JP2000158645A - Ink jet head - Google Patents

Ink jet head

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JP2000158645A
JP2000158645A JP33432498A JP33432498A JP2000158645A JP 2000158645 A JP2000158645 A JP 2000158645A JP 33432498 A JP33432498 A JP 33432498A JP 33432498 A JP33432498 A JP 33432498A JP 2000158645 A JP2000158645 A JP 2000158645A
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ink
plate
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chamber
actuator
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JP33432498A
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Japanese (ja)
Inventor
Hideaki Horio
英明 堀尾
Original Assignee
Matsushita Electric Ind Co Ltd
松下電器産業株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the responsiveness of ink with respect to an actuator in terms of an ink jet head that ejects ink in a pressurizing chamber as ink drops from a nozzle by displacing the actuator having a piezoelectric element by applying a voltage to the piezoelectric element.
SOLUTION: This ink jet head comprises a thin actuator 30. A pressurizing chamber 12 is formed such that the length thereof in the longitudinal direction is shorter than a length of a common ink chamber 11 in the same direction. The common ink chamber 11 is demarcated to be formed by a rear plate 24 and a rear side face of a main plate 23. A recess section 21 for the pressurizing chamber is formed on the front side face of the main plate 23 and the pressurizing chamber 12 is demarcated to be formed by the recess section 21 and a diaphragm 26. A nozzle plate 25 is provided to the front side face of the main plate 23. The diaphragm 26 is provided to the front side face of the nozzle plate 25 and a piezoelectric element 27 and an individual electrode 28 are provided to the front side face of the diaphragm 26.
COPYRIGHT: (C)2000,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットプリンタに用いるインクジェットヘッドに関する。 The present invention relates to relates to an ink jet head used in the ink jet printer.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来より、例えば特開平9−23486 BACKGROUND ART Conventionally, for example, JP-A-9-23486
4号公報に開示されているように、圧電素子の圧電効果を利用して記録を行うインクジェットヘッドが知られている。 No. 4 as disclosed in JP-jet head for recording by utilizing a piezoelectric effect of the piezoelectric element is known. 図11を参照しながら、上記公報に開示されたインクジェットヘッドの構造を説明する。 With reference to FIG. 11, the structure of the ink jet head disclosed in the above publication.

【0003】上記インクジェットヘッドの内部には、インクが供給される複数の圧力室101と、インク供給路105を介して複数の圧力室101に連通された共通インク室102とが区画形成されている。 [0003] in the interior of the ink jet head includes a plurality of pressure chambers 101 in which ink is supplied, the common ink chamber 102 communicating with the plurality of pressure chambers 101 through the ink supply path 105 is defined and formed . インクジェットヘッドの表側(図11における下側)にはノズル103が形成され、このノズル103と圧力室101とはインク吐出路104 On the front side of the inkjet head (the lower side in FIG. 11) the nozzle 103 is formed, the ink discharge passage 104 and the nozzle 103 and the pressure chamber 101
を介してつながっている。 It is connected via a. 各圧力室101の裏側(図11 The back side of the pressure chambers 101 (FIG. 11
における上側)は、振動板108で区画されている。 The upper) in is partitioned by the diaphragm 108. 振動板108の裏側面には補強板109が重ねられ、補強板109の裏側面には共通電極110(下部電極)が設けられている。 The reverse side of the diaphragm 108 is a reinforcing plate 109 are overlapped, the common electrode 110 (lower electrode) is provided on the rear surface of the reinforcing plate 109. 共通電極110の裏側面には、圧電素子106が設けられている。 On the back surface of the common electrode 110, the piezoelectric element 106 is provided. 圧電素子106の裏側面には、個別電極111(上部電極)が設けられている。 On the back surface of the piezoelectric element 106, the individual electrode 111 (upper electrode) is provided.

【0004】圧力室101の水平断面形状は細長い短冊状に形成されている。 [0004] horizontal sectional shape of the pressure chamber 101 is formed in an elongated strip shape. 複数の圧力室101は、圧力室の長手方向(図11に示すL1方向)と直交する方向に一列に並ぶように配設されている。 A plurality of pressure chambers 101 are arranged so as to line up in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the pressure chamber (L1 direction shown in FIG. 11).

【0005】 [0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のインクジェットヘッドでは、振動板108、共通電極110、圧電素子106及び個別電極111から成るアクチュエータ107の厚みが大きく、十分な量のたわみ変位を得るためには、アクチュエータ107の長手方向の長さを十分に大きく確保する必要があった。 [SUMMARY OF THE INVENTION However, in the conventional ink jet head, the diaphragm 108, the common electrode 110, the thickness of the actuator 107 of piezoelectric element 106 and the individual electrode 111 is large, for obtaining a sufficient amount of deflection displacement the had a longitudinal length of the actuator 107 is necessary to ensure sufficiently large. これに応じて、圧力室101の長手方向の長さも大きかった。 Accordingly, the longitudinal length of the pressure chamber 101 was large. 図11に明らかなように、圧力室101の長手方向(図示のL1方向)の長さは、共通インク室102における当該方向の長さよりも長かった。 As is apparent in FIG. 11, the length in the longitudinal direction of the pressure chamber 101 (L1 direction shown) was longer than the length of the direction of the common ink chamber 102. 従って、圧力室101の容積が大きく、圧力室101内のインクの応答性が十分高いとは言い難かった。 Thus, the volume of the pressure chamber 101 is large, it has been difficult to say that is sufficiently high responsiveness of the ink in the pressure chamber 101.

【0006】また、アクチュエータ107がヘッド本体の裏側に設けられ、ノズル103がヘッド本体の表側に形成されていたので、インクの応答性を向上させることに関し、構造上の制約があった。 [0006] The actuator 107 is provided on the back side of the head body, the nozzle 103 is formed in the front side of the head main body, relates to improving the responsiveness of the ink, there are restrictions on the structure. すなわち、アクチュエータ In other words, the actuator
107とノズル103との間に圧力室101及び共通インク室102 107 and the pressure chambers 101 and the common ink chamber between the nozzle 103 102
が位置しているため、アクチュエータ107の付与する圧力がノズル103の近傍のインクにまで伝達されるまでに、ある程度の時間が必要であった。 There Due to the position before pressure applied to the actuator 107 is transmitted to the ink in the vicinity of the nozzle 103, it was required some time.

【0007】本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、圧力室を小型化することにより、アクチュエータに対するインクの応答性を向上させることにある。 [0007] The present invention has been made in view of the foregoing, it is an object by the size of the pressure chamber, it is to improve the responsiveness of the ink to the actuator.

【0008】 [0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、本発明は、圧力室の長手方向長さを共通インク室の当該方向と同方向の長さよりも短くし、圧力室を小型化することとした。 Means for Solving the Problems] To achieve the above object, the present invention is shorter than the longitudinal length of the length of a direction the same as the direction of the common ink chamber of the pressure chamber, reduce the size of the pressure chamber It was decided to.

【0009】具体的には、本発明は、共通インク室と、 [0009] Specifically, the present invention includes a common ink chamber,
該共通インク室に連通した複数の圧力室と、圧電素子を有するアクチュエータとを備え、該圧電素子に電圧を印加することにより該アクチュエータを変位させて該圧力室内のインクに圧力を付与し、該圧力によってノズルからインク滴を吐出するインクジェットヘッドにおいて、 A plurality of pressure chambers communicating with the common ink chamber, and an actuator having a piezoelectric element, by displacing the actuator applies pressure to ink in the pressure chamber by applying a voltage to the piezoelectric element, the in the ink jet head for ejecting ink droplets from the nozzle by the pressure,
上記圧力室は、長手方向の長さが上記共通インク室における該圧力室の長手方向と同方向の長さよりも短く形成されていることとしたものである。 The pressure chamber is one in which the length in the longitudinal direction was that it is shorter than the length of the same direction as the longitudinal direction of the pressure chamber in the common ink chamber.

【0010】上記事項により、圧力室の長手方向の長さが短くなるので、圧力室が小型化する。 [0010] By the above matters, the longitudinal length of the pressure chamber is reduced, the pressure chamber is reduced in size. そのため、圧力室内のインク滴の応答性が向上し、印字等の性能が向上する。 Therefore, to improve the responsiveness of the ink drop in the pressure chamber, thereby improving the performance of printing and the like.

【0011】上記インクジェットヘッドは、例えば図4 [0011] The ink-jet head, for example, FIG. 4
に示すように、裏板と、該裏板との間に共通インク室を区画形成するように該裏板に対し所定間隔を存して対向する裏側面、及び複数の圧力室用凹部が形成された表側面を有し、該共通インク室と該各圧力室用凹部とをつなぐ複数のインク供給路が貫通形成された本体板と、上記各圧力室用凹部に対応する複数のノズルが貫通形成され、該各ノズルが該各圧力室用凹部の一部を覆うように、上記本体板の表側に設けられたノズル板とを備え、 As shown in, and a back plate, is back surfaces, and a plurality of pressure chambers recess opposed at predetermined intervals to backing plate so as to define a common ink chamber between the backing plate formed by having a front surface, a body plate having a plurality of ink supply path is formed through connecting the said common ink chamber and the respective pressure chamber recess, a plurality of nozzles corresponding to the recess for the respective pressure chambers through It is formed, so that respective nozzle covers a portion of the recess for the respective pressure chambers, and a nozzle plate provided on the front side of the main plate,
アクチュエータは、上記ノズル板の表側面に設けられて上記各圧力室用凹部と共に圧力室を区画形成するように上記本体板の各圧力室用凹部を覆う振動板を備え、上記アクチュエータの圧電素子は、上記振動板の表側面に設けられていてもよい。 The actuator includes a vibration plate which covers the pressure chambers recesses of the main plate as provided on the front side surface defining a pressure chamber with recesses for said respective pressure chambers of the nozzle plate, the piezoelectric element of the actuator it may be provided on the front surface of the vibration plate.

【0012】なお、本明細書では、ノズルが設けられている側を表側と称することとする。 [0012] In this specification, it will be referred to side nozzles are provided with the front side.

【0013】上記事項により、ノズル板が圧力室用凹部を覆うように設けられるので、ノズルと圧力室とが隣接し、圧力室からノズル開口に至る間のインク吐出路が非常に短くなる。 The [0013] above matters, the nozzle plate is provided to cover the recess for the pressure chamber, adjacent the nozzle and the pressure chamber, the ink discharge passage while the nozzle openings from the pressure chamber is very short. その結果、インクの応答性が向上し、インク滴の吐出が円滑に行われる。 This increases the responsiveness of the ink, ejection of ink droplets can be smoothly performed. また、共通インク室が本体板と裏板との間に区画形成されるので、共通インク室を大きく形成することが容易になる。 The common ink chamber because it is defined and formed between the main plate and the back plate, it is easy to increase forming the common ink chamber.

【0014】上記アクチュエータの表側面は、撥水性コーティング材料で覆われていてもよい。 [0014] front surface of the actuator may be covered with a water-repellent coating material.

【0015】上記事項により、アクチュエータの表側面は撥水性を有することになり、インクの付着が防止される。 [0015] By the above matters, the front surface of the actuator will have a water-repellent, ink adhesion of is prevented. 従って、アクチュエータとノズルとが同一面側に位置していても、インク滴の吐出は良好に行われる。 Thus, the actuator and the nozzle be positioned on the same side, ejection of ink droplets is performed well. また、アクチュエータが保護され、異物の付着等による特性劣化も防止される。 The actuator is protected, characteristic deterioration due to foreign matter adhesion and the like are also prevented.

【0016】また、上記インクジェットヘッドは、例えば図6に示すように、ノズルが形成されたノズル板と、 Further, the ink jet head, for example, as shown in FIG. 6, a nozzle plate in which nozzles are formed,
上記ノズル板の裏面側に設けられ、裏側面に複数の圧力室用凹部が形成されると共に該圧力室用凹部と上記ノズルとをつなぐインク吐出路が貫通形成された本体板とを備え、アクチュエータは、上記各圧力室用凹部に対応する位置にインク供給口が貫通形成されて該各圧力室用凹部と共に各圧力室を区画形成するように上記本体板の裏側に設けられた振動板を備え、上記アクチュエータの圧電素子は、上記振動板の裏側面に設けられ、上記圧電素子に駆動電圧を印加する駆動回路を有し、表側面に共通インク室を区画する共通インク室用凹部が形成されて上記アクチュエータの裏側に設けられた基板とを備えていてもよい。 Provided on the back side of the nozzle plate, and a body plate in which the ink discharge passage connecting the recess and the nozzle pressure chamber formed therethrough with a plurality of pressure chambers recesses on the back surface is formed, the actuator It is provided with a diaphragm provided on the back side of the main plate so that the ink supply port at a position corresponding to the recess for each of the pressure chambers is formed through defining a respective pressure chambers with recesses for respective pressure chambers the piezoelectric element of the actuator is provided on the back side surface of the diaphragm, a driving circuit for applying a driving voltage to the piezoelectric element, the common ink chamber recesses defining the common ink chamber in front surface is formed Te may comprise a substrate provided on the back side of the actuator.

【0017】上記事項により、ノズル板が圧力室の近傍に位置するので、インクの吐出路が短くなる。 The [0017] above matters, the nozzle plate is positioned in the vicinity of the pressure chamber, the discharge path of the ink is shortened. また、アクチュエータとノズルとの間の距離も短くなる。 Also shortens the distance between the actuator and the nozzle. その結果、インクの応答性が向上し、インク滴の吐出が円滑に行われる。 This increases the responsiveness of the ink, ejection of ink droplets can be smoothly performed. また、駆動回路を備えた基板が共通インク室の区画壁を形成するため、部材の集約化が図られ、コストが低減する。 Further, since the substrate having a drive circuit to form a partition wall of the common ink chamber, consolidation of members is achieved, the cost is reduced.

【0018】なお、上記インクジェットヘッドは、本体板と振動板との間に設けられ、各圧力室用凹部の中央部に対応する複数の中央開口及び該振動板のインク供給口に対応する複数のインク供給口が貫通形成された中間板と、基板との間に共通インク室を区画形成するようにアクチュエータと該基板との間に設けられ、該アクチュエータに対向する面における上記各中央開口に対応する位置に凹部が形成され、上記振動板及び上記中間板の両インク供給口に対応する開口が貫通形成された区画板とを備えていてもよい。 [0018] Incidentally, the ink jet head is disposed between the main plate and the diaphragm, the plurality corresponding to the ink supply port of the plurality of central openings and said vibrating plate corresponding to the central portion of the concave portion for each pressure chamber an intermediate plate in which the ink supply port formed therethrough, corresponding to the common ink chamber is provided between the actuator and the substrate so as to define form, each central opening in the surface facing the said actuator between the substrate position recess is formed in the opening corresponding to two ink supply ports of the vibration plate and the intermediate plate may be provided with a partition plate formed through.

【0019】上記事項により、アクチュエータと基板との間に区画板が設けられるので、アクチュエータの圧電素子が共通インク室のインクに接触することが防止される。 By [0019] the matter, since partition plate is provided between the actuator and the substrate, the piezoelectric element of the actuator is in contact with the ink in the common ink chamber is prevented. また、区画板の上記各中央開口に対応する位置に凹部が形成されているので、アクチュエータは当該凹部内で変形を行い、その変形が容易になる。 Further, since the recess at a position corresponding to the respective central opening of the partition plate is formed, the actuator performs a modification in the recess, the deformation is facilitated. 従って、アクチュエータの動作が円滑に行われる。 Thus, operation of the actuator can be smoothly performed.

【0020】また、インクジェットヘッドは、例えば図8に示すように、複数の圧力室用凹部が形成された表側面を有する本体板を備え、アクチュエータは、上記各圧力室用凹部に対応する位置にインク供給口が貫通形成されて該各圧力室用凹部と共に各圧力室を区画形成するように上記本体板の裏側に設けられた振動板を備え、上記アクチュエータの圧電素子は、上記振動板の表側面に設けられ、上記圧電素子に駆動電圧を印加する駆動回路を備えて上記アクチュエータの表側に設けられ、各圧力室に対応する複数のノズルが形成された表側面と、共通インク室を区画する共通インク室用凹部が形成された裏側面とを備え、該各ノズルにつながるインク吐出路が貫通形成された基板を備えていてもよい。 Further, the ink jet head, for example, as shown in FIG. 8, includes a main plate having a front face recess a plurality of pressure chambers are formed, the actuator is in a position corresponding to the recess for the respective pressure chambers the ink supply port is formed through with a diaphragm provided on the back side of the main plate so as to define a respective pressure chambers with recesses for respective pressure chambers, a piezoelectric element of the actuator, the table of the diaphragm provided on the side surface, a driving circuit for applying a driving voltage to the piezoelectric element provided on the front side of the actuator, the front surface having a plurality of nozzles are formed corresponding to the pressure chambers, defining the common ink chamber and a rear surface of the recess for the common ink chamber is formed, may be provided with a substrate in which the ink discharge passage leading to the respective nozzles formed therethrough.

【0021】上記事項により、アクチュエータとノズルとの間の距離が短くなり、インクの応答性が向上する。 The [0021] above matters, the distance between the actuator and the nozzle is reduced, thereby improving the responsiveness of the ink.
また、駆動回路を備えた基板が共通インク室の区画壁及びノズルを形成しているので、部材の集約化が図られ、 Further, since the substrate having a drive circuit form a partition wall and nozzle of the common ink chamber, consolidation of member is achieved,
コストが低減する。 Cost is reduced.

【0022】上記インクジェットヘッドは、本体板と振動板との間に設けられ、各圧力室用凹部の中央部に対応する複数の中央開口と該各圧力室用凹部の端部に対応する複数のインク供給口及びインク吐出口とが貫通形成された中間板と、基板との間に共通インク室を区画形成するようにアクチュエータと該基板との間に設けられ、該アクチュエータに対向する面における上記中央開口に対応する位置に凹部が形成され、上記インク供給口及びインク吐出口に対応するインク供給口及びインク吐出口が貫通形成された区画板とを備えていてもよい。 The ink jet head is provided between the main plate and the diaphragm, the plurality corresponding to the ends of the plurality of central openings and recesses for respective pressure chambers corresponding to the central portion of the concave portion for each pressure chamber and an intermediate plate in which the ink supply port and the ink discharge ports formed therethrough, is provided between the actuator and the substrate so as to define a common ink chamber between the substrate, the at the surface facing to said actuator recess is formed at a position corresponding to the central opening, the ink supply port corresponding to the ink supply port and the ink discharge port and the ink discharge port may be provided with a partition plate formed through.

【0023】上記事項により、アクチュエータと基板との間に区画板が設けられるので、アクチュエータの圧電素子が共通インク室のインクに接触することが防止される。 [0023] By the above matters, the partition plate is provided between the actuator and the substrate, the piezoelectric element of the actuator is in contact with the ink in the common ink chamber is prevented. また、区画板の上記各中央開口に対応する位置に凹部が形成されているので、アクチュエータは当該凹部内で変形を行い、その変形が容易になる。 Further, since the recess at a position corresponding to the respective central opening of the partition plate is formed, the actuator performs a modification in the recess, the deformation is facilitated. 従って、アクチュエータの動作が円滑に行われる。 Thus, operation of the actuator can be smoothly performed.

【0024】また、インクジェットヘッドは、例えば図3に示すように、圧力室が副走査方向に整列して成る圧力室列を主走査方向に複数列備え、上記各圧力室列の圧力室は、隣の圧力室列の相隣る圧力室の間に対応する部位に位置する千鳥状に配置されていてもよい。 Further, the ink jet head, for example, as shown in FIG. 3, comprises a plurality of rows of pressure chamber rows in which the pressure chambers are formed by aligned in the sub-scanning direction in the main scanning direction, the pressure chambers of each pressure chamber row, between Aitonaru pressure chamber of the pressure chamber adjacent column may be arranged in a zigzag pattern located at positions corresponding.

【0025】上記事項により、各圧力室列の圧力室は、 [0025] by the above-mentioned matters, the pressure chamber of the pressure chambers column,
隣の圧力室列の相隣る圧力室の間に対応する部位に位置するように千鳥状に配置されていることから、ドット密度の向上が図られ、ヘッドが小型化される。 Since it was staggered so as to be located at positions corresponding to between Aitonaru pressure chamber of the pressure chamber column next, improved dot density is achieved, the head can be miniaturized.

【0026】 [0026]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, an embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings.

【0027】<第1実施形態>図1に示すように、インクジェットプリンタ6は、圧電素子の圧電効果を利用して記録を行うインクジェットヘッド1を備え、このインクジェットヘッド1から吐出したインク滴を紙等の記録媒体4上に着弾させ、記録媒体4に記録を行うものである。 As shown in <First Embodiment> FIG. 1, the ink jet printer 6 is provided with inkjet heads 1 for recording by utilizing a piezoelectric effect of the piezoelectric element, the paper and ink droplets ejected from the inkjet head 1 It landed on the recording medium 4 and the like, and performs recording on the recording medium 4. インクジェットヘッド1は、キャリッジ軸3に沿って往復動するキャリッジ2に搭載され、キャリッジ軸3と平行な主走査方向Xに往復動するように構成されている。 The ink-jet head 1 is mounted on a carriage 2 which reciprocates along the carriage shaft 3, and is configured to reciprocate in the main scanning direction X parallel to the carriage shaft 3.
なお、記録媒体4はローラ5によって副走査方向Yに搬送される。 The recording medium 4 is conveyed by the rollers 5 in the sub-scanning direction Y.

【0028】インクジェットヘッド1は、図2に示すように共通インク室11、複数の圧力室12、及び複数のノズル開口(図2においては図示せず)が形成されたヘッド本体10と、図示しないドライバICとを備えている。 The ink-jet head 1 includes a common ink chamber 11, the head body 10 in which a plurality of pressure chambers 12, and a plurality of nozzle openings (not shown in FIG. 2) is formed as shown in FIG. 2, not shown and a driver IC. 複数の圧力室12は、主走査方向Xに8列づつ並ぶように、 A plurality of pressure chambers 12, the main scanning direction X so as to be arranged at a time and eight columns,
ジグザグに配設されている。 It is arranged in a zig-zag. アクチュエータ30の個別電極に接続された接続端子15は、ヘッド本体10の主走査方向Xの両側において副走査方向Yに沿って配列されている。 Connecting terminals 15 connected to the individual electrode of the actuator 30 are arranged along the sub-scanning direction Y on both sides of the main scanning direction X of the head main body 10. この接続端子15は、図示しないドライバICにワイヤボンディング等によって接続され、当該ドライバIC The connection terminals 15 are connected by wire bonding or the like to a driver IC (not shown), the driver IC
からの駆動信号を個別電極に伝達する。 A drive signal from the transmitting to the individual electrodes.

【0029】次に、図3を参照しながら、ヘッド本体10 [0029] Next, with reference to FIG. 3, the head main body 10
の圧力室12等の配置パターンを説明する。 Illustrating the arrangement pattern such as a pressure chamber 12. 図3は、8列の圧力室列のうちの図1における左側4列を示すものであり、いずれの圧力室12もその長径Lが列方向Yと直交するように形成されている。 FIG. 3 shows the left four columns in Figure 1 of the pressure chamber rows of eight columns, one of the pressure chambers 12 also has its major axis L is formed so as to be perpendicular to the column direction Y. また、図3において左端に位置する第1列目の圧力室12aの列群に対して第2列目の各圧力室12bは第1列目の相隣る圧力室12a,12aの間に対応する部位に配置されており、第2列目の圧力室12b The first column is the second column of the pressure chambers 12b for the column group in the pressure chamber 12a of the first row of Aitonaru pressure chamber 12a positioned at the left end in FIG. 3, corresponds to between 12a It is disposed in a portion of the second row of the pressure chambers 12b
の配置と第3列目の圧力室12cの配置との関係、及び第3列目の圧力室12cの配置と第4列目の圧力室12dの配置との関係も、上記第1列目の圧力室12aの配置と第2列目の圧力室12bの配置との関係と同じである。 Placement and relationship between the arrangement of the third row of the pressure chambers 12c, and also the relationship between the arrangement of the third row of the pressure chambers 12d arranged and fourth row of the pressure chambers 12c, the first row is the same as that between the arrangement of the arrangement and the second row of the pressure chambers 12b of the pressure chamber 12a. すなわち、多数の圧力室12は、複数の列に並べられて、隣り合う列の圧力室同士の位置がすれた千鳥状になるように配置されている。 That is, a large number of pressure chambers 12 is arranged in a plurality of rows are arranged so that the position of the pressure chambers of the adjacent row is staggered with them.

【0030】ただし、各列の圧力室12は当該列方向と直交する同一直線上に並ぶことはなく、互いに列方向に少しずつずれている。 [0030] However, the pressure chambers 12 of each row are never aligned on the same straight line orthogonal to the column direction, are shifted slightly to the column direction. これは、互いのドット位置を副走査方向にずらすためである。 This is to shift the dot positions to each other in the sub-scanning direction.

【0031】図3に示す左側4列だけでなく、図1における右側4列の圧力室12も同様の千鳥状に配置されているが、これら右側4列の圧力室12も互いに列方向に少しずつずれており且つ上記左側4列のいずれの圧力室12との関係でも同一直線上に並ぶことがないように互いに列方向にずれている。 [0031] Not only the left four columns shown in FIG. 3, are disposed on the right four columns the pressure chamber 12 is also similar staggered in FIG. 1, a bit in the column direction to each other the pressure chamber 12 of the right four columns in deviation and and relationships with any of the pressure chambers 12 of the left four columns each are shifted in the column direction so as not to line up on the same line.

【0032】各圧力室12に対し個別に設けられた圧電素子27及び個別電極28(図4参照)は、互いに重なった状態で振動板26の表面に同一のパターンを描いて、アクチュエータ30を変位させるための駆動部35を形成している。 [0032] (see FIG. 4) piezoelectric element 27 and the individual electrodes 28 provided individually for each of the pressure chambers 12, depicts the same pattern on the surface of the vibration plate 26 in a state of overlapping each other, the actuator 30 displacement It forms a driving portion 35 for causing. 駆動部35と接続端子15とは、個別電極28が延長して成る配線部31によって接続されている。 A driving unit 35 and the connecting terminal 15 are connected by wiring portions 31 formed by extending the individual electrodes 28.

【0033】そして、上記左端の圧力室12aの列よりも内側に位置する各列の圧力室12b,12c,12dの駆動部35から延びる配線部31は、他の列の相隣る圧力室12a,12b,12 [0033] Then, each row of the pressure chambers 12b located inside the columns of the left end of the pressure chambers 12a, 12c, the wiring portion 31 which extends from the drive unit 35 of the 12d, the Aitonaru pressure chamber 12a of the other row , 12b, 12
cの間を通っている。 c passes through between.

【0034】すなわち、このインクジェットヘッド1では、多数の圧力室12が複数列に且つ相隣る列の圧力室が千鳥状になるように並べられて最も密になるように配置されているとともに、相隣る圧力室12,12同士を隔てる隔壁のヘッド表面側部分が配線部31の配設スペースに利用されている。 [0034] That is, in the ink-jet head 1, together with a number of pressure chambers 12 are pressure chambers and Aitonaru column in a plurality of rows are arranged so as to be most densely arranged such that a zigzag shape, head surface portion of the partition wall separating the Aitonaru pressure chambers 12 and 12 to each other is utilized in the installation space of the wiring portion 31. そして、隣の圧力室列の内側に3列の圧力室列が設けられていることから、左端の圧力室列の相隣る圧力室12a,12a間には配線部31が3本通っている。 Then, since the pressure chamber rows of three columns on the inside of the pressure chamber adjacent column are provided, Aitonaru pressure chamber 12a of the left end of the pressure chamber rows, the wiring portion 31 between 12a are through three .

【0035】以上のような圧電素子27及び個別電極28のパターンは、右側4列の圧力室12においても同様である。 The pattern of the above-described piezoelectric element 27 and the individual electrode 28 is the same in the pressure chamber 12 in the right four columns.

【0036】次に、ヘッド本体10の詳細な構成を説明する。 [0036] Next, the detailed structure of the head main body 10. 図4に示すように、本体板23は、ヘッド本体10の裏側面を構成する裏板24と所定間隔を存して対向し、本体板23の裏側面と裏板24の表側面との間に共通インク室11 As shown in FIG. 4, the main plate 23 is opposed to presence of the back plate 24 a predetermined distance constituting a rear surface of the head main body 10, between the front surface of the rear surface and the back plate 24 of the main plate 23 common to the ink chamber 11
が区画形成されている。 There has been defined and formed. 共通インク室11は、図2に示すように、ヘッド本体10の主走査方向Xのほぼ全域に亘って延びており、主走査方向Xに並ぶ複数の圧力室12に跨って形成されている。 Common ink chamber 11, as shown in FIG. 2, extend almost over the entire main scanning direction X of the head main body 10, it is formed over the plurality of pressure chambers 12 arranged in the main scanning direction X. 特に、本実施形態では、共通インク室11は単一の空間に形成されている。 In particular, in the present embodiment, the common ink chamber 11 is formed in a single space.

【0037】図4に示すように、本体板23の表側面には圧力室用凹部21が形成されている。 As shown in FIG. 4, the front surface of the main plate 23 a pressure chamber recess 21 is formed. また、本体板23には、当該圧力室用凹部21に連続するインク供給路22が、 Further, the main body plate 23, the ink supply path 22 continuous to the pressure chamber recess 21,
表側から裏側に向かって貫通形成されている。 It is formed through toward the back side from the front side. インク供給路22は、圧力室用凹部21の長径方向の一端側に設けられ、裏側から表側に向かって開口面積が減少するように、2段の貫通孔22a,22bによって形成されている。 The ink supply path 22 is provided on one end side of the major axis direction of the pressure chamber recess 21, such that the opening area decreases from the rear side toward the front side, two stages of through-holes 22a, it is formed by 22b. 裏側に位置する貫通孔22aは、表側に位置する貫通孔22bよりも大径に形成されている。 Through holes 22a located on the back side is formed to have a diameter larger than the through-hole 22b located on the front side.

【0038】本体板23の表側面には、ノズル14が形成されたノズル板25が、圧力室用凹部21の一部(図3の右端部分)を覆うように設けられている。 [0038] on the front surface of the main plate 23, a nozzle plate 25 in which the nozzles 14 are formed is provided so as to cover a part of the pressure chamber recess 21 a (right end portion in FIG. 3). ノズル14は、インク供給路22に対し圧力室12の長径方向の逆側に位置するように設けられている。 Nozzle 14 is provided so as to be positioned on the opposite side of the major axis direction of the pressure chamber 12 to the ink supply passage 22. ノズル14は、吐出方向に向かって流路断面積が小さくなるような先細ノズルの形状に形成されている。 Nozzle 14, the flow path cross-sectional area toward the ejection direction is formed in the shape of tapered nozzles as small.

【0039】ノズル板25の表面には、本体板23の圧力室用凹部21を覆うように、振動板26が設けられている。 [0039] surface of the nozzle plate 25, so as to cover the pressure chamber recess 21 of the main plate 23, the vibration plate 26 is provided. そして、主として本体板23の圧力室用凹部21及び振動板26 Then, mainly the pressure chamber recess 21 and the diaphragm 26 of the main plate 23
によって、圧力室12が区画形成されている。 Accordingly, the pressure chambers 12 are defined and formed. 振動板26には、ノズル板25のノズル14に対応する位置にノズル開口 The vibrating plate 26, the nozzle openings at positions corresponding to the nozzles 14 of the nozzle plate 25
13が設けられている。 13 is provided. つまり、振動板26は、圧力室12の区画壁を形成すると共に、ノズル14から吐出されるインク滴を通過させるように構成されている。 That is, the vibration plate 26, thereby forming a partition wall of the pressure chamber 12, and is configured to pass ink droplets ejected from the nozzle 14. 振動板26は、 The vibration plate 26,
CrまたはCr系材料で構成され、以下の圧電素子27に電圧を印加するための共通電極としても機能する。 Consists of Cr or Cr-based material, which also functions as a common electrode for applying a voltage below the piezoelectric element 27. 振動板26の厚さは0.5μm以上かつ5μm以下が好ましく、1μm以上かつ3μm以下がより好ましく、さらに、1.5μm以上かつ2.5μm以下がより一層好ましい。 The thickness of the vibration plate 26 is preferably 0.5μm or more and 5μm or less, more preferably not more than 3μm or less 1 [mu] m, further still more preferably, 1.5μm or more and 2.5μm or less.

【0040】PZTから成る圧電素子27は、振動板26の表側面におけるノズル開口13が設けられていない部分に接合されている。 The piezoelectric element 27 made of PZT is bonded to a portion of the nozzle opening 13 is not provided in the front surface of the diaphragm 26. 図3に示すように、圧電素子27における圧力室12の中央上部に位置する部分(駆動部35に対応する部分)は、長径方向が主走査方向と一致するいわゆる小判形に形成されている。 As shown in FIG. 3, a portion located in the top center of the pressure chamber 12 of the piezoelectric element 27 (the portion corresponding to the drive unit 35) is longer diameter direction is formed in a so-called oval which coincides with the main scanning direction. なお、圧電素子27の長径L Incidentally, the major axis of the piezoelectric element 27 L
と短径Sとの比L/Sは、1以上かつ3以下が特に好ましい。 The ratio L / S of the minor axis S is 1 or more and 3 or less are particularly preferred. 圧電素子27の厚さは0.3μm以上かつ8μm以下が好ましく、1μm以上かつ5μm以下がより好ましく、さらに、2μm以上かつ3μm以下がより一層好ましい。 The thickness of the piezoelectric element 27 is preferably 0.3μm or more and 8μm or less, more preferably not more than 5μm or less 1 [mu] m, further still more preferably, 2μm or more and 3μm or less.

【0041】圧電素子27の表側面には、圧電素子27とほぼ同形の個別電極28が接合されている。 [0041] on the front surface of the piezoelectric element 27 is substantially the same shape of the individual electrode 28 is bonded to the piezoelectric element 27. 個別電極28は、 Individual electrodes 28,
厚さ0.05μm以上かつ1μm以下、例えば0.1μ Thickness 0.05μm or more and 1μm or less, for example, 0.1μ
mのPtまたはPt系材料によって形成されている。 It is formed by Pt or Pt-based material m.

【0042】振動板26はノズル板25の全面に亘って形成されているのに対し、圧電素子27及び個別電極28は、各圧力室12に対し一組づつ設けられている。 [0042] While the diaphragm 26 is formed on the entire surface of the nozzle plate 25, the piezoelectric element 27 and the individual electrodes 28 are provided a pair at a time to each of the pressure chambers 12. 振動板26、圧電素子27及び個別電極28は、圧力室12内のインクに圧力を付与するためのアクチュエータ30を構成している。 Diaphragm 26, the piezoelectric element 27 and the individual electrodes 28 constitute an actuator 30 for applying a pressure to the ink in the pressure chamber 12.

【0043】アクチュエータ30は、薄型化されたアクチュエータである。 The actuator 30 is an actuator that has been thinned. アクチュエータ30の厚みは、好ましくは0.1μm以上かつ30μm以下、より好ましくは0.1μm以上かつ25μm以下、より好ましくは0. The thickness of the actuator 30 is preferably 0.1μm or more and 30μm or less, more preferably 0.1μm or more and 25μm or less, more preferably 0.
1μm以上かつ20μm以下、より好ましくは0.1μ 1μm or more and 20μm or less, and more preferably 0.1μ
m以上かつ15μm以下、より好ましくは0.1μm以上かつ10μm以下、より好ましくは0.5μm以上かつ9μm以下、より好ましくは1μm以上かつ8μm以下、より好ましくは2μm以上かつ7μm以下、より好ましくは2μm以上かつ6μm以下、より好ましくは3 m or more and 15μm or less, more preferably 0.1μm or more and 10μm or less, more preferably 0.5μm or more and 9μm or less, more preferably 1μm or more and 8μm or less, more preferably 2μm or more and 7μm or less, more preferably 2μm or more and 6μm or less, more preferably 3
μm以上かつ6μm以下、さらに好ましくは4μm以上かつ6μm以下がよい。 μm or more and 6μm or less, more preferably from 4μm or more and 6μm or less.

【0044】振動板26のノズル開口13周りの表側面とアクチュエータ30の表側面(より詳しくは、個別電極28の表面)とは、絶縁性を有する撥水性コーティング材29で覆われている。 The front surface and the front surface of the actuator 30 around the nozzle opening 13 of the diaphragm 26 (more specifically, the surface of the individual electrode 28) and is covered with a water-repellent coating material 29 having insulating properties.

【0045】次に、図5(a)〜(h)を参照しながら、ヘッド本体10の製造方法を説明する。 Next, with reference to FIG. 5 (a) ~ (h), explaining the manufacturing method of the head main body 10.

【0046】まず、図5(a)に示すように、パターニング用の基板32を準備する。 [0046] First, as shown in FIG. 5 (a), providing a substrate 32 for patterning. 基板32としては、例えば厚さ20mmのものを用いる。 As the substrate 32, used as a thickness of, for example, 20 mm.

【0047】次に、図5(b)に示すように、個別電極用のPt膜33を上記基板32の表面に形成する。 Next, as shown in FIG. 5 (b), to form the Pt film 33 for the individual electrodes on the surface of the substrate 32. その形成は、例えばスパッタリングによって行う。 Its formation is performed, for example, by sputtering. Pt膜33の膜厚は、例えば0.1μmにする。 The film thickness of the Pt film 33, for example to 0.1 [mu] m.

【0048】次に、図5(c)に示すように、圧電素子用のPZT膜34を上記Pt膜33の表面に形成する。 Next, as shown in FIG. 5 (c), the PZT film 34 of the piezoelectric element is formed on the surface of the Pt film 33. その形成は、例えばスパッタリングによって行う。 Its formation is performed, for example, by sputtering. PZT膜 PZT film
34の膜厚は、例えば2〜3μmにする。 34 of thickness, for example, to 2 to 3 [mu] m.

【0049】次に、図5(d)に示すように、上記Pt Next, as shown in FIG. 5 (d), the Pt
膜33及びPZT膜34に対する分割パターニングを行う。 Performing division pattern to the membrane 33 and the PZT film 34.
これは、上記圧電素子27及び個別電極28のパターンを形成する工程である。 This is a step of forming a pattern of the piezoelectric element 27 and the individual electrode 28. このパターニングは、例えば化学エッチングまたはイオンミリングによって行う。 This patterning is performed, for example, by chemical etching or ion milling. エッチング後、表面の平坦化を行う。 After the etching is performed to planarize the surface.

【0050】次に、図5(e)に示すように、プラスチックのコーティングを行う。 Next, as shown in FIG. 5 (e), performing a coating of plastic. これは、上記パターニングによって除去された部分を絶縁材(プラスチック)36で埋めて個別電極28同士を絶縁する工程である。 This is a step of insulating the between the individual electrodes 28 to fill the removed portion by the patterning of an insulating material (plastic) 36. このプラスチックとしては、例えばポリイミドを用いる。 As the plastic, for example polyimide.

【0051】次に、図5(f)に示すように、上記圧電素子27及び絶縁材36の表面に振動板26を形成する。 Next, as shown in FIG. 5 (f), to form the vibrating plate 26 to the surface of the piezoelectric element 27 and the insulating material 36. この形成は、例えばCrのスパッタリングによって行う。 This formation is performed, for example, by sputtering Cr. 振動板26の厚みは、例えば2μmとする。 The thickness of the vibration plate 26 is, for example, 2 [mu] m.

【0052】次に、図5(g)に示すように、上記振動板26の表面にプラスチックから成るノズル板25を形成する。 Next, as shown in FIG. 5 (g), forming a nozzle plate 25 made of plastic on the surface of the diaphragm 26. この形成は、例えばエキシマレーザ加工によって行う。 This formation is performed, for example, by excimer laser processing. プラスチックとしては、例えばポリイミドを用いる。 As the plastic, for example polyimide. ノズル板25の厚みは、例えば25μmとする。 The thickness of the nozzle plate 25 is, for example, 25 [mu] m.

【0053】次に、図5(h)に示すように、圧力室用凹部21及びインク供給路22が形成された本体板23を、上記ノズル板25の表面に接合する。 Next, as shown in FIG. 5 (h), the main plate 23 a recess 21 and the ink supply channel 22 for pressure chambers are formed is bonded to the surface of the nozzle plate 25. この接合は、例えば熱硬化性の接着剤を用いて行う。 This bonding is performed by using, for example, thermosetting adhesive.

【0054】なお、この接合工程の後に、本体板23の表面にスペーサ(図示せず)を介して裏板24を接合し、本体板23と裏板24との間に共通インク室11を形成する。 [0054] Incidentally, after the bonding step, bonding the backing plate 24 via a spacer (not shown) on the surface of the body plate 23, forming a common ink chamber 11 between the main plate 23 and back plate 24 to. その後、基板32を除去する。 Thereafter, the substrate is removed 32.

【0055】以上のように、第1実施形態によれば、圧力室12が小型化されているので、インクの応答性が向上する。 [0055] As described above, according to the first embodiment, since the pressure chamber 12 is downsized, thereby improving the responsiveness of the ink.

【0056】また、圧力室12とノズル14とが隣り合っているので、吐出に際してのインクの流動抵抗が著しく低減されている。 [0056] Further, since the pressure chamber 12 and the nozzle 14 are adjacent, the flow resistance of the ink is significantly reduced the time of discharge. そのため、インク滴の吐出が円滑に行われ、印字等の記録が良好に行われる。 Therefore, performed smoothly ejection of ink droplets, it is excellently performed recording such as printing.

【0057】本体板23と裏板24との間に共通インク室11 [0057] common ink chamber 11 between the main plate 23 and back plate 24
を区画形成することとしたので、共通インク室11を大きく確保することができる。 Since it was decided to define a, it is possible to ensure a large common ink chamber 11. 従って、共通インク室11内のインクの圧力変動が少なく、異なる圧力室12間の圧力変動の相互干渉が低減され、インクの応答性が向上する。 Accordingly, less pressure fluctuations of the ink in the common ink chamber 11, the mutual interference of the pressure fluctuation between different pressure chambers 12 is reduced, thereby improving the responsiveness of the ink.
また、本体板23に共通インク室11のための凹部を形成する必要がないので、製造コストを低減することができる。 Moreover, it is not necessary to form a recess for the common ink chamber 11 to the main plate 23, it is possible to reduce the manufacturing cost.

【0058】共通インク室11と圧力室12との間のインク供給路22を、本体板23に裏表方向に貫通形成したので、 [0058] The ink supply path 22 between the common ink chamber 11 and the pressure chamber 12, since the formed through the sides direction to the body plate 23,
インク供給路22が蛇行することがない。 The ink supply path 22 is prevented from meandering. また、その長さを短くすることができる。 Further, it is possible to shorten the length. 従って、共通インク室11から圧力室12に至る間のインクの流動抵抗が小さくなり、インクの応答性が向上する。 Therefore, the flow resistance of the ink between leading to the pressure chamber 12 from the common ink chamber 11 is reduced, thereby improving the responsiveness of the ink.

【0059】圧力室12を千鳥状に配設したので、ヘッド密度が大きい。 [0059] Since the pressure chamber 12 is disposed in a zigzag manner, a large head density. 従って、記録媒体に高密度のインクドットを形成することができる。 Therefore, it is possible to form a high density ink dots on the recording medium. また、ヘッド本体を小型化することができる。 Moreover, the head body can be downsized. そのため、上記の圧力室12の小型化の効果と相俟って、ヘッド本体を著しく小型化することが可能となる。 Therefore, I effect coupled with the downsizing of the pressure chamber 12, it is possible to greatly reduce the size of the head body.

【0060】アクチュエータ30の表面を撥水性のコーティング材29で覆うこととしたので、アクチュエータ30とノズル14とがヘッド本体10の同一面側に位置していても、アクチュエータ30に吐出インクが付着することが抑制される。 [0060] Since the surface of the actuator 30 was to cover with a coating material 29 of the water repellency, even when the actuator 30 and the nozzle 14 are located on the same side of the head main body 10, discharged ink is adhered to the actuator 30 it is suppressed. 従って、インクの吐出が良好に行われる。 Thus, the ejection of ink is performed well. また、アクチュエータ30がゴミ等の異物から保護され、その特性の劣化が防止される。 Further, the actuator 30 is protected from foreign substances such as dust, deterioration of its characteristics can be prevented.

【0061】ノズル板25の表面にアクチュエータ30を設けているので、製造に際して、アクチュエータ30を形成後、当該アクチュエータ30の表面にノズル板25をパターニングすることができ、製造コストを低減することができる。 [0061] Since the actuator 30 on the surface of the nozzle plate 25 is provided, during manufacture, after the formation of the actuator 30, it is possible to pattern the nozzle plate 25 on the surface of the actuator 30, it is possible to reduce the manufacturing cost .

【0062】<第2実施形態>第2実施形態に係るインクジェットヘッド1は、駆動回路を有するドライバIC [0062] an inkjet head 1 according to the <Second Embodiment> The second embodiment, a driver IC including a driver circuit
(基板)43を本体板23に接合し、当該ドライバIC43に共通インク室11を区画する区画壁としての機能を兼用させたものである。 (Substrate) 43 was bonded to the main plate 23, it is obtained by also functions as a partition wall for partitioning the common ink chamber 11 to the driver IC 43.

【0063】図6に示すように、本体板23の表側面には、ノズル14が形成されたノズル板25が設けられている。 [0063] As shown in FIG. 6, the front surface of the main plate 23, a nozzle plate 25 in which the nozzles 14 are formed is provided. 本体板23の裏側面には、圧力室用凹部21が形成されている。 On the back surface of the main plate 23, a pressure chamber recess 21 is formed. 本体板23の表側面におけるノズル14に対応する位置には、圧力室用凹部21に連続するインク吐出路47が貫通形成されている。 At positions corresponding to the nozzles 14 in the front surface of the main plate 23, the ink discharge passage 47 continuous to the pressure chamber recess 21 is formed through. インク吐出路47は、裏側から表側に向かって先細り形状に形成され、表側の開口はノズル The ink discharge passage 47 is formed in a tapered shape toward the back side to the front side, the front side of the opening nozzle
14の裏側端よりも開口面積が大きくなっている。 Opening area is larger than the back end of 14.

【0064】本体板23の裏側面には、圧力室12よりもひとまわり小さな中央開口39が形成された中間板40が、当該中央開口39が圧力室12の中央部に対応した位置に設けられている。 [0064] the back side surface of the main body plate 23, the intermediate plate 40 small central opening 39 is formed slightly larger than the pressure chamber 12, is provided at a position where the central opening 39 corresponding to the central portion of the pressure chamber 12 ing. また、中間板40には、圧力室12におけるノズル14と逆側の端部に連続するインク供給口38が貫通形成されている。 Further, the intermediate plate 40, the ink supply port 38 that is continuous with the end of the nozzle 14 and the opposite side of the pressure chamber 12 is formed through.

【0065】中間板40の裏側面には、振動板26が設けられている。 [0065] On the back surface of the intermediate plate 40, the vibration plate 26 is provided. 振動板26における中間板40の中央開口39に対応する部分は圧力室12内のインクと接触している。 Portion corresponding to the central opening 39 of the intermediate plate 40 of the vibration plate 26 is in contact with the ink in the pressure chamber 12. つまり、振動板26の一部は圧力室12を区画形成している。 In other words, part of the vibration plate 26 is partitioned and formed a pressure chamber 12. 振動板26には、インク供給口38に対応する位置にインク供給口38と同様の開口が形成されている。 The diaphragm 26, an opening similar to the ink supply port 38 is formed at a position corresponding to the ink supply port 38.

【0066】振動板26の裏側面には、圧電素子27が形成されている。 [0066] On the back surface of the vibration plate 26, the piezoelectric element 27 is formed. 圧電素子27の裏側面には個別電極28が形成されている。 On the back side surface of the piezoelectric elements 27 are formed individual electrodes 28. 圧電素子27及び個別電極28における圧力室 The pressure chamber of the piezoelectric element 27 and the individual electrode 28
12に対応する部分は、振動板26と共にたわみ変形を行って圧力室12内のインクに圧力を付与する駆動部35となっている。 Portions corresponding to 12 has a drive unit 35 for applying pressure by performing a flexural deformation along with the diaphragm 26 to the ink in the pressure chamber 12. なお、圧電素子27及び個別電極28にも、インク供給口38に対応する開口が形成されている。 Also in the piezoelectric element 27 and the individual electrode 28, openings corresponding to the ink supply port 38 is formed.

【0067】個別電極28の裏側面には、区画板41が設けられている。 [0067] On the back surface of the individual electrode 28, partition plate 41 is provided. 区画板41は、圧電素子27及び個別電極28がインクと接触しないよう、圧電素子27及び個別電極28を共通インク室11から区画するものである。 Partition plate 41, so that the piezoelectric element 27 and the individual electrode 28 is not in contact with the ink, is to divide the piezoelectric element 27 and the individual electrode 28 from the common ink chamber 11. 区画板41の表側面には、中央開口39に対応する位置、すなわち駆動部 The front surface of the partition plate 41, the position corresponding to the central opening 39, i.e. the drive unit
35と対応する位置に変位室用凹部46が形成されている。 35 displacement chamber recessed portions 46 are formed at positions corresponding to the.
変位室用凹部46は、駆動部35を含むアクチュエータ30との間に、アクチュエータ30のたわみ変形を容易にするための変位室50を区画形成するために設けられている。 Displacement chamber recess 46, between the actuator 30 including the driving unit 35, a displacement chamber 50 to facilitate the bending deformation of the actuator 30 provided for partitioning formed. 変位室用凹部46は、アクチュエータ30の最大変位以上の深さに形成されている。 Displacement chamber recess 46 is formed in the maximum displacement above the depth of the actuator 30. 区画板41の裏側面は面一に形成されている。 Backside of the partition plate 41 are flush. なお、区画板41にも、インク供給口38に対応する開口が形成されている。 Also the partition plate 41, openings corresponding to the ink supply port 38 is formed. そして、振動板26、圧電素子27、個別電極28及び区画板41の開口と中間板40のインク供給口38とにより、共通インク室11のインクを圧力室 The vibration plate 26, the piezoelectric element 27, the ink supply port 38 of the aperture and the intermediate plate 40 of the individual electrodes 28 and the partition plate 41, the pressure chambers of the ink in the common ink chamber 11
12に導くインク供給路51が形成されている。 Ink supply passage 51 is formed that leads to 12.

【0068】区画板41の裏側面には、ドライバIC43が接合されている。 [0068] the back side surface of the partition plate 41, the driver IC43 is joined. ドライバIC43の表側面には、共通インク室用凹部44が形成されている。 The front surface of the driver IC 43, the common ink chamber recesses 44 are formed. そして、共通インク室用凹部44の底部と区画板41の裏側面との間に、共通インク室11が区画形成されている。 Between the rear surface of the partition plate 41 and the bottom portion of the common ink chamber recesses 44, the common ink chamber 11 is defined and formed. ドライバIC43の裏側面には、図示しない駆動回路が形成されている。 On the back surface of the driver IC 43, a driving circuit (not shown) is formed. つまり、本実施形態では、ドライバIC43は駆動回路を備えるだけでなく、共通インク室11を区画形成する区画壁としても機能している。 That is, in the present embodiment, the driver IC43 is not only a drive circuit, and also functions as a partition wall for defining a common ink chamber 11.

【0069】圧電素子27及び個別電極28のパターンは、 [0069] pattern of the piezoelectric element 27 and the individual electrodes 28,
第1実施形態と同様である。 Is the same as in the first embodiment.

【0070】次に、図7(a)〜(h)を参照しながら、インクジェットヘッド1の製造方法を説明する。 Next, with reference to FIG. 7 (a) ~ (h), explaining the manufacturing method of the ink-jet head 1.

【0071】まず、図7(a)に示すように、パターニング用の基板32を準備する。 [0071] First, as shown in FIG. 7 (a), providing a substrate 32 for patterning. 基板32としては、例えば厚さ20mmのものを用いる。 As the substrate 32, used as a thickness of, for example, 20 mm.

【0072】次に、図7(b)に示すように、個別電極用のPt膜33を上記基板32の表面に形成する。 Next, as shown in FIG. 7 (b), to form the Pt film 33 for the individual electrodes on the surface of the substrate 32. その形成は、例えばスパッタリングによって行う。 Its formation is performed, for example, by sputtering. Pt膜33の膜厚は、例えば0.1μmにする。 The film thickness of the Pt film 33, for example to 0.1 [mu] m.

【0073】次に、図7(c)に示すように、圧電素子用のPZT膜34を上記Pt膜33の表面に形成する。 Next, as shown in FIG. 7 (c), the PZT film 34 of the piezoelectric element is formed on the surface of the Pt film 33. その形成は、例えばスパッタリングによって行う。 Its formation is performed, for example, by sputtering. PZT膜 PZT film
34の膜厚は、例えば2〜3μmにする。 34 of thickness, for example, to 2 to 3 [mu] m.

【0074】次に、図7(d)に示すように、上記Pt Next, as shown in FIG. 7 (d), the Pt
膜33及びPZT膜34に対する分割パターニングを行う。 Performing division pattern to the membrane 33 and the PZT film 34.
これは、上記圧電素子27及び個別電極28のパターンを形成する工程である。 This is a step of forming a pattern of the piezoelectric element 27 and the individual electrode 28. このパターニングは、例えば化学エッチングまたはイオンミリングによって行う。 This patterning is performed, for example, by chemical etching or ion milling. エッチング後、表面の平坦化を行う。 After the etching is performed to planarize the surface.

【0075】次に、図7(e)に示すように、プラスチックのコーティングを行う。 [0075] Next, as shown in FIG. 7 (e), performing a coating of plastic. これは、上記パターニングによって除去された部分を絶縁材(プラスチック)36で埋めて個別電極同士を絶縁する工程である。 This is a step of insulating the individual electrodes are to fill the removed portion by the patterning of an insulating material (plastic) 36. このプラスチックとしては、例えばポリイミドを用いる。 As the plastic, for example polyimide.

【0076】次に、図7(f)に示すように、上記圧電素子27及び絶縁材36の表面に振動板26を形成する。 [0076] Next, as shown in FIG. 7 (f), to form the vibrating plate 26 to the surface of the piezoelectric element 27 and the insulating material 36. この形成は、例えばCrのスパッタリングによって行う。 This formation is performed, for example, by sputtering Cr. 振動板26の厚みは、例えば2μmとする。 The thickness of the vibration plate 26 is, for example, 2 [mu] m.

【0077】次に、振動板26の表面に中間板40を設け、 Next, an intermediate plate 40 provided on the surface of the vibration plate 26,
図7(g)に示すように、ノズル板25が設けられた本体板23を、中間板40の表面に接合する。 As shown in FIG. 7 (g), the main plate 23 to the nozzle plate 25 is provided, it is bonded to the surface of the intermediate plate 40. この接合は、例えば接着剤の転写や熱硬化性接着剤を用いて行う。 The bonding is performed using, for example, a transfer or a thermosetting adhesive of the adhesive. その後、基板32を除去する。 Thereafter, the substrate is removed 32.

【0078】次に、絶縁材36、振動板26及び中間板40にインク供給路51のための貫通孔を形成する。 [0078] Next, an insulating material 36, to form a through hole for ink supply passage 51 to the diaphragm 26 and the intermediate plate 40. 貫通孔の形成は、例えばエキシマレーザ加工によって行う。 Forming the through hole is performed, for example, by excimer laser processing.

【0079】次に、図7(h)に示すように、個別電極 [0079] Next, as shown in FIG. 7 (h), the individual electrodes
28及び絶縁材36に対し区画板41を接合する。 To 28 and the insulating material 36 for bonding the partition plate 41. 区画板41の厚みは、例えば23μmとする。 The thickness of the partition plate 41 is, for example, 23 .mu.m. その後、区画板41に対し、当該区画板41との間に共通インク室11を区画形成するようにドライバIC43を接合する。 Thereafter, to the partition plate 41, joining the driver IC43 to define a common ink chamber 11 between the partition plate 41.

【0080】以上のように、第2実施形態によれば、ドライバIC43によって共通インク室11を区画することとしたので、部材の一体化を図ることができ、コストが低減する。 [0080] As described above, according to the second embodiment, since it was decided to partition the common ink chamber 11 by the driver IC 43, it is possible to integrate the members, the cost is reduced. また、部材の集積化を図ることができるので、 Further, since the integration can be achieved in the member,
ヘッドをより小型にすることができる。 Head can more be reduced in size to.

【0081】圧力室12からノズル14に至る吐出路が短いため、インクの流動抵抗が小さくなる。 [0081] Since the discharge passage from the pressure chamber 12 to the nozzle 14 is short, flow resistance of the ink decreases. また、共通インク室11と圧力室12との間のインク供給路51が短く、圧力室12へのインク供給に際しての流動抵抗も小さい。 Also, short ink supply passage 51 between the common ink chamber 11 and the pressure chamber 12, less flow resistance during ink supply to the pressure chamber 12. そのため、インク滴の吐出を良好に行うことができる。 Therefore, it is possible to satisfactorily perform the ejection of ink droplets.

【0082】<第3実施形態>第3実施形態に係るインクジェットヘッド1は、ドライバIC(基板)43を本体板23に接合し、当該ドライバIC43に共通インク室11を区画する区画壁及びノズルの機能を兼用させたものである。 [0082] <Third Embodiment> inkjet head 1 according to the third embodiment, the driver IC (substrate) 43 joined to the main plate 23, the partition wall and the nozzle defining the common ink chamber 11 to the driver IC43 function is obtained by also serves as a.

【0083】図8及び図9に示すように、本体板23の表側面には圧力室用凹部21が形成され、本体板23の裏側面は面一に形成されている。 [0083] As shown in FIGS. 8 and 9, the front surface of the main plate 23 a pressure chamber recess 21 is formed, the back surface of the main plate 23 are flush. 第3実施形態では、本体板23 In the third embodiment, the main plate 23
に第1実施形態のようなインク供給路22は形成されていない。 The ink supply path 22 as in the first embodiment is not formed on. 図9に示すように、圧力室用凹部21は、第1実施形態と同様、横断面形状が略楕円形状に形成されている。 As shown in FIG. 9, the pressure chamber recess 21, as in the first embodiment, the cross sectional shape is formed in a substantially elliptical shape.

【0084】本体板23の表側面には、中間板40が圧力室用凹部21の一部を覆うように形成されている。 [0084] on the front surface of the main body plate 23, the intermediate plate 40 is formed so as to cover a portion of the pressure chamber recess 21. 中間板40 The intermediate plate 40
には、圧力室12からノズル14に至るインク吐出路45の一部を形成するインク吐出口37、共通インク室11から圧力室12に至るインク供給路51の一部を形成するインク供給口38、及び圧力室12よりもひとまわり小さな中央開口39 The ink supply port forming part of the ink discharge port 37, the ink supply passage 51 leading to the pressure chamber 12 from the common ink chamber 11 forming a part of the ink discharge passage 45 leading from the pressure chamber 12 to the nozzle 14 38 , and slightly than the pressure chamber 12 a small central opening 39
が形成されている。 There has been formed. インク吐出口37とインク供給口38とは圧力室12の長手方向の両端に形成され、中央開口39は圧力室12の中央部に対応するようインク吐出口37とインク供給口38との間に形成されている。 The ink discharge port 37 and the ink supply port 38 is formed in the longitudinal ends of the pressure chambers 12, the central opening 39 between the ink discharge port 37 and the ink supply port 38 so as to correspond to the central portion of the pressure chamber 12 It is formed.

【0085】中間板40の表側面には、振動板26が本体板 [0085] The front surface of the intermediate plate 40, the vibration plate 26 main body plate
23の圧力室用凹部21を覆うように設けられている。 It is provided so as to cover the pressure chamber recess 21 of the 23. 振動板26は圧力室12の区画壁の一部を形成している。 Diaphragm 26 forms part of a partition wall of the pressure chamber 12. 振動板 Vibration plate
26には、インク供給口38及びインク吐出口37のそれぞれに対応した位置に、それぞれ同径の開口が形成されている。 The 26, in positions corresponding to the respective ink supply ports 38 and the ink discharge port 37, the opening of the same diameter are respectively formed.

【0086】振動板26の表側面には、圧電素子27が形成されている。 [0086] The front surface of the vibration plate 26, the piezoelectric element 27 is formed. 圧電素子27の表側面には個別電極28が形成されている。 The front surface of the piezoelectric elements 27 are formed individual electrodes 28. 圧電素子27及び個別電極28における圧力室 The pressure chamber of the piezoelectric element 27 and the individual electrode 28
12に対応する部分は、振動板26と共にたわみ変形を行って圧力室12内のインクに圧力を付与する駆動部35となっている。 Portions corresponding to 12 has a drive unit 35 for applying pressure by performing a flexural deformation along with the diaphragm 26 to the ink in the pressure chamber 12. 圧電素子27及び個別電極28にも、インク供給口 To the piezoelectric element 27 and the individual electrodes 28, the ink supply port
38に対応する開口が形成されている。 Opening corresponding to 38 is formed.

【0087】個別電極28の表側面には、区画板41が設けられている。 [0087] The front surface of the individual electrode 28, partition plate 41 is provided. 区画板41における中央開口39に対応する位置、すなわち駆動部35に対応する位置には、裏側に凹状の変位室用凹部46が形成されている。 Position corresponding to the central opening 39 in the partition plate 41, namely at a position corresponding to the drive unit 35, concave displacement chamber recess 46 is formed on the back side. なお、区画板41にも、インク供給口38及びインク吐出口37のそれぞれに対応する開口が形成されている。 Also the partition plate 41, openings corresponding to the respective ink supply ports 38 and the ink discharge ports 37 are formed.

【0088】そして、共通インク室区画板41の表側面には、駆動回路を有するドライバIC43が接合されている。 [0088] Then, the front surface of the common ink chamber partition plate 41, the driver IC43 having a driving circuit is bonded. ドライバIC43の裏側面には、共通インク室用凹部 On the back surface of the driver IC 43, the recess for the common ink chamber
44が形成されている。 44 is formed. また、インク吐出口37に対応する位置には、裏側面から表側面につながるインク吐出路45 Further, at a position corresponding to the ink discharge port 37, the ink discharge passage 45 leading from the rear surface to the front surface
が貫通形成されている。 There is formed through. インク吐出路45の表側には、先細形状のノズル14が形成されている。 The front side of the ink discharge passage 45, the nozzle 14 of the tapered shape is formed. つまり、ドライバIC43は、共通インク室11を区画形成すると共に、インク滴を吐出するためのノズル14を備えている。 That is, the driver IC43, together defining a common ink chamber 11, a nozzle 14 for ejecting ink droplets.

【0089】圧電素子27及び個別電極28のパターンは、 [0089] pattern of the piezoelectric element 27 and the individual electrodes 28,
第1実施形態と同様である。 Is the same as in the first embodiment.

【0090】次に、図10(a)〜(h)を参照しながら、インクジェットヘッド1の製造方法を説明する。 [0090] Next, with reference to FIG. 10 (a) ~ (h), explaining the manufacturing method of the ink-jet head 1.

【0091】まず、図10(a)に示すように、パターニング用の基板32を準備する。 [0091] First, as shown in FIG. 10 (a), providing a substrate 32 for patterning. 基板32としては、例えば厚さ20mmのものを用いる。 As the substrate 32, used as a thickness of, for example, 20 mm.

【0092】次に、図10(b)に示すように、個別電極用のPt膜33を上記基板32の表面に形成する。 [0092] Next, as shown in FIG. 10 (b), to form the Pt film 33 for the individual electrodes on the surface of the substrate 32. その形成は、例えばスパッタリングによって行う。 Its formation is performed, for example, by sputtering. Pt膜33の膜厚は、例えば0.1μmとする。 The film thickness of the Pt film 33 is, for example, 0.1 [mu] m.

【0093】次に、図10(c)に示すように、圧電素子用のPZT膜34を上記Pt膜33の表面に形成する。 [0093] Next, as shown in FIG. 10 (c), the PZT film 34 of the piezoelectric element is formed on the surface of the Pt film 33. その形成は、例えばスパッタリングによって行う。 Its formation is performed, for example, by sputtering. PZT PZT
膜34の膜厚は、例えば2〜3μmにする。 The film thickness of the film 34, for example, to 2 to 3 [mu] m.

【0094】次に、図10(d)に示すように、上記P [0094] Next, as shown in FIG. 10 (d), the P
t膜33及びPZT膜34に対する分割パターニングを行う。 Performing division pattern for t film 33 and the PZT film 34. これは、上記圧電素子27及び個別電極28のパターンを形成する工程である。 This is a step of forming a pattern of the piezoelectric element 27 and the individual electrode 28. このパターニングは、例えば化学エッチングまたはイオンミリングによって行う。 This patterning is performed, for example, by chemical etching or ion milling. エッチング後、表面の平坦化を行う。 After the etching is performed to planarize the surface.

【0095】次に、図10(e)に示すように、プラスチックのコーティング工程を行う。 [0095] Next, as shown in FIG. 10 (e), performing coating processes of plastic. これは、上記パターニングによって除去された部分を絶縁材(プラスチック)36で埋めて個別電極同士を絶縁する工程である。 This is a step of insulating the individual electrodes are to fill the removed portion by the patterning of an insulating material (plastic) 36. このプラスチックとしては、例えばポリイミドを用いる。 As the plastic, for example polyimide.

【0096】次に、図10(f)に示すように、上記圧電素子27及び絶縁材36の表面に振動板26を形成する。 [0096] Next, as shown in FIG. 10 (f), to form the vibrating plate 26 to the surface of the piezoelectric element 27 and the insulating material 36. この形成は、例えばCrのスパッタリングによって行う。 This formation is performed, for example, by sputtering Cr.
振動板26の厚みは、例えば2μmとする。 The thickness of the vibration plate 26 is, for example, 2 [mu] m.

【0097】次に、図10(g)に示すように、中間板 [0097] Next, as shown in FIG. 10 (g), the intermediate plate
40を設けてパターニングを行い、インク吐出路45のための貫通孔52を形成する。 Patterning is performed by providing a 40 to form a through hole 52 for the ink discharge passage 45. 中間板40の厚さは、例えば25 The thickness of the intermediate plate 40, for example 25
μmとする。 μm to. 貫通孔52の形成は、例えばエキシマレーザ加工により行う。 Forming the through-hole 52 is carried out by, for example, an excimer laser processing.

【0098】次に、図10(h)に示すように、中間板 [0098] Next, as shown in FIG. 10 (h), the intermediate plate
40に本体板23を接合し、基板32を除去する。 Joining the main plate 23 to 40 to remove the substrate 32. この接合は、例えば接着剤転写や熱硬化性接着剤を用いて行う。 The bonding is performed using, for example, the adhesive transfer or thermosetting adhesive.
その後、絶縁材36及び個別電極28に区画板41を接合し、 Then, joining the partition plate 41 in the insulating material 36 and the individual electrodes 28,
この区画板41にドライバIC43を接合する。 Bonding the driver IC43 in the partition plate 41.

【0099】以上のように、第3実施形態によれば、ドライバIC43によって共通インク室11及びインク吐出路 [0099] As described above, according to the third embodiment, the common ink chamber 11 and the ink discharge path by the driver IC43
45を形成することとしたので、部材の一体化を図ることができ、コストが低減する。 Since it was decided to form a 45, it is possible to achieve integration of member, the cost is reduced. また、部材の集積化を図ることができ、ヘッドを一層小型化することができる。 Further, it is possible to achieve integration of members, the head can be further downsized.

【0100】 [0100]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、圧力室の長手方向の長さを共通インク室における当該方向の長さよりも短くすることとしたので、圧力室を小型化することができ、圧力室内のインク滴の応答性を向上させることができる。 As is evident from the foregoing description, according to the present invention, since it was decided to be shorter than the length of the direction of the common ink chamber in the longitudinal direction of the length of the pressure chamber, reducing the size of the pressure chamber can, it is possible to improve the responsiveness of the ink drop in the pressure chamber. 従って、印字等の記録の精度が向上する。 This improves the recording accuracy of printing or the like.

【0101】アクチュエータとノズルとをヘッド本体の同一面側に位置づけることにより、共通インク室を大きく確保することができる。 [0102] By positioning the actuator and the nozzle on the same side of the head main body, it is possible to ensure a large common ink chamber.

【0102】また、アクチュエータをノズル板上に形成することにより、製造コストを低減することができる。 [0102] Further, by forming the actuator on the nozzle plate, it is possible to reduce the manufacturing cost.

【0103】アクチュエータを撥水性コーティング材で被覆することにより、アクチュエータを保護することができるとともに、アクチュエータに対するインクの付着を防止することができる。 [0103] The actuator by coating with water-repellent coating material, it is possible to protect the actuator, it is possible to prevent adhesion of the ink to the actuators.

【0104】ドライバICをヘッド本体と一体化させ、 [0104] The driver IC is integrated with the head body,
共通インク室の区画壁またはノズルの機能を持たせることにより、部材の一体化・集積化を図ることができ、コストを低減することができる。 By having the function of the partition wall or the nozzles of the common ink chamber, it is possible to achieve an integrated-integration of member, the cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】インクジェットプリンタの要部の斜視図である。 1 is a perspective view of a main part of an ink jet printer.

【図2】第1実施形態に係るインクジェットヘッドの一部分の斜視図である。 2 is a perspective view of a portion of an ink jet head according to the first embodiment.

【図3】第1実施形態に係るインクジェットヘッドの一部分の正面図である。 3 is a front view of a portion of an ink jet head according to the first embodiment.

【図4】図3のA−A線断面図である。 4 is a sectional view along line A-A of FIG.

【図5】(a)〜(h)は、第1実施形態に係るインクジェットヘッドの製造工程図である。 [5] (a) ~ (h) illustrate a manufacturing process of the ink-jet head according to the first embodiment.

【図6】第2実施形態に係るインクジェットヘッドの図4相当図である。 6 is a diagram 4 corresponding view of an ink jet head according to a second embodiment.

【図7】(a)〜(h)は、第2実施形態に係るインクジェットヘッドの製造工程図である。 7 (a) ~ (h) illustrate a manufacturing process of the ink-jet head according to a second embodiment.

【図8】第3実施形態に係るインクジェットヘッドの図4相当図である。 8 is a diagram 4 corresponding view of an ink jet head according to a third embodiment.

【図9】第3実施形態に係るインクジェットヘッドの圧力室等の正面視形状を示す図である。 9 is a diagram showing a front view shape of the pressure chamber or the like of the ink-jet head according to a third embodiment.

【図10】(a)〜(h)は、第3実施形態に係るインクジェットヘッドの製造工程図である。 [10] (a) ~ (h) illustrate a manufacturing process of the ink-jet head according to a third embodiment.

【図11】従来のインクジェットヘッドの一部分の縦断面図である。 11 is a longitudinal sectional view of a portion of a conventional ink jet head.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

11 共通インク室 12 圧力室 14 ノズル 21 圧力室用凹部 22 インク供給路 23 本体板 24 裏板 25 ノズル板 26 振動板 27 圧電素子 28 個別電極 29 撥水性コーティング材 30 アクチュエータ 40 中間板 41 区画板 11 common ink chamber 12 pressure chamber 14 nozzle 21 the pressure chamber recess 22 the ink supply path 23 main plate 24 back plate 25 the nozzle plate 26 diaphragm 27 piezoelectric element 28 individual electrodes 29 water-repellent coating 30 actuator 40 intermediate plate 41 partition plate

Claims (8)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 共通インク室と、該共通インク室に連通した複数の圧力室と、圧電素子を有するアクチュエータとを備え、該圧電素子に電圧を印加することにより該アクチュエータを変位させて該圧力室内のインクに圧力を付与し、該圧力によってノズルからインク滴を吐出するインクジェットヘッドにおいて、 上記圧力室は、長手方向の長さが上記共通インク室における該圧力室の長手方向と同方向の長さよりも短く形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 And 1. A common ink chamber, a plurality of pressure chambers communicating with the common ink chamber, and an actuator having a piezoelectric element, pressure by displacing the actuator by applying a voltage to the piezoelectric element applies pressure to the ink in the chamber, in the ink jet head for ejecting ink droplets from the nozzle by the pressure, the pressure chamber, the same direction as the longitudinal direction of the head of the pressure chamber in the above common ink chamber length in the longitudinal direction ink jet head is characterized in that it is shorter than is.
  2. 【請求項2】 請求項1に記載のインクジェットヘッドにおいて、 裏板と、 該裏板との間に共通インク室を区画形成するように該裏板に対し所定間隔を存して対向する裏側面、及び複数の圧力室用凹部が形成された表側面を有し、該共通インク室と該各圧力室用凹部とをつなぐ複数のインク供給路が貫通形成された本体板と、 上記各圧力室用凹部に対応する複数のノズルが貫通形成され、該各ノズルが該各圧力室用凹部の一部を覆うように、上記本体板の表側に設けられたノズル板とを備え、 アクチュエータは、上記ノズル板の表側面に設けられて上記各圧力室用凹部と共に圧力室を区画形成するように上記本体板の各圧力室用凹部を覆う振動板を備え、 上記アクチュエータの圧電素子は、上記振動板の表側面に設けられていることを特徴 2. An ink jet head according to claim 1, and the back plate, the back surface facing at predetermined intervals to backing plate so as to define a common ink chamber between the backing plate and a plurality of front surface which is concave pressure chamber is formed, a body plate having a plurality of ink supply path is formed through connecting the recess for the common ink chamber and the respective pressure chambers, each pressure chamber a plurality of nozzles corresponding to the use recess is formed through, so that respective nozzle covers a portion of the recess for the respective pressure chambers, and a nozzle plate provided on the front side of the body plate, the actuator is the provided on the front side surface of the nozzle plate provided with a vibration plate which covers the pressure chambers recesses of the main plate so as to define a pressure chamber together with the recess for the respective pressure chambers, the piezoelectric element of the actuator, the diaphragm characterized in that the provided in the front surface するインクジェットヘッド。 The ink-jet head to be.
  3. 【請求項3】 請求項2に記載のインクジェットヘッドにおいて、 アクチュエータの表側面は、撥水性コーティング材料で覆われていることを特徴とするインクジェットヘッド。 3. A ink jet head according to claim 2, the front face of the actuator, ink jet head, characterized in that is covered with water-repellent coating material.
  4. 【請求項4】 請求項1に記載のインクジェットヘッドにおいて、 ノズルが形成されたノズル板と、 上記ノズル板の裏面側に設けられ、裏側面に複数の圧力室用凹部が形成されると共に該圧力室用凹部と上記ノズルとをつなぐインク吐出路が貫通形成された本体板とを備え、 アクチュエータは、上記各圧力室用凹部に対応する位置にインク供給口が貫通形成されて該各圧力室用凹部と共に各圧力室を区画形成するように上記本体板の裏側に設けられた振動板を備え、 上記アクチュエータの圧電素子は、上記振動板の裏側面に設けられ、 上記圧電素子に駆動電圧を印加する駆動回路を有し、表側面に共通インク室を区画する共通インク室用凹部が形成されて上記アクチュエータの裏側に設けられた基板とを備えていることを特徴とするインク 4. The ink jet head according to claim 1, said pressure in conjunction with a nozzle plate in which the nozzles are formed, is provided on the back side of the nozzle plate, the recess a plurality of pressure chambers on the back surface is formed a body plate and the ink discharge path is formed through connecting the recess and the nozzle chamber, the actuator for respective pressure chambers ink supply port at a position corresponding to the recess for the respective pressure chambers are formed through comprising a diaphragm provided on the back side of the main plate so as to define a respective pressure chambers with recesses, the piezoelectric element of the actuator is provided on the back side surface of the diaphragm, applying a driving voltage to the piezoelectric element a drive circuit for the ink, characterized in that it a common ink chamber recesses defining the common ink chamber is formed in front surface and a substrate provided on the back side of the actuator ェットヘッド。 Ettoheddo.
  5. 【請求項5】 請求項4に記載のインクジェットヘッドにおいて、 本体板と振動板との間に設けられ、各圧力室用凹部の中央部に対応する複数の中央開口及び該振動板のインク供給口に対応する複数のインク供給口が貫通形成された中間板と、 基板との間に共通インク室を区画形成するようにアクチュエータと該基板との間に設けられ、該アクチュエータに対向する面における上記各中央開口に対応する位置に凹部が形成され、上記振動板及び上記中間板の両インク供給口に対応する開口が貫通形成された区画板とを備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。 5. The ink jet head according to claim 4, provided between the main plate and the diaphragm, the ink supply port of the plurality of central openings and said vibrating plate corresponding to the central portion of the concave portion for each pressure chamber said in a plane provided, opposite the said actuator between the intermediate plate having a plurality of ink supply ports formed therethrough corresponding, the actuator and the substrate so as to define a common ink chamber between the substrate a recess is formed at a position corresponding to each central opening, the ink jet head is characterized in that openings corresponding to both the ink supply opening of the vibration plate and the intermediate plate and a partition plate formed through.
  6. 【請求項6】 請求項1に記載のインクジェットヘッドにおいて、 複数の圧力室用凹部が形成された表側面を有する本体板を備え、 アクチュエータは、上記各圧力室用凹部に対応する位置にインク供給口が貫通形成されて該各圧力室用凹部と共に各圧力室を区画形成するように上記本体板の裏側に設けられた振動板を備え、 上記アクチュエータの圧電素子は、上記振動板の表側面に設けられ、 上記圧電素子に駆動電圧を印加する駆動回路を備えて上記アクチュエータの表側に設けられ、各圧力室に対応する複数のノズルが形成された表側面と、共通インク室を区画する共通インク室用凹部が形成された裏側面とを備え、該各ノズルにつながるインク吐出路が貫通形成された基板を備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。 6. The ink jet head according to claim 1, comprising a main plate having a front face recess a plurality of pressure chambers are formed, the actuator, the ink supply to the position corresponding to the recess for the respective pressure chambers mouth comprising a diaphragm provided on the back side of the main plate as formed through defining a respective pressure chambers with recesses for respective pressure chambers, the piezoelectric element of the actuator, the front surface of the diaphragm provided, a driving circuit for applying a driving voltage to the piezoelectric element provided on the front side of the actuator, the front surface having a plurality of nozzles are formed corresponding to the pressure chambers, the common ink defining the common ink chamber and a back surface having a recess formed for the chamber, the ink jet head is characterized in that it comprises a substrate in which the ink discharge passage leading to the respective nozzles formed therethrough.
  7. 【請求項7】 請求項6に記載のインクジェットヘッドにおいて、 本体板と振動板との間に設けられ、各圧力室用凹部の中央部に対応する複数の中央開口と該各圧力室用凹部の端部に対応する複数のインク供給口及びインク吐出口とが貫通形成された中間板と、 基板との間に共通インク室を区画形成するようにアクチュエータと該基板との間に設けられ、該アクチュエータに対向する面における上記中央開口に対応する位置に凹部が形成され、上記インク供給口及びインク吐出口に対応するインク供給口及びインク吐出口が貫通形成された区画板とを備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。 7. The ink jet head according to claim 6, provided between the main plate and the diaphragm, a plurality of central openings and recesses for respective pressure chambers corresponding to the central portion of the concave portion for each pressure chamber an intermediate plate in which a plurality of ink supply ports and the ink discharge ports formed therethrough corresponding to the end portion, provided between the actuator and the substrate so as to define a common ink chamber between the substrate, the recess in a position corresponding to the central opening is formed in a surface facing the actuator, the ink supply port and the ink discharge ports corresponding to the ink supply port and the ink discharge port and a partition plate formed through an inkjet head according to claim.
  8. 【請求項8】 請求項1〜7のいずれか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、 圧力室が副走査方向に整列して成る圧力室列を主走査方向に複数列備え、 上記各圧力室列の圧力室は、隣の圧力室列の相隣る圧力室の間に対応する部位に位置する千鳥状に配置されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 8. The ink jet head according to any one of claims 1 to 7, comprising a plurality of rows of pressure chamber rows in which the pressure chambers are formed by aligned in the sub-scanning direction in the main scanning direction, each of the pressure chamber rows the pressure chamber, the ink jet head is characterized in that it is arranged in a zigzag pattern located at positions corresponding to between Aitonaru pressure chamber of the pressure chamber row neighbors.
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