KR100555967B1 - Variable capacitor - Google Patents

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KR100555967B1
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주식회사 이노칩테크놀로지
박인길
김덕희
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Abstract

본 발명은 가변 용량 커패시터 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 정전용량의 가변 범위를 확장하고, 정전용량의 민감도를 완화시키며, 저정전용량의 구현이 가능하면서도 유효전극면적 증가로 등가직렬저항을 감소시켜 유전손실의 역수(Q)값을 증가시켜 고주파에서의 손실을 최소화하는 가변 용량 커패시터와 그 제조 방법을 마련하고자 한다. 이를 위한 본 발명의 가변 용량 커패시터는 외부와 접속 가능한 전극이 내부에 삽입된 세라믹 소체를 포함하는 고정자와, 상기 고정자의 전극에 대향하는 고정자의 상부면에 이동 가능하게 장착된 가동자를 포함하고, 상기 가동자에는 상기 고정자의 상부면에 대면하는 가동자의 면의 일부에 전극이 마련되고, 상기 고정자의 전극은 고정자의 전극에서 상부면까지 거리가 상이한 부분을 포함한다.The present invention relates to a variable capacitor and a method of manufacturing the same, in particular, to extend the variable range of capacitance, to reduce the sensitivity of the capacitance, and to implement a low capacitance, while reducing the equivalent series resistance by increasing the effective electrode area To increase the inverse (Q) value of the dielectric loss to minimize the loss at high frequencies and to provide a method for manufacturing the capacitor. The variable capacitor of the present invention for this purpose includes a stator including a ceramic element inserted therein and an electrode connectable to the outside, and a mover movably mounted on an upper surface of the stator opposite to the electrode of the stator. The mover is provided with an electrode on a part of the surface of the mover facing the upper surface of the stator, and the electrode of the stator includes a portion having a different distance from the electrode to the upper surface of the stator.

고정자, 회전자, 커패시터, 유전체, 세라믹 시트, 유전손실, 저정전용량Stator, rotor, capacitor, dielectric, ceramic sheet, dielectric loss, low capacitance

Description

가변 용량 커패시터 {VARIABLE CAPACITOR}Variable Capacitors {VARIABLE CAPACITOR}

도1은 본 발명에 따른 단차 적층형 트리머 커패시터의 개략 분해 사시도.1 is a schematic exploded perspective view of a stepped stacked trimmer capacitor according to the present invention;

도2는 도1에 도시된 단차 적층형 트리머 커패시터의 회전자의 하부면을 도시한 도면.FIG. 2 is a bottom view of the rotor of the stepped stacked trimmer capacitor shown in FIG. 1; FIG.

도3은 도1에 도시된 단차 적층형 트리머 커패시터의 선 III-III을 따라 취한 단면도.3 is a cross-sectional view taken along line III-III of the stepped stacked trimmer capacitor shown in FIG.

도4는 도1에 도시된 단차 적층형 트리머 커패시터의 고정자의 제조 공정을 도시한 도면.4 is a view showing a manufacturing process of the stator of the stepped stacked trimmer capacitor shown in FIG.

도5는 도1에 도시된 본 발명에 따른 단차 적층형 트리머 커패시터와 일반 단판형 트리머 커패시터의 회전자의 회전각에 따른 정전용량 변화율을 도시한 도표.5 is a diagram showing the rate of change of capacitance according to the rotation angle of the rotor of the stepped stacked trimmer capacitor and the general single plate trimmer capacitor according to the present invention shown in FIG.

도6은 단차 적층형 트리머 커패시터의 고정자의 다른 예의 단면도.6 is a sectional view of another example of a stator of a stepped stacked trimmer capacitor;

도7은 부유(floating) 전극형 트리머 커패시터의 개략 분해 사시도.7 is a schematic exploded perspective view of a floating electrode type trimmer capacitor.

도8은 도7에 도시된 부유 전극형 트리머 커패시터의 고정자의 하부면을 도시한 도면.FIG. 8 shows a bottom surface of the stator of the floating electrode type trimmer capacitor shown in FIG.

도9는 도7에 도시된 부유 전극형 트리머 커패시터의 선 IX-IX를 따라 취한 단면도.Fig. 9 is a sectional view taken along line IX-IX of the floating electrode type trimmer capacitor shown in Fig. 7;

도10은 도7에 도시된 부유 전극형 트리머 커패시터의 등가 회로도.Fig. 10 is an equivalent circuit diagram of the floating electrode type trimmer capacitor shown in Fig. 7;

도11은 적층 부유 전극형 트리머 커패시터의 개략 분해 사시도.11 is a schematic exploded perspective view of a stacked floating electrode type trimmer capacitor.

도12는 도11에 도시된 적층 부유 전극형 트리머 커패시터의 선 XII-XII를 따라 취한 단면도.FIG. 12 is a cross-sectional view taken along lines XII-XII of the stacked floating electrode type trimmer capacitor shown in FIG.

도13은 도11에 도시된 적층 부유 전극형 트리머 커패시터의 제조 공정을 도시한 도면.FIG. 13 is a view showing a manufacturing process of the stacked floating electrode type trimmer capacitor shown in FIG.

도14는 도11에 도시된 적층 부유 전극형 트리머 커패시터를 수정한 변형예의 개략 분해 사시도.14 is a schematic exploded perspective view of a modification in which the laminated floating electrode type trimmer capacitor shown in FIG. 11 is modified;

도15는 도11에 도시된 커패시터의 회전자의 하부면을 도시한 도면.FIG. 15 shows a bottom surface of the rotor of the capacitor shown in FIG.

도16은 도11에 도시된 커패시터의 단면도.FIG. 16 is a sectional view of the capacitor shown in FIG.

도17은 일반적인 단판형 트리머 커패시터의 고정자와 회전자 사이에 저유전율층을 삽입하여 단판형 트리머 커패시터에 저유전율층의 커패시터가 직렬로 형성된 본 발명의 트리머 커패시터의 단면도 및 등가 회로도.Fig. 17 is a sectional view and an equivalent circuit diagram of a trimmer capacitor of the present invention in which a low dielectric constant layer is inserted between a stator and a rotor of a typical single plate type trimmer capacitor in series with the low dielectric constant layer in a single plate type trimmer capacitor.

도18은 도17에 도시된 커패시터의 다른 변형예의 단면도 및 등가 회로도.FIG. 18 is a sectional view and equivalent circuit diagram of another modification of the capacitor shown in FIG. 17; FIG.

도19는 부유 전극형 트리머 커패시터에 저유전율층의 커패시터가 직렬로 형성된 트리머 커패시터의 단면도 및 등가 회로도.Fig. 19 is a sectional view and an equivalent circuit diagram of a trimmer capacitor in which a capacitor of a low dielectric constant layer is formed in series with a floating electrode type trimmer capacitor.

도20은 적층 부유 전극형 트리머 커패시터에 저유전율층의 커패시터가 직렬로 형성된 트리머 커패시터의 단면도 및 등가 회로도.Fig. 20 is a sectional view and an equivalent circuit diagram of a trimmer capacitor in which a capacitor of a low dielectric constant layer is formed in series with a laminated floating electrode type trimmer capacitor.

도21은 도20에 도시된 커패시터의 다른 변형예의 단면도 및 등가 회로도.FIG. 21 is a sectional view and equivalent circuit diagram of another modification of the capacitor shown in FIG. 20; FIG.

도22는 도1에 도시된 단차 적층형 트리머 커패시터를 수정한 변형예의 개략 단면도.Fig. 22 is a schematic cross sectional view of a modification of the stepped stacked trimmer capacitor shown in Fig. 1;

도23은 일반적인 종래의 단판형 트리머 커패시터의 개략 분해 사시도.Figure 23 is a schematic exploded perspective view of a conventional conventional single-plate trimmer capacitor.

도24는 도23에 도시된 종래의 단판형 트리머 커패시터의 회전자의 하부면을 도시한 도면.Fig. 24 is a view showing the bottom face of the rotor of the conventional single plate type trimmer capacitor shown in Fig. 23;

도25는 도23에 도시된 종래의 단판형 트리머 커패시터의 고정자의 하부면을 도시한 도면.FIG. 25 shows a bottom surface of a stator of the conventional single plate type trimmer capacitor shown in FIG. 23; FIG.

도26은 도23에 도시된 종래의 단판형 트리머 커패시터의 선 XXVI-XXVI을 따라 취한 단면도.FIG. 26 is a cross sectional view taken along line XXVI-XXVI of the conventional single-plate trimmer capacitor shown in FIG. 23; FIG.

도27은 무라타사의 적층형 트리머 커패시터의 개략 분해 사시도.Fig. 27 is a schematic exploded perspective view of a multilayer trimmer capacitor of Murata Corporation.

도28은 도27에 도시된 적층형 트리머 커패시터의 단면도.FIG. 28 is a sectional view of the stacked trimmer capacitor shown in FIG. 27; FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

110, 210, 310, 410, 610, 710, 810: 고정자110, 210, 310, 410, 610, 710, 810: Stator

112a, 112b, 112c, 212a, 212b, 312a, 312b, 412a, 412b, 612a, 612b, 612c, 712, 812: 고정자 전극112a, 112b, 112c, 212a, 212b, 312a, 312b, 412a, 412b, 612a, 612b, 612c, 712, 812: stator electrodes

120, 220, 320, 420, 720, 820: 회전자120, 220, 320, 420, 720, 820: rotor

122, 222a, 222b, 322a, 322b, 422a, 422b, 722, 822: 회전자 전극122, 222a, 222b, 322a, 322b, 422a, 422b, 722, 822: rotor electrodes

130, 230, 330, 730: 프레임130, 230, 330, 730: frames

440, 840: 금속 커버440, 840: metal cover

500: 저유전율층500: low dielectric constant layer

620: 가동자620: mover

622: 가동자 전극622: mover electrode

본 발명은 가변 용량 커패시터 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 정전용량의 가변 범위를 확장하고, 정전용량의 민감도를 완화시키며, 저정전용량의 구현이 가능하면서도 유효전극면적 증가로 등가직렬저항을 감소시켜 유전손실의 역수(Q)값을 증가시켜 고주파에서의 손실을 최소화하는 가변 용량 커패시터와 그 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a variable capacitor and a method of manufacturing the same, in particular, to extend the variable range of capacitance, to reduce the sensitivity of the capacitance, and to implement a low capacitance, while reducing the equivalent series resistance by increasing the effective electrode area The present invention relates to a variable capacitor and a method of manufacturing the same to minimize the loss at high frequencies by increasing the inverse (Q) value of the dielectric loss.

커패시터(C), 저항(R), 인덕터(L)와 같은 대표적인 수동 전자 부품 중에서 커패시터는 전하의 축적 및 방전의 기본 특성을 응용하여 회로에서 시정수 회로 및 노이즈 제거 역할, 신호 결합(coupling capacitor), 미적분회로 구성 등의 많은 역할을 하는 가장 많이 사용되는 전자 부품이다. 이러한 커패시터는 재료에 따라 세라믹 커패시터, 필름 커패시터, 마일러 커패시터, 탄탈 커패시터, 알루미늄 전해 커패시터 등으로 나눌 수 있고, 구조에 따라서는 리드형, 표면실장형(SMD)으로 구분할 수 있다. 일반적으로 대부분의 커패시터는 정전용량 값이 고정된 고정 용량 커패시터이며, 주파수 조정 회로 등에 사용되는 커패시터는 주파수를 조정할 수 있도록 정전용량 값을 변화시킬 수 있는 가변 용량 커패시터이다.Among the representative passive electronic components such as capacitor (C), resistor (R), and inductor (L), capacitors apply the basic characteristics of charge accumulation and discharge, which eliminates time constant circuits and noise in circuits, and coupling capacitors. It is the most widely used electronic component that plays many roles such as configuration of calculus and calculus. Such capacitors may be divided into ceramic capacitors, film capacitors, mylar capacitors, tantalum capacitors, and aluminum electrolytic capacitors according to materials, and may be classified into lead type and surface mount type (SMD) depending on the structure. In general, most capacitors are fixed capacitance capacitors with fixed capacitance values, and capacitors used in frequency adjustment circuits and the like are variable capacitance capacitors capable of changing capacitance values to adjust frequency.

최근 휴대형 전자 기기의 보급이 비약적으로 늘어남에 따라, 이러한 휴대형 전자 기기의 경우 그 부피와 무게 문제로 인해 거의 모든 전자 부품이 표면실장형으로 구현되고 있다. 이에 따라, 가변 용량 커패시터도 표면실장형으로 장착되고 있다. 표면실장형 트리머 커패시터에 대해서는 일본의 무라타(Murata)사를 중심으로 각사에서 활발하게 진행 중에 있으며, 특히 무라타사에서는, 일반적인 트리머 커패시터의 세라믹 소체가 단판형인데 반해, 세라믹 소체를 적층형으로 구현하여 특허 출원은 물론 양산 및 시판까지 하고 있다.Recently, as the popularity of portable electronic devices has increased, almost all electronic components have been implemented in surface-mounted type due to their volume and weight problems. Accordingly, the variable capacitor is also mounted in a surface mount type. Surface-mounted trimmer capacitors are actively engaged in various companies, mainly Murata, Japan. Especially, in Murata, the ceramic body of a conventional trimmer capacitor is a single plate type, whereas the ceramic body is stacked and patented. The application is of course mass-produced and marketed.

도23은 일반적인 종래의 단판형 트리머 커패시터를 도시한다. 통상의 단판형 트리머 커패시터는 고정자(710), 회전자(720) 및 프레임(730)을 포함한다. 세라믹 소체로 구성된 고정자(710)는 도24에 도시된 바와 같이 하부면에 고정자 전극(712)이 반원 형상으로 인쇄되어 있다. 회전자(720)는 (도전체인) 금속으로 제조되고, 도25에 도시된 바와 같이 그 하부면에는 반원형으로 돌출된 회전자 전극(722)과 지지 돌출부(726)가 형성되어 있다. 도23 및 도26에 도시된 바와 같이, 고정자(710)를 프레임(730) 내에서 고정 장착하고, 회전자(720)를 프레임(730) 내의 고정자(710) 상에서 회전 가능하게 장착함으로써, 고정자 전극(712)과 회전자 전극(722)은 세라믹 소체를 이들 사이에 두고 대면하게 된다. 이때, 프레임(730)에 고정된 고정자용 단자(711) 및 회전자용 단자(721)는 각각 고정자 전극(712) 및 회전자 전극(722)과 접속된다. 회전자(720)의 하부면에 형성된 지지 돌출부(726)는 회전자의 전극(722)이 고정자의 상부면에 항상 접촉하면서 회전하도록 지지한다. 회전자의 상부면에 형성된 홈(725)에는 드라이버 등을 삽입하여 회전시킴으로써 회전자(720)가 고정자(710) 상에서 회전하면, 고정자 전극(712)과 회전자 전극(722)이 서로 대면하는 면적이 변하게 되어 커패시터의 정전용량(capacitance)이 변하게 된다.Fig. 23 shows a typical conventional single plate type trimmer capacitor. A typical single plate trimmer capacitor includes a stator 710, a rotor 720, and a frame 730. In the stator 710 made of a ceramic element, the stator electrode 712 is printed in a semicircular shape on the lower surface thereof as shown in FIG. The rotor 720 is made of metal (which is a conductor), and as shown in Fig. 25, a rotor electrode 722 and a support protrusion 726 protruding in a semicircular shape are formed. 23 and 26, the stator electrode is fixedly mounted in the frame 730, and the rotor 720 is rotatably mounted on the stator 710 in the frame 730, thereby stator electrodes. 712 and rotor electrode 722 face to face with the ceramic element therebetween. At this time, the stator terminal 711 and the rotor terminal 721 fixed to the frame 730 are connected to the stator electrode 712 and the rotor electrode 722, respectively. A support protrusion 726 formed on the lower surface of the rotor 720 supports the electrode 722 of the rotor to rotate while always in contact with the upper surface of the stator. When the rotor 720 rotates on the stator 710 by inserting a driver or the like into the groove 725 formed on the upper surface of the rotor, the area where the stator electrode 712 and the rotor electrode 722 face each other. This change causes the capacitance of the capacitor to change.

또 다른 종래 기술로서, 도27 및 도28에는 무라타사의 적층형 트리머 커패시터(미국특허 제6,134,097호, 제5,424,906호 및 제5,424,930호 참조)가 도시되어 있다. 고정자(810)는 세라믹 시트를 적층한 세라믹 소체로 구성된다. 고정자의 전극(812)은 세라믹 소체 중간의 어느 한 시트 상에 인쇄되는 데, 이때 전극의 일부는 세라믹 소체의 측부에 노출되도록 인쇄된다. 이러한 고정자(810) 위에는 도24에 도시된 것과 유사한 금속 회전자(820)가 놓여지고, 이들은 회전자의 단자로서의 기능도 함께하는 금속 커버(840)에 의해 덮인다. 노출된 고정자의 전극(812)은 고정자(810)의 일 측면에 인쇄된 단자(811)에 접속된다. 고정자(810)의 상기 일 측면에 대향하는 타 측면에 인쇄된 단자(812)는 회전자(820)를 덮는 금속 커버(840)의 일부와 접속하여 금속인 회전자를 통하여 회전자의 전극(821)에 접속한다. 따라서 회전자(820)는, 금속 커버(840) 내에서, 고정자(810) 위에서 회전하여 커패시터의 정전용량을 변하게 한다. 이 경우, 전극과 전극 사이의 간격은 최소한 하나의 시트 두께만큼 얇게 할 수 있어서 높은 값의 정전용량을 구현할 수 있다.As another prior art, Figures 27 and 28 show Murata's stacked trimmer capacitors (see US Pat. Nos. 6,134,097, 5,424,906 and 5,424,930). The stator 810 is composed of a ceramic body in which ceramic sheets are laminated. The electrode 812 of the stator is printed on either sheet in the middle of the ceramic body, with a portion of the electrode printed so as to be exposed to the side of the ceramic body. Above this stator 810 is placed a metal rotor 820 similar to that shown in Figure 24, which is covered by a metal cover 840 which also functions as a terminal of the rotor. The exposed stator electrode 812 is connected to a terminal 811 printed on one side of the stator 810. The terminal 812 printed on the other side of the stator 810 opposite the one side of the stator 810 is connected to a part of the metal cover 840 that covers the rotor 820 and is connected to a part of the metal cover 840 by means of a metal rotor. ). The rotor 820 thus rotates over the stator 810 within the metal cover 840 to change the capacitance of the capacitor. In this case, the gap between the electrode and the electrode can be made as thin as at least one sheet thickness to realize a high value of capacitance.

전술된 종래의 단판형의 트리머 커패시터와 무라타사의 적층형 트리머 커패시터는 회전자의 회전 각도에 대한 정전용량의 민감도 또는 정전용량의 범위를 조정하기 위하여 전극 사이의 세라믹 소체를 유전율이 다른 것으로 교체하거나, 그 두께를 변경하여야 한다. 그러나 이러한 설계 변경으로는 정전용량의 민감도 또는 그 범위를 원하는 만큼 다양하게 변경할 수 없다. 커패시터를 전자 회로에 실제로 장착한 후에 주파수를 세밀하게 조정하기 위하여 회전자의 회전 각도에 대한 정전용량의 민감도를 완화시킬 필요가 있다. 또한, 고주파 회로에 사용할 수 있도록 유전 손실(Df)의 역수인 Q값이 높은 저정전용량의 커패시터가 요구된다. The conventional single-plate trimmer capacitor and Murata's multilayer trimmer capacitor described above replace the ceramic element between the electrodes with a different dielectric constant to adjust the sensitivity of the capacitance to the rotation angle of the rotor or the range of the capacitance. The thickness must be changed. However, these design changes do not vary the sensitivity or range of capacitance as desired. After the capacitor is actually mounted in the electronic circuit, it is necessary to relax the sensitivity of the capacitance to the rotation angle of the rotor in order to fine tune the frequency. In addition, a low capacitance capacitor having a high Q value, which is the inverse of the dielectric loss Df, is required for use in a high frequency circuit.

저정전용량을 구현하기 위해서는 고정자 전극과 회전자 전극이 대면하는 면적을 줄이거나 전극들 사이의 거리를 증가시켜야 한다. 통상의 트리머 커패시터는 고정자 전극과 회전자 전극이 대면하는 면적을 조정하여 정전용량을 변화시키기 때문에 고정자 전극과 회전자 전극이 대면하는 면적을 줄이는 것은 의미가 없으므로, 저정전용량을 구현하기 위해서는 전극들 사이의 거리를 증가시켜야만 한다. 그러나 전극들 사이의 거리를 증가시키면, 커패시터의 두께가 두꺼워져 소형화가 곤란하게 된다.To achieve low capacitance, the area facing the stator electrode and the rotor electrode should be reduced or the distance between the electrodes should be increased. Since the conventional trimmer capacitor changes the capacitance by adjusting the area where the stator electrode and the rotor electrode face each other, it is not meaningful to reduce the area where the stator electrode and the rotor electrode face each other. You have to increase the distance between them. However, increasing the distance between the electrodes increases the thickness of the capacitor, making it difficult to miniaturize it.

본 발명의 목적은 고주파에서의 에너지 손실을 최소화하여 각종 회로에 다양하게 응용될 수 있는 주파수 특성이 우수한 가변 용량 커패시터 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.Disclosure of Invention An object of the present invention is to provide a variable capacitor having excellent frequency characteristics and a method for manufacturing the same, which can be applied to various circuits by minimizing energy loss at high frequencies.

본 발명의 다른 목적은 커패시터를 전자 회로에 장착한 후 회전자의 회전 각도에 대한 정전용량의 민감도를 완화시켜 주파수를 세밀하게 조정할 수 있는 가변 용량 커패시터 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a variable capacitor and a method of manufacturing the same, which can finely adjust the frequency by relaxing the sensitivity of the capacitance to the rotation angle of the rotor after mounting the capacitor in an electronic circuit.

본 발명의 또 다른 목적은 유전손실(Df)의 역수인 Q값을 높여 고주파 회로에 사용할 수 있는 저정전용량 특성을 갖는 소형의 가변 용량 커패시터 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a small variable capacitance capacitor having a low capacitance characteristic which can be used in a high frequency circuit by increasing the Q value, which is the inverse of the dielectric loss Df, and a method of manufacturing the same.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 태양은 외부와 접속 가능한 전극이 내부에 삽입된 세라믹 소체를 포함하는 고정자와, 상기 고정자의 전극에 대향하는 고정자의 상부면에 이동 가능하게 장착된 가동자를 포함하고, 상기 가동자에는 상기 고정자의 상부면에 대면하는 가동자의 면의 일부에 전극이 마련되고, 상기 고정자의 전극은 고정자의 전극에서 상부면까지 거리가 상이한 부분을 포함하는 가변 용량 커패시터에 관한 것이다. One aspect of the present invention for achieving the above object comprises a stator including a ceramic element inserted therein and an electrode connectable to the outside, and a mover movably mounted on an upper surface of the stator opposite the electrodes of the stator. In addition, the mover is provided with an electrode on a part of the surface of the mover facing the upper surface of the stator, the electrode of the stator relates to a variable capacitance capacitor comprising a portion different in distance from the electrode to the upper surface of the stator. .

본 발명의 가변 용량 커패시터는 상기 고정자 내에는 복수의 전극을 포함하고, 이들 전극은 고정자의 상부면 상에 투영하였을 때 서로 중첩되지 않는 부분이 존재하며, 이들 복수의 전극은 고정자의 상부면에서 각각 상이한 거리에 배치되고, 상호 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 고정자 하부면에는 하나의 전극이 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 고정자는 복수 개의 세라믹 시트가 적층된 세라믹 소체를 포함하고, 상기 복수의 전극은 각 세라믹 시트들 사이에 개재될 수 있다. The variable capacitance capacitor of the present invention includes a plurality of electrodes in the stator, and these electrodes have portions that do not overlap each other when projected on the upper surface of the stator, and the plurality of electrodes are each at the upper surface of the stator. It can be arranged at different distances and connected to each other electrically. One side of the stator may further include an electrode. The stator may include a ceramic body in which a plurality of ceramic sheets are stacked, and the plurality of electrodes may be interposed between the ceramic sheets.

이러한 가변 용량 커패시터에 있어서, 상기 가동자는 고정자의 상부면에 회전 가능하게 장착된 회전자인 트리머 커패시터일 수 있다. 상기 고정자의 전극은 각 세라믹 시트들 사이에 인쇄된 인쇄 전극을 포함하고, 상기 회전자는 도전체를 포함하고, 상기 회전자의 전극이 마련된 상기 면은 돌출된 도전체일 수 있다. 상기 고정자와 회전자가 상호 대면하는 면은 회전축을 중심으로 한 원형이고, 상기 고정자 및 회전자의 전극들은 회전자의 회전축과 동심인 부채꼴일 수 있으며, 상기 고정자의 전극들을 상기 회전축 방향으로 투영하였을 때 중첩되지 않고, 부채꼴인 상기 고정자 및 회전자의 전극들은 중심각이 동일할 수 있다. 또한, 상기 고정자 및 회전자가 장착된 프레임과, 상기 프레임에 마련되어 상기 고정자 및 회전자의 전극에 각각 접속된 고정자 및 회전자용 단자를 포함하고, 상기 고정자의 복수의 전극들은 고정자를 관통하여 전기적으로 연결되어 상기 프레임의 고정자용 단자에 접속될 수 있다.In such a variable capacitance capacitor, the mover may be a trimmer capacitor which is a rotor rotatably mounted on the top surface of the stator. The electrode of the stator may include a printed electrode printed between each ceramic sheet, the rotor may include a conductor, and the surface on which the electrode of the rotor is provided may be a protruding conductor. The surface where the stator and the rotor face each other is circular around the axis of rotation, and the electrodes of the stator and the rotor may be concentric with the axis of rotation of the rotor, and the electrodes of the stator are projected in the direction of the axis of rotation. The electrodes of the stator and the rotor which are not overlapping and are fan-shaped may have the same center angle. In addition, a frame on which the stator and the rotor are mounted and a terminal for the stator and the rotor provided in the frame and connected to the electrodes of the stator and the rotor, respectively, wherein the plurality of electrodes of the stator are electrically connected through the stator. It can be connected to the stator terminal of the frame.

본 발명의 다른 태양은 하부면에 외부와 접속 가능하며 서로 절연된 2개의 전극이 마련된 세라믹 소체를 포함하는 고정자와, 상기 고정자의 하부면에 대향하는 고정자의 상부면에 이동 가능하게 장착된 가동자를 포함하고, 상기 가동자에는 상기 고정자의 2개 전극에 각각 대응하며 상호 전기적으로 연결된 2개의 전극이 상기 고정자의 상부면에 대면하는 가동자의 면에 마련된 가변 용량 커패시터에 관한 것이다. Another aspect of the present invention provides a stator comprising a ceramic body having two electrodes insulated from each other and connected to the outside on a lower surface thereof, and a mover mounted to the upper surface of the stator opposite the lower surface of the stator. The mover includes a variable capacitance capacitor provided on a face of the mover, the two electrodes corresponding to two electrodes of the stator and electrically connected to each other, respectively.

이러한 가변 용량 커패시터의 상기 가동자는 고정자의 상부면에 회전 가능하게 장착된 회전자인 트리머 커패시터일 수 있다. 상기 고정자의 전극은 인쇄 전극을 포함하고, 상기 회전자는 도전체를 포함하고, 상기 회전자는 고정자의 상부면의 일부를 덮는 일체형 전극일 수 있으며, 상기 회전자와 대면하는 고정자의 상부면은 회전축을 중심으로 한 원형이고, 상기 고정자의 2개의 전극은 회전자의 회전축과 동심이고 변이 서로 이격되고 중심축 측의 단부가 제거된 절두 부채꼴이고, 상기 회전자의 2개의 전극은 회전자의 회전축과 동심이고 변이 서로 이격된 부채꼴일 수 있다. 바람직하게는, 상기 전극들을 상기 회전축 방향으로 투영하였을 때 중첩되지 않고, 상기 부채꼴의 전극들은 중심각이 동일하다. 또한, 상기 고정자 및 회전자가 장착된 프레임과, 상기 프레임에 마련되어 상기 고정자의 서로 절연된 2개의 전극에 각각 접속된 단자를 포함할 수 있다.The mover of such a variable capacitor capacitor may be a trimmer capacitor which is a rotor rotatably mounted on the top surface of the stator. The stator electrode includes a printed electrode, the rotor includes a conductor, and the rotor may be an integral electrode covering a portion of the top surface of the stator, and the top surface of the stator facing the rotor may have a rotation axis. It is circular in the center, and the two electrodes of the stator are concentric with the axis of rotation of the rotor, the edges are spaced apart from each other, and the ends of the center axis are removed, and the two electrodes of the rotor are concentric with the axis of rotation of the rotor. And the sides may be fan-shaped apart from each other. Preferably, the electrodes do not overlap when the electrodes are projected in the direction of the rotation axis, and the fan-shaped electrodes have the same center angle. The apparatus may include a frame on which the stator and the rotor are mounted, and terminals provided on the frame and connected to two electrodes insulated from each other of the stator.

본 발명의 또 다른 태양은 외부에 각각 접속 가능한 2개의 상호 절연된 전극이 내부에 삽입된 세라믹 소체를 포함하는 고정자와, 상기 고정자의 전극에 대향하는 고정자의 상부면에 이동 가능하게 장착된 가동자를 포함하고, 상기 가동자에는 상기 고정자의 2개 전극에 각각 대응하는 상호 전기적으로 연결된 2개의 전극이 고정자와 대면하는 가동자의 면에 마련되고, 상기 고정자의 전극을 고정자의 상부면에 수직으로 투영하였을 때 중첩되지 않는 가변 용량 커패시터에 관한 것이다.Still another aspect of the present invention provides a stator comprising a ceramic body having two mutually insulated electrodes connectable to the outside and a ceramic body inserted therein, and a movable member movably mounted to an upper surface of the stator opposite the electrodes of the stator. And wherein the mover has two electrodes electrically connected to the two electrodes of the stator, respectively, on the face of the mover facing the stator, and project the electrodes of the stator perpendicularly to the upper surface of the stator. Relates to a variable capacitor which does not overlap when.

이러한 가변 용량 커패시터에 있어서, 상기 고정자의 2개의 전극은 고정자의 상부면에 평행하게 동일한 거리로 이격될 수 있으며, 특히 상기 가동자가 고정자의 상부면에 회전 가능하게 장착된 회전자인 트리머 커패시터일 수 있다. 상기 고정자의 전극은 인쇄 전극을 포함하고, 상기 회전자는 도전체를 포함하고, 상기 회전자는 고정자의 상부면의 일부를 덮는 일체형 전극일 수 있다. 상기 회전자와 대면하는 고정자의 상부면은 회전축을 중심으로 한 원형이고, 상기 고정자의 2개의 전극은 회전자의 회전축과 동심이고 변이 서로 이격되고 중심축 측의 단부가 제거된 절두 부채꼴이고, 상기 회전자의 2개의 전극은 회전자의 회전축과 동심이고 변이 서로 이격되고 중심축 측의 단부가 제거된 절두 부채꼴일 수 있으며, 바람직하게는 상기 부채꼴의 전극들은 중심각이 동일하다. 이러한 가변 용량 커패시터에는 상기 고정자 및 회전자가 장착된 프레임과, 상기 프레임에 마련된 2개의 단자를 포함하고, 상기 고정자의 절연된 2개의 전극은 고정자를 관통하여 상기 프레임에 마련된 단자에 각각 접속될 수 있다. 상기 회전자의 전극들은 전술된 바와는 달리 도전체이며 돌출된 면일 수 있다. 이 경우, 상기 고정자의 2개의 전극은 고정자의 측부 를 통해 외부에 각각 접속될 수 있다.In such a variable capacitance capacitor, the two electrodes of the stator may be spaced at the same distance in parallel to the top surface of the stator, and in particular may be a trimmer capacitor which is a rotor rotatably mounted to the top surface of the stator. . The electrode of the stator includes a printed electrode, the rotor may comprise a conductor, and the rotor may be an integral electrode covering a portion of the top surface of the stator. The upper surface of the stator facing the rotor is circular around the axis of rotation, the two electrodes of the stator are concentric with the axis of rotation of the rotor and are truncated fan-shaped with the sides spaced apart from each other and the ends of the center axis being removed. The two electrodes of the rotor may be truncated fan-shaped concentric with the axis of rotation of the rotor, the sides of which are spaced apart from one another, and the ends of the central axis side removed, preferably the sector-shaped electrodes have the same center angle. The variable capacitor includes a frame in which the stator and the rotor are mounted, and two terminals provided in the frame, and two insulated electrodes of the stator may be connected to terminals provided in the frame through the stator. . The electrodes of the rotor may be conductors and protruding surfaces, as described above. In this case, the two electrodes of the stator may be connected to the outside through the side of the stator, respectively.

본 발명의 다른 태양은 하부면의 일부에 전극이 마련된 세라믹 소체를 포함하는 고정자와, 상기 고정자의 하부면에 대향하는 고정자의 상부면에 이동 가능하게 장착되고 상기 고정자의 상부면에 대면하는 면의 일부에 전극이 마련된 가동자와, 상기 고정자와 가동자 사이에 삽입된 유전체를 포함하는 가변 용량 커패시터에 관한 것이다. 이와 유사하게 전술된 가변 용량 커패시터에 있어서, 상기 고정자와 가동자 사이에 삽입된 유전체를 더 포함할 수 있다. 상기 유전체는 바람직하게는 저유전율의 폴리머를 포함한다.Another aspect of the invention is a stator comprising a ceramic body having an electrode provided on a portion of the lower surface, and a surface movably mounted on the upper surface of the stator opposite the lower surface of the stator and facing the upper surface of the stator. The present invention relates to a variable capacitor including a mover having an electrode provided in a part thereof, and a dielectric inserted between the stator and the mover. Similarly, in the above-described variable capacitor capacitor, it may further include a dielectric inserted between the stator and the mover. The dielectric preferably comprises a low dielectric constant polymer.

본 발명의 추가 태양은 (a) 제1 세라믹 시트를 마련하고 상기 제1 세라믹 시트 상의 일부에 제1 전극을 인쇄하는 단계와, (b) 상기 제1 전극을 외부에 전기 접속이 가능하게 하는 단계와, (c) 상기 제1 세라믹 시트 상에 제2 세라믹 시트를 적층하고 상기 제2 세라믹 시트 상의 일부에 제2 전극을 인쇄하는 단계와, (d) 상기 제2 전극을 제1 전극과 전기 접속시키는 단계와, (e) 상기 (c) 및 (d) 단계를 복수 회 반복하여 실시한 다음 커버 세라믹 시트를 적층하는 단계와, (f) 상기 세라믹 시트의 적층체를 압착하고, 탈바인더 및 소성하여 세라믹 소체를 형성하는 단계와, (g) 상기 세라믹 소체의 커버 세라믹 시트 측인 상부면에 대면하는 면의 일부에 전극이 마련된 가동자를 상기 세라믹 소체의 상부면에 이동 가능하게 장착하는 단계를 포함하고, 상기 세라믹 소체 내의 전극들은 세라믹 소체의 상부면 상에 투영하였을 때 서로 중첩되지 않는 부분이 존재하는 가변 용량 커패시터 제조 방법에 관한 것이다.A further aspect of the present invention provides a method of fabricating a first ceramic sheet, the method comprising: (a) providing a first ceramic sheet and printing a first electrode on a portion of the first ceramic sheet; and (b) enabling the first electrode to be electrically connected to the outside. (C) laminating a second ceramic sheet on the first ceramic sheet and printing a second electrode on a portion of the second ceramic sheet; and (d) electrically connecting the second electrode to the first electrode. And (e) repeating the steps (c) and (d) a plurality of times, and then laminating a cover ceramic sheet, and (f) pressing, debindering and firing the laminate of the ceramic sheet. Forming a ceramic body, and (g) movably mounting a mover provided with an electrode on the upper surface of the ceramic body, the electrode being provided on a part of the surface of the ceramic body facing the upper surface of the ceramic body; In the ceramic body Electrodes when the projection on the top surface of the ceramic body relates to a variable capacitance capacitor manufacturing method of the portion which does not overlap with each other exists.

이러한 가변 용량 커패시터 제조 방법에 있어서, 제1 전극을 외부에 접속 가능하게 하는 단계는 제1 세라믹 시트에 제1 전극에 접하는 관통 구멍을 형성하여 상기 관통 구멍 내에 도전체를 충전하는 단계를 포함하고, 제2 전극을 제1 전극과 전기 접속시키는 단계는 제2 세라믹 시트에 제1 전극 및 제2 전극에 접하는 관통 구멍을 형성하여 상기 관통 구멍 내에 도전체를 충전하는 단계를 포함할 수 있다.In such a method of manufacturing a variable capacitor, the step of making the first electrode connectable to the outside includes forming a through hole in contact with the first electrode in the first ceramic sheet to fill a conductor in the through hole, Electrically connecting the second electrode to the first electrode may include forming a through hole in contact with the first electrode and the second electrode in the second ceramic sheet to fill a conductor in the through hole.

본 발명의 다른 추가 태양은 세라믹 소체를 마련하고 상기 세라믹 소체의 하부면에 절연된 2개의 전극을 인쇄하는 단계와, 상기 세라믹 소체의 하부면에 대향하는 세라믹 소체의 상부면 상에 가동자를 이동 가능하게 장착하는 단계를 포함하고, 상기 가동자에는 상기 세라믹 소체의 상부면에 대면하는 가동자의 면에 상호 전기적으로 연결된 2개의 전극이 마련된 가변 용량 커패시터 제조 방법에 관한 것이다.Another further aspect of the present invention provides a method of preparing a ceramic body and printing two electrodes insulated on the bottom surface of the ceramic body, and capable of moving the mover on the top surface of the ceramic body opposite the bottom surface of the ceramic body. And a mounting step, wherein the mover is provided with two electrodes electrically connected to a surface of the mover facing the upper surface of the ceramic element.

본 발명의 또 다른 추가 태양은 세라믹 시트에 2개의 관통 구멍을 형성하는 단계와, 상기 2개의 관통 구멍을 각각 덮어 외부에 각각 접속되는 상기 세라믹 시트의 일면 상에 절연된 2개의 전극을 인쇄하는 단계와, 상기 세라믹 시트의 일면 상에 추가의 세라믹 시트를 적층하는 단계와, 상기 세라믹 시트의 적층체를 압착하고, 탈바인더 및 소성하여 세라믹 소체를 형성하는 단계와, 상기 세라믹 소체의 추가의 세라믹 시트 측인 상부면 상에 가동자를 이동 가능하게 장착하는 단계를 포함하고, 상기 가동자에는 상기 세라믹 소체의 상부면에 대면하는 가동자의 면에 상호 전기적으로 연결된 2개의 전극이 마련된 가변 용량 커패시터 제조 방법에 관한 것이다.Another further aspect of the present invention provides a method of forming two through holes in a ceramic sheet, and printing two insulated electrodes on one surface of the ceramic sheet respectively covering the two through holes and connected to the outside. Laminating an additional ceramic sheet on one surface of the ceramic sheet, compressing, debindering and firing the laminate of the ceramic sheet to form a ceramic body, and further ceramic sheet of the ceramic body And a method of movably mounting a mover on an upper surface of the side, wherein the mover is provided with two electrodes electrically connected to a surface of the mover facing the upper surface of the ceramic element. will be.

또한, 본 발명의 다른 추가 태양은 상기 세라믹 시트의 일면에 각각 외부에 접속되며 절연된 2개의 전극을 인쇄하는 단계와, 상기 세라믹 시트의 일면 상에 추가의 세라믹 시트를 적층하는 단계와, 상기 적층된 세라믹 시트들 사이에 2개의 전극의 일부를 노출시키는 단계와, 상기 세라믹 시트의 적층체를 압착하고, 탈바인더 및 소성하여 세라믹 소체를 형성하는 단계와, 상기 세라믹 소체의 추가의 세라믹 시트 측인 상부면 상에 가동자를 이동 가능하게 장착하는 단계를 포함하고, 상기 가동자에는 상기 세라믹 소체의 상부면에 대면하는 가동자의 면에 상호 전기적으로 연결된 2개의 전극이 마련된 가변 용량 커패시터 제조 방법에 관한 것이다. In addition, another additional aspect of the present invention is to print two electrodes each connected to the outside and insulated on one surface of the ceramic sheet, the step of laminating an additional ceramic sheet on one surface of the ceramic sheet, the lamination Exposing a portion of the two electrodes between the formed ceramic sheets, squeezing, debindering and firing the laminate of the ceramic sheets to form a ceramic body, and an upper side of the ceramic body being the further ceramic sheet. And a method of movably mounting a mover on a surface, wherein the mover is provided with two electrodes provided with two electrodes electrically connected to a face of the mover facing the upper surface of the ceramic element.

전술된 이러한 가변 용량 커패시터 제조 방법에 있어서, 상기 가동자와 세라믹 소체 사이에 유전체를 삽입하는 단계를 더 포함하고, 상기 유전체를 삽입하는 단계는 상기 세라믹 소체의 상부면 또는 상기 세라믹 소체의 상부면에 대면하는 가동자의 면에 유전체를 코팅하는 단계를 포함할 수 있다.In the above-described method of manufacturing a variable capacitor capacitor, the method further comprises inserting a dielectric between the mover and the ceramic body, wherein inserting the dielectric material on the top surface of the ceramic body or the top surface of the ceramic body. Coating a dielectric on the face of the movable mover.

제1 실시예 - 단차 적층형 트리머 커패시터First Embodiment-Stepped Stacked Trimmer Capacitor

도1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 단차 적층형 트리머 커패시터의 개략 분해 사시도이다. 이는 외형적으로 도23에 도시된 일반적인 종래의 단판형 트리머 커패시터와 유사하나, 고정자(110)와 회전자(120)에 마련된 전극의 구성과, 고정자(110)의 제조 방법이 서로 상이하다. 본 실시예의 회전자(120)의 하부면은 도2에 도시된 바와 같이, 전극의 형상이 중심각이 90인 부채꼴이며 지지 돌출부(126)가 2개인 것을 제외하고는, 도23에 도시된 종래 커패시터의 회전자(720)와 동일하다. 그러나 고정자(110)의 경우, 도1, 도3 및 도4(도4는 고 정자의 제작 과정으로서 다시 설명할 것임)에서 알 수 있는 바와 같이, 3개의 중심각이 각각 90인 3개의 부채꼴 형상의 내부 전극이 고정자 내에 서로 다른 층에 배치되어 있다. 고정자(110)의 제작 과정을 도시한 도4를 참조하면, 회전자(110)의 구성을 보다 용이하게 이해할 수 있다. 1 is a schematic exploded perspective view of a stepped stacked trimmer capacitor according to a first embodiment of the present invention. This looks similar to the conventional conventional single-plate trimmer capacitor shown in FIG. 23, but the configuration of the electrodes provided on the stator 110 and the rotor 120 and the manufacturing method of the stator 110 are different from each other. As shown in FIG. 2, the lower surface of the rotor 120 according to the present embodiment has a fan shape having a center angle of 90 and two support protrusions 126. The conventional capacitor shown in FIG. Is the same as the rotor 720. However, in the case of the stator 110, as shown in Figs. 1, 3 and 4 (FIG. 4 will be described again as the manufacturing process of the stator), three fan-shaped shapes having three central angles of 90 respectively. Internal electrodes are arranged in different layers in the stator. Referring to FIG. 4, which illustrates a manufacturing process of the stator 110, the configuration of the rotor 110 may be more easily understood.

먼저 원하는 유전율의 세라믹 파우더를 사용하여 슬러리를 제조한 다음 닥터블레이드(Dr. blade) 등의 방법으로 세라믹 시트를 제조한다. 이렇게 제조된 제1 세라믹 시트(110a)에 제1 관통 구멍(113a)을 형성하고, 상기 제1 관통 구멍(113a)에 Ag 등의 도전성 페이스트를 충전한다. 이는 시트들 사이에 인쇄될 내부 전극들이 프레임에 마련된 단자(111)와 연결되는 통로를 형성하기 위한 것이다. 다음으로 제2 세라믹 시트(110b)에 제1 관통 구멍(113a)과 연결되는 제2 관통 구멍(113b)을 형성하고 도전성 페이스트를 충전하며, 관통 구멍(113b) 내의 도전성 페이스트와 접속되도록 제1 내부 전극(112a)을 인쇄한다. 제2 세라믹 시트(110b)와 동일한 방법으로 제3 및 제4 세라믹 시트(110c, 110d)를 마련한 다음, 커버 시트(110e)를 적층하여 그린바(green bar)를 완성한다. 실제 양산에 있어서는 이러한 단위구조가 수천 개 이상 반복 인쇄 및 적층 되도록 내부전극이 인쇄된 시트를 제작하여 그린바를 제조한다. 이러한 단위 고정자(110)에는 3개의 내부 전극(112a, 112b, 112c)이 각각 상이한 층에 90도씩 서로 중첩되지 않게 형성되어 있으므로, 이들 3개의 내부 전극(112a, 112b, 112c)은 전체 270도의 범위에 걸쳐 고정자의 상부면에서 서로 다른 거리에 존재한다. First, a slurry is prepared using a ceramic powder having a desired dielectric constant, and then a ceramic sheet is manufactured by a method such as Dr. blade. A first through hole 113a is formed in the first ceramic sheet 110a thus manufactured, and a conductive paste such as Ag is filled in the first through hole 113a. This is to form a passage in which internal electrodes to be printed between the sheets are connected to the terminal 111 provided in the frame. Next, a second through hole 113b connected to the first through hole 113a is formed in the second ceramic sheet 110b, the conductive paste is filled, and the first inside is connected to the conductive paste in the through hole 113b. The electrode 112a is printed. The third and fourth ceramic sheets 110c and 110d are prepared in the same manner as the second ceramic sheet 110b, and then the cover sheets 110e are stacked to complete the green bar. In actual production, the green bar is manufactured by manufacturing a sheet printed with internal electrodes such that the unit structure is repeatedly printed and laminated by thousands or more. Since three internal electrodes 112a, 112b, and 112c are formed in the unit stator 110 so as not to overlap each other by 90 degrees on different layers, these three internal electrodes 112a, 112b, and 112c each have a range of 270 degrees. At different distances from the top surface of the stator over.

제조된 그린바는 압착하고 펀칭하여 원하는 형상으로 절단한다. 그 다음, 탈바인더 및 소성하여 단차 적층형 세라믹 소체를 제조한다. 탈바인더는 약 300도에서 20시간 정도 행하고, 세라믹 소성은 약 1200도 내지 1300도 사이에서 행한다. The manufactured green bar is cut into a desired shape by pressing and punching. Then, a binder and firing are performed to produce a stepped ceramic body. Debinding is performed at about 300 to about 20 hours, and ceramic firing is performed at about 1200 to 1300 degrees.

회전자(120)의 전극(122)이 고정자(110)의 전극(112a, 112b, 112c)과 서로 대면하지 않도록 회전자(120)를 고정자(110) 상에 장착한 후에 회전자(120)를 회전시키면, 90도까지는 대면하는 전극들의 면적이 변하다가, 90도에서 270도까지는 전극들 사이의 거리가 변하게 되고, 270도에서 360도까지는 다시 전극들의 대면하는 면적이 변하게 된다. 따라서 종래의 트리머 커패시터는 정전용량의 값을 변화시키기 위하여 대면하는 전극들의 면적만을 변화시키는 구성이었으나, 본 실시예의 단차 적층형 트리머 커패시터는 대면하는 전극들의 넓은 면적뿐만 아니라 전극들 사이의 거리도 변화시켜 가며 정전용량의 값을 변화시킬 수 있다.The rotor 120 is mounted on the stator 110 such that the electrodes 122 of the rotor 120 do not face each other with the electrodes 112a, 112b, and 112c of the stator 110. When rotated, the area of the facing electrodes changes up to 90 degrees, the distance between the electrodes changes from 90 degrees to 270 degrees, and the facing areas of the electrodes change again from 270 to 360 degrees. Therefore, while the conventional trimmer capacitor is configured to change only the area of the facing electrodes in order to change the value of the capacitance, the stepped stacked trimmer capacitor of the present embodiment changes the distance between the electrodes as well as the large area of the facing electrodes. The value of the capacitance can be changed.

도5는 이러한 본 실시예의 단차 적층형 트리머 커패시터와 도23에 도시된 일반 단판형 트리머 커패시터의 회전자 회전 각도에 따른 정전용량 값의 변화를 나타낸다. 본 실시예에 따른 단차 적층형 트리머 커패시터는 일반 단판형 트리머 커패시터에 비해 회전자의 회전 각도에 대한 정전용량 값의 민감도가 완화된 것을 알 수 있다. 즉, 동일한 각도로 회전자를 회전시켰을 때 정전용량 값의 변화가 작다. 이는 트리머 커패시터를 실제 전자 회로에 장착한 후에 주파수를 조정할 때, 보다 세밀한 조정이 가능하다는 장점이 있다. FIG. 5 shows the change of capacitance value according to the rotor rotation angle of the stepped stacked trimmer capacitor of this embodiment and the general single plate trimmer capacitor shown in FIG. The stepped stacked trimmer capacitor according to the present embodiment can be seen that the sensitivity of the capacitance value to the rotation angle of the rotor is reduced compared to the general single-plate trimmer capacitor. That is, the change in capacitance value is small when the rotor is rotated at the same angle. This has the advantage of allowing finer control when adjusting the frequency after the trimmer capacitor is mounted in the actual electronic circuit.

본 실시예의 고정자의 내부 전극은 3개가 아닌 2개 또는 4개 이상일 수 있으며, 이들 및 회전자 전극의 형상과 크기도 필요에 따라 변경할 수 있다. 또한 고정자의 내부 전극들이 고정자 상부면 투영시킬 때 서로 중첩되지 않은 것으로 설명 하였으나, 그렇게 한정할 필요는 없으며, 다소 중첩되는 부분이 존재할 수 있다. The internal electrodes of the stator of the present embodiment may be two or four or more than three, and the shape and size of these and the rotor electrodes may be changed as necessary. In addition, although the internal electrodes of the stator have been described as not overlapping each other when projecting the upper surface of the stator, the present invention does not need to be so limited, and some overlapping parts may exist.

한편, 도4에 도시된 적층되는 세라믹 시트 중에서 제1 및 제5 세라믹 시트(110a, 110e)를 적층하지 않고, 제2 내지 제4 세라믹 시트(110b, 110c, 110d)에 제1 내지 제3 관통 구멍(113b, 113c, 113d)과 제1 내지 제3 내부 전극(112a, 112b, 112c)만을 형성한 후, 이를 뒤집은 후에 압착, 절단, 탈바인더 및 소성 공정을 거쳐 고정자를 제조할 수 있다. 따라서, 고정자 내의 내부 전극 중 하나는 고정자의 바닥면에 형성될 수 있다. Meanwhile, the first through third ceramic sheets 110b, 110c, and 110d are penetrated through the second through fourth ceramic sheets 110b, 110c, and 110d without laminating the first and fifth ceramic sheets 110a and 110e among the laminated ceramic sheets shown in FIG. 4. After forming only the holes 113b, 113c, and 113d and the first to third internal electrodes 112a, 112b, and 112c, the inverter may be inverted and then pressed, cut, debindered, and fired to manufacture the stator. Thus, one of the internal electrodes in the stator may be formed on the bottom surface of the stator.

또한, 도6에 도시된 바와 같이, 고정자(110)에 내부 전극(112)을 한 층에만 형성한 후 세라믹 소체 자체를 경사지게 절단하여 실제로 고정자의 내부 전극(112)이 고정자(110) 내에 경사지게 배치시켜 고정자 전극과 회전자 전극의 사이의 거리와 대면하는 이들 사이의 면적을 동시에 변화시킬 수도 있다.In addition, as shown in FIG. 6, the internal electrode 112 is formed on the stator 110 only in one layer, and the ceramic body itself is obliquely cut so that the internal electrode 112 of the stator is inclined in the stator 110. It is also possible to simultaneously change the area between the stator electrode and the rotor electrode and the area between them facing each other.

제2 실시예 - 부유 전극형 트리머 커패시터Second Embodiment-Floating Electrode Trimmer Capacitor

도7은 부유 전극형 트리머 커패시터의 개략 분해 사시도이다. 본 실시예의 부유 전극형 트리머 커패시터의 고정자(210)에는 도24에 도시된 일반적인 종래의 단판형 트리머 커패시터의 고정자(710) 하부면의 전극 패턴 대신 도8과 같은 나비넥타이 모양의 전극(212a, 212b)이 인쇄되고, 전극과 연결되지 않는 회전자(220)의 회전축(225)이 끼워지는 회전축 지지 구멍(215)이 형성된다. 상기 전극(212a, 212b)은 프레임의 상부에 마련된 단자(211a, 211b)에 각각 접속된다. 금속인 회전자(220)에는 고정자(210)의 전극(212a, 212b)과 대응하는 2개의 전극(222a, 222b)이 전극 연결부(226)에 의해 서로 연결된다. 회전자(220)에는 전극(222a, 222b) 면에 수직인 회전축(225)이 형성되어 고정자의 회전축 지지 구멍(215)에 끼워져, 회전자(220)는 고정자(210)에 대해 회전 가능하게 장착된다. 즉, 본 실시예의 부유 전극형 트리머 커패시터에서 회전자(220)는 부유 전극의 역할을 한다. 이러한 본 실시예의 부유 전극형 트리머 커패시터는 2개의 트리머 커패시터가 직렬로 연결된 구조로서, 이는 등가 회로도인 도10으로부터 쉽게 알 수 있다.7 is a schematic exploded perspective view of a floating electrode type trimmer capacitor. In the stator 210 of the floating electrode type trimmer capacitor of the present embodiment, a bow-shaped electrode 212a and 212b as shown in FIG. 8 is used instead of the electrode pattern of the lower surface of the stator 710 of the conventional conventional single plate type trimmer capacitor shown in FIG. ) Is printed, and a rotating shaft support hole 215 into which the rotating shaft 225 of the rotor 220 is not connected is formed. The electrodes 212a and 212b are connected to terminals 211a and 211b provided at the upper portion of the frame, respectively. In the rotor 220 which is a metal, the electrodes 212a and 212b of the stator 210 and the two electrodes 222a and 222b corresponding to each other are connected to each other by the electrode connection part 226. The rotor 220 is provided with a rotating shaft 225 perpendicular to the surfaces of the electrodes 222a and 222b and fitted into the rotating shaft support hole 215 of the stator, so that the rotor 220 is rotatably mounted with respect to the stator 210. do. That is, in the floating electrode type trimmer capacitor of the present embodiment, the rotor 220 serves as a floating electrode. The floating electrode type trimmer capacitor of this embodiment has a structure in which two trimmer capacitors are connected in series, which can be easily seen from an equivalent circuit diagram of FIG.

커패시터의 직렬 및 병렬 연결시 전체 정전용량은 다음과 같다.The total capacitance in series and parallel connection of the capacitor is:

병렬 연결시: Ct = C1 + C2In parallel connection: Ct = C1 + C2

직렬 연결시: 1/Ct = 1/C1 + 1/C2In series connection: 1 / Ct = 1 / C1 + 1 / C2

전기 회로에서 커패시터가 직렬로 연결되면 정전용량은 크게 감소하기 때문에 본 실시예의 부유 전극형 트리머 커패시터는 이를 이용한 것으로 저정전용량을 구현할 수 있다. Since the capacitance is greatly reduced when the capacitors are connected in series in the electric circuit, the floating electrode type trimmer capacitor of the present embodiment uses the same to realize low capacitance.

고주파용 트리머 커패시터의 경우, 정전용량이 증가하면 공진 주파수가 감소하게 되고 공진 주파수 이상에서는 커패시터의 기능이 상실되기 때문에 저정전용량의 커패시터가 요구된다. 그러나 종래의 트리머 커패시터의 경우 회전자와의 조립시 발생하는 구조적인 문제(부유용량)와 재료의 특성상 유전율을 더 이상 낮출 수 없는 한계에 의해 1pF 이하의 저정전용량의 구현이 어렵다. 따라서 본 실시예의 부유 전극형 트리머 커패시터는 2개의 커패시터를 직렬로 연결하는 구조로써 저정전용량의 구현이 가능하다. 또한 유효 전극 면적의 증가로 인한 등가 직렬 저항(esr) 값이 감소하여 유전 손실의 역수인 Q값을 증가시킬 수 있어 고주파에서의 손실을 최소화할 수 있다. In the case of the high-frequency trimmer capacitor, as the capacitance increases, the resonant frequency decreases, and above the resonant frequency, the function of the capacitor is lost. Therefore, a capacitor having a low capacitance is required. However, in the case of the conventional trimmer capacitor, it is difficult to implement a low capacitance of less than 1 pF due to structural problems (floating capacity) that occur during assembly with the rotor and the limit that the dielectric constant can no longer be lowered due to the characteristics of the material. Therefore, the floating electrode type trimmer capacitor of the present exemplary embodiment has a structure in which two capacitors are connected in series to realize low capacitance. In addition, the equivalent series resistance (esr) value due to the increase of the effective electrode area is reduced to increase the Q value, which is the inverse of the dielectric loss, thereby minimizing the loss at high frequencies.

제3 실시예 - 적층 부유 전극형 트리머 커패시터Third Embodiment-Multilayer Floating Electrode Trimmer Capacitor

도11 및 도12는 적층 부유 전극형 트리머 커패시터의 개략 사시도와 단면도이다. 본 실시예의 적층 부유 전극형 트리머 커패시터는 제2 실시예에서 설명된 부유 전극형 트리머 커패시터와 고정자를 제외하고는 동일하다. 제2 실시예의 부유 전극형 트리머 커패시터의 고정자(210)의 전극이 세라믹 소체의 바닥면에 인쇄된 데 반하여, 본 실시예의 적층 부유 전극형 트리머 커패시터 고정자(310)의 전극(312)은 제1 실시예의 고정자와 유사하게 고정자(310) 내부에 삽입된 내부 전극이다. 11 and 12 are schematic perspective views and cross-sectional views of the stacked floating electrode type trimmer capacitor. The stacked floating electrode type trimmer capacitor of this embodiment is the same except for the stator and the floating electrode type trimmer capacitor described in the second embodiment. Whereas the electrode of the stator 210 of the floating electrode type trimmer capacitor of the second embodiment is printed on the bottom surface of the ceramic element, the electrode 312 of the laminated floating electrode type trimmer capacitor stator 310 of the present embodiment performs the first embodiment. Similar to the stator of the example is an internal electrode inserted inside the stator 310.

도13은 적층 부유전극형 트리머 커패시터의 고정자(310)를 제조하는 공정이 도시되어 있다. 먼저 원하는 유전율의 세라믹 파우더를 사용하여 슬러리를 제조한 다음 닥터블레이드 등의 방법으로 세라믹 시트를 제조한다. 이렇게 제조된 제1 세라믹 시트(310a)에 회전자(320)의 축 구멍(315a)과 내부 전극 노출용 관통 구멍(313a, 313b)을 형성하고 내부 전극 노출용 관통 구멍(313a, 313b)에는 Ag 등의 도전성 페이스트를 충전한다. 상기 관통 구멍(313a, 313b) 내의 도전성 페이스트는 프레임에 마련된 단자(311a, 311b)에 각각 접속된다. 그 다음, 관통 구멍(313a, 313b) 내의 도전성 페이스트와 접속되도록 제1 및 제2 내부 전극(312a, 312b)을 제1 세라믹 시트(310a) 상에 인쇄하여, 제1 및 제2 내부 전극(312a, 312b)이 각각 외부와 연결되는 통로를 형성하도록 한다. 다음으로 제2 세라믹 시트(310b)에 회전자 축 구멍(315b)을 형성한 후, 제1 세라믹 시트(310a)에 적층하여 그린바(green bar)를 완성한다. 실제 양산에 있어서는 이러한 단위구조가 수천 개 이상 반복 인쇄 및 적층 되도록 내부전극이 인쇄된 시트를 제작하여 그린바를 제조한다. 이와 같이 제1 실시예에서 설명하는 바와 같이, 제조된 그린바는 압착하고 펀칭하여 원하는 형상으로 절단한 다음, 탈바인더 및 소성하여 단차 적층형 세라믹 소체를 제조한다. 탈바인더는 약 300도에서 20시간 정도 행하고, 세라믹 소성은 약 1200도 내지 1300도 사이에서 행한다. FIG. 13 shows a process for manufacturing the stator 310 of the stacked floating electrode type trimmer capacitor. First, a slurry is prepared using a ceramic powder having a desired dielectric constant, and then a ceramic sheet is manufactured by a method such as a doctor blade. The shaft hole 315a of the rotor 320 and the through-holes 313a and 313b for exposing the inner electrode of the rotor 320 are formed in the first ceramic sheet 310a thus manufactured, and Ag is provided in the through-holes for exposing the internal electrodes 313a and 313b. Electroconductive pastes, such as these, are filled. The conductive paste in the through holes 313a and 313b is connected to the terminals 311a and 311b provided in the frame, respectively. Next, the first and second internal electrodes 312a and 312b are printed on the first ceramic sheet 310a so as to be connected to the conductive paste in the through holes 313a and 313b, and the first and second internal electrodes 312a are provided. , 312b) each form a passageway connected to the outside. Next, after forming the rotor shaft hole 315b in the second ceramic sheet 310b, the green bar is completed by laminating the first ceramic sheet 310a. In actual production, the green bar is manufactured by manufacturing a sheet printed with internal electrodes such that the unit structure is repeatedly printed and laminated by thousands or more. As described in the first embodiment, the manufactured green bar is pressed, punched, cut into desired shapes, and then debindered and fired to produce a stepped multilayer ceramic body. Debinding is performed at about 300 to about 20 hours, and ceramic firing is performed at about 1200 to 1300 degrees.

본 실시예의 적층 부유 전극형 트리머 커패시터도, 제2 실시예와 마찬가지로, 2개의 트리머 커패시터를 직렬로 연결함으로써 원하는 저정전용량의 구현이 가능하다. 즉, 적층 시트의 두께를 조절하여 다양한 정전 용량값으로 조절할 수 있다. 또한, 유효 전극 면적의 증가로 인한 등가 직렬 저항(esr)값이 감소하여 유전 손실의 역수인 Q값을 증가시킬 수 있어 고주파에서의 손실을 최소화할 수 있다. Similarly to the second embodiment, the laminated floating electrode type trimmer capacitor of the present embodiment can also implement a desired low capacitance by connecting two trimmer capacitors in series. That is, by adjusting the thickness of the laminated sheet can be adjusted to various capacitance values. In addition, the equivalent series resistance (esr) value due to the increase of the effective electrode area is reduced to increase the Q value which is the inverse of the dielectric loss, thereby minimizing the loss at the high frequency.

제4 실시예 - 적층 부유 전극형 트리머 커패시터의 변형예Fourth Embodiment-Modification of Multi-Layered Floating Electrode Trimmer Capacitor

도14 내지 도16은 도27 및 도28에서 설명한 무라타사의 적층형 트리머 커패시터와 같이 별도 프레임을 사용하지 않는 적층 부유형 트리머 커패시터이다. (이러한 적층형 트리머 커패시터의 제조 방법은 한국특허출원 공개번호 10-2003-1148호를 참조할 것) 본 실시예에 따른 커패시터는 고정자(410)의 내부 전극(412a, 412b)을, 도27에 도시된 고정자(810)의 내부 전극(812)과 달리, 도14에 도시된 바와 같이 나비넥타이 형상으로 하였다. 상기 고정자(410)의 내부 전극(412a, 412b)은 고정자의 측부에 각각 인쇄된 단자(411a, 411b)에 접속된다. 회전자(420)의 전극(422a, 422b)도 고정자(410)의 내부 전극(412a, 412b)에 대응하도록 나비넥타이 형상으로 돌출시켰다. 고정자(410)는 프레임의 역할도 하며, 내부 전극(412a, 412b)이 고정자(410)의 측부에 노출되어 외부와의 접속도 용이하다. 더욱이, 본 실시예의 트리머 커패시터도 2개의 트리머 커패시터를 직렬로 연결함으로써 저정전용량 및 높은 Q의 구현도 가능하다. 14 to 16 are stacked floating trimmer capacitors that do not use a separate frame, such as Murata's stacked trimmer capacitor described with reference to FIGS. 27 and 28. (Refer to Korean Patent Application Publication No. 10-2003-1148 for the manufacturing method of such a stacked trimmer capacitor.) The capacitor according to the present embodiment shows the internal electrodes 412a and 412b of the stator 410, as shown in FIG. Unlike the internal electrode 812 of the stator 810, as shown in FIG. 14, a bow tie shape is provided. The internal electrodes 412a and 412b of the stator 410 are connected to terminals 411a and 411b printed on the side of the stator, respectively. The electrodes 422a and 422b of the rotor 420 also protrude in a bowtie shape so as to correspond to the internal electrodes 412a and 412b of the stator 410. The stator 410 also serves as a frame, and the internal electrodes 412a and 412b are exposed to the sides of the stator 410 to facilitate connection with the outside. Moreover, the trimmer capacitor of the present embodiment can also realize low capacitance and high Q by connecting two trimmer capacitors in series.

제5 실시예 - 저유전율 폴리머층 삽입형 트리머 커패시터Example 5 Low Dielectric Constant Polymer Layer Insertion Trimmer Capacitor

도17은 도23 내지 도26에 도시된 일반적인 단판형 트리머 커패시터의 고정자(710)와 회전자(810) 사이에 저유전율층을 삽입한 본 발명의 트리머 커패시터의 단면도 및 등가 회로도이다. 일반적인 단판형 트리머 커패시터의 고정자와 회전자 사이에 저유전율의 폴리머 물질(500)을 삽입하면, 도17의 등가 회로도에서 알 수 있듯이, 단판형 트리머 커패시터에 저유전율층의 커패시터가 직렬로 형성된 구성이 된다. 따라서 커패시터 2개를 직렬로 연결시켜 정전용량 값을 낮출 수 있다. 특히, 폴리머계 물질의 우수한 저유전 손실 특성을 활용하면, 고주파에서도 Q값이 높은 트리머 커패시터를 제조할 수 있다.FIG. 17 is a sectional view and an equivalent circuit diagram of a trimmer capacitor of the present invention in which a low dielectric constant layer is inserted between the stator 710 and the rotor 810 of the general single plate type trimmer capacitor shown in FIGS. 23 to 26. When the low dielectric constant polymer material 500 is inserted between the stator and the rotor of a typical single plate type trimmer capacitor, as shown in the equivalent circuit diagram of FIG. 17, the low dielectric constant layer capacitor is formed in series in the single plate type trimmer capacitor. do. Therefore, two capacitors can be connected in series to reduce the capacitance value. In particular, by utilizing the excellent low dielectric loss characteristics of the polymer material, it is possible to manufacture a trimmer capacitor having a high Q value even at high frequencies.

파릴렌과 같은 저유전율의 폴리머 물질은 원판형으로 제조하여 세라믹 소체인 고정자와 회전자 사이에 삽입할 수 있다. 이와 달리, 폴리머 물질은 고정자 또는 회전자의 대면하는 표면에 박막 코팅 등의 방법으로 막으로 형성하여 삽입할 수 있다.Low dielectric constant polymer materials such as parylene can be made into discs and inserted between the stator and the rotor, which are ceramic bodies. Alternatively, the polymeric material can be formed and inserted into a film on a facing surface of the stator or rotor by a method such as thin film coating.

도18은 도27 및 도28에 도시된 무라타사의 적층형 트리머 커패시터의 고정자(810)와 회전자(820) 사이에 저유전율층(500)을 삽입한 실시예의 단면도와 등가 회로도이고, 도19 내지 도21은 각각 제2 실시예 내지 제4 실시예에 의한 트리머 커패시터의 고정자(210, 310, 410)와 회전자(220, 320, 420) 사이에 저유전율층(500)을 삽입한 실시예의 단면도와 등가 회로도이다.FIG. 18 is a sectional view and an equivalent circuit diagram of an embodiment in which a low dielectric constant layer 500 is inserted between a stator 810 and a rotor 820 of Murata's stacked trimmer capacitor shown in FIGS. 27 and 28. FIGS. 21 is a cross-sectional view of an embodiment in which the low dielectric constant layer 500 is inserted between the stators 210, 310, 410 and the rotors 220, 320, 420 of the trimmer capacitors according to the second to fourth embodiments, respectively. Equivalent circuit diagram.

특히 도19 내지 도21에 도시된 커패시터는 회전자의 전극이 부유형인 (적층) 부유 전극형 트리머 커패시터의 고정자(210, 310, 410)와 회전자(220, 320, 420) 사이에 저유전율층(500)을 삽입한 경우이다. 이러한 경우, 부유 전극으로 인해 2개의 커패시터가 직렬로 연결된 구성에, 저유전율층에 의해 또 다시 2개의 커패시터가 직렬로 연결된 구성이 추가되어, 4개의 커패시터가 직렬로 연결된 구조로서 정전용량을 더욱 더 낮출 수 있다.In particular, the capacitors shown in Figs. 19 to 21 have a low dielectric constant between the stators 210, 310, 410 and the rotors 220, 320, 420 of the (laminated) floating electrode type trimmer capacitors in which the rotor electrodes are floating. In this case, the layer 500 is inserted. In this case, two capacitors are connected in series due to the floating electrode, and two capacitors are connected in series by the low dielectric constant layer, and the four capacitors are connected in series to further increase capacitance. Can be lowered.

비록 도시되지는 않았으나, 제1 실시예의 단차 적층형 트리머 커패시터에 저유전율층을 삽입하면 회전자의 회전각도에 대한 정전용량 값의 민감도를 완화시킬 수 있을 뿐만 아니라 정전용량도 낮출 수 있다.Although not shown, the insertion of the low dielectric constant layer into the stepped trimmer capacitor of the first embodiment may not only reduce the sensitivity of the capacitance value to the rotation angle of the rotor, but also lower the capacitance.

제6 실시예 - 병진 운동형 가변 용량 커패시터Example 6-Translationally Variable Variable Capacitor

지금까지의 가변 용량 캐퍼시터는 기본적으로 고정자 위에서 회전자가 회전하는 트리머 커패시터에 대하여 설명하였다. 그러나 본 발명은 고정자의 내부 전극을 단차 적층형으로 형성하거나, 회전자에 부유 전극을 마련하거나, 회전자와 고정자 사이에 저유전율의 폴리머층을 삽입하는 것으로서, 고정자 위에 회전자가 회전하는 트리머 커패시터로 한정되지 않는다. 예를 들어, 제1 실시예에서 제시된 단차 적층형 트리머 커패시터에서, 고정자 위에 금속 회전자가 회전하는 대신 금속 가동자(620)가 병진 운동을 하면서 정전 용량 값을 변화시킬 수 있다. 이 경우, 고정자의 내부 전극(612a, 612b, 612c)은 부채꼴이 아닌 사각형으로 세라믹 시트의 각층에 연속하여 나란히 배치되고, 가동자의 전극(622)은 회전자(610)와 접하는 가 동자(620)의 하부면 자체가 된다. 도22는 이러한 병진 운동형 가변 용량 커패시터의 개략적인 단면을 도시한다. 가동자(620)가 도22에 도시된 바와 같이 A 지점에서 출발하여 B 지점에 이를 때까지는 전극(612a)과 전극(622) 사이의 대면하는 면적이 변하다가, B 지점에서 D 지점까지는 전극(612a, 612b, 612c)과 전극(622) 사이의 거리가 변하게 된다. 따라서 본 실시예는 전술된 제1 실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있다. 이러한 병진 운동형 가변 용량 커패시터는 본 발명의 다른 실시예에도 동일하게 적용될 수 있다.So far, the variable capacitance capacitor has basically described a trimmer capacitor in which the rotor rotates on the stator. However, the present invention is to form an internal electrode of the stator in a stepped stack, to provide a floating electrode in the rotor, or to insert a low dielectric constant polymer layer between the rotor and the stator, and to limit the trimmer capacitor in which the rotor rotates on the stator. It doesn't work. For example, in the stepped stacked trimmer capacitor presented in the first embodiment, instead of rotating the metal rotor over the stator, the metal mover 620 translates the capacitance value while performing translational motion. In this case, the internal electrodes 612a, 612b, 612c of the stator are arranged in parallel to each layer of the ceramic sheet in a non-square rectangle, and the electrode 622 of the mover is in contact with the rotor 610. Becomes the bottom surface of itself. Figure 22 shows a schematic cross section of such a translational variable capacitance capacitor. As the mover 620 starts at point A and reaches point B as shown in Fig. 22, the facing area between the electrode 612a and the electrode 622 changes, and from the point B to the point D, the electrode 612a , 612b, 612c and the distance between the electrode 622 are changed. Therefore, this embodiment can achieve the same effect as the above-described first embodiment. This translational variable capacitance capacitor is equally applicable to other embodiments of the present invention.

전술된 구성에 따른 본 발명의 가변 용량 커패시터는 회전자의 회전 각도에 대한 정전용량의 민감도가 완화되어 커패시터를 전자 회로에 장착한 후 주파수를 세밀하게 조정할 수 있다.The variable capacitance capacitor of the present invention according to the above-described configuration is relaxed the sensitivity of the capacitance to the rotation angle of the rotor can be finely adjusted the frequency after mounting the capacitor in the electronic circuit.

또한, 저정전용량을 구현할 수 있어서, 고주파 회로에 사용시 유전 손실(Df)의 역수인 Q값을 높일 수 있다. 이때, 커패시터에 저유전율층을 삽입하거나, 커패시터의 회전체의 전극과 고정자의 내부전극을 이용하여 커패시터를 직렬로 연결되게 하여 저정전용량을 구현하면서도 캐퍼시터의 크기를 소형화할 수 있다.In addition, it is possible to implement a low capacitance, it is possible to increase the Q value which is the inverse of the dielectric loss (Df) when used in a high frequency circuit. In this case, a low dielectric constant layer may be inserted into the capacitor, or the capacitor may be connected in series by using the electrode of the rotating body of the capacitor and the internal electrode of the stator, thereby minimizing the size of the capacitor while implementing low capacitance.

이와 같이, 정전용량의 범위와 민감도를 넓은 범위로 조절할 수 있기 때문에, 설계 자유도가 증가하게 된다. 또한, 세라믹 시트에 내부 전극을 인쇄하여 이들을 단순히 적층함으로써 고정자를 제조하고, 저유전율의 폴리머를 고정자 또는 회전자에 코팅함으로써, 정전용량의 민감도와 범위를 조정할 수 있기 때문에 제작이 간단하고 구조가 단순하여 제조 비용을 절감시킬 수 있다.As such, since the range and sensitivity of the capacitance can be adjusted in a wide range, the degree of freedom in design is increased. In addition, the stator is manufactured by printing internal electrodes on a ceramic sheet and simply laminating them, and the sensitivity and range of the capacitance can be adjusted by coating a polymer having a low dielectric constant on the stator or the rotor. The manufacturing cost can be reduced.

Claims (38)

외부와 접속 가능한 전극이 내부에 삽입된 세라믹 소체를 포함하는 고정자와,A stator including a ceramic element inserted therein with an electrode connectable to the outside; 상기 고정자의 전극에 대향하는 고정자의 상부면에 이동 가능하게 장착된 가동자를 포함하고,A mover movably mounted on an upper surface of the stator opposite the electrodes of the stator, 상기 가동자에는 상기 고정자의 상부면에 대면하는 가동자의 면의 일부에 전극이 마련되고, 상기 고정자의 전극은 고정자의 전극에서 상부면까지 거리가 상이한 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.The mover is provided with an electrode on a part of the surface of the mover facing the upper surface of the stator, the electrode of the stator includes a portion of the distance from the electrode of the stator to the upper surface is different. 제1항에 있어서, 상기 고정자 내에는 복수의 전극을 포함하고, 이들 전극은 고정자의 상부면 상에 투영하였을 때 서로 중첩되지 않는 부분이 존재하며, 이들 복수의 전극은 고정자의 상부면에서 각각 상이한 거리에 배치되고, 상호 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.2. The stator of claim 1, wherein the stator includes a plurality of electrodes, and these electrodes have portions that do not overlap each other when projected on the top surface of the stator, and the plurality of electrodes are different from each other on the top surface of the stator. A variable capacitance capacitor arranged at a distance and electrically connected to each other. 제1항에 있어서, 상기 고정자 내부에 복수의 전극과 고정자의 하부면에 하나의 전극을 포함하고, 이들 전극은 고정자의 상부면 상에 투영하였을 때 서로 중첩되지 않는 부분이 존재하며, 이들 복수의 전극은 고정자의 상부면에서 각각 상이한 거리에 배치되고, 상호 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.The stator of claim 1, wherein the stator includes a plurality of electrodes and one electrode on a lower surface of the stator, and these electrodes have portions that do not overlap each other when projected on the upper surface of the stator. And the electrodes are arranged at different distances from the upper surface of the stator and are electrically connected to each other. 제2항에 있어서, 상기 고정자는 복수 개의 세라믹 시트가 적층된 세라믹 소체를 포함하고, 상기 복수의 전극은 각 세라믹 시트들 사이에 개재된 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.3. The variable capacitance capacitor of claim 2, wherein the stator includes a ceramic body in which a plurality of ceramic sheets are stacked, and the plurality of electrodes are interposed between the ceramic sheets. 제4항에 있어서, 상기 가동자는 고정자의 상부면에 회전 가능하게 장착된 회전자인 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.5. The variable capacitance capacitor of claim 4 wherein the mover is a rotor rotatably mounted on the top surface of the stator. 제5항에 있어서, 상기 고정자의 전극은 각 세라믹 시트들 사이에 인쇄된 인쇄 전극을 포함하고, 상기 회전자는 도전체를 포함하고, 상기 회전자의 전극이 마련된 상기 면은 돌출된 도전체인 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.The method of claim 5, wherein the electrode of the stator includes a printed electrode printed between each ceramic sheet, the rotor comprises a conductor, the surface provided with the electrode of the rotor is a protruding conductor Variable capacitance capacitor. 제6항에 있어서, 상기 고정자와 회전자가 상호 대면하는 면은 회전축을 중심으로 한 원형이고, 상기 고정자 및 회전자의 전극들은 회전자의 회전축과 동심인 부채꼴인 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.7. The variable capacitance capacitor of claim 6, wherein a surface of the stator and the rotor facing each other is circular around a rotation axis, and electrodes of the stator and the rotor are concentric with the rotation axis of the rotor. 제7항에 있어서, 상기 고정자의 전극들을 상기 회전축 방향으로 투영하였을 때 중첩되지 않고, 부채꼴인 상기 고정자 및 회전자의 전극들은 중심각이 동일한 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.8. The variable capacitor capacitor as claimed in claim 7, wherein the stator and the rotor electrodes which are not overlapped when the electrodes of the stator are projected in the direction of the rotational axis, have the same center angle. 제8항에 있어서, 상기 고정자 및 회전자가 장착된 프레임과, 상기 프레임에 마련되어 상기 고정자 및 회전자의 전극에 각각 접속된 고정자 및 회전자용 단자를 포함하고, 상기 고정자의 복수의 전극들은 고정자를 관통하여 전기적으로 연결되어 상기 프레임의 고정자용 단자에 접속된 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.9. The apparatus of claim 8, further comprising a frame on which the stator and the rotor are mounted, and terminals for the stator and the rotor provided in the frame and connected to the electrodes of the stator and the rotor, respectively. And electrically connected to the terminal for stator of the frame. 하부면에 외부와 접속 가능하며 서로 절연된 2개의 전극과 회전축 지지구멍이 마련된 세라믹 소체를 포함하는 고정자와,A stator including a ceramic body having two electrodes insulated from each other and insulated from each other on a lower surface thereof, and having a rotating shaft support hole; 회전축을 포함하며 상기 고정자의 상부면에 회전 가능하도록 상기 회전축 지지 구멍에 상기 회전축이 장착된 회전자를 포함하고,A rotor including a rotating shaft and the rotating shaft mounted to the rotating shaft support hole so as to be rotatable on an upper surface of the stator; 상기 회전자에는 상기 고정자의 2개 전극에 각각 대응하며 상호 전기적으로 연결된 2개의 전극이 상기 고정자의 상부면에 대면하는 회전자의 면에 마련된 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.And the rotor has two electrodes corresponding to two electrodes of the stator, and electrically connected to each other, on the side of the rotor facing the upper surface of the stator. 삭제delete 제10항에 있어서, 상기 고정자의 전극은 인쇄 전극을 포함하고, 상기 회전자는 도전체를 포함하고, 상기 회전자는 고정자의 상부면의 일부를 덮는 일체형 전극인 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.11. The variable capacitance capacitor of claim 10 wherein the electrode of the stator comprises a printed electrode, the rotor comprises a conductor, and the rotor is an integral electrode covering a portion of the top surface of the stator. 제12항에 있어서, 상기 회전자와 대면하는 고정자의 상부면은 상기 회전축을 중심으로 한 원형이고, 상기 고정자의 2개의 전극은 상기 회전자의 상기 회전축과 동심이고 변이 서로 이격되고 중심축 측의 단부가 제거된 절두 부채꼴이고, 상기 회전자의 2개의 전극은 상기 회전자의 상기 회전축과 동심이고 변이 서로 이격된 부채꼴인 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터. The method of claim 12, wherein the upper surface of the stator facing the rotor is circular about the axis of rotation, the two electrodes of the stator are concentric with the axis of rotation of the rotor and the sides are spaced apart from each other and the side of the center axis A truncated fan shape with the ends removed, and the two electrodes of the rotor are fan shapes concentric with the rotation axis of the rotor and spaced apart from each other. 제13항에 있어서, 상기 전극들을 상기 회전축 방향으로 투영하였을 때 중첩되지 않고, 상기 부채꼴의 전극들은 중심각이 동일한 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.The variable capacitor of claim 13, wherein the electrodes do not overlap when the electrodes are projected in the direction of the rotation axis, and the fan-shaped electrodes have the same center angle. 제14항에 있어서, 상기 고정자 및 회전자가 장착된 프레임과, 상기 프레임에 마련되어 상기 고정자의 서로 절연된 2개의 전극에 각각 접속된 단자를 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.15. The variable capacitor capacitor as claimed in claim 14, comprising a frame on which the stator and the rotor are mounted, and terminals provided on the frame and connected to two electrodes insulated from each other of the stator. 외부에 각각 접속 가능한 2개의 상호 절연된 전극이 내부에 삽입된 세라믹 소체를 포함하는 고정자와,A stator including a ceramic body having two mutually insulated electrodes each connected to the outside and inserted therein; 상기 고정자의 전극에 대향하는 고정자의 상부면에 이동 가능하게 장착된 가동자를 포함하고,A mover movably mounted on an upper surface of the stator opposite the electrodes of the stator, 상기 가동자에는 상기 고정자의 2개 전극에 각각 대응하는 상호 전기적으로 연결된 2개의 전극이 고정자와 대면하는 가동자의 면에 마련되고, 상기 고정자의 전극을 고정자의 상부면에 수직으로 투영하였을 때 중첩되지 않는 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.The mover is provided with two electrodes electrically connected to the two electrodes of the stator, respectively, on the face of the mover facing the stator, and do not overlap when the electrodes of the stator are projected perpendicularly to the upper surface of the stator. Variable capacitance capacitor. 제16항에 있어서, 상기 고정자의 2개의 전극은 고정자의 상부면에 평행하게 동일한 거리로 이격된 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.17. The variable capacitor capacitor of claim 16 wherein the two electrodes of the stator are spaced at equal distances parallel to the top surface of the stator. 제17항에 있어서, 상기 가동자는 고정자의 상부면에 회전 가능하게 장착된 회전자인 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.18. The variable capacitance capacitor of claim 17 wherein the mover is a rotor rotatably mounted on an upper surface of the stator. 제18항에 있어서, 상기 고정자의 전극은 인쇄 전극을 포함하고, 상기 회전자는 도전체를 포함하고, 상기 회전자는 고정자의 상부면의 일부를 덮는 일체형 전극 또는 상기 회전자의 전극들은 상기 도전체이며 돌출된 면인 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.19. The method of claim 18, wherein the stator electrode comprises a printed electrode, the rotor comprises a conductor, and the rotor is an integral electrode covering a portion of the top surface of the stator or the electrodes of the rotor are the conductors. Variable capacitance capacitor, characterized in that the protruding surface. 제19항에 있어서, 상기 회전자와 대면하는 고정자의 상부면은 회전축을 중심으로 한 원형이고, 상기 고정자의 2개의 전극은 회전자의 회전축과 동심이고 변이 서로 이격되고 중심축 측의 단부가 제거된 절두 부채꼴이고, 상기 회전자의 2개의 전극은 회전자의 회전축과 동심이고 변이 서로 이격되고 중심축 측의 단부가 제거된 절두 부채꼴인 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.20. The rotor of claim 19, wherein the upper surface of the stator facing the rotor is circular about the axis of rotation, and the two electrodes of the stator are concentric with the axis of rotation of the rotor and the sides are spaced apart from one another and the ends on the central axis side are removed. And a truncated fan shape, wherein the two electrodes of the rotor are concentric with the rotation axis of the rotor and the edges are spaced apart from each other and the ends of the central axis are removed. 제20항에 있어서, 상기 부채꼴의 전극들은 중심각이 동일한 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.21. The variable capacitance capacitor of claim 20, wherein the fan-shaped electrodes have the same center angle. 제21항에 있어서, 상기 고정자 및 회전자가 장착된 프레임과, 상기 프레임에 마련된 2개의 단자를 포함하고, 상기 고정자의 절연된 2개의 전극은 고정자를 관통하여 상기 프레임에 마련된 단자에 각각 접속된 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.22. The apparatus of claim 21, further comprising a frame on which the stator and the rotor are mounted, and two terminals provided in the frame, wherein two insulated electrodes of the stator are connected to terminals provided in the frame through the stator. Variable capacitance capacitor. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제18항에 있어서, 상기 고정자의 2개의 전극은 고정자의 측부를 통해 외부에 각각 접속 가능한 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.19. The variable capacitor of claim 18 wherein the two electrodes of the stator are each connectable to the outside through the side of the stator. 제1항 내지 제10항, 제12항 내지 제22항 및 제26항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 고정자와 가동자 사이에 삽입된 유전체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터. 27. A variable capacitance capacitor according to any one of claims 1 to 10, 12 to 22 and 26, further comprising a dielectric interposed between the stator and the mover. 삭제delete 하부면의 일부에 전극이 마련된 세라믹 소체를 포함하는 고정자와,A stator including a ceramic element provided with an electrode on a part of a lower surface thereof, 상기 고정자의 하부면에 대향하는 고정자의 상부면에 이동 가능하게 장착되고 상기 고정자의 상부면에 대면하는 면의 일부에 전극이 마련된 가동자와,A mover mounted to an upper surface of the stator opposite the lower surface of the stator and provided with an electrode on a part of the surface facing the upper surface of the stator; 상기 고정자와 가동자 사이에 삽입된 유전체를 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.And a dielectric interposed between the stator and the mover. 제29항에 있어서, 상기 가동자는 고정자의 상부면에 회전 가능하게 장착된 회전자인 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.30. The variable capacitance capacitor of claim 29 wherein the mover is a rotor rotatably mounted to an upper surface of the stator. 제29항 또는 제30항에 있어서, 상기 유전체는 저유전율의 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터.31. The variable capacitance capacitor of claim 29 or 30 wherein the dielectric comprises a polymer of low dielectric constant. (a) 제1 세라믹 시트를 마련하고 상기 제1 세라믹 시트 상의 일부에 제1 전극을 인쇄하는 단계와,(a) preparing a first ceramic sheet and printing a first electrode on a portion of the first ceramic sheet; (b) 상기 제1 전극을 외부에 전기 접속이 가능하게 하는 단계와,(b) enabling the first electrode to be electrically connected to the outside; (c) 상기 제1 세라믹 시트 상에 제2 세라믹 시트를 적층하고 상기 제2 세라믹 시트 상의 일부에 제2 전극을 인쇄하는 단계와,(c) laminating a second ceramic sheet on the first ceramic sheet and printing a second electrode on a portion of the second ceramic sheet; (d) 상기 제2 전극을 제1 전극과 전기 접속시키는 단계와,(d) electrically connecting the second electrode with a first electrode; (e) 상기 (c) 및 (d) 단계를 복수 회 반복하여 실시한 다음 커버 세라믹 시트를 적층하는 단계와, (e) repeating steps (c) and (d) a plurality of times and then laminating a cover ceramic sheet; (f) 상기 세라믹 시트의 적층체를 압착하고, 탈바인더 및 소성하여 세라믹 소체를 형성하는 단계와,(f) pressing the laminate of the ceramic sheets, debindering and firing to form a ceramic body, (g) 상기 세라믹 소체의 커버 세라믹 시트 측인 상부면에 대면하는 면의 일부에 전극이 마련된 가동자를 상기 세라믹 소체의 상부면에 이동 가능하게 장착하는 단계를 포함하고, 상기 세라믹 소체 내의 전극들은 세라믹 소체의 상부면 상에 투영하였을 때 서로 중첩되지 않는 부분이 존재하는 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터 제조 방법.(g) movably mounting a mover provided with an electrode on the upper surface of the ceramic body, the electrode being provided on a part of the surface of the ceramic body facing the upper surface of the ceramic body, wherein the electrodes in the ceramic body are ceramic bodies; And a part which does not overlap each other when projected on the upper surface of the variable capacitor capacitor manufacturing method. 제32항에 있어서, 제1 전극을 외부에 접속 가능하게 하는 단계는 제1 세라믹 시트에 제1 전극에 접하는 관통 구멍을 형성하여 상기 관통 구멍 내에 도전체를 충전하는 단계를 포함하고, 제2 전극을 제1 전극과 전기 접속시키는 단계는 제2 세라 믹 시트에 제1 전극 및 제2 전극에 접하는 관통 구멍을 형성하여 상기 관통 구멍 내에 도전체를 충전하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터 제조 방법.33. The method of claim 32, wherein enabling the first electrode to be externally accessible includes forming a through hole in the first ceramic sheet contacting the first electrode to fill a conductor in the through hole, wherein the second electrode Electrically connecting the first electrode to the first electrode includes filling the conductor in the through hole by forming a through hole in contact with the first electrode and the second electrode in the second ceramic sheet. Manufacturing method. 세라믹 소체를 마련하고 상기 세라믹 소체의 하부면에 절연된 2개의 전극을 인쇄하는 단계와,Providing a ceramic body and printing two insulated electrodes on the bottom surface of the ceramic body; 상기 세라믹 소체의 하부면에 대향하는 세라믹 소체의 상부면 상에 가동자를 이동 가능하게 장착하는 단계를 포함하고,Movably mounting a mover on an upper surface of the ceramic body opposite the lower surface of the ceramic body, 상기 가동자에는 상기 세라믹 소체의 상부면에 대면하는 가동자의 면에 상호 전기적으로 연결된 2개의 전극이 마련된 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터 제조 방법.And the mover is provided with two electrodes electrically connected to a surface of the mover facing the upper surface of the ceramic element. 세라믹 시트에 2개의 관통 구멍을 형성하는 단계와,Forming two through holes in the ceramic sheet, 상기 2개의 관통 구멍을 각각 덮어 외부에 각각 접속되는 상기 세라믹 시트의 일면 상에 절연된 2개의 전극을 인쇄하는 단계와,Printing two insulated electrodes on one surface of the ceramic sheet respectively covering the two through holes and connected to the outside; 상기 세라믹 시트의 일면 상에 추가의 세라믹 시트를 적층하는 단계와,Laminating an additional ceramic sheet on one surface of the ceramic sheet; 상기 세라믹 시트의 적층체를 압착하고, 탈바인더 및 소성하여 세라믹 소체를 형성하는 단계와,Pressing the laminate of the ceramic sheets, debindering and firing to form a ceramic body, 상기 세라믹 소체의 추가의 세라믹 시트 측인 상부면 상에 가동자를 이동 가능하게 장착하는 단계를 포함하고,Movably mounting a mover on an upper surface which is a side of a further ceramic sheet of said ceramic body, 상기 가동자에는 상기 세라믹 소체의 상부면에 대면하는 가동자의 면에 상호 전기적으로 연결된 2개의 전극이 마련된 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터 제조 방법.And the mover is provided with two electrodes electrically connected to a surface of the mover facing the upper surface of the ceramic element. 상기 세라믹 시트의 일면에 각각 외부에 접속되며 절연된 2개의 전극을 인쇄하는 단계와,Printing two insulated and insulated electrodes on one surface of the ceramic sheet, respectively; 상기 세라믹 시트의 일면 상에 추가의 세라믹 시트를 적층하는 단계와,Laminating an additional ceramic sheet on one surface of the ceramic sheet; 상기 적층된 세라믹 시트들 사이에 2개의 전극의 일부를 노출시키는 단계와,Exposing a portion of two electrodes between the laminated ceramic sheets; 상기 세라믹 시트의 적층체를 압착하고, 탈바인더 및 소성하여 세라믹 소체를 형성하는 단계와,Pressing the laminate of the ceramic sheets, debindering and firing to form a ceramic body, 상기 세라믹 소체의 추가의 세라믹 시트 측인 상부면 상에 가동자를 이동 가능하게 장착하는 단계를 포함하고,Movably mounting a mover on an upper surface which is a side of a further ceramic sheet of said ceramic body, 상기 가동자에는 상기 세라믹 소체의 상부면에 대면하는 가동자의 면에 상호 전기적으로 연결된 2개의 전극이 마련된 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터 제조 방법.And the mover is provided with two electrodes electrically connected to a surface of the mover facing the upper surface of the ceramic element. 제32항 내지 제36항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가동자와 세라믹 소체 사이에 유전체를 삽입하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터 제조 방법.37. The method of any one of claims 32 to 36, further comprising inserting a dielectric between the mover and the ceramic body. 제37항에 있어서, 상기 유전체를 삽입하는 단계는 상기 세라믹 소체의 상부면 또는 상기 세라믹 소체의 상부면에 대면하는 가동자의 면에 유전체를 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 용량 커패시터 제조 방법.38. The method of claim 37, wherein inserting the dielectric comprises coating the dielectric on the top surface of the ceramic body or on the face of the mover facing the top surface of the ceramic body. .
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