KR100564168B1 - Plasma processing device and plasma processing method - Google Patents

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Abstract

전극판(20)의 서셉터(10)에 대향하는 면을 볼록형의 형상으로 한다. 전극판(20)은 볼록부(20a)에 있어서 실드링(Shield Ring)(26)의 개구(26a)와 결합한다. 이 때, 볼록부(20a)의 두께는, 실드링(26)의 두께와 거의 동일하다. 이로써, 전극판(20)과 실드링(26)은 실질적으로 동일한 평면을 형성한다. 또한, 볼록부(20a)의 주요면은, 웨이퍼(W)의 직경의 1.2∼1.5배의 직경을 갖는다. 또한, 전극판(20)은, 예컨대 SiC로 구성된다.The surface which faces the susceptor 10 of the electrode plate 20 is made into convex shape. The electrode plate 20 engages with the opening 26a of the shield ring 26 in the convex portion 20a. At this time, the thickness of the convex portion 20a is almost the same as the thickness of the shield ring 26. As a result, the electrode plate 20 and the shield ring 26 form substantially the same plane. In addition, the main surface of the convex part 20a has a diameter 1.2-1.5 times the diameter of the wafer W. As shown in FIG. In addition, the electrode plate 20 is made of SiC, for example.

Description

플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법{PLASMA PROCESSING DEVICE AND PLASMA PROCESSING METHOD} Plasma processing apparatus and plasma processing method {PLASMA PROCESSING DEVICE AND PLASMA PROCESSING METHOD}             

본 발명은, 플라즈마를 사용하여 성막 처리, 에칭 처리 등의 처리를 실행하는 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma processing apparatus and a plasma processing method for performing a process such as a film forming process, an etching process and the like using plasma.

반도체 장치, 액정 표시 장치 등의 제조 프로세스에는, 플라즈마를 사용하여 반도체 웨이퍼 등의 기판의 표면을 처리하는 플라즈마 처리 장치가 사용되고 있다. 플라즈마 처리 장치로는, 예컨대 기판에 에칭을 실시하는 플라즈마 에칭 장치나, 화학적 기상 성장(Chemical Vapor Deposition : CVD)을 실시하는 플라즈마 CVD 장치 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 평행 평판형의 플라즈마 처리 장치는, 처리의 균일성이 우수하고, 또한 장치 구성도 비교적 간단하기 때문에, 널리 사용되고 있다. BACKGROUND OF THE INVENTION A plasma processing apparatus for processing a surface of a substrate such as a semiconductor wafer using plasma is used in a manufacturing process such as a semiconductor device or a liquid crystal display device. Examples of the plasma processing apparatus include a plasma etching apparatus for etching a substrate, a plasma CVD apparatus for performing chemical vapor deposition (CVD), and the like. Especially, since the parallel plate type plasma processing apparatus is excellent in the uniformity of a process and the apparatus structure is comparatively simple, it is widely used.

평행 평판형의 플라즈마 처리 장치의 구조를 도 17에 도시한다. 도 17에 도시하는 바와 같이, 플라즈마 처리 장치(101)는, 챔버(102)와, 챔버(102)내에 처리 가스를 공급하고, 상부 전극을 구성하는 샤워 전극(103)과, 반도체 웨이퍼 등의 피 처리체(W)가 탑재되며, 하부 전극을 구성하는 서셉터(104)로 구성된다.The structure of the parallel plate type plasma processing apparatus is shown in FIG. As shown in FIG. 17, the plasma processing apparatus 101 supplies a chamber 102, a processing gas into the chamber 102, a shower electrode 103 constituting an upper electrode, and a target such as a semiconductor wafer. The processing body W is mounted and comprised by the susceptor 104 which comprises a lower electrode.

샤워 전극(103)은, 다수의 가스 구멍(105)을 갖는 전극판(106)과, 전극판(106)을 지지하여, 처리 가스를 가스 구멍(105)으로 유도하는 중공부(107)를 구비하는 전극 지지체(108)로 구성된다. 전극판(106)은, 그 주변부에 있어서, 전극 지지체(108)의 나사 등에 의해 지지되고, 지지 부분은 절연재로 구성되는 실드링(109)에 의해 피복되어 있다. 실드링(109)은 전극판(106)보다도 소직경의 개구를 갖고, 개구내에 전극판(106)이 노출되는 구성으로 되어 있다. 실드링(109)은 지지 부분에 있어서의 이상 방전의 발생을 저감시킨다. The shower electrode 103 includes an electrode plate 106 having a plurality of gas holes 105, and a hollow portion 107 that supports the electrode plate 106 and guides the processing gas into the gas holes 105. And an electrode support 108. The electrode plate 106 is supported by a screw or the like of the electrode support 108 in the peripheral portion thereof, and the supporting portion is covered by a shield ring 109 made of an insulating material. The shield ring 109 has an opening having a smaller diameter than the electrode plate 106, and is configured to expose the electrode plate 106 in the opening. The shield ring 109 reduces the occurrence of abnormal discharge in the supporting portion.

상기 플라즈마 처리 장치(101)는, 전극판(106)의 가스 구멍(105)으로부터 피처리체(W)에 처리 가스(도면 중 실선 화살표)를 공급하고, 전극판(106)에 RF 전력을 공급하여, 전극판(106)의 노출면과, 서셉터(104)의 사이에 RF 전계(도면중 파선 화살표)를 형성한다. 이에 따라, 피처리체(W)상에 처리 가스의 플라즈마를 발생시켜, 피처리체(W)의 표면에 소정의 처리를 실시한다. The plasma processing apparatus 101 supplies a processing gas (solid arrow in the drawing) from the gas hole 105 of the electrode plate 106 to the object W, and supplies RF power to the electrode plate 106. An RF electric field (broken arrow in the figure) is formed between the exposed surface of the electrode plate 106 and the susceptor 104. As a result, plasma of the processing gas is generated on the workpiece W, and a predetermined treatment is performed on the surface of the workpiece W. FIG.

상기 구성의 플라즈마 처리 장치(101)에는, 하기 (1) 및 (2)와 같은 문제가 있다.The plasma processing apparatus 101 having the above configuration has the following problems (1) and (2).

(1) 전극판(106)의 가장자리를 보호하는 실드링(109)은, 절연성을 확보하기 위해, 예컨대 10㎜ 정도의 두께를 갖는 판상 부재로 구성된다. 전극판(106)은, 실드링(109)의 개구내에 노출하도록 실드링(109)상에 중첩된다. 이 때, 전극판(106)의 노출면(하면)의 주변부와, 실드링(109)의 개구 근방의 면의 사이에는, 단차(Δ)가 생긴다.(1) The shield ring 109 which protects the edge of the electrode plate 106 is composed of a plate member having a thickness of, for example, about 10 mm in order to ensure insulation. The electrode plate 106 is superimposed on the shield ring 109 so as to be exposed in the opening of the shield ring 109. At this time, a step Δ occurs between the peripheral portion of the exposed surface (lower surface) of the electrode plate 106 and the surface near the opening of the shield ring 109.

이러한 단차(Δ)는 피처리체(W)의 표면 전체의 처리 특성을 상이하게 한 것으로서, 처리의 균일성을 저하시킨다. 즉, 개구내의 가스구멍(105)으로부터 공급되는 가스는, 단차(Δ)에 있어서 체류 등이 발생하여, 가스의 흐름에 혼란이 발생한다. 이에 따라, 예컨대 피처리체(W)의 중심부와 단부에 있어서의 가스 공급이 분균일해져, 처리의 균일성이 저하한다. This step Δ is a difference in the treatment characteristics of the entire surface of the object W to be processed, and reduces the uniformity of the treatment. That is, the gas supplied from the gas hole 105 in the opening remains in the step Δ, and confusion occurs in the flow of the gas. Thereby, for example, the gas supply in the center part and the end part of the to-be-processed object W becomes uniform, and uniformity of a process falls.

또한, 플라즈마와 접촉하는 전극판(106)의 노출면의 직경(이하, 상부 전극 직경으로 함)은, 대향하는 피처리체(W)의 표면의 직경과 거의 동일하도록 형성된다. 즉, 상부 전극 직경은, 전극판(106)과 피처리체(W)의 사이에 형성되는, 가스의 흐름 및 전계를 최적화하여, 균일성이 높은 처리가 이루어지도록 결정된 것이 아니다. 이 때문에, 충분히 균일성이 높은 처리가 실행되지 않을 우려가 있다.In addition, the diameter of the exposed surface of the electrode plate 106 in contact with the plasma (hereinafter referred to as the upper electrode diameter) is formed to be substantially the same as the diameter of the surface of the object W to be opposed. In other words, the upper electrode diameter is not determined so as to optimize the flow of the gas and the electric field formed between the electrode plate 106 and the object to be processed W and to achieve a highly uniform treatment. For this reason, there exists a possibility that the process with high uniformity may not be performed.

또한, 가스의 흐름 및 전계를 최적화하기 위해서, 가스의 분출 직경과, 상부 전극 직경을 변화시키는 경우에도, 가스의 분출 직경 및 상부 전극 직경은, 실질적으로 실드링(109)의 개구의 직경에 따라 결정된다. 이 때문에, 가스의 분출 직경과 상부 전극 직경을 각각 독립적으로 변화시켜 최적화하여, 처리의 균일성을 향상시키기는 어렵다.In addition, in order to optimize the flow of the gas and the electric field, even when the blowing diameter of the gas and the upper electrode diameter are changed, the blowing diameter and the upper electrode diameter of the gas substantially depend on the diameter of the opening of the shield ring 109. Is determined. For this reason, it is difficult to optimize by changing the blowing diameter of a gas and the upper electrode diameter independently, respectively, and improving the uniformity of a process.

이상과 같이, 종래의 플라즈마 처리 장치(101)는, 상부 전극 직경과, 가스의 분출 직경이 최적화되어, 처리의 균일성이 충분히 높아진다고는 할 수 없었다.As described above, in the conventional plasma processing apparatus 101, the upper electrode diameter and the gas ejection diameter of the gas are optimized, and the uniformity of the processing cannot be sufficiently increased.

(2) 상기 플라즈마 처리 장치(101)에는, 불소계 가스 등의 할로겐계 가스를 사용한 드라이 클리닝이 실행된다. 구체적으로는, 챔버(102)의 내부 또는 외부에서 할로겐계 가스의 플라즈마를 생성하고, 가스 플라즈마 중의 할로겐 활성종(예컨 대, 불소 라디칼)에 의해, 챔버(102)내에 부착, 퇴적된 막을 제거한다. 특히, 불소는, 실리콘과의 반응성이 높고, 실리콘계의 막을 처리하는 처리 장치의 클리닝에 적절하다.(2) The plasma processing apparatus 101 is subjected to dry cleaning using a halogen gas such as a fluorine gas. Specifically, a plasma of halogen-based gas is generated inside or outside the chamber 102, and the film deposited and deposited in the chamber 102 is removed by halogen active species (for example, fluorine radicals) in the gas plasma. . In particular, fluorine has a high reactivity with silicon and is suitable for cleaning a processing apparatus for treating a silicon film.

여기서, 전극판(106)은, 금속 오염을 피하기 위해, 실리콘으로 구성된다. 이와 같은 실리콘으로 구성되는 전극판(106)은, 상기 클리닝에 의해 에칭되기 쉽다. 특히, 챔버(102)의 외부에서 클리닝 가스의 플라즈마를 생성하고, 라디칼종을 선택적으로 챔버(102)내에 도입하는 리모트 플라즈마 클리닝에 있어서는, 라디칼종의 활성이 높기 때문에, 전극판(106)의 열화(에칭)가 현저해진다.Here, the electrode plate 106 is made of silicon in order to avoid metal contamination. The electrode plate 106 made of such silicon is easily etched by the cleaning. In particular, in the remote plasma cleaning in which the plasma of the cleaning gas is generated outside the chamber 102 and the radical species is selectively introduced into the chamber 102, the activity of the radical species is high, so that the electrode plate 106 is deteriorated. (Etching) becomes remarkable.

전극판(106)의 열화는, 전극판(106)의 형상의 변화를 의미하고, RF 전계를 변화시킨다. 전계의 변화에 의해, 예컨대 피처리체(W)의 중심부와 단부에 있어서의 처리 특성이 변화되어, 처리의 균일성이 저하한다. Deterioration of the electrode plate 106 means a change in the shape of the electrode plate 106 and changes the RF electric field. By the change of the electric field, the processing characteristics in the center part and the end part of the to-be-processed object W change, for example, and the uniformity of a process falls.

이상과 같이, 실리콘으로 이루어지는 전극판(106)을 사용한 경우에는, 클리닝에 의해 전극판(106)이 에칭되기 쉽고, 충분히 균일성이 높은 처리가 실행되지 않을 우려가 있었다.As described above, when the electrode plate 106 made of silicon was used, the electrode plate 106 was easily etched by cleaning, and there was a fear that a sufficiently high uniformity treatment was not performed.

발명의 요약Summary of the Invention

상기 사정을 감안하여, 본 발명은, 피처리체에 균일성이 높은 처리를 실시할 수 있는 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a plasma processing apparatus and a plasma processing method capable of performing a highly uniform treatment on a target object.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 제 1 관점에 관한 플라즈마 처리 장치(1)는, In order to achieve the above object, the plasma processing apparatus 1 according to the first aspect of the present invention,

챔버(2)와, Chamber 2,

상기 챔버(2)내에 처리용 가스를 공급하는 가스 구멍(19)을 구비하고, 볼록부(20a)를 갖는 전극판(20)과, An electrode plate 20 having a gas hole 19 for supplying a gas for processing in the chamber 2, the convex portion 20a;

상기 볼록부(20a)와 결합하는 개구(26a)를 갖으며, 상기 볼록부(20a)와 상기 개구(26a)가 결합한 상태에서 상기 전극판(20)의 주변부를 피복하는 고리 형상의 판 부재로 구성된 실드링(26)을 구비한다. An annular plate member having an opening 26a for engaging with the convex portion 20a and covering the periphery of the electrode plate 20 in a state where the convex portion 20a and the opening 26a are engaged. It has a configured shield ring 26.

상기 구성의 장치에 있어서, 예컨대 상기 전극판(20)의 볼록부(20a)는, 상기 개구(26a)와 결합한 상태에서, 상기 실드링(26)의 주요면과 실질적으로 평탄한 면을 형성한다. In the apparatus of the above constitution, for example, the convex portion 20a of the electrode plate 20 forms a substantially flat surface with the main surface of the shield ring 26 in a state of being engaged with the opening 26a.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 제 2 관점에 관한 플라즈마 처리 장치(1)와, In order to achieve the above object, the plasma processing apparatus 1 according to the second aspect of the present invention,

일면상에 피처리체가 탑재되는 제 1 전극판(10)과, A first electrode plate 10 on which a target object is mounted on one surface;

고주파 전원에 접속되어, 상기 일면과 평행하게 대향하고, 상기 일면의 직경의 1.2배∼1.5배의 직경을 갖는 대향면을 구비하는 제 2 전극판(20)을 구비한다.It is provided with the 2nd electrode plate 20 connected to the high frequency power supply, opposing parallel to the said one surface, and having the opposing surface which has a diameter 1.2 times-1.5 times the diameter of the said one surface.

상기 구성의 장치에 있어서, 또한 상기 대향면의 직경과 대략 동일한 직경을 갖는 개구(26a)가 형성될 수도 있고, 상기 개구(26a)의 내측에 상기 대향면이 노출하도록, 상기 제 2 전극판(20)의 주변부를 피복하는 실드링(26)을 구비하도록 할 수도 있다.In the apparatus of the above constitution, an opening 26a having a diameter approximately equal to the diameter of the opposing surface may also be formed, and the second electrode plate (to expose the opposing surface inside the opening 26a) A shield ring 26 may be provided to cover the periphery of 20).

상기 구성의 장치에 있어서, 상기 제 2 전극판(20)은, 상기 대향면을 주요면 으로 하여, 상기 개구(26a)와 결합하는 볼록부(20a)를 구비할 수도 있다.In the apparatus of the above configuration, the second electrode plate 20 may be provided with a convex portion 20a that engages with the opening 26a with the opposing surface as the main surface.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 제 3 관점에 관한 플라즈마 처리 장치(1)는, In order to achieve the above object, the plasma processing apparatus 1 according to the third aspect of the present invention,

챔버(2)와, Chamber 2,

고주파 전원(24)에 접속되어, 상기 챔버(2)내에 처리용 가스를 공급하는 제 1 가스 구멍(19)을 구비하는 전극판(20)과, An electrode plate 20 connected to the high frequency power source 24 and having a first gas hole 19 for supplying a processing gas into the chamber 2;

상기 챔버(2)내에 상기 가스를 공급하는 제 2 가스 구멍(26b)을 구비하고, 개구(26a)를 가지며, 상기 개구(26a)의 내측에 상기 전극판(20)이 노출하도록 상기 전극판(20)의 가장자리를 피복하는 실드링(26)을 구비한다.The electrode plate (2) includes a second gas hole (26b) for supplying the gas in the chamber (2), has an opening (26a), and exposes the electrode plate (20) inside the opening (26a). A shield ring 26 covering the edge of 20).

상기 구성의 장치에 있어서, 상기 제 2 가스 구멍(26b)은 상기 개구(26a)의 주위에 고리 형상으로 배치될 수도 있고, 상기 제 2 가스 구멍(26b)이 배치된 최대 직경은, 예컨대 상기 개구(26a)의 직경의 대략 1.1배이다. In the apparatus of the above configuration, the second gas hole 26b may be arranged in a ring shape around the opening 26a, and the maximum diameter in which the second gas hole 26b is disposed is, for example, the opening. It is approximately 1.1 times the diameter of 26a.

상기 구성의 장치에 있어서, 상기 전극판(20)은, 상기 노출면을 주요면으로 하여, 상기 개구(26a)와 결합하는 볼록부(20a)를 구비할 수도 있고, 상기 볼록부(20a)의 주요면은, 상기 실드링(26)과 실질적으로 평탄한 면을 형성하도록 할 수도 있다.In the apparatus of the above constitution, the electrode plate 20 may include a convex portion 20a that engages with the opening 26a with the exposed surface as a main surface, and the convex portion 20a of the convex portion 20a. The main surface may be formed to form a substantially flat surface with the shield ring 26.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 제 4 관점에 관한 플라즈마 처리 장치(1)는, In order to achieve the above object, the plasma processing apparatus 1 according to the fourth aspect of the present invention,

내부에서 피처리체에 소정의 플라즈마 처리가 실시되는 챔버(2)와, A chamber 2 in which a predetermined plasma treatment is performed on the target object inside,

할로겐을 포함하는 클리닝 가스를 상기 챔버(2)내에 공급하는 클리닝 가스 공급구(30)와, A cleaning gas supply port 30 for supplying a cleaning gas containing halogen into the chamber 2;

상기 챔버(2)내에 처리용 가스를 공급하는 가스 구멍(19)을 구비하고, 할로겐 라디칼에 내성이 있는 재료를 포함하여 구성되는 전극판(20)을 구비한다.A gas hole 19 for supplying a gas for processing in the chamber 2 is provided, and an electrode plate 20 made of a material resistant to halogen radicals is provided.

상기 구성의 장치에 있어서, 상기 전극판(20)은, 예컨대 규소보다도 할로겐 라디칼에 내성이 있는 재료를 포함하여 구성된다.In the apparatus of the above configuration, the electrode plate 20 is configured to include a material that is more resistant to halogen radicals than silicon, for example.

상기 구성의 장치에 있어서, 상기 클리닝 가스는, 예컨대, 불소를 포함하는 물질로 구성되고, 상기 할로겐 라디칼은, 예컨대 불소 라디칼로 구성된다.In the apparatus of the above constitution, the cleaning gas is made of, for example, a material containing fluorine, and the halogen radical is made of, for example, fluorine radicals.

상기 구성의 장치에 있어서, 상기 할로겐 라디칼에 내성이 있는 재료는, 탄화 규소, 카본, 알루미늄, 알루마이트, 알루미나, 및 석영 알루미나 용사로 구성되는 군으로부터 선택될 수도 있다.In the apparatus of the above constitution, the material resistant to the halogen radical may be selected from the group consisting of silicon carbide, carbon, aluminum, aluminite, alumina, and quartz alumina spraying.

상기 구성의 장치는, 상기 전극판(20)과 대향하여 설치되고, 상기 피처리체가 이송되는 이송대(10)와, The apparatus of the said structure is provided facing the said electrode plate 20, The conveyance table 10 to which the said to-be-processed object is conveyed,

상기 탑재대(10)상에 탑재된 상기 피처리체의 외주를 둘러싸도록 설치되고, 상기 할로겐 라디칼에 내성이 있는 재료로 구성되는 링 형상 부재(17)를 더 구비할 수도 있다. A ring-shaped member 17 may be further provided to surround the outer periphery of the object to be mounted on the mounting table 10 and made of a material resistant to the halogen radicals.

상기 구성의 장치에 있어서, 예컨대 상기 클리닝 가스는, 상기 챔버(2)내에서 플라즈마로 되어 상기 할로겐 라디칼을 생성한다.In the apparatus of the above configuration, for example, the cleaning gas becomes plasma in the chamber 2 to generate the halogen radicals.

상기 구성의 장치는, 또한 상기 챔버(2)의 외부에 설치되고, 상기 클리닝 가스 공급구에 접속된 액티베이터(33)를 구비할 수도 있고,The apparatus of the said structure may further be equipped with the activator 33 installed in the exterior of the said chamber 2, and connected to the said cleaning gas supply port,

상기 액티베이터(33)는, 상기 클리닝 가스를 활성화하여 상기 할로겐 라디칼 을 생성하며, 발생한 상기 할로겐 라디칼을 상기 챔버(2) 내에 공급할 수도 있다.The activator 33 may activate the cleaning gas to generate the halogen radicals, and supply the generated halogen radicals into the chamber 2.

상기 구성의 장치에 있어서, 예컨대 상기 클리닝 가스는, 산소를 포함하는 물질을 포함하여 구성된다. In the apparatus of the above constitution, for example, the cleaning gas includes a substance containing oxygen.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 제 5 관점에 관한 플라즈마 처리 방법은, 내부에서의 플라즈마의 생성에 의해, 피처리체에 소정의 처리가 실시되는 챔버(2)와, 일면상에 피처리체가 탑재되는 제 1 전극판(10)과, 고주파 전원(24)에 접속되어, 상기 일면과 평행하게 대향하는 대향면을 갖는 제 2 전극판(20)을 구비한 플라즈마 처리 장치(1)를 사용한 플라즈마 처리 방법으로서, In order to achieve the above object, the plasma processing method according to the fifth aspect of the present invention includes a chamber 2 in which a predetermined processing is performed on a target object by generating plasma therein, and a target object on one surface thereof. Plasma using the plasma processing apparatus 1 provided with the 1st electrode plate 10 mounted, and the 2nd electrode plate 20 which is connected to the high frequency power supply 24, and has the opposing surface facing in parallel with the said one surface. As a treatment method,

상기 대향면의 직경을, 상기 일면의 직경의 1.2배∼1.5배로 하여, 상기 제 2 전극에 고주파 전력을 공급하는 공정을 포함한다. And a step of supplying high frequency power to the second electrode by setting the diameter of the opposing surface to 1.2 times to 1.5 times the diameter of the one surface.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 제 6 관점에 관한 플라즈마 방법은, In order to achieve the above object, the plasma method according to the sixth aspect of the present invention,

내부에서의 플라즈마의 생성에 의해, 피처리체에 소정의 처리가 실시되는 챔버(2)와, 상기 챔버(2)내에 처리용의 가스를 공급하는 제 1 가스 구멍(19)을 구비하고, 고주파 전원(24)에 접속되는 전극판(20)과, 상기 챔버(2)내에 상기 가스를 공급하는 제 2 가스 구멍(26b)을 구비하며, 개구(26a)를 갖고, 상기 개구(26a)의 내측에 상기 전극판(20)이 노출하도록 상기 전극판(20)의 가장자리를 피복하는 실드링(26)을 구비하는 플라즈마 처리 장치(1)를 사용한 플라즈마 처리 방법으로서, It is provided with the chamber 2 in which a predetermined process is given to a to-be-processed object by the generation of the plasma inside, and the 1st gas hole 19 which supplies the gas for processing in the said chamber 2, and is a high frequency power supply. It has an electrode plate 20 connected to 24, and the 2nd gas hole 26b which supplies the said gas in the said chamber 2, it has an opening 26a, and is inside the said opening 26a. As the plasma processing method using the plasma processing apparatus 1 provided with the shield ring 26 which covers the edge of the said electrode plate 20 so that the said electrode plate 20 may expose,

상기 가스를 상기 제 1 가스 구멍(19)과, 상기 제 2 가스 구멍(26b)으로부터 상기 챔버(2)내로 분출하는 공정을 포함한다. And blowing the gas into the chamber (2) from the first gas hole (19) and the second gas hole (26b).

도 1은 제 1 실시 형태에 관한 플라즈마 처리 장치의 구성을 나타내는 도면,1 is a diagram illustrating a configuration of a plasma processing apparatus according to a first embodiment;

도 2는 도 1에 도시하는 상부 전극의 구성을 나타내는 도면,FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the upper electrode shown in FIG. 1; FIG.

도 3a는 볼록형의 전극판을 사용했을 때의, 웨이퍼의 상측의 압력을 조사한 결과를 나타내는 도면,3A is a view showing a result of irradiation of pressure on the upper side of a wafer when a convex electrode plate is used;

도 3b는 평탄한 전극판을 사용했을 때의 웨이퍼의 상측의 압력을 조사한 결과를 나타내는 도면,3B is a view showing a result of irradiation of pressure on the upper side of a wafer when a flat electrode plate is used;

도 4는 볼록형 및 평탄한 전극판을 사용했을 때의, 전극간 갭과 압력의 관계를 나타내는 도면,4 is a diagram showing a relationship between an inter-electrode gap and pressure when a convex and flat electrode plate is used;

도 5는 전극판과 실드링의 단차와 성막 속도의 균일성의 관계를 나타내는 도면,5 is a view showing a relationship between the level of the electrode plate and the shield ring and the uniformity of the film formation rate;

도 6은 전극판과 실드링의 단차와, 내장 가능한 홈의 종횡비의 관계를 나타내는 도면,6 is a view showing the relationship between the step difference between the electrode plate and the shield ring and the aspect ratio of the groove that can be embedded;

도 7은 제 2 실시 형태의 상부 전극 및 서셉터의 확대도,7 is an enlarged view of the upper electrode and the susceptor of the second embodiment;

도 8은 상하의 전극 직경비(D2/D1)와, 성막 속도 균일성의 관계를 나타내는 도면,8 is a diagram showing the relationship between the upper and lower electrode diameter ratios D2 / D1 and the deposition rate uniformity;

도 9는 도 8의 A, B, C에서의, 웨이퍼의 표면의 막 두께 분포를 나타내는 도면,9 is a view showing the film thickness distribution on the surface of a wafer in A, B, and C of FIG. 8;

도 10은 제 3 실시 형태의 상부 전극 및 서셉터의 확대도,10 is an enlarged view of the upper electrode and the susceptor of the third embodiment,

도 11은 가스의 분출 직경(D3)과, 성막 속도의 관계를 나타내는 도면,11 is a view showing a relationship between a gas blowing diameter D3 and a film forming speed,

도 12는 제 4 실시 형태에 관한 플라즈마 처리 장치의 구성을 나타내는 도면, 12 is a diagram illustrating a configuration of a plasma processing apparatus according to a fourth embodiment;

도 13은 각종 재료로 구성되는 전극판의 에칭 레이트를 조사한 결과를 나타내는 도면,13 is a view showing a result of examining the etching rate of an electrode plate made of various materials;

도 14는 각종 재료로 구성되는 전극판을 사용하여 연결 성막 처리를 실행했을 때의 성막 속도를 조사한 결과를 나타내는 도면,14 is a diagram showing a result of investigating the film formation speed when the connection film formation process is performed using an electrode plate made of various materials;

도 15는 산소를 첨가한 클리닝 가스를 사용하여 클리닝했을 때의 결과를 나타내는 도면,15 is a view showing the result when cleaning using oxygen-added cleaning gas;

도 16은 산소를 첨가한 클리닝 가스를 사용하여 클리닝했을 때의 결과를 나타내는 도면,16 is a view showing the result when cleaning using oxygen-added cleaning gas;

도 17은 종래의 플라즈마 처리 장치의 구성을 나타내는 도면.17 is a diagram showing the configuration of a conventional plasma processing apparatus.

(제 1 실시 형태)(1st embodiment)

본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 처리 장치에 대하여, 이하 도면을 참조하여 설명한다. 이하에 나타내는 실시 형태에서는, 반도체 웨이퍼[이하, 웨이퍼(W)]에 CVD(Chemical Vapor Deposition)에 의해 불화 산화 실리콘(Si0F)막을 형성하는, 평행 평판형의 플라즈마 처리 장치를 예로 들어 설명한다.The processing apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the embodiment shown below, the parallel-plate type plasma processing apparatus which forms a silicon fluoride oxide (Si0F) film | membrane by CVD (Chemical Vapor Deposition) on a semiconductor wafer (henceforth wafer W) is demonstrated as an example.

도 1에 제 1 실시 형태에 따른 플라즈마 처리 장치(1)의 구성을 나타낸다.1 shows a configuration of a plasma processing apparatus 1 according to the first embodiment.

플라즈마 처리 장치(1)는, 예컨대 표면이 알루마이트 처리(양극 산화 처리) 된 알루미늄으로 구성되는, 원통 형상의 챔버(2)를 갖는다. 챔버(2)는 접지되어 공통 전위로 되어 있다.The plasma processing apparatus 1 has a cylindrical chamber 2 whose surface is made of aluminum, for example, anodized (anodic oxidation). The chamber 2 is grounded to a common potential.

챔버(2)의 상부에는 가스 공급관(3)이 설치되어 있다. 가스 공급관(3)은 SiF4, SiH4, O2, Ar 등이 혼합된 처리 가스를 공급하는 가스 공급원(4)에 접속되어 있다. 처리 가스는 가스 공급관(3)으로부터 매스 플로우 컨트롤러(도시하지 않음)에 의해, 소정의 유량으로 조절되어 챔버(2)내에 공급된다. The gas supply pipe 3 is provided in the upper part of the chamber 2. Gas supply pipe 3 is connected to the gas supply source 4 which supplies a mixed process gas SiF 4, SiH 4, O 2 , Ar or the like. The processing gas is regulated at a predetermined flow rate by a mass flow controller (not shown) from the gas supply pipe 3, and is supplied into the chamber 2.

챔버(2)의 바닥부 측방에는 배기구(5)가 설치되어 있다. 배기구(5)에는 터보 분자 펌프 등으로 구성되는 배기 장치(6)가 접속되어 있다. 배기 장치(6)는 챔버(2)내를 소정의 감압 분위기, 예컨대 1Pa 이하의 소정의 압력까지 배기한다. An exhaust port 5 is provided on the bottom side of the chamber 2. The exhaust port 5 is connected to an exhaust device 6 composed of a turbo molecular pump or the like. The exhaust device 6 exhausts the inside of the chamber 2 to a predetermined pressure, for example, to a predetermined pressure of 1 Pa or less.

챔버(2)의 측벽에는 게이트 밸브(7)가 설치되어 있다. 게이트 밸브(7)를 개방한 상태에서, 챔버(2)와 인접하는 로드록실(도시하지 않음)의 사이에서의 웨이퍼(W)의 반출입이 이루어진다.The gate valve 7 is provided in the side wall of the chamber 2. In the state in which the gate valve 7 is opened, carrying in and out of the wafer W is performed between the chamber 2 and an adjacent load lock chamber (not shown).

챔버(2)내의 바닥부 중앙으로부터는, 대략 원주 형상의 서셉터 지지대(8)가 기립하고 있다. 서셉터 지지대(8)상에는 세라믹 등의 절연체(9)를 거쳐 서셉터(10)가 설치되어 있다. 또한, 서셉터 지지대(8)는 챔버(2)의 하방에 설치된 승강 기구(도시하지 않음)에 샤프트(11)를 거쳐 접속되어, 승강 가능해지고 있다. An approximately cylindrical susceptor support 8 stands up from the bottom center in the chamber 2. The susceptor 10 is provided on the susceptor support 8 via an insulator 9 such as ceramic. Moreover, the susceptor support 8 is connected to the lifting mechanism (not shown) provided below the chamber 2 via the shaft 11, and is being able to raise and lower.

서셉터(10)상에는 웨이퍼(W)와 대략 동일 직경의 도시하지 않는 정전 척이 설치되어 있다. 서셉터(10)상에 탑재된 웨이퍼(W)는, 정전 척에 의해 쿨롱의 힘에 의해 고정된다.On the susceptor 10, an electrostatic chuck (not shown) of approximately the same diameter as the wafer W is provided. The wafer W mounted on the susceptor 10 is fixed by the coulomb force by the electrostatic chuck.

서셉터(10)는 알루미늄 등의 도체로 구성되고, 평행 평판 전극의 하부 전극을 구성한다. 서셉터(10)에는, 제 1 RF 전원(12)이 제 1 정합기(13)를 거쳐 접속되어 있다. 제 1 RF 전원(12)은 0.1∼13㎒의 범위의 주파수를 갖고 있다. 제 1 RF 전원(12)에 상기 범위의 주파수를 인가함으로써, 피처리체에 적절한 이온 충격을 부여하는 등의 효과가 얻어진다.The susceptor 10 is comprised from conductors, such as aluminum, and comprises the lower electrode of a parallel plate electrode. The first RF power supply 12 is connected to the susceptor 10 via a first matching device 13. The first RF power supply 12 has a frequency in the range of 0.1 to 13 MHz. By applying the frequency of the said range to the 1st RF power supply 12, effects, such as giving an appropriate ion bombardment to a to-be-processed object, are acquired.

서셉터 지지대(8)의 내부에는, 냉매실(14)이 설치되어 있다. 냉매실(14)에는 냉매가 순환하고 있다. 냉매 공급관(15)으로부터 공급된 냉매는 냉매실(14)을 통해 냉매 배출관(16)으로부터 배출된다. 냉매실(14)을 냉매가 순환함으로써, 서셉터(10) 및 웨이퍼(W)의 처리면은 소망하는 온도로 유지된다. 또한, 웨이퍼(W) 전달용 리프트핀(도시하지 않음)이, 서셉터(10) 및 정전 척을 관통하여 승강 가능하게 설치되어 있다.Inside the susceptor support 8, a coolant chamber 14 is provided. A coolant circulates in the coolant chamber 14. The coolant supplied from the coolant supply pipe 15 is discharged from the coolant discharge pipe 16 through the coolant chamber 14. As the coolant circulates through the coolant chamber 14, the processing surfaces of the susceptor 10 and the wafer W are maintained at a desired temperature. In addition, a lift pin (not shown) for transferring the wafer W is provided so as to be able to move up and down through the susceptor 10 and the electrostatic chuck.

서셉터(10) 표면의 가장자리부에는, 세라믹 등의 절연체로 구성되는 포커스 링(17)이 설치되어 있다. 포커스 링(17)은 중심에 개구를 갖고, 개구는 웨이퍼(W)와 약간 큰 직경으로 되어 있다. 웨이퍼(W)는 포커스 링(17)의 개구의 내측으로 노출된 서셉터(10)의 표면상에 탑재된다. 포커스링(17)은 웨이퍼(W)에 플라즈마 활성종을 효과적으로 입사시킨다.At the edge of the surface of the susceptor 10, a focus ring 17 made of an insulator such as ceramic is provided. The focus ring 17 has an opening in the center, and the opening has a diameter slightly larger than that of the wafer W. FIG. The wafer W is mounted on the surface of the susceptor 10 exposed inward of the opening of the focus ring 17. The focus ring 17 effectively injects plasma active species into the wafer W. As shown in FIG.

챔버(2)의 천정부에는, 평행 평판 전극의 상부 전극(18)이 설치되어 있다. 상부 전극(18)은 소위 샤워 헤드 구조를 갖고, 다수의 가스 구멍(19)을 갖는 전극판(20)과, 전극판(20)의 사이에 중공의 확산부(21)를 형성하는 전극 지지체(22)로 구성된다.The upper electrode 18 of the parallel plate electrode is provided in the ceiling part of the chamber 2. The upper electrode 18 has a so-called shower head structure, an electrode support 20 having a plurality of gas holes 19, and a hollow diffusion portion 21 formed between the electrode plates 20 ( 22).

전극 지지체(22)는 가스 공급관(3)에 접속되어 있다. 가스 공급관(3)으로부터 공급된 가스는, 확산부(21)에 있어서 확산되고, 다수의 가스 구멍(19)으로부터 분출된다. 전극판(20)은, 서셉터(10)와 대향하도록 설치되고, 웨이퍼(W)보다도 약간 대직경을 갖도록 형성되어 있다. 이에 따라, 처리 가스는 웨이퍼(W)의 표면 전체에 공급된다.The electrode support 22 is connected to the gas supply pipe 3. The gas supplied from the gas supply pipe 3 diffuses in the diffusion portion 21 and is ejected from the plurality of gas holes 19. The electrode plate 20 is provided to face the susceptor 10, and is formed to have a slightly larger diameter than the wafer W. Thus, the processing gas is supplied to the entire surface of the wafer W.

전극판(20)은 알루미늄 등의 도전 재료로 구성되고, 원판 형상으로 형성되어 있다. 전극판(20)은 제 2 정합기(23)를 거쳐 제 2 RF 전원(24)에 접속되어 있다. 전극판(20)으로의 RF 전력의 인가에 의해, 가스구멍(19)으로부터 공급된 가스의 플라즈마가 생성된다.The electrode plate 20 is made of a conductive material such as aluminum and is formed in a disc shape. The electrode plate 20 is connected to the second RF power supply 24 via the second matcher 23. By the application of RF power to the electrode plate 20, plasma of the gas supplied from the gas hole 19 is generated.

도 2에, 전극판(20) 근방의 확대도를 나타낸다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 전극판(20)은, 그 주변부의 두께가 얇게 형성되고, 원주 형상의 볼록부(20a)를 형성하도록 구성되어 있다. 전극판(20)은 가장자리부에 나사 홈 등이 형성되어 있고, 가장자리부에 있어서 전극 지지체(22)에 나사(25)에 의해 고정된다.2 is an enlarged view of the vicinity of the electrode plate 20. As shown in FIG. 2, the electrode plate 20 is formed so that the thickness of the peripheral part is thin and forms the columnar convex part 20a. The electrode plate 20 is formed with a screw groove or the like at the edge portion, and is fixed to the electrode support 22 by the screw 25 at the edge portion.

전극판(20)의 가장자리부의 나사 고성 부분은, 질화 알루미늄 등의 세라믹 등으로 구성되는 실드링(26)에 의해 피복되어 있다. 실드링(26)은 개구(26a)가 형성된 주요면을 갖고, 이 주요면이 챔버(2)의 천정면과 대략 평행하게 되도록, 챔버(2)의 천정의 측부 등에 고정되어 있다. 실드링(26)의 개구(26a)는, 전극판(20)보다도 소직경으로 형성되고, 개구(26a)내에 전극판(20)이 노출되도록 설치된다. 또한, 실드링(26)의 적어도 주요면 부분은, 10㎜ 정도의 두께를 갖는 판상으로 형성되어 있다. 실드링(26)에 의해 나사 고정 부분이 피복됨으로써, 플 라즈마 생성시의 나사 고정 부분에 있어서의 이상 방전 등은 방지된다.The screw solid part of the edge part of the electrode plate 20 is coat | covered with the shield ring 26 comprised from ceramics, such as aluminum nitride. The shield ring 26 has a main surface on which the opening 26a is formed, and is fixed to the side of the ceiling of the chamber 2 and the like so that the main surface is substantially parallel to the ceiling surface of the chamber 2. The opening 26a of the shield ring 26 is formed to have a smaller diameter than the electrode plate 20, and is provided so that the electrode plate 20 is exposed in the opening 26a. At least the main surface portion of the shield ring 26 is formed in a plate shape having a thickness of about 10 mm. By covering the screw fixing portion with the shield ring 26, abnormal discharge or the like in the screw fixing portion at the time of plasma generation is prevented.

여기서, 실드링(26)의 개구(26a)의 직경은, 전극판(20)의 볼록부(20a)의 직경과 대략 동일하게 형성되고, 실드링(26)은 그 개구(26a)내에 전극판(20)의 볼록부(20a)가 하향으로 결합하도록 설치된다.Here, the diameter of the opening 26a of the shield ring 26 is formed substantially the same as the diameter of the convex part 20a of the electrode plate 20, and the shield ring 26 is the electrode plate in the opening 26a. The convex part 20a of the 20 is installed so that it may couple downward.

전극판(20)의 볼록부(20a)의 직경은, 실드링(26)의 개구의 직경과 거의 동일하게 설정되어 있고, 볼록부(20a)는 실드링(26)의 개구(26a)내에 거의 빈틈 없이 결합하도록 구성되어 있다. 또한, 가스 구멍(19)은 볼록부(20a)를 관통하도록 형성되어 있고, 실드링(26)에 의해 처리 가스의 분출이 방해받지 않는다.The diameter of the convex part 20a of the electrode plate 20 is set to be substantially the same as the diameter of the opening of the shield ring 26, and the convex part 20a is almost in the opening 26a of the shield ring 26. It is configured to join without gaps. In addition, the gas hole 19 is formed so as to penetrate the convex part 20a, and the ejection of a process gas is not disturbed by the shield ring 26. As shown in FIG.

전극판(20)의 볼록부(20a)와 실드링(26)은 서로 결합했을 때에, 실질적으로 동일한 면을 형성한다. 즉, 전극판(20)의 볼록부(20a)의 높이는, 실드링(26)의 개구(26a) 부근의 두께와 거의 동일한 값(예컨대, 10㎜ 정도)으로 설정되어 있다.When the convex part 20a of the electrode plate 20 and the shield ring 26 combine with each other, they form substantially the same surface. That is, the height of the convex part 20a of the electrode plate 20 is set to the value (for example, about 10 mm) substantially the same as the thickness of the vicinity of the opening 26a of the shield ring 26. As shown in FIG.

상기 구성에서는, 전극판(20)과 실드링(26)은 플라즈마 생성 영역에 대하여 평탄한 면을 형성한다. 이 경우, 전극판(20)의 노출면과 실드링(26)의 주요면의 사이에 단차가 형성되지 않는다. 이에 따라, 가스 구멍(19)으로부터 분출되는 처리 가스의 흐름이, 이와 같은 단차 부분에서 뒤섞이지 않고, 가스 구멍(19) 전체로부터 분출되는 처리 가스의 흐름은, 거의 균등한 것으로 된다. 이에 따라, 처리 가스는 높은 균일성으로 웨이퍼(W)의 표면에 공급되고, 웨이퍼(W)에 균일성이 높은 처리가 실행된다.In the above configuration, the electrode plate 20 and the shield ring 26 form a flat surface with respect to the plasma generation region. In this case, a step is not formed between the exposed surface of the electrode plate 20 and the main surface of the shield ring 26. As a result, the flow of the processing gas ejected from the gas hole 19 is not mixed in such a stepped portion, and the flow of the processing gas ejected from the gas hole 19 as a whole becomes almost uniform. As a result, the processing gas is supplied to the surface of the wafer W with high uniformity, and the processing with high uniformity is performed on the wafer W. FIG.

(실시예 1)(Example 1)

도 3A에, 볼록형 전극판(20)을 거쳐 Ar 가스를 챔버(2)내에 공급한 경우의, 웨이퍼(W)의 상방의 각 지점에 있어서의 압력을 조사한 결과를 나타낸다. 또한, 도 3B에, 볼록부(20a)를 갖지 않는, 평탄한 전극판(20)을 사용한 경우의 결과를 나타낸다. 여기서, 전극판(20)과 서셉터(10)의 거리(전극간 갭)는 30㎜이고, 200㎜의 웨이퍼(W)의 표면에 Ar 가스를 300sccm로 흘렸다.FIG. 3A shows a result of examining the pressure at each point above the wafer W when Ar gas is supplied into the chamber 2 via the convex electrode plate 20. 3B, the result at the time of using the flat electrode plate 20 which does not have the convex part 20a is shown. Here, the distance (gap between electrodes) of the electrode plate 20 and the susceptor 10 was 30 mm, and Ar gas was flowed at 300 sccm on the surface of the wafer W of 200 mm.

도 3a에 도시되는 바와 같이, 볼록형의 전극판(20)을 사용한 경우에는, 웨이퍼(W)의 상측에서는, 중심부와 단부에서 압력은 변하지 않고, 거의 1㎩ 정도로 일정하다. 한편, 도 2B에 도시되는 바와 같이, 평탄한 전극판(20)을 사용한 경우에는, 웨이퍼(W) 상측의 단부에서는 1㎩ 정도인 데 반해, 중심부에서는 1.5㎩ 정도와 50%에 가깝게 높아져 있다. 이 압력의 차는, 전극판(20)과 실드링(26)의 단차 부분의 근처에서 발생하고 있다. 이로써, 단차를 발생시키지 않는 볼록형의 전극판(20)을 사용함으로써, 웨이퍼(W)의 상방의 압력을 거의 일정하게 할 수 있다는 것을 알 수 있다.As shown in FIG. 3A, when the convex electrode plate 20 is used, the pressure does not change at the center and the end of the wafer W, and is constant at about 1 kPa. On the other hand, as shown in FIG. 2B, when the flat electrode plate 20 is used, it is about 1 kV at the edge of the upper side of the wafer W, but is raised to about 1.5 kV and 50% at the center. This pressure difference is generated in the vicinity of the stepped portion between the electrode plate 20 and the shield ring 26. Thereby, it turns out that the pressure above the wafer W can be made substantially constant by using the convex electrode plate 20 which does not generate a step | step.

도 4에, 도 3a 및 3b에 도시한 실험에 있어서, 전극간 갭을 변화시켰을 때의 웨이퍼(W)의 중심의 상방의 압력 변화를 조사한 결과를 나타낸다. 도 4에 도시되는 바와 같이, 평탄한 전극판(20)을 사용한 경우, 압력은 전극간 갭의 감소와 함께 크게 상승하여, 전극간 갭이 10㎜에서는 약 4㎩에 이른다.In FIG. 4, in the experiment shown to FIG. 3A and 3B, the result of having investigated the pressure change of the upper part of the center of the wafer W when the gap between electrodes is changed is shown. As shown in FIG. 4, when the flat electrode plate 20 is used, the pressure increases significantly with the decrease of the inter-electrode gap, and reaches about 4 kPa when the inter-electrode gap is 10 mm.

한편, 볼록형 전극판(20)을 사용한 경우, 전극간 갭이 변화되어도, 큰 압력 상승은 보이지 않고, 전극간 갭 10㎜이어도, 압력은 평탄형의 거의 절반의 약 2㎩이다. On the other hand, in the case where the convex electrode plate 20 is used, even if the inter-electrode gap is changed, no large pressure increase is observed, and even if the inter-electrode gap is 10 mm, the pressure is about 2 kPa of almost half of the flat type.

도 4에 나타내는 결과로부터, 볼록형 전극판(20)을 사용한 경우, 웨이퍼(W) 상방의 압력(즉, 실질적인 프로세스 압력)은 비교적 낮아진다는 것을 알 수 있다. 일반적으로, 높은 프로세스 압력은 플라즈마 처리에 바람직하지 못한 영향을 준다. 특히, CVD에 의한 내장 처리에 있어서는, 압력이 높으면 보이드가 발생하기 쉽다. 이로써, 볼록형 전극판(20)을 사용함으로써, 신뢰성이 높은 처리, 특히 내장 처리가 가능하다는 것을 알 수 있다.4 shows that when the convex electrode plate 20 is used, the pressure (that is, the actual process pressure) above the wafer W is relatively low. In general, high process pressures have an undesirable effect on plasma processing. In particular, in the interior treatment by CVD, voids are likely to occur when the pressure is high. Thus, it can be seen that by using the convex electrode plate 20, a highly reliable process, in particular, a built-in process can be performed.

도 5에, 전극판(20)의 노출면과 실드링(26)의 노출면의 단차[볼록부(20a)의 높이]를 변화시켰을 때의, 웨이퍼(W)의 표면에 있어서의 성막 속도의 균일성을 조사한 결과를 나타낸다. 여기서, 성막 조건은, SiH4/SiF4/O2/Ar=22/28/250/50(sccm), 압력(배기압) 1.3㎩, 전극간 갭20㎜이다. 또한, 성막 속도 균일성은, (성막 속도 균일성(%))=((최대 성막 속도)+(최소 성막 속도))/((평균 성막 속도)×2)×100로 하여 산출했다. 또한, 성막 속도 균일성의 값이 낮을수록, 성막 속도의 격차가 적은 것을 나타내고, 처리의 균일성이 높은 것을 나타낸다. 또한, 실드링(26)의 두께는 10㎜이고, 단차의 높이가 0㎜인 경우, 전극판(20)과 실드링(26)은 평탄면을 형성한다.5 shows the deposition rate on the surface of the wafer W when the step (height of the convex portion 20a) of the exposed surface of the electrode plate 20 and the exposed surface of the shield ring 26 is changed. The result of having examined uniformity is shown. The film forming conditions are SiH 4 / SiF 4 / O 2 / Ar = 22/28/250/50 (sccm), pressure (exhaust pressure) 1.3 kPa, and gap between electrodes 20 mm. In addition, the film-forming speed uniformity was computed as (film-forming speed uniformity (%)) = ((maximum film-forming speed) + (minimum film-forming speed)) / ((average film-forming speed) x 2) x 100. In addition, the lower the value of the film forming speed uniformity, the smaller the difference in the film forming speed, and the higher the uniformity of the treatment. When the thickness of the shield ring 26 is 10 mm and the height of the step is 0 mm, the electrode plate 20 and the shield ring 26 form a flat surface.

도 5에 도시되는 바와 같이, 전극판(20)과 실드링(26)의 단차가 작을수록, 성막 속도의 균일성의 값은 감소하고, 웨이퍼(W)의 표면 전체에 균일성이 높은 성막 처리가 실행되는 것을 알 수 있다.As shown in FIG. 5, the smaller the step difference between the electrode plate 20 and the shield ring 26, the lower the uniformity of the film formation speed, and the higher the uniform film deposition treatment over the entire surface of the wafer W. You can see that it runs.

또한, 도 6에, 상기 단차를 변화시키고, 소정의 종횡비를 갖는 홈의 내장 처 리를 실행하며, 보이드의 발생 없이 양호한 내장 처리가 가능한 최대 종횡비를 조사한 결과를 나타낸다. 또한, 도 6 중, 종횡비는 평탄한 전극판(20)[단차가 110㎜]을 사용한 경우의 결과를 1로 했을 때의 비로 나타냈다.Fig. 6 shows the results of examining the maximum aspect ratio which can change the step and the interior of the groove having a predetermined aspect ratio, and can perform a good interior processing without generating voids. In addition, in FIG. 6, the aspect ratio was shown by the ratio when the result at the time of using the flat electrode plate 20 (step difference 110mm) was 1. In addition, in FIG.

도 6에 도시되는 바와 같이, 단차가 작거나 또는 없을수록, 양호하게 내장 가능한 최대 종횡비는 높다. 예컨대, 전극판(20)과 실드링(26)이 평탄면을 형성하는 경우(단차 0㎜)에는, 평탄한 전극판(20)을 사용한 경우(단차 110㎜)의 1.5배의 종횡비를 갖는 홈에 대하여 양호한 내장 처리가 가능하다. 여기서, 종횡비가 높은 홈 정도, 내장 처리시에 보이드가 발생하기 쉽다.As shown in Fig. 6, the smaller or absent the step, the higher the maximum aspect ratio that can be embedded well. For example, in the case where the electrode plate 20 and the shield ring 26 form a flat surface (step difference 0 mm), a groove having an aspect ratio of 1.5 times that of the case where the flat electrode plate 20 is used (step difference 110 mm) is provided. Good intrinsic treatment is possible. Here, voids tend to be generated at the time of a high aspect ratio groove | channel and a built-in process.

도 4에 나타내는 결과와 합쳐서, 볼록형의 전극판(20)을 사용하여 단차를 작거나 또는 없앰으로써, 웨이퍼(W) 상방의 프로세스 압력이 낮게 억제되고, 보이드의 발생이 적은 신뢰성이 높은 내장 처리가 실행되는 것을 알 수 있다.In combination with the results shown in FIG. 4, by using the convex electrode plate 20 to reduce or eliminate the step difference, the process pressure above the wafer W is suppressed to be low, and a highly reliable built-in process with less generation of voids is provided. You can see that it runs.

이상 설명한 바와 같이, 제 1 실시 형태에서는, 전극판(20)을 볼록형으로 형성하고, 전극판(20)의 노출면과 실드링(26)의 주요면이 평탄면을 형성하는 구성으로 되어 있다. 이 구성에 의해, 전극판(20)과 실드링(26)의 단차는 없어지고, 웨이퍼(W)의 상방에 있어서의 처리 가스의 혼란을 저감하거나, 또는 없앨 수 있다. 이로써, 웨이퍼(W)의 상방의 압력은, 그 표면상 전체에 거의 균일하게 되고, 표면 전체에 균일성이 높은 처리를 실행할 수 있다. 또한, 웨이퍼(W)상의 압력을 비교적 낮은 압력으로 유지할 수 있고, 보이드의 발생이 억제된 신뢰성이 높은 내장 처리를 실행할 수 있다.As described above, in the first embodiment, the electrode plate 20 is formed convex, and the exposed surface of the electrode plate 20 and the main surface of the shield ring 26 form a flat surface. By this structure, the level difference between the electrode plate 20 and the shield ring 26 is eliminated, and the confusion of the processing gas above the wafer W can be reduced or eliminated. Thereby, the pressure above the wafer W becomes almost uniform on the whole surface, and the process with high uniformity can be performed to the whole surface. In addition, the pressure on the wafer W can be maintained at a relatively low pressure, and highly reliable built-in processing can be performed in which voids are suppressed.

상기 제 1 실시 형태에서는, 전극판(20)의 볼록부(20a)의 높이는 실드링(26) 의 두께와 거의 동일하고, 전극판(20)과 실드링(26)이 실질적으로 동일한 면을 형성하는 것으로 했다. 그러나, 볼록부(20a)의 높이는 이에 한정하지 않고, 실드링(26)의 두께보다도 크고, 실드링(26)의 개구로부터 볼록부(20a)가 돌출하는 높이일 수도 있다.In the first embodiment, the height of the convex portion 20a of the electrode plate 20 is substantially the same as the thickness of the shield ring 26, and the electrode plate 20 and the shield ring 26 form substantially the same surface. I was supposed to. However, the height of the convex portion 20a is not limited to this, and may be greater than the thickness of the shield ring 26 and may be a height at which the convex portion 20a protrudes from the opening of the shield ring 26.

(제 2 실시 형태)(2nd embodiment)

이하, 본 발명의 제 2 실시 형태에 대하여 설명한다. 제 2 실시형태에 관한 플라즈마 처리 장치(1)는, 도 1에 나타내는 제 1 실시 형태의 플라즈마 처리 장치(1)와 거의 동일한 구성을 갖는다. 도 6에, 제 2 실시 형태의 상하 전극 근방의 확대도를 나타낸다. 또한, 도면 중, 도 1 및 도 2와 동일한 부분에는 동일한 부호를 붙이고, 이해를 쉽게 하기 위해서 설명을 생략한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, 2nd Embodiment of this invention is described. The plasma processing apparatus 1 according to the second embodiment has a structure substantially the same as that of the plasma processing apparatus 1 of the first embodiment shown in FIG. 1. 6, the enlarged view of the vicinity of the vertical electrode of 2nd Embodiment is shown. In addition, in drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as FIG. 1 and FIG. 2, and description is abbreviate | omitted for easy understanding.

제 2 실시 형태에서는, 전극판(20)은 제 1 실시 형태와 같은 구성을 갖는다. 즉, 도 6에 도시하는 바와 같이, 전극판(20)은 볼록형으로 형성되고, 볼록부(20a)의 노출면(하면)과, 실드링(26)의 노출면(하면)이 대략 동일한 평면을 형성하고 있다. 또한, 포커스링(17)의 개구는 웨이퍼(W)의 직경과 거의 동일한 직경으로 설정되어 있다. In 2nd Embodiment, the electrode plate 20 has the structure similar to 1st Embodiment. That is, as shown in FIG. 6, the electrode plate 20 is formed in a convex shape, and the exposed surface (lower surface) of the convex portion 20a and the exposed surface (lower surface) of the shield ring 26 have substantially the same plane. Forming. In addition, the opening of the focus ring 17 is set to a diameter substantially equal to the diameter of the wafer W. As shown in FIG.

서셉터(10)의 노출면의 직경[하부 전극 직경 (D1)]과, 전극판(20)의 노출면의 직경[상부 전극 직경(D2)]의 비는 소정의 값으로 되도록 구성되어 있다. 여기서, 서셉터(10)의 노출면이란, 실질적으로 하부 전극으로서 기능하는 면을 가리키고, 하부 전극 직경(D1)은 포커스 링(17)의 개구의 직경, 또는 웨이퍼(W)의 직경과 거의 동일하다. 또한, 전극판(20)의 노출면이란, 실질적으로 상부 전극으로서 기능하는 면을 가리키고, 상부 전극 직경(D2)은, 볼록부(20a)의 주요면의 직경 또는 실드링(26)의 개구(26a)의 직경과 거의 동일하다. 또한, 이하에는, 하부 전극 직경(D1)은 웨이퍼(W)의 직경을 가리키고, 상부 전극 직경(D2)은 볼록부(20a)의 주요면의 직경을 가리키는 것으로 한다.The ratio of the diameter (lower electrode diameter D1) of the exposed surface of the susceptor 10 to the diameter (upper electrode diameter D2) of the exposed surface of the electrode plate 20 is configured to be a predetermined value. Here, the exposed surface of the susceptor 10 refers to a surface that functions substantially as a lower electrode, and the lower electrode diameter D1 is almost equal to the diameter of the opening of the focus ring 17 or the diameter of the wafer W. FIG. Do. In addition, the exposed surface of the electrode plate 20 refers to the surface which functions substantially as an upper electrode, and the upper electrode diameter D2 is the diameter of the main surface of the convex part 20a, or the opening of the shield ring 26 ( It is almost equal to the diameter of 26a). In addition, below, let lower electrode diameter D1 refer to the diameter of the wafer W, and upper electrode diameter D2 shall refer to the diameter of the main surface of the convex part 20a.

예컨대, 하부 전극 직경(D1)과 상부 전극 직경(D2)은, 그 비(D2/D1)가, 1.2∼1.5, 특히 1.25∼1.45이도록 구성되어 있다. 예컨대, 하부 전극 직경(D1)을 200㎜로 한 경우, 상부 전극 직경(D2)은 260㎜로 된다.For example, the lower electrode diameter D1 and the upper electrode diameter D2 are configured such that the ratio D2 / D1 is 1.2 to 1.5, particularly 1.25 to 1.45. For example, when the lower electrode diameter D1 is 200 mm, the upper electrode diameter D2 is 260 mm.

여기서, 가스 구멍(19)은, 전극판(20)의 볼록부(20a)를 관통하도록, 예컨대 동심원 형상으로 각각 설치되어 있다. 전극 직경의 비(D2/D1)는 가스 구멍(19)의 배치를 변경시키지 않도록 변화시킨다. 따라서, 전극 직경의 비(D2/D1)를 변경함으로써, 처리 가스의 공급을 일정하게 한 상태에서, 상하 전극 사이에 형성되는 RF 전계를 변화시킬 수 있다. Here, the gas holes 19 are provided in concentric circles, for example, so as to penetrate the convex portion 20a of the electrode plate 20. The ratio D2 / D1 of the electrode diameter is changed so as not to change the arrangement of the gas holes 19. Therefore, by changing the ratio D2 / D1 of the electrode diameter, the RF electric field formed between the upper and lower electrodes can be changed while the supply of the processing gas is made constant.

(실시예 2)(Example 2)

전극 직경의 비(D2/D1)를 변화시켜서 성막 처리를 실행하고, 웨이퍼(W)의 표면에 있어서의 성막 속도의 균일성을 조사한 결과를 도 8에 나타낸다. 여기서, 성막 조건은, SiH4/SiF4/O2/Ar= 22/28/250/50(sccm), 압력 1.3㎩, 전극간 갭 20㎜로 했다. 또한, 성막 속도 균일성은, (성막 속도 균일성:%)=((최대 성막 속도)+(최소 성막 속도))/((평균 성막 속도)×2)×100으로 하여 산출했다.The film formation process is performed by changing the ratio D2 / D1 of the electrode diameter, and FIG. 8 shows the results of examining the uniformity of the film formation rate on the surface of the wafer W. As shown in FIG. The film forming conditions were SiH 4 / SiF 4 / O 2 / Ar = 22/28/250/50 (sccm), a pressure of 1.3 kPa, and an interelectrode gap of 20 mm. In addition, the film-forming speed uniformity was computed as (film-forming speed uniformity:%) = ((maximum film-forming speed) + (minimum film-forming speed)) / ((average film-forming speed) x 2) * 100.

도 8에 나타내는 결과로부터, 전극 직경의 비(D2/D1)가 1.2∼1.5의 범위에 있을 때, 성막 속도 균일성은 5% 이하이고, 웨이퍼(W)의 표면 전체에 막이 높은 균일성으로 형성된다는 것을 알 수 있다. 또한, 특히, 전극 직경의 비가 1.25∼1.45의 범위에 있을 때 한층 높은 균일성을 나타내는 것을 알 수 있다.From the results shown in FIG. 8, when the ratio D2 / D1 of the electrode diameter is in the range of 1.2 to 1.5, the film forming speed uniformity is 5% or less, and the film is formed on the entire surface of the wafer W with high uniformity. It can be seen that. Moreover, it turns out that even more uniformity is exhibited especially when the ratio of an electrode diameter exists in the range of 1.25-1.45.

한편, 상하의 전극 직경이 동일한 경우(D2/D1=1), 및 상부 전극 직경(D2)이 지나치게 큰 경우(D2/D1>1.5)의 경우에는, 웨이퍼(W)의 표면 전체에 균일성이 높은 성막이 실행되어 있지 않고, 성막 속도 균일성의 값은 높으며, 처리에 적절한 RF 전계가 형성되어 있지 않다는 것을 알 수 있다.On the other hand, when the upper and lower electrode diameters are the same (D2 / D1 = 1) and when the upper electrode diameter D2 is too large (D2 / D1> 1.5), the uniformity of the entire surface of the wafer W is high. It is understood that the film formation is not performed, the value of the film formation uniformity is high, and no RF electric field suitable for processing is formed.

전극 직경의 비가, 1.1(도 8의 A), 1.4(B) 및 1.6(C)의 경우에 대하여, 각각 성막 처리 후의 웨이퍼(W) 표면의 각 지점에 있어서의 막 두께를 조사한 결과를 도 9에 나타낸다. In the case of 1.1 (A of FIG. 8), 1.4 (B), and 1.6 (C), the result of having investigated the film thickness in each position of the wafer W surface after the film-forming process was shown in FIG. Shown in

도 9에서, 전극 직경의 비가 1.4(B)인 경우, 웨이퍼(W)의 중심으로부터 단부에 걸쳐 거의 균일한 두께의 막이 형성되어 있고, 균일성이 높은 성막이 실행되고 있다는 것을 알 수 있다. 한편, 비가 1.1(A)인 경우, 웨이퍼(W)의 중심부에서 성막 속도가 높고, 단부에서는 낮다. 또한, 비가 1.6(C)인 경우에는, 단부에서 성막 속도가 높고, 중심부에서는 낮다. 이로써, 도 8에 나타내는 결과와 같이, 전극 직경의 비가 1.2∼1.5인 범위내에 있는 경우에, 적절한 RF 전계가 형성되고, 웨이퍼(W)의 표면 전체에 균일성이 높은 성막이 가능하다는 것을 알 수 있다.In Fig. 9, when the electrode diameter ratio is 1.4 (B), it can be seen that a film having a substantially uniform thickness is formed from the center of the wafer W to the end, and film formation with high uniformity is performed. On the other hand, when the ratio is 1.1 (A), the film formation speed is high at the center of the wafer W and low at the end. In addition, when the ratio is 1.6 (C), the film formation speed is high at the end and low at the center portion. Thereby, as shown in the result shown in FIG. 8, when the ratio of an electrode diameter exists in the range of 1.2-1.5, it turns out that a suitable RF electric field is formed and high uniformity film formation is possible for the whole surface of the wafer W. FIG. have.

상기 제 2 실시 형태에서는, 볼록형의 전극판(20)을 사용하고 있다. 그러 나, 본 발명은, 볼록형의 전극판(20)에 한정되지 않고, 평탄한 전극판(20)에도 적용 가능하다. 예컨대, 상부 전극 직경(D2)을, 전극판(20)의 노출면의 직경, 즉 실드링(26)의 개구의 직경으로 하여, 동일하게 상하 전극 직경의 비를 규정하도록 할 수도 있다. In the second embodiment, the convex electrode plate 20 is used. However, the present invention is not limited to the convex electrode plate 20, but is also applicable to the flat electrode plate 20. For example, the upper electrode diameter D2 may be defined as the diameter of the exposed surface of the electrode plate 20, that is, the diameter of the opening of the shield ring 26, to similarly define the ratio of the upper and lower electrode diameters.

(제 3 실시 형태)(Third embodiment)

이하, 본 발명의 제 3 실시 형태에 대하여 설명한다. 제 3 실시 형태에 따른 플라즈마 처리 장치(1)는, 도 1에 나타내는 제 1 실시 형태의 플라즈마 처리 장치(1)와 거의 동일한 구성을 갖는다. 도 10에, 제 3 실시 형태의 상하 전극 근방의 확대도를 나타낸다. 또한, 도면 중, 도 1 및 도 2와 동일한 부분에는 동일한 부호를 붙여, 이해를 쉽게 하기 위해서 설명을 생략한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, 3rd Embodiment of this invention is described. The plasma processing apparatus 1 according to the third embodiment has a structure substantially the same as that of the plasma processing apparatus 1 of the first embodiment shown in FIG. 1. 10, the enlarged view of the vicinity of the vertical electrode of 3rd Embodiment is shown. In addition, in the figure, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as FIG. 1 and FIG. 2, and description is abbreviate | omitted for easy understanding.

전극판(20)은 볼록형으로 형성되고, 도 10에 도시하는 바와 같이, 볼록부(20a)의 노출면(하면)과, 실드링(26)의 노출면(하면)이, 대략 동일한 평면을 형성하고 있다. 볼록부(20a)의 노출면이, 실질적으로 RF 전계를 형성한다. The electrode plate 20 is formed in a convex shape, and as shown in FIG. 10, the exposed surface (lower surface) of the convex portion 20a and the exposed surface (lower surface) of the shield ring 26 form substantially the same plane. Doing. The exposed surface of the convex portion 20a substantially forms an RF electric field.

제 3 실시 형태에서는, 전극판(20)의 노출면의 면적을 일정하게 유지하면서, 처리 가스의 공급 면적(처리 가스의 배출 직경)을 소망하는 바와 같이 확대 가능한 구성을 갖는다. 즉, 가스 구멍(19)을, 전극판(20)뿐만 아니라, 이것을 포위하는 실드링(26)에도 설치한 구성을 갖는다. In 3rd Embodiment, it has a structure which can expand as desired, supplying the process area (discharge diameter of process gas), keeping the area of the exposed surface of the electrode plate 20 constant. That is, the gas hole 19 is provided not only in the electrode plate 20 but also in the shield ring 26 which surrounds this.

도 10에 나타내는 바와 같이, 실드링(26)은, 전극판(20)의 주위에 형성된 가스 구멍(26b)을 갖는다. 전극 지지체(22)는, 내부에 형성되는 확산부(21)와, 가스 구멍(26b)이 연통하도록 설치되어 있다. 이로써, 처리 가스는, 전극판(20)에 설치된 가스 구멍(19)과 실드링(26)의 가스 구멍(26b)으로부터 흡출된다.As shown in FIG. 10, the shield ring 26 has a gas hole 26b formed around the electrode plate 20. The electrode support 22 is provided so that the diffusion part 21 formed inside and the gas hole 26b may communicate. Thus, the processing gas is drawn out from the gas hole 19 provided in the electrode plate 20 and the gas hole 26b of the shield ring 26.

가스 구멍(26b)은, 전극판(20)의 가스 구멍(19)과 같이 배치되어 있다. 전극판(20)의 가스 구멍(19)은, 예컨대 거의 동심원 형상으로 설치되어 있고, 실드링(26)의 가스 구멍(26b)은 전극판(20)의 가스 구멍(19)의 외주에 설치된다.The gas holes 26b are arranged like the gas holes 19 of the electrode plate 20. The gas hole 19 of the electrode plate 20 is provided in a substantially concentric shape, for example, and the gas hole 26b of the shield ring 26 is provided on the outer periphery of the gas hole 19 of the electrode plate 20. .

여기서, 가스 구멍(19)과 가스 구멍(26b)으로 구성되는 처리 가스의 배출 직경(D3)은, 전극판(20)의 노출면의 직경[상부 전극 직경(D2)]보다도 크고, 특히 약 1.1배보다도 크도록(D3/D1>1.1) 구성되어 있다. 여기서, 배출 직경(D3)은, 예컨대 최외주의 가스 구멍(26b)의 직경이다. 예컨대, 상부 전극 직경(D2)을 260㎜으로 했을 때, 가스 배출 직경(D3)은, D2의 약 1.1배의 약 280㎜로 취급된다. Here, the discharge diameter D3 of the processing gas constituted by the gas hole 19 and the gas hole 26b is larger than the diameter of the exposed surface of the electrode plate 20 (upper electrode diameter D2), in particular about 1.1. It is configured to be larger than the ship (D3 / D1> 1.1). Here, the discharge diameter D3 is, for example, the diameter of the gas hole 26b of the outermost circumference. For example, when the upper electrode diameter D2 is 260 mm, the gas discharge diameter D3 is treated as about 280 mm, which is about 1.1 times that of D2.

상기한 바와 같이, 실드링(26)에 가스 구멍(26b)을 설치함으로써, 전극판(20)의 노출면의 면적을 변경하지 않고, RF 전계를 변경하지 않고, 가스 공급 면적의 확대를 도모할 수 있다. 가스 공급 면적을 확대시킴으로써, 웨이퍼(W)의 표면 전체에 보다 균등하게 가스를 공급할 수 있다. 따라서, 웨이퍼(W)의 표면에 균일성이 높은 처리를 실행할 수 있다. As described above, by providing the gas holes 26b in the shield ring 26, the gas supply area can be expanded without changing the area of the exposed surface of the electrode plate 20 and without changing the RF electric field. Can be. By enlarging the gas supply area, the gas can be supplied more evenly to the entire surface of the wafer W. FIG. Therefore, a highly uniform process can be performed on the surface of the wafer W. As shown in FIG.

(실시예 3)(Example 3)

처리 가스의 배출 직경(D3)을 변화시켜서, 성막 속도 및 웨이퍼(W)의 표면에 있어서의 성막 속도의 균일성을 조사한 결과를, 도 11에 나타낸다. 여기서, 상부 전극 직경(D2)은 260㎜로 했다. 또한, 성막 조건은, SiH4/SiF4/O2/Ar =22/28/250/50(sccm), 압력 1.3㎩, 전극간 갭20㎜로 했다. 또한, 성막 속도 균일성은, (성막 속도 균일성:%)=((최대 성막 속도)×(최소 성막 속도))/((평균 성막 속도)×2)×100으로 하여 산출했다.The result of having investigated the uniformity of the film-forming rate and the film-forming rate in the surface of the wafer W by changing the discharge diameter D3 of a process gas is shown in FIG. Here, the upper electrode diameter D2 was set to 260 mm. The film forming conditions were SiH 4 / SiF 4 / O 2 / Ar = 22/28/250/50 (sccm), a pressure of 1.3 kPa, and an interelectrode gap of 20 mm. In addition, the film-forming speed uniformity was computed as (film-forming speed uniformity:%) = ((maximum film-forming speed) x (minimum film-forming speed)) / ((average film-forming speed) x 2) * 100.

도 11로부터, 가스의 배출 직경(D3)이 클수록 성막 속도는 높다는 것을 알 수 잇다. 또한, 배출 직경(D3)이 약 240㎜ 이상[상부 전극 직경(D2)의 약 0.85배 이상, 웨이퍼 직경의 약 1.2배 이상]이고, 충분히 높은 성막 속도가 얻어진다는 것을 알 수 있다.It can be seen from FIG. 11 that the larger the discharge diameter D3 of the gas, the higher the deposition rate. Further, it can be seen that the discharge diameter D3 is about 240 mm or more (about 0.85 times or more of the upper electrode diameter D2, about 1.2 times or more of the wafer diameter), and a sufficiently high deposition rate is obtained.

또한, 가스의 배출 직경(D3)이 클수록 성막 속도의 균일성은 높다는 것을 알 수 있다. 또한, 배출 직경(D3)이 상부 전극 직경(D2)보다도 크며, 특히 280㎜ 이상[상부 전극 직경(D2)의 약 1.1배 이상, 웨이퍼 직경의 약 1.4배 이상]이면, 성막 속도의 균일성은 안정된 높은 값을 나타낸다. Moreover, it turns out that the uniformity of film-forming speed is high, so that the gas discharge diameter D3 is large. In addition, when the discharge diameter D3 is larger than the upper electrode diameter D2, and particularly 280 mm or more (about 1.1 times or more of the upper electrode diameter D2 and about 1.4 times or more of the wafer diameter), the uniformity of the deposition rate is stable. High value.

이로써, 가스의 배출 직경(D3)이 상부 전극 직경(D2)보다도 크고, 특히 약 1.1배 이상이면, 웨이퍼(W)의 표면 전체에 균일성이 높은 처리를, 높은 성막 속도로 실행할 수 있다.As a result, when the discharge diameter D3 of the gas is larger than the upper electrode diameter D2, and in particular about 1.1 times or more, a high uniformity treatment can be performed on the entire surface of the wafer W at a high film formation speed.

이상 설명한 바와 같이, 제 3 실시 형태에서는, 실드링(26)에 가스 구멍(26b)을 설치한다. 이로써, 상부 전극으로서 기능하는 전극판(20)의 노출면의 면적을 변경하여 RF 전계를 변화시키지 않고, 처리 가스의 배출 직경(D3)을 확대할 수 있다. 이로써, 성막 속도의 향상 및 처리의 면내 균일성의 향상을 도모할 수 있다.As described above, in the third embodiment, the gas hole 26b is provided in the shield ring 26. Thereby, the discharge diameter D3 of a process gas can be enlarged, without changing the area of the exposed surface of the electrode plate 20 which functions as an upper electrode, and changing an RF electric field. Thereby, the film-forming speed can be improved and the in-plane uniformity of a process can be improved.

상기 제 3 실시 형태에서는, 실드링(26)에 설치된 가스 구멍(26b)은, 전극 지지체(22)내의 중공부와 연통하고, 전극판(20)의 가스 구멍(19)과 동일한 처리 가스의 공급을 받는 것으로 했다. 그러나, 실드링(26)의 가스 구멍(26b)에 접속된 독립적인 가스 유로를 설치하도록 할 수도 있다. 또한 이 때, 실드링(26)용 가스 유로에 유량 제어 장치 등을 설치하여, 전극판(20)과 실드링(26)에 잇어서의 가스 공급량을 각각 조절하는 구성으로 할 수도 있다.In the third embodiment, the gas hole 26b provided in the shield ring 26 communicates with the hollow portion in the electrode support 22 and supplies the same processing gas as the gas hole 19 of the electrode plate 20. I was supposed to receive. However, the independent gas flow path connected to the gas hole 26b of the shield ring 26 may be provided. At this time, a flow rate control device or the like may be provided in the gas flow path for the shield ring 26 to adjust the amount of gas supplied to the electrode plate 20 and the shield ring 26, respectively.

상기 제 3 실시 형태에서는, 볼록형의 전극판(20)을 사용하는 것으로 했다. 그러나, 볼록형의 전극판(20)에 한정하지 않고, 평탄한 전극판(20)에 관해서도 동일한 구성으로 할 수 있다. 이 경우, 전극판(20)의 노출면의 직경, 즉 실드링(26)의 개구의 내경을 상부 전극 직경(D2)으로 하고, 이에 대하여 가스 배출 직경(D3)을 결정하도록 하면 무방하다.In the third embodiment, the convex electrode plate 20 is used. However, not only the convex electrode plate 20 but also the flat electrode plate 20 can have the same configuration. In this case, the diameter of the exposed surface of the electrode plate 20, that is, the inner diameter of the opening of the shield ring 26 may be set to the upper electrode diameter D2, and the gas discharge diameter D3 may be determined.

(제 4 실시 형태)(4th embodiment)

이하, 본 발명의 제 4 실시 형태에 따른 플라즈마 처리 장치(1)에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 제 4 실시 형태에 따른 플라즈마 처리 장치(1)는, 불소계의 클리닝 가스를 사용하고, 그 내부를 드라이 클리닝하는 구성을 갖는다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the plasma processing apparatus 1 which concerns on 4th Embodiment of this invention is demonstrated with reference to drawings. The plasma processing apparatus 1 according to the fourth embodiment has a configuration in which a fluorine-based cleaning gas is used to dry clean the inside thereof.

제 4 실시 형태에 따른 플라즈마 처리 장치(1)의 구성을 도 12에 도시한다. 또한, 도 12 중, 도 1과 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.The structure of the plasma processing apparatus 1 which concerns on 4th Embodiment is shown in FIG. In addition, in FIG. 12, the same code | symbol is attached | subjected about the same structure as FIG. 1, and description is abbreviate | omitted.

도 12에 나타내는 바와 같이, 챔버(2)의 측벽에는 클리닝 가스 공급구(30)가 형성되어 있다. 클리닝 가스 공급구(30)는 클리닝 가스 공급원(31) 및 캐리어 가스원(32)에 접속되어 있다. 클리닝 가스 공급원(31)으로부터는 불소계의 클리닝 가스, 예컨대 3불화 질소(NF3)가 공급된다. 또한, 캐리어 가스원(32)으로부터는 아르곤(Ar), 질소 등의 불활성 가스가 공급된다. As shown in FIG. 12, the cleaning gas supply port 30 is formed in the side wall of the chamber 2. The cleaning gas supply port 30 is connected to the cleaning gas supply source 31 and the carrier gas source 32. The cleaning gas supply source 31 is supplied with a fluorine-based cleaning gas such as nitrogen trifluoride (NF 3 ). In addition, an inert gas such as argon (Ar) or nitrogen is supplied from the carrier gas source 32.

클리닝 가스 공급구(30)와, 클리닝 가스 공급원(31) 및 캐리어 가스 공급원(32)의 사이에는, 액티베이터(33)가 설치되어 있다. 액티베이터(33)는 도시하지 않는 플라즈마 발생 기구를 구비하고, 내부를 통과하는 가스의, 예컨대 ECR(Electron Cyclotron Resonance) 플라즈마, 유도 결합형 플라즈마(Inductive Coupled Plasma:ICP) 등의 고밀도 플라즈마를 발생시킨다. 액티베이터(33)는 플라즈마 중의 불소 라디칼을 선택적으로 배기한다. An activator 33 is provided between the cleaning gas supply port 30, the cleaning gas supply source 31, and the carrier gas supply source 32. The activator 33 is provided with a plasma generating mechanism (not shown), and generates a high-density plasma such as, for example, an ECR (Electron Cyclotron Resonance) plasma, an Inductive Coupled Plasma (ICP), and the like. The activator 33 selectively exhausts fluorine radicals in the plasma.

클리닝 가스를 챔버(2)내에 공급함으로써, 챔버(2)내에 부착, 퇴적한 실리콘계 물질 등의 오물질은, 불소 라디칼에 의해 분해되어, 배기와 동시에 제거된다. 이와 같이, 클리닝 가스는, 챔버(2)의 외부에서 플라즈마화되어, 소위 리모트 플라즈마 클리닝이 실행된다.By supplying the cleaning gas into the chamber 2, dirt such as silicon-based substances deposited and deposited in the chamber 2 are decomposed by fluorine radicals and removed at the same time as the exhaust gas. In this way, the cleaning gas is converted into plasma outside the chamber 2, so-called remote plasma cleaning is performed.

제 4 실시 형태에 있어서, 전극판(20)은 규소보다도 불소 라디칼에 내성이 있는 재료로 구성되어 있다. 즉, 전극판(20)은, 알루마이트 처리된 알루미늄, 탄화규소, 카본, 알루미늄, 알루미나, 석영 알루미나 용사 등으로 구성되어 있다. 전극판(20)을 상기 재료로 구성함으로써, 불소 가스를 사용한 클리닝에 의한, 전극 판(20)의 열화를 억제할 수 있다. 이로써, 전극판(20)의 열화에 의한 성막 균일성의 저하, 및 전극판(20)의 교환 빈도의 증대에 의한 생산성의 저하는 억제된다. In the fourth embodiment, the electrode plate 20 is made of a material that is more resistant to fluorine radicals than silicon. That is, the electrode plate 20 is made of aluminite-treated aluminum, silicon carbide, carbon, aluminum, alumina, quartz alumina thermal spray, or the like. By configuring the electrode plate 20 with the above-mentioned material, deterioration of the electrode plate 20 due to cleaning using fluorine gas can be suppressed. Thereby, the fall of the film-forming uniformity by deterioration of the electrode plate 20, and the fall of productivity by the increase of the exchange frequency of the electrode plate 20 are suppressed.

다음에, 플라즈마 처리 장치(1)의 성막 처리 및 클리닝시의 동작에 대하여, 도 12를 참조하여 설명한다. Next, the operation | movement at the time of film-forming and cleaning of the plasma processing apparatus 1 is demonstrated with reference to FIG.

우선, 웨이퍼(W)를 챔버(2)내로 반입하고, 서셉터(10)상에 탑재한다. 이어서, SiF4, SiH4, O2 및 Ar로 구성되는 처리 가스를 챔버(2)내에 공급하고, RF 전력의 인가에 의해, 처리 가스의 플라즈마를 생성한다. 발생한 플라즈마에 의해, 웨이퍼(W)상에 SiOF막이 성막된다. 소정 두께의 막이 웨이퍼(W)상에 형성되고, 웨이퍼(W)는 챔버(2)로부터 반출된다. 상술한 동작을 반복하여 웨이퍼(W)를 연속적으로 처리한다. 이 때, 소정 매수의 웨이퍼(W)를 처리할 때마다, 챔버(2)의 클리닝을 실행한다.First, the wafer W is carried into the chamber 2 and mounted on the susceptor 10. Subsequently, a processing gas composed of SiF 4 , SiH 4 , O 2, and Ar is supplied into the chamber 2, and a plasma of the processing gas is generated by applying RF power. By the generated plasma, an SiOF film is formed on the wafer (W). A film of a predetermined thickness is formed on the wafer W, and the wafer W is carried out from the chamber 2. The above-described operation is repeated to process the wafer W continuously. At this time, each time the predetermined number of wafers W are processed, the chamber 2 is cleaned.

클리닝시, 우선 더미 웨이퍼를 챔버(2)내에 반입하여 서셉터(10)상에 탑재한다. 이어서, NF3 및 Ar의 공급을 개시하고, 액티베이터(33)를 작동시킨다. 액티베이터(33)는 처리 가스의 플라즈마를 생성하여, 챔버(2)내에 불소 라디칼을 주성분으로서 포함하는 가스를 공급한다. 클리닝 가스에 의해, 예컨대 챔버(2)내에 부착된 SiOF는 불소 라디칼과 반응하여, 4불화 실란(SiF4) 등으로 분해되어 제거된다. 이렇게 하여, 챔버(2)내의 퇴적물 등은 제거되고, 클리닝이 진행한다.At the time of cleaning, the dummy wafer is first loaded into the chamber 2 and mounted on the susceptor 10. Then, supply of NF 3 and Ar is started, and the activator 33 is operated. The activator 33 generates a plasma of the processing gas and supplies a gas containing fluorine radical as a main component in the chamber 2. By the cleaning gas, for example, SiOF adhered in the chamber 2 is reacted with fluorine radicals, decomposed into tetrafluorosilane (SiF 4 ), or the like, and removed. In this way, the deposit etc. in the chamber 2 are removed, and cleaning advances.

그 후, 시간, 청정도 등의 소정의 종료 조건에 이른 후, 액티베이터(33)를 오프하여, 가스의 공급을 정지한다. 이상에서 클리닝은 종료하고, 다시 성막 처리 를 개시한다.Thereafter, after reaching predetermined termination conditions such as time and cleanliness, the activator 33 is turned off to stop the supply of gas. In this way, the cleaning is finished and the film forming process is started again.

(실시예 4)(Example 4)

각종 재료로 구성된 전극판(20)을 사용하여, 상기 클리닝을 실행했을 때의 전극판(20)의 에칭 레이트를 조사했다. 재료는, 실리콘, 산화 실리콘, 질화 실리콘, 알루마이트 처리된 알루미늄, 탄화 규소, 카본, 알루미늄, 알루미나 및 석영 알루미나 용사를 사용했다. 그 결과를 도 13에 나타낸다. 또한, 결과는, 실리콘의 에칭 레이트를 100으로 했을 때의 비로서 나타내었다. 또한, 클리닝 조건은, NF3/Ar=1500 sccm/1500sccm, 압력 300㎩, 전극간 갭 48㎜, 플라즈마 공급 파워 약 2 ㎾이다. The etching rate of the electrode plate 20 at the time of performing the said cleaning was investigated using the electrode plate 20 comprised from various materials. As the material, silicon, silicon oxide, silicon nitride, anodized aluminum, silicon carbide, carbon, aluminum, alumina, and quartz alumina thermal spray were used. The result is shown in FIG. In addition, the result was shown as the ratio when the etching rate of silicon is 100. The cleaning conditions were NF 3 / Ar = 1500 sccm / 1500 sccm, pressure 300 kPa, gap between electrodes 48 mm, and plasma supply power of about 2 kPa.

도 13으로부터, 알루마이트 처리된 알루미늄, 탄화 규소, 카본, 알루미늄, 알루미나 및 석영 알루미나 용사의 에칭 레이트는, 실리콘, 산화 실리콘 및 질화 실리콘의 에칭 레이트보다도 낮다는 것을 알 수 있다. 특히, 실리콘의 에칭 레이트와 비교하여 절반 이하(50% 이하)로 되어 있다. 이것은, 알루마이트 처리된 알루미늄, 탄화 규소, 카본, 알루미늄, 알루미나 및 석영 알루미나 용사로 구성되는 전극판(20)은, 불소계 가스에 의해 에칭되기 어렵고, 부식되기 어려운 것을 나타낸다. It can be seen from FIG. 13 that the etching rate of the aluminite-treated aluminum, silicon carbide, carbon, aluminum, alumina, and quartz alumina spray is lower than that of silicon, silicon oxide, and silicon nitride. In particular, it is half or less (50% or less) compared with the etching rate of silicon. This indicates that the electrode plate 20 composed of aluminite-treated aluminum, silicon carbide, carbon, aluminum, alumina, and quartz alumina thermal spray is hard to be etched by fluorine-based gas and is hard to corrode.

또한, 도 13에는, 리모트 플라즈마 클리닝이 아니라, 원위치(insitu) 플라즈마 클리닝을 실행한 경우의 결과도 나타내고 있다. 원위치 플라즈마 클리닝에서 는, 챔버(2)내에 NF3 및 Ar를 도입하고, 챔버(2)의 내부에서 클리닝 가스의 플라즈마를 생성한다. 또한, 클리닝 조건은, NF3/Ar=100sccm/0sccm, 압력 65㎩, 전극간 갭 48㎜, 상부 전극 공급 파워 500W이다. In addition, FIG. 13 also shows the result of performing insitu plasma cleaning instead of remote plasma cleaning. In the in-situ plasma cleaning, NF 3 and Ar are introduced into the chamber 2 to generate a plasma of the cleaning gas inside the chamber 2. In addition, the cleaning conditions, NF 3 / Ar = 100sccm / 0sccm, a 65㎩ pressure, inter-electrode gap 48㎜, the upper electrode supply power 500W.

도 13에 도시하는 바와 같이, 원위치 플라즈마 클리닝에 있어서도, 리모트 플라즈마 클리닝의 경우와 같은 경향이 보인다. 즉, 실리콘, 산화 실리콘 및 질화 실리콘으로 이루어지는 전극판(20)을 사용한 경우의 에칭 레이트비가 20% 근처인 것에 비해, 알루마이트 처리된 알루미늄, 탄화규소, 카본, 알루미늄, 알루미나 및 석영 알루미나 용사를 사용한 전극판(20)의 에칭 레이트비는, 약 10% 이하로 되어 있다. 이와 같이, 탄화 규소 등의 내플라즈마성 재료로 이루어지는 전극판(20)은, 실리콘 등으로 이루어지는 전극판(20)보다도 리모트 및 원위치 플라즈마 클리닝에 의해 열화하기 어렵다.As shown in Fig. 13, also in the in-situ plasma cleaning, the same tendency as in the case of the remote plasma cleaning is seen. That is, the electrode using aluminite-treated aluminum, silicon carbide, carbon, aluminum, alumina, and quartz alumina thermal sprayed, compared with the etching rate ratio in the case of using the electrode plate 20 made of silicon, silicon oxide, and silicon nitride near 20%. The etching rate ratio of the board 20 is about 10% or less. As described above, the electrode plate 20 made of plasma resistant material such as silicon carbide is less likely to deteriorate by remote and in-situ plasma cleaning than the electrode plate 20 made of silicon or the like.

각종 재료로 구성되는 전극판(20)을 사용하여, 클리닝을 삽입하여 성막 처리를 연속하여 실행하고, 각 성막 처리에 있어서의 성막 속도를 조사한 결과를, 도 14에 나타낸다. 전극판(20)은, 알루마이트, 탄화 규소, 카본, 알루미늄, 알루미나, 석영 알루미나 용사 또는 실리콘 중 어느 것으로 구성했다. 또한, 성막 처리는, 웨이퍼(W)에 소정 두께의 막이 형성되도록 하고, 웨이퍼(W)를 100장 처리하는 데 필요한 시간으로부터 성막 속도를 산출했다. 클리닝은, 25장의 웨이퍼(W)를 처리할 때마다 실행했다.The result of having investigated the film-forming speed | rate in each film-forming process by carrying out cleaning and inserting a film-forming process continuously using the electrode plate 20 comprised from various materials is shown in FIG. The electrode plate 20 was composed of any of aluminite, silicon carbide, carbon, aluminum, alumina, quartz alumina spray or silicon. In the film forming process, a film having a predetermined thickness was formed on the wafer W, and the film forming speed was calculated from the time required to process 100 sheets of the wafer W. FIG. Cleaning was performed every time the 25 wafers W were processed.

도 14에서 알 수 있듯이, 실리콘으로 이루어지는 전극판(20)을 사용한 경우, 성막 속도는, 처리의 최초에는 다른 재료와 비교하여 매우 높다. 그러나, 성막 속도는, 그 후 크게 저하하여, 다른 재료보다도 낮게 되어 있다. As can be seen from FIG. 14, when the electrode plate 20 made of silicon is used, the deposition rate is very high compared with other materials at the beginning of the treatment. However, the film formation speed is greatly reduced after that, and is lower than that of other materials.

한편, 실리콘 이외의 재료를 사용한 경우에는, 성막 속도는, 그 정도로 크게 감소하지 않고, 웨이퍼(W)를 1000장 처리한 후에도, 비교적 일정하다. 특히, 탄화 규소로 이루어지는 전극판(20)을 사용한 경우에는, 가장 높은 성막 속도가 유지되고 있다. 이로써, 알루마이트, 탄화규소, 카본, 알루미늄, 알루미나 및 석영 알루미나 용사, 특히 탄화 규소로 이루어지는 전극판(20)은, 드라이 클리닝에 의해 열화하기 어렵다는 것을 알 수 있다. 이와 같이, 탄화 규소 등의 플라즈마에 내성을 갖는 재료로 이루어지는 전극판(20)은, 불소를 포함하는 클리닝 가스에 의해 에칭되기 어렵고, 전극판(20)의 교환 빈도가 적은 등, 높은 생산성을실현한다. 또한, 이 때, 에칭되기 어렵기 때문에, 전극판(20)의 형상도 장기간에 걸쳐 초기 형상으로 유지되고, 장기간에 걸쳐 균일성이 높은 처리가 실행된다.On the other hand, when materials other than silicon are used, the film formation speed does not decrease so much, and is relatively constant even after 1000 wafers have been processed. In particular, when the electrode plate 20 made of silicon carbide is used, the highest film formation speed is maintained. Thereby, it turns out that the electrode plate 20 which consists of aluminite, silicon carbide, carbon, aluminum, alumina, and quartz alumina sprays, especially silicon carbide, is hard to deteriorate by dry cleaning. As described above, the electrode plate 20 made of a material resistant to plasma such as silicon carbide is difficult to be etched by a cleaning gas containing fluorine, and thus high productivity is realized, such as a small frequency of exchange of the electrode plate 20. do. In addition, at this time, since it is hard to be etched, the shape of the electrode plate 20 is also maintained in an initial shape for a long time, and a process with high uniformity is executed over a long time.

상기 제 4 실시 형태에서는, 전극판(20)을 불소 라디칼 이 있는 재료로 구성했다. 그러나, 전극판(20)에 한정되지 않고, 클리닝시에 불소 라디칼에 노출되는 전극 주변 부재를 상기 재료로 구성하도록 할 수도 있다. 예컨대, 포커스 링(17)을 상기 재료로 구성하도록 할 수도 있다. 이와 같이, 전극 둘레(25) 근처 부재를 플라즈마 내성 재료로 구성함으로써, 부재의 열화를 억제하여 높은 생산성을 실현할 수 있다.In the fourth embodiment, the electrode plate 20 is made of a material having fluorine radicals. However, the electrode peripheral member exposed to fluorine radicals at the time of cleaning is not limited to the electrode plate 20, but it can also be made with the said material. For example, the focus ring 17 may be made of the above material. Thus, by constructing the member near the electrode circumference 25 with a plasma resistant material, deterioration of the member can be suppressed and high productivity can be realized.

상기 제 4 실시 형태에서는, 클리닝 종으로서 불소계 가스, 특히 NF3를 사용 하고 있다. 그러나, 다른 할로겐 가스, 예컨대 염소계 가스를 사용하도록 할 수도 있다. 또한, Si계 막종에 대하여 사용되는 클리닝가스로는, NF3의 그 밖에, F2, CF4, C2F6, SF6 등의 불소계 가스를 사용할 수 있다. 또한, Ar의 그 밖에, Ne 등의 다른 불활성 가스를 사용할 수도 있다.In the fourth embodiment, a fluorine-based gas, particularly NF 3, is used as the cleaning species. However, it is also possible to use other halogen gases, such as chlorine based gases. As the cleaning gas used for the Si-based film species, other than NF 3 , fluorine-based gases such as F 2 , CF 4 , C 2 F 6 , SF 6 and the like can be used. In addition to Ar, other inert gases such as Ne can also be used.

또한, 상기 가스에, O2, O3, CO, CO2, N2O 등의 산소 함유 물질을 첨가한 클리닝 가스를 사용할 수도 있다. 특히, 전극판(20)의 재료로서 탄화 규소(5)(SiC)를 사용하는 경우에 효과적이다. 즉, 전극판(20)의 에칭에 의해, 챔버(2)내에는 탄소(C)를 포함하는 물질이 부착된다. 탄소 함유 물질은, 일반적으로 할로겐계 가스에 의해 에칭되기 어려운 한편, 산소 함유 물질의 가스에 의해, CO2 등에 용이하게 분해된다.In addition, the gas, O 2, O 3, may be used an oxygen-containing cleaning gas by the addition of substances such as CO, CO 2, N 2 O. In particular, it is effective when the silicon carbide 5 (SiC) is used as the material of the electrode plate 20. That is, by the etching of the electrode plate 20, a substance containing carbon C adheres to the chamber 2. Carbon-containing materials are generally difficult to be etched by halogen-based gases, but are easily decomposed by CO 2 and the like by gases of oxygen-containing materials.

NF3와 Ar를 포함하는 클리닝 가스에, 산소 함유 물질을 첨가하여 클리닝을 실행했을 때의 클리닝 속도를 조사한 결과를, 도 15에 나타낸다. 도 15에는, SiC막을 성막하는 처리 장치의 내부를, O2, CO, CO2, N2O를 첨가한 클리닝 가스로 클리닝한 경우의 결과를 나타낸다. 또한, 클리닝은, 리모트 플라즈마의 그 밖에, 원위치 플라즈마, 및 리모트 플라즈마와 원위치 플라즈마를 조합은, 클리닝 가스를 챔버(2)의 외부에서 플라즈마화한 후, 챔버(2)내에서 다시 플라즈마화하여 클리닝한다. A cleaning gas containing NF 3 and Ar, the addition of an oxygen-containing substance to indicate the results of the investigation of the rate of cleaning when the cleaning run, in Fig. 15 shows the result when the inside of the processing apparatus for forming a SiC film is cleaned with a cleaning gas to which O 2 , CO, CO 2 , and N 2 O are added. In addition, in the cleaning, the in-situ plasma and the combination of the remote plasma and the in-situ plasma may be cleaned by converting the cleaning gas into the plasma outside the chamber 2 and then converting the plasma into the chamber 2 again. do.

또한, 마찬가지로, F2와 Ar를 포함하는 클리닝 가스에 산소 함유 물질을 첨 가한 경우의 결과를 도 16에 나타낸다. Further, similarly, it shows the results when the cleaning gas containing F 2 and Ar were added the impregnated oxygen-containing material is shown in Fig.

리모트 플라즈마에 있어서의 클리닝 조건은, NF3/O2/Ar=1500 sccm/500sccm/1500sccm, 압력 300㎩, 전극간 갭 48㎜, 플라즈마 공급 파워 약 2㎾이다. 또한, 원위치 플라즈마에 있어서의 클리닝 조건은, NF3/O2/Ar= 100sccm/50sccm/0sccm, 압력 65㎩, 전극간 갭 48㎜, 상부 전극 공급 파워 500W이다. 또한, 리모트 플라즈마+원위치 플라즈마에 있어서의 클리닝 조건(25)은, NF3/O2/Ar=1000SCCm/500SCCm/1500SCCm, 압력 300㎩, 전극간 갭 48㎜, 플라즈마 공급 파워 약 2㎾, 상부 전극 공급 파워 500W이다. The cleaning conditions in the remote plasma were NF 3 / O 2 / Ar = 1500 sccm / 500sccm / 1500sccm, pressure 300 kPa, interelectrode gap 48 mm, and plasma supply power of about 2 kPa. The cleaning conditions in the in-situ plasma were NF 3 / O 2 / Ar = 100sccm / 50sccm / 0sccm, pressure 65 kPa, inter-electrode gap 48 mm, and upper electrode supply power 500W. The cleaning conditions 25 in the remote plasma + in-situ plasma were NF 3 / O 2 / Ar = 1000SCCm / 500SCCm / 1500SCCm, pressure 300 kPa, inter-electrode gap 48 mm, plasma supply power about 2 kPa, upper electrode Supply power is 500W.

도 15 및 도 16로부터, 산소 함유 물질을 첨가한 클리닝 가스를 사용한 경우에는, 첨가하지 않는 경우보다도, 높은 클리닝 속도가 얻어진다는 것을 알 수 있다. 이것은, 불소 라디칼에 의해 제거되기 어려운 탄소(C)를 함유하는 퇴적물이, 산소 함유 물질로부터 발생하는 산소 라디칼에 의해 CO 등으로서 용이하게 제거되는 것에 기인한다. 이와 같이, 클리닝 가스에 산소 함유 물질을 첨가함으로써, 클리닝 속도를 높일 수 있다.15 and 16 show that when a cleaning gas to which an oxygen-containing substance is added is used, a higher cleaning speed is obtained than when it is not added. This is because sediments containing carbon (C) which are hard to be removed by fluorine radicals are easily removed as CO or the like by oxygen radicals generated from an oxygen-containing substance. In this way, by adding the oxygen-containing substance to the cleaning gas, the cleaning speed can be increased.

상기 제 1 내지 제 4 실시 형태에서는, 평행 평판형 플라즈마 처리 장치(1)로 웨이퍼에 SiOF막을 성막하는 경우를 예로 들어 설명했다. 그러나, 막의 종류는 상기 예에 한정되지 않고, 다른 실리콘계 막, 예컨대 SiO2, SiN, SiCN, SiCH, SiOCH 등일 수도 있다. 또한, 사용하는 가스 종도, 막의 종류에 맞추어, 각종의 것을 사용할 수 있다.In the first to fourth embodiments, a case where a SiOF film is formed on a wafer by the parallel plate type plasma processing apparatus 1 has been described as an example. However, the kind of film is not limited to the above examples, and may be other silicon film, such as SiO 2 , SiN, SiCN, SiCH, SiOCH, or the like. Moreover, the gas species to be used can also use various things according to the kind of film | membrane.

또한, 본 발명은, 성막 장치에 한정되지 않고, 에칭 장치, 열 처리 장치 등, 드라이 클리닝이 실행되는 어떤 플라즈마 처리 장치에도 적용 가능하다. 예컨대, CVD 처리에 한정되지 않고, 에칭 처리 등, 각종 플라즈마 처리에 사용할 수 있다. 또한, 플라즈마 발생 방법에 관해서도, 평행 평판형에 한정되지 않고 마그네트론형, 유도 결합형, ECR(Electron Cyclotron Resonance)형 등 어떤 것이어도 무방하다. 또한, 피처리체로는, 반도체 웨이퍼에 한정되지 않고, 액정 표시 장치용의 유리 기판 등이어도 무방하다.The present invention is not limited to the film forming apparatus, but can be applied to any plasma processing apparatus to which dry cleaning is performed, such as an etching apparatus and a heat treatment apparatus. For example, it is not limited to CVD process but can be used for various plasma processes, such as an etching process. In addition, the plasma generating method is not limited to the parallel flat type, but may be any of a magnetron type, an inductive coupling type, and an ECR (Electron Cyclotron Resonance) type. In addition, as a to-be-processed object, it is not limited to a semiconductor wafer, The glass substrate for liquid crystal display devices, etc. may be sufficient.

본 발명은, 반도체 장치, 액정 표시 장치 등의 전자 디바이스의 제조에 적절히 사용할 수 있다.This invention can be used suitably for manufacture of electronic devices, such as a semiconductor device and a liquid crystal display device.

본 발명은, 2001년 1월 22일에 출원된 특허 출원 제 2001-13572호, 2001년 1월 22일에 출원된 특허 출원 제 2001-13574호 및 2001년 8월 7일에 출원된 특허 출원 제 2001-239720호에 기초하여, 그 명세서, 특허 청구의 범위, 도면 및 요약서를 포함한다. 상기 출원에 있어서의 개시는, 본 명세서 중에 그 전체가 인용예로서 포함된다.The present invention discloses a patent application No. 2001-13572 filed on January 22, 2001, a patent application No. 2001-13574 filed on January 22, 2001 and a patent application filed on August 7, 2001. Based on 2001-239720, the specification, claims, drawings and abstracts are included. As for the indication in the said application, the whole is contained in this specification as a citation example.

Claims (19)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 챔버(2)와, Chamber 2, 고주파 전원(24)에 접속되어, 상기 챔버(2)내에 처리용 가스를 공급하는 제 1 가스 구멍(19)을 구비하는 전극판(20)과, An electrode plate 20 connected to the high frequency power source 24 and having a first gas hole 19 for supplying a processing gas into the chamber 2; 상기 챔버(2)내에 상기 가스를 공급하는 제 2 가스 구멍(26b)을 구비하고, 개구(26a)를 가지며, 상기 개구(26a)의 내측에 상기 전극판(20)이 노출하도록 상기 전극판(20)의 가장자리를 피복하는 실드링(26)을 구비하는 것을 특징으로 하는 The electrode plate (2) includes a second gas hole (26b) for supplying the gas in the chamber (2), has an opening (26a), and exposes the electrode plate (20) inside the opening (26a). And a shield ring 26 covering the edge of 20). 플라즈마 처리 장치. Plasma processing apparatus. 제 6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 제 2 가스 구멍(26b)은 상기 개구(26a)의 주위에 고리 형상으로 배치되고, 상기 제 2 가스 구멍(26b)이 배치된 최대 직경은, 상기 개구(26a)의 직경의 약 1.1배인 것을 특징으로 하는 The second gas hole 26b is arranged in a ring shape around the opening 26a, and the maximum diameter in which the second gas hole 26b is disposed is about 1.1 times the diameter of the opening 26a. Characterized 플라즈마 처리 장치.Plasma processing apparatus. 제 7 항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 전극판(20)은, 상기 노출면을 주요면으로 하여, 상기 개구(26a)와 결합하는 볼록부(20a)를 구비하고, 상기 볼록부(20a)의 주요면은, 상기 실드링(26)과 실질적으로 평탄한 면을 형성하는 것을 특징으로 하는 The electrode plate 20 has a convex portion 20a that engages the opening 26a with the exposed surface as a main surface, and a main surface of the convex portion 20a is the shield ring 26. ) To form a substantially flat surface 플라즈마 처리 장치.Plasma processing apparatus. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 할로겐을 포함하는 클리닝 가스를 상기 챔버(2)내에 공급하는 클리닝 가스 공급구(30)를 구비하고, 상기 전극판(20)은 할로겐 라디칼에 내성이 있는 재료를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 And a cleaning gas supply port 30 for supplying a cleaning gas containing halogen into the chamber 2, wherein the electrode plate 20 comprises a material resistant to halogen radicals. 플라즈마 처리 장치. Plasma processing apparatus. 삭제delete 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 상기 클리닝 가스는 불소를 포함하는 물질로 구성되고, 상기 할로겐 라디칼은 불소 라디칼로 구성되는 것을 특징으로 하는 The cleaning gas is composed of a material containing fluorine, the halogen radicals are characterized in that consisting of fluorine radicals 플라즈마 처리 장치. Plasma processing apparatus. 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 상기 할로겐 라디칼에 내성이 있는 재료는, 탄화 규소, 카본, 알루미늄, 알루마이트, 알루미나, 및 석영 알루미나 용사로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 The material resistant to the halogen radical is selected from the group consisting of silicon carbide, carbon, aluminum, aluminite, alumina, and quartz alumina spraying. 플라즈마 처리 장치. Plasma processing apparatus. 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 상기 전극판(20)과 대향하여 설치되고, 상기 피처리체가 탑재되는 탑재대(10)와,A mounting table 10 provided to face the electrode plate 20 and on which the target object is mounted; 상기 탑재대(10)상에 탑재된 상기 피처리체의 외주를 둘러싸도록 설치되고, 상기 할로겐 라디칼에 내성이 있는 재료로 구성되는 링 형상 부재(17)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 It is provided to surround the outer periphery of the to-be-processed object mounted on the mounting table 10, and further comprises the ring-shaped member 17 which consists of a material resistant to the said halogen radical, It is characterized by the above-mentioned. 플라즈마 처리 장치. Plasma processing apparatus. 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 상기 클리닝 가스는, 상기 챔버(2)내에 플라즈마로 되어 상기 할로겐 라디칼을 생성하는 것을 특징으로 하는 The cleaning gas is plasma in the chamber 2 to generate the halogen radicals. 플라즈마 처리 장치. Plasma processing apparatus. 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 또한, 상기 챔버(2)의 외부에 설치되고, 상기 클리닝 가스 공급구에 접속된 액티베이터(33)를 구비하며, In addition, an activator 33 is provided outside the chamber 2 and connected to the cleaning gas supply port. 상기 액티베이터(33)는 상기 클리닝 가스를 활성화하여 상기 할로겐 라디칼을 생성하고, 발생한 상기 할로겐 라디칼을 상기 챔버(2) 내에 공급하는 것을 특징으로 하는 The activator 33 generates the halogen radicals by activating the cleaning gas, and supplies the generated halogen radicals into the chamber 2. 플라즈마 처리 장치. Plasma processing apparatus. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 플라즈마 처리에서는 탄소를 함유하는 물질을 이용하여 처리하고, 상기 클리닝 가스는 산소를 포함하는 물질을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 The plasma treatment is performed using a material containing carbon, and the cleaning gas includes a material containing oxygen. 플라즈마 처리 장치.Plasma processing apparatus. 삭제delete 삭제delete 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 전극판(20)은 탄소를 함유하는 물질로 구성되고, 상기 클리닝 가스는 산소를 함유하는 재료를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는The electrode plate 20 is made of a material containing carbon, and the cleaning gas is characterized in that it comprises a material containing oxygen 플라즈마 처리 장치.Plasma processing apparatus.
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