KR100550425B1 - 마그네트론의 안테나 피더 - Google Patents

Abstract

본 발명은 마그네트론의 안테나 피더에 관한 것으로, 마그네트론의 안테나 피더에 홀더를 더 형성하여 구조적인 안정을 얻음으로써, 마그네트론으로부터 발생된 노이즈를 차폐하는 초크인 에이실(A-seal)의 중심축으로부터 안테나 피더가 벗어나거나 기울어지는 현상을 제거할 수 있는 효과가 발생한다.

마그네트론, 안테나, 피더, 홀더, 배기관

Description

마그네트론의 안테나 피더 { An antenna feeder of magnetron }

도 1은 종래 기술에 따른 마그네트론의 단면도

도 2a와 2b는 종래 기술에 따른 마그네트론의 안테나 피더 구조를 도시한 정면도 및 측면도

도 3a와 3b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마그네트론의 안테나 피더 구조를 도시한 정면도 및 측면도

도 4a와 4b는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 마그네트론의 안테나 피더 구조를 도시한 정면도 및 측면도

도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마그네트론의 안테나 피더가 마그네트론에 장착된 단면도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 안테나 피더 110 : 끝단

120 : 홀더 160 : 배기관

본 발명은 마그네트론의 안테나 피더에 관한 것으로, 보다 상세하게는 마그네트론의 안테나 피더에 홀더를 더 형성하여 구조적인 안정을 얻음으로써, 마그네트론으로부터 발생된 노이즈를 차폐하는 초크(Choke)인 에이실(A-seal)의 중심축으로부터 안테나 피더가 벗어나거나 기울어지는 현상을 제거할 수 있는 마그네트론의 안테나 피더에 관한 것이다.

도 1은 종래 기술에 따른 마그네트론의 단면도로서, 마그네트론은 양극부, 음극부 및 자기부 등으로 나눌 수 있는데, 먼저, 양극부는 원통형으로 된 양극 케이스(11)와, 상기 양극 케이스(11)의 내벽에 방사상으로 형성된 다수 개의 베인(12)으로 이루어진다.

그리고, 상기 음극부는 상기 양극부의 중심축 상에 텅스텐(W)에 토륨(Th)성분을 첨가하여 나선형으로 형성되어 열전자를 방사하기 위한 필라멘트(13)와, 상기 베인(12)의 끝단과 필라멘트(13)의 사이에 빈공간으로 마련되어 열전자가 회전되도록 하기 위한 작용공간(14)과, 상기 필라멘트(13)로부터 방사된 열전자의 축방향으로의 이탈을 방지하도록 하기 위하여 상기 필라멘트(13)의 상단과 하단에 마련된 상엔드실드(15)와 하엔드실드(16)와, 상기 필라멘트(13)를 지지하는 동시에 외부전원을 인가하기 위하여 하엔드실드(16)를 관통하여 상엔드실드(15)에 연결되어 있는 센터리드(17)와, 상기 센터리드(17)와 함께 필라멘트(13)에 외부전원을 인가하기 위하여 하엔드실드(16)에 접합되어 있는 사이드리드(18)로 이루어진다.

또한, 상기 자기부는 상기 양극 케이스(11)의 상단과 하단에 고정되어 자기회로의 통로의 역할이 이루어지도록 하기 위한 상자극(20)과 하자극(21), 상기 작용공간(14)에 자계를 형성하기 위하여 상기 상자극(20)의 상측과 하자극(21)의 하측에 마련되는 마그네트(22)로 이루어진다.

상기의 구성요소 외에도 상기 센터리드(17) 및 사이드 리드(18)의 타단이 세라믹 절연체인 세라믹 스템(31)을 관통하여 연결되어 노이즈 필터회로 역할을 하는 초크코일(32)과, 상기 초크코일(32)이 외부로부터 전류를 인가 받도록 하기 위한 관통형 콘덴서(33)와, 상기 상자극(20)의 상부와 하자극(21)의 하부에 각각 마련되어 자기회로의 통로 역할을 하는 에이실(41) 및 에프시일(42)과, 상기 작용공간(14)에서 생성된 고주파 에너지를 외부로 방사하기 위하여 상기 베인(12)과 연결되어 상자극(20) 및 에이실(41)의 중앙부를 지나 인출되어 있는 안테나 피더(51)와, 상기 작용공간(14)에서 고주파 에너지로 변환되지 못하고 열에너지로 변환되어 상기 베인(12)을 통하여 전도된 열이 외부로 방출될 수 있도록 하기 위한 냉각핀(61) 등이 포함되어 있고, 상기 냉각핀(61)을 내부에 수납함으로써 냉각핀(61)을 통하여 전도된 열이 방열될 수 있도록 하기 위한 요크(19)가 포함되어 진다.

여기서, 상기 요크(19)는 상측에서 내부장치를 수납하기 위한 요크 상판(19a)과 하측에서 내부장치를 수납하기 위한 요크 하판(19b)으로 이루어져 있다.

그리고, 상기 배기관(60)은 마그네트론이 조립된 후, 배기 공정시 마그네트론을 진공 상태로 만들기 위하여 마그네트론 내부의 공기를 뽑아내는 것으로써, 배 기 공정 후 절단부분이다.

이렇게 구성된 마그네트론의 작동을 설명하면, 상기 마그네트(22)에서 형성된 자계가 상자극(20)과 하자극(21)을 따라 자기회로를 형성하여 베인(12)과 필라멘트(13) 사이의 작용공간(14)에 자계가 형성되고, 상기 관통형 콘덴서(33)를 통한 외부 전원이 인가되어 필라멘트(13)가 약 2000K의 온도에서 열전자를 방출하게 되고, 방출된 열전자는 필라멘트(13)와 양극부 사이에 인가되어 있는 4.0 ~ 4.4kV의 양극전압과 마그네트(22)의 자계에 의해서 작용공간(14)의 내에서 회전하게 된다.

한편, 상기 센터리드(17)와 사이드리드(18)를 통해 필라멘트(13)에 전원이 공급되어 베인(12)과 필라멘트(13)사이에 2450MHz의 주파수를 갖는 전계가 형성되면, 상기 전계와 자계에 의해서 방사된 열전자는 작용공간(14)에서 사이클로이드 (Cycloid) 운동을 하면서 전자에너지인 고주파 에너지로 변환되게 되고, 이 에너지가 베인(12)으로 전달되어 상기 베인(12)에 연결된 안테나 피더(51)를 통해 외부로 방출된다.

그러나, 이러한 과정으로 통하여서 모든 열전자의 에너지가 고주파 에너지로 방출되는 것은 아니고, 일부의 에너지는 열로 소모되게 되고 경우에 따라 이 소모되는 열은 전체 소비에너지의 30%에 이른다.

한편, 이와 같은 소모열은 상기 베인(12)과 냉각핀(61)을 경유하여 외부에 마련된 팬에서 불어오는 공기유동에 의해서 방열되는데, 이러한 냉각핀(61)은 상기 요크(19)의 내부에 수납되어 있는 것이다.

도 2a와 2b는 종래 기술에 따른 마그네트론의 안테나 피더 구조를 도시한 정 면도 및 측면도로서, 마그네트론의 안테나 피더는 마이크로파를 방사시키기 위하여, 불순물이 없고 전기전도성이 높은 물질로 이루어져 있다.

도 1을 더 참조하면, 이 마그네트론 안테나 피더(51)는 상단은 필라멘트와 동축선상에 수직으로 설치되며, 하단은 상자극을 통과하도록 2단 절곡되어 있다.

이러한, 안테나 피더(51)는 끝단(51a)이 배기관의 내측에 삽입되어 장착된다.

그런데, 안테나 피더는 배기 공정후에 마그네트론을 배기 장치로부터 절단 작업 시에 절단 공구의 각도 오차와 작업자의 실수에 의해 안테나 피더가 중심축으로부터 이동하거나 기울어지는 현상이 발생한다.

이에 따라, 고조파 초크의 노이즈 감쇄 성능에 악영향을 주게 된다.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 마그네트론의 안테나 피더에 홀더를 더 형성하여 구조적인 안정을 얻음으로써, 마그네트론으로부터 발생된 노이즈를 차폐하는 초크인 에이실의 중심축으로부터 안테나 피더가 벗어나거나 기울어지는 현상을 제거할 수 있는 마그레트론의 안테나 피더를 제공하는 데 목적이 있다.

상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 양태(樣態)는, 원통형상의 아노드와, 상기 아노드 내부에 방사상으로 복수개가 형성된 베인을 포함하여 구성된 마그네트론의 베인에 일측이 결합되고 타측이 배기관에 삽입 고정되는 마그네 트론의 안테나 피더에 있어서,

상기 안테나 피더는,

상기 배기관에 고정되는 끝단으로부터 이격된 영역에 배기관 내부에 삽입되도록 안테나 피더의 외경으로부터 돌출된 홀더가 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마그네트론의 안테나 피더가 제공된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.

도 3a와 3b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마그네트론의 안테나 피더 구조를 도시한 정면도 및 측면도로서, 본 발명은 안테나 피더(100)는 배기관에 고정되는 끝단(110)으로부터 이격된 영역에 배기관 내부에 삽입되도록 안테나 피더(100)의 외경으로부터 돌출된 홀더(120)를 더 형성하는 것이다.

도 3a에 도시된 바와 같이, 홀더(120)는 안테나 피더(100) 외경(L)보다 큰 두께(T1)를 가지고, 안테나 피터(100)의 끝단(110)이 돌출된 동일 평면상으로 돌출되어 있다.

그리고, 도 3b에 도시된 바와 같이, 홀더(120)는 안테나 피더(100) 외경(L)보다 작은 두께(T2)를 가지고, 안테나 피터(100)의 끝단(110)이 눌려진 동일 평면상으로 눌려져 있다.

그러므로, 본 발명의 안테나 피터가 장착되어 있는 마그네트론은 배기 공정 후, 마그네트론을 배기 시설로부터 분리할 때, 안테나 피더가 중심축에서 이동하거나 휘어지지 않아서 노이즈 차폐 성능을 향상시킬 수 있게 된다.

도 4a와 4b는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 마그네트론의 안테나 피더 구조를 도시한 정면도 및 측면도로서, 도 4a에 도시된 바와 같이, 홀더(120)는 안테나 피터(100)의 끝단(110)이 돌출된 제 1 평면과 90°되는 제 2 평면상으로 안테나 피더(100) 외경(L)보다 작은 두께(T3)를 가지고 눌려져 있다.

그리고, 도 4b에 도시된 바와 같이, 홀더(120)는 안테나 피더(100)의 끝단(110)이 눌려진 제 1 평면과 90°되는 제 2 평면상으로 외경(L)보다 큰 두께(T4)를 가지고 돌출되어 있다.

도 5는 본 발명에 따른 마그네트론의 안테나 피더가 마그네트론에 장착된 단면도로서, 마그네트론의 배기관(160) 내부에는 안테나 피더(100)의 끝단(110)과 홀더(120)가 삽입 고정되어 있어, 본 발명의 안테나 피더는 종래 기술과 대비하여 마그네트론을 구조적으로 안정화시킬 수 있는 것이다.

이상 상술한 바와 같이, 본 발명은 마그네트론의 안테나 피더에 홀더를 더 형성하여 구조적인 안정을 얻음으로써, 마그네트론으로부터 발생된 노이즈를 차폐하는 초크인 에이실의 중심축으로부터 안테나 피더가 벗어나거나 기울어지는 현상을 제거할 수 있는 효과가 있다.

또한, 배기 공정 후에 마그네트론을 배기 장치로부터 절단 작업시에 있을 수 있는 절단 공구의 각도 오차와 작업자의 능숙도에 영향을 적게 받는 구조적인 안정화를 달성할 수 있는 효과가 있다.

본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (3)

1. 원통형상의 아노드와, 상기 아노드 내부에 방사상으로 복수개가 형성된 베인을 포함하여 구성된 마그네트론의 베인에 일측이 결합되고 타측이 배기관에 삽입 고정되는 마그네트론의 안테나 피더에 있어서,

   상기 안테나 피더는,

   상기 배기관에 고정되는 끝단으로부터 이격된 영역에 배기관 내부에 삽입되도록 안테나 피더의 외경으로부터 돌출된 홀더가 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마그네트론의 안테나 피더.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 홀더는,

   안테나 피더 외경(L)보다 큰 두께(T1)를 가지고 안테나 피터의 끝단이 돌출된 동일 평면상으로 돌출되어 있고,

   안테나 피더 외경(L)보다 작은 두께(T2)를 가지고 안테나 피터의 끝단이 눌려진 동일 평면상으로 눌려져 있는 것을 특징으로 하는 마그네트론의 안테나 피더.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 홀더는,

   안테나 피터의 끝단이 돌출된 제 1 평면과 90°되는 제 2 평면상으로 안테나 피더 외경(L)보다 작은 두께(T3)를 가지고 눌려져 있고,

   안테나 피더의 끝단이 눌려진 제 1 평면과 90°되는 제 2 평면상으로 외경(L)보다 큰 두께(T4)를 가지고 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 마그네트론의 안테나 피더.

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