KR100567262B1 - Droplet Deposition Apparatus and Methods of Manufacture thereof - Google Patents

Droplet Deposition Apparatus and Methods of Manufacture thereof Download PDF

Info

Publication number
KR100567262B1
KR100567262B1 KR1020007003872A KR20007003872A KR100567262B1 KR 100567262 B1 KR100567262 B1 KR 100567262B1 KR 1020007003872 A KR1020007003872 A KR 1020007003872A KR 20007003872 A KR20007003872 A KR 20007003872A KR 100567262 B1 KR100567262 B1 KR 100567262B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
channel
delete delete
longitudinal
ink
cover
Prior art date
Application number
KR1020007003872A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20010031048A (en
Inventor
스테펜 템플
살라딘 오메르
쥐세프 롬바르디
로버트 알란 하비
Original Assignee
자아 테크날러쥐 리미티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 자아 테크날러쥐 리미티드 filed Critical 자아 테크날러쥐 리미티드
Publication of KR20010031048A publication Critical patent/KR20010031048A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100567262B1 publication Critical patent/KR100567262B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1607Production of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/1609Production of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14209Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1623Manufacturing processes bonding and adhesion
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1632Manufacturing processes machining
    • B41J2/1634Manufacturing processes machining laser machining
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1637Manufacturing processes molding
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/164Manufacturing processes thin film formation
    • B41J2/1643Manufacturing processes thin film formation thin film formation by plating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14387Front shooter
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/12Embodiments of or processes related to ink-jet heads with ink circulating through the whole print head

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Ink Jet Recording Methods And Recording Media Thereof (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

A piezoelectric printhead or other droplet deposition apparatus has parallel liquid containing channels defined by a base and displaceable walls, and covered by a cover number. The channels each have at least one nozzle for ejecting droplets. Each nozzle may be disposed in the base, the cover then having two ink supply parts spaced lengthwise of each channel on opposite sides of the nozzle. Alternatively two longitudinally spaced nozzles may be provided in the base of each channel. The cover may have a conductive track corrected to wall-displacing electrodes, the points of connection being outside the channels. <IMAGE>

Description

잉크 인쇄 장치 및 그것의 제조 방법{Droplet Deposition Apparatus and Methods of Manufacture thereof}Ink printing apparatus and its manufacturing method {Droplet Deposition Apparatus and Methods of Manufacture

본 발명은 잉크 인쇄 장치, 특히 잉크젯 인쇄헤드에 관한 것이며, 잉크 인쇄 장치는 잉크 공급원과 소통하는 채널과 잉크 방울의 분사를 위한 구멍을 포함하고, 적어도 하나의 채널 측벽은 전기 신호들에 응답하여 변위가능하여, 채널로부터 잉크 방울을 분사한다. TECHNICAL FIELD The present invention relates to an ink printing apparatus, in particular an inkjet printhead, wherein the ink printing apparatus includes a channel communicating with an ink source and a hole for ejecting ink droplets, wherein at least one channel sidewall is displaced in response to electrical signals. It is possible to eject ink droplets from the channel.

도 1a는 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된 WO92/22429에 따른 종래 기술의 잉크젯 인쇄헤드 구성의 채널들의 단면도이다. 압전 세라믹 시트(12)는 두께 방향(17)으로 극성화되고, 채널 축선과 평행하게 위치된 양 측에서 채널 벽들(13)과 접하는 채널들(11)을 일측 표면에 가지고 있다. 각 벽(13)의 양 측에 형성된 전극들(23)에 의해, 전기장은 벽들의 압전 물질에 가해져 압전 물질을 시어 모드(shear mode)에서 채널 축선과 교차하는 방향으로 휘어지게 할 수 있다. 그에 따라 잉크 방울의 분사를 일으키는 압력파들이 잉크에 발생된다. 이러한 원리들은, 예를 들면 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된 EP-A-0 364 136으로부터 본 기술 분야에서 공지되어 있다.1A is a cross-sectional view of channels of a prior art inkjet printhead configuration according to WO92 / 22429, filed by Applicant and incorporated herein by reference. The piezoelectric ceramic sheet 12 is polarized in the thickness direction 17 and has channels 11 on one surface that contact the channel walls 13 on both sides parallel to the channel axis. By means of electrodes 23 formed on both sides of each wall 13, an electric field can be applied to the piezoelectric material of the walls to cause the piezoelectric material to bend in the direction crossing the channel axis in shear mode. Thereby, pressure waves are generated in the ink causing the ejection of the ink droplets. These principles are known in the art, for example from EP-A-0 364 136, filed by the applicant and incorporated herein by reference.

그 위에 형성된 잉크 채널들과 동일한 피치 간격의 도전성 트랙들(16)을 가 지는 커버(14)의 표면에 의해, 채널들(11)은 채널 축선과 평행하게 위치된 일 측을 따라 폐쇄된다. 솔더 접합부들(solder bonds)(28)은 트랙들(16)과 채널 벽 전극들(23) 사이에 형성되어, 하나의 단계에서 커버를 베이스에 고정하고 전극들과 트랙 사이의 전기 연결부를 만든다. 그리고 나서, 나중에 잉크에 의해 부식되는 것을 방지하도록 전극들과 트랙들은 보호막으로 코팅된다.By the surface of the cover 14 having conductive tracks 16 of the same pitch spacing as the ink channels formed thereon, the channels 11 are closed along one side located parallel to the channel axis. Solder bonds 28 are formed between the tracks 16 and the channel wall electrodes 23 to secure the cover to the base in one step and to make electrical connections between the electrodes and the tracks. The electrodes and tracks are then coated with a protective film to prevent corrosion later by the ink.

도 1a에 도시된 종래의 인쇄 헤드에서 단일 채널의 길이 방향 축선 A를 따라 취한 단면도인 도 1b에 도시된 바와 같이, 각각 잉크 분사 노즐(22)을 가지는 노즐판(20)은 시트(12)의 전방에 장착되어 있는 반면, 잉크 매니폴드(26)는 매니폴드 구조물(21)에 의해 후방에 한정되어 있다. 입력 트랙들(18)을 통해 수신된 신호에 의해 차례로 구동되는 마이크로칩(27)에 전형적으로 포함된 구동 회로와의 연결을 위하여, 트랙들(16)은 커버(14)의 후방으로 유도된다.As shown in FIG. 1B, which is a sectional view taken along the longitudinal axis A of a single channel in the conventional print head shown in FIG. 1A, the nozzle plates 20 each having an ink jet nozzle 22 are formed of the sheet 12. While mounted at the front, the ink manifold 26 is defined at the rear by the manifold structure 21. The tracks 16 are led to the rear of the cover 14 for connection with a drive circuit typically included in the microchip 27 which is in turn driven by a signal received via the input tracks 18.

이러한 종류의 인쇄헤드들에 있어서, 잉크에 의해 수반되는 부식을 방지하도록 채널 벽들- 및 특히 그 위에 형성된 전극들 -은 종종 보호막으로 코팅된다. 이에 대해서는 참조에 의해 통합된 WO95/07820을 참조하라.In printheads of this kind, the channel walls-and in particular the electrodes formed thereon-are often coated with a protective film to prevent corrosion accompanied by ink. See WO95 / 07820 which is hereby incorporated by reference.

그러나 상술된 장치에 있어서, 커버의 부착에 앞서서 이루어지는 이러한 통상의 보호막 코팅은 전극들과 트랙들 간의 솔더 접합부들의 형성을 억제할 수 있다. 다른 한편으로, 커버가 부착된 다음의 보호막 코팅은 채널의 끝으로부터만 적용될 수 있으며, 특히 채널 끝으로부터 멀리 떨어진 채널의 중앙에서, 전극들 및 트랙들의 코팅 품질을 낮게 한다.However, in the apparatus described above, such a conventional protective coating made prior to the attachment of the cover can suppress the formation of solder joints between the electrodes and the tracks. On the other hand, the protective coating after the cover is applied can only be applied from the end of the channel, lowering the coating quality of the electrodes and tracks, especially in the center of the channel away from the channel end.

본 발명은 종래 구성의 커버에 형성된 도전성 트랙들과 결합된 연결 장점들을 유지하면서도 보호막 코팅이 용이한 인쇄헤드 구성을 그 목적으로 한다.The present invention aims at a printhead configuration which is easy to coat with a protective coating while retaining the connection advantages associated with conductive tracks formed in a cover of conventional construction.

따라서, 본 발명은, 일 양태에서, 잉크 공급원과 소통하기 위한 수단과 잉크 방울들의 분사를 위한 구멍을 가지는 적어도 하나의 채널을 포함하는 잉크 인쇄 장치로 구성되며;Accordingly, the present invention is, in one aspect, constituted by an ink printing apparatus comprising means for communicating with an ink source and at least one channel having holes for ejection of ink droplets;

채널은 채널 축선과 평행하게 놓인 적어도 일측에서 작동 수단과 결합된 채널 벽과 접하고; 작동 수단은 전기 신호들에 응답하여 채널 벽을 변위시켜 채널로부터 잉크 방울들을 분사하며;The channel abuts a channel wall coupled with the actuating means on at least one side lying parallel to the channel axis; The actuating means displaces the channel wall in response to electrical signals to eject ink drops from the channel;

채널은 채널 축선과 평행한 타측에서 커버 표면과 접하고, 커버 표면은 상기 작동 수단으로 전기 신호를 전달하기 위한 적어도 하나의 도전성 트랙이 그 위에 형성되며, 트랙과 작동 수단 간의 전기 연결점은 채널 외측에 위치된다.The channel abuts the cover surface on the other side parallel to the channel axis, the cover surface having at least one conductive track formed thereon for transmitting electrical signals to the actuation means, the electrical connection between the track and the actuation means being located outside the channel. do.

본 발명에 따라 트랙과 액츄에이터 간의 유일한 전기 연결점이 채널의 외측에 위치하고, 따라서, (잠재적으로 부식 효과를 가진)잉크와 접촉하지 않기 때문에, 이 지점의 보호막 코팅은 더 이상 필요하지 않다. 채널은 그 자체로 채널들의 개방된 상측을 통해 보호막 코팅될 수 있다. 그 후에, 커버는 부착될 수 있고, 커버의 도전성 트랙들 및 채널 벽들과 결합된 작동 수단 사이에 전적기 접촉이 이루어진다. 잉크의 종류 때문에 발사하도록 의도된 - 보호막 코팅이 필요없는 인쇄헤드에 있어서도, 본 발명에 따라 채널 외측에 위치한 전기 연결점은, 도 1a 및 도 1b의 종래 장치의 채널의 길이 방향으로 형성된 솔더 접합부들보다 피로로 인하여 고장나는 경향이 적다.According to the invention the protective coating at this point is no longer necessary, since the only electrical connection point between the track and the actuator is located outside of the channel and therefore is not in contact with the ink (potentially corrosive). The channel may itself be protective coated through the open top of the channels. Thereafter, the cover can be attached and an electrical contact is made between the conductive tracks of the cover and the actuating means associated with the channel walls. Even for printheads that do not require a protective coating-intended for firing because of the type of ink, the electrical connection points located outside the channel in accordance with the present invention are more suitable for solder joints formed in the longitudinal direction of the channel of the conventional device of FIGS. Less prone to failure due to fatigue.

본 발명의 제 1 양태에 일치하는 방법은 잉크 인쇄 장치의 제조 방법으로 구성되고, 그 방법은:The method according to the first aspect of the present invention comprises a manufacturing method of an ink printing apparatus, which method comprises:

상측이 개방된 적어도 하나의 채널을 포함하는 베이스 요소를 형성하고, 채널 축선과 평행하게 위치된 적어도 일측에서 상기 채널을 전기 신호들에 응답하여 채널 벽의 변위시켜 채널로부터 잉크 방울들을 분사시키기 위한 작동 수단과 결합된 채널 벽과 접하게 하는 단계;An operation for ejecting ink droplets from the channel by forming a base element comprising at least one channel with an open top and displacing the channel in response to electrical signals on at least one side positioned parallel to the channel axis Contacting a channel wall associated with the means;

채널 축선과 평행한 타측에서, 상기 작동 수단으로 전기 신호들을 전달하기 위한 적어도 하나의 도전성 트랙이 그 위에 형성된 커버 표면으로 채널을 폐쇄하는 단계; 및Closing the channel with a cover surface formed thereon at least one conductive track for transmitting electrical signals to said actuating means, on the other side parallel to the channel axis; And

도전성 트랙과 작동 수단을 채널의 외측에 위치한 한 지점에서 전기적으로 연결하는 단계를 포함한다.Electrically connecting the conductive track and the actuating means at a point located outside the channel.

바람직하게는, 채널을 폐쇄하는 단계는 도전성 트랙과 작동 수단의 전기적 연결을 초래하여, 제조 공정을 간단하게 한다.Preferably, closing the channel results in electrical connection of the conductive track and the actuation means, simplifying the manufacturing process.

본 발명의 제 1 양태는 또한:The first aspect of the invention also provides:

압전 물질로 된 바닥 시트로서, 상기 시트에 수직한 방향으로 극성화되고, 채널들의 길이 방향과 수직한 배열 방향으로 서로 이격되고, 대향하는 측벽들과 상기 측벽들 사이로 연장하는 바닥 표면에 의해 각각 한정되며, 상측이 개방된 다수의 평행한 채널들을 가지는 바닥 시트;A bottom sheet of piezoelectric material, polarized in a direction perpendicular to the sheet, spaced apart from each other in an array direction perpendicular to the longitudinal direction of the channels, each defined by opposing sidewalls and a bottom surface extending between the sidewalls A bottom sheet having a plurality of parallel channels open at an upper side thereof;

상기 채널들의 상기 바닥 표면과 대향하며 상기 채널들의 상측에서 채널들을 폐쇄하도록 상기 측벽들에 접합되는 톱 시트;A top sheet facing the bottom surface of the channels and bonded to the sidewalls to close the channels on top of the channels;

잉크 방울들의 분사를 위하여 상기 채널들과 소통하는 각각의 노즐들;Respective nozzles in communication with the channels for ejecting ink droplets;

상기 채널들을 인쇄용 잉크 공급원과 연결하기 위한 연결 수단을 포함하고;Connecting means for connecting said channels with a printing ink source;

각 채널은 채널을 한정하는 적어도 한 측벽의 반대측 면들에 전극들이 제공되어 채널로부터 잉크 방울을 배출하는 시어 모드 액츄에이터를 형성하는 전방부와; 전방부 측벽들의 채널-대향 측의 적어도 한 전극과 전기적으로 접촉되는 전기-도전성 코팅부를 가지는 후방부와; 전방부와 후방부를 분리하는 분리 수단을 포함하며; 그리고Each channel having a front portion provided with electrodes on opposite sides of at least one side wall defining the channel to form a shear mode actuator for ejecting ink droplets from the channel; A rear having an electrically-conductive coating in electrical contact with at least one electrode on the channel-facing side of the front sidewalls; Separating means for separating the front part and the rear part; And

상기 측벽들과 접합된 상기 톱 시트의 표면에 형성된 도전성 트랙들을 더 포함하며, 도전성 트랙들은 상기 후방부의 전기-도전성 코팅부와 전기적으로 접촉되는 잉크 인쇄 장치로 구성된다.And conductive tracks formed on the surface of the top sheet bonded to the side walls, wherein the conductive tracks are composed of an ink printing apparatus in electrical contact with an electro-conductive coating of the rear portion.

일치하는 잉크 인쇄 장치의 제조 방법은:The manufacturing method of the matching ink printing device is:

압전 물질층으로 된 바닥 시트를 형성하는 단계로서, 압전 물질층은 상기 시트와 수직인 방향으로 극성화된 단계;Forming a bottom sheet of piezoelectric material layer, the piezoelectric material layer being polarized in a direction perpendicular to the sheet;

채널들의 길이 방향과 수직한 배열 방향으로 서로 이격되고, 대향하는 측벽들 및 상기 측벽들 사이로 연장하는 바닥 표면에 의해 한정되며, 전방부와 후방부를 더 가지며, 상측이 개방된 다수의 평행한 채널들을 형성하는 단계;A plurality of parallel channels spaced apart from each other in an array direction perpendicular to the longitudinal direction of the channels and defined by opposing sidewalls and a bottom surface extending between the sidewalls, further having a front portion and a rear portion, and having an upper side open. Forming;

각 채널의 전방부를 한정하는 적어도 한 측벽의 반대측들에 전극들을 형성하여, 채널로부터 잉크 방울을 배출하기 위한 시어 모드 액츄에이터를 형성하는 단계; 및Forming electrodes on opposite sides of at least one sidewall defining a front portion of each channel to form a shear mode actuator for ejecting ink droplets from the channel; And

각 전극과 전기적으로 접촉되는 전기-도전성 코팅부를 각 채널의 후방부에 형성하는 단계;Forming an electrically-conductive coating in the rear of each channel in electrical contact with each electrode;

도전성 트랙들이 형성된 표면을 가지는 톱 시트를 제공하는 단계; 및Providing a top sheet having a surface with conductive tracks formed thereon; And

상기 채널들의 상측에서 상기 채널들을 폐쇄하도록 도전성 트랙들을 가지는 톱 시트의 표면을 상기 측벽들에 접합하는 단계;Bonding a surface of a top sheet having conductive tracks to the sidewalls to close the channels on top of the channels;

상기 트랙들과 각 채널의 각 전기-도전성 코팅부 사이에 전기 접촉을 이루는 단계; 및 Making electrical contact between the tracks and each electro-conductive coating of each channel; And

각 채널의 전방부와 후방부를 분리하는 실링 수단을 제공하는 단계를 포함한다.Providing sealing means for separating the front and rear portions of each channel.

본 발명의 제 2 양태는:A second aspect of the invention is:

대향하는 종방향 측벽들과, 측벽들 사이로 연장하는 종방향 바닥 표면에 의해 한정되고, 상측이 개방된 적어도 하나의 종방향 잉크 채널;At least one longitudinal ink channel defined by opposing longitudinal sidewalls and a longitudinal bottom surface extending between the sidewalls, the upper side being open;

적어도 하나의 측벽들에 있는 압전 물질에 전기장을 가하여, 상기 종방향 채널로부터 잉크 방울이 분사되도록 채널과 관련한 벽을 변위시키기 위한 수단; 및 Means for applying an electric field to the piezoelectric material in at least one sidewalls to displace the wall associated with the channel such that ink droplets are ejected from the longitudinal channel; And

종방향 채널의 개방된 상측을 폐쇄하는 커버를 포함하며;A cover closing the open top side of the longitudinal channel;

상기 종방향 채널의 바닥 표면은 잉크 방울 분사를 위한 구멍이 형성되며;The bottom surface of the longitudinal channel is formed with a hole for ink droplet ejection;

커버는 잉크 방울의 공급을 위한 두 개의 포트들을 통합하고, 포트들은 구멍의 양측에서 채널을 따라 이격된 잉크 인쇄장치로 구성된다.The cover incorporates two ports for the supply of ink droplets, and the ports consist of ink printing devices spaced apart along the channel on both sides of the aperture.

이러한 구성은, 또한, 공지된 인쇄헤드들, 특히 WO91/17051(본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합됨)에서 논의된 "톱 슈터(top shooter)"와 같은 종류의 인쇄헤드들의 제조를 단순화시킨다. 도 2는 이러한 종래의 인쇄헤 드의 채널들을 따라 취한 단면도를 도시하며, 도 1과 일치하는 구성은 일치하는 참조 부호로 표시된다. 잉크 분사는 채널 커버 요소(60)에 형성된 노즐로부터 발생되는 반면 잉크는 포트들(33)을 통해 채널로 공급되며, 포트들은 채널 베이스에 형성되고, 채널화된 압전 요소(12)와 별도인 베이스 요소(35)에 형성된 잉크 공급관(미도시)과, 그것들의 차례에서(in their turn), 전형적으로 연결된다.This configuration also makes known printheads, in particular the manufacture of printheads of the same kind as the "top shooter" discussed in WO91 / 17051 (filed by the applicant and incorporated herein by reference). Simplify FIG. 2 shows a cross-sectional view taken along the channels of such a conventional printhead, in which a configuration consistent with FIG. 1 is indicated by a corresponding reference numeral. Ink ejection is generated from a nozzle formed in the channel cover element 60 while ink is supplied to the channel through the ports 33, the ports being formed in the channel base, a base separate from the channeled piezoelectric element 12. An ink supply tube (not shown) formed in the element 35 is typically connected in their turn.

본 발명에 따라, 잉크 분사 오리피스와 소통하는 구멍은 채널의 바닥 표면에 형성되어, 커버 요소가 채널로 잉크를 공급하기 위한 포트를 통합하게 한다. 결과적으로 추가적인 별도의 베이스 요소는 더 이상 필요없다.According to the invention, holes communicating with the ink ejection orifices are formed in the bottom surface of the channel, allowing the cover element to integrate a port for supplying ink to the channel. As a result, an additional separate base element is no longer needed.

본 발명의 제 3 양태는, According to a third aspect of the present invention,

대향하는 종방향 측벽들과 측벽들 사이로 연장하는 종방향 바닥 표면에 의해 한정되고, 상측이 개방된 적어도 하나의 종방향 잉크 방울 채널;At least one longitudinal ink drop channel defined by opposing longitudinal sidewalls and a longitudinal bottom surface extending between the sidewalls, the upper side being open;

잉크 방울을 채널로 공급하기 위한 수단;Means for supplying ink droplets to the channel;

적어도 하나의 측벽에 있는 압전 물질에 전기장을 가하여, 상기 종방향 채널로부터 잉크 방울이 분사되도록 채널과 관련한 벽을 변위시키기 위한 수단; 및 Means for applying an electric field to the piezoelectric material at at least one sidewall to displace the wall associated with the channel such that ink droplets are ejected from the longitudinal channel; And

종방향 채널의 개방된 상측을 폐쇄하는 커버를 포함하며,A cover for closing the open upper side of the longitudinal channel,

상기 종방향 채널의 바닥 표면은 잉크 방울 분사를 위한 두 개의 구멍이 형성되며, 구멍들은 채널을 따라 이격된 잉크 인쇄장치를 포함한다.The bottom surface of the longitudinal channel is formed with two holes for ink droplet ejection, and the holes include ink printing devices spaced apart along the channel.

이러한 구성은 상술된 바와 같이 구성 요소의 수가 감소된다는 장점을 - 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된 - PCT 출원 번호 PCT/GB98/01495호의 장치에 부여한다.This configuration gives the device of PCT Application No. PCT / GB98 / 01495-filed by the applicant and incorporated herein by reference-with the advantage that the number of components as described above is reduced.

일치하는 방법 청구항들 또한 본 발명에 포함되며, 다른 양태들은 다른 종속항들에서 기술되는 바와 같다.Corresponding method claims are also included in the present invention, other aspects being as described in the other dependent claims.

본 발명의 다른 바람직한 실시예들은 상세한 설명, 도면들 및 독립항들에서 기술된다.Other preferred embodiments of the invention are described in the detailed description, drawings and independent claims.

개시된 모든 청구항들은 법 조항에 따라 본 명세서에 통합된 것으로 간주된다.All disclosed claims are considered to be incorporated herein in accordance with the provisions of the law.

이제 본 발명은 다음의 도면들을 참조하여 예로서 설명된다. 여기서:The invention is now described by way of example with reference to the following figures. here:

도 3은 본 발명의 제 1 양태의 제 1 실시예에 따른 인쇄헤드의 채널 축선을 따라 취한 단면도이며;3 is a cross-sectional view taken along the channel axis of the printhead according to the first embodiment of the first aspect of the present invention;

도 4a 및 도 4b는 각각 커버에 부착되기 전후의 도 3에 도시된 인쇄헤드의 후방부를 상세하게 도시한 도면이고;4A and 4B show details of the rear portion of the printhead shown in FIG. 3 before and after being attached to the cover, respectively;

도 5는 본 발명의 제 1 양태의 제 2 실시예에 따른 인쇄헤드의 채널 축선을 따라 취한 단면도이며;5 is a cross-sectional view taken along the channel axis of the printhead according to the second embodiment of the first aspect of the present invention;

도 6은 본 발명의 제 1 및 제 2 양태를 통합하는 인쇄헤드의 채널 축선을 따라 취한 단면도이고;6 is a cross sectional view along the channel axis of the printhead incorporating the first and second aspects of the invention;

도 7은 본 발명의 제 2 양태의 제 2 실시예에 따른 인쇄헤드의 채널 축선을 따라 취한 단면도이며;7 is a sectional view taken along the channel axis of the printhead according to the second embodiment of the second aspect of the present invention;

도 8은 도 7에 도시된 인쇄헤드의 압전 몸체의 끝을 상세하게 보인 사시도이고;FIG. 8 is a perspective view showing in detail the end of the piezoelectric body of the printhead shown in FIG. 7; FIG.

도 9 및 도 10은 도 7에 도시된 인쇄헤드의 다른 실시예를 각각 도시한 단면도 및 상세 단면도이다.9 and 10 are cross-sectional and detailed cross-sectional views showing another embodiment of the printhead shown in FIG. 7, respectively.

도 3은 본 발명의 제 1 양태의 제 1 실시예에 따른 인쇄헤드를 도시한다. 도 1 및 도 2에 도시된 종래 기술의 인쇄헤드와 도 3에서 공통인 구성들은 공통의 참조 부호들에 의해 지시된다.3 shows a printhead according to the first embodiment of the first aspect of the present invention. Components common to that of the prior art printhead shown in FIGS. 1 and 2 and in FIG. 3 are indicated by common reference numerals.

종래의 장치에서와 같이, 두께 방향으로 극성화된 압전 세라믹 몸체(12)는 채널 벽들(13)에 의해 분리된 채널들(11)을 가진다. 위에서 언급된 EP-A-0 364 136으로부터 공지된 바와 같이, 전극들(23)은 잉크-수용 채널(11)의 각 벽(13)을 따라 형성되고 후향 그루브(100)를 따라 몸체의 후면(130)까지 연장한다. 또한, 표면(15)이 각 채널들(11)의 개방면을 폐쇄하는 커버(14)와, 잉크 분사를 위한 노즐들(22)을 가지는 노즐판(20)과, 몸체(12)와 교차하도록 새겨진 형태의 잉크를 채널로 공급하기 위한 매니폴드가 제공된다. 커버(14)의 표면(15)은 그 위에 형성된(적당한 공정들은 잘 공지되어 있음) 트랙들(16)을 가지며, 트랙들은 (도 3에 비유적으로 도시되고 크기는 맞지 않은) 마이크로칩(27)에 차례로 연결되고, 마이크로 칩은 입력 트랙들(18)로부터의 입력 신호들을 차례로 수신한다.As in the conventional apparatus, the piezoelectric ceramic body 12 polarized in the thickness direction has channels 11 separated by channel walls 13. As known from the above-mentioned EP-A-0 364 136, the electrodes 23 are formed along each wall 13 of the ink-receiving channel 11 and along the rear groove 100 of the back of the body ( 130). In addition, the surface 15 intersects the body 12 with the cover 14 closing the open surface of the respective channels 11, the nozzle plate 20 having the nozzles 22 for ink ejection, and the body 12. A manifold is provided for supplying engraved form of ink to the channel. Surface 15 of cover 14 has tracks 16 formed thereon (appropriate processes are well known), which tracks microchip 27 (shown figuratively in FIG. 3 and not sized). In turn, the microchip receives input signals from the input tracks 18 in turn.

커버가 부착되기 전의 인쇄헤드의 후방부가 도 4a에 상세하게 도시되어 있다. 보호층(140)(도 3에는 도시되지 않았으나 도 4a에 점선 해칭으로 지시되어 있음)은 채널의 전극(23)(도 3 및 도 4a에서 실선 해칭으로 지시됨) 전체 및 후향 그루브를 따라 일부분에 도포된다. 종래의 구성과 달리, 보호막 코팅은 커버의 부착 전에, 바람직하게는 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된 WO95/07820에 기술된 방법에 따라 수행된다.The rear portion of the printhead before the cover is attached is shown in detail in FIG. 4A. The protective layer 140 (not shown in FIG. 3 but indicated by dashed hatching in FIG. 4A) is in part along the back and grooves of the electrode 23 (indicated by solid hatching in FIGS. 3 and 4A) of the channel. Is applied. In contrast to the conventional construction, the protective coating is carried out prior to the attachment of the cover, preferably according to the method described in WO95 / 07820, filed by the applicant and incorporated herein by reference.

몸체와 커버(14)의 표면(15) 간의 기계적 접합은, 커버와 몸체의 조립 전에, 바람직하게는 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된 WO95/04658에서 논의된 방법에 따라, 채널들(11)의 영역에서 벽들(13)의 끝 부분 표면들에 도포된 접착층(160)에 의해 달성된다. 도 4b는 조립된 인쇄헤드를 도시하며, 인쇄헤드는 220으로 지시된 접착성 접합부를 가진다. 이러한 접합부는 상술된 종래 구조물의 일치하는 솔더 접합부보다 참으로 더 강하며, 더 긴 피로 수명을 가진다.Mechanical bonding between the body and the surface 15 of the cover 14 is, prior to assembly of the cover and the body, preferably in accordance with the method discussed in WO95 / 04658, filed by the applicant and incorporated herein by reference, This is achieved by an adhesive layer 160 applied to the end surfaces of the walls 13 in the region of the channels 11. 4B shows the assembled printhead, which has an adhesive joint, indicated at 220. Such a joint is indeed stronger than the matching solder joint of the conventional structure described above, and has a longer fatigue life.

커버의 도전성 트랙들(16)과 후향 그루브(100)의 트랙에 대응되는 부분의 전극(23) 사이의 전기적 연결은 트랙(16)의 끝(180)에 부착된, 솔더와 같은, 가단, 가변, 및 도전성 물질로 된 돌기(170)에 의해 달성된다. 도 4b에 도시된 바와 같이, 커버와 몸체의 조립체 상에서, 돌기(170)는 전극(23)과 접촉되고 변형되어, 전극(23)과 트랙(16) 사이에서 유효한 전기 접촉부(200)를 제공한다.The electrical connection between the conductive tracks 16 of the cover and the electrode 23 of the portion corresponding to the track of the backward groove 100 is malleable, variable, such as solder, attached to the end 180 of the track 16. And projections 170 of conductive material. As shown in FIG. 4B, on the assembly of the cover and the body, the protrusion 170 contacts and deforms the electrode 23 to provide an effective electrical contact 200 between the electrode 23 and the track 16. .

또한 밀봉 페이스트나 고점성 아교(glue)로 된 비드(190)는 잉크 채널(11)의 끝과 전기 접촉부(200) 간의 잉크 밀봉부(210)를 조립체에 형성하도록 도포된다. 이러한 밀봉부는 잉크로 인한 추후의 부식으로부터 전기 접촉부를 보호한다. 바람직하게는 밀봉부는 보호층(140)의 자유단(150)을 벌리도록 위치되어, 보호층 하에서 그렇지 않으면 전극 물질(23)을 칠 수도 있는 곳으로부터의 잉크 누설을 방지한다.  Also, beads 190 of sealing paste or high viscosity glue are applied to form an ink seal 210 in the assembly between the end of the ink channel 11 and the electrical contact 200. This seal protects the electrical contacts from subsequent corrosion due to the ink. Preferably the seal is positioned to open the free end 150 of the protective layer 140 to prevent ink leakage from where it might otherwise strike the electrode material 23.                 

도 5는 본 발명의 제 1 양태의 제 2 실시예를 도시한다. 이전의 실시예에서와 같이, 세라믹 압전 몸체(290)는 두께 방향으로 극성화되어 있고, 각 측면에 형성된 전극(23)을 차례로 가지는 채널 벽들(13)에 의해 분리된 채널들(11)을 가진다. 그러나, 잉크 분사는, 커버에 직접 형성되거나 또는, 도시된 바와 같이, 커버에 형성된 구멍(340)을 통해 채널과 소통하는 노즐판(330)에 형성되고, 중앙에 위치된 노즐(320)로부터 발생된다. 부가적으로 몸체(290)는 화살표들(300)로 지시된 바와 같이, 채널의 양단으로부터 잉크를 공급하기 위한 두 개의 매니폴드(310)를 가진다. 다른 구조물(미도시)은 잉크통으로부터 매니폴드에 잉크를 공급한다.5 shows a second embodiment of the first aspect of the present invention. As in the previous embodiment, the ceramic piezoelectric body 290 is polarized in the thickness direction and has channels 11 separated by channel walls 13 which in turn have electrodes 23 formed on each side. . However, ink jetting is generated directly from the nozzle 320, which is formed directly on the cover, or formed in the nozzle plate 330 in communication with the channel through the hole 340 formed in the cover, as shown. do. Additionally body 290 has two manifolds 310 for supplying ink from both ends of the channel, as indicated by arrows 300. Another structure (not shown) supplies ink to the manifold from the ink bottle.

이러한 "이중-단" 인쇄헤드 구성은, 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된 WO91/17051에 개시되어 있으며, 상술된 "단일-단" 구성에 비하여 작동 전압이 낮다는 측면에서 유리하다. 더욱이, 베이스(290)의 구성은 - 상술된 EP-A-0 364 136호에 기술된 통상의 절단 기술(sawing technique)보다 어쩌면 더 매력적인 기술인 - 몰딩(moulding)으로 제조하는데 적당하다.Such "dual-end" printhead configurations are disclosed in WO91 / 17051, filed by the applicant and incorporated herein by reference, in terms of lower operating voltages compared to the "single-end" configuration described above. It is advantageous. Moreover, the construction of the base 290 is suitable for manufacturing with molding-which is perhaps more attractive than the conventional sawing technique described in EP-A-0 364 136 described above.

그러나, 채널 전극(23)과 몸체(290)와 대향하는 커버(350)의 표면에 형성된 도전성 트랙들(370)의 연결은 도 3, 도 4a 및 도 4b와 관련하여 이미 기술된 바와 같고, 몸체(290)의 일측면에 형성된 그루브(360)에 위치되어 있다. 유사하게, 채널 자체(채널의 채널 벽들은 조립되기 전에 보호막 적용)의 영역에서 및 전기 연결부에 의해 점유되지 않은 몸체의 끝(380)에서, 커버(350)는 통상의 접착성 접합제(미도시)로 압전 세라믹 바디에 부착된다.However, the connection of the conductive tracks 370 formed on the surface of the cover 350 opposite the channel electrode 23 and the body 290 is as already described with reference to FIGS. 3, 4A and 4B and the body It is located in the groove 360 formed on one side of the (290). Similarly, in the area of the channel itself (applied with a shield before the channel walls are assembled) and at the end 380 of the body not occupied by the electrical connection, the cover 350 is a conventional adhesive binder (not shown). Is attached to the piezoelectric ceramic body.

적당한 채널(11)로부터 노즐(320)의 출구까지 잉크에 의해 주행된 거리를 최 소화하여, 압력 손실 및 그에 따른 잉크 분사 속도에 있어서의 감소를 감소시키기 위하여 노즐(320)은 커버(350) 자체에 형성될 수도 있다. 바람직하게는 노즐은, 예를 들어 참조에 의해 통합된 WO93/15911호에서 기술된 바와 같이, 레이저 절제(laser ablation)로 형성되며, In order to minimize the distance traveled by the ink from the appropriate channel 11 to the outlet of the nozzle 320, the nozzle 320 itself may cover the cover 350 itself in order to reduce pressure loss and thus a reduction in the ink ejection speed. It may be formed in. Preferably the nozzle is formed by laser ablation, as described, for example, in WO93 / 15911, incorporated by reference,

이 끝까지 커버는 용이하게 절제되는 물질, 적당하게는 전형적으로 50㎛의 두께를 갖는 폴리이미드(polyimid), 폴리카보네이트(ploycarbonate), 폴리에스테르(polyester) 또는 폴리에테르에테르케톤(polyetheretherketone)과 같은 중합체로 만들어질 수도 있다. To this end the cover is made of a material that is easily excised, a polymer such as polyimid, ploycarbonate, polyester or polyetheretherketone, which typically has a thickness of typically 50 μm. It can also be made.

이와 같이 용이하게 절제되는 물질로 형성된 커버판의 강성(stiffness)은 절제 가능한 커버판의 내측 및 외측 표면에 더 단단한 물질로 된 코팅부를 적용하는 것에 의해 증가될 수도 있다. 이러한 목적에 특히 적당한 것은 실리콘 니트라이드(silicon nitride)다. 또한, 그것은 상술된 WO95/07820의 공정에서 보호막 코팅부로서 사용될 수 있고, 논-웨팅 코팅의 결과적인 적용에 적당한 부드러운 코팅부로서 침착되며, 그 비 도전성 때문에 인접 채널들의 전극들을 단락시키지 않는다. 폴리이미드 커버의 양측면에 위치되고, 각각 커버 두께의 대략 5%의 두께(50㎛ 두께의 커버인 경우 2.5㎛)를 가지는 이러한 물질로 된 두 개의 층은 (표준 복합 빔 이론에 근거하고 물질을 강화하기 위한 영의 계수(Young's modulus) 값이 합체 및 강성 물질과 중합체 물질 간의 우수한 접합부의 값보다 100배 더 큰 것으로 추정하여) 5-10의 요소(factor)로 휨 강성을 전형적으로 증가시킨다. 이러한 얇은 층은, 특히 층을 이루는 물질 자체가 어느 정도로 절제될 수 있으면, 커버 판이 절제될 수 있는 용이함에 어떤 큰 영향도 미치지 않는다.The stiffness of the cover plate formed of such an easily cut material may be increased by applying a coating of harder material to the inner and outer surfaces of the releasable cover plate. Particularly suitable for this purpose is silicon nitride. It can also be used as a protective coating in the process of WO95 / 07820 described above, deposited as a soft coating suitable for the resulting application of the non-wetting coating, and does not short the electrodes of adjacent channels because of its non-conductivity. Two layers of these materials, located on both sides of the polyimide cover, each having a thickness of approximately 5% of the cover thickness (2.5 μm for a 50 μm thick cover) (based on standard composite beam theory and strengthening the material) The Young's modulus value is typically 100 times greater than the value of the good joint between the coalesced and rigid material and the polymer material), typically increasing the flexural stiffness to a factor of 5-10. This thin layer does not have any significant effect on the ease with which the cover plate can be cut, especially if the layering material itself can be cut to some extent.

넓은 용어로 표현하면, 잉크젯 프린터용 커버판은, 그 반대측 면들에 접합된 다른 층들을 가지고 용이하게 절제될 수 있는 제 1 물질을 포함하며, 다른 층들은 각각 적어도 제 1 물질의 강성보다 큰 크기(order of magnitude) 의 강성을 가지는 물질로 이루어지고 적어도 제 1 층의 두께보다 작은 크기(order of magnitude)의 두께를 가진다.In broad terms, the cover plate for an inkjet printer includes a first material that can be easily abbreviated with other layers bonded to opposite sides thereof, each of the other layers having a size greater than at least the rigidity of the first material ( It is made of a material having an order of magnitude stiffness and has a thickness of at least an order of magnitude less than the thickness of the first layer.

도 6을 참조하면, 본 발명의 제 1 및 제 2 양태를 통합한 인쇄헤드가 도시되어 있다. 압전 세라믹 몸체(400)는 채널들(11), 채널-분리 벽들(13) 및 구동 회로(미도시)에 연결된 도전성 트랙들(410)을 통해 작동 신호들이 공급되는 전극들(23)을 가진다. 그러나, 이전의 실시예들과 달리, 잉크 인쇄는 몸체(400)에 있어서 채널(11)의 폐쇄된 바닥 표면(440)에 형성된 구멍(430)과 소통하는 노즐(420)로부터 발생되며 - 이는 노즐(320)이 채널(11)의 개방된 상측을 폐쇄하는 커버(350)에 위치된 도 5와 대비된다.Referring to Fig. 6, a printhead incorporating the first and second aspects of the present invention is shown. The piezoelectric ceramic body 400 has electrodes 23 through which operating signals are supplied via channels 11, channel-separation walls 13 and conductive tracks 410 connected to a drive circuit (not shown). However, unlike the previous embodiments, the ink printing is generated from the nozzle 420 in communication with the hole 430 formed in the closed bottom surface 440 of the channel 11 in the body 400-this is the nozzle Contrast with FIG. 5 where 320 is located in cover 350 which closes the open top of channel 11.

또한, 몰딩은 채널이 형성된 몸체(400)의 바람직한 제조 방법이며, 또한 도 4a 및 도 4b의 장치는 전극들(23)과 도전성 트랙들(410) 간의 전기 연결을 위하여 채택된다. 또한 소통공(430)은 몰딩 공정 도중에 형성될 수도 있고, 예를 들어 레이저에 의해 몰딩 공정에 이어서 형성될 수도 있다. 커버(450)는 더 이상 노즐을 통합하지 않지만 대신 잉크 입구 포트들(460)을 가진다. 이러한 장치는 앞서 논의된 실시예들보다 더 적은 구성 요소 수를 가지고 결과적으로 제조 상의 장점을 가진다. 대안적으로, 잉크 공급 포트들은 채널이 형성된 요소, 예를 들면 채널 끝들 에 형성될 수 있다.In addition, molding is the preferred method of manufacturing the channeled body 400, and the apparatus of FIGS. 4A and 4B is also adapted for electrical connection between the electrodes 23 and the conductive tracks 410. In addition, the communication hole 430 may be formed during the molding process, for example, may be formed subsequent to the molding process by a laser. Cover 450 no longer incorporates a nozzle but instead has ink inlet ports 460. Such devices have fewer component counts than the embodiments discussed above and consequently have manufacturing advantages. Alternatively, the ink supply ports may be formed at the channeled element, for example at the channel ends.

또한, 도 7의 인쇄헤드는, 압전 몸체(530)에 형성된 채널(11)의 양끝 및 중간에 위치된 잉크 입구 포트들(520, 522, 524)을 가지는 커버 요소(500)를 채택한다. 채널 벽들은 갭(540)에 의해 각각 포트들(520, 522)와 (522, 524)로 공급되는 두 구역(550, 560)으로 분리되며, 각 구역은 도전성 트랙들(650, 660)을 통하여 구동 회로(미도시)에 의해 구동되는 각각의 전극들(570, 580)에 의하여 독립적으로 작동가능하다. 각 구역에 대해 노즐판(615)에 형성되고, 그 구역을 위한 각 입구 포트들 간의 중간에 위치된 지점에서 채널의 바닥 표면에 형성된 소통홀들(630, 640)을 통해 채널(11)의 구역과 소통하는, 각각의 노즐(610, 620)이 제공된다.In addition, the printhead of FIG. 7 employs a cover element 500 having ink inlet ports 520, 522, 524 located at both ends and in the middle of the channel 11 formed in the piezoelectric body 530. The channel walls are separated into two zones 550, 560, which are fed to the ports 520, 522 and 522, 524, respectively, by a gap 540, each zone through conductive tracks 650, 660. Independently operable by respective electrodes 570, 580 driven by a drive circuit (not shown). Zone of channel 11 through communication holes 630 and 640 formed in the bottom surface of the channel at a point located midway between each inlet port for the zone, for each zone Respective nozzles 610 and 620 are provided, which are in communication with each other.

이러한 구성은, 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된, 동시 계류 중인 영국 특허출원 제0710530.8호에 기술되어 있고, 이 출원은 두 개의 평행한 열로 된 독립적으로 작동가능한 인쇄요소들을 가지는 인쇄헤드를 개시하며, 인쇄 요소들은 소형이고, 각 채널 구역으로의 "이중-단" 잉크 공급 때문에 단위 잉크 방울 인쇄 당 작동 전압은 감소된다. This configuration is described in co-pending UK patent application 0710530.8, filed by the applicant and incorporated herein by reference, which application has two parallel rows of independently operable printing elements. Initiating a printhead, the printing elements are compact and the operating voltage per unit ink drop printing is reduced because of the "double-end" ink supply to each channel region.

이전의 실시예들과 달리, 채널 전극들을 구동 칩들에 전기적으로 연결하는 도전성 트랙들(650, 660)은, 바람직하게는 전극들(570, 580)이 채널 벽들에 침착되는 동일한 단계에서, 압전 몸체 자체에 형성된다.Unlike the previous embodiments, the conductive tracks 650, 660 that electrically connect the channel electrodes to the drive chips are preferably piezoelectric bodies in the same step in which the electrodes 570, 580 are deposited on the channel walls. It is formed on itself.

이러한 장치는, 본 출원인에 의해 출원되고 참조에 의해 본 명세서에 통합된, EP-A-0 397 441로부터 공지되어 있으며, 따라서 여기서 더 이상 상세하게 기술되지 않는다. 트랙(650, 660) 및 구동 칩(590, 600) 간의 연결은, 와이어 본딩(wire bonding) 또는 금재 볼 연결(gold ball connection)을 포함하는 통상의 어떤 방법에 의해서도 달성될 수 있다.Such a device is known from EP-A-0 397 441, filed by the Applicant and incorporated herein by reference, and is therefore not described in further detail here. The connection between the tracks 650, 660 and the drive chips 590, 600 may be accomplished by any conventional method, including wire bonding or gold ball connection.

압전 몸체(530)는 몰딩될 수도 있다. 명료한 제조상의 장점에 더하여, 이러한 공정은 채널(11)의 끝이 도 8에 도시된 바와 같이 형성되게 한다. 즉, 채널의 끝이 몸체의 상측 표면(720)으로부터 채널 벽(730) 및 종방향 채널의 바닥표면(710)까지 부드럽고 연속적인 천이부(700)를 가지고 형성되게 한다. 이는 연속적으로 침착된 전극 물질에서의 불연속성 및 인쇄헤드 전체의 작동 수명에 해로운 효과를 가질 수도 있는 결합된 가열 효과들을 차례로 제거한다.The piezoelectric body 530 may be molded. In addition to the obvious manufacturing advantages, this process allows the end of the channel 11 to be formed as shown in FIG. 8. That is, the end of the channel is formed with a smooth, continuous transition 700 from the upper surface 720 of the body to the channel wall 730 and the bottom surface 710 of the longitudinal channel. This in turn eliminates discontinuities in the subsequently deposited electrode material and combined heating effects that may have a detrimental effect on the operating life of the entire printhead.

대안적으로, 채널들은 - 예들 들면 EP-A-0 309 148에 기술된 바와 같이 - 디스크 커터를 이용한 절단에 의해 압전 요소에 형성될 수도 있으며, 도 9 및 도 10에 단면도 및 상세 단면도로 도시되어 있다. 채널(11)의 깊이는, 800으로 도시된 바와 같이, 각 끝에서 점점 이어지고(run out), 인접한 절단 채널들(11) 사이로 한정된 압전 채널 벽은 두 개의 작동 구역들(550, 560) 사이에서 연속적으로 이어진다(run out). 그러나, 두 구역 사이에 위치한 채널 벽들 상의 전극의 틈(break)(810)은 작동 구역의 각 벽이 전기 입력부(820)을 통해 공급되는 신호에 의해 독립적으로 작동될 수 있다는 것을 보증한다. 이러한 틈은, 예를 들어 금속 도금의 침착 도중 마스킹에 의해 또는 레이저로 도금을 제거하는 것에 의해 달성될 수도 있다.Alternatively, the channels may be formed in the piezoelectric element by cutting with a disk cutter-as described, for example, in EP-A-0 309 148, which is shown in cross section and in detail in FIGS. 9 and 10. have. The depth of channel 11 runs out at each end, as shown at 800, A piezoelectric channel wall defined between adjacent cutting channels 11 runs out between two operating zones 550, 560. However, the break 810 of the electrode on the channel walls located between the two zones ensures that each wall of the operating zone can be operated independently by a signal supplied through the electrical input 820. Such gaps may be achieved, for example, by masking during the deposition of metal plating or by removing the plating with a laser.

상세하게 도시되지는 않았으나, 채널 벽들의 전극들과 전기 입력부(820) 사이의 연결은 어떤 공지된 기술에 의해서도 달성될 수 있으며, 이 기술은 채널(11) 후방의 영역(900)에 형성된 얕은 "런-아웃" 그루브들에 형성된 트랙들 간의 와이어 본드(상술된 EP-A-0 364 136에 기술됨) 또는 압전 시트 자체의 표면 상의 영역(900)에 형성된 도전성 트랙들 간의 도전성 접착제(예를 들면, 이방성 도전성 접착제)(EP-A-0 397 441에 기술됨)를 포함한다.Although not shown in detail, the connection between the electrodes of the channel walls and the electrical input 820 can be accomplished by any known technique, which is a shallow " "formed in the area 900 behind the channel 11. Wire bonds between tracks formed in run-out &quot; grooves (as described in EP-A-0 364 136 above) or conductive adhesives between conductive tracks formed in regions 900 on the surface of the piezoelectric sheet itself (e.g. Anisotropic conductive adhesive) (as described in EP-A-0 397 441).

도 7의 실시예에서와 같이, 각 채널(11)은 적당한 길이(820, 830)의 커버 요소(500)에 의해 두 개의 작동 구역들(550, 560)을 따라 폐쇄되며, 커버 요소는 각 채널 작동 구역으로 잉크가 공급되게 하고, 선택적으로, 일반적으로 알려진 바와 같이, 세척 목적을 위해 잉크가 각 채널 구역을 순환하게 하는 포트들(520, 522, 524)을 가진다. 포트(522)의 경우에서와 같이, 포트들은 작동 구역의 가장자리를 한정하도록 위치될 수도 있으며, 이 경우 제조가 간단해진다. 도시된 예에 있어서, 커버 포트(552)의 폭과 커버 폐쇄 길이(820, 803)는 동일한 크기이며, 그 크기는 전형적으로 2mm이다.As in the embodiment of FIG. 7, each channel 11 is closed along two operating zones 550, 560 by a cover element 500 of suitable lengths 820, 830, the cover element being each channel. It has ports 520, 522, 524 that allow ink to be supplied to the operating zone and, optionally, generally allow ink to circulate through each channel zone for cleaning purposes. As in the case of port 522, the ports may be positioned to define the edge of the operating zone, which simplifies manufacturing. In the example shown, the width of the cover port 552 and the cover closure lengths 820, 803 are the same size, which is typically 2 mm in size.

각 작동 구역으로부터의 잉크 분사는, 채널을 압전 요소(시트 860)의 채널이 형성된 표면의 반대측 표면과 소통시키는 구멍들을 통한다. 본 실시예에 있어서, 이 구멍들은 슬롯들(840, 850)의 형태를 취하며, 노즐판(890)의 각 노즐들(870, 880)의 배치에 있어서 약간의 여유를 허용하도록 슬롯들은 채널의 종방향으로 소정 거리 - 전형적으로 20㎛ - 연장한다. 일반적으로 노즐의 오프세팅(offsetting)은, 예를 들면 도시된 종류의 "공유 벽" 인쇄헤드들에서 인접한 채널로부터 잉크의 동시 분사가 가능하지 않을 때마다 필요하고, 일반적으로, 예를 들면 EP-A-0 396으로부터, 공지되어 있다. 그러므로 여기서 더 이상 상세하게 논의되지 않는다. Ink ejection from each operating zone passes through holes that communicate the channel with the surface opposite the surface on which the channel of the piezoelectric element (sheet 860) is formed. In this embodiment, these holes take the form of slots 840 and 850, and the slots are provided in the channel to allow some margin in the placement of the respective nozzles 870 and 880 in the nozzle plate 890. Extend a predetermined distance in the longitudinal direction, typically 20 μm. In general, the offsetting of the nozzle is necessary whenever simultaneous spraying of ink from adjacent channels is not possible, for example in the "shared wall" printheads of the kind shown, and in general, for example, EP-. It is known from A-0 396. Therefore, no further discussion is made here.                 

본 발명에 따른 인쇄헤드들은 상술된 WO91/17051에 기술된 바와 같이 모듈 형태로 만들어질 수도 있으며, 각 모듈은, 모듈들이 함께 접하는 것에 의해 각각의 인접한 모듈 쌍들 사이에 다른 채널들이 형성되도록 각각의 채널 부분을 가지고 반대측 끝 표면들에 형성된다. 이러한 장치에 있어서, 각각의 채널 부분들은 슬롯의 적어도 일부분을 포함할 수도 있으며, 슬롯은 각 채널 베이스에 형성되고, 한 쌍의 인접 모듈들 및 그것들의 각 슬롯 분들이 완벽하게 정렬되지 않았을지라도 두 슬롯 반들(two slot halves) 사이에서 노즐을 수용하기에 충분한 중첩부를 유지하는데 충분한 길이를 가진다.The printheads according to the invention may be made in the form of modules as described in WO91 / 17051 described above, each module having a respective channel such that different channels are formed between each adjacent pair of modules by adjoining the modules together. With a portion formed on opposite end surfaces. In such an apparatus, each channel portion may comprise at least a portion of a slot, wherein a slot is formed in each channel base and the two slots, although a pair of adjacent modules and their respective slots are not perfectly aligned. It is of sufficient length to maintain sufficient overlap to accommodate the nozzle between the two slot halves.

이전의 실시예에서와 같이, 노즐들(870, 880)은 노즐판(890)에 형성되며, 노즐판은, 도시된 바와 같이, 예를 들면 캐핑 및/또는 와이핑 기구(capping and/or wiping mechanism)의 결합을 위하여 적당히 큰 영역을 제공하도록 대체로 압전 시트(860)의 전체 길이 이상 연장할 수도 있다.As in the previous embodiment, the nozzles 870, 880 are formed in the nozzle plate 890, which, for example, is shown, for example, with a capping and / or wiping mechanism. It may generally extend beyond the entire length of the piezoelectric sheet 860 to provide an adequately large area for engagement.

본 발명이 실시예들 만으로 설명되었으나 본 발명의 범위로부터 벗어나지 않고 넓은 범위의 변형이 가능하다는 것을 알 수 있다. 본 발명의 제 1 양태에 관련하여 도시된 특징들은 제 2 양태에도 동등하게 적용될 수도 있으며, 그 반대도 마찬가지이다.Although the invention has been described in terms of the embodiments only, it can be seen that a wide range of modifications are possible without departing from the scope of the invention. Features shown in connection with the first aspect of the invention may equally apply to the second aspect and vice versa.

예를 들면, 압전 채널 벽들은, 예를 들면 참조에 의해 통합된 EP-A-0 277 703으로부터 공지된 바와 같이, 채널 축선의 평면에 수직인 반대 방향들로 극성화될 수 있다. 대안적으로, 채널 벽들의 극성화는, 예를 들면 EP-A-0 528 647로부터 공지된 바와 같이, 전극들이 채널 벽들 자체에 형성된 상태로 채널 축선의 평면에 평행할 수 있다.For example, piezoelectric channel walls can be polarized in opposite directions perpendicular to the plane of the channel axis, for example as known from EP-A-0 277 703, incorporated by reference. Alternatively, the polarization of the channel walls can be parallel to the plane of the channel axis with electrodes formed on the channel walls themselves, for example as known from EP-A-0 528 647.

또한, 인쇄헤드의 모든 채널이 잉크 방울을 분사할 수 있어야 할 필요는 없다. 즉, 잉크 방울을 분사할 수 있는 작동 채널들은, 예들 들면 상술된 EP-A-0 277 703에 기술된 바와 같이, - "더미(dummy)" 채널들이라고도 하는 - 비작동 채널들과 교호될 수도 있다.Also, not all channels of the printhead need to be able to eject ink droplets. That is, the actuation channels capable of ejecting ink droplets may be alternated with non acting channels-also referred to as "dummy" channels-as described, for example, in EP-A-0 277 703 described above. have.

Claims (63)

대향하는 종방향 측벽들과, 측벽들 사이로 연장하는 종방향 바닥 표면에 의해 한정되고, 상측이 개방된 적어도 하나의 종방향 잉크 채널;At least one longitudinal ink channel defined by opposing longitudinal sidewalls and a longitudinal bottom surface extending between the sidewalls, the upper side being open; 적어도 하나의 측벽들에 있는 압전 물질에 전기장을 가하여, 상기 종방향 채널로부터 잉크 방울이 분사되도록 채널과 관련한 벽을 변위시키기 위한 전극 수단; 및 Electrode means for applying an electric field to the piezoelectric material in at least one sidewalls to displace the wall associated with the channel such that ink droplets are ejected from the longitudinal channel; And 종방향 채널의 개방된 상측을 폐쇄하는 커버를 포함하며;A cover closing the open top side of the longitudinal channel; 상기 종방향 채널의 바닥 표면은 잉크 방울 분사를 위한 구멍이 형성되며;The bottom surface of the longitudinal channel is formed with a hole for ink droplet ejection; 커버는 잉크 방울의 공급을 위한 두 개의 포트들을 통합하고, 포트들은 구멍의 양측에서 채널을 따라 이격된 잉크 인쇄장치.The cover incorporates two ports for supply of ink droplets, the ports being spaced apart along the channel on either side of the aperture. 제 1 항에 있어서, 공급 포트들은 구멍의 양측에서 동일한 양만큼 이격된 장치.2. The apparatus of claim 1 wherein the supply ports are spaced apart by the same amount on both sides of the aperture. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 종방향 채널의 바닥 표면은 적어도 두 개의 구멍들이 형성되며, 구멍들은 채널을 따라 이격된 장치.The device of claim 1 or 2, wherein the bottom surface of the longitudinal channel is formed with at least two holes, the holes spaced apart along the channel. 제 3 항에 있어서, 커버는 각 구멍의 양측에 놓이도록 채널을 따라 이격된 잉크 방울 공급 포트들을 통합하는 장치.4. The apparatus of claim 3, wherein the cover incorporates ink drop supply ports spaced along the channel so as to lie on either side of each aperture. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 대향하는 종방향 측벽들과 측벽들 사이로 연장하는 종방향 바닥 표면에 의해 한정되고, 상측이 개방된 적어도 하나의 종방향 잉크 방울 채널;At least one longitudinal ink drop channel defined by opposing longitudinal sidewalls and a longitudinal bottom surface extending between the sidewalls, the upper side being open; 잉크 방울을 채널로 공급하기 위한 수단;Means for supplying ink droplets to the channel; 적어도 하나의 측벽에 있는 압전 물질에 전기장을 가하여, 상기 종방향 채널로부터 잉크 방울이 분사되도록 채널과 관련한 벽을 변위시키기 위한 전극 수단; 및 Electrode means for applying an electric field to the piezoelectric material at at least one sidewall to displace the wall associated with the channel such that ink droplets are ejected from the longitudinal channel; And 종방향 채널의 개방된 상측을 폐쇄하는 커버를 포함하며,A cover for closing the open upper side of the longitudinal channel, 상기 종방향 채널의 바닥 표면은 잉크 방울 분사를 위한 두 개의 구멍이 형성되며, 구멍들은 채널을 따라 이격된 잉크 인쇄장치.The bottom surface of the longitudinal channel is formed with two holes for ink droplet ejection, the holes are spaced apart along the channel. 제 11 항에 있어서, 잉크 방울을 공급하기 위한 수단은 각 채널의 양측에 위치되도록 커버에서 채널을 따라 이격된 공급 포트들을 포함하는 장치.12. The apparatus of claim 11, wherein the means for supplying ink droplets comprises supply ports spaced along the channel in the cover so as to be located on both sides of each channel. 제 1 항 또는 제 11 항에 있어서, 압전 물질은 전기장을 받을 때 시어 모드에서 변형하는 장치.12. The apparatus of claim 1 or 11, wherein the piezoelectric material deforms in shear mode when subjected to an electric field. 삭제delete 삭제delete 제 1 항 또는 제 11 항에 있어서, 상기 채널 벽은 전기 신호에 응답하여 채널들의 축선과 교차하는 방향으로 변위가능한 장치.12. The apparatus of claim 1 or 11, wherein the channel wall is displaceable in a direction crossing the axis of the channels in response to an electrical signal. 제 1 항 또는 제 11 항에 있어서, 상기 종방향 바닥 표면은 베이스에 의해 한정되고, 상기 베이스 및 상기 종방향 측벽들은 일체인 장치.12. The apparatus of claim 1 or 11, wherein the longitudinal bottom surface is defined by a base and the base and the longitudinal sidewalls are integral. 삭제delete 압전 물질을 포함하고, 상측이 개방된 적어도 하나의 종방향 채널을 가지며, 채널은 대향하는 종방향 측벽들과 측벽들 사이로 연장하는 종방향 바닥 표면에 의해 한정되는 몸체를 제공하는 단계;Providing a body comprising a piezoelectric material, the body having at least one longitudinal channel open at an upper side, the channel being defined by opposing longitudinal sidewalls and a longitudinal bottom surface extending between the sidewalls; 잉크 방울의 분사를 위하여 종방향 바닥 표면에 구멍을 형성하는 단계;Forming a hole in the longitudinal bottom surface for ejection of ink droplets; 적어도 하나의 측벽에 있는 압전 물질에 전기장을 가하여 상기 종방향 채널로부터 잉크를 분사하도록 채널과 관련한 벽을 변위시키기 위한 수단을 제공하는 단계; 및Providing means for displacing a wall associated with the channel to apply an electric field to the piezoelectric material at at least one sidewall to eject ink from the longitudinal channel; And 구멍의 양측에서 채널을 따라 이격되게 위치되도록 배열된 두 개의 잉크 공급 포트를 가지는 커버에 의해 종방향 채널의 개방된 상측을 폐쇄하는 단계를 포함하는 잉크 인쇄 장치의 제조 방법.Closing the open top side of the longitudinal channel by a cover having two ink supply ports arranged to be spaced apart along the channel on both sides of the aperture. 삭제delete 삭제delete 제 19 항에 있어서,The method of claim 19, 반대측에 있는 제 1 및 제 2 표면을 가지는 시트 형태인 몸체를 제공하는 단계;Providing a body in the form of a sheet having first and second surfaces on opposite sides; 상기 몸체의 제 1 표면으로부터 물질을 제거하여 채널을 형성하는 단계;Removing material from the first surface of the body to form a channel; 종방향 채널의 바닥 표면에 상기 시트의 제 2 표면과 소통하는 구멍을 형성하는 단계를 포함하는 방법.Forming a hole in the bottom surface of the longitudinal channel in communication with the second surface of the sheet. 제 22 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 표면과 수직한 방향으로 시트의 압전 물질을 극성화하는 단계를 포함하는 방법.23. The method of claim 22 including polarizing the piezoelectric material of the sheet in a direction perpendicular to the first and second surfaces. 압전 물질을 포함하며, 대향하는 종방향 측벽들과 측벽들 사이로 연장하는 종방향 바닥 표면에 의해 한정되고 상측이 개방된 적어도 하나의 종방향 잉크 방울 채널을 가지는 몸체를 제공하는 단계;Providing a body comprising a piezoelectric material, the body having opposing longitudinal sidewalls and at least one longitudinal ink drop channel open at an upper side and defined by a longitudinal bottom surface extending between the sidewalls; 채널의 종방향 바닥 표면에서 채널을 따라 이격되고, 잉크 방울 분사를 위한 두 개의 구멍을 형성하는 단계;Forming two holes spaced along the channel at the longitudinal bottom surface of the channel and for ink droplet ejection; 적어도 하나의 측벽에 있는 압전 물질에 전기장을 가하여 상기 종방향 채널로부터 잉크를 분사하도록 채널과 관련한 벽을 변위시키기 위한 수단을 제공하는 단계;Providing means for displacing a wall associated with the channel to apply an electric field to the piezoelectric material at at least one sidewall to eject ink from the longitudinal channel; 채널의 개방된 종방향 상측을 커버로 폐쇄하는 단계를 포함하는 잉크 인쇄 장치의 제조 방법.And closing the open longitudinal upper side of the channel with a cover. 제 24 항에 있어서, 각 구멍의 양측에 놓이도록 채널을 따라 이격된 잉크 공급 포트들을 통합하는 커버로 종방향 채널의 개방된 상측을 폐쇄하는 단계를 포함하는 방법.25. The method of claim 24 including closing the open top side of the longitudinal channel with a cover incorporating ink supply ports spaced along the channel so as to lie on either side of each aperture. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항 또는 제 11 항에 있어서, 상기 커버는 전기 신호를 전극 수단에 전달하기 위한 적어도 하나의 도전성 트랙 상에 형성된 표면을 포함하는 장치.12. The apparatus according to claim 1 or 11, wherein the cover comprises a surface formed on at least one conductive track for transmitting electrical signals to the electrode means. 제 59 항에 있어서, 상기 트랙들과 상기 전극 수단 사이의 전기 연결점은 채널의 외측에 위치되는 장치.60. The apparatus of claim 59, wherein an electrical connection point between the tracks and the electrode means is located outside of the channel. 제 1 항 또는 제 11 항에 있어서, 보호 코팅은 상기 전극 수단 위로 연장되는 장치.Device according to claim 1 or 11, wherein the protective coating extends over the electrode means. 제 61 항에 있어서, 보호 코팅은 상기 채널의 경계 아래로 연장되는 장치.62. The apparatus of claim 61, wherein the protective coating extends below the boundary of the channel. 제 1 항 또는 제 11 항에 있어서, 다수의 채널들은 일렬로 형성되고, 상기 채널들은 서로 평행하게 위치되어 그 사이의 채널 벽을 한정하는 장치.12. The apparatus according to claim 1 or 11, wherein a plurality of channels are formed in a line, the channels being located parallel to each other to define a channel wall therebetween.
KR1020007003872A 1997-10-10 1998-10-09 Droplet Deposition Apparatus and Methods of Manufacture thereof KR100567262B1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB9721555.2 1997-10-10
GBGB9721555.2A GB9721555D0 (en) 1997-10-10 1997-10-10 Droplet deposition apparatus and methods of manufacture thereof
PCT/GB1998/003050 WO1999019147A1 (en) 1997-10-10 1998-10-09 Droplet deposition apparatus and methods of manufacture thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010031048A KR20010031048A (en) 2001-04-16
KR100567262B1 true KR100567262B1 (en) 2006-04-04

Family

ID=10820385

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020007003872A KR100567262B1 (en) 1997-10-10 1998-10-09 Droplet Deposition Apparatus and Methods of Manufacture thereof

Country Status (13)

Country Link
EP (2) EP1241007B1 (en)
JP (1) JP2001519264A (en)
KR (1) KR100567262B1 (en)
CN (1) CN1146501C (en)
AT (1) ATE231073T1 (en)
AU (1) AU747616B2 (en)
BR (1) BR9812580A (en)
CA (1) CA2301819C (en)
DE (2) DE69833978T2 (en)
ES (2) ES2257481T3 (en)
GB (1) GB9721555D0 (en)
IL (1) IL134657A (en)
WO (1) WO1999019147A1 (en)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9828476D0 (en) 1998-12-24 1999-02-17 Xaar Technology Ltd Apparatus for depositing droplets of fluid
GB0000368D0 (en) * 2000-01-07 2000-03-01 Xaar Technology Ltd Droplet deposition apparatus
JP2001334664A (en) * 2000-05-25 2001-12-04 Seiko Instruments Inc Head chip and head unit
CN100528569C (en) * 2003-08-08 2009-08-19 柯尼卡美能达控股株式会社 Liquid jetting device, liquid jetting method, and method of forming wiring pattern on circuit board
JP2008213434A (en) * 2007-03-08 2008-09-18 Fuji Xerox Co Ltd Droplet ejection head, droplet ejection device, and image forming device
JP5298685B2 (en) * 2008-07-28 2013-09-25 コニカミノルタ株式会社 Inkjet head
JP5437773B2 (en) * 2009-10-29 2014-03-12 エスアイアイ・プリンテック株式会社 Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and method of manufacturing liquid ejecting head
JP6322369B2 (en) * 2013-07-18 2018-05-09 エスアイアイ・プリンテック株式会社 Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and method of manufacturing liquid ejecting head
GB2520574B (en) 2013-11-26 2015-10-07 Xaar Technology Ltd Droplet deposition apparatus and method for manufacturing the same
US9421768B2 (en) 2014-04-02 2016-08-23 Kabushiki Kaisha Toshiba Inkjet printer head
JP6266460B2 (en) 2014-07-30 2018-01-24 株式会社東芝 Inkjet head and inkjet recording apparatus
JP6950210B2 (en) * 2017-03-15 2021-10-13 ブラザー工業株式会社 Liquid discharge head

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2429232C3 (en) * 1974-06-18 1980-09-11 Olympia Werke Ag, 2940 Wilhelmshaven Writing mechanism with a mosaic print head
US4611219A (en) * 1981-12-29 1986-09-09 Canon Kabushiki Kaisha Liquid-jetting head
GB8824014D0 (en) * 1988-10-13 1988-11-23 Am Int High density multi-channel array electrically pulsed droplet deposition apparatus
DE3917434A1 (en) * 1989-05-29 1989-11-09 Siemens Ag Multi-layer ink printhead with ink channels which are produced by selective etching
JP3041952B2 (en) * 1990-02-23 2000-05-15 セイコーエプソン株式会社 Ink jet recording head, piezoelectric vibrator, and method of manufacturing these
GB9010289D0 (en) * 1990-05-08 1990-06-27 Xaar Ltd Drop-on-demand printing apparatus and method of manufacture
DE69011694T2 (en) * 1990-12-06 1995-01-26 Markpoint Dev Ab ARRANGEMENT FOR CONTROLLED INK DROP PRODUCTION.
JP2998764B2 (en) * 1991-06-13 2000-01-11 セイコーエプソン株式会社 Ink jet print head, ink supply method, and air bubble removal method
GB2288765B (en) * 1992-02-25 1996-05-01 Citizen Watch Co Ltd Ink jet head
US5659346A (en) * 1994-03-21 1997-08-19 Spectra, Inc. Simplified ink jet head
US5731827A (en) * 1995-10-06 1998-03-24 Xerox Corporation Liquid ink printer having apparent 1XN addressability

Also Published As

Publication number Publication date
AU9360898A (en) 1999-05-03
DE69833978D1 (en) 2006-05-18
JP2001519264A (en) 2001-10-23
CA2301819A1 (en) 1999-04-22
IL134657A0 (en) 2001-04-30
AU747616B2 (en) 2002-05-16
EP1241007A1 (en) 2002-09-18
EP1021302A1 (en) 2000-07-26
ES2186231T3 (en) 2003-05-01
BR9812580A (en) 2002-09-24
GB9721555D0 (en) 1997-12-10
CA2301819C (en) 2007-07-24
DE69833978T2 (en) 2007-01-25
IL134657A (en) 2004-01-04
CN1274316A (en) 2000-11-22
WO1999019147A1 (en) 1999-04-22
EP1241007B1 (en) 2006-03-29
CN1146501C (en) 2004-04-21
ATE231073T1 (en) 2003-02-15
DE69810799D1 (en) 2003-02-20
EP1021302B1 (en) 2003-01-15
DE69810799T2 (en) 2003-10-23
KR20010031048A (en) 2001-04-16
ES2257481T3 (en) 2006-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101363562B1 (en) Droplet deposition apparatus
US20110032311A1 (en) Inkjet print head and method of manufacture therefor
US6582066B1 (en) Droplet deposition apparatus and methods of manufacture thereof
JPH10278282A (en) Manufacture of ink jet head
KR100567262B1 (en) Droplet Deposition Apparatus and Methods of Manufacture thereof
JP2005515101A (en) Droplet adhesion device
KR100744451B1 (en) Droplet ejection apparatus
JP2000158645A (en) Ink jet head
US6572221B1 (en) Droplet deposition apparatus for ink jet printhead
US20010038404A1 (en) Inkjet recording head, piezoelectric vibration element unit used for the recording head, and method of manufacturing the piezoelectric vibration element unit
US6491383B2 (en) Head chip and head unit
JP4129614B2 (en) Inkjet recording head and inkjet recording apparatus
JP2000168094A (en) Manufacture of ink-jet head
JP2002361861A (en) Head chip and its manufacturing method
EP4000933B1 (en) Head chip, liquid jet head, liquid jet recording device, and method of manufacturing head chip
JPH0939233A (en) Ink jet head
JP3589107B2 (en) Ink jet recording head and ink jet recording apparatus
JP2005153243A (en) Liquid jetting head, its manufacturing method and liquid jetting apparatus
JP3076274B2 (en) Inkjet head
JP4320619B2 (en) Inkjet head manufacturing method
JP2002347241A (en) Head chip and its manufacturing method
JP2006044199A (en) Inkjet head
JP2002347239A (en) Head chip and its manufacturing method
JPH06255104A (en) Ink jet printing head and production thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130305

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140228

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee