KR100555950B1 - Aligner of the holographic rom - Google Patents

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KR100555950B1 KR1020030043179A KR20030043179A KR100555950B1 KR 100555950 B1 KR100555950 B1 KR 100555950B1 KR 1020030043179 A KR1020030043179 A KR 1020030043179A KR 20030043179 A KR20030043179 A KR 20030043179A KR 100555950 B1 KR100555950 B1 KR 100555950B1
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Abstract

본 발명은 홀로그래픽 롬의 얼라인 측정장치에 관한 것으로서, 특히 본 발명의 장치는 빔 스플리터와, 입사된 광을 λ/4만큼 변형시키는 편광 변형기와, 편광 변형기의 광을 집광하고 반구형 미러에서 반사된 광을 평행 각도로 보내는 렌즈와, 렌즈의 집광된 광을 중심 홀에 통과시키는 데이터 마스크와, 데이터 마스크의 중심 홀과 디스크의 개구부를 통해 조사된 광을 반사시켜 마스크의 중심 홀로 보내는 반구형 미러와, 반구형 미러에서 반사된 광을 검출하여 데이터 마스크와 디스크의 얼라인을 측정하는 검출기를 포함한다. 그러므로 본 발명은 디스크 중심을 고정시키는 클램프의 상부면이 함몰된 반구형 미러에서 반사된 광을 검출하여 데이터 마스크와 디스크의 중심이 정확하게 얼라인되었는지를 측정할 수 있다.The present invention relates to an alignment measuring device of a holographic ROM, in particular the device of the present invention comprises a beam splitter, a polarization modifier for modifying incident light by [lambda] / 4, a light condensing light of the polarization modulator and reflection in a hemispherical mirror A lens that sends the collected light at a parallel angle, a data mask that passes the focused light of the lens through the center hole, a hemispherical mirror that reflects the light irradiated through the center hole of the data mask and the opening of the disc, and sends it to the center hole of the mask; And a detector for detecting the light reflected from the hemispherical mirror to measure the alignment of the data mask and the disk. Therefore, the present invention can detect the light reflected from the hemispherical mirror in which the upper surface of the clamp for fixing the disk center is recessed to determine whether the center of the data mask and the disk are correctly aligned.

홀로그래픽 롬, 얼라인 측정, 반구형 미러, 클램프Holographic ROM, Alignment Measurement, Hemispherical Mirror, Clamp

Description

홀로그래픽 롬의 얼라인 측정장치{ALIGNER OF THE HOLOGRAPHIC ROM}Holographic ROM Alignment Measuring Equipment {ALIGNER OF THE HOLOGRAPHIC ROM}

도 1은 홀로그래픽 롬의 기록 방식을 개략적으로 나타낸 도면,1 is a view schematically showing a recording method of a holographic ROM;

도 2는 일반적인 홀로그래픽 롬의 기록 장치의 예를 나타낸 블록 구성도,2 is a block diagram showing an example of a recording apparatus of a general holographic ROM;

도 3은 디스크와 데이터 마스크가 미스얼라인되었을 때 데이터 기록 트랙이 미스얼라인된 경우를 나타낸 도면,3 is a diagram showing a case where a data recording track is misaligned when the disc and the data mask are misaligned;

도 4는 본 발명에 따른 홀로그래픽 롬의 얼라인 측정장치를 나타낸 블록 구성도,4 is a block diagram showing an alignment measuring device for holographic ROM according to the present invention;

도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 홀로그래픽 롬의 얼라인 측정장치에서 디스크와 데이터 마스크가 얼라인 또는 미스얼라인된 경우를 비교한 도면들.5A and 5B are diagrams comparing cases in which a disk and a data mask are aligned or misaligned in the alignment measuring apparatus of a holographic ROM according to the present invention.

＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＞<Description of the code | symbol about the principal part of drawing>

100 : 광원 102 : 셔터100: light source 102: shutter

104 : HWP(λ/2 WP) 106 : 공간 필터104: HWP (λ / 2 WP) 106: spatial filter

108 : 빔 스플리터(PBS) 110 : 편광 변형기108: beam splitter (PBS) 110: polarization transducer

112 : 렌즈 114 : 데이터 마스크112: lens 114: data mask

115 : 데이터 마스크의 중심 홀 116 : 디스크115: center hole of the data mask 116: disk

117 : 디스크의 개구부 118 : 반구형 미러117: opening of the disk 118: hemispherical mirror

120 : 클램프 122 : 스핀들 모터 120: clamp 122: spindle motor

본 발명은 홀로그래픽 메모리에 관한 것으로서, 특히 광 기록매체인 디스크(disk)와 데이터 마스크(data mask)의 미스 얼라인(mis-align)으로 인한 기록 및 재생시의 오류를 방지하기 위한 홀로그래픽 롬의 얼라인 측정장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a holographic memory, and more particularly to a holographic ROM for preventing errors during recording and playback due to mis-alignment of a disk and a data mask, which are optical recording media. It relates to an alignment measuring device.

최근에는 데이터 저장용 메모리의 대용량 및 고속 처리를 위해 디스크 등의 광 기록매체로 수∼ 수백 Gbytes를 저장할 수 있는 홀로그래픽 메모리, 그 중에서도 홀로그래픽 롬(HROM: Holographic ROM)에 대한 연구 및 개발이 활발히 진행 중에 있다.Recently, the research and development of holographic memory (HROM: Holographic ROM), which can store hundreds to hundreds of Gbytes on optical recording media such as disks, for large capacity and high speed processing of data storage memory In progress.

도 1은 홀로그래픽 롬의 기록 방식을 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 1을 참조하면, 홀로그래픽 기록 매체인 디스크(48) 상부에 데이터 마스크(data mask)(46)가 있으며 디스크 하부에 코니컬 미러(conical mirror)(32)가 있다. 기록시, 데이터 마스크(46) 상부에 평행광이 투사되면 이 평행광은 데이터 마스크(46)의 홀 형태의 비트 패턴(bit pattern)(미도시함)을 통과하여 디스크(48)에 신호광(signal beam)으로 조사된다. 디스크(48) 하부에는 평행광이 투사되어 코니컬 미러(32)의 경사면을 통하여 디스크의 반지름 방향으로 모두 일정한 각도를 갖는 기준광(reference beam)이 조사된다. 이 신호광과 기준광이 디스크(48)의 저장 물질층에 만나서 첫 번째 데이터 마스크의 패턴에 따른 비트 단위의 홀로그래픽 데이터가 기록된다. 그리고 상기 사용된 코니컬 미러 대신에 다른 미러 경사 각도를 갖는 코니컬 미러를 이용하여 디스크에 새로운 데이터를 기록할 수 있다.1 is a diagram schematically illustrating a recording method of a holographic ROM. Referring to FIG. 1, a data mask 46 is provided on the disk 48, which is a holographic recording medium, and a conical mirror 32 is located below the disk. When writing, when parallel light is projected on the data mask 46, the parallel light passes through a bit pattern (not shown) in the form of a hole in the data mask 46 to signal the disk 48. beam). Parallel light is projected to the lower part of the disk 48 so that a reference beam having a constant angle in the radial direction of the disk is irradiated through the inclined surface of the conical mirror 32. The signal light and the reference light meet the storage material layer of the disk 48 so that the holographic data in bits according to the pattern of the first data mask is recorded. Instead of the used conical mirrors, new data can be written to the disc using conical mirrors having different mirror tilt angles.

도 2는 일반적인 홀로그래픽 롬의 기록 장치의 예를 나타낸 블록 구성도로서, 이를 참조하면 홀로그래픽 롬의 기록 장치는 광원(10), 셔터(12), 반사 미러들(14, 28, 34, 40), HWP(Half Wave Plate)(16, 24, 36), 공간 필터들(spatial filter)(18, 30, 42), 렌즈(20, 44), 빔 스플리터(polarization beam splitter)(22), 편광기(polarizer)(26, 38), 코니컬 미러(32), 데이터 마스크(34), 기록 매체인 디스크(48) 등이 포함되어 있다. 여기서 HWP(16, 24, 36)은 λ/2 WP이다.FIG. 2 is a block diagram illustrating an example of a recording apparatus of a general holographic ROM. Referring to this, the recording apparatus of the holographic ROM may include a light source 10, a shutter 12, and reflective mirrors 14, 28, 34, and 40. ), Half Wave Plate (HWP) 16, 24, 36, spatial filters 18, 30, 42, lenses 20, 44, polarization beam splitter 22, polarizers (polarizers) 26, 38, conical mirrors 32, data masks 34, disks 48, which are recording media, and the like. Where HWPs 16, 24 and 36 are lambda / 2 WP.

이와 같이 구성된 홀로그래픽 롬의 기록 장치는 디스크(48) 상부로 입사되는 신호광 경로(S1)와 디스크(48) 하부로 입사되는 기준광 경로(S2)로 구분되며 이들 경로는 빔 스플리터(22)에서 구분한다.The recording apparatus of the holographic ROM configured as described above is divided into a signal light path S1 incident on the upper portion of the disk 48 and a reference light path S2 incident on the lower portion of the disk 48, and these paths are distinguished by the beam splitter 22. do.

광원(10)으로부터 입사된 광(예컨대 532nm 파장의 레이저광)은 셔터(12)가 오픈(open)되면 반사 미러(14)에서 반사되어 HWP(16), 공간 필터(18) 및 렌즈(20)를 거쳐 빔 스플리터(22)로 제공된다. 빔 스플리터(22)는 입사된 레이저광에서 수평 광은 그대로 투과시키고 다른 수직 광은 반사시켜 신호광/기준광 경로(S1, S2)로 나눈다. Light incident from the light source 10 (for example, laser light having a wavelength of 532 nm) is reflected by the reflecting mirror 14 when the shutter 12 is opened, so that the HWP 16, the spatial filter 18, and the lens 20 are provided. To the beam splitter 22. The beam splitter 22 divides the incident light into the signal light / reference light paths S1 and S2 by transmitting horizontal light as it is and reflecting other vertical light.

빔 스플리터(22)에서 분리된 기준광은 S2 경로에 따라 HWP(24), 편광기(26)를거치고 반사 미러(28)를 통해 반사된 후에 공간 필터(30)를 통과하여 코니컬 미러(32)로 입사된다.The reference light separated by the beam splitter 22 passes through the HWP 24 and the polarizer 26 along the S2 path and is reflected through the reflective mirror 28 and then passes through the spatial filter 30 to the conical mirror 32. Incident.

그리고 반사 미러(20)에 의해 반사된 신호광은 반사 미러(34)에서 다시 반사되고 HWP(36), 편광기(26)를 거치고 반사 미러(40)에서 또 다시 반사된 후에 공간 필터(42) 및 렌즈(44)를 통과하여 데이터 마스크(46)에 입사된다.And the signal light reflected by the reflecting mirror 20 is reflected back by the reflecting mirror 34, passes through the HWP 36, the polarizer 26 and is reflected again by the reflecting mirror 40 and then the spatial filter 42 and the lens. Passed through 44 is incident on the data mask 46.

디스크(48)의 저장 물질층에는 데이터 마스크(46)의 비트 패턴을 통해 입사된 신호광과 코니컬 미러(32)의 경사면에서 반사된 기준광이 서로 간섭되어 비트 단위의 홀로그래픽 데이터가 기록된다.In the storage material layer of the disk 48, the signal light incident through the bit pattern of the data mask 46 and the reference light reflected from the inclined surface of the conical mirror 32 interfere with each other to record bit-wise holographic data.

그런데 홀로그래픽 롬의 기록시 도 3과 같이 데이터 마스크(46)와 디스크(48) 중심(a)이 얼라인(align)되지 않을 경우 디스크(48) 트랙에는 미스 얼라인(mis-align)된 데이터가 기록된다. 즉 디스크(48)의 회전 트랙 반경(b)과 실제 데이터가 기록된 트랙 반경(c)이 어긋나게 되면 데이터 재생시 디스크에 저장된 실제 기록 트랙(c)이 미스 얼라인되어 있어 데이터 복원이 불가능하다. 따라서 홀로그래픽 롬은 데이터를 기록하기 전에 반드시 데이터 마스크와 디스크의 얼라인을 수행하는 것이 필요하다.However, when recording the holographic ROM, when the data mask 46 and the center of the disk 48 are not aligned as shown in FIG. 3, the data misaligned to the track of the disk 48 is misaligned. Is recorded. In other words, if the rotating track radius b of the disc 48 and the track radius c on which the actual data is recorded are shifted, the actual recording track c stored on the disc is misaligned at the time of data reproduction and data restoration is impossible. Therefore, the holographic ROM must align the data mask with the disk before recording the data.

본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 데이터 기록 이전에 디스크 중심을 고정시키는 클램프(clamp)의 상부를 함몰된 반구 형태의 미러로 제작하고 데이터 마스크의 중심홀과 디스크의 개구부를 통과한 광을 클램프의 반구형 미러에서 반사시켜 반사된 광의 검출 유/무에 따라 데이터 마스크와 디스크의 얼라인 정도를 측정할 수 있는 홀로그래픽 롬의 얼라인 측정장치를 제공하는데 있다. An object of the present invention is to make the upper part of the clamp to fix the center of the disk prior to data recording in order to solve the problems of the prior art as a recessed hemispherical mirror and the center hole of the data mask and the opening of the disk It is to provide an alignment measuring device of a holographic ROM that can reflect the light passing through the hemispherical mirror of the clamp to measure the alignment of the data mask and the disk according to whether the reflected light is detected or not.                         

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 디스크에 홀로그램 데이터를 기록하는 홀로그래픽 롬에 있어서, 입사 광을 중심 홀에 통과시키는 데이터 마스크와, 데이터 마스크의 중심 홀과 디스크의 개구부를 통해 조사된 광을 반사시켜 데이터 마스크의 중심 홀로 보내고, 디스크의 중심을 고정시키는 클램프의 상부면이 함몰된 부분에 형성된 반구형 미러와, 반구형 미러에서 반사된 광을 검출하여 데이터 마스크와 상기 디스크의 얼라인을 측정하는 검출기를 포함한다.In order to achieve the above object, the present invention is a holographic ROM for recording holographic data on a disk, the data mask for passing the incident light through the center hole, and reflects the light irradiated through the center hole of the data mask and the opening of the disk A hemispherical mirror formed at a recessed portion of the upper surface of the clamp for fixing the center of the disk, and a detector for detecting the alignment of the data mask with the disk by detecting light reflected from the hemispherical mirror. Include.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명하고자 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 홀로그래픽 롬의 얼라인 측정장치를 나타낸 블록 구성도로서, 이를 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 측정장치는 광원(100), 셔터(102), HWP(104), 공간 필터(106), 빔 스플리터(108)와, 편광 변형기(110), 렌즈(112), 데이터 마스크(114), 디스크(116), 클램프(120) 내부에 형성된 반구형 미러(118) 등으로 구성된다.4 is a block diagram showing an alignment measuring apparatus for a holographic ROM according to the present invention. Referring to this, the alignment measuring apparatus according to an embodiment of the present invention includes a light source 100, a shutter 102, and a HWP ( 104, spatial filter 106, beam splitter 108, polarization modifier 110, lens 112, data mask 114, disk 116, hemispherical mirror 118 formed inside clamp 120 And the like.

빔 스플리터(108)는 공간 필터(108)에서 보내준 레이저광에서 수평 광은 그대로 투과시키고 수직 광은 반사시키는 특성이 있으므로 본 발명의 얼라인 장치는 도면에 도시하지는 않았지만 레이저 광의 수평 성분만 빔 스플리터(108)로 입사되도록 하는 별도의 장치를 구비한다.Since the beam splitter 108 transmits horizontal light as it is and reflects vertical light from the laser light sent from the spatial filter 108, the alignment device of the present invention is not shown in the drawing, but only the horizontal component of the laser light beam splitter ( 108 is provided with a separate device for incidence.

편광 변형기(110)는 λ/4 WP(Wave Plate)를 사용하여 입사광의 위상을 λ/4 만큼 지연시켜는 장치로서, 본 발명에서는 빔 스플리터(108)의 수평 편광을 원형 편광으로 변형하고 반구형 미러(118)에서 반사된 원형 편광을 수직 편광으로 변형 한다.The polarization modulator 110 is a device for delaying the phase of incident light by λ / 4 using λ / 4 WP (wave plate). In the present invention, the horizontal polarization of the beam splitter 108 is transformed into circularly polarized light and is a hemispherical mirror. The circularly polarized light reflected at 118 is transformed into vertically polarized light.

렌즈(112)는 편광 변형기(110)의 광을 집광하여 데이터 마스크(114)의 중심 홀(115)로 입사시키고 반구형 미러(118)에서 반사된 원형 편광을 평행 각도로 편광 변형기(110)로 보낸다. The lens 112 collects the light of the polarization modifier 110, enters the center hole 115 of the data mask 114, and sends the circular polarization reflected by the hemispherical mirror 118 to the polarization modifier 110 at a parallel angle. .

반구형 미러(118)는 디스크(116)의 중심 축을 고정시키는 클램프(clamp)(120)의 상부면이 함몰된 부분에 형성되는데, 바람직하게는 반구형 미러(118)의 구경은 일직선 상에 위치된 미러(118)와 데이터 마스크(114)까지의 거리와 동일하도록 한다. 그 이유는 반구형 미러(118)에서 반사된 광이 동일하게 데이터 마스크(114)의 중심 홀(115)로 입사하기 위함이다. 도면 부호 117은 디스크(116)의 중심을 클램프(120)에 장착하기 위한 개구부(aperture)이며 122는 클램프에 연결되어 디스크(116)를 회전시키기 위한 스핀들 모터를 나타낸 것이다.The hemispherical mirror 118 is formed in the recessed portion of the upper surface of the clamp 120 which fixes the central axis of the disk 116. Preferably, the aperture of the hemispherical mirror 118 is a mirror positioned in a straight line. It is equal to the distance between 118 and the data mask 114. The reason is that the light reflected from the hemispherical mirror 118 is incident to the center hole 115 of the data mask 114 in the same manner. Reference numeral 117 denotes an aperture for mounting the center of the disk 116 to the clamp 120 and reference numeral 122 denotes a spindle motor connected to the clamp to rotate the disk 116.

데이터 마스크(114)는 중심에 소정 크기의 홀(hole)(예컨대 5㎛)을 갖는다.The data mask 114 has holes of a predetermined size (for example, 5 μm) in the center.

검출기(124)는 빔 스플리터(108)를 통해 조사된 광의 검출 유/무에 따라 데이터 마스크(114)와 디스크(116)가 얼라인/미스얼라인을 측정한다.The detector 124 measures the alignment / misalignment between the data mask 114 and the disk 116 according to whether the light irradiated through the beam splitter 108 is detected or not.

이와 같이 구성된 본 발명의 홀로그래픽 롬의 얼라인 측정장치는 다음과 같이 작동한다.The alignment measuring device of the holographic ROM of the present invention configured as described above operates as follows.

광원(100)으로부터 입사된 광(예컨대 532nm 파장의 레이저광)은 셔터(102)가 오픈되면 HWP(104), 공간 필터(106)를 거쳐 빔 스플리터(108)로 제공된다. 이때 빔 스플리터(108)에 입사되는 광은 수평 편광으로 한정한다. Light incident from the light source 100 (for example, laser light having a wavelength of 532 nm) is provided to the beam splitter 108 via the HWP 104 and the spatial filter 106 when the shutter 102 is opened. In this case, the light incident on the beam splitter 108 is limited to horizontal polarization.

빔 스플리터(108)에서 통과된 수평 편광은 그대로 편광 변형기(110)로 입사 된다. 본 발명에서의 편광 변형기(110)는 수평 편광을 원형 편광으로 변형하는 λ/4 WP를 사용하기 때문에 입사 광이 λ/4만큼 변형된다. 편광 변형기(110)에서 변형된 원형 편광은 렌즈(112)로 입사되고 렌즈(112)를 통해서 집광된 광은 데이터 마스크(114)의 중심 홀(115)로 조사된다.The horizontally polarized light passed by the beam splitter 108 is incident to the polarization modifier 110 as it is. Since the polarization modifier 110 in the present invention uses λ / 4 WP which transforms horizontal polarization into circular polarization, incident light is deformed by λ / 4. The circularly polarized light deformed by the polarization modifier 110 is incident to the lens 112 and the light collected through the lens 112 is irradiated to the center hole 115 of the data mask 114.

데이터 마스크(114)의 중심 홀(115)을 통과한 광은 디스크(116)의 개구부(117)를 지나 디스크 중심 축을 고정시킨 클램프(120) 상부에 있는 반구형 미러(118)로 입사된다. 반구형 미러(118)에서 반사된 광은 다시 입사된 경로를 따라 디스크(116)의 개구부(117)로 입사된다.Light passing through the central hole 115 of the data mask 114 is incident through the opening 117 of the disk 116 and into the hemispherical mirror 118 on the clamp 120 that fixes the disk center axis. Light reflected from the hemispherical mirror 118 is incident to the opening 117 of the disk 116 along the incident path again.

이때 도 5a와 같이 데이터 마스크(114)와 디스크(116)가 얼라인되어 있다면 반구형 미러(118)에서 반사된 광은 다시 디스크(116)의 개구부(117)를 지나 데이터 마스크(114)의 중심 홀(115), 약 5㎛을 통과하게 된다. 하지만, 도 5b와 같이 데이터 마스크(114)와 디스크(116)가 미스얼라인되어 있다면 반구형 미러(118)에서 반사된 광은 다시 디스크(116)의 개구부(117)를 지나지만 데이터 마스크(114)의 중심 홀(115)을 통과하지는 못하게 된다.At this time, if the data mask 114 and the disk 116 are aligned as shown in FIG. 5A, the light reflected from the hemispherical mirror 118 again passes through the opening 117 of the disk 116 and is the center hole of the data mask 114. 115, about 5 micrometers pass. However, if the data mask 114 and the disk 116 are misaligned as shown in FIG. 5B, the light reflected by the hemispherical mirror 118 again passes through the opening 117 of the disk 116, but the data mask 114 is not aligned. It will not pass through the central hole 115 of.

그러므로 데이터 마스크(114)의 중심 홀(115)을 통과한 광은 렌즈(112)로 입사되고 렌즈(112)는 입사된 원형 편광을 그대로 편광 변형기(110)로 보낸다. 편광 변형기(110)는 다시 원형 편광을 λ/4만큼 변형하여 수직 편광으로 변형하고 이를 빔 스플리터(108)로 보낸다.Therefore, light passing through the center hole 115 of the data mask 114 is incident on the lens 112, and the lens 112 sends the incident circularly polarized light to the polarization modifier 110 as it is. The polarization modifier 110 again deforms the circular polarization by λ / 4 to transform it into vertical polarization and sends it to the beam splitter 108.

그러면 빔 스플리터(108)는 편광 변형기(110)의 수직 편광을 반사시켜 검출기(124)로 보낸다. 검출기(124)는 빔 스플리터(108)로부터의 광이 검출되었기 때 문에 데이터 마스크(114)와 디스크(116)가 얼라인되었다는 측정 결과를 보낸다.The beam splitter 108 then reflects the vertical polarization of the polarization modulator 110 and sends it to the detector 124. The detector 124 sends a measurement result that the data mask 114 and the disk 116 are aligned because light from the beam splitter 108 is detected.

이에 반하여, 도 5b와 같이 데이터 마스크(114)와 디스크(116)가 미스얼라인되어 반구형 미러(118)의 중심이 데이터 마스크(114)의 중심과 일치하지 않는 경우 반구형 미러(118)로부터 반사된 광이 데이터 마스크(114)의 중심 홀(115)을 통과하지 못하고 빔 스플리터(108)까지의 입사 경로로 되돌아가지 못한다.In contrast, as illustrated in FIG. 5B, the data mask 114 and the disk 116 are misaligned and reflected from the hemispherical mirror 118 when the center of the hemispherical mirror 118 does not coincide with the center of the data mask 114. Light does not pass through the center hole 115 of the data mask 114 and does not return to the incident path to the beam splitter 108.

빔 스플리터(108)에서는 검출기(124)로 광을 보내지 않고 이에 검출기(124)는 광 검출이 없으므로 데이터 마스크(114)와 디스크(116)가 미스얼라인되었다는 측정 결과를 내보낸다.The beam splitter 108 does not send light to the detector 124 whereby the detector 124 does not detect light and thus outputs a measurement result that the data mask 114 and the disk 116 are misaligned.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 디스크 중심을 고정시키는 클램프의 상부면에 함몰된 반구형 미러를 제작하고 데이터 마스크의 중심홀과 디스크의 개구부를 통해 입사된 광이 반구형 미러를 통해 반사되는 것을 검출하여 데이터 마스크와 디스크의 중심이 정확하게 얼라인되었는지를 측정할 수 있다.As described above, the present invention manufactures a hemispherical mirror recessed in the upper surface of the clamp for fixing the disk center and detects that the light incident through the center hole of the data mask and the opening of the disk is reflected through the hemispherical mirror You can measure whether the center of the mask and the disc are correctly aligned.

따라서 본 발명은 데이터 마스크의 중심홀과 디스크의 개구부를 육안으로 얼라인하는 것보다 얼라인 측정 결과가 정확하므로 미스얼라인 데이터 기록을 미연에 방지할 수 있다.Therefore, in the present invention, since the alignment measurement result is more accurate than visually aligning the central hole of the data mask and the opening of the disk, misaligned data recording can be prevented in advance.

한편, 본 발명은 상술한 실시예에 국한되는 것이 아니라 후술되는 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상과 범주내에서 당업자에 의해 여러 가지 변형이 가능하다.On the other hand, the present invention is not limited to the above-described embodiment, various modifications are possible by those skilled in the art within the spirit and scope of the present invention described in the claims to be described later.

Claims (5)

삭제delete 디스크에 홀로그램 데이터를 기록하는 홀로그래픽 롬에 있어서,In a holographic ROM for recording hologram data on a disc, 입사 광을 중심 홀에 통과시키는 데이터 마스크와,A data mask for passing incident light through the center hole, 상기 데이터 마스크의 중심 홀과 상기 디스크의 개구부를 통해 조사된 광을 반사시켜 상기 데이터 마스크의 중심 홀로 보내고, 상기 디스크의 중심을 고정시키는 클램프의 상부면이 함몰된 부분에 형성된 반구형 미러와,A hemispherical mirror formed at a portion where the upper surface of the clamp for reflecting the light irradiated through the center hole of the data mask and the opening of the disk to be sent to the center hole of the data mask and fixing the center of the disk; 상기 반구형 미러에서 반사된 광을 검출하여 상기 데이터 마스크와 상기 디스크의 얼라인을 측정하는 검출기A detector for detecting light reflected from the hemispherical mirror to measure alignment of the data mask and the disk 를 포함하는 홀로그래픽 롬의 얼라인 측정장치.Alignment measuring device of a holographic ROM comprising a. 디스크에 홀로그램 데이터를 기록하는 홀로그래픽 롬에 있어서,In a holographic ROM for recording hologram data on a disc, 입사 광을 중심 홀에 통과시키는 데이터 마스크와,A data mask for passing incident light through the center hole, 상기 데이터 마스크의 중심 홀과 상기 디스크의 개구부를 통해 조사된 광을 반사시켜 상기 데이터 마스크의 중심 홀로 보내는 반구형 미러와,A hemispherical mirror reflecting the light irradiated through the center hole of the data mask and the opening of the disk to send to the center hole of the data mask; 상기 반구형 미러에서 반사된 광을 검출하여 상기 데이터 마스크와 상기 디스크의 얼라인을 측정하는 검출기A detector for detecting light reflected from the hemispherical mirror to measure alignment of the data mask and the disk 를 포함하되, 상기 반구형 미러의 구경은 상기 데이터 마스크까지의 거리와 동일한 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 롬의 얼라인 측정장치.Including, wherein the aperture of the hemispherical mirror is the alignment measurement device of the holographic ROM, characterized in that the same as the distance to the data mask. 디스크에 홀로그램 데이터를 기록하는 홀로그래픽 롬에 있어서,In a holographic ROM for recording hologram data on a disc, 입사 광을 중심 홀에 통과시키는 데이터 마스크와,A data mask for passing incident light through the center hole, 상기 데이터 마스크의 중심 홀과 상기 디스크의 개구부를 통해 조사된 광을 반사시켜 상기 데이터 마스크의 중심 홀로 보내는 반구형 미러와,A hemispherical mirror reflecting the light irradiated through the center hole of the data mask and the opening of the disk to send to the center hole of the data mask; 상기 데이터 마스크 앞단에 상기 입사 광의 수직 및 수평 성분을 분리하고 상기 반구형 미러에서 반사된 광도 분리하는 빔 스플리터와,A beam splitter separating the vertical and horizontal components of the incident light in front of the data mask and separating the light reflected from the hemispherical mirror; 상기 빔 스플리터에서의 수평 편광을 원형 편광으로 변형하고 상기 반구형 미러에서 반사된 원형 편광을 수직 편광으로 변형하는 편광 변형기와,A polarization modifier for transforming horizontal polarization in the beam splitter into circular polarization and transforming circular polarization reflected from the hemispherical mirror into vertical polarization; 상기 편광 변형기의 광을 집광하고 상기 반구형 미러에서 반사된 원형 편광을 평행 각도로 보내는 렌즈와,A lens that condenses the light of the polarization modulator and sends circularly polarized light reflected by the hemispherical mirror at a parallel angle, 상기 빔 스플리터로부터 상기 반구형 미러의 반사된 광을 검출하여 상기 데이터 마스크와 상기 디스크의 얼라인을 측정하는 검출기A detector for detecting the reflected light of the hemispherical mirror from the beam splitter to measure the alignment of the data mask and the disk 를 포함하는 홀로그래픽 롬의 얼라인 측정장치.Alignment measuring device of a holographic ROM comprising a. 디스크에 홀로그램 데이터를 기록하는 홀로그래픽 롬에 있어서,In a holographic ROM for recording hologram data on a disc, 입사 광을 중심 홀에 통과시키는 데이터 마스크와,A data mask for passing incident light through the center hole, 상기 데이터 마스크의 중심 홀과 상기 디스크의 개구부를 통해 조사된 광을 반사시켜 상기 데이터 마스크의 중심 홀로 보내는 반구형 미러와,A hemispherical mirror reflecting the light irradiated through the center hole of the data mask and the opening of the disk to send to the center hole of the data mask; 상기 데이터 마스크 앞단에 상기 입사 광의 수직 및 수평 성분을 분리하고 상기 반구형 미러에서 반사된 광도 분리하는 빔 스플리터와,A beam splitter separating the vertical and horizontal components of the incident light in front of the data mask and separating the light reflected from the hemispherical mirror; 상기 빔 스플리터에서의 수평 편광을 원형 편광으로 변형하고 상기 반구형 미러에서 반사된 원형 편광을 수직 편광으로 변형하기 위한 λ/4 WP로 이루어진 편광 변형기와,A polarization modifier composed of λ / 4 WP for transforming horizontal polarization in the beam splitter into circular polarization and transforming circular polarization reflected from the hemispherical mirror into vertical polarization; 상기 편광 변형기의 광을 집광하고 상기 반구형 미러에서 반사된 원형 편광을 평행 각도로 보내는 렌즈와,A lens that condenses the light of the polarization modulator and sends circularly polarized light reflected by the hemispherical mirror at a parallel angle, 상기 빔 스플리터로부터 상기 반구형 미러의 반사된 광을 검출하여 상기 데이터 마스크와 상기 디스크의 얼라인을 측정하는 검출기A detector for detecting the reflected light of the hemispherical mirror from the beam splitter to measure the alignment of the data mask and the disk 를 포함하는 홀로그래픽 롬의 얼라인 측정장치.Alignment measuring device of a holographic ROM comprising a.
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