KR100549271B1 - Chuck noise elimination method for precision capacitance measurement - Google Patents

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Abstract

본 발명은 정전용량 측정시 노이즈 제거방법에 관한 발명이며, 정전용량 측정시 측정장비와 연결된 스테이션내의 척(chuck)을 외부적으로 접지시킴으로써 엔모스(NMOS)소자의 정전용량 측정중 측정 에러 및 노이즈를 방지하기 위한 것이다.The present invention relates to a method for removing noise during capacitance measurement, and a measurement error and noise during capacitance measurement of an NMOS device by externally grounding a chuck in a station connected to a measuring device during capacitance measurement. It is to prevent.

정전용량 정밀 측정용 척 노이즈 및 불필요한 포텐셜 성분을 제거하기 위한 방법에 있어서,정전용량 측정전 노이즈 및 불필요한 포텐셜 성분을 제거하기 위하여 척에 도선을 연결하는 단계, 상기 도선을을 충분한 표면적을 가지는 접지된 금속성 철판 및 파이프 등에 접촉시키는 단계, 척과 스테이션 내에 걸린 정전기를 방전시키는 단계, 및 정전기를 방전시킨 이후 정전용량을 측정하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하며, 에러성분으로 작용하는 노이즈성 전하 및 포텐셜 성분을 완전 제거하여 더욱 정확한 정전용량 값을 얻을 수 있는 동시에 누설에 의해 간헐적으로 발생하는 측정에러를 방지할 수 있는 효과가 있다.A method for removing chuck noise and unnecessary potential components for capacitive precision measurement, the method comprising: connecting leads to a chuck to remove noise and unnecessary potential components prior to capacitance measurement; Contacting metallic steel plates and pipes, etc., discharging static electricity trapped in the chuck and the station, and measuring capacitance after discharging the static electricity. Noise noise and potential components act as error components. It is possible to obtain a more accurate capacitance value by completely eliminating the problem and to prevent measurement errors caused by leakage.

반도체, 정전용량, 척, N-MOS, 노이즈Semiconductor, Capacitive, Chuck, N-MOS, Noise

Description

정전용량 정밀 측정용 척 노이즈 제거방법{Chuck noise elimination method for precision capacitance measurement} Chuck noise elimination method for precision capacitance measurement             

도1은 종래의 측정방법에 의한 정전용량 측정 노이즈 발생도1 is a generation of capacitance measurement noise by a conventional measuring method

도2는 N-MOS 및 P-MOS의 노이즈 발생의 차이를 나타낸 도면2 is a diagram showing differences in noise generation between N-MOS and P-MOS.

도3은 본 발명에 의한 N-MOS의 척 노이즈 제거방법3 is a method for removing chuck noise of an N-MOS according to the present invention.

본 발명은 정전용량 측정시 노이즈 제거방법에 관한 발명이며, 정전용량 측정시 측정장비와 연결된 스테이션내의 척(chuck)을 외부적으로 접지시킴으로써 엔모스(NMOS)소자의 정전용량 측정중 측정 에러 및 노이즈를 방지하기 위한 것이다.The present invention relates to a method for removing noise during capacitance measurement, and a measurement error and noise during capacitance measurement of an NMOS device by externally grounding a chuck in a station connected to a measuring device during capacitance measurement. It is to prevent.

종래의 기술에 의한 정전용량 측정은 정전용량 측정중 측정장비와 연결된 스테이션내의 척을 통하여 주변기기와 스테이션간 누설(leakage), 정전기등의 유입 또는 기대하지않은 포텐셜 성분이 척에 내포하게 됨으로써 측정 에러를 유발시키게 된다.The capacitance measurement according to the prior art measures measurement errors by causing leakage between the peripheral device and the station, inflow of static electricity, or an unexpected potential component in the chuck through the chuck in the station connected to the measuring device during the capacitance measurement. It is triggered.

도1에 나타낸 바와 같이 특히 반도체 N-MOS소자에서 P-well과 P-substrate로 이어지는 척의 접합구조가 직류구조가 됨으로써 이를 통한 노이즈 및 포텐셜성분이 측정중 캐패시턴스값에 영향을 미치게 되어 스테이션내 척이 접지상태가 되지 않으면 외부적 환경에 의한 정전기등이 척으로부터 소자내까지 전기적영향을 미치게 된다.As shown in FIG. 1, the junction structure of the chuck leading to the P-well and P-substrate is a direct current structure in the semiconductor N-MOS device, so that noise and potential components affect the capacitance value during the measurement. If it is not grounded, the static electricity from the external environment will have an electrical effect from the chuck to the device.

도2에는 이러한 외부적 환경이 P-MOS와 N-MOS에 미치게 되는 노이즈의 영향을 나타낸 것이다. 여기에서 반도체 N-MOS소자는 상기 도1의 설명에서와 같이 전기적인 영향을 받게되나, P-MOS의 경우에는 N-well과 P-substrate사이에 자생적으로 다이오드가 생성되어 P-MOS 소자에서는 척으로부터의 노이즈영향을 받지 않는다.Fig. 2 shows the influence of noise caused by this external environment on the P-MOS and the N-MOS. Here, the semiconductor N-MOS device is electrically affected as described in FIG. 1, but in the case of the P-MOS, a diode is naturally generated between the N-well and the P-substrate. No influence from noise from

따라서, N-MOS의 경우 정전용량 측정시에 외부적인 환경에 의해 발생되는 정전기 등에 의한 노이즈 성분을 제거하기 위한 척 노이즈를 제거하는 방법이 요구되고 있다.Accordingly, in the case of N-MOS, there is a demand for a method of removing chuck noise for removing noise components due to static electricity generated by an external environment during capacitance measurement.

이를 위해, 본 발명은 상술한 종래의 기술이 갖는 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 정전용량 측정중에 노이즈 성분을 제거하기 위하여 척에 발생하게 되는 노이즈 성분 및 불필요한 포텐셜 성분을 제거하기 위한 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
To this end, the present invention is to solve the problems of the prior art described above, and to provide a method for removing noise components and unnecessary potential components generated in the chuck to remove noise components during capacitance measurement. The purpose.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 정전용량 정밀 측정용 척 노이즈 및 불필요한 포텐셜 성분을 제거하기 위한 방법에 있어서,정전용량 측정전 노이즈 및 불필요한 포텐셜 성분을 제거하기 위하여 척에 도선을 연결하는 단계, 상기 도선을을 충분한 표면적을 가지는 접지된 금속성 철판 및 파이프 등에 접촉시키는 단계, 척과 스테이션 내에 걸린 정전기를 방전시키는 단계, 및 정전기를 방전시킨 이후 정전용량을 측정하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, in a method for removing chuck noise and unnecessary potential components for capacitive precision measurement, connecting a conductor to the chuck to remove noise and unnecessary potential components before capacitance measurement, the lead Contacting the grounded metal plate and pipe having a sufficient surface area, etc., discharging the static electricity trapped in the chuck and the station, and measuring the capacitance after discharging the static electricity.

이하 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings.

본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다.Details of the above object and technical configuration of the present invention and the effects thereof according to the present invention will be more clearly understood by the following detailed description with reference to the drawings showing preferred embodiments of the present invention.

도3은 N-MOS 소자의 정전용량 측정중에 츠거정 에러 및 노이즈를 제거하기 위한 것으로서, 측정 대상물인 웨이퍼(10)을 프루브 스테이션(Probe station, 21)에 장착하고, 프루브 스테이션(21)에 도선을 연결한다.FIG. 3 is a diagram for removing truncate errors and noise during capacitance measurement of an N-MOS device. The wafer 10, which is a measurement target, is mounted on a probe station 21, and a lead is connected to the probe station 21. FIG. Connect

프루브 스테이션(21)에 연결된 도선은 충분한 표면적을 가지는 금속제 책상 및 파이프 등에 접촉시키므로써 외부 접지환경을 조성하도록 하여, 정전용량을 측정하는 경우 주변기기와 스테이션간 누설, 정전기 유입 또는 기대하지 않은 포텐셜 성분이 척에 내포되는 것을 방지한다.The conductive wire connected to the probe station 21 is contacted with metal desks and pipes having a sufficient surface area to create an external grounding environment. When measuring capacitance, leakage between the peripheral device and the station, inflow of static electricity, or unexpected potential Prevents nesting in the chuck.

이후 프루브 니들(22)를 웨이퍼에 접촉시켜 웨이퍼의 정전용량을 측정함으로서, N-MOS의 정전용량 측정시 발생할 수 있는 측정에러 및 노이즈를 방지하여 더욱 정확한 정전용량값을 얻는 것이 가능하다.Then, by measuring the capacitance of the wafer by contacting the probe needle 22 with the wafer, it is possible to obtain a more accurate capacitance value by preventing the measurement error and noise that may occur when measuring the capacitance of the N-MOS.

상세히 설명된 본 발명에 의하여 본 발명의 특징부를 포함하는 변화들 및 변형들이 당해 기술 분야에서 숙련된 보통의 사람들에게 명백히 쉬워질 것임이 자명하다. 본 발명의 그러한 변형들의 범위는 본 발명의 특징부를 포함하는 당해 기술 분야에 숙련된 통상의 지식을 가진 자들의 범위 내에 있으며, 그러한 변형들은 본 발명의 청구항의 범위 내에 있는 것으로 간주된다.It will be apparent that changes and modifications incorporating features of the invention will be readily apparent to those skilled in the art by the invention described in detail. It is intended that the scope of such modifications of the invention be within the scope of those of ordinary skill in the art including the features of the invention, and such modifications are considered to be within the scope of the claims of the invention.

이상과 같이 본 발명에 의한 정전용량 정밀측정용 척 노이즈 제거방법에 의해 정전용량 측정전 스테이션 척을 장비영역에서 벗어난 외부 접지환경에 접속시킴으로써 에러성분으로 작용하는 노이즈성 전하 및 포텐셜 성분을 완전 제거하여 더욱 정확한 정전용량 값을 얻을 수 있는 동시에 누설에 의해 간헐적으로 발생하는 측정에러를 방지할 수 있는 효과가 있다.As described above, the chuck noise elimination method for accurate capacitance measurement according to the present invention completely removes the noise charge and potential component acting as an error component by connecting the station chuck before the capacitance measurement to an external ground environment outside of the equipment area. It is possible to obtain more accurate capacitance values and to prevent measurement errors caused by leakage intermittently.

Claims (1)

정전용량 정밀 측정용 척 노이즈 및 불필요한 포텐셜 성분을 제거하기 위한 방법에 있어서,In the method for removing capacitance chuck noise and unnecessary potential components, 정전용량 측정전 노이즈 및 불필요한 포텐셜 성분을 제거하기 위하여 척에 도선을 연결하는 단계;Connecting the leads to the chuck to remove noise and unnecessary potential components before capacitance measurement; 상기 도선을을 충분한 표면적을 가지는 접지된 금속성 철판 및 파이프 등에 접촉시키는 단계;Contacting the conductors with a grounded metal sheet or pipe having a sufficient surface area or the like; 척과 스테이션 내에 걸린 정전기를 방전시키는 단계; 및Discharging static electricity trapped in the chuck and the station; And 상기 정전기를 방전시킨 이후 정전용량을 측정하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 정전용량 정밀 측정용 척 노이즈 제거방법.And measuring capacitance after discharging the static electricity.
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