KR100567882B1 - Aligner of the wafer transfer station and method the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 특히 본 발명의 얼라인 방법은 트랜스퍼 스테이션의 웨이퍼 가이드에 웨이퍼를 안착시키는 단계와, 웨이퍼 지지부재에 배치되는 웨이퍼 존재 감지부를 통해 웨이퍼 가이드에 웨이퍼가 존재하는지 판단하는 단계와, 판단 결과, 웨이퍼가 존재하지 않을 경우 웨이퍼 지지부재들 사이에 배치되는 얼라인 구동부를 작동하여 얼라인 구동부의 끝단에 수직으로 연결된 걸림판으로 웨이퍼 끝단을 맞추는 단계와, 얼라인 구동부와 걸림판 사이의 연결 부재에 배치되는 웨이퍼 얼라인 감지부를 통해 웨이퍼 끝단이 감지되는지 판단하는 단계와, 판단 결과, 웨이퍼 끝단이 감지될 경우 얼라인 구동부를 정지시키는 단계를 포함한다. 그러므로, 본 발명은 웨이퍼 가이드에 웨이퍼가 기울어져 안착되더라도 수평으로 얼라인할 수 있어 웨이퍼 이송시 파손을 줄일 수 있다. The present invention relates to an alignment apparatus and method of the wafer transfer station, and in particular, the alignment method of the present invention includes the steps of seating the wafer on the wafer guide of the transfer station, and the wafer through a wafer presence detector disposed on the wafer support member. Determining whether the wafer is present in the guide, and if it is determined that the wafer does not exist to operate the alignment drive disposed between the wafer support members to fit the wafer end with a locking plate perpendicular to the end of the alignment drive. And determining whether a wafer end is detected through a wafer alignment detector disposed on the connection member between the alignment driver and the stopping plate, and stopping the alignment driver when the wafer end is detected. do. Therefore, the present invention can align horizontally even when the wafer is inclined and seated on the wafer guide, thereby reducing breakage during wafer transfer.

웨이퍼 트랜스퍼 스테이션, 얼라인, 감지, 실린더, 밸브Wafer Transfer Station, Align, Sensing, Cylinder, Valve

Description

웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 장치 및 그 방법{ALIGNER OF THE WAFER TRANSFER STATION AND METHOD THE SAME}Alignment apparatus of wafer transfer station and its method {ALIGNER OF THE WAFER TRANSFER STATION AND METHOD THE SAME}

도 1a 및 도 1b는 종래 기술에 의한 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 구조를 나타낸 도면들,1a and 1b are views showing the structure of a wafer transfer station according to the prior art,

도 2는 종래 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션에서의 웨이퍼 미스 얼라인으로 인한 불량 상태를 나타낸 도면,2 is a view showing a bad state due to wafer misalignment in a conventional wafer transfer station;

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 구조를 나타낸 도면들,3A and 3B are views showing the structure of a wafer transfer station according to an embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 장치를 나타낸 구성도,4 is a block diagram showing an alignment apparatus of a wafer transfer station according to an embodiment of the present invention;

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 방법을 나타낸 흐름도.5 is a flowchart illustrating an alignment method of a wafer transfer station according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100 : 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션 102 : 웨이퍼 지지부재100 wafer transfer station 102 wafer support member

104 : 웨이퍼 가이드 106 : 중심축104: wafer guide 106: central axis

108 : 웨이퍼 존재 감지부 110 : 얼라인 구동부108: wafer presence detector 110: alignment driver

112 : 연결 부재 114 : 걸림판112: connecting member 114: locking plate

116 : 웨이퍼 얼라인 감지부 120 : 컨트롤러116: wafer alignment detection unit 120: controller

130 : 공압 공급부 140 : 솔레노이드 밸브 130: pneumatic supply section 140: solenoid valve

본 발명은 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션(wafer transfer station)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 동일한 반응 챔버에서 제조 공정을 진행하고자 웨이퍼를 이송하기전에 웨이퍼를 안착하는 트랜스퍼 스테이션에서 웨이퍼가 수평으로 정확하게 얼라인되었는지를 측정하고 이를 보정할 수 있는 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 장치 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer transfer station, and more particularly, to determine whether the wafer is correctly aligned horizontally in the transfer station that seats the wafer before transferring the wafer to proceed with the manufacturing process in the same reaction chamber. The present invention relates to an alignment device of a wafer transfer station and a method for correcting the same.

반도체 소자의 표면을 평탄화하기 위하여 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 장비가 널리 사용되고 있는데, CMP 장비는 화학적 연마와 기계적 연마를 한꺼번에 수행하여 반도체 소자의 표면을 평탄화한다.In order to planarize the surface of the semiconductor device, CMP (Chemical Mechanical Polishing) equipment is widely used, and the CMP equipment performs chemical polishing and mechanical polishing at the same time to planarize the surface of the semiconductor device.

그런데, 최근에는 CMP 장비에서 웨이퍼 폴리싱뿐만 아니라, 세정 및 건조 공정이 함께 진행되고 있는데, 이러한 일련의 제조 공정을 위해서는 웨이퍼를 다음 공정으로 진행하기 전에 웨이퍼를 트랜스퍼 스테이션에 안착한 후에 다음 공정으로 이송되도록 하고 있다. However, recently, not only wafer polishing but also cleaning and drying processes are being carried out in the CMP equipment. For this series of manufacturing processes, the wafer is placed in the transfer station before being transferred to the next process, and then transferred to the next process. have.

도 1a 및 도 1b는 종래 기술에 의한 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 구조를 나타낸 도면들로서, 이를 도면을 참조하면 종래 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션(10)은 적어도 2개이상의 웨이퍼 지지부재들(12)을 포함하고, 이 웨이퍼 지지부재들(12) 끝 단에 각각 수직으로 연결되며 지지돌기에 의한 걸림턱에 웨이퍼 밑면이 닿아 웨이퍼(20)가 수평으로 안착되는 웨이퍼 가이드(14)를 포함한다. 그리고 웨이퍼 지지부재들(12) 중에서 어느 하나에 웨이퍼 존재 감지부(18)가 추가 설치되어 웨이퍼(20)가 웨이퍼 가이드(14)에 수평 상태로 안착되었는지를 감지한다.1A and 1B are views illustrating a structure of a wafer transfer station according to the prior art. Referring to the drawings, the conventional wafer transfer station 10 includes at least two wafer support members 12, and this wafer The wafer members 14 are vertically connected to the ends of the supporting members 12, and the bottom surface of the wafer touches the latching jaw by the supporting protrusions so that the wafer 20 is horizontally seated. In addition, a wafer presence detector 18 is additionally installed on any one of the wafer support members 12 to detect whether the wafer 20 is mounted on the wafer guide 14 in a horizontal state.

예컨대 웨이퍼 존재 감지부(18)는 포토 커플러로 구성되어 포토 커플러의 발광부 빛이 포토 커플러의 수광부에 도달하게 되면 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션(10)의 컨트롤러(미도시됨)는 웨이퍼(20)가 존재하지 않는다고 판단하여 CMP 공정이 완료된 웨이퍼(20)를 로봇 아암으로 옮겨 웨이퍼 가이드(14)에 안착되도록 한다.For example, the wafer presence detecting unit 18 is configured as a photo coupler. When the light of the light emitting unit of the photo coupler reaches the light receiving unit of the photo coupler, the controller (not shown) of the wafer transfer station 10 does not have the wafer 20. If not, the wafer 20 having completed the CMP process is transferred to the robot arm to be seated on the wafer guide 14.

또한 웨이퍼 존재 감지부(18)에서 포토 커플러의 발광부 빛이 웨이퍼 가이드(14)에 안착된 웨이퍼(20)를 통해 포토 커플러의 수광부에 도달하지 않게 되면, 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션(10)의 컨트롤러(미도시됨)는 웨이퍼(20)가 존재한다고 판단하고, 다른 제조 공정인 세정 공정을 진행하고자 로봇 아암을 이용하여 웨이퍼 가이드(14)에 안착된 웨이퍼를 올려 세정 장비로 웨이퍼를 이송한다.In addition, when the light of the light emitting portion of the photo coupler does not reach the light receiving portion of the photo coupler through the wafer 20 seated on the wafer guide 14 in the wafer presence detector 18, the controller of the wafer transfer station 10 It is determined that the wafer 20 exists, and the wafer is mounted on the wafer guide 14 using the robot arm to transfer the wafer to the cleaning equipment in order to proceed with the cleaning process, which is another manufacturing process.

하지만 도 2와 같이, 웨이퍼 가이드(14)에 웨이퍼(20)가 수평으로 안착되지 않고 기울어져 있다면, 웨이퍼 존재 감지부(18)를 통해 웨이퍼의 존재 유/무를 잘못 감지하고 이로 인해 웨이퍼를 잘못 이송하게 되어 웨이퍼가 손상(30)되는 문제점이 발생하게 된다.However, as shown in FIG. 2, if the wafer 20 is inclined to the wafer guide 14 without being horizontally seated, the wafer presence detector 18 incorrectly detects the presence or absence of the wafer and thereby transfers the wafer incorrectly. The problem is that the wafer is damaged (30).

본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 웨이퍼 지지부재들 사이에 수평으로 배치되어 길이가 증가 또는 감소되는 얼라인 구동 부와 상기 얼라인 구동부의 끝단에 웨이퍼와 맞닿는 걸림판을 추가함으로서 웨이퍼 가이드에 웨이퍼가 기울어져 안착되더라도 수평으로 얼라인할 수 있어 웨이퍼 이송시 파손을 줄일 수 있는 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 장치를 제공하는데 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an alignment driving unit horizontally disposed between wafer support members to solve the problems of the prior art as described above, and an engaging plate contacting the wafer at the end of the alignment driving unit. In addition, it is possible to align the wafer horizontally even if the wafer is tilted seated on the wafer guide to provide an alignment device of the wafer transfer station that can reduce damage during wafer transfer.

본 발명의 다른 목적은 웨이퍼 가이드에 안착된 웨이퍼가 존재하지 않는다고 감지될 경우 얼라인 구동부를 작동시켜 걸림판을 통해 웨이퍼 끝단을 맞닿도록 하여 웨이퍼 가이드에 웨이퍼가 수평으로 안착되도록 한 후에 웨이퍼 끝단을 감지하여 얼라인 구동부를 정지함으로써 웨이퍼 가이드에 웨이퍼를 수평으로 안착시켜 웨이퍼 이송시 웨이퍼 파손을 줄일 수 있는 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to detect the wafer end after the wafer is placed horizontally in the wafer guide by operating the alignment drive to contact the end of the wafer through the latching plate when it is detected that there is no wafer seated on the wafer guide By aligning the wafer horizontally to the wafer guide by stopping the alignment drive unit to provide an alignment method of the wafer transfer station that can reduce the wafer breakage during wafer transfer.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 적어도 2개이상의 웨이퍼 지지부재들과, 웨이퍼 지지부재들 끝단에 각각 수직으로 연결되며 걸림턱에 의해 웨이퍼 밑면이 닿아 웨이퍼를 수평으로 안착시키는 웨이퍼 가이드를 갖는 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션에 있어서, 웨이퍼 지지부재들중에서 어느 하나에 배치되어 웨이퍼의 존재 유/무를 감지하는 웨이퍼 존재 감지부와, 웨이퍼 지지부재들 사이에 적어도 2개이상 배치되어 작동시 길이가 감소되며 정지시 길이가 증가되는 얼라인 구동부와, 얼라인 구동부의 끝단에 각각 수직으로 연결되어 웨이퍼 가이드에 안착된 웨이퍼 끝단과 맞닿는 걸림판과, 웨이퍼 존재 감지부에서 웨이퍼의 존재가 감지되지 않을 경우 얼라인 구동부를 작동하여 걸림판을 통해 웨이퍼 가이드에 안착된 웨이퍼를 수평으로 얼라인하도록 하는 컨트롤러를 포함한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a wafer transfer member having at least two wafer support members and a wafer guide vertically connected to the ends of the wafer support members, respectively, and having a wafer guide horizontally seated on the bottom surface of the wafer by a latching jaw. In the station, a wafer presence detector disposed on any one of the wafer support members to detect the presence / absence of the wafer, and at least two or more are disposed between the wafer support members to reduce the length during operation and to reduce the length during the stop. The alignment drive unit which is increased, the engaging plate which is vertically connected to the end of the alignment drive unit and comes into contact with the wafer end seated on the wafer guide, and the alignment drive unit is operated when the presence of the wafer is not detected by the wafer presence detecting unit. Horizontally align the wafer seated on the wafer guide through the catch plate. And a lock controller.

상기 다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 적어도 2개이상의 웨이퍼 지지부재들과, 웨이퍼 지지부재들 끝단에 각각 수직으로 연결되며 걸림턱에 의해 웨이퍼 밑면이 닿아 웨이퍼를 수평으로 안착시키는 웨이퍼 가이드를 갖는 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션에서 웨이퍼를 얼라인하는 방법에 있어서, 웨이퍼 가이드에 웨이퍼를 안착시키는 단계와, 웨이퍼 지지부재에 배치되는 웨이퍼 존재 감지부를 통해 웨이퍼 가이드에 웨이퍼가 존재하는지 판단하는 단계와, 판단 결과, 웨이퍼가 존재하지 않을 경우 웨이퍼 지지부재들 사이에 배치되는 얼라인 구동부를 작동하여 얼라인 구동부의 끝단에 수직으로 연결된 걸림판으로 웨이퍼 끝단을 맞추는 단계와, 얼라인 구동부와 걸림판 사이의 연결 부재에 배치되는 웨이퍼 얼라인 감지부를 통해 웨이퍼 끝단이 감지되는지 판단하는 단계와, 판단 결과, 웨이퍼 끝단이 감지될 경우 얼라인 구동부를 정지시키는 단계를 포함한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a wafer having at least two wafer support members and a wafer guide connected vertically to the ends of the wafer support members, and having a wafer guide horizontally seated on the bottom surface of the wafer by a latching jaw. A method of aligning a wafer in a transfer station, the method comprising: seating a wafer on a wafer guide; determining whether the wafer is present in the wafer guide through a wafer presence detector disposed on the wafer support member; If not present, operating the alignment drive unit disposed between the wafer support members to align the wafer end with a locking plate vertically connected to the end of the alignment driving unit, and disposed on the connecting member between the alignment driving unit and the locking plate. Wafer tip is wound through wafer alignment detector If the determining step, and a determination result of, and a step for stopping the alignment drive section when the wafer edge is detected.

이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 구조를 나타낸 도면들이다. 도 3a는 측면 구조를 나타낸 도면이며 도 3b는 상부 평면 구조를 나타낸 도면이다.3A and 3B are diagrams illustrating the structure of a wafer transfer station according to an embodiment of the present invention. Figure 3a is a view showing the side structure and Figure 3b is a view showing the top planar structure.

이를 도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 실시예의 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션(100)은 적어도 2개이상의 웨이퍼 지지부재들(102)을 포함하고, 이 웨이퍼 지지부재들(102) 끝단에 각각 수직으로 연결되며 지지돌기에 의한 걸림턱에 웨이퍼 밑면이 닿아 웨이퍼(미도시함)가 수평으로 안착되는 웨이퍼 가이드(104)를 포함한다. 그리고 웨이퍼 지지부재들(102) 중에서 어느 하나에 웨이퍼 존재 감지부(108)가 추가 설치되어 웨이퍼가 웨이퍼 가이드(104)에 수평 상태로 안착되었는지를 감지한다.3A and 3B, the wafer transfer station 100 of the present embodiment includes at least two wafer support members 102, each of which is vertically connected to the ends of the wafer support members 102. It includes a wafer guide 104 that the bottom surface of the wafer touches the latching jaw by the support protrusion to seat the wafer (not shown) horizontally. In addition, a wafer presence detector 108 is additionally installed on any one of the wafer support members 102 to detect whether the wafer is seated on the wafer guide 104 in a horizontal state.

또한 본 발명의 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션(100)은 웨이퍼 지지부재들(102) 사이에 적어도 2개이상 수평으로 배치되어 길이가 증가 또는 감소하는 얼라인 구동부(110)를 포함하고, 얼라인 구동부(110)의 끝단에 연결 부재(112)를 통해 수직으로 연결되어 웨이퍼 가이드(104)에 안착된 웨이퍼 끝단과 맞닿는 걸림판(114)을 더 포함한다. 게다가 본 발명은 어느 하나의 얼라인 구동부(110)와 걸림판(114) 사이의 연결 부재(112)에 배치되어 웨이퍼 끝단을 감지하는 웨이퍼 얼라인 감지부(116)를 더 포함한다.In addition, the wafer transfer station 100 of the present invention includes an alignment driver 110 that is disposed horizontally between at least two wafer support members 102 to increase or decrease in length, and the alignment driver 110. It further includes a locking plate 114 vertically connected to the end of the through-connecting member 112 and abutting the end of the wafer seated on the wafer guide 104. In addition, the present invention further includes a wafer alignment detecting unit 116 disposed on the connection member 112 between any one of the alignment driving unit 110 and the locking plate 114 to detect the wafer end.

여기서, 웨이퍼 존재 감지부(108) 및 웨이퍼 얼라인 감지부(116)는 각각 포토 커플러로 구성되어 포토 커플러의 발광부 빛이 포토 커플러의 수광부에 도달하게 되면 웨이퍼가 존재하거나 웨이퍼 끝단이 맞춰져 얼라인되었다고 감지한다. 만약 그렇지 않을 경우에는 웨이퍼가 존재하지 않거나 웨이퍼 끝단이 맞춰지지 않았다고 감지한다.Here, the wafer presence detecting unit 108 and the wafer alignment detecting unit 116 are each composed of a photo coupler, and when the light of the light emitting portion of the photo coupler reaches the light receiving portion of the photo coupler, the wafer exists or the end of the wafer is aligned to align the alignment. It is detected. If not, it is detected that the wafer is not present or the wafer tip is not aligned.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 장치를 나타낸 구성도이다. 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 장치는 도 3a 및 도 3b의 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션에서 웨이퍼 가이드에 웨이퍼를 수평으로 얼라인하기 위해서 다음과 같이 컨틀롤러(120), 소스원 공급부(130), 밸브(140)로 구성된다.4 is a block diagram illustrating an alignment apparatus of a wafer transfer station according to an exemplary embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, in the alignment apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention, in order to horizontally align the wafer to the wafer guide in the wafer transfer station of FIGS. 3A and 3B, the controller 120 and the source source are as follows. It is composed of the supply unit 130, the valve 140.

본 발명의 컨트롤러(120)는 웨이퍼 존재 감지부(108) 또는 웨이퍼 얼라인 감지부(116)의 감지 신호를 입력받아 밸브(140)를 온(on)/오프(off)하는 신호를 발생하고 이에 따라 얼라인 구동부(110)를 작동 또는 정지시킨다. 즉, 컨트롤러(120)는 웨이퍼 존재 감지부(108)에서 웨이퍼의 존재가 감지되지 않을 경우 밸브(140)를 온(on)으로 하여 얼라인 구동부(110)를 작동한다. 이에 따라 얼라인 구동부(110)의 연결 부재(112)의 길이가 감소함에 따라 연결 부재(112)에 연결된 걸림판(114)을 통해 웨이퍼 끝단을 맞추어 웨이퍼 가이드에 안착된 웨이퍼를 수평으로 얼라인한다. 그리고 웨이퍼 얼라인 감지부(116)에서 웨이퍼 끝단이 감지될 경우 밸브(140)를 오프(off)로 하여 얼라인 구동부(110)의 작동을 정지시킨다. 이에 따라 얼라인 구동부(110)의 연결 부재(112)의 길이가 증가됨에 따라 걸림판(114)이 웨이퍼 끝단으로부터 바깥쪽으로 멀어지게 된다.The controller 120 of the present invention receives a detection signal from the wafer presence detecting unit 108 or the wafer alignment detecting unit 116 and generates a signal for turning on / off the valve 140. Accordingly, the alignment driver 110 is operated or stopped. That is, when the presence of the wafer is not detected by the wafer presence detector 108, the controller 120 turns on the valve 140 to operate the alignment driver 110. Accordingly, as the length of the connecting member 112 of the alignment driver 110 decreases, the wafer end aligned with the end of the wafer through the locking plate 114 connected to the connecting member 112 to horizontally align the wafer seated on the wafer guide. . When the wafer edge is detected by the wafer alignment detector 116, the valve 140 is turned off to stop the operation of the alignment driver 110. Accordingly, as the length of the connecting member 112 of the alignment driver 110 increases, the stopping plate 114 is moved away from the wafer end.

한편 본 발명의 얼라인 구동부(110)는 실린더, 액츄에이터, 및 모터 중에서 어느 하나이고, 소스원 공급부(130)의 소스원또한 얼라인 구동부(110)의 기기에 맞추어 공기압, 전원 및 전류 중에서 어느 하나를 사용한다. 본 실시예에서는 실린더 타입의 얼라인 구동부(110)와 소스원으로 공기압을 예로 든다.Meanwhile, the alignment driver 110 of the present invention is any one of a cylinder, an actuator, and a motor, and the source source of the source source supply unit 130 may be any one of air pressure, power, and current according to the device of the alignment driver 110. Use In the present embodiment, the cylinder-type alignment drive unit 110 and the air pressure as the source source is taken as an example.

그리고 밸브(140)또한 솔레노이드 밸브를 사용하여 컨트롤러(120)의 작동에 따라 온(on)/오프(off)하여 공기압 공급부(130)의 공기압을 얼라인 구동부(110)인 실린더에 공급하거나 차단한다. 이에 따라 솔레노이드 밸브(140)가 온(on)일 경우 얼라인 구동부(110)인 실린더에 공기압이 공급되어 연결 부재(112)인 피스톤 로드의 길이가 감소하게 되어 걸림판(114)이 웨이퍼 끝단 위치쪽으로 움직이게 된다. 반면에 솔레노이드 밸브(140)가 오프(off)일 경우 얼라인 구동부(110)인 실린더에 공기압이 차단되어 연결 부재(112)인 피스톤 로드의 길이가 증가되어 걸림판(114)이 웨이퍼 위치와는 멀어지게 바깥쪽으로 움직이게 된다.In addition, the valve 140 also uses a solenoid valve to turn on / off the operation of the controller 120 to supply or block the air pressure of the air pressure supply unit 130 to the cylinder that is the alignment drive unit 110. . Accordingly, when the solenoid valve 140 is on, air pressure is supplied to the cylinder that is the alignment drive unit 110, thereby reducing the length of the piston rod, which is the connecting member 112, so that the latch plate 114 is positioned at the wafer end. Will move to the side. On the other hand, when the solenoid valve 140 is off (off), the air pressure is blocked in the cylinder of the alignment drive unit 110, the length of the piston rod of the connecting member 112 is increased so that the locking plate 114 is different from the wafer position. They move outward.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 방법을 나타낸 흐름도이다. 이들 도면들을 참조하면 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 장치는 다음과 같이 작동된다.5 is a flowchart illustrating an alignment method of a wafer transfer station according to an embodiment of the present invention. Referring to these figures, the alignment apparatus of the wafer transfer station according to the present invention configured as described above operates as follows.

로봇 아암(미도시됨)으로 웨이퍼를 이송하여 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 웨이퍼 가이드(104)에 웨이퍼(미도시됨)를 안착시킨다. 이에 웨이퍼 가이드(104)의 지지돌기에 의한 걸림턱에 웨이퍼 밑면이 닿아 웨이퍼가 수평으로 안착된다.(S10)The wafer is transferred to a robot arm (not shown) to seat the wafer (not shown) on the wafer guide 104 of the wafer transfer station. As a result, the bottom surface of the wafer touches the latching jaw caused by the support protrusion of the wafer guide 104, and the wafer is horizontally seated.

그리고 웨이퍼 존재 감지부(108)를 통해 웨이퍼 가이드(104)에 웨이퍼가 존재하는지를 감지한다.(S12)The wafer presence detector 108 detects whether a wafer exists in the wafer guide 104 (S12).

컨트롤러(120)는 웨이퍼 존재 감지부(108)의 감지 신호를 입력받아 웨이퍼 가이드(104)에 웨이퍼가 존재하는지 판단한다.(S14)The controller 120 receives the detection signal of the wafer presence detecting unit 108 and determines whether a wafer exists in the wafer guide 104 (S14).

S14의 판단 결과, 웨이퍼 가이드(104)에 웨이퍼가 안착되더라도 웨이퍼 존재 감지부(108)에서 웨이퍼가 존재하지 않는다고 감지될 경우 컨트롤러(120)는 솔레노이드 밸브(140)에 온(on) 신호를 보내고, 이에 솔레노이드 밸브(140)는 온(on)으로 작동하여 공압 공급부(130)의 공기압을 얼라인 구동부(110)인 실린더로 보낸다. 얼라인 구동부(110)인 실린더는 공기압에 의해 압축 구동하여 연결 부재(112)인 피 스톤 로드의 길이가 감소하게 되고 이로 인해 걸림판(114)이 웨이퍼 끝단 위치쪽으로 움직이게 된다.(S16∼S20)As a result of the determination of S14, even when the wafer is seated on the wafer guide 104, when the wafer presence detecting unit 108 detects that the wafer does not exist, the controller 120 sends an on signal to the solenoid valve 140. The solenoid valve 140 is operated on to send the air pressure of the pneumatic supply unit 130 to the cylinder which is the alignment drive unit 110. The cylinder, which is the alignment drive unit 110, is compressed and driven by pneumatic pressure, thereby reducing the length of the piston rod, which is the connecting member 112, thereby causing the locking plate 114 to move toward the wafer end position. (S16 to S20)

그 다음 웨이퍼 얼라인 감지부(116)를 통해 웨이퍼 끝단을 감지한다.(S22)Then, the wafer edge is detected through the wafer alignment detecting unit 116. (S22)

이에 컨트롤러(120)는 웨이퍼 얼라인 감지부(116)의 감지 신호를 입력받아 웨이퍼 끝단이 감지되어 웨이퍼 가이드(104)에 웨이퍼가 수평으로 얼라인되었는지 판단한다.(S24)In response, the controller 120 receives the detection signal of the wafer alignment detecting unit 116 and detects a wafer end to determine whether the wafer is horizontally aligned with the wafer guide 104 (S24).

S24의 판단 결과, 웨이퍼 끝단이 감지되지 않았을 경우 컨트롤러(120)는 S16∼S20단계를 수행하여 웨이퍼 얼라인 구동부(110)의 연결 부재(112) 길이를 감소시켜서 걸림판(114)에 웨이퍼 끝단이 맞춰지도록 하여 웨이퍼 가이드(104)에 웨이퍼가 수평으로 얼라인되어 안착되도록 한다.As a result of the determination of S24, when the wafer edge is not detected, the controller 120 performs steps S16 to S20 to reduce the length of the connection member 112 of the wafer alignment driver 110 so that the wafer edge is attached to the latching plate 114. To ensure alignment, the wafer is horizontally aligned and seated on the wafer guide 104.

이에 반하여 S24의 판단 결과, 웨이퍼 끝단이 감지되어 웨이퍼가 수평으로 웨이퍼 가이드(104)에 얼라인되었을 경우 컨트롤러(120)는 솔레노이드 밸브(140)에 오프(off) 신호를 보내고, 이에 솔레노이드 밸브(140)는 오프(off)로 작동하여 공압 공급부(130)의 공기압을 더 이상 얼라인 구동부(110)인 실린더에 보내지 않는다. 얼라인 구동부(110)인 실린더가 공기압 차단에 의해 신장 구동하여 연결 부재(112)인 피스톤 로드의 길이가 증가하게 되고 이로 인해 걸림판(114)이 웨이퍼 끝단 위치와는 멀어지게 바깥쪽으로 움직이게 된다.(S26∼S28)On the contrary, as a result of the determination of S24, when the wafer end is detected and the wafer is aligned with the wafer guide 104 horizontally, the controller 120 sends an off signal to the solenoid valve 140, and thus the solenoid valve 140 ) Is operated off to no longer send the air pressure of the pneumatic supply 130 to the cylinder, which is the alignment drive 110. The cylinder, which is the alignment drive unit 110, is extended and driven by air pressure blocking, so that the length of the piston rod, which is the connecting member 112, is increased, which causes the locking plate 114 to move outward from the wafer end position. (S26-S28)

이상 상술한 바와 같이, 본 발명은 웨이퍼 지지부재들 사이에 수평으로 배치되어 길이가 증가 또는 감소되는 얼라인 구동부와 상기 얼라인 구동부의 끝단에 웨 이퍼와 맞닿는 걸림판을 추가함으로서 웨이퍼 가이드에 웨이퍼가 기울어져 안착되더라도 수평으로 얼라인할 수 있어 웨이퍼 이송시 파손을 줄일 수 있고 이에 따라 반도체 제조 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the wafer is placed on the wafer guide by adding an alignment driver which is horizontally disposed between the wafer support members and whose length is increased or decreased, and an engaging plate that abuts the wafer at the end of the alignment driver. Even when it is tilted and settled, it can be aligned horizontally, thereby reducing breakage during wafer transfer, thereby improving semiconductor manufacturing yield.

한편, 본 발명은 상술한 실시예에 국한되는 것이 아니라 후술되는 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상과 범주내에서 당업자에 의해 여러 가지 변형이 가능하다.On the other hand, the present invention is not limited to the above-described embodiment, various modifications are possible by those skilled in the art within the spirit and scope of the present invention described in the claims to be described later.

Claims (8)

적어도 2개이상의 웨이퍼 지지부재들과, 상기 웨이퍼 지지부재들 끝단에 각각 수직으로 연결되며 걸림턱에 의해 웨이퍼 밑면이 닿아 상기 웨이퍼를 수평으로 안착시키는 웨이퍼 가이드를 갖는 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션에 있어서,A wafer transfer station having at least two wafer support members and a wafer guide vertically connected to the ends of the wafer support members, the wafer guides contacting the bottom surface of the wafer by a latching jaw to seat the wafer horizontally. 상기 웨이퍼 지지부재들중에서 어느 하나에 배치되어 웨이퍼의 존재 유/무를 감지하는 웨이퍼 존재 감지부와,A wafer presence detector disposed on any one of the wafer support members to sense the presence or absence of a wafer; 상기 웨이퍼 지지부재들 사이에 적어도 2개이상 배치되어 작동시 길이가 감소되며 정지시 길이가 증가되는 얼라인 구동부와,An alignment driver having at least two or more disposed between the wafer supporting members, the length of which is reduced in operation and the length of which is increased in stop; 상기 얼라인 구동부의 끝단에 각각 수직으로 연결되어 상기 웨이퍼 가이드에 안착된 상기 웨이퍼 끝단과 맞닿는 걸림판과,A latching plate connected to the ends of the alignment driving unit, the engaging plates contacting the end of the wafer seated on the wafer guide; 상기 웨이퍼 존재 감지부에서 상기 웨이퍼의 존재가 감지되지 않을 경우 상기 얼라인 구동부를 작동하여 상기 걸림판을 통해 상기 웨이퍼 가이드에 안착된 웨이퍼를 수평으로 얼라인하도록 하는 컨트롤러A controller for aligning the wafer seated on the wafer guide horizontally through the locking plate by operating the alignment driver when the wafer presence detector does not detect the presence of the wafer. 를 포함하는 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 장치.Alignment apparatus of the wafer transfer station comprising a. 삭제delete 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 얼라인 구동부는 실린더, 액츄에이터, 및 모터 중에서 어느 하나인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 장치.And the alignment driver is any one of a cylinder, an actuator, and a motor. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 얼라인 구동부에 소스원을 공급하는 공급부와, 상기 컨트롤러의 작동에 따라 상기 공급부의 소스원을 상기 얼라인 구동부에 공급하도록 온/오프하는 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 장치.And a supply unit supplying a source source to the alignment driver, and a valve configured to turn on / off the source source of the supply unit to the alignment driver according to an operation of the controller. Device. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 소스원은 공기압, 전원, 및 전류 중에서 어느 하나인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 장치.And the source source is any one of air pressure, power, and current. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 어느 하나의 얼라인 구동부와 걸림판 사이의 연결 부재에 배치되어 상기 웨이퍼 끝단을 감지하는 웨이퍼 얼라인 감지부를 더 포함하며 상기 컨트롤러에서는 상기 웨이퍼 얼라인 감지부의 웨이퍼 끝단 감지에 따라 상기 얼라인 구동부의 작동을 정지시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 장치.A wafer alignment detector disposed on a connection member between the any one alignment driver and the stopping plate to detect the wafer end, and the controller may further include a wafer alignment detector according to the wafer edge detection of the wafer alignment detector. Alignment apparatus of the wafer transfer station, characterized in that the operation is stopped. 적어도 2개이상의 웨이퍼 지지부재들과, 상기 웨이퍼 지지부재들 끝단에 각 각 수직으로 연결되며 걸림턱에 의해 웨이퍼 밑면이 닿아 상기 웨이퍼를 수평으로 안착시키는 웨이퍼 가이드를 갖는 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션에서 웨이퍼를 얼라인하는 방법에 있어서,Align the wafer in a wafer transfer station having at least two wafer support members and a wafer guide connected vertically to the ends of the wafer support members, the wafer guides touching the bottom surface of the wafer by the latching jaw to seat the wafer horizontally. In the way, 상기 웨이퍼 가이드에 상기 웨이퍼를 안착시키는 단계와,Seating the wafer on the wafer guide; 상기 웨이퍼 지지부재에 배치되는 웨이퍼 존재 감지부를 통해 상기 웨이퍼 가이드에 상기 웨이퍼가 존재하는지 판단하는 단계와,Determining whether the wafer exists in the wafer guide through a wafer presence detector disposed on the wafer support member; 상기 판단 결과, 상기 웨이퍼가 존재하지 않을 경우 상기 웨이퍼 지지부재들 사이에 배치되는 얼라인 구동부를 작동하여 상기 얼라인 구동부의 끝단에 수직으로 연결된 걸림판으로 상기 웨이퍼 끝단을 맞추는 단계와,As a result of the determination, when the wafer does not exist, operating the alignment driver disposed between the wafer support members to align the wafer end with a locking plate vertically connected to the end of the alignment driver; 상기 얼라인 구동부와 상기 걸림판 사이의 연결 부재에 배치되는 웨이퍼 얼라인 감지부를 통해 상기 웨이퍼 끝단이 감지되는지 판단하는 단계와,Determining whether the wafer end is detected by a wafer alignment detector disposed on the connecting member between the alignment driver and the locking plate; 상기 판단 결과, 상기 웨이퍼 끝단이 감지될 경우 상기 얼라인 구동부를 정지시키는 단계Stopping the alignment driver when the wafer end is detected as a result of the determination; 를 포함하는 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 방법.Alignment method of the wafer transfer station comprising a. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 얼라인 구동부는 작동시 길이가 감소되며 정지시 길이가 증가되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼 스테이션의 얼라인 방법.And the alignment driving unit is reduced in length during operation and increased in length when stopped.
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