KR20040013530A - cassette loader equipment of semiconductor device manufacturing equipment - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 로드락챔버 내의 놓이는 카세트로부터 웨이퍼들의 정렬 상태가 정상적인지 여부를 확인할 수 있도록 하여 웨이퍼의 이송 등에 따른 손상 및 파손을 방지하도록 하는 반도체소자 제조설비의 카세트 로더장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette loader device of a semiconductor device manufacturing apparatus for preventing damage and breakage due to transfer of wafers by checking whether wafers are aligned properly from a cassette placed in a load lock chamber.
일반적으로 반도체소자로 제조되기까지 웨이퍼는, 카세트에 복수개 탑재되어 각 공정을 수행하는 각각의 제조설비로 이송되고, 또한 이들 웨이퍼는 각 공정을 수행하는 반도체소자 제조설비 내에서도 그 내부에 설치된 로봇에 의해 인출되어 요구되는 위치로 이송된다.In general, until a semiconductor device is manufactured, a plurality of wafers are mounted in a cassette and transferred to respective manufacturing facilities that perform each process, and these wafers are moved by a robot installed therein within the semiconductor device manufacturing facility that performs each process. It is withdrawn and transported to the required position.
이때 웨이퍼는 로봇에 의해 이송될 수 있는 설정 위치에 있어야 하며, 이것은 카세트가 정확한 위치에 정렬되어 놓일 것과 이렇게 정렬된 카세트로부터 탑재된 웨이퍼가 제한된 범위 내에 있을 것이 요구된다.The wafer must then be in a set position that can be transported by the robot, which requires that the cassettes will be aligned in the correct position and that the wafers loaded from such aligned cassettes will be within a limited range.
따라서, 반도체소자 제조설비 내부에는 카세트를 설정 위치에 있도록 안내하고, 또 카세트와 탑재된 웨이퍼의 위치 상태에 대한 정상 여부를 확인하는 수단을 갖는 카세트 로더장치가 설치된다.Therefore, a cassette loader device is provided inside the semiconductor device manufacturing facility, which has means for guiding the cassette to be in the set position and for confirming whether the cassette and the mounted wafer are in a normal state.
이러한 카세트 로더장치의 구성 중 포토리소그래피 공정을 수행하는 설비에 설치되는 구성에 대하여 살펴보면, 도 1에 도시된 바와 같이, 생산라인과 공정실 사이의 압력 상태를 중재하기 위한 로드락챔버가 있고, 이 로드락챔버 내부에는 로드락챔버 내부로 투입되는 카세트(C)를 받쳐 지지하기 위한 받침판(10)이 수평한 상태로 설치된다.As shown in FIG. 1, there is a load lock chamber for arbitrating a pressure state between a production line and a process chamber. In the load lock chamber, a support plate 10 for supporting and supporting the cassette C introduced into the load lock chamber is installed in a horizontal state.
또한, 카세트(C)가 놓이는 받침판(10)의 상면 상에는, 카세트(C)가 설정 위치에 있도록 그 위치를 안내하는 복수 종류의 가이드블록(12a, 12b, 14a, 14b, 16a, 16b, 18)이 구비되어 있고, 또 카세트(C)가 정상적으로 위치되었는지를 확인하기 위한 카세트 감지센서(20)가 구비되어 있다.In addition, on the upper surface of the support plate 10 on which the cassette C is placed, a plurality of kinds of guide blocks 12a, 12b, 14a, 14b, 16a, 16b, and 18 for guiding the cassette C to be in a set position. And a cassette detecting sensor 20 for checking whether the cassette C is normally positioned.
이들 가이드블록(12a, 12b, 14a, 14b, 16a, 16b, 18)과 카세트 감지센서(20)에 대한 카세트(C)의 위치 관계에 대하여 보다 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.The positional relationship between the guide blocks 12a, 12b, 14a, 14b, 16a, 16b, and 18 and the cassette C with respect to the cassette sensor 20 will be described in more detail.
먼저, 카세트(C)의 구성을 살펴보면, 복수 웨이퍼(W)를 탑재하도록 복수의 슬롯(S)이 형성된 용기 형상을 이루고, 복수 웨이퍼(W)는 각 슬롯(S)에 안내되어 보다 확장된 부위(여기서, 편의상 '전방부'로 기술한다)를 통해 투입 및 인출된다.First, looking at the configuration of the cassette (C), it forms a container shape in which a plurality of slots (S) are formed to mount a plurality of wafers (W), the plurality of wafers (W) is guided to each slot (S) to expand more (Herein referred to as 'front part' for convenience).
또한 카세트(C) 전방부의 웨이퍼(W) 배열 방향에 대한 좌·우측 주연 부위는 작업자가 파지할 수 있도록 하는 손잡이부(ha)를 이루고, 또 웨이퍼(W)의 배열 방향에 있는 카세트(C) 측벽 상에도 작업자가 파지할 수 있도록 하는 다른 손잡이(hb)가 구비된다.In addition, the left and right peripheral portions with respect to the wafer W arrangement in the front portion of the cassette C form a handle portion ha for allowing a worker to grip the cassette C, and the cassette C in the arrangement direction of the wafer W. Other handles (hb) are also provided on the side wall to allow the operator to grip.
그리고, 상술한 손잡이(hb)가 형성된 상대측의 카세트(C) 측벽 상에는 복수 웨이퍼(W)가 수직 방향으로 배열됨에 대응하여 그 수평 상태를 지지하도록 하는 중심 지지대(g1)와 측부 지지대(g2)가 형성되어 있다.In addition, a center support g1 and a side support g2 are formed on the sidewalls of the cassette C on the opposite side where the handle hb is formed to support the horizontal state in response to the plurality of wafers W being arranged in the vertical direction. Formed.
이에 더하여 상술한 카세트(C) 전방부의 손잡이부(ha)로부터 후방부 방향으로 연장된 측부벽(rw)은 탑재되는 웨이퍼(W)의 측부 소정 부위를 양측으로부터 감싸는 형상으로 굴곡되고, 카세트(C)의 후방부는 다시 웨이퍼(W)의 소정 부위가 노출되게 개방되어 그 주연이 다리부(b)를 이룬다.In addition, the side wall rw extending in the rearward direction from the handle portion ha of the front portion of the cassette C described above is bent in a shape that surrounds a side portion of the wafer W on which the wafer W is mounted from both sides. The rear part of the back) is opened again to expose a predetermined portion of the wafer W, and the circumference thereof forms the leg part b.
이러한 카세트(C)에 대응하는 받침판(10) 상에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상술한 중심 지지대(g1)와 측부 지지대(g2)가 접촉 지지되는 부위가 소정의 평탄도를 이루고, 상술한 양측 손잡입부(ha), 다리부(b), 측부벽(rw) 및 중심 지지대(g1)에 대응하는 부위에는 카세트(C)를 설정 위치로 안내하기 위해 각각에 대하여 가이드블록(12a, 12b, 14a, 14b, 16a, 16b, 18)이 구비된다.On the support plate 10 corresponding to the cassette C, as shown in FIG. 1, a portion where the above-described center support g1 and the side support g2 come into contact with each other forms a predetermined flatness. At the portions corresponding to the both hand-held portions ha, the leg portions b, the side walls rw, and the center support g1, guide blocks 12a, 12b, respectively, for guiding the cassette C to the set positions, respectively. 14a, 14b, 16a, 16b, 18).
그리고, 상술한 카세트(C)의 중심 지지대(g1)에 대응하는 받침판(10) 상에는 카세트(C)의 중심 지지대(g1)가 정상적으로 놓이는지 여부를 확인하기 위한 카세트 감지센서(20)가 설치된다.Then, on the support plate 10 corresponding to the center support g1 of the cassette C described above, a cassette detection sensor 20 for checking whether or not the center support g1 of the cassette C is normally placed is installed. .
이렇게 설치되는 카세트 감지센서(20)는, 중심 지지대(g1)가 대응하여 안내하는 가이드블록(18) 사이에 놓임에 따라 중심 지지대(g1)를 사이에 두고 광의 발산 및 수광하는 포토커플러로 구성될 수 있고, 또는 중심 지지대(g1)가 놓임에 따라 눌러져 접속되는 리미트 스위치 등의 센싱수단으로 구성될 수 있는 것이다.The cassette detecting sensor 20 installed as described above may be configured as a photocoupler that emits and receives light with the center support g1 interposed therebetween as the center support g1 is placed between the guide blocks 18 correspondingly guiding. Or a sensing means such as a limit switch which is pressed and connected as the center support g1 is placed.
그러나, 상술한 바와 같이, 받침판(10) 상에는 카세트(C)가 정확히 놓이는지 여부를 확인하는 감지수단이 구비되어 있으나 상대적으로 카세트(C) 내에 탑재된 웨이퍼(W)의 위치 상태를 확인하기 위한 수단이 구비되어 있지 않았다.However, as described above, although the sensing means for checking whether or not the cassette (C) is correctly placed on the support plate 10 is provided for relatively checking the position of the wafer (W) mounted in the cassette (C) No means were provided.
여기서, 상술한 카세트(C)의 설정 위치는, 복수 웨이퍼(W)들을 정렬하여 위치시키기 위한 것이나, 상대적으로 카세트(C)에 탑재된 웨이퍼(W)가 전방부 방향으로 슬라이딩 이동 있을 경우 이들 웨이퍼(W)들을 이송하기 위한 다른 로봇수단에 의해 정상적으로 인계되기 어렵고, 이에 따라 웨이퍼(W)의 이송 과정에서 다른 구성부와 충돌 등이 있게 되어 웨이퍼(W)의 손상 및 파손으로 이어진다.Here, the above-described setting position of the cassette C is for aligning and positioning the plurality of wafers W, but these wafers are relatively moved when the wafer W mounted on the cassette C is slid in the forward direction. It is difficult to normally take over by other robotic means for transferring the (W), and therefore, there is a collision with other components in the transfer process of the wafer (W), leading to damage and breakage of the wafer (W).
또한, 웨이퍼(W)의 손상 및 파손이 있을 경우 설비의 구동은 정지될 뿐 아니라 웨이퍼(W)의 손상 및 파손에 따른 파티클의 발생으로 다른 웨이퍼(W) 또는 각부 구성이 오염되는 문제가 발생되며, 이러한 문제의 발생시 그 개선을 위한 설비의 조립 및 세정 작업이 있는 등 번거로움과 작업시간이 지연되는 등의 문제로 이어지며, 이것은 다시 설비의 가동률과 생산성 저하로 이어진다.In addition, when the wafer W is damaged or broken, the driving of the equipment is stopped, as well as the generation of particles due to the damage and the breakage of the wafer W, which causes a problem that other wafers W or parts are contaminated. In the event of such a problem, the assembly and cleaning work for the improvement of the problem, such as the hassle and the delay of the work time, which leads to a problem of the operation rate and productivity of the facility.
본 발명의 목적은, 상술한 종래 기술에 따른 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 받침판 상의 놓이는 카세트로부터 웨이퍼가 설정된 위치 이상으로 돌출되어 있는지 여부를 확인하여 공정 진행 여부의 판단토록 함으로써 웨이퍼가 불량한 상태로 이송되는 것이 방지하고, 그에 따른 웨이퍼의 손상이나 파손 및 공정 불량을 예방토록 하며, 불필요한 조립 및 세정작업에 따른 로드락챔버를 개방 회수를 줄이게 함으로써 설비의 가동률과 생산성을 보다 향상시키도록 하는 반도체소자 제조설비의 카세트 로더장치를 제공함에 있다.An object of the present invention is to solve the problems according to the prior art described above, by checking whether the wafer is protruding beyond the set position from the cassette placed on the support plate to determine whether the process proceeds to transfer the wafer in a bad state Semiconductor device manufacturing to improve the operation rate and productivity of the equipment by preventing the damage, breakage and process defects of the wafer, and reducing the number of openings of the load lock chamber due to unnecessary assembly and cleaning operations. The present invention provides a cassette loader device for a facility.
도 1은 종래의 반도체소자 제조설비의 카세트 로더장치의 구성 및 이들 구성에 의해 카세트가 놓이는 관계를 설명하기 위한 사시도이다.1 is a perspective view for explaining a configuration of a cassette loader device of a conventional semiconductor device manufacturing facility and a relationship in which a cassette is placed by these configurations.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체소자 제조설비의 카세트 로더장치의 구성 및 이들 구성에 의한 카세트의 놓임과 웨이퍼의 위치 상태를 확인하는 관계를 설명하기 위한 사시도이다.2 is a perspective view for explaining the configuration of the cassette loader device of the semiconductor device manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention, and the relationship between the position of the cassette and the position of the wafer by these configurations.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10: 받침판10: support plate
12a, 12b, 14a, 14b, 16a, 16b, 18: 가이드블록12a, 12b, 14a, 14b, 16a, 16b, 18: guide block
20: 카세트 감지센서22a, 22b: 웨이퍼 감지센서20: cassette detection sensor 22a, 22b: wafer detection sensor
24a, 24b: 지지블록 26: 가이드레일24a, 24b: support block 26: guide rail
28a, 28b: 포토커블러28a, 28b: photocouplers
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 특징적 구성은, 로드락챔버 내에 투입되는 카세트를 받쳐 지지하도록 형성된 받침판과; 상기 받침판 상에 구비되어 카세트를 설정된 위치에 놓이도록 안내하는 복수의 가이드블록과; 상기 받침판 상에 구비되어 카세트가 정상적으로 놓이는지 여부를 확인하는 카세트 감지센서와;카세트 전방부에 대응하는 상기 받침판 또는 이에 대향하는 상기 로드락챔버 상부에 설치되어 카세트로부터 웨이퍼의 돌출 정도를 감지하는 웨이퍼 감지센서; 및 상기 카세트 감지센서와 웨이퍼 감지센서로부터의 감지 신호를 수신하여 공정 진행 여부의 판단과 진행을 결정하는 제어기를 포함하여 이루어진다.A characteristic configuration according to the present invention for achieving the above object is a support plate formed to support the cassette is inserted into the load lock chamber; A plurality of guide blocks provided on the support plate to guide the cassette to a predetermined position; A cassette detection sensor provided on the support plate to check whether the cassette is normally placed; a wafer installed on the support plate corresponding to the front of the cassette or the load lock chamber facing the wafer to detect the protrusion of the wafer from the cassette. Detection sensor; And a controller configured to receive detection signals from the cassette detection sensor and the wafer detection sensor to determine whether or not to proceed with the process.
또한, 상기 웨이퍼 감지센서는 CCD 카메라로 구성될 수 있고, 또는 카세트 전방부에 대응하는 상기 받침판과 이에 대향하는 상기 로드락챔버 상부에 각각 한 쌍으로 설치되는 포토커플러로 구성될 수도 있다.In addition, the wafer detection sensor may be configured as a CCD camera, or may be configured as a pair of photocouplers respectively installed on the support plate corresponding to the front part of the cassette and the upper portion of the load lock chamber opposite thereto.
그리고, 상기 웨이퍼 감지센서가 포토커플러로 구성되는 경우 상·하부의 각 포토커플러는 카세트로부터 웨이퍼가 투입 또는 인출되는 방향으로 상기 제어기의 제어신호에 따라 슬라이딩 이동 가능하게 설치토록 함이 바람직하다.In addition, when the wafer detection sensor is configured as a photocoupler, each of the upper and lower photocouplers may be installed to be slidably moved in accordance with a control signal of the controller in a direction in which a wafer is inserted or withdrawn from a cassette.
이러한 구성으로는 상기 각 포토커플러의 슬라이딩 방향을 안내하는 가이드레일이 구비된 지지블록과; 상기 지지블록 상에 설치되어 상기 제어기로부터 인가되는 제어신호에 따라 상기 포토커플러를 슬라이딩 이동시키는 구동부를 포함하여 구성되어 이루어질 수 있다.This configuration includes a support block provided with a guide rail for guiding the sliding direction of each photocoupler; It may be configured to include a drive unit installed on the support block for sliding the photocoupler in accordance with a control signal applied from the controller.
한편, 상기 제어기는 상기 카세트 감지센서와 웨이퍼 감지센서로부터 수신된 신호를 작업자로 하여금 확인할 수 있도록 하는 출력부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the controller is characterized in that it further comprises an output to enable the operator to check the signal received from the cassette detection sensor and the wafer detection sensor.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체소자 제조설비의 카세트 로더장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a cassette loader device of a semiconductor device manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체소자 제조설비의 카세트 로더장치의 구성 및 이들 구성에 의한 카세트의 놓임과 웨이퍼의 위치 상태를 확인하는 관계를 설명하기 위한 사시도로서, 종래와 동일한 부분에 대하여 동일한 부호를 부여하고, 그에 따른 상세한 설명은 생략하기로 한다.FIG. 2 is a perspective view illustrating a configuration of a cassette loader device of a semiconductor device manufacturing apparatus according to an exemplary embodiment of the present disclosure, and a relationship for confirming a position of a cassette and a position state of a wafer according to the above configurations. The same reference numerals are assigned to the same symbols, and detailed description thereof will be omitted.
본 발명에 따른 카세트 로더장치의 구성은, 도 2에 도시된 바와 같이, 로드락챔버 내에 투입되는 카세트(C)를 받쳐 지지하도록 형성된 받침판(10) 상에 카세트(C)를 설정된 위치에 놓이도록 안내하도록 복수 종류의 가이드블록(12a, 12b, 14a, 14b, 16a, 16b, 18)이 구비된다.The configuration of the cassette loader device according to the present invention, as shown in Figure 2, so that the cassette (C) in the set position on the support plate 10 formed to support and support the cassette (C) to be inserted into the load lock chamber A plurality of types of guide blocks 12a, 12b, 14a, 14b, 16a, 16b, 18 are provided for guiding.
또한, 상술한 받침판(10) 상에는 각부 가이드블록(12a, 12b, 14a, 14b, 16a, 16b, 18)에 의해 안내되어 놓이는 카세트(C)가 정상적으로 놓이는지 여부를 확인하는 카세트 감지센서(20)가 설치되며, 이 카세트 감지센서(20)는 카세트(C)가 놓이는 정상 여부에 대한 감지신호를 제어기(도면의 단순화를 위하여 생략함)에 인가하게 된다.In addition, the cassette detecting sensor 20 for checking whether or not the cassette C placed by the guide blocks 12a, 12b, 14a, 14b, 16a, 16b, and 18 is normally placed on the support plate 10 described above. Is installed, the cassette sensor 20 is applied to the controller (omitted for the sake of simplicity of the drawing) a detection signal for whether the cassette (C) is normal.
그리고, 상술한 바와 같이, 카세트(C)가 정상적으로 놓임에 따른 카세트(C)의 전방부에 대응하는 받침판(10) 소정 부위 또는 이에 대향하는 로드락챔버 상부 소정 위치에는 카세트(C)로부터 웨이퍼(W)의 돌출 정도를 감지하는 웨이퍼 감지센서(22a, 22b)가 설치된다.As described above, the wafer (from the cassette C) is located at a predetermined portion of the support plate 10 corresponding to the front portion of the cassette C according to the normal placement of the cassette C, or at a predetermined position on the load lock chamber opposite thereto. Wafer detection sensors 22a and 22b for detecting the degree of protrusion of W) are provided.
이러한 웨이퍼 감지센서(22a, 22b)는 CCD 카메라로 구성될 수 있고, 또는 카세트(C) 전방부에 대응하는 받침판(10)과 이에 대향하는 로드락챔버 상부에 복수 웨이퍼(W)들의 배열 방향에 대응하여 각각 한 쌍으로 설치되는 포토커플러(28a, 28b)로 구성될 수도 있는 것이다.The wafer detection sensors 22a and 22b may be constituted by CCD cameras, or may be arranged in a direction of arranging a plurality of wafers W on the support plate 10 corresponding to the front portion of the cassette C and the load lock chamber opposite thereto. Correspondingly, it may be composed of photocouplers 28a and 28b respectively installed in pairs.
그리고, 웨이퍼 감지센서(22a, 22b)가 포토커플러(28a, 28b)로 구성되는 경우 상·하부의 각 포토커플러(28a, 28b)는 카세트(C)로부터 웨이퍼(W)가 투입 또는 인출되는 방향으로 상술한 제어기로부터의 제어신호에 따라 슬라이딩 이동 가능하게 이동부를 더 구비한 구성으로 이루어질 수 있다.In the case where the wafer detection sensors 22a and 22b are configured as photocouplers 28a and 28b, the upper and lower photocouplers 28a and 28b are placed in or out of the cassette C from the cassette C. In accordance with the control signal from the above-described controller may be made of a configuration further comprising a moving unit to be movable sliding.
이를 위한 이동부의 구성으로는 각 포토커플러(28a, 28b)의 슬라이딩 방향을 안내하는 가이드레일(26)이 구비된 지지블록(24a, 24b)과 이 지지블록(24a, 24b) 상에 설치되어 제어기로부터 인가되는 제어신호에 따라 포토커플러(28a, 28b)를 슬라이딩 이동시키는 구동부(도면의 단순화를 위하여 생략함)를 포함한 구성으로 이루어질 수 있다.The moving part has a support block 24a, 24b having a guide rail 26 for guiding the sliding direction of each photocoupler 28a, 28b, and a controller installed on the support block 24a, 24b. In accordance with a control signal applied from the configuration may be configured to include a drive unit (omitted for simplicity of the drawing) for sliding the photocouplers 28a, 28b.
한편, 상술한 제어기는 카세트 감지센서(20)와 웨이퍼 감지센서(22a, 22b)로부터 수신된 신호를 작업자로 하여금 확인할 수 있도록 하는 출력부(도면의 단순화를 위하여 생략함)를 더 구비하여 이루어질 수 있는 것이다.On the other hand, the controller described above may be further provided with an output unit (omitted for the sake of simplicity of the drawing) to enable the operator to check the signal received from the cassette sensor 20 and the wafer sensor 22a, 22b. It is.
그리고, 제어기는 상술한 카세트 감지센서(20)와 웨이퍼 감지센서(22a, 22b)로부터의 감지 신호를 수신하여 카세트(C)의 위치 상태와 웨이퍼(W)들의 정렬 상태를 확인하게 된다.Then, the controller receives the detection signals from the cassette detection sensor 20 and the wafer detection sensors 22a and 22b described above to check the position state of the cassette C and the alignment state of the wafers W.
이때 웨이퍼 감지센서(22a, 22b)가 슬라이딩 이동 가능한 포토커플러(28a, 28b)로 구성될 경우 제어기는 웨이퍼(W)가 설정 위치로부터 돌출되는 정도를 그 슬라이딩 위치를 통해 확인하여 계속적인 공정 수행에 지장이 없는지 여부를 재차 확인하는 과정을 더 수행하게 되며, 이를 통해 확인된 사항을 토대로 공정 진행 여부의 판단과 그 진행을 결정하며 작업자로 하여금 확인할 수 있도록 하게 된다.At this time, when the wafer detection sensors 22a and 22b are configured as sliding photocouplers 28a and 28b, the controller checks the degree of the protrusion of the wafer W from the set position through the sliding position to perform continuous process. The process of re-confirming whether there is no obstacle is further performed, and based on the confirmed matters, the judgment of the process progress and the progress of the process are determined and the worker can be confirmed.
따라서, 본 발명에 의하면, 받침판 상에 놓이는 카세트로부터 웨이퍼의 돌출 정도를 확인하고, 그 확인을 통해 공정 진행 여부의 판단하게 됨에 따라 웨이퍼가 불량한 상태로 이송되는 것이 방지되고, 그에 따른 웨이퍼의 손상이나 파손 및 공정 불량이 예방되며, 불필요하게 로드락챔버를 개방하는 회수를 중리게 되어 설비의 가동 효율과 생산성을 보다 향상시키는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, the degree of protrusion of the wafer is checked from the cassette placed on the support plate, and the check is made to determine whether the process proceeds, thereby preventing the wafer from being transferred in a bad state. Damage and process failure are prevented, and the number of times of opening the load lock chamber is unnecessarily neutralized, thereby improving the operation efficiency and productivity of the facility.
본 발명은 구체적인 실시예에 대해서만 상세히 설명하였지만 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 변형이나 변경할 수 있음은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 그러한 변형이나 변경은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 할 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to specific embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that modifications and variations can be made within the scope of the technical idea of the present invention, and such modifications or changes belong to the claims of the present invention. something to do.
Claims (6)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020020046500A KR20040013530A (en) | 2002-08-07 | 2002-08-07 | cassette loader equipment of semiconductor device manufacturing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020020046500A KR20040013530A (en) | 2002-08-07 | 2002-08-07 | cassette loader equipment of semiconductor device manufacturing equipment |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20040013530A true KR20040013530A (en) | 2004-02-14 |
Family
ID=37320851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020020046500A KR20040013530A (en) | 2002-08-07 | 2002-08-07 | cassette loader equipment of semiconductor device manufacturing equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20040013530A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100449724C (en) * | 2006-02-20 | 2009-01-07 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | Wafer detecting device and wafer detecting method |
-
2002
- 2002-08-07 KR KR1020020046500A patent/KR20040013530A/en not_active Application Discontinuation
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