molded part of the tape T to the chip fixing part of the substrate 301 through the above-described process.

상기와 같은 동작을 반복하는 동안에 테이프(T)로부터 분리된 지지필름(T2)은 테이프 회수기(400)의 회수릴(401)에 감겨 회수된다(S90).While repeating the above operation, the support film T2 separated from the tape T is wound around the recovery reel 401 of the tape recovery machine 400 and recovered (S90).

본 발명의 목적을 달성하기 위한 또 다른 측면으로서, 기판의 칩고정부위에 지지필름과 접착필름으로 이루어진 테이프로부터 접착필름만을 부착하는 칩본딩용 테이핑방법을 설명하면 다음과 같다.As another aspect for achieving the object of the present invention, a tape bonding method for attaching only the adhesive film from the tape consisting of the support film and the adhesive film on the chip fixing of the substrate as follows.

도 13을 참조하면, 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑방법은, 먼저 테이프를 일정한 형상으로 성형한다. 즉, 테이프에 구멍을 형성하거나, 테이프의 폭을 소정의 폭으로 가공하거나, 테이프의 접착필름만을 일정한 간격으로 절단하는 것과 같이 테이프를 일정한 모양으로 성형한다(S100).Referring to FIG. 13, in the taping method for chip bonding according to the present invention, first, a tape is formed into a predetermined shape. That is, the tape is formed into a predetermined shape, such as forming holes in the tape, processing the width of the tape to a predetermined width, or cutting only the adhesive film of the tape at regular intervals (S100).

이어서, 테이프의 성형부분을 기판의 칩고정부위에 일치시킨다(S200). 이를 위해서는 여러가지의 기구장치가 사용될 수 있다. 그 일예가 상기에서 설명한 바와 같이 비젼카메라와 엑스-와이 테이블 등을 사용하여 테이프의 성형부분과 기판의 칩고정부위를 일치시키는 것이다.Subsequently, the molded portion of the tape coincides with the chip fixing portion of the substrate (S200). Various mechanisms can be used for this purpose. One example is to match the molded part of the tape with the chip fixing position of the substrate using a vision camera and an X-Y table as described above.

다음으로, 테이프의 성형부분을 기판의 칩고정부위에 부착시킨다(S300). 테이프의 접착필름을 기판에 부착시키기 위해서는 일반적으로 열과 압력을 동시에 가한다. 일정하게 가열된 히터를 일정한 압력으로 테이프에 대해 누름으로써 테이프가 기판에 부착되도록 한다. 이때, 히터는 70 ~ 120℃로 가열시키는 것이 바람직하다. 이어서, 용융된 접착필름이 빨리 굳어 기판에 단단하게 부착되도록 접착부위를 일정 온도 이하로 냉각시키는 것이 바람직하다. 에어 블로어에 의해 냉각시는 분사되는 공기의 온도를 -50 ~ 10℃ 정도로 하고, 기판이 놓이는 바닥을 냉각시키는 경 우에는 바닥의 온도가 -10 ~ 20℃ 정도가 되도록 하는 것이 바람직하다. Next, the molded part of the tape is attached to the chip fixing portion of the substrate (S300). In order to adhere the adhesive film of the tape to the substrate, heat and pressure are generally applied simultaneously. The uniformly heated heater is pressed against the tape at a constant pressure to allow the tape to adhere to the substrate. At this time, the heater is preferably heated to 70 ~ 120 ℃. Subsequently, it is preferable to cool the adhesive site below a predetermined temperature so that the molten adhesive film hardens quickly and adheres firmly to the substrate. When cooling by an air blower, the temperature of the sprayed air is about -50 to 10 ° C, and when the floor on which the substrate is placed is cooled, it is preferable that the temperature of the floor is about -10 to 20 ° C.

테이프의 접착필름이 기판의 칩고정부위에 단단하게 부착되면, 테이프의 지지필름을 접착필름으로부터 분리시킨다(S400). 분리된 지지필름은 회수릴에 자동으로 감기도록 하는 것이 바람직하다.When the adhesive film of the tape is firmly attached to the chip fixing of the substrate, the support film of the tape is separated from the adhesive film (S400). It is preferable that the separated support film is automatically wound on a recovery reel.

상기에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의한 칩본딩용 테이핑장치 및 칩본딩용 테이핑방법에 의하면, 테이프를 칩이 부착될 칩고정부위의 형상에 대응되는 소정의 형태로 성형한 후 기판에 부착하기 때문에 작업시간을 단축시킬 수 있고, 기판의 손상을 방지할 수 있게 된다.As described above, according to the taping device for chip bonding and the taping method for chip bonding according to the present invention, since the tape is formed into a predetermined shape corresponding to the shape of the chip fixing part to which the chip is attached, the tape is attached to the substrate. The time can be shortened and damage to the substrate can be prevented.

이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려, 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다양한 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.While the invention has been shown and described with reference to preferred embodiments for illustrating the principles of the invention, the invention is not limited to the construction and operation as such is shown and described. Rather, those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made to the present invention without departing from the spirit and scope of the appended claims. Accordingly, all such suitable changes and modifications and equivalents should be considered to be within the scope of the present invention.

Claims (21)

기판의 칩고정부위에 지지필름과 접착필름으로 이루어진 테이프로부터 접착필름만을 부착하는 칩본딩용 테이핑장치에 있어서,In the chip bonding taping apparatus for attaching only the adhesive film from the tape consisting of the support film and the adhesive film on the chip fixing of the substrate, 상기 테이프에 일정한 형상의 구멍을 뚫는 펀치와, 상기 펀치로 상기 테이프에 구멍을 가공할 때 상기 접착필름을 일정한 간격으로 동시에 절단하도록 상기 펀치와 일체로 된 절단날을 포함하는 테이프 성형기;A tape forming machine including a punch for punching a hole having a predetermined shape in the tape, and a cutting blade integral with the punch to simultaneously cut the adhesive film at regular intervals when processing the hole in the tape with the punch; 상기 테이프 성형기의 일측에 설치되며, 상기 테이프 성형기에서 일정한 형상으로 성형된 상기 테이프를 상기 기판의 칩고정부위에 부착하는 테이프 부착기; 및A tape attacher installed at one side of the tape molding machine and attaching the tape formed in a predetermined shape on the tape molding machine onto a chip fixing part of the substrate; And 상기 테이프 성형기 및 상기 테이프 부착기를 제어하여 상기 테이프의 접착필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착하는 제어기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑장치.And a controller for controlling the tape former and the tape attacher to attach the adhesive film of the tape onto the chip fixing part of the substrate. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 절단날의 끝이 상기 펀치의 날끝과 일정한 높이차를 갖도록 설치함으로써 상기 테이프로부터 상기 접착필름만이 절단되도록 하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑장치.2. The chip bonding taping apparatus according to claim 1, wherein the end of the cutting blade has a predetermined height difference from the end of the punch so that only the adhesive film is cut from the tape. 제 1 항에 있어서, 상기 테이프 성형기는 상기 테이프의 폭을 일정한 치수로 절단하는 테이프폭 절단유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑장치.The tape bonding device of claim 1, wherein the tape molding machine further comprises a tape width cutting unit cutting the width of the tape to a predetermined dimension. 기판의 칩고정부위에 지지필름과 접착필름으로 이루어진 테이프로부터 접착필름만을 부착하는 칩본딩용 테이핑장치에 있어서,In the chip bonding taping apparatus for attaching only the adhesive film from the tape consisting of the support film and the adhesive film on the chip fixing of the substrate, 상기 테이프를 일정한 형상으로 성형하는 테이프 성형기;A tape molding machine for molding the tape into a predetermined shape; 상기 테이프 성형기의 일측에 설치되며, 상기 테이프 성형기에서 일정한 형상으로 성형된 상기 테이프를 상기 기판의 칩고정부위에 부착하는 테이프 부착기; 및A tape attacher installed at one side of the tape molding machine and attaching the tape formed in a predetermined shape on the tape molding machine onto a chip fixing part of the substrate; And 상기 테이프 성형기 및 상기 테이프 부착기를 제어하여 상기 테이프의 접착필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착하는 제어기;를 포함하며, And a controller for controlling the tape molding machine and the tape attaching device to attach the adhesive film of the tape onto the chip fixing part of the substrate. 상기 테이프 부착기는,The tape attacher, 상기 기판의 칩고정부위의 위치를 조정하는 기판위치 조정유닛;A substrate position adjusting unit for adjusting a position of a chip fixing portion of the substrate; 상기 기판의 칩고정부위에 대한 상기 테이프의 성형된 부분의 위치를 조정하는 테이프위치 조정유닛; 및A tape position adjusting unit for adjusting the position of the molded portion of the tape with respect to the chip fixing portion of the substrate; And 상기 테이프의 성형된 부분의 접착필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착시키는 부착유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑장치.And an attaching unit for attaching the adhesive film of the molded portion of the tape to the chip fixing part of the substrate. 제 6 항에 있어서, 상기 기판위치 조정유닛은,The method of claim 6, wherein the substrate position adjusting unit, 상기 기판이 고정되는 기판고정부;A substrate fixing part to which the substrate is fixed; 상기 기판고정부의 상측에 설치되며, 상기 기판의 칩고정부위의 위치를 검출하는 제1비젼카메라; 및A first vision camera installed at an upper side of the substrate fixing part and detecting a position of a chip fixing part of the substrate; And 상기 기판고정부의 하측에 설치되며, 상기 제1비젼카메라의 위치정보에 따라 상기 기판의 칩고정부위를 상기 부착유닛의 하측에 위치시키는 엑스-와이 테이블(X-Y Table);을 포함하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑장치.And an X-Y table installed at a lower side of the substrate fixing part to position the chip fixing part of the substrate at a lower side of the attachment unit according to the positional information of the first vision camera. Taping device for chip bonding. 제 6 항에 있어서, 상기 테이프위치 조정유닛은,The method of claim 6, wherein the tape position adjusting unit, 상기 테이프의 성형된 부분의 위치를 검출하는 제2비젼카메라;A second vision camera for detecting the position of the molded portion of the tape; 상기 기판위치 조정유닛의 일측에 설치되며, 상기 제2비젼카메라의 위치정보에 따라 상기 테이프의 성형된 부분을 상기 부착유닛의 하측에 위치시키는 인덱스 피더;를 포함하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑장치.And an index feeder installed at one side of the substrate position adjusting unit and positioning the molded portion of the tape under the attachment unit according to the positional information of the second vision camera. Device. 제 8 항에 있어서, 상기 인덱스 피더는,The method of claim 8, wherein the index feeder, 상기 테이프를 고정하는 고정핸드; 및A fixing hand for fixing the tape; And 상기 테이프를 고정하며, 상기 제2비젼카메라의 위치정보에 따라 상기 테이프를 일방향으로 이동시키는 이동핸드;를 포함하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑장치.And a moving hand which fixes the tape and moves the tape in one direction according to the positional information of the second vision camera. 제 6 항에 있어서, 상기 부착유닛은,The method of claim 6, wherein the attachment unit, 상기 테이프의 성형부분을 가열하는 히터;A heater for heating the molded part of the tape; 상기 테이프의 성형부분을 상기 기판의 칩본딩부위에 대해 누르는 가압부; 및A pressing portion for pressing the molded portion of the tape against the chip bonding portion of the substrate; And 상기 기판의 칩본딩부위에 부착된 상기 테이프의 성형부분을 냉각시키는 냉각부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑장치.And a cooling unit for cooling the molded portion of the tape attached to the chip bonding portion of the substrate. 제 10 항에 있어서, 상기 냉각부는 상기 가압부의 일측에 설치되는 에어 블로어(Air Blower)이며, 상기 에어 블로어는 -50 ~ 10℃의 찬 공기를 상기 테이프의 성형부분에 분사하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑장치.The chip of claim 10, wherein the cooling unit is an air blower installed at one side of the pressurizing unit, and the air blower injects cold air at −50 to 10 ° C. into a molding part of the tape. Taping device for bonding. 제 10 항에 있어서, 상기 냉각부는 상기 기판의 하측에 설치된 냉각관을 통해 찬 공기를 순환시키므로써 상기 기판이 안치된 부분을 -10 ~ 20℃로 냉각시키는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑장치.11. The chip bonding taping apparatus according to claim 10, wherein the cooling unit cools a portion where the substrate is placed to -10 to 20 ° C by circulating cold air through a cooling tube installed below the substrate. 제 10 항에 있어서, 상기 히터는 70 ~ 120℃로 가열되는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑장치.11. The chip bonding taping apparatus according to claim 10, wherein the heater is heated to 70 to 120 ° C. 제 10 항에 있어서, 상기 부착유닛은 상기 테이프의 성형부분의 지지필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착된 접착필름으로부터 분리하는 지지필름 분리구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑장치.The tape bonding device for chip bonding according to claim 10, wherein the attachment unit further comprises a support film separator for separating the support film of the molded portion of the tape from the adhesive film attached to the chip fixing part of the substrate. . 기판의 칩고정부위에 지지필름과 접착필름으로 이루어진 테이프로부터 접착필름만을 부착하는 칩본딩용 테이핑장치에 있어서,In the chip bonding taping apparatus for attaching only the adhesive film from the tape consisting of the support film and the adhesive film on the chip fixing of the substrate, 상기 테이프를 공급하는 테이프 공급기;A tape feeder for supplying the tape; 상기 테이프에 일정한 형상의 구멍을 뚫는 펀치와, 상기 테이프에서 접착필름만을 일정한 간격으로 절단하는 절단날이 일체로 된 테이프 성형기;A tape molding machine in which a punch for punching a hole of a predetermined shape in the tape and a cutting blade for cutting only the adhesive film from the tape at regular intervals are integrated; 상기 테이프 성형기에서 일정한 형상으로 성형된 상기 테이프를 상기 기판의 칩고정부위에 부착한 후, 상기 지지필름만을 분리하는 테이프 부착기; A tape attacher for attaching the tape formed in a predetermined shape in the tape molding machine onto a chip fixing part of the substrate and separating only the support film; 상기 지지필름을 되감는 테이프 회수기; 및A tape recovery machine rewinding the support film; And 상기 테이프 공급기, 테이프 성형기, 테이프 부착기, 및 테이프 회수기를 제어하여 상기 테이프의 접착필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착하고 상기 지지필름을 회수하는 제어기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑장치.And a controller for controlling the tape feeder, the tape molding machine, the tape attaching machine, and the tape recovering machine to attach the adhesive film of the tape on the chip fixing part of the substrate and to recover the supporting film. Device. 삭제delete 제 15 항에 있어서, 상기 테이프 부착기는,The method of claim 15, wherein the tape attacher, 상기 기판이 고정되는 기판고정부와, 상기 기판고정부의 상측에 설치되며, 상기 기판의 칩고정부위의 위치를 검출하는 제1비젼카메라, 및 상기 기판고정부의 하측에 설치되며, 상기 제1비젼카메라의 위치정보에 따라 상기 기판의 칩고정부위를 상기 부착유닛의 하측에 위치시키는 엑스-와이 테이블(X-Y Table)을 포함하며, 상기 기판의 칩고정부위의 위치를 조정하는 기판위치 조정유닛;A substrate fixing part to which the substrate is fixed, a first vision camera installed on an upper side of the substrate fixing part, and detecting a position on a chip fixing part of the substrate, and a lower part of the substrate fixing part; A substrate position adjusting unit including an X-Y table for positioning the chip fixing part of the substrate under the attachment unit according to the position information of the vision camera, and adjusting the position of the chip fixing part of the substrate; 상기 테이프의 성형된 부분의 위치를 검출하는 제2비젼카메라와, 상기 기판 위치 조정유닛의 일측에 설치되며, 상기 제2비젼카메라의 위치정보에 따라 상기 테이프의 성형된 부분을 상기 부착유닛의 하측에 위치시키는 인덱스 피더를 포함하며, 상기 기판의 칩고정부위에 대한 상기 테이프의 성형된 부분의 위치를 조정하는 테이프위치 조정유닛; 및A second vision camera for detecting the position of the molded portion of the tape, and is provided on one side of the substrate position adjusting unit, the molded portion of the tape in accordance with the position information of the second vision camera to the lower side of the attachment unit A tape position adjusting unit including an index feeder positioned at a position of the tape feeder, the tape position adjusting unit adjusting a position of the molded portion of the tape with respect to the chip fixing portion of the substrate; And 상기 테이프의 성형부분을 가열하는 히터와, 상기 테이프의 성형부분을 상기 기판의 칩본딩부위에 대해 누르는 가압부, 및 상기 기판의 칩본딩부위에 부착된 상기 테이프의 성형부분을 냉각시키는 냉각부를 포함하며, 상기 테이프의 성형된 부분의 접착필름을 상기 기판의 칩고정부위에 부착시키는 부착유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑장치.A heater for heating the molded portion of the tape, a press portion for pressing the molded portion of the tape against the chip bonding portion of the substrate, and a cooling portion for cooling the molded portion of the tape attached to the chip bonding portion of the substrate. And an attachment unit for attaching the adhesive film of the molded portion of the tape to the chip fixing part of the substrate. 기판의 칩고정부위에 지지필름과 접착필름으로 이루어진 테이프로부터 접착필름만을 부착하는 칩본딩용 테이핑방법에 있어서,In the chip bonding taping method for attaching only the adhesive film from the tape consisting of the support film and the adhesive film on the chip fixing of the substrate, 하나의 동작으로 상기 테이프의 접착필름만을 일정 간격으로 절단하고, 절단된 접착필름의 중앙에 지지필름을 관통하는 일정한 구멍을 성형함으로써, 상기 테이프를 상기 기판의 칩고정부위의 형상에 대응되도록 성형하는 단계;By cutting only the adhesive film of the tape at a predetermined interval in one operation, and forming a predetermined hole penetrating the support film in the center of the cut adhesive film, forming the tape to correspond to the shape of the chip fixing portion of the substrate step; 상기 테이프의 성형부분을 상기 기판의 칩고정부위에 일치시키는 단계;Matching the molded portion of the tape to the chip fixing portion of the substrate; 상기 테이프의 성형부분을 상기 기판의 칩고정부위에 열과 압력을 가하여 부착하는 단계; 및Attaching a molded portion of the tape by applying heat and pressure on the chip fixing portion of the substrate; And 상기 기판의 칩고정부위로부터 상기 테이프의 지지필름을 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑방법.And separating the support film of the tape from the chip fixing part of the substrate. 삭제delete 제 18 항에 있어서, 상기 일치단계에서는, 비젼카메라를 이용하여 상기 테이프의 성형부분과 상기 기판의 칩본딩부위를 일치시키는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑방법.19. The method of claim 18, wherein in the matching step, the molded portion of the tape is aligned with the chip bonding portion of the substrate using a vision camera. 제 18 항에 있어서, 상기 부착단계에서는 70 ~ 120℃로 가열된 히터로 상기 테이프의 성형부분을 가열하여 부착한 후, -50 ~ 10℃의 찬 공기를 분사하여 상기 테이프의 성형부분을 냉각하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이핑방법.19. The method of claim 18, wherein in the attaching step, the molded part of the tape is heated and attached by a heater heated to 70 to 120 ° C., and then cold air of −50 to 10 ° C. is sprayed to cool the molded part of the tape. Taping method for chip bonding, characterized in that.
KR1020030072972A 2003-10-20 2003-10-20 Taping device for chip bonding and taping method for chip bonding KR100572157B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030072972A KR100572157B1 (en) 2003-10-20 2003-10-20 Taping device for chip bonding and taping method for chip bonding

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030072972A KR100572157B1 (en) 2003-10-20 2003-10-20 Taping device for chip bonding and taping method for chip bonding

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050037719A KR20050037719A (en) 2005-04-25
KR100572157B1 true KR100572157B1 (en) 2006-04-19

Family

ID=37240334

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030072972A KR100572157B1 (en) 2003-10-20 2003-10-20 Taping device for chip bonding and taping method for chip bonding

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100572157B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101145187B1 (en) * 2010-09-08 2012-05-14 (주)우리엔지니어링 Laminating apparatus and method

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050037719A (en) 2005-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3082697B2 (en) Anisotropic conductive film sticking method and apparatus
EP0994641A1 (en) Apparatus and method for mounting electronic component
JP3595125B2 (en) Adhesive sticking device
US7517419B2 (en) Substrate support jig, circuit board production apparatus, and method of producing circuit board
KR100572157B1 (en) Taping device for chip bonding and taping method for chip bonding
JP2003142897A (en) Support jig for board as well as apparatus and method for manufacturing circuit board
JP5125536B2 (en) Adhesive tape supply unit
KR101396221B1 (en) Apparatus for bonding printed circuit on fpd panel
JP2009147089A (en) Apparatus and method for mounting electronic component
JP4958817B2 (en) Electronic component mounting equipment
KR100591074B1 (en) System for attaching anisotropic conductive material on flexible printed circuit board for chip on film
KR200210465Y1 (en) Automatic thermocompression bonding of anisotropic conductive film for flexible substrate in PDP
JP2001308149A (en) Apparatus and method of mounting semiconductor for fpc
KR19980020107A (en) Anisotropic Conductive Film Attachment Machine
KR101365077B1 (en) Apparatus for bonding printed circuit on fpd panel
KR20110029617A (en) Stiffener film adhering device
JP3175737B2 (en) Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method
JP4882977B2 (en) Tape end detection method and tape supply device
JP6439142B2 (en) Component mounting apparatus and component mounting method
JP2021009931A (en) Sticking device and sticking method
KR100624201B1 (en) Chip bonding tape attaching system
JP2005123636A (en) Support jig for board, and apparatus and method for manufacturing circuit board
KR100600532B1 (en) Chip bonding tape attaching apparatus
KR101609868B1 (en) Tape feeding apparatus and tape control method thereof
JP5325669B2 (en) ACF sticking device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130409

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140403

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170405

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180409

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190403

Year of fee payment: 14